JP3554179B2 - 金属薄板の両面焼付け装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、金属薄板の両主面に形成された感光性を有するレジスト膜に所定のパターンをそれぞれ焼き付ける金属薄板の両面焼付け装置に関し、特に、カラー受像管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管用等のアパーチャグリル、半導体素子用のリードフレームなどを、長尺の金属薄板からフォトエッチング法を利用して製造する場合に好適に使用される両面焼付け装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばシャドウマスクは、一般に、長尺の金属薄板をその長手方向へ搬送しながら、フォトエッチング法を利用して金属薄板に対し各種の処理を施すことにより製造される。そして、焼付け工程においても、図５に示すように、両主面にそれぞれレジスト膜が形成された長尺の金属薄板１を、巻出し側コイル２から間欠的に繰り出し、その長手方向へ間欠的に搬送しながら、金属薄板１の搬送路の途中に配設された両面焼付け装置３により、金属薄板１の両主面上のレジスト膜にそれぞれ所定のパターンを焼き付けるようにする。レジスト膜へのパターンの焼付けが終わった部分の金属薄板１は、巻取りコイル４に巻き取られていく。
【０００３】
両面焼付け装置３は、長手方向へ間欠的に搬送される金属薄板１を挾んでその上側および下側に、金属薄板１の両主面にそれぞれ対向して配設された一対のランプ５ａ、５ｂを備えており、金属薄板１の上面側および下面側に第１の原板６ａおよび第２の原板６ｂがそれぞれ配置される。第１の原板６ａおよび第２の原板６ｂは、矩形状の枠体７にそれぞれ第１のゴムパッキン８ａおよび第２のゴムパッキン８ｂを介在させて支持されている。そして、図示しない真空排気ポンプにより、枠体７の上面、第１の原板６ａの下面、第２の原板６ｂの上面、第１のゴムパッキン８ａおよび第２のゴムパッキン８ｂで囲まれた空間を真空排気して減圧することにより、停止した状態の金属薄板１の両主面に形成されたレジスト膜に第１の原板６ａおよび第２の原板６ｂがそれぞれ真空密着させられる。この状態において、各ランプ５ａ、５ｂから第１の原板６ａおよび第２の原板６ｂを介してそれぞれ金属薄板１の両主面上のレジスト膜へ光を照射することにより、各レジスト膜にそれぞれ所定のパターンが同時に焼き付けられる。
【０００４】
ここで、シャドウマスクには、電子ビーム通過孔となる多数の微細透孔が形成されており、それぞれの微細透孔は、シャドウマスクの一方の面側における開口面積と他方の面側における開口面積とが相違するように形成されている（以下、開口面積の大きい面側を「大孔側」、開口面積の小さい面側を「小孔側」という）。そして、例えば、第１の原板６ａには、遮光部（ネガ型レジストの場合）または透光部（ポジ型レジストの場合）となる大孔側用の微小単位画像が多数形成されており、第２の原板６ｂには、第１の原板６ａの微小単位画像にそれぞれ対応する位置に遮光部（ネガ型レジストの場合）または透光部（ポジ型レジストの場合）となる小孔側用の微小単位画像が多数形成されている。また、図５に示したように、１つの枠体７上に第１の原板６ａおよび第２の原板６ｂを支持するような構成では、第１の原板６ａの大きさと第２の原板６ｂの大きさとが相違するようにされ、その場合には通常、大孔側パターンの焼付け用原板である第１の原板６ａの大きさを、小孔側パターンの焼付け用原板である第２の原板６ｂより大きくする。
【０００５】
図６は、従来の両面焼付け装置における焼付け部の構成を示す縦断面図である。この焼付け部には、金属薄板１の下方側にそれと近接して矩形状の枠体４０が配設されている。枠体４０には、図示しない一方側のランプから照射された光を通過させるための開口部４２が形成されている。また、枠体４０の上面は、段付き面に形成されており、外側の第１の取付け面４４ａの方が内側の第２の取付け面４４ｂより高くなるようにされている。そして、第１の取付け面４４ａの上面に、弾性材料で形成され平面形状が矩形無端状であるゴムパッキン４６ａが固定され、第２の取付け面４４ｂの上面に、弾性材料で形成され平面形状がゴムパッキン４６ａより小形の矩形無端状であるゴムパッキン４６ｂが固定されている。ゴムパッキン４６ａ、４６ｂは、断面形状が逆Ｕ字型をなしている。そして、第１のゴムパッキン４６ａの上端部が、大孔側パターンの焼付け用の第１の原板４８ａの下面側周縁部および金属薄板１に気密に当接して、第１のゴムパッキン４６ａにより第１の原板４８ａが支持されるとともに、第２のゴムパッキン４６ｂの上端部が、小孔側パターンの焼付け用の第２の原板４８ｂの下面側周縁部に気密に当接して、第２のゴムパッキン４６ｂにより第２の原板４８ｂが支持される。この際には、第１の原板４８ａを下降させて（あるいは第２の原板４８ｂを上昇させて）、両原板４８ａ、４８ｂのうちの一方側に設けられたピンと他方側に設けられたピン孔とを嵌合させることにより、第１の原板４８ａと第２の原板４８ｂとの相互の位置決めを行うようにする。そして、図６に示したような状態で、第１の原板４８ａの下面、第２の原板４８ｂの上面、第１のゴムパッキン４６ａの内側面、第２のゴムパッキン４６ｂの外側面および枠体４０の上面で囲まれた空間を、図示しない真空排気ポンプにより真空排気して減圧することにより、第１の原板４８ａおよび第２の原板４８ｂが停止状態の金属薄板１の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させられる。また、レジスト膜へのパターンの焼付けが終了すると、前記空間へ圧縮空気を吹き込んで、第１の原板４８ａおよび第２の原板４８ｂと金属薄板１の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の両面焼付け装置では、原板４８ａ、４８ｂとゴムパッキン４６ａ、４６ｂとは、ゴムパッキン４６ａ、４６ｂの上端部で線状に接触しているだけであるので、原板４８ａ、４８ｂと金属薄板１の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除した時などの振動により、下側の第２の原板４８ｂが枠体４０および第２のゴムパッキン４６ｂに対し移動して位置ずれを起こし易い。このため、第２の原板４８ｂの画像の位置変動を予測し、金属薄板１のサイズに比して全体画像の比較的小さいパターンしかレジスト膜に焼き付けることができない、といった問題点がある。また、原板４８ａ、４８ｂと金属薄板１の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除する操作を行っても、下側の第２の原板４８ｂが金属薄板１の主面上のレジスト膜に密着したままで、第２の原板４８ｂが金属薄板１と一緒に大きく動いてしまうことがあり、このような場合には焼付け工程の生産ラインが停止してしまう、といった問題点がある。
【０００７】
また、ゴムパッキン４６ａ、４６ｂは、枠体４０の上面の取付け面４４ａ、４４ｂに接着剤で接着して固定するようにしていた。そして、ゴムパッキン４６ａ、４６ｂが紫外線や熱などによって劣化した場合には、カッター等を使用してゴムパッキン４６ａ、４６ｂをその下端面の接合部分で枠体４０の取付け面４４ａ、４４ｂから切り離し、新しいゴムパッキン４６ａ、４６ｂを再び接着剤で枠体４０の取付け面４４ａ、４４ｂに接着して固定するようにしていた。このため、カッター等を使用してゴムパッキン４６ａ、４６ｂを切り取った際に、枠体４０の取付け面４４ａ、４４ｂにゴムパッキン４６ａ、４６ｂの一部のゴムが残ったり、枠体４０の一部まで削り取られたりして、枠体４０の取付け面４４ａ、４４ｂに凹凸を生じ、その取付け面４４ａ、４４ｂに新しいゴムパッキン４６ａ、４６ｂを再び接着剤で接着すると、ゴムパッキン４６ａ、４６ｂの上端部が波打つ、といったことが起こる。また、枠体４０の取付け面４４ａ、４４ｂに塗布する接着剤の量の多少やゴムパッキン４６ａ、４６ｂの位置（特にコーナー部分）により、ゴムパッキン４６ａ、４６ｂの上端部の波打ちが大きくなる、といったこともある。この結果、真空密着の操作時において、原板４８ａ、４８ｂと金属薄板１の両主面上のレジスト膜との密着不良を起こしたり、原板４８ａ、４８ｂが変形して大孔側パターンと小孔側パターンとのアライメントにずれを生じたりして、焼付け品質が低下する、といった問題点がある。
【０００８】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、金属薄板の下方側に配設された枠体の上面に固定された一対のパッキンの上端部が上・下の原板の下面側周縁部にそれぞれ気密に当接して、パッキンにより原板を支持し、上・下の原板、一対のパッキンおよび枠体で囲まれる空間を減圧して、上・下の原板を金属薄板の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させ、各レジスト膜に所定のパターンをそれぞれ焼き付ける場合において、原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着状態の解除時などの振動により原板が移動して位置ずれを起こす、といったことを防止し、金属薄板のサイズに対して可及的に全体画像の大きいパターンをレジスト膜に焼き付けることができ、また、原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着状態を解除する操作を行っても原板がレジスト膜に密着したままになって、原板が金属薄板と一緒に大きく動いて焼付け工程の生産ラインが停止する、といったことが起こらないようにすることができる金属薄板の両面焼付け装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、上記事項に加えて、パッキンを取り替えた際に、新しく枠体に固定されたパッキンの上端部が波打つ、といったことを無くし、真空密着の操作時において原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着不良を起こしたり原板が変形してパターンのアライメントにずれを生じたりする、といったことを防止して、焼付け品質を保持することができる金属薄板の両面焼付け装置を提供することを目的とする。
【００１１】
請求項１に係る発明は、それぞれレジスト膜が形成された金属薄板の両主面に対向して配設された光照射手段と、前記金属薄板の下方側に、金属薄板に近接して配設された枠体と、弾性材料で形成され、前記枠体の上面に固定され、上端部が、前記金属薄板の上側の主面上のレジスト膜に密着させられる所定パターンの第１の原板の下面側周縁部および金属薄板に気密に当接し、その上端部全周にわたり、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成され、第１の原板を支持する無端状の第１のパッキンと、弾性材料で形成され、前記枠体の上面に、前記第１のパッキンの内側に配置されて固定され、上端部が全周にわたって長手方向と直交する方向において中央部が凹んだ上向き凹面形状に形成され、その上端部が、前記第１の原板より面積が小さくて前記金属薄板の下側の主面上のレジスト膜に密着させられる所定パターンの第２の原板の下面側周縁部に気密に当接し、前記上向き凹面形状が平面状に変形して第２の原板の下面に面状に接触し吸着して、第２の原板を支持する無端状の第２のパッキンと、前記第１の原板、第２の原板、第１のパッキン、第２のパッキンおよび枠体で囲まれる空間を減圧して、第１の原板および第２の原板を金属薄板の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させる減圧手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の両面焼付け装置において、枠体の上面に、無端状の第１の周回溝、および、この第１の周回溝の内側に配置された無端状の第２の周回溝をそれぞれ形成するとともに、第１のパッキンの下端面および第２のパッキンの下端面に、長手方向に沿って前記第１の周回溝および第２の周回溝に嵌入する無端状の周回凸部をそれぞれ形設し、前記第１のパッキンの下端面の周回凸部および第２のパッキンの下端面の周回凸部を前記枠体の上面の第１の周回溝および第２の周回溝にそれぞれ嵌脱自在に嵌着して、第１のパッキンおよび第２のパッキンをそれぞれ枠体に固定したことを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の両面焼付け装置において、第１のパッキンの下端面の周回凸部および第２のパッキンの下端面の周回凸部を枠体の上面の第１の周回溝および第２の周回溝にそれぞれ圧入したことを特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の両面焼付け装置において、枠体の上面を、外側の第１の取付け面およびこの第１の取付け面より低くされた内側の第２の取付け面からなる段付き面に形成し、前記第１の取付け面に第１のパッキンを固定するとともに前記第２の取付け面に第２のパッキンを固定したことを特徴とする。
【００１５】
請求項１に係る発明の両面焼付け装置においては、枠体の上面に固定され第２の原板の下面側周縁部に気密に当接して第２の原板を支持する第２のパッキンの上端部が、その全周にわたり、長手方向と直交する方向において中央部が凹んだ上向き凹面形状に形成されており、第２のパッキンは弾性材料で形成されているので、第２のパッキンの上端部が第２の原板の下面側周縁部に当接して、第２のパッキンに第２の原板の荷重がかかると、第２のパッキンの上端部は、上向き凹面形状が平面状に変形して、第２の原板の下面に面状に接触するとともに真空吸着する。このため、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除した時などの振動によっても、第２の原板が枠体および第２のパッキンに対し移動して位置ずれを起こすことが無くなる。また、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除する操作を行った際に、第２の原板は、第２のパッキンに強い力で吸着されているので、金属薄板の主面上のレジスト膜に密着したままで金属薄板と一緒に大きく動いてしまう、といったことが防止される。
【００１６】
さらに、請求項１に係る発明の両面焼付け装置では、枠体の上面に固定され第１の原板の下面側周縁部に気密に当接して第１の原板を支持する第１のパッキンの上端部が、その全周にわたり、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成されており、第１のパッキンは弾性材料で形成されているので、第１の原板、第２の原板、第１のパッキン、第２のパッキンおよび枠体で囲まれる空間を簡易に密閉し、減圧手段によって減圧すると、第１のパッキンの上端部は、前記空間の内圧の低下に従ってより一層強い力で第１の原板の下面および金属薄板の下面に密着することになる。このため、第１のパッキンの上端部と第１の原板の下面および金属薄板の下面との密着部分を通って外部から前記空間内へ外気が侵入する可能性が無く、第１の原板および第２の原板を金属薄板の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させる操作が良好に行われる。また、第１のパッキンの上端部が、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成されているので、レジスト膜へのパターンの焼付け終了後において、前記空間へ圧縮空気を吹き込むなどして減圧状態を解除した際に、第１のパッキンの上端部と第１の原板の下面および金属薄板の下面との接触部分を通って前記空間から外部へ空気が抜け易くなり、また、第１の原板の下面および金属薄板の下面が第１のパッキンから離脱し易い。このため、第１の原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着状態の解除が速やかに行われる。
【００１７】
請求項２に係る発明の両面焼付け装置においては、紫外線や熱などによって劣化したパッキンを新しいパッキンと取り替える場合、劣化したパッキンは、その下端面の周回凸部を枠体の上面の周回溝から抜き出すことにより、枠体の上面から取り外され、また、新しいパッキンは、その下端面の周回凸部を枠体の上面の周回溝に嵌入することにより、枠体の上面に固定される。したがって、従来のように、枠体の上面にパッキンの一部が残ったり枠体の一部まで削り取られたりして、枠体の上面に凹凸を生じる、といったことが無くなる。したがって、枠体の上面に固定された新しいパッキンの上端部が波打つ、といったことは起こらない。また、枠体の上面に塗布する接着剤の量の多少やパッキンの位置によってパッキンの上端部の波打ちが大きくなる、といったことも無い。このため、真空密着の操作時において、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜との密着不良を起こしたり原板が変形してパターンのアライメントにずれを生じたりして焼付け品質が低下する、といった心配が無くなる。
【００１８】
請求項３に係る発明の両面焼付け装置では、パッキンの下端面の周回凸部を枠体の上面の周回溝に圧入することにより、パッキンが枠体の上面に確実に固定される。
【００１９】
請求項４に係る発明の両面焼付け装置では、金属薄板の下面側に配置される第２の原板を支持する第２のパッキンが、枠体の段付き面のうちの第２の取付け面に固定され、金属薄板の上面側に配置される第１の原板を支持する第１のパッキンが、枠体の段付き面のうちの、第２の取付け面より高くされた第１の取付け面に固定されるので、第１のパッキンの高さ寸法を第２のパッキンの高さ寸法に比べて大きくしなくてもよい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図４を参照しながら説明する。
【００２１】
図１および図２は、この発明の１実施形態を示し、金属薄板の両面焼付け装置における焼付け部の構成を示す部分拡大縦断面図であって、図１は、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜とが密着していない状態を、図２は、原板が金属薄板の両主面上のレジスト膜に真空密着した状態をそれぞれ示す。この両面焼付け装置が従来の両面焼付け装置と大きく異なるのは、原板に気密に当接して原板を支持するパッキンの構成であり、それ以外の構成については、上述した従来の両面焼付け装置とほぼ同様であるので、重複するような説明を省略する。
【００２２】
この両面焼付け装置における焼付け部には、従来の装置と同様に、金属薄板１の下方側にそれと近接して矩形状の枠体１０が配設されており、枠体１０には、図示しない下方側のランプから照射された光を通過させるための開口部１２が形成されている。また、枠体１０の上面は、段付き面に形成されていて、外側の第１の取付け面１４ａの方が内側の第２の取付け面１４ｂより高くなるようにされている。第１の取付け面１４ａの上面に固定されるパッキンは、弾性材料、例えばゴム材で形成されたゴムパッキン１６ａであり、平面形状が矩形無端状をなしている。また、第２の取付け面１４ｂの上面に固定されるパッキンは、弾性材料、例えばゴム材で形成されたゴムパッキン１６ｂであり、平面形状がゴムパッキン１６ａより小形の矩形無端状をなしている。
【００２３】
第１のゴムパッキン１６ａの上端部は、その全周にわたり、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成されている。一方、第２のゴムパッキン１６ｂの上端部は、その全周にわたり、長手方向と直交する方向において中央部が凹んだ上向き凹面形状に形成されている。また、それぞれのゴムパッキン１６ａ、１６ｂの下端面には、長手方向に沿って無端状の周回凸部１８ａ、１８ｂが形設されている。一方、枠体１０の上面の第１の取付け面１４ａおよび第２の取付け面１４ｂには、ゴムパッキン１６ａ、１６ｂの下端面の周回凸部１８ａ、１８ｂが嵌入する無端状の第１の周回溝２０ａおよび第２の周回溝２０ｂがそれぞれ形成されている。そして、第１のゴムパッキン１６ａの周回凸部１８ａおよび第２のゴムパッキン１６ｂの周回凸部１８ｂが、枠体１０の第１の取付け面１４ａの第１の周回溝２０ａおよび第２の取付け面１４ｂの第２の周回溝２０ｂにそれぞれ嵌着されることにより、第１のゴムパッキン１６ａおよび第２のゴムパッキン１６ｂがそれぞれ枠体１０に固定されるようになっている。
【００２４】
第１のゴムパッキン１６ａおよび第２のゴムパッキン１６ｂは、それぞれの下端面の周回凸部１８ａ、１８ｂが枠体１０の第１の周回溝２０ａおよび第２の周回溝２０ｂに嵌入および抜脱可能となっていることにより、紫外線や熱などによって劣化したゴムパッキンを新しいものと容易に取り替えることができるようにされている。新しいゴムパッキン１６ａ、１６ｂを枠体１０に固定する際には、その下端面の周回凸部１８ａ、１８ｂを枠体１０の上面の周回溝２０ａ、２０ｂに圧入するようにし、これにより、ゴムパッキン１６ａ、１６ｂは枠体１０の上面に確実に固定されることになる。
【００２５】
上記したような構成のゴムパッキン１６ａ、１６ｂが枠体１０に固定された両面焼付け装置においては、図１に示すように、第１のゴムパッキン１６ａの上端部が第１の原板２２ａの下面側周縁部および金属薄板１に気密に当接して、第１のゴムパッキン１６ａにより第１の原板２２ａが支持されるとともに、第２のゴムパッキン１６ｂの上端部が第２の原板２２ｂの下面側周縁部に気密に当接して、第２のゴムパッキン１６ｂにより第２の原板２２ｂが支持される。この際、第２のゴムパッキン１６ｂに第２の原板２２ｂの荷重がかかると、図２に示すように、第２のゴムパッキン１６ｂの上端部は、上向き凹面形状が平面状に変形して、第２の原板２２ｂの下面に面状に接触するとともに真空吸着する。この状態で、第１の原板２２ａの下面、第２の原板２２ｂの上面、第１のゴムパッキン１６ａの内側面、第２のゴムパッキン１６ｂの外側面および枠体１０の上面で囲まれた空間を、図示しない真空排気ポンプにより真空排気して減圧すると、第１の原板２２ａおよび第２の原板２２ｂが金属薄板１の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着する。この際、第１のゴムパッキン１６ａの上端部は、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成されているため、前記空間の内圧の低下に従ってより一層強い力で第１の原板２２ａの下面および金属薄板１の下面に密着することになり、第１の原板２２ａおよび第２の原板２２ｂを金属薄板１の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させる操作が良好に行われることとなる。
【００２６】
レジスト膜へのパターンの焼付けが終了すると、前記空間へ圧縮空気を吹き込んで、第１の原板２２ａおよび第２の原板２２ｂと金属薄板１の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除させる。この密着状態の解除時に振動を生じることがあっても、上記したように第２のゴムパッキン１６ｂの上端部は第２の原板２２ｂの下面に面状に接触するとともに真空吸着しているので、第２の原板２２ｂが枠体１０および第２のゴムパッキン１６ｂに対し移動して位置ずれを起こす心配が無い。また、第１のゴムパッキン１６ａの上端部は、上記したような形状であるため、前記空間へ圧縮空気を吹き込んで減圧状態を解除した際に、第１のゴムパッキン１６ａの上端部と第１の原板２２ａの下面および金属薄板１の下面との接触部分を通って前記空間から外部へ空気が抜け易くなり、また、第１の原板２２ａの下面および金属薄板１の下面が第１のゴムパッキン１６ａから離脱し易い。このため、第１の原板２２ａと金属薄板１の主面上のレジスト膜との密着状態の
解除が速やかに行われることとなる。また、第２の原板２２ｂは、第２のゴムパッキン１６ｂに強い力で吸着されているので、金属薄板１がその長手方向へ搬送された際に、第２の原板２２ｂが金属薄板１の主面上のレジスト膜に密着したままで金属薄板１と一緒に大きく動いてしまう、といった心配が無い。
【００２７】
なお、上記した実施形態では、枠体１０の上面を段付き面に形成したが、図３に示したように、枠体２４の上面を単なる平面に形成して、枠体２４の上面の外側に第１のゴムパッキン２６ａを固定し、その第１のゴムパッキン２６ａの内側に第２のゴムパッキン２６ｂを固定するようにしてもよい。この場合には、第１のゴムパッキン２６ａの高さ寸法を第２のゴムパッキン２６ｂの高さ寸法より大きくする必要がある。
【００２８】
また、上記した実施形態では、ゴムパッキン１６ａ、１６ｂの周回凸部１８ａ、１８ｂを、枠体１０の上面の周回溝２０ａ、２０ｂに嵌着されることにより、ゴムパッキン１６ａ、１６ｂを枠体１０に固定するようにしたが、それほど問題にならなければ、図４に示すように、枠体２８の上面に第１のゴムパッキン３０ａおよび第２のゴムパッキン３０ｂを接着剤などで接着して固定するようにしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の金属薄板の両面焼付け装置を使用したときは、金属薄板の下方側に配設された枠体の上面に固定された一対のパッキンにより上・下の原板を支持し、パッキンの上端部が上・下の原板の下面側周縁部にそれぞれ気密に当接した状態で、上・下の原板、一対のパッキンおよび枠体で囲まれる空間を減圧して、上・下の原板を金属薄板の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させ、各レジスト膜に所定のパターンをそれぞれ焼き付けると、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜との密着状態の解除時などの振動によっても、原板が移動して位置ずれを起こすことが無くなるので、金属薄板のサイズに対して可及的に全体画像の大きいパターンをレジスト膜に焼き付けることができることとなる。また、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜との密着状態を解除する操作を行った際に、原板が金属薄板の主面上のレジスト膜に密着したままで金属薄板と一緒に大きく動いてしまう、といったことが防止されるので、焼付け工程の生産ラインが停止して生産効率が悪くなる、といったことが無くなる。
【００３０】
さらに、請求項１に係る発明の両面焼付け装置を使用したときは、原板を金属薄板の主面上のレジスト膜に真空密着させる操作を良好に行うことができ、また、レジスト膜へのパターンの焼付け終了後において減圧状態を解除した際に、原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着状態の解除を速やかに行うことができる。
【００３１】
請求項２に係る発明の両面焼付け装置においては、パッキンを取り替えた際に、新しく枠体に固定されたパッキンの上端部が波打つ、といったことを無くなるので、真空密着の操作時において原板と金属薄板の主面上のレジスト膜との密着不良を起こしたり原板が変形してパターンのアライメントにずれを生じたりする、といったことを防止して、焼付け品質を保持することができる。
【００３２】
請求項３に係る発明の両面焼付け装置では、パッキンの下端面の周回凸部を枠体の上面の周回溝に圧入することにより、パッキンを枠体の上面に確実に固定させることができる。
【００３３】
請求項４に係る発明の両面焼付け装置では、第１のパッキンの高さ寸法を第２のパッキンの高さ寸法に比べて大きくしなくてもよくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の１実施形態を示し、金属薄板の両面焼付け装置における焼付け部の構成を示す部分拡大縦断面図であって、原板と金属薄板の両主面上のレジスト膜とが密着していない状態を示す図である。
【図２】同じく、原板が金属薄板の両主面上のレジスト膜に真空密着した状態を示す図である。
【図３】この発明の別の実施形態を示し、金属薄板の両面焼付け装置における焼付け部の構成を示す部分拡大縦断面図である。
【図４】この発明のさらに別の実施形態を示し、金属薄板の両面焼付け装置における焼付け部の構成を示す部分拡大縦断面図である。
【図５】金属薄板の両面焼付け装置の概略構成を示す模式図である。
【図６】従来の金属薄板の両面焼付け装置における焼付け部の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１ 金属薄板
１０、２４、２８ 枠体
１２ 枠体の開口部
１４ａ 枠体の第１の取付け面
１４ｂ 枠体の第２の取付け面
１６ａ、２６ａ、３０ａ 第１のゴムパッキン
１６ｂ、２６ｂ、３０ｂ 第２のゴムパッキン
１８ａ 第１のゴムパッキンの周回凸部
１８ｂ 第２のゴムパッキンの周回凸部
２０ａ 第１の周回溝
２０ｂ 第２の周回溝
２２ａ 第１の原板
２２ｂ 第２の原板

Claims (4)

1. それぞれレジスト膜が形成された金属薄板の両主面に対向して配設された光照射手段と、
   前記金属薄板の下方側に、金属薄板に近接して配設された枠体と、
   弾性材料で形成され、前記枠体の上面に固定され、上端部が、前記金属薄板の上側の主面上のレジスト膜に密着させられる所定パターンの第１の原板の下面側周縁部および金属薄板に気密に当接し、その上端部全周にわたり、長手方向と直交する方向において上方に向かって次第に薄肉となりかつ上端面が外向きに上方へ傾斜した形状に形成され、第１の原板を支持する無端状の第１のパッキンと、
   弾性材料で形成され、前記枠体の上面に、前記第１のパッキンの内側に配置されて固定され、上端部が全周にわたって長手方向と直交する方向において中央部が凹んだ上向き凹面形状に形成され、その上端部が、前記第１の原板より面積が小さくて前記金属薄板の下側の主面上のレジスト膜に密着させられる所定パターンの第２の原板の下面側周縁部に気密に当接し、前記上向き凹面形状が平面状に変形して第２の原板の下面に面状に接触し吸着して、第２の原板を支持する無端状の第２のパッキンと、
   前記第１の原板、第２の原板、第１のパッキン、第２のパッキンおよび枠体で囲まれる空間を減圧して、第１の原板および第２の原板を金属薄板の両主面上のレジスト膜にそれぞれ真空密着させる減圧手段と、
   を備えたことを特徴とする金属薄板の両面焼付け装置。
2. 枠体の上面に、無端状の第１の周回溝、および、この第１の周回溝の内側に配置された無端状の第２の周回溝がそれぞれ形成されるとともに、第１のパッキンの下端面および第２のパッキンの下端面に、長手方向に沿って前記第１の周回溝および第２の周回溝に嵌入する無端状の周回凸部がそれぞれ形設され、前記第１のパッキンの下端面の周回凸部および第２のパッキンの下端面の周回凸部が前記枠体の上面の第１の周回溝および第２の周回溝にそれぞれ嵌脱自在に嵌着されて、第１のパッキンおよび第２のパッキンがそれぞれ枠体に固定された請求項１記載の金属薄板の両面焼付け装置。
3. 第１のパッキンの下端面の周回凸部および第２のパッキンの下端面の周回凸部が枠体の上面の第１の周回溝および第２の周回溝にそれぞれ圧入された請求項２記載の金属薄板の両面焼付け装置。
4. 枠体の上面が、外側の第１の取付け面およびこの第１の取付け面より低くされた内側の第２の取付け面からなる段付き面に形成され、前記第１の取付け面に第１のパッキンが固定されるとともに前記第２の取付け面に第２のパッキンが固定された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の金属薄板の両面焼付け装置。

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