JPH11160886A - 露光プリンター用焼枠 - Google Patents
露光プリンター用焼枠Info
- Publication number
- JPH11160886A JPH11160886A JP9321311A JP32131197A JPH11160886A JP H11160886 A JPH11160886 A JP H11160886A JP 9321311 A JP9321311 A JP 9321311A JP 32131197 A JP32131197 A JP 32131197A JP H11160886 A JPH11160886 A JP H11160886A
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- Japan
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- plate
- frame
- substrate
- printing frame
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】多種サイズ・板厚の基板に対して基板とマスク
フィルムとを均一に密着させ露光解像度を上げ、高精度
かつ鮮明な露光パターンを得る露光プリンター用焼枠を
提供する。 【解決手段】ガラス板１の周囲に密閉状態で、かつその
中に気体または液体３が封入されたキルテイングマイラ
ーフィルム２からなる下焼枠板５と、周辺に真空溝８と
真空用穴７を有する透明アクリル板６からなる上焼枠板
９とから構成される露光プリンター用焼枠。
フィルムとを均一に密着させ露光解像度を上げ、高精度
かつ鮮明な露光パターンを得る露光プリンター用焼枠を
提供する。 【解決手段】ガラス板１の周囲に密閉状態で、かつその
中に気体または液体３が封入されたキルテイングマイラ
ーフィルム２からなる下焼枠板５と、周辺に真空溝８と
真空用穴７を有する透明アクリル板６からなる上焼枠板
９とから構成される露光プリンター用焼枠。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は印刷配線板の露光プ
リンター用焼枠に関し、特にマスクフィルムと印刷配線
板の基板とを密着露光するための露光プリンター用焼枠
に関するものである。
リンター用焼枠に関し、特にマスクフィルムと印刷配線
板の基板とを密着露光するための露光プリンター用焼枠
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の印刷配線板の露光プリンター用焼
枠としては、ガラス板またはアクリル等の樹脂板の２枚
の組み合わせの焼枠が使用され、これらの板で基板とマ
スクフィルムを挟み込み真空引きまたは押圧によって全
体の密着を行い、露光するのが一般的である。
枠としては、ガラス板またはアクリル等の樹脂板の２枚
の組み合わせの焼枠が使用され、これらの板で基板とマ
スクフィルムを挟み込み真空引きまたは押圧によって全
体の密着を行い、露光するのが一般的である。
【０００３】図５は特開平５−５３３２０号公報に開示
された露光プリンター用焼枠の第１の従来例である。こ
の焼枠は、下焼枠板５と上焼枠板９から構成される。下
焼枠板５は、その片面の周囲に環状真空パッキン４が取
り付けられ、その内側に真空用穴７が加工されたガラス
板１からなる構成され、また上焼枠板９は、基板２０と
マスクフィルム２１を密着させるための押圧機能を有す
る矩形枠状に形成した押圧フレーム２２と押圧フレーム
２２の上面に設けられた遮光板２３と押圧フレーム２２
の下面に設けられたキルテイングマイラー枠２４と該キ
ルテイングマイラー枠２４にフィルム押さえ２５により
張設したキルテイングマイラーフィルム２とこのキルテ
イングマイラーフィルム２との間収納され、可撓性の袋
状の表皮３０と該表皮３０内に気体３１を封入した多数
のクッション材２９と遮光板２３のネジ部２７に繋合し
た押さえ圧調整ネジ２６と該押さえ圧調整ネジ２６の先
端に取り付けられた押圧板２８から構成されている。
された露光プリンター用焼枠の第１の従来例である。こ
の焼枠は、下焼枠板５と上焼枠板９から構成される。下
焼枠板５は、その片面の周囲に環状真空パッキン４が取
り付けられ、その内側に真空用穴７が加工されたガラス
板１からなる構成され、また上焼枠板９は、基板２０と
マスクフィルム２１を密着させるための押圧機能を有す
る矩形枠状に形成した押圧フレーム２２と押圧フレーム
２２の上面に設けられた遮光板２３と押圧フレーム２２
の下面に設けられたキルテイングマイラー枠２４と該キ
ルテイングマイラー枠２４にフィルム押さえ２５により
張設したキルテイングマイラーフィルム２とこのキルテ
イングマイラーフィルム２との間収納され、可撓性の袋
状の表皮３０と該表皮３０内に気体３１を封入した多数
のクッション材２９と遮光板２３のネジ部２７に繋合し
た押さえ圧調整ネジ２６と該押さえ圧調整ネジ２６の先
端に取り付けられた押圧板２８から構成されている。
【０００４】押圧板２８は押さえ圧調整ネジ２６によっ
て上下動できるようになっている。該キルテイングマイ
ラーフィルム２は、表面に微小な凹凸を設けたものであ
って可撓性を有し、またクッション材２９は、基板２０
の凹凸形状に追従し変形が可能で、かつ気体３１はこの
変形に伴って流動し内圧を高めることができるものであ
る。
て上下動できるようになっている。該キルテイングマイ
ラーフィルム２は、表面に微小な凹凸を設けたものであ
って可撓性を有し、またクッション材２９は、基板２０
の凹凸形状に追従し変形が可能で、かつ気体３１はこの
変形に伴って流動し内圧を高めることができるものであ
る。
【０００５】下焼枠板５の上の環状真空パッキン４の内
側に基板２０とマスクフィルム２１を重ねてセットし、
上焼枠板９を上から閉じて挟み込み、上記上焼枠板９の
押圧機構により基板２０とマスクフィルム２１を押圧す
る。そして真空用穴７を介して外部より真空ポンプ等に
より真空引きを行い基板２０とマスクフィルム２１を密
着させ露光可能な状態をつくり出している。
側に基板２０とマスクフィルム２１を重ねてセットし、
上焼枠板９を上から閉じて挟み込み、上記上焼枠板９の
押圧機構により基板２０とマスクフィルム２１を押圧す
る。そして真空用穴７を介して外部より真空ポンプ等に
より真空引きを行い基板２０とマスクフィルム２１を密
着させ露光可能な状態をつくり出している。
【０００６】また、特開平４‐３０７５５２号公報に
は、図６（平断面図）、図７（側断面図）に示すような
露光プリンター用焼枠（第２の従来例）が開示されてい
る。この焼枠は、その周縁部に吸着用穴７が設けられ、
その外側表面に環状真空パッキン４とその内側表面にス
ペーサー３７が設けられた透明板の露光ステージ３２と
から構成された下焼枠板と、基板２０を露光ステージ３
２上に密着させるための吸着枠３３と基板２０を真空吸
着するための吸着板３４と、該吸着板３４に装着した凹
凸の吸着面３５を有する通気性のゴムシート３６から構
成された上焼枠板とから構成されている。 この焼枠を
使用し露光する場合には、基板２０全面が隙間無くマス
クフィルム２１に密着することができるというものであ
る。
は、図６（平断面図）、図７（側断面図）に示すような
露光プリンター用焼枠（第２の従来例）が開示されてい
る。この焼枠は、その周縁部に吸着用穴７が設けられ、
その外側表面に環状真空パッキン４とその内側表面にス
ペーサー３７が設けられた透明板の露光ステージ３２と
から構成された下焼枠板と、基板２０を露光ステージ３
２上に密着させるための吸着枠３３と基板２０を真空吸
着するための吸着板３４と、該吸着板３４に装着した凹
凸の吸着面３５を有する通気性のゴムシート３６から構
成された上焼枠板とから構成されている。 この焼枠を
使用し露光する場合には、基板２０全面が隙間無くマス
クフィルム２１に密着することができるというものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
いずれも多種のサイズ、厚さの基板に適用した場合、ク
ッション材に封入される気体の動きには制約があった
り、またはゴムシートの硬度が一定であることにより基
板の板厚に充分追従しきれない。つまり、全ての基板に
対し、基板の露光面において均一な密着を得ることがで
きないため、正確な露光が行えない問題がある。
いずれも多種のサイズ、厚さの基板に適用した場合、ク
ッション材に封入される気体の動きには制約があった
り、またはゴムシートの硬度が一定であることにより基
板の板厚に充分追従しきれない。つまり、全ての基板に
対し、基板の露光面において均一な密着を得ることがで
きないため、正確な露光が行えない問題がある。
【０００８】理由は、上記のような焼枠に多種のサイ
ズ、板厚の基板を１枚もしくは複数セットした場合、基
板のサイズと焼枠内の基板セット可能範囲との大きさに
差が生じ、この差が大きくなると、外部から押圧した際
または焼枠内の真空引きを行った際、露光面であるガラ
スまたは樹脂製の透明板に対する基板または基板の凹凸
を吸収するクッション材（ゴムシートを含む）からの圧
力が均一にならないためにガラスまたは樹脂製の透明板
に反りが生じて基板とマスクフィルムとの間に隙間がで
きることによる。
ズ、板厚の基板を１枚もしくは複数セットした場合、基
板のサイズと焼枠内の基板セット可能範囲との大きさに
差が生じ、この差が大きくなると、外部から押圧した際
または焼枠内の真空引きを行った際、露光面であるガラ
スまたは樹脂製の透明板に対する基板または基板の凹凸
を吸収するクッション材（ゴムシートを含む）からの圧
力が均一にならないためにガラスまたは樹脂製の透明板
に反りが生じて基板とマスクフィルムとの間に隙間がで
きることによる。
【０００９】本発明は、かかる従来技術の問題点を解決
した基板とマスクフィルムとを均一に密着させ、露光解
像度を上げ、高精度かつ鮮明な露光パターンを得ること
ができる露光用焼枠を提供することを目的とする。
した基板とマスクフィルムとを均一に密着させ、露光解
像度を上げ、高精度かつ鮮明な露光パターンを得ること
ができる露光用焼枠を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の露光プリンター
用焼枠は、ガラス板または樹脂製の透明板とその周辺部
に周囲に密閉状態となるように取り付けられ、かつその
中に気体または液体が封入された軟質性樹脂膜とからな
る下焼枠板と、基板セット面の周辺部に真空用穴と真空
用溝を設けた樹脂製の透明板からなる上焼枠板とから構
成される。
用焼枠は、ガラス板または樹脂製の透明板とその周辺部
に周囲に密閉状態となるように取り付けられ、かつその
中に気体または液体が封入された軟質性樹脂膜とからな
る下焼枠板と、基板セット面の周辺部に真空用穴と真空
用溝を設けた樹脂製の透明板からなる上焼枠板とから構
成される。
【００１１】前記軟質性樹脂膜は前記下焼枠板のガラス
板または樹脂製の透明板に方眼状に密閉固定してもよ
い。
板または樹脂製の透明板に方眼状に密閉固定してもよ
い。
【００１２】本発明の露光プリンター用焼枠では、基板
とマスクフィルムセットし、真空引きを行うと、本焼枠
内の真空の度合いが上がると共に、前記軟質性樹脂膜内
部の圧力が上がり、基板表面と基板がセットされていな
い焼枠内の部分に均一な圧力となるように前記軟質性樹
脂膜が変形できるため、基板とマスクフィルムとの間に
隙間や圧力の差異が発生せず、鮮明かつ高精度な露光パ
ターンを得ることができる効果が得られる。
とマスクフィルムセットし、真空引きを行うと、本焼枠
内の真空の度合いが上がると共に、前記軟質性樹脂膜内
部の圧力が上がり、基板表面と基板がセットされていな
い焼枠内の部分に均一な圧力となるように前記軟質性樹
脂膜が変形できるため、基板とマスクフィルムとの間に
隙間や圧力の差異が発生せず、鮮明かつ高精度な露光パ
ターンを得ることができる効果が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図１
および図２を参照して説明する。図１は本発明の第１の
実施の形態の露光プリンター用焼枠の概略構造を示す基
板セット面の平面図で、（ａ）は下焼枠板、（ｂ）は上
焼枠板の平面図である。図２は図１の焼枠に基板とマス
クフィルムをセットしたときの全体の構成を示す断面図
である。
および図２を参照して説明する。図１は本発明の第１の
実施の形態の露光プリンター用焼枠の概略構造を示す基
板セット面の平面図で、（ａ）は下焼枠板、（ｂ）は上
焼枠板の平面図である。図２は図１の焼枠に基板とマス
クフィルムをセットしたときの全体の構成を示す断面図
である。
【００１４】下焼枠板５は、図１（ａ）に示すようにガ
ラス板１とこれに対して周囲が密着状態となるように取
り付けられた表面に０．１ｍｍの凹凸を有する厚さ０．
２ｍｍの透明なポリエステル製等の軟質性樹脂膜のキル
テイングマイラーフィルム２と、ガラス板１とキルテイ
ングマイラーフィルム２との間に封入されたそれらの間
を自由に移動することが可能な気体または液体３と、キ
ルテイングマイラーフィルム２の周りのガラス板１上に
設けられたウレタンゴムやニトリルゴム製等の環状真空
パッキン４とから構成される。
ラス板１とこれに対して周囲が密着状態となるように取
り付けられた表面に０．１ｍｍの凹凸を有する厚さ０．
２ｍｍの透明なポリエステル製等の軟質性樹脂膜のキル
テイングマイラーフィルム２と、ガラス板１とキルテイ
ングマイラーフィルム２との間に封入されたそれらの間
を自由に移動することが可能な気体または液体３と、キ
ルテイングマイラーフィルム２の周りのガラス板１上に
設けられたウレタンゴムやニトリルゴム製等の環状真空
パッキン４とから構成される。
【００１５】上焼枠板９は、図１（ｂ）に示すように周
辺部に真空用穴７と真空用溝８を設けた厚さ約５ｍｍの
透明アクリル板６から構成される。
辺部に真空用穴７と真空用溝８を設けた厚さ約５ｍｍの
透明アクリル板６から構成される。
【００１６】特に封入される気体または液体３は、常温
においてまたは露光を繰り返したときの熱によって化学
反応がなく気化・液化したりしないもので、窒素、二酸
化炭素、水、シリコンオイル等を適用することができ
る。
においてまたは露光を繰り返したときの熱によって化学
反応がなく気化・液化したりしないもので、窒素、二酸
化炭素、水、シリコンオイル等を適用することができ
る。
【００１７】次に図２を参照して基板のセット方法を説
明する。まず、ガラス板１上で気体または液体３を封入
したキルテイングマイラーフィルム２上のうち基板の形
状や厚さに対してキルテイングマイラーフィルム２が十
分に可動できる範囲を基板セット有効範囲とする。例え
は、この基板セット有効範囲が６００ｍｍ×７００ｍｍ
である下焼枠板５に対して、５００ｍｍ×６００ｍｍ、
厚さ １．６ｍｍの基板と、該基板２０と露光したい位
置に重ね合わせた５２０ｍｍ×６２０ｍｍ、厚さ１８０
μｍのマスクフィルム２１を、基板セット有効範囲にセ
ットする。
明する。まず、ガラス板１上で気体または液体３を封入
したキルテイングマイラーフィルム２上のうち基板の形
状や厚さに対してキルテイングマイラーフィルム２が十
分に可動できる範囲を基板セット有効範囲とする。例え
は、この基板セット有効範囲が６００ｍｍ×７００ｍｍ
である下焼枠板５に対して、５００ｍｍ×６００ｍｍ、
厚さ １．６ｍｍの基板と、該基板２０と露光したい位
置に重ね合わせた５２０ｍｍ×６２０ｍｍ、厚さ１８０
μｍのマスクフィルム２１を、基板セット有効範囲にセ
ットする。
【００１８】上焼枠板９を下焼枠板５の上より閉じ基板
２０とマスクフィルム２１を挟み込むようにして、外部
に接続した真空ポンプにより真空用穴７より焼枠内部の
真空引きを行う。このとき、環状真空パッキン４で囲ま
れた内側の空気は真空用溝８を通り効率よく真空用穴７
より排出される。焼枠内部は負圧となり、ガラス板１と
キルテイングマイラーフィルム２との間の気体または液
体３が焼枠内部での圧力が均一となるように移動し、基
板２０とマスクフィルム２１とを均一な圧力によって密
着させることができる。
２０とマスクフィルム２１を挟み込むようにして、外部
に接続した真空ポンプにより真空用穴７より焼枠内部の
真空引きを行う。このとき、環状真空パッキン４で囲ま
れた内側の空気は真空用溝８を通り効率よく真空用穴７
より排出される。焼枠内部は負圧となり、ガラス板１と
キルテイングマイラーフィルム２との間の気体または液
体３が焼枠内部での圧力が均一となるように移動し、基
板２０とマスクフィルム２１とを均一な圧力によって密
着させることができる。
【００１９】次に本発明の第２の実施の形態について図
３および図４を参照して説明する。図３は本発明の第２
の実施の形態の露光プリンター用焼枠の概略構造を示す
基板セット面の平面図で、（ａ）は下焼枠板、（ｂ）は
上焼枠板の平面図である。図４は図３の焼枠に基板とマ
スクフィルムをセットしたときの全体の構成を示す断面
図である。
３および図４を参照して説明する。図３は本発明の第２
の実施の形態の露光プリンター用焼枠の概略構造を示す
基板セット面の平面図で、（ａ）は下焼枠板、（ｂ）は
上焼枠板の平面図である。図４は図３の焼枠に基板とマ
スクフィルムをセットしたときの全体の構成を示す断面
図である。
【００２０】本実施の形態の焼枠の下焼枠板５は、図３
（ａ）に示すようにガラス板１とこれに対して周囲が密
着状態となるようにガラス板１面上に複数箇所に分けて
取り付けられたキルテイングマイラーフィルム２と、ガ
ラス板１とキルテイングマイラーフィルム２との間に封
入され自由に移動することができる気体または液体３
と、キルテイングマイラーフィルム２の周りのガラス板
１上に設けられた環状真空パッキン４とから構成され
る。
（ａ）に示すようにガラス板１とこれに対して周囲が密
着状態となるようにガラス板１面上に複数箇所に分けて
取り付けられたキルテイングマイラーフィルム２と、ガ
ラス板１とキルテイングマイラーフィルム２との間に封
入され自由に移動することができる気体または液体３
と、キルテイングマイラーフィルム２の周りのガラス板
１上に設けられた環状真空パッキン４とから構成され
る。
【００２１】上焼枠板９は、上記の第１の実施の形態の
焼枠と同じ構造で、図３（ｂ）に示すように周辺部に真
空用穴７と真空用溝８を設けた厚さ約５ｍｍの透明アク
リル板６から構成される。
焼枠と同じ構造で、図３（ｂ）に示すように周辺部に真
空用穴７と真空用溝８を設けた厚さ約５ｍｍの透明アク
リル板６から構成される。
【００２２】本発明の第２の実施の形態の焼枠は、ガラ
ス板１とキルテイングマイラーフィルム２の間に封入す
る気体または液体３の移動量を制限している点が上記第
１の実施の形態の焼枠とは異なっている。
ス板１とキルテイングマイラーフィルム２の間に封入す
る気体または液体３の移動量を制限している点が上記第
１の実施の形態の焼枠とは異なっている。
【００２３】図４に示すように基板２０を焼枠にセット
した場合、基板２０の形状や厚さに個々のキルテイング
マイラーフィルム２が追従しようとするが、ガラス板１
とキルテイングマイラーフィルム２の間の気体または液
体３が個々の範囲内でのみ移動できるもので、特に基板
製造の前工程で基板両面の板端が内側に比べて厚くなっ
たものに有効となる。
した場合、基板２０の形状や厚さに個々のキルテイング
マイラーフィルム２が追従しようとするが、ガラス板１
とキルテイングマイラーフィルム２の間の気体または液
体３が個々の範囲内でのみ移動できるもので、特に基板
製造の前工程で基板両面の板端が内側に比べて厚くなっ
たものに有効となる。
【００２４】第２の実施の形態においては、基板セット
有効範囲は、ガラス板１との間に自由に移動することが
可能な気体または液体３を封入したキルテイングマイラ
ーフィルム２の内、最も外周に取り付けられたキルテイ
ングマイラーフィルム２の部分について、基板２０の形
状や厚さに対して十分に可動できる範囲となる。
有効範囲は、ガラス板１との間に自由に移動することが
可能な気体または液体３を封入したキルテイングマイラ
ーフィルム２の内、最も外周に取り付けられたキルテイ
ングマイラーフィルム２の部分について、基板２０の形
状や厚さに対して十分に可動できる範囲となる。
【００２５】
【発明の効果】本発明の効果は、従来の露光プリンター
用焼枠に比較し鮮明かつ高精度な露光パターンを得るこ
とができる点である。
用焼枠に比較し鮮明かつ高精度な露光パターンを得るこ
とができる点である。
【００２６】その理由は、焼枠内にセットされたガラス
板または樹脂製の透明板とキルテイングマイラーフィル
ムのような軟質性樹脂膜との間に封入された気体または
液体は、上焼枠板と下焼枠板との間の真空引きによって
負圧状態となった空間に移動し、基板表面と基板がセッ
トされていない焼枠内の部分に均一な圧力で接するため
にガラスまたは樹脂製の透明板に反りが生ずることがな
く、基板とフィルムを均一に密着させて露光を行える状
態をつくることができるためである。
板または樹脂製の透明板とキルテイングマイラーフィル
ムのような軟質性樹脂膜との間に封入された気体または
液体は、上焼枠板と下焼枠板との間の真空引きによって
負圧状態となった空間に移動し、基板表面と基板がセッ
トされていない焼枠内の部分に均一な圧力で接するため
にガラスまたは樹脂製の透明板に反りが生ずることがな
く、基板とフィルムを均一に密着させて露光を行える状
態をつくることができるためである。
【図１】本発明の第１の実施の形態の露光プリンター用
焼枠の概略構造を示す基板セット面の平面図で、（ａ）
は下焼枠板、（ｂ）は上焼枠板の平面図である。
焼枠の概略構造を示す基板セット面の平面図で、（ａ）
は下焼枠板、（ｂ）は上焼枠板の平面図である。
【図２】図１の焼枠に基板とマスクフィルムをセットし
たときの全体の構成を示す断面図である。
たときの全体の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態の露光プリンター用
焼枠の概略構造を示す基板セット面の平面図で、（ａ）
は下焼枠板、（ｂ）は上焼枠板の平面図である。
焼枠の概略構造を示す基板セット面の平面図で、（ａ）
は下焼枠板、（ｂ）は上焼枠板の平面図である。
【図４】図３の焼枠に基板とマスクフィルムをセットし
たときの全体の構成を示す断面図である。
たときの全体の構成を示す断面図である。
【図５】第１の従来例の露光プリンター用焼枠の断面図
である。
である。
【図６】図５の露光プリンター用焼枠の正面図である。
【図７】第２の従来例の露光プリンター用焼枠の断面図
である。
である。
１ ガラス板 ２ キルテイングマイラーフィルム ３ 気体または液体 ４ 環状真空パッキン ５ 下焼枠板 ６ 透明アクリル板 ７ 真空用穴 ８ 真空用溝 ９ 上焼枠板 ２０ 基板 ２１ マスクフィルム ２２ 押圧フレーム ２３ 遮光板 ２４ キルテイングマイラー枠 ２５ フィルム押さえ ２６ 押さえ圧調整ネジ ２７ ネジ部 ２８ 押圧板 ２９ クッション材 ３０ 表皮 ３１ 気体 ３２ 露光ステージ ３３ 吸着枠 ３４ 吸着板 ３５ 吸着面 ３６ ゴムシート ３７ スペーサー
Claims (6)
- 【請求項１】 下焼枠板と上焼枠板の間に基板とマスク
フィルムをセットし露光するための露光プリンター用焼
枠において、前記下焼枠板が、ガラス板または樹脂製の
透明板とその周辺部に周囲に密閉状態となるように取り
付けられ、かつその中に気体または液体が封入された軟
質性樹脂膜とから構成され、前記上焼枠板が、周辺部に
真空用穴と前記基板セット面に真空用溝を設けた樹脂製
の透明板から構成されることを特徴とする露光プリンタ
ー用焼枠。 - 【請求項２】 前記軟質性樹脂膜が前記下焼枠板のガラ
ス板または樹脂製の透明板に方眼状に密閉固定された請
求項１記載の露光プリンター用焼枠。 - 【請求項３】 前記軟質性樹脂膜がキルテイングマイラ
ーフィルムである請求項１または２記載の露光プリンタ
ー用焼枠。 - 【請求項４】 前記下焼枠板の樹脂製の透明板が透明ア
クリル板である請求項１，２または３記載の露光プリン
ター用焼枠。 - 【請求項５】 前記下焼枠板と前記軟質性樹脂膜との間
に封入された前記気体として窒素または二酸化炭素を使
用した請求項１，２，３または４記載の露光プリンター
用焼枠。 - 【請求項６】 前記下焼枠板と前記軟質性樹脂膜との間
に封入された前記液体として水またはシリコンオイルを
使用した請求項１，２，３または４記載の露光プリンタ
ー用焼枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9321311A JPH11160886A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 露光プリンター用焼枠 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9321311A JPH11160886A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 露光プリンター用焼枠 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160886A true JPH11160886A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18131176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9321311A Pending JPH11160886A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 露光プリンター用焼枠 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11160886A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1059193A2 (en) | 1999-06-08 | 2000-12-13 | Delta Tooling Co., Ltd. | Backlash reducing structure for recliner adjuster |
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| CN103048890A (zh) * | 2012-12-20 | 2013-04-17 | 景旺电子科技(龙川)有限公司 | 一种外层手动曝光机pin钉对位系统和方法 |
| JP6033477B1 (ja) * | 2016-01-06 | 2016-11-30 | テクノアルファ株式会社 | フォトレジストでパターンを形成した曲面体の製造方法及び露光装置 |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP9321311A patent/JPH11160886A/ja active Pending
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| A02 | Decision of refusal |
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