JP3552779B2 - 位相差測定装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は、2つの信号の特定周波数における位相差を測定する位相差測定装置、特にその誤差補正方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の補正方法としては、事前に専ら人間が介在することにより、測定する2つの信号のうちの一方を位相差測定部の2つの入力に同時に入れ、それを補正用信号として利用し、そのときの位相差測定部の測定値をオフセットとして取り扱い、測定中はそのオフセット分を測定値から差し引いて補正するようにしているのが普通である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高精度が要求される位相差測定では、測定信号の周波数,振幅,DCレベルの変化が位相差測定における誤差となっている。このため、補正に使用する基準位相差は同じ周波数,同じ振幅,同じDCレベルであることが必要となる。従来は、1つの信号を利用して位相差0の基準位相差(補正用信号)を作っているため、測定する信号の周波数,振幅が頻繁に変化する信号の位相差を測定する場合には、人が頻繁に基準位相差0に設定しなければならないことになる。また、この基準位相差を同一信号より生成しているため、2つの測定信号に振幅,DCレベルをそれぞれ合致させることができず、誤差の原因ともなっている。さらに、測定する位相差が0°から大きく異なっている場合は、位相差0の基準では精度が十分に満たされないという問題もある。
したがって、この発明の課題は、位相差測定誤差を補正することにより、測定信号の周波数,振幅,DCレベルが変化しても精度を確保し得るようにすることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するため、請求項1の発明では、2つの信号の特定周波数における位相差を測定する位相差測定装置において、
2つの測定信号の一方を利用し、測定信号と同じ周波数で1種類以上の位相差を設定可能な補正用信号を生成する補正用信号生成手段と、測定信号と補正用信号とを切り換える切換手段と、測定信号と補正用信号の各位相差を測定する位相差測定手段と、前記切換手段を制御して位相差測定手段からの測定値を補正する補正制御手段とを設けたことを特徴としている。
この請求項1の発明では、前記補正用信号生成手段は、前記2つの測定信号の一方を2値化する2値化手段と、その2値化された信号周波数を逓倍する逓倍手段と、その逓倍された出力にもとづき測定信号の一周期で一巡するアドレスを生成するアドレス生成手段と、このアドレス生成手段から出力されるアドレスで一周期の正弦波を表わすデータを予め格納した少なくとも1つの記憶手段と、この記憶手段から出力される正弦波データをアナログ信号に変換する2つのD/A変換器とを含むことができる(請求項2の発明)。
【0005】
上記請求項1または2の発明では、前記2つの測定信号の振幅をそれぞれ検出する第1,第2の振幅検出手段と、2つの補正用信号の振幅をそれぞれ検出する第3,第4の振幅検出手段と、第1振幅検出手段からの出力と第3振幅検出手段からの出力とを比較する第1の比較手段と、第2振幅検出手段からの出力と第4振幅検出手段からの出力とを比較する第2の比較手段と、各比較結果をもとに各測定信号と補正用信号の振幅を互いに一致させる1対の振幅制御手段とを付加することができ(請求項3の発明)、または、前記2つの測定信号のDCレベルをそれぞれ検出する第1,第2のレベル検出手段と、2つの補正用信号のDCレベルをそれぞれ検出する第3,第4のレベル検出手段と、第1レベル検出手段からの出力と第3レベル検出手段からの出力とを比較する第1の比較手段と、第2レベル検出手段からの出力と第4レベル検出手段からの出力とを比較する第2の比較手段と、各比較結果をもとに各測定信号と補正用信号のDCレベルを互いに一致させる1対のレベル制御手段とを付加することが可能である(請求項4の発明)。
【0006】
また、請求項2の発明では、前記アドレス生成手段により生成されたアドレスをシフトするシフト手段と、そのシフト量を設定して少なくとも1種類以上の位相差信号を生成する設定手段とを付加することができ(請求項5の発明)、さらに、請求項1の発明では、前記位相差測定手段へ基準信号が入力されていることを、前記補正制御手段に対して通知する通知手段と、この通知手段による入力があったときの位相差測定手段の測定値を記憶する記憶手段と、その記憶値と位相差測定手段の測定値との差を求め、この差にもとづき基準信号で生じる位相差のキャンセルを行なう調整手段とを付加することができる(請求項6の発明)。
【0007】
請求項7の発明では、2つの信号の特定周波数における位相差を測定する位相差測定装置において、
予め設定した周波数のディジタルクロックを生成するクロック生成手段と、そのクロックをもとに周期性を持つアドレスを生成するアドレス生成手段と、このアドレス生成手段により生成されたアドレスをシフトするシフト手段と、前記アドレス生成手段およびシフト手段により生成された一巡のアドレスで一周期の正弦波を表わすデータを予め格納した少なくとも1対の記憶手段と、この1対の記憶手段からそれぞれ出力される正弦波データをアナログ信号に変換する2つのD/A変換器と、測定信号とD/A変換器出力信号とを切り換える切換手段と、2つの測定信号の一方の周波数を検出する周波数検出手段と、2つの測定信号の振幅をそれぞれ検出する2つの振幅検出手段と、2つの測定信号のDCレベルをそれぞれ検出する2つのレベル検出手段と、周波数,D/A変換器の振幅,DCレベルおよびD/A変換器の出力の位相差の関係を予め測定し補正データを求めて記憶しておき、測定時に測定信号に近い周波数,振幅,DCレベルおよび位相差の条件から補正データを検索し補間する補正制御手段とを設けたことを特徴としている。
【0008】
【作用】
2つの測定信号と同じ周波数,振幅,DCレベルであるか、またはそのうちの1つの項目のみが同じで位相差が既知で一定な補正用信号源を、位相差測定器の補正装置に設けておき、請求項1の発明のように、時分割処理により補正用信号と測定信号を測定しながら補正するか、または請求項7の発明のように、予め補正用信号を測定して記憶しておいた補正データにより補正し、周波数,振幅,DCレベルの少なくとも1つが変化した場合の誤差を補正し得るようにする。
また、請求項2または5の発明のようにすることにより、補正用信号の位相差を任意に設定可能とし、さらに、請求項3の発明のようにすることにより、測定信号と補正用信号の振幅(ACレベル)を一致させるか、もしくは請求項4の発明のようにすることにより、測定信号と補正用信号のDCレベルを一致させるようにする。加えて、請求項6の発明の如くすることにより、オフセット調整を可能とする。
【0009】
【実施例】
図1はこの発明の第1実施例を示すブロック図である。
同図において、1はコンパレータ、2は逓倍回路としてのPLL(フェーズ・ロック・ループ)回路、3A〜3Dは振幅検出回路、4A,4Bは直流(DC)レベル検出回路、5A,5BはDCレベル比較回路、6A,6Bは切換器としてのリレー、7は位相差測定部、8は補正制御装置、9A,9Bは振幅比較一致回路、10A,10BはDCレベル制御回路、11はアドレス生成回路、12はアドレスシフト回路、13は取り込みタイミング生成回路、14A,14BはサインテーブルとしてのROM、15A,15Bはディジタル/アナログ(D/A)変換器、16A,16Bは振幅制御回路である。
【0010】
測定信号1,2として同一周波数の正弦波を入力し、その2つの信号の位相差を求める場合の例である。ここでは、2つの測定信号のうちの測定信号2を、コンパレータ1によりその中心値においてコンパレートした信号を、PLL回路2で例えば16384倍に逓倍する。この信号をもとに、アドレス生成回路11は16384個のアドレスを生成し、このアドレスによりROM14A,14Bからデータを読み出す。
【0011】
このとき、ROM14A,14Bには、16384アドレスで1周期となるような正弦波の振幅値データを入れておくこととする。また、その値の大きさは、分解能を上げるために表現できるビット数をフルに使用して規格化してあるものとする(8ビットデータの場合、0から255まで使用するということ)。さらに、ROM14Aと14Bの位相差は、補正制御装置8からの位相差設定信号をもとに、ROM14Aのアドレスをアドレスシフト回路12によってシフトし、参照するデータをROM14Aと14Bとで互いにずらすことにより実現する。この位相差の設定分解能はPLL回路2の倍率によって決定され、この例では360度/16384=0.021973度である。
【0012】
ROM14A,14Bから出力される、位相差設定信号に対応した位相差を持つディジタルデータはD/A変換器15A,15Bに与えられ、ここでアナログ信号に変換されて補正用信号となる。このとき、D/A変換器15A,15Bの出力信号の同期をとるため、PLL回路2からの出力によりタイミング生成回路13にて作られる取り込みタイミング信号が利用される。
【0013】
こうして、D/A変換器15A,15Bの出力には、位相差設定信号に対応した位相差を持つ信号が生じることになるが、補正に使用するにはその振幅も測定信号に合わせる必要がある。その調整は、D/A変換器の振幅基準信号を変化させて、1ビット当たりの大きさ(例えば電圧)を変更する方法を採用する。これは、振幅のみを変化させ、信号の位相差(時間遅れ)を変化させることはない点を利用するものである。
【0014】
そこで、測定信号1,2については振幅検出回路3A,3Bにより振幅を検出し、D/A変換器15A,15Bからの振幅を振幅検出回路3C,3Dによりそれぞれ検出する。そして、振幅検出回路3Aと3Cの信号を振幅比較一致回路9Aで、また、振幅検出回路3Bと3Dの信号を振幅比較一致回路9Bでそれぞれ比較し、測定信号とD/A変換器出力(補正用信号)の振幅誤差を求める。振幅制御回路16A,16Bではこれらの誤差をもとに、D/A変換器15A,15Bの振幅基準信号(TOP側)を制御し、誤差が小さくなるようにする。
【0015】
以上が、信号の振幅(AC:交流成分)の大きさを合わせるメカニズムであるが、これと同様にしてDCレベル検出回路4A〜4D,DCレベル比較回路5A,5BおよびDCレベル制御回路10A,10B等により、測定信号とD/A変換器出力(補正用信号)のDC的な大きさ、つまり信号の中心またはDCレベルを合わせる。信号のDCレベルは、D/A変換器に対する振幅基準信号のTOPとBOTTOMの差を一定にしたまま、平行にシフトすることで調節する。
このようにして作られたD/A変換器出力(補正用信号)は、測定信号1,2とは周波数,振幅およびDCレベルが同一で、位相差は位相差設定信号に対応した既知の値となっている。したがって、この信号を用いて位相差測定部7の補正を行なうわけである。
【0016】
図2は補正手順を示すフローチャートである。
これは、位相差設定信号がα1,α2のときの補正信号α1’,α2’および測定信号(位相差をα’とする)の3つを、時分割で交互に測定する。その切り換えは、補正制御装置8により位相差設定信号とリレー切換信号とを制御することにより、行なう。この場合、測定信号の位相差が変化したときの応答性を低下させないよう、補正信号(位相差α1’とα2’)の測定時間は、補正精度を満たす範囲で測定信号(α’)の測定時間に比べて十分小さくするものとする。
【0017】
このようにして、位相差α1’,α2’,α’を測定し、これらの測定結果をもとに、図3に示すような補正をする。なお、位相差α1’,α2’は測定する位相差の上限,下限に対応していることが、精度的な面からも望ましい。
図3の横軸は位相差測定部7により得られた測定結果α1’,α2’,α’を表わし、縦軸は設定した位相差α1,α2と補正により得られる測定結果αを表わしている。図3において、既知なのはα1’,α2’,α’,α1,α2であり、これらをもとにαを求める。具体的には、(α1’,α1)と(α2’,α2)の2点を通る直線を求め、その直線上にある横軸の値がα’に対応する点の縦軸の値αを求める。こうして求めたαは、周波数,振幅,DCレベル変化によって生じる位相差測定誤差を補正した、測定信号の正確な位相差となる。
【0018】
以上のように補正すれば、周波数,振幅,DCレベルによる誤差の影響を除去することができるが、測定信号1,2の間にオフセット的な位相差が生じていることがあり、位相差測定のアプリケーションによっては、測定信号1,2に一定の位相差がある場合の測定結果が、位相差0になることを要求する場合がある。その対策としては、基準とする一定の位相差信号が測定信号1,2として入力されているときを基準0信号であるとして、入力装置により補正制御装置8に伝え、そのときの補正済データを補正制御装置8内の不揮発性メモリ8等に記憶しておき、その値を補正済データに対して一律に引き算することで対応する。
【0019】
上記の第1実施例では、測定信号と補正信号を時分割で切り換えて周波数,振幅,DCレベル変化による誤差成分を除去しているが、測定信号の位相差が急激に変化するアプリケーションでは、時分割処理による応答性の低下が問題となる可能性がある。そこで、第2実施例として、予め補正で使用するデータを1通り取得しておき、これにもとづき位相差測定の補正を行なう、いわゆるオフライン式の例について示す。この方法は、測定前の補正データ取得に時間が掛かることと、経年変化を補正できない不利はあるが、測定結果の応答性はほとんど低下しない利点を有している。
【0020】
図4にその第2実施例を示す。
ここでは、補正用信号の周波数は水晶発振器20の発振周波数(OSC)、分周器22A,22Bの比率(N/M)、D/A変換器から出力される正弦波1周期に必要なアドレス生成回路11のクロック数(CYC)などによって決定される。つまり、補正用信号の周波数f=OSC*(N/M)/(CYC)である。補正用信号の振幅,DCレベルおよび位相差の制御方法は第1実施例と同じであるが、振幅,DCレベルのコントロールなどを、補正制御装置8により行なっている点が第1実施例と異なっている。
【0021】
補正制御装置8は上述のように、測定に使用する範囲の補正データをその測定前に予め取得しておくようにする。この補正データは補正用信号の周波数,振幅,DCレベルおよび位相差という4次元のテーブルになるため、各次元のサンプル数を増やすと、極端に補正データがぼう大となるので、各次元のサンプル数を減らしておく必要がある。このため、補正データにはすべての測定時の条件と完全に一致するものはないので、この場合は、補正データに記録してある各条件のうちそれぞれの次元で近接している2つのデータより直線補間する方法をとり、補正データ数を増やすことなく補正精度を向上させる。
このようにして、検索,補間した補正データを位相差測定部7の位相差測定値から差し引くことで、周波数,振幅,DCレベルによる誤差の補正を行なうことができる。
【0022】
上記第1,第2実施例はリアルタイム性という意味の相違はあるが、本質的には周波数,振幅,DCレベルによる誤差を補正するものである。次の第3実施例は周波数変化による誤差だけしか補正できないが、回路構成を簡単化し得る利点を有している。これは、周波数変化による誤差が支配的で、振幅,DCレベル変化による誤差がほとんど生じないような場合の、位相差測定値の補正時に利用して好適である。図5にその構成例を示す。
【0023】
すなわち、測定信号のうちの一方をゲイン1倍の差動アンプ31の+側入力に接続し、−側入力は接地しておく。そして、補正制御装置8からリレー6A,6Bを制御して測定信号と差動アンプ31による補正信号とを時分割で切り換え、補正信号の測定結果を位相差0または180度の基準とし、測定信号の位相差を補正するものである。
【0024】
この例は、位相差180度の基準信号発生器として差動アンプ31を使用しているが、この他に位相差180度の基準信号発生器としてはトランスが考えられる。また、容易に作れる基準信号としては、一方の測定信号を位相差測定部の両方の入力端子に接続し、位相差0度の基準信号とすることが考えられる。基準信号の位相差として0度を使用するか、180度を使用するかは測定する位相差に近いことや、補正する精度や追加する回路規模等から判断すれば良い。いずれの場合でも、測定信号の周波数,振幅,DCレベルの変化により基準信号の位相差が変化する大きさは、補正する位相差測定部の誤差よりも十分に小さいものを選ぶ必要がある。
【0025】
【発明の効果】
この発明によれば、以下のような効果を期待することができる。
2つの測定信号と同じ周波数,振幅,DCレベルか、またはそのうちの1つの項目のみが同じで位相差が既知の一定な補正用信号源を、位相差測定器の補正装置に設けておき、請求項1の発明のように、時分割処理により補正用信号と測定信号を測定しながら補正するか、または請求項7の発明のように、予め補正用信号を測定して記憶しておいた補正データにより補正することで、周波数,振幅,DCレベルの少なくとも1つが変化した場合の誤差を補正し得るようにする。
また、請求項2または5の発明のようにすることで、補正用信号の位相差を任意に設定可能とし、さらに、請求項3の発明のようにすることで、測定信号と補正用信号の振幅(ACレベル)を一致させるか、もしくは請求項4の発明のようにすることで、測定信号と補正用信号のDCレベルを一致させるようにする。加えて、請求項6の発明の如くすることで、オフセット調整も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例を示すブロック図である。
【図2】図1に示す補正制御装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図3】図1に示す補正制御装置の処理方法を説明するための説明図である。
【図4】この発明の第2実施例を示すブロック図である。
【図5】この発明の第3実施例を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…コンパレータ、2…PLL回路、3A〜3D…振幅検出回路、4A〜4D…DCレベル検出回路、5A,5B…DCレベル比較回路、6A,6B…リレー、7…位相差測定部、8…補正制御装置、9A,9B…振幅比較一致回路、10A,10B…DCレベル制御回路、11…アドレス生成回路、12…アドレスシフト回路、13…取り込みタイミング生成回路、14A,14B…ROM、15A,15B…D/A、16A,16B…振幅制御回路、20…周波数検出回路、21…水晶発振器、22A,22B…分周器、23…位相比較器、24…VCO31…差動アンプ。
Claims (7)
- 2つの信号の特定周波数における位相差を測定する位相差測定装置において、
2つの測定信号の一方を利用し、測定信号と同じ周波数で1種類以上の位相差を設定可能な補正用信号を生成する補正用信号生成手段と、測定信号と補正用信号とを切り換える切換手段と、測定信号と補正用信号の各位相差を測定する位相差測定手段と、前記切換手段を制御して位相差測定手段からの測定値を補正する補正制御手段とを設けたことを特徴とする位相差測定装置。 - 前記補正用信号生成手段は、前記2つの測定信号の一方を2値化する2値化手段と、その2値化された信号周波数を逓倍する逓倍手段と、その逓倍された出力にもとづき測定信号の一周期で一巡するアドレスを生成するアドレス生成手段と、このアドレス生成手段から出力されるアドレスで一周期の正弦波を表わすデータを予め格納した少なくとも1つの記憶手段と、この記憶手段から出力される正弦波データをアナログ信号に変換する2つのD/A変換器とを含むことを特徴とする請求項1に記載の位相差測定装置。
- 前記2つの測定信号の振幅をそれぞれ検出する第1,第2の振幅検出手段と、2つの補正用信号の振幅をそれぞれ検出する第3,第4の振幅検出手段と、第1振幅検出手段からの出力と第3振幅検出手段からの出力とを比較する第1の比較手段と、第2振幅検出手段からの出力と第4振幅検出手段からの出力とを比較する第2の比較手段と、各比較結果をもとに各測定信号と補正用信号の振幅を互いに一致させる1対の振幅制御手段とを付加したことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の位相差測定装置。
- 前記2つの測定信号のDCレベルをそれぞれ検出する第1,第2のレベル検出手段と、2つの補正用信号のDCレベルをそれぞれ検出する第3,第4のレベル検出手段と、第1レベル検出手段からの出力と第3レベル検出手段からの出力とを比較する第1の比較手段と、第2レベル検出手段からの出力と第4レベル検出手段からの出力とを比較する第2の比較手段と、各比較結果をもとに各測定信号と補正用信号のDCレベルを互いに一致させる1対のレベル制御手段とを付加したことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の位相差測定装置。
- 前記アドレス生成手段により生成されたアドレスをシフトするシフト手段と、そのシフト量を設定して少なくとも1種類以上の位相差信号を生成する設定手段とを付加したことを特徴とする請求項2に記載の位相差測定装置。
- 前記位相差測定手段へ基準信号が入力されていることを、前記補正制御手段に対して通知する通知手段と、この通知手段による入力があったときの位相差測定手段の測定値を記憶する記憶手段と、その記憶値と位相差測定手段の測定値との差を求め、この差にもとづき基準信号で生じる位相差のキャンセルを行なう調整手段とを付加したことを特徴とする請求項1に記載の位相差測定装置。
- 2つの信号の特定周波数における位相差を測定する位相差測定装置において、
予め設定した周波数のディジタルクロックを生成するクロック生成手段と、そのクロックをもとに周期性を持つアドレスを生成するアドレス生成手段と、このアドレス生成手段により生成されたアドレスをシフトするシフト手段と、前記アドレス生成手段およびシフト手段により生成された一巡のアドレスで一周期の正弦波を表わすデータを予め格納した少なくとも1対の記憶手段と、この1対の記憶手段からそれぞれ出力される正弦波データをアナログ信号に変換する2つのD/A変換器と、測定信号とD/A変換器出力信号とを切り換える切換手段と、2つの測定信号の一方の周波数を検出する周波数検出手段と、2つの測定信号の振幅をそれぞれ検出する2つの振幅検出手段と、2つの測定信号のDCレベルをそれぞれ検出する2つのレベル検出手段と、周波数,D/A変換器の振幅,DCレベルおよびD/A変換器の出力の位相差の関係を予め測定し補正データを求めて記憶しておき、測定時に測定信号に近い周波数,振幅,DCレベルおよび位相差の条件から補正データを検索し補間する補正制御手段とを設けたことを特徴とする位相差測定装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06267695A JP3552779B2 (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 位相差測定装置 |
EP02002090A EP1249689A3 (en) | 1994-09-13 | 1995-09-12 | Phase difference measuring apparatus and mass flowmeter thereof |
EP95114290A EP0702212A3 (en) | 1994-09-13 | 1995-09-12 | Phase shift measurement device and associated mass flow meter |
EP02002089A EP1229309A3 (en) | 1994-09-13 | 1995-09-12 | Phase difference measuring apparatus and mass flowmeter thereof |
US08/526,706 US5767665A (en) | 1994-09-13 | 1995-09-12 | Phase difference measuring apparatus and mass flowmeter thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06267695A JP3552779B2 (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 位相差測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08262075A JPH08262075A (ja) | 1996-10-11 |
JP3552779B2 true JP3552779B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=13207133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06267695A Expired - Lifetime JP3552779B2 (ja) | 1994-09-13 | 1995-03-22 | 位相差測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3552779B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-22 JP JP06267695A patent/JP3552779B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08262075A (ja) | 1996-10-11 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031201 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040205 |
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A072 | Dismissal of procedure |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080514 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 9 |
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