JP3512528B2 - 有害物質の燃焼破壊 - Google Patents

有害物質の燃焼破壊

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有害物質、特に、
フルオロカーボン類のような地球温暖化、大気汚染性ハ
ロゲン化化合物、および、シランのような、酸化の際に
微粒子を生成する物質の燃焼破壊による処理に関する。
【０００２】
【従来の技術】ヘキサフルオロエタン（Ｃ2 Ｆ6 ）およ
びテトラフルオロメタン（ＣＦ4 ）のような気体フルオ
ロカーボンは、大気中に放散されると、大気中で極端に
寿命が長く、地球温暖化を起こす化合物である。これら
の気体、さらに三フッ化窒素（ＮＦ3 ）や六フッ化硫黄
（ＳＦ6 ）のような他のフッ化ガスは、半導体の製造に
おいて、シリコンウエファのエッチング、変性および形
成の際に、そして、この工程で用いられる機械の洗浄の
際に使用される。空気に曝されると発火するシラン（Ｓ
ｉＨ4 ）のような水素化物も、シリコンウエファを作る
工程で使用される。これらフッ化ガスと水素化物、ま
た、微粉状物質さえも、時には一緒に、場合によつては
順番に、その機械から、窒素で吹き飛ばされる。
【０００３】現在実用されている方法では、この有害ガ
スを含んだ窒素気流は、電熱またはガスだき、を利用し
て熱的に分解される。しかし、この好ましくないガスの
完全な破壊は、大きい熱エネルギーを使った場合にだけ
達成される。この気流を水素と混合して燃焼させる、も
う一つの最近の方法は、高価な水素を大量に使用するの
で満足できない。
【０００４】幾つかの特許は他の方法を提案している
が、それでも、これらの、費用が高く、満足できない処
理法が利用されていることは重要である。例えば、米国
特許第４，６２７，３８８号明細書は、実質的に火炎前
面を含む長さの、耐火物をライニングした燃焼室を備え
ている必要のある、横型煙管ボイラー中で、断熱に近い
条件で、ハロゲン化炭化水素を燃やす方法を開示してい
る。米国特許第４，２０６，７１１号明細書には、縦型
の燃焼室を用い、その中に、液状の廃棄物を頭頂部から
下に向けて噴霧し、その燃焼室の壁の中の数個のフラッ
トフレーム放射タイプのバーナーが、その噴霧された廃
棄物全体を取囲む火炎を出す方法が説明されている。
【０００５】米国特許第４，８２８，４８１号明細書
は、燃焼がその間で行われる、向い合って置かれた二枚
の多孔性プレートを含んでなる燃焼室を考案して、上述
の特許の大きくて、高価な装置を使わない方法を開示し
ている。気体燃料、空気、および廃棄物蒸気の混合物を
多孔性プレートの一つを通して供給し、その室の中で燃
焼し、燃焼生成物は、もう一つの多孔性プレートを通し
て排除される。しかし、その廃棄物は、粒子を含んでい
てはならならず、さもないと、入りの多孔性プレート
は、詰まるであろう。また、廃棄物中には粒子が存在し
なくても、煤または（廃棄物の中にシランがあれば）シ
リカのような粒子が燃焼中に生成し、出の多孔性プレー
トを詰める現実の危険が存在するであろう。かくて、実
用的な処理システムに対する要望が未だ存在することに
なる。
【０００６】工業的な実際問題では、一種またはそれ以
上のハロゲン化化合物を運ぶ気体流は、酸化時に微粒子
を生成する物質をも、同時にまたは逐次的に含んでい
る。空気中で酸化されてシリカになるシラン、および、
よく用いられるもう一つの水素化物であり、酸化される
と、厄介な粘着性のある酸化物（Ａｓ2 Ｏ3 ）になるア
ルシン（ＡｓＨ3 ）が、普通、ハロゲン化化合物、特
に、半導体工業で用いられるフルオロカーボンに付随す
る微粒子を生成する物質の代表的な例である。
【０００７】半導体工業でのフッ素化気体化合物の他
に、他の工業で遭遇する大気汚染物質には、四塩化炭
素、トリクロロエチレン、クロロベンゼンおよび塩化ビ
ニルのような塩素化炭化水素が含まれる。冷蔵工業は、
長い間、冷媒用気体としてクロロフルオロ炭化水素類を
重宝して来たが、これらのガスは、現在では、順次使用
されなくなっている。これらの全てのハロゲン化化合物
を処理する満足なシステムが今もなお求められている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ハロ
ゲン化化合物および／または、酸化すると微粒子を生成
する物質を燃焼破壊するための、簡単で経済的なシステ
ムを提供することであり、また、有害物質の実質的に完
全な燃焼破壊を達成する一方で、普通、燃焼中に生成す
る、大気汚染物質、すなわち、窒素酸化物（ＮＯX ）、
一酸化炭素（ＣＯ）および非燃焼炭化水素（ＵＨＣ）の
生成を抑制する装置および方法を提供することである。
【０００９】本発明の重要な目的の一つは、簡単で経済
的に作られ、そして操作される装置を利用することであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の第一の態様で
は、少なくとも一種の有害物質と添加燃料ガスを含む気
体流を、有孔ガスバーナーの出口面で側面が取囲まれて
いる燃焼ゾーンに注入し、同時に、その出口面で燃焼さ
せるために、該有孔ガスバーナーに燃料ガスと空気を供
給し、該有孔ガスバーナーに供給する燃料ガスの量を、
熱量を基準として、該添加燃料ガスの量より多くし、そ
して、空気の量を、その燃焼ゾーンに入ってくる可燃物
全てに化学量論的に必要な量より過剰にし、そして得ら
れる燃焼生成物流をその燃焼ゾーンから取出す工程を含
んでなる、有害物質の燃焼破壊のための方法が提供され
る。普通、このガス流は、燃焼ゾーンの頭頂部に注入さ
れ、そのゾーンの底部から取出される。
【００１１】本発明の方法では、有害な（問題を起こ
す）物質、特にハロゲン化化合物および酸化の際に微粒
子を生成する物質は、燃料ガスと有害物質を含む気流と
を混合する工程、および、その混合物を、燃焼ゾーンを
取囲む有孔ガスバーナーの出口面で、燃料と過剰空気と
の混合物を無炎燃焼させることにより、少くとも１，９
００Ｆの温度に維持されている破壊燃焼ゾーンに注入す
る工程、を含んでなる方法で燃焼することにより、実質
的に完全に（少くとも９５％）破壊される。有孔バーナ
ーを通って入る過剰空気は、バーナーに供給される燃料
だけでなく、その破壊燃焼ゾーンに直接注入された混合
物中の全ての可燃物を燃え尽きさせるのに十分である。
それでも、燃焼ゾーンをから出て来る生成ガス流中にフ
リーの酸素が残る程度に十分過剰でなくてはならない。
一般に、問題を起こす物質を実質的に完全に（少くとも
９５％）燃焼させるためには、過剰空気の量は、燃焼ゾ
ーンに入って来る全ての可燃物を燃焼させるために、化
学量論的に必要な量より少くとも約１０％過剰であるべ
きである。
【００１２】殆どの場合、有孔ガスバーナーに供給でき
て、それとは別に、燃焼ゾーンに注入される有害物質を
含む気流に混合される、最もコスト的に有利な燃料は、
天然ガスである。他の炭化水素や水素も代替燃料である
が、普通、天然ガスが入手できない場合にだけ使用され
る。
【００１３】本発明の第二の態様では、有孔ガスバーナ
ーの出口面によって、側面が取囲まれ、底部が開いてい
る燃焼室、少くとも一種の有害物質を含む気流をその燃
焼室に直接注入する手段、該燃焼室との流の通路の下お
よび中にある冷却カラム、該カラムの壁の内面を水が下
に向って流れるように維持する手段、および該カラムの
底部に連結された、気‐液分離装置、を含んでなる有害
物質を燃焼破壊する装置が提供される。
【００１４】本発明の方法で用いられる有孔ガスバーナ
ーには、多孔性繊維層形と穿孔板形の二つの基本形があ
る。多孔性繊維層形では、鉱物タイプまたは金属タイプ
のいずれかの非燃焼性繊維の多孔性合着層を含んでい
る。米国特許第３，１７９，１５６号明細書には、アル
ミナ‐シリカ繊維を、スクリーン上に、繊維同志および
繊維とスクリーンを結合する結合剤を含んだ、繊維の水
系懸濁液から沈積させる方法が開示されてる。
【００１５】セラミック繊維で作られた、この基本的多
孔性繊維バーナーは、米国特許第３，３８３，１５９号
明細書に開示されているように、少量のアルミニウム粉
末、または米国特許第４，７４５，２８７号明細書に開
示されているように、アルミニウム合金粉末を含んでい
るのが望ましい。米国特許第３，１７３，４７０号明細
書は、金属繊維が焼結によって、合着されている多孔性
の繊維バーナーを開示している。米国特許第５，３２
６，６３１号明細書には、最近開発された、金属繊維と
セラミック繊維の混合物から作られるハイブリッド繊維
バーナーが開示されている。
【００１６】穿孔板形有孔ガスバーナーは、非常に多く
の特許中に示されている。米国特許第２，７７５，２９
４号明細書は、初期の穿孔板バーナーの例を示してい
る。このようなバーナーの他の形が、米国特許第３，６
８３，０５８および第３，９５４，３８７号明細書に開
示されている。
【００１７】特許および技術文献に広い範囲で説明され
ている、全てのこのような有孔ガスバーナーおよび、そ
の変形を、本発明の目的に役立たせることができる。
【００１８】その表面で無炎燃焼が起きる、有孔バーナ
ーの出口面が、破壊燃焼ゾーンを取囲んでおり、その中
に、ガス流と添加燃料を含む有害物質が注入される。生
成するバーナーの白熱出口表面は、赤外線を放射し、破
壊的燃焼ゾーンを、少くとも１，９００Ｆの温度に維持
することを助ける。このバーナーは、多数の成分部品か
ら構成されるモジュール型か、または複合型構造（ｉｎ
ｔｅｇｒａｌ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ）として作ら
れる。
【００１９】この有孔バーナーに過剰空気と一緒に供給
される燃料ガスは、そのバーナーの出口表面で無炎燃焼
によって燃え尽き、生成する燃焼生成ガスは、その表面
から外側に向って流れ、破壊的燃焼ゾーンに入ってくる
微粒子物質、または、例えば、その中に注入されたアル
シンのような水素化物のために、このゾーンで生成する
微粒子物質が、その内部に、沈積するのを防ぐ。任意の
バーナーの出口に微粒子物質が沈着すると、面倒であ
り、極端なのは、破壊燃焼ゾーンに注入された気流中に
アルシンが存在する時に生成するＡｓ2 Ｏ3 のように、
微粒子物質が、粘着性のある物質の場合である。
【００２０】破壊燃焼ゾーン内での微粒子物質の沈積を
防ぐために有孔バーナーを選別することは、本発明を上
首尾に行うために基本的に重要である。
【００２１】この有孔バーナーに供給される燃料ガスの
無炎表面燃焼と対照的に、破壊燃焼ゾーンに、別に、注
入される気流中の可燃物は、拡散炎を伴って燃焼する。
注入された気流中の可燃物を燃焼するのに必要な空気
は、多孔性繊維バーナーを通して、別に供給されるか
ら、有孔バーナーの出口面を離れる過剰空気が、廃棄物
中の可燃物とより速く反応できるように、数本の小さい
流れの形にして、その気流を供給するのが賢明である。
明らかに、その気流を数本に分けた場合よりも、大きい
径の一本の気流中に、全ての可燃物が到達するために
は、その空気流はより長くなる。言葉を変えて言えば、
数本の小さい気流は、その数本の気流の総体積に等しい
体積を有する一本の気流の炎より、短い炎を持つであろ
う。
【００２２】破壊燃焼ゾーンを離れた燃焼生成物気流
は、次の二つの理由から注意に値する：即ち、普通、そ
のゾーンに供給されたハロゲン化化合物の少くとも９５
％は破壊されており、そしてＮＯX 、ＣＯおよびＵＨＣ
の生成が非常に低い値に押さえられていた。この燃焼生
成物気流には、フッ素と塩素が、燃焼ゾーンに供給され
たハロゲン化化合物中に存在していた程度にＨＦとＨＣ
ｌを含んでいるであろう。酸化物の微粒子は、シランや
アルシンのような水素化物が燃焼ゾーンに入ってきた気
流中に存在していた程度に燃焼生成物気流中に存在する
であろう。生成物の気流は、また、燃焼ゾーンに供給さ
れた廃棄物気流中に存在する任意の非燃焼性粒子を含ん
でいるであろう。
【００２３】この燃焼生成物気流は、冷却され、そし
て、その中に存在するＨＦとＨＣｌおよび微粒子物質
を、さらに、ハロゲン化化合物の気流中にＳＦ6 が存在
したなら、二酸化硫黄を捕捉するために洗浄されなけれ
ばならない。冷却およびＨＦとＨＣｌの捕捉の開始もで
きる簡単で効果的な方法は、燃焼ゾーンからの生成物気
流を、内壁が水流で覆われているカラム（塔）に直接に
排出することである。破壊燃焼ゾーンから排出された生
成物気流に水を噴霧するのも有効である。このようにし
て急冷された生成物気流は、次いで、任意の既知の形状
のスクラバーに通される。この洗浄されたガスは、環境
に安全なガスとして、大気中に排出される。
【００２４】本発明の更なる説明と理解を容易にするた
めに、次の図が参照されるが、これらは単に例示するだ
けの図である。
【００２５】これらの図を参照して、図１は、代表的な
皿型多孔性繊維層バーナー１０の、縦に切った断面図で
ある。金属パン（皿）１１は側壁１２を有し、その側壁
１２の端１４に溶接されたスクリーン１３を備えてい
る。セラミック繊維の多孔層１５を、スクリーン１３上
に沈積させ、取付けている。多孔層１５は、燃料ガスと
空気の混合物が、その表面で、眼に見える炎を出さずに
燃えて発熱体になる出口表面を提供する。この燃料ガス
‐空気混合物は、金属パン（皿）１１に接続されたパイ
プ１６を通してバーナー１０に供給される。
【００２６】図２は、正方形の断熱燃焼ゾーン２１を形
成するように並べられた、図１に示したタイプの４つの
多孔性表面バーナー１０を備えた、本発明の実施に有用
な炉２０を示す。バーナー１０の各対がお互いに直角に
接している場所に、耐火物の柱２２が、隣接するバーナ
ー１０の側壁１２にセメントで接合されており、隣接す
るバーナー１０の縦の（図２に垂直な）接合線２３に沿
って、燃焼生成物が洩れないようになっている。この配
列によって、４個のバーナー１０は、バーナー１０の出
口表面１５で取囲まれた、破壊燃焼ゾーン２１を有する
内方燃焼炉として作動する。図２は、本発明に適した一
つの炉が、組立て式バーナー１０から作られることを例
示している。
【００２７】ハロゲン化化合物および／または、微粒子
生成物質および添加燃料ガスを含む廃棄物気流は、多数
の開孔２５を通って、細い流れになって炉２０の頭頂部
に入り、燃焼ゾーン２１に向かって流下し、そこで、多
孔性繊維層１５から出てくる過剰空気が、問題を起こす
化合物を燃焼破壊する。炉２０の底端は開放されてお
り、前に説明したように、燃焼ゾーン２１から流れてく
る燃焼生成物流中のＨＦ、ＨＣｌ、ＳＯ2 および粒子を
捕捉するために、水冷カラムに連結されている。
【００２８】図３に、推奨される炉３０が示される。炉
３０は、ハロゲン化化合物および／または微粒子生成物
質の廃棄物気流および添加炭化水素ガスを燃焼ゾーン３
１に供給するため、および、それから出てきた燃焼生成
物を処理するため、の望ましい付属装置を備えている。
炉３０は、対向する両端にフランジ３３、３４を備えた
円筒状の鋼鉄製の外筒３２から作られている。底部のフ
ランジ３４は、外筒３２から、内側と外側に延びてい
る。その頭頂部はスクリーン３６に接合されており、内
側に延びているスクリーンフランジ３７はフランジ３４
に繋っているところの円筒状の金属スクリーン３５が、
外筒３０の内部に、外筒から距離を保って、同心円的に
置かれている。溶接部３５Ａは、スクリーン３５をフラ
ンジ３４の内端に固定している。数本の菅３８が、突き
抜けて伸びて、頭頂スクリーン３６に溶接されている。
スクリーン３５、３６、３７の内面は全てに、セラミッ
クおよび／または金属繊維の接着性の多孔性層３９が付
いている。外筒３２には、燃料ガスと過剰空気の混合物
をスクリーン３５、３６の回りの空間に導入するための
一本またはそれ以上の菅４０が付いており、その混合物
は、多孔性繊維層３９を通って流れ、点火すると、繊維
層３９の出口表面で無炎燃焼を維持すると考えられる。
【００２９】頭頂部フランジ３３に支えられ、ボルト
（図に示されていない）よって取付けられている鋼板４
１には、菅３８と同じ数の多くの菅４２が付いている。
菅４２は、その径は、菅３８の径より小さく、菅４２の
下端が菅３８の下端に十分届く程度に長い。鋼板４１を
通して垂直に延びており、鋼板に溶接されている菅４２
同志の距離は、鋼板４１を下に下げて、外筒３２のフラ
ンジ３３の上に乗せる時、菅４２の各々が、菅３８の中
を滑るように注意して設定されなければならない。スク
リーン３６の上部の空間から、同心円である菅３８と菅
４２の間の隙間を通って、ガス‐空気混合物が洩れるの
は、普通許容できる。しかし、若し希望するなら、かか
る洩れは、菅４２が菅３８の中に十分挿入されている場
合には、菅４２の各々に、菅３８の上の端に座るように
位置するゴムの環４３によって、容易に止めることがで
きる。
【００３０】炉３０は、その燃焼ゾーン３１の底部の開
放端が、頭部の周囲を取り囲む環状のトロー（水槽）５
１の付いている、カラム５０と揃って並ぶように冷却カ
ラム５０に接続されている。水槽５１に、パイプ５２を
通して水を供給し、カラム５０の上端からオーバーフロ
ーして、カラム５０の内壁を水が連続的に流れるように
し、それによって、ゾーン３１を離れた燃焼生成物気流
を冷却し、また、その気流中の微粒子がカラム５０の内
壁に粘着するのを防ぐ。このガス流と水は、カラム５０
の底端から、微粒子物質とＨＦ、ＨＣｌ、およびＳＯ2
のような可溶性化合物含む水を抜き出すためのドレイン
パイプ５５を持つ分離装置５４の中に排出される。この
冷却されたガス流は、パイプ５６を通して、分離装置５
４から出て、多くの既知の形状の任意の一つのスクラバ
ー（図に示されていない）を通し、分離装置５４を離れ
たガス流中に残留した可溶性化合物を捕捉する。この洗
浄されたガスは、環境に安全な排気ガスとして大気中に
排出される。
【００３１】使用時に、ハロゲン化化合物および／また
は、微粒子生成物質を含む廃棄気流は、菅４２に供給さ
れ、一方、燃料ガスは、菅４４を通して、その気流に添
加される。生成混合物は、菅４２を下に向かって流れ、
燃焼ゾーン３１に入り、そこで、その可燃物は、多孔性
繊維層３９を通って供給される過剰空気と合流し、菅４
２の下端から放射される独立の炎となって燃え尽きる。
【００３２】試験は、図３の炉３０で、スクリーン３５
と多孔性繊維層３９によって例示されているような、多
孔性セラミック繊維バーナーによって取囲まれた円筒状
の（直径３インチ、長さ１２インチ）燃焼ゾーンを備え
た炉で行われた。Ｃ2 Ｆ6 を８容量％含む窒素流を毎分
２０リットルの速度で、燃焼ゾーンに注入し、一方天然
ガスと過剰空気を、１１３９０４Ｋｃａｌ／ｈ・ｍ
２（４２，０００ＢＴＵ（英国熱量単位）／時間／平方
フィート）バーナ−表面積、の速度で多孔性繊維バーナ
ーを通して供給し、表面燃焼を行わせた。このバーナー
に供給された過剰空気は、そのバーナーに同時に供給さ
れる天然ガスの化学量論的必要量より６１％多い量であ
った。この燃焼生成ガスは、１１．３容量％の残存酸素
を含んでいた。この生成ガスを分析し、炉に注入された
Ｃ2 Ｆ6 の５６％だけが分解されていることが分かっ
た。
【００３３】しかし、もう一つの試験では、Ｃ2 Ｆ6 を
含む窒素流に、１２容量％（２．４Ｌ／分）の天然ガス
を、混合したことを除いて、上の操作を何も変えないで
行った。この場合、そのバーナーに供給された過剰空気
も窒素気流に混合されている天然ガスを燃焼し、燃焼生
成物中の残存酸素量は７．４容量％に低下した。この生
成ガスを分析し、Ｃ2 Ｆ6 の９９％が破壊されているこ
とを示した。
【００３４】もう一つの一対の試験では、バーナーを、
１１９３２８Ｋｃａｌ／ｈ・ｍ２（４４，０００ＢＴＵ
／時間／平方フィート）の速度で、過剰空気６１％で燃
やし、Ｃ2 Ｆ6 を４容量％含む窒素流を倍の速度である
毎分４０リットルで燃焼ゾーンに注入した。一つの試験
では、天然ガスを、２．４Ｌ／分の速度（６容量％）
で、廃棄窒素流に加えた。この燃焼生成ガスは、７．１
容量％の残存酸素を含んでいた。Ｃ2 Ｆ6 の６０％だけ
が分解された。天然ガスの添加を４．７Ｌ／分（１１．
８容量％）に増やすだけで、Ｃ2 Ｆ6 の破壊は９６％に
増加した。これは、より面倒で、より費用の掛かる、現
在商業的に行われている方法に較べると満足すべきもの
と考えられる。この燃焼生成物中の残存酸素量は４．４
容量％に低下した。
【００３５】さらに、もう一つの試験では、Ｃ2 Ｆ6 を
２容量％含む窒素流を毎分８０Ｌ／分と４倍の速度で、
注入し、バーナーを、１５７２９６Ｋｃａｌ／ｈ・ｍ２
（５８，０００ＢＴＵ／時間／平方フィート）の速度
で、過剰空気６１％で燃やした。窒素流に加えた天然ガ
スは、８．８容量％（前の試験では１２％）であった。
この燃焼生成物は、３．５容量％の残存酸素を含むだけ
であった。Ｃ2 Ｆ6 の９６％の破壊が達成された。
【００３６】最初の二つの試験は、破壊燃焼ゾーンに注
入される廃棄ガス流に、燃料ガスを混合して供給するこ
とが決定的に必要なことを示している。第二の対の試験
は、廃棄ガス流に、混合される燃料ガスの量が増すと、
ハロゲン化化合物の燃焼破壊が増加することを示してい
る。最後に引用した試験は、Ｃ2 Ｆ6 の濃度が低い（２
容量％）廃棄ガス流でさえも、速い速度（毎分８０Ｌ／
分）で燃焼ゾーンを通すと、フルオロカーボンの９９％
が破壊されることを明らかにしている。これら数回の試
験は、Ｃ2 Ｆ6 濃度を変えた、広い範囲の流速の廃棄ガ
ス流が、有孔ガスバーナーの放熱面で取囲まれた燃焼ゾ
ーン中で、でうまく処理できることを例示している。
【００３７】前述の試験を、各試験で達成されるＣ2 Ｆ
6 の破壊パーセントを求める、燃焼生成ガスの分析を容
易にするために、シランやアルシンのような、微粒子生
成物質を含まないＣ2 Ｆ6 を用いて行った。シランが、
破壊燃焼ゾーンに入った時、何が起きるかを確かめるた
めに、４０Ｌ／分の速度で燃焼ゾーンに注入される窒素
流にシランを添加した試験を行った。シランの添加は、
１．５時間の間、０．２２Ｌ／分の速度で、次いで、次
の１．５時間の間は、０．３１Ｌ／分に上げて行われ
た。シランを含む廃棄気流への天然ガスの添加は、４．
７Ｌ／分の速度で行われた。他の試験と同様に、有孔ガ
スバーナーは、４４，０００ＢＴＵ／時間／平方フィー
トの速度で、６１％の過剰空気で燃やされた。シランは
完全に破壊され、生成するシリカ微粒子は、破壊燃焼ゾ
ーンに蓄積しなかった。
【００３８】ＣＦ4 だけを含む廃棄ガス流、およびＣ2
Ｆ6 とシランを混合した廃棄ガス流で、追加試験を行っ
た。この場合も、希望のフルオロカーボンおよびシラン
の破壊が達成された。ハロゲン化化合物および／また
は、微粒子生成物質の燃焼破壊効率は、確立され、注入
速度が広い範囲で変えられても、有孔バーナーに供給さ
れる、また、面倒を起こす物質を含んだ廃棄ガス流に添
加される、燃料ガスの量を単に調節するだけで、到達さ
れることを示した。
【００３９】更に、簡単な試験で、任意の廃棄ガス流に
ついて、破壊に抵抗するハロゲン化化合物の９５％以上
の破壊を達成するであろう条件選定するための指針を提
供した。有孔バーナーに供給される燃料ガスは、一般
に、少なくとも、６７８００Ｋｃａｌ／ｈ・ｍ２（２
５，０００ＢＴＵ（英国熱量単位）／時間／平方フィー
ト）バーナ−表面積、の速度で供給されるべきである。
燃焼用空気は、バーナーに供給される燃料ガスと破壊燃
焼ゾーンに注入される全可燃物の両方に対する化学両論
的必要量を超える量、バーナーに供給され；有孔バーナ
ーに供給された燃料ガスに対して、少なくとも約５０％
の大過剰の空気が、どんな特別な廃棄ガス流に対する最
適条件求める場合の妥当な出発条件である。
【００４０】有孔バーナーに供給される熱量を基準とし
ての燃料ガスの量は、廃棄ガス流と混合された量より、
常に大きい。バーナー用燃料ガスと廃棄ガス流用燃料ガ
スの比は、一般に、約２：１から５：１の範囲であり、
一般に、廃棄ガス流の処理速度が小さい場合には、高い
比が用いられ、廃棄ガス流の処理速度が大きい場合に
は、低い比が用いられる。これらの指針は、特定の廃棄
ガス流の処理のための初期条件の選定、および、９９％
のような希望される高い破壊水準に到達するためのこれ
らの初期条件の調整の両方を容易にする。
【００４１】この発明は、炉が簡素で、小さくまとまっ
ていること（ｃｏｍｐａｃｔｎｅｓｓ）、さらに、操作
が簡単なことおよび低い燃料消費で、ハロゲン化化合物
および／または、シランおよびアルシンのような微粒子
生成物質の９９％を容易に破壊できる一方で、ＳｉＯ2
およびＡｓ2 Ｏ3 のような微粒子の燃焼ゾーン内での面
倒な沈着や蓄積が避けられること、から注目に値する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、長方形の皿型多孔性繊維層バーナーの
断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施のための縦型炉を形成す
るように配列された、図１の４個のバーナーの図解水平
断面図である。
【図３】図３は、推奨される形状の炉の図解断面図で、
その炉への供給および炉からの気体流出物を処理するた
めの望ましい設備との関連を示した図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デービッド・バーツ アメリカ合衆国カリフォルニア州95051, サンタ・クララ，エイチ・カイザー・ド ライブ 3025 (72)発明者 ロバート・エム・ケンダル アメリカ合衆国カリフォルニア州94087, サニーヴェル，エンダーバイ・ウェイ 1097 (72)発明者 フレデリック・イー・モレノ アメリカ合衆国カリフォルニア州94024, ロス・アルトス，ホルト・アベニュー 1386 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F23G 7/06 B01D 53/70

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも一種の有害物質と添加燃料ガ
    スを含むガス流を、有孔ガスバーナーの出口表面で横か
    ら取囲まれている燃焼ゾーンに注入し、同時に、その出
    口面で燃焼させるために、この有孔ガスバーナーに燃料
    ガスと空気を供給し、該有孔ガスバーナーに供給される
    燃料の量を、熱量を基準として、該添加燃料ガスの量よ
    り多くし、そして、該空気の量を、その燃焼ゾーンに入
    ってくる全可燃物に対する化学量論的必要量より過剰に
    し、そして、得られる燃焼生成物流をその燃焼ゾーンか
    ら取出すことを含む、有害物質を燃焼破壊する方法。
  2. 【請求項２】 該燃料ガスが天然ガスであり、有孔ガス
    バーナーに供給される空気の量が、有孔ガスバーナーに
    供給される該天然ガスに対する化学量論的必要量より、
    少なくとも約５０％過剰である、請求項１に記載の方
    法。
  3. 【請求項３】 有孔ガスバーナーに供給される燃料ガス
    の量と燃焼ゾーンに注入される燃料ガスの量の比が、約
    ２：１から５：１の範囲にある、請求項１、または請求
    項２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 ガス流が、半導体の製造からの廃棄気流
    として排出される、少なくとも一種のフルオロカーボ
    ン、および／または、水素化物を含む窒素である、前記
    請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
  5. 【請求項５】 有孔ガスバーナーが、セラミック繊維、
    および／または金属繊維の層を有する、前記請求項１〜
    ４のいずれかに記載の方法。
  6. 【請求項６】 燃焼生成物気流が、燃焼ゾーンから、直
    接、その内表面に冷却水が流れ落ちているカラムに下向
    きに排出される、請求項１から５のいずれかに記載の方
    法。
  7. 【請求項７】 有孔ガスバーナーの出口面によって、横
    から取囲まれ、開放底部を有する燃焼室、少なくとも一
    種の有害物質を含むガス流をその燃焼室に直接注入する
    手段、該燃焼室の下方にあり、該燃焼室とガス流通関係
    で連通している冷却カラム、該カラムの壁の内表面を水
    が下に向かって流れるように維持する手段、および該カ
    ラムの底部に連結された、気‐液分離装置、を含む有害
    物質を燃焼破壊するための装置。
  8. 【請求項８】 ガス流を混合した燃焼室に添加燃料ガス
    を注入するための手段が用意されている、請求項７に記
    載の装置。
  9. 【請求項９】 有孔ガスバーナーが、セラミック繊維、
    および／または金属繊維の層を有する、請求項８に記載
    の装置。
  10. 【請求項１０】 燃焼室の頭頂部が、有孔ガスバーナー
    の出口面で形成されている天井を有する、請求項７、
    ８、または９の任意の一項に記載の装置。
  11. 【請求項１１】 少なくとも一種のハロゲン化化合物、
    および／または酸化した時微粒子形成物質並びに混合燃
    料ガスを含む気流を、有孔ガスバーナーの放熱面で横か
    ら取囲まれた燃焼ゾーンの頭頂部に注入し、この注入さ
    れた気流中のハロゲン化化合物と微粒子生成物質の量の
    少なくとも約９５％の燃焼破壊を達成するために、少な
    くとも６７８００Ｋｃａｌ／ｈ・ｍ２（２５，０００Ｂ
    ＴＵ（英国熱量単位）／時間／平方フィート）の放熱面
    の熱量を生じるように燃料ガスと過剰空気を供給し、そ
    の過剰空気を、その燃焼ゾーンに入ってくる全可燃物に
    対する化学量論的必要量より過剰にし、有孔バーナーに
    供給される燃料ガスの量と、注入される気流に混合され
    た燃料ガスの量の比を熱量を基準として約２：１から
    ５：１の範囲に調節し、そして、得られる燃焼生成物流
    を燃焼ゾーンの底部から取出す、ことを含む、ハロゲン
    化化合物、および／または酸化すると微粒子を生成する
    物質を燃焼破壊する方法。
  12. 【請求項１２】 燃焼生成物気流が燃焼ゾーンから下向
    きに、直接カラムに排出され、その間、冷却水がそのカ
    ラムの壁の内表面に流れ落ちている、請求項１１に記載
    の方法。
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AT (1) ATE199776T1 (ja)
DE (1) DE69520313T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10465905B2 (en) 2015-03-26 2019-11-05 Korea Institute Of Energy Research Energy saving combustion device for burning refractory hazardous gas and method for operating the same

Families Citing this family (79)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3404981B2 (ja) * 1995-04-21 2003-05-12 日本鋼管株式会社 気体加熱装置
JP3486022B2 (ja) * 1995-10-16 2004-01-13 ジャパン・エア・ガシズ株式会社 排ガス処理装置
JPH09202973A (ja) * 1996-01-24 1997-08-05 Tokyo Electron Ltd 成膜処理装置の排気システム構造
GB9608061D0 (en) * 1996-04-16 1996-06-19 Boc Group Plc Removal of noxious substances from gas streams
USH1709H (en) * 1996-04-19 1998-02-03 E. I. Du Pont De Nemours And Company Thermal destruction of halocarbons
TW342436B (en) * 1996-08-14 1998-10-11 Nippon Oxygen Co Ltd Combustion type harm removal apparatus (1)
US5955037A (en) * 1996-12-31 1999-09-21 Atmi Ecosys Corporation Effluent gas stream treatment system having utility for oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases
US6000930A (en) * 1997-05-12 1999-12-14 Altex Technologies Corporation Combustion process and burner apparatus for controlling NOx emissions
JPH1151357A (ja) * 1997-07-31 1999-02-26 Tokyo Gas Co Ltd 有機溶剤直接燃焼処理装置および有機溶剤直接燃焼処理装置における廃熱回収システム
JPH1182978A (ja) * 1997-08-29 1999-03-26 Tokyo Gas Co Ltd 有機物含有排気燃焼処理装置および有機物含有排気燃焼処理装置における廃熱回収システム
JP4176132B2 (ja) * 1997-11-21 2008-11-05 株式会社荏原製作所 排ガス処理用燃焼器
JP4066107B2 (ja) 1997-11-21 2008-03-26 株式会社荏原製作所 排ガス処理用燃焼器
JPH11159734A (ja) * 1997-11-28 1999-06-15 Tokyo Gas Co Ltd 通気性多孔体配置型排気燃焼処理装置
US6153150A (en) 1998-01-12 2000-11-28 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and method for controlled decomposition oxidation of gaseous pollutants
US6261524B1 (en) 1999-01-12 2001-07-17 Advanced Technology Materials, Inc. Advanced apparatus for abatement of gaseous pollutants
US6224834B1 (en) 1998-04-16 2001-05-01 International Business Machines Corporation Silane oxidation exhaust trap
JP4497726B2 (ja) 1998-12-01 2010-07-07 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置
EP1142621B1 (en) 1998-12-01 2004-11-10 Ebara Corporation Exhaust gas treating device
US6183241B1 (en) 1999-02-10 2001-02-06 Midwest Research Institute Uniform-burning matrix burner
US6423284B1 (en) * 1999-10-18 2002-07-23 Advanced Technology Materials, Inc. Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases
JP2001355820A (ja) * 2000-06-12 2001-12-26 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 排ガスの処理方法および処理装置
US6948929B2 (en) * 2000-10-02 2005-09-27 Ebara Corporation Combustion type waste gas treatment system
US6821489B1 (en) 2000-10-10 2004-11-23 International Business Machines Corporation System and method for abating the simultaneous flow of silane and arsine
GB0026697D0 (en) 2000-11-01 2000-12-20 Boc Group Plc Removal of noxious substances from gas streams
US20030044328A1 (en) * 2001-09-01 2003-03-06 Wu-Niang Feng Semiconductor waste-gas treating apparatus being filth sedimentation-and etching-proof
JP4172938B2 (ja) * 2002-02-14 2008-10-29 昭和電工株式会社 排ガスの処理方法および処理装置
US20040083734A1 (en) * 2002-11-05 2004-05-06 Kendall Robert M. Sintered metal fiber liner for gas burners
DE10343439A1 (de) * 2003-09-12 2005-04-14 DAS-Dünnschicht Anlagen Systeme GmbH Dresden Einlasselement an einer Entsorgungseinrichtung für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase
US7569193B2 (en) * 2003-12-19 2009-08-04 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants
GB0417378D0 (en) 2004-08-04 2004-09-08 Boc Group Plc Gas abatement
US7736599B2 (en) * 2004-11-12 2010-06-15 Applied Materials, Inc. Reactor design to reduce particle deposition during process abatement
US8095240B2 (en) * 2004-11-18 2012-01-10 Applied Materials, Inc. Methods for starting and operating a thermal abatement system
US7682574B2 (en) * 2004-11-18 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Safety, monitoring and control features for thermal abatement reactor
JP4619798B2 (ja) * 2005-01-14 2011-01-26 日本パイオニクス株式会社 有害ガスの浄化装置
GB0509944D0 (en) * 2005-05-16 2005-06-22 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
KR101036734B1 (ko) 2005-10-31 2011-05-24 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 공정 저감 반응로
US7522974B2 (en) 2006-08-23 2009-04-21 Applied Materials, Inc. Interface for operating and monitoring abatement systems
DE102006052586B4 (de) * 2006-11-08 2008-07-03 Schott Solar Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung der Abgase einer Siliziumdünnschicht-Produktionsanlage
US8591819B2 (en) * 2006-12-05 2013-11-26 Ebara Corporation Combustion-type exhaust gas treatment apparatus
DE102007016018A1 (de) * 2007-04-03 2008-10-09 Sms Demag Ag Brenneranordnung
GB0706544D0 (en) * 2007-04-04 2007-05-09 Boc Group Plc Combustive destruction of noxious substances
JP5232407B2 (ja) * 2007-05-25 2013-07-10 日本パイオニクス株式会社 排ガスの浄化装置
US20090149996A1 (en) * 2007-12-05 2009-06-11 Applied Materials, Inc. Multiple inlet abatement system
US20090311641A1 (en) * 2008-06-13 2009-12-17 Gunther Berthold Gas flame stabilization method and apparatus
DE102008032833A1 (de) * 2008-07-14 2010-01-21 Rational Ag Nahrungsmittelbehandlungsgerät
DE102008053959B4 (de) * 2008-10-30 2010-12-09 Rational Ag Nahrungsmittelbehandlungsgerät mit Brenner
WO2010075467A1 (en) * 2008-12-23 2010-07-01 Mks Instruments, Inc. Reactive chemical containment system
GB0902221D0 (en) * 2009-02-11 2009-03-25 Edwards Ltd Pilot
GB0902234D0 (en) 2009-02-11 2009-03-25 Edwards Ltd Method of treating an exhaust gas stream
WO2011117231A1 (en) 2010-03-26 2011-09-29 Solvay Sa Method of treating waste gases
CN103079678B (zh) * 2010-08-27 2015-08-26 英派尔科技开发有限公司 氢氟烷消除装置
GB2504468B (en) 2012-07-27 2017-03-22 Edwards Ltd Burner Nozzle Reciprocating Scraper Arrangement for Reducing Effluent Gas Deposits
KR101278178B1 (ko) * 2012-10-15 2013-07-05 씨에스케이(주) 스크러버용 버너
US9023303B2 (en) * 2013-04-15 2015-05-05 Airgard, Inc. Extended or multiple reaction zones in scrubbing apparatus
GB2514341B (en) * 2013-05-20 2016-08-24 Edwards Ltd Radiant burner combustion monitoring
GB2516267B (en) 2013-07-17 2016-08-17 Edwards Ltd Head assembly
US10161628B2 (en) 2014-03-14 2018-12-25 Edwards Limited Radiant burner
JP6258797B2 (ja) * 2014-06-27 2018-01-10 日本パイオニクス株式会社 排ガスの燃焼式浄化装置
JP6310765B2 (ja) * 2014-05-12 2018-04-11 日本パイオニクス株式会社 排ガスの燃焼式浄化装置
GB2528444B (en) * 2014-07-21 2018-06-20 Edwards Ltd Abatement apparatus
GB2528445B (en) 2014-07-21 2018-06-20 Edwards Ltd Separator apparatus
GB2532776A (en) * 2014-11-28 2016-06-01 Edwards Ltd Radiant burner
GB2533293A (en) 2014-12-15 2016-06-22 Edwards Ltd Inlet assembly
GB201505447D0 (en) * 2015-03-30 2015-05-13 Edwards Ltd Radiant burner
GB2536905B (en) * 2015-03-30 2020-01-08 Edwards Ltd Radiant burner
US10369582B2 (en) 2015-04-30 2019-08-06 Emissol Llc System and method for spray visualization
GB2550382B (en) 2016-05-18 2020-04-22 Edwards Ltd Burner Inlet Assembly
KR102450538B1 (ko) * 2017-01-06 2022-10-04 알제타 코포레이션 개선된 폐가스 저감을 위한 시스템 및 방법
US11614230B2 (en) * 2018-10-11 2023-03-28 Corning Incorporated Abatement systems including an oxidizer head assembly and methods for using the same
GB2579197B (en) 2018-11-22 2021-06-09 Edwards Ltd Abatement method
GB2584675B (en) 2019-06-10 2021-11-17 Edwards Ltd Inlet assembly for an abatement apparatus
CN111412481B (zh) * 2020-03-19 2023-01-10 长江存储科技有限责任公司 废气处理装置
GB2604652A (en) 2021-03-12 2022-09-14 Edwards Ltd Abatement apparatus
GB2608817A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Modular abatement apparatus
GB2608816A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Abatement apparatus
GB2608821A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet assembly
GB2608822A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet nozzle assembly
GB2608820A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet assembly
GB2608818A (en) 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet nozzle assembly

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2775294A (en) 1950-03-11 1956-12-25 American Infra Red Radiant Co Radiation burners
US3173470A (en) 1961-11-17 1965-03-16 Gen Precision Inc Gas-fueled radiant heater
US3179156A (en) 1962-01-17 1965-04-20 American Thermocatalytic Corp Space heater
US3383159A (en) 1966-02-03 1968-05-14 American Thermocatalytic Corp Combustion elements
US3683058A (en) 1969-08-25 1972-08-08 Maurice Partiot Infrared burners and high efficiency radiant plates
US3840344A (en) * 1972-06-06 1974-10-08 Chemothermic Ind Inc Carbon black production
US3954387A (en) 1972-06-08 1976-05-04 J. Tennant & Sons (Warrington) Limited Burners
US4048290A (en) * 1976-01-28 1977-09-13 Cabot Corporation Process for the production of finely-divided metal and metalloid oxides
SU716574A1 (ru) * 1978-05-15 1980-02-25 Предприятие П/Я А-1997 Способ очистки отход щих газов
US4206711A (en) * 1978-10-04 1980-06-10 Angelo J. Noce Method and apparatus for processing waste fluid
SE453120B (sv) * 1984-12-28 1988-01-11 Lumalampan Ab Anordning for efterbrenning av med framfor allt kolvatten bemengda avgaser fran destruktionsanleggningar eller liknande
US4627388A (en) 1985-07-22 1986-12-09 The Dow Chemical Company Combustion of halogenated hydrocarbons with heat recovery
US4899696A (en) * 1985-09-12 1990-02-13 Gas Research Institute Commercial storage water heater process
US4801437A (en) * 1985-12-04 1989-01-31 Japan Oxygen Co., Ltd. Process for treating combustible exhaust gases containing silane and the like
US4746287A (en) 1986-01-17 1988-05-24 Gas Research Institute Fiber matrix burner composition with aluminum alloys and method of formulation
US4828481A (en) * 1987-10-05 1989-05-09 Institute Of Gas Technology Process and apparatus for high temperature combustion
JPH0195214A (ja) * 1987-10-06 1989-04-13 Toyo Sanso Kk 特殊材料ガスの燃焼方法
US5183646A (en) * 1989-04-12 1993-02-02 Custom Engineered Materials, Inc. Incinerator for complete oxidation of impurities in a gas stream
US5211552A (en) * 1990-08-15 1993-05-18 Alzeta Corporation Adiabatic surface combustion with excess air
DE4201650C2 (de) * 1992-01-22 1994-08-11 Mahler Dienstleistung Vorrichtung zur thermischen Verbrennung von mit oxidierbaren Schadstoffen belasteten Abgasen
US5326631A (en) 1993-06-07 1994-07-05 Alzeta Corporation Unsintered fiber burner made with metal fibers, ceramic fibers and binding agent

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10465905B2 (en) 2015-03-26 2019-11-05 Korea Institute Of Energy Research Energy saving combustion device for burning refractory hazardous gas and method for operating the same

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