DE10343439A1

DE10343439A1 - Einlasselement an einer Entsorgungseinrichtung für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase

Info

Publication number: DE10343439A1
Application number: DE10343439A
Authority: DE
Inventors: Wido Wiesenberg; Ralph Wiesenberg; Tilmann Ritter; Andreas Dr. Frenzel
Original assignee: Das-Duennschicht Anlagen Systeme Dresden GmbH; Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Current assignee: Das-Duennschicht Anlagen Systeme Dresden GmbH; Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Priority date: 2003-09-12
Filing date: 2003-09-12
Publication date: 2005-04-14
Also published as: DE502004010759D1; EP1517084B1; US7722826B2; JP3994100B2; EP1517084A1; ATE458168T1; US20050074372A1; JP2005088000A

Abstract

Die Erfindung betrifft Einlasselemente an Entsorgungseinrichtungen für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase, wie sie insbesondere bei der Halbleiterelementeherstellung anfallen. Mit der Lösung sollen Anhaftungen im Einlassbereich für Prozessabgase an Entsorgungseinrichtungen vermieden werden können. Die erfindungsgemäßen Einlasselemente sind zur Lösung dieser Aufgabe so ausgebildet, dass am Einlasselement ein poröses, gaspermeables Wandelement vorhanden ist, über das ein inertes Gas in das Prozessabgas führende Innere des Einlasselementes zugeführt werden kann.

Description

Die Erfindung betrifft Einlasselemente an Entsorgungseinrichtungen für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase. Sie ist insbesondere an Entsorgungseinrichtungen für Prozessabgase, die bei unterschiedlichsten Technologien zum Einsatz kommen, bei denen Oberflächenmodifizierungen und Beschichtungen vorgenommen werden.

So beinhalten Prozessabgase, die bei der Halbleiterelementeherstellung anfallen, die unterschiedlichsten toxischen Stoffe.

Bevor solche Prozessabgase an die Umwelt abgegeben werden können, ist eine entsprechende Nachbehandlung in unterschiedlichen Entsorgungseinrichtungen erforderlich. So kann eine Wäsche oder eine thermische Nachbehandlung durchgeführt werden.

Üblicherweise werden Prozessabgase unter Nutzung von Vakuumpumpen aus den jeweiligen Prozessanlagen abgesaugt. Es ist aber ebenfalls üblich, Prozessabgase bei atmosphärischem Druck mit einem Trägergasstrom, beispielsweise Wasserstoff oder Stickstoff Entsorgungseinrichtungen zuzuführen.

Bei den bekannten Lösungen treten aber Probleme bei der Einleitung der Prozessabgase in eine Entsorgungseinrichtung dadurch auf, dass reaktive Komponenten im Übergangsbereich der Prozessabgasleitung zur Entsorgungseinrichtung mit dort eingedrungener Feuchte oder Sauerstoff reagieren und es zu Ablagerungen auf der Innenwandung im entsprechenden Einlassbereich kommt.

Um diesen Anhaftungen und chemischen Reaktionen auf den Wandungen entgegen zu wirken, wurde z.B. eine Spülung mit einem inerten Gas vorgesehen.

So wurde ein solches inertes Gas als parallele Strömung zur Wandfläche über eine erhöhte Anzahl von Düsen oder einen Ringspalt zugeführt. Mit einer solchen Spülgasströmung konnte aber nicht vollständig verhindert werden, dass Sauerstoff, Wasser und andere reaktive Stoffe aus der Entsorgungseinrichtung in den Einlassbereich des Prozessabgases gelangen konnten. Dies ist auch der nicht zu vermeidenden turbulenten Strömung im Übergangsbereich geschuldet.

Mit solchen Spülgasströmungen ist es ebenfalls nicht möglich das Kriechen von Feuchtigkeit entlang der Oberfläche im Einlassbereich zu vermeiden.

Mit den Spülgasströmungen kann auch die Diffusion reaktiver im Prozessabgas enthaltener Komponenten zur Wandung hin ebenfalls nicht vollständig unterbunden werden.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Möglichkeit zu schaffen, mit der einfach, kostengünstig Reaktionen und Anhaftungen im Einlassbereich für Prozessabgase an Entsorgungseinrichtungen vermieden werden können.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Einlasselement, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung können mit den in den untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.

Das erfindungsgemäße Einlasselement an einer Entsorgungseinrichtung für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase weist dabei ein poröses und gaspermeables Wandelement auf, über das ein inertes Gas in das Prozessabgas führende Innere des Einlasselementes 1 zuführbar ist.

Dadurch können die im einleitenden Teil der Beschreibung erwähnten Nachteile im kritischen Übergangsbereich der Prozessabgasleitung zur jeweiligen Entsorgungseinrichtung vermieden werden.

Die Zuführung des durch das Wandelement geführten inerten Gases kann über einen Gasraum erfolgen, der das Wandelement umschließt.

Die jeweilige Länge des Wandelementes in Strörmungsrichtung des Prozessabgases sollte mindestens doppelt so groß, wie der Innendurchmesser oder eine Flächen diagonale des freien Querschnitts des Einlasselementes, durch das das Prozessabgas in die jeweilige Entsorgungseinrichtung einströmt, sein.

Das Wandelement kann in geeigneter Form aus einem gesinterten Werkstoff hergestellt worden sein, wobei es sich um ein Metall (z.B. Edelstahl), Kunststoff (z.B. Polyethylen) oder eine Keramik handeln kann.

Beim Betrieb einer Entsorgungseinrichtung sollte innerhalb des bereits angesprochenen Gasraumes ein Gasdruck eingestellt worden sein, der größer als der Druck des Prozessabgases innerhalb des Einlasselementes ist, so dass inertes Gas, bevorzugt Stickstoff, durch das Wandelement in das Innere des Einlasselementes strömen kann.

Das Wandelement sollte dabei in seiner Permeabilität so ausgebildet sein, dass bei einem leicht erhöhten Druck im angesprochenen Gasraum eine gleichmäßige Strömung des inerten Gases durch die Wandung und im Inneren des Einlasselementes von der Wandung weg erreicht werden kann. Dies wird vorzugsweise dadurch erreicht, dass Sinterwerkstoffe mit einer Porengröße von 1 bis 10 μm für die Wandelemente verwendet werden.

Mit einem erfindungsgemäßen Einlasselement können sowohl das unerwünschte Kriechen von Feuchtigkeit an der inneren Wandung, wie auch unerwünschte kritische chemische Reaktionen im Übergangsbereich sicher vermieden werden, wobei dies bereits mit im Vergleich zu den bisher bekannten Lösungen kleinen erforderlichen Volumenströmen von zugeführtem inerten Gas erreichbar ist.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
Dabei zeigen:
1 ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Einlasselementes in schematischer Form an einer Entsorgungseinrichtung und
2 ein zweites Beispiel eines Einlasselementes mit vom Beispiel nach 1 abweichender Gestaltung eines Wandelementes.
In 1 ist in schematischer Form und einer Schnittdarstellung ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Einlasselementes 1 an einer Entsorgungseinrichtung dargestellt.
Dabei wird Schadstoffe enthaltendes Prozessabgas, wie mit dem großen Pfeil angedeutet, durch das Einlasselement 1, das unmittelbar an der jeweiligen Entsorgungseinrichtung angeordnet ist, dieser zugeführt.
Am Einlasselement 1 ist ein poröses und gaspermeables Wandelement 2 vorhanden.
Das Wandelement 2 ist außen von einem geschlossenen Gasraum 3 umschlossen, in den Stickstoff als geeignetes inertes Gas, wie mit dem kleinen Pfeil in 1 angedeutet, eingeführt wird.
Durch den geringfügig erhöhten Druck des inerten Gases im Gasraum 3 wird das Wandelement 2 vom Stickstoff durchströmt und gelangt mit dem Prozessabgas dann in die Entsorgungseinrichtung, von der eine Kammerwand 4 lediglich schematisch in den 1 und 2 angedeutet ist.
Das Wandelement 2 kann als Hohlzylinder, mit kreisförmigen Querschnitt ausgebildet sein.
Der Gasraum 3 wiederum kann in Form eines Ringkanals um einen solchen Hohlzylinder oder auch ein mit einer anderen Querschnittsform ausgeführtes Wandelement 2 ausgebildet werden.
So kann ein Wandelement 2 auch einen rechteckigen oder quadratischen Querschnitt aufweisen.
Dabei sollten die jeweiligen Kanten innen und außen abgerundet sein, um eine konstante Wandstärke des Wandelementes 2 zu gewährleisten.
Eine konstante Wandstärke sollte aber auch bei als Hohlzylinder ausgebildeten Wandelementen 2 eingehalten werden, um am gesamten Wandelement 2 gleiche Strömungswiderstände einhalten zu können, so dass eine gleichmäßige Strömung des inerten Gases durch das Wandelement 2 erreichbar wird.
Eine solche Ausführung eines Einlasselementes 1 kann bevorzugt an einer thermischen Entsorgungseinrichtung für Prozessabgase eingesetzt werden.
Bei dem in 2 gezeigten Beispiel weist das Wandelement 2 einen zusätzlichen stirnseitigen ebenfalls gaspermeablen Abschluss 2'' in Richtung auf die Entsorgungseinrichtung auf.
Beim Beispiel nach 2 ist der stirnseitige Abschluss 2'' des Wandelementes 2 orthogonal zur Strömungsrichtung des Prozessabgases und dementsprechend auch zur Längsachse des Einlasselementes 1 ausgerichtet.
Dabei bilden ein Teil des Wandelementes 2 und der stirnseitige Abschluss 2'' einen rechten Winkel.
Wie aus 2 deutlich hervorgeht, wurde das Wandelement 2 im Kantenübergangsbereich 2' mit reduzierter Wandstärke ausgebildet, so dass konstante Strömungswiderstandsverhältnisse auch in diesem kritischen Bereich eingehalten werden können.
Dieser Sachverhalt kann aber auch allein oder zusätzlich durch eine entsprechend angepasste erhöhte Porosität im Kantenübergangsbereich 2' berücksichtigt worden sein.
In nicht dargestellter Form kann ein gesamtes Wandelement 2 oder lediglich der stirnseitige Abschluss 2'' in Strömungsrichtung des Prozessabgases sich konisch erweiternd ausgebildet sein.
Es kann also quasi eine Trichterform realisiert werden.
In ebenfalls nicht dargestellter Form kann ein Wandelement 2 auch mit einem stirnseitigen Abschluss 2'' ausgebildet worden sein, der eine in das Innere der Entsorgungseinrichtung weisende konvexe Wölbung bildet.
Wie insbesondere 2 zu entnehmen ist, kann ein Einlasselement 1 und/oder ein stirnseitiger Abschluss 2'' eines Wandelementes 2 mit der jeweiligen Entsorgungseinrichtung bündig abschließen.

Claims

Einlasselement an einer Entsorgungseinrichtung für Schadstoffe enthaltende Prozessabgase, dadurch gekennzeichnet, dass am Einlasselement (1) ein poröses, gaspermeables Wandelement (2) vorhanden ist, über das ein inertes Gas in das Prozessabgas führende Innere des Einlasselementes (1) zuführbar ist.
Einlasselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Wandelement (2) von einem Gasraum (3), über den inertes Gas zuführbar ist, umschlossen ist.
Einlasselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Wandelementes (2) mindestens doppelt so groß ist, wie der Innendurchmesser oder eine Flächendiagonale des freien Querschnitts des Einlasselementes (1) .
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Wandelement (2) in Form eines Hohlzylinders und der Gasraum (3) als Ringkanal ausgebildet sind.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Wandelement (2) einen kreisförmigen, quadratischen oder rechteckigen Querschnitt aufweist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Wand element (2) aus einem gesinterten Werkstoff hergestellt ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Wandelement (2) ein in Richtung auf die Entsorgungseinrichtung weisender stirnseitiger gaspermeabler Abschluss (2'') vorhanden ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der stirnseitige Abschluss (2'') orthogonal zur Längsachse des Einlasselementes (1) ausgerichtet ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Kantenübergangsbereich (2') zum stirnseitigen Abschluss (2'') des Wandelementes (2) eine reduzierte Wandstärke und/oder eine erhöhte Permeabilität vorhanden ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Wandelement (2) oder der stirnseitige Abschluss (2'') in Strömungsrichtung des Prozessabgases sich konisch erweiternd ausgebildet ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Gasraum (3) ein Gasdruck oberhalb des im Inneren des Einlasselementes (1) auftretenden Prozessabgasdruckes eingestellt ist.
Einlasselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Einlasselement (1) und/oder der stirnseitige Abschluss (2'') bündig mit der Entsorgungseinrichtung abschließt.