JP3501893B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3501893B2
JP3501893B2 JP03618996A JP3618996A JP3501893B2 JP 3501893 B2 JP3501893 B2 JP 3501893B2 JP 03618996 A JP03618996 A JP 03618996A JP 3618996 A JP3618996 A JP 3618996A JP 3501893 B2 JP3501893 B2 JP 3501893B2
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    • G11C29/848Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by adjacent switching

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、不良セル等を救済
して製造歩留まりの向上を図るための冗長回路を設けて
構成される半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】DRAM(dynamic random access memor
y)等、半導体記憶装置では、製造歩留まりを向上させる
ために冗長回路を設けている。この冗長回路の中でもA
TD(address transfer detector)を使用したカラム冗
長回路では、カラム線が立ち上がるまでに時間がかか
り、回路も複雑なものになる。そこで、ATDを使用せ
ず、回路が簡単化でき、さらにカラム線の立ち上がりの
高速化が可能なシフト型回路が使用されている。
【0003】図9に従来のシフト型冗長回路の構成を示
す。従来のシフト型冗長回路は、n個直列接続されて一
端からブロック選択信号(以下BSELという)が与え
られるヒューズ1〜3、1つのヒューズを切断したとき
にBSELから切り離されたヒューズがフローティング
にならないようにするラッチ回路4、Yアドレスデコー
ダ(但し図9にはそのNORゲート5〜7を示す)、カ
ラム線切替回路8、カラムドライバー9で構成される。
【0004】ここで、カラム線切替回路8は、Pチャン
ネルMOSトランジスタ(以下PMOSという)10〜
17、NチャンネルMOSトランジスタ(以下NMOS
という)18〜23、及びインバータ24〜29からな
り、カラムドライバー9はPMOS30〜33及びイン
バータ34〜37からなり、ラッチ回路4はインバータ
38及び41並びにPMOS39及び40からなり、ま
た、BSELはリセット時は電源電位VCCの“H”レ
ベル(ハイレベル)であり、セット時に接地電位の
“L”レベル(ローレベル)を取り、ラッチ回路4はB
SELから切り離されたヒューズへセット時に“H”レ
ベルを与える。なお、図において、PMOSのソースの
矢印は電源電位VCCに接続されることを示している。
【0005】冗長未使用時においては、選択されたBS
ELは“H”から“L”になり、例えばNORゲート5
に着目すると、ノードaも“H”から“L”になり、N
MOS19がOFF且つNMOS18がONしてNOR
ゲート5の出力信号(セット時は“L”)はノードbに
伝達され、実線の経路をたどってカラム線CL1を立ち
上げる。
【0006】冗長使用時においては、例えばカラム線C
Ln−1が不良である場合、CLn−1の切り替え用の
ヒューズ2を切断する。そうするとラッチ回路4につな
がっているノードcは“H”のままになりPMOS13
がONし、ノードdは“H”のままになり、CLn−1
は“L”になるので使用されなくなる。
【0007】またNMOS20とNMOS22はOF
F、NMOS21とNOMOS23がONして,NOR
ゲート6の出力信号はノードfへ、NORゲート7の出
力信号はノードgへ伝達され、点線の経路をたどってカ
ラム線CLnとRCLを立ち上げる。よって、カラム線
CLn−1はCLnへ、CLnは冗長カラム線RCLへ
と、隣接したカラム線にシフトして置き換えられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の冗長回路では1つのブロックで1つのカラム線しか
冗長救済できないのでカラム線ショート等による2カラ
ム線以上の不良が冗長救済できず、救済の自由度が低
い、という問題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、本発明の概念
を示した図1を参照するに、n個の出力ノード(DE1
〜DEn)からそれぞれのアドレスデコード信号を出力
するアドレスデコーダ(DEC)と、少なくともn+2
個の入力ノードとそれと同数の出力ノードを有してその
出力ノードに接続されたn個のカラム線又はロウ線(L
1〜Ln)と少なくとも2個の冗長線(RL1及びRL
2)とを駆動するドライバー(DR)とを有する。
【0010】さらに、直列にn個接続されたヒューズ
(HA1〜HAn)を有して冗長線使用時にヒューズの
1つを切断して使用するヒューズ回路であって、セット
時にこのヒューズ回路の第1端から第1電位レベル
(L)の信号が与えられ且つこのヒューズ回路の第2端
から第2電位レベル(H)の信号が与えられる第1ヒュ
ーズ回路とを有する。
【0011】さらに、n個の入力ノードとn+1個の出
力ノードを有する第1切替回路(SHA)であって、こ
の切替回路の各入力ノードがアドレスデコーダの対応し
た各出力ノード(DE1〜DEn)へ接続され、第1か
ら第n−1の当該入力ノードと前記第1ヒューズ回路に
おける第1から第n−1のヒューズ間接続点とを1対1
で対応させ且つ第nの当該入力ノードを前記第1ヒュー
ズ回路における第2端に対応させて第1電位レベル
(L)及び第2電位レベル(H)の信号が当該切替回路
の制御信号として与えられ、切断されたヒューズを境に
して、第1電位レベル(L)の制御信号に対応した入力
ノードから与えられたアドレスデコード信号をこの入力
ノードに対応した出力ノード(SA1〜SAn)から出
力し、第2電位レベル(H)の制御信号に対応した入力
ノードから与えられたアドレスデコード信号を冗長線側
へ1つシフトした出力ノード(SA2〜SAn+1)か
ら出力する第1切替回路(SHA)を有する。
【0012】さらに、直列にn+1個接続されたヒュー
ズ(HB1〜HBn+1)を有して冗長線使用時に当該
ヒューズの1つを切断して使用する第2ヒューズ回路で
あって、切断したヒューズを境にして、セット時にこの
第2ヒューズ回路の第1端から第1電位レベル(L)の
信号が与えられ且つ第2ヒューズ回路の第2端から第2
電位レベル(H)の信号が与えられる第2ヒューズ回路
を有する。
【0013】さらに、n+1個の入力ノードとn+2個
の出力ノード(SB1〜SBn+2)を有する第2切替
回路(SHB)であって、この第2切替回路の各入力ノ
ードが第1切替回路(SHA)の対応した各出力ノード
(SA1〜SAn+1)へ接続され、第1から第nの当
該入力ノードと第2ヒューズ回路における第1から第n
のヒューズ間接続点とを1対1で対応させ、且つ第n+
1の当該入力ノードを第2ヒューズ回路における前記第
2端に対応させて第1電位レベル(L)及び第2電位レ
ベル(H)の信号が当該第2切替回路の制御信号として
与えられ、切断されたヒューズを境にして、第1電位レ
ベル(L)の制御信号に対応した入力ノードから与えら
れたアドレスデコード信号を当該入力ノードに対応した
出力ノード(SB1〜SBn+1)からドライバー(D
R)へ出力し、第2レベル(H)の制御信号に対応した
入力ノードから与えられたアドレスデコード信号(DE
1〜DEn)を冗長線側へ1つシフトした出力ノード
(SB2〜SBn+2)からドライバー(DR)へ出力
する第2切替回路を有する。
【0014】この構成において、カラム又はロウ線Ln
−2及びLnが不良であることが判明した場合、ヒュー
ズHAn−2、HBnを切断して使用する。そうする
と、セット時には、ヒューズHA1〜HAn−3及びH
B1〜HBn−1には第1電位レベル“L”が与えら
れ、ヒューズHAn−2〜HAn及びHBn〜HBn+
1には第2電位レベル“H”が与えられる。
【0015】従って、第1切替回路SHAでは、アドレ
スデコーダDECの出力ノードDE1〜DEn−3に対
応して第1電位レベル“L”の制御信号が与えられ、出
力ノードDEn−2〜DEnに対応して第2電位レベル
“H”の制御信号が与えられ、また、第2切替回路SH
Bでは、第1切替回路SHAの出力ノードSA1〜SA
n−1に対応して第1電位レベル“L”の制御信号が与
えられ、出力ノードSAn〜SAn+1に対応して第2
電位レベル“H”の制御信号が与えられる。
【0016】そのため、第1切替回路SHAは、アドレ
スデコーダDECの出力ノードDE1〜DEn−3から
与えられたアドレスデコード信号を対応した出力ノード
SA1〜SAn−3から出力し、出力ノードDEn−2
〜DEnから与えられたアドレスデコード信号を冗長側
へ1つシフトした出力ノードSAn−1〜SAn+1か
ら出力する。
【0017】また、第2切替回路SHBは、第1切替回
路SHAの出力ノードSA1〜SAn−3から与えられ
た出力信号を対応した出力ノードSB1〜SBn−3か
ら出力し、出力ノードSAn−1から与えられた出力信
号を対応した出力ノードSBn−1から出力し、出力ノ
ードSAnとSAn+1から与えられた出力信号を冗長
側へ1つシフトした出力ノードSBn+1とSBn+2
から出力する。
【0018】従って、アドレスデコード信号は、第2切
替回路SHBの出力ノードSB1〜SBn−3、SBn
−1、SBn+1、SBn+2からドライバーDRに与
えられる。よって、Ln−2はLn−1に、Ln−1は
RL1に、LnはRL2に置き換わり、不良のカラム又
はロウ線Ln−1とLnは未使用となり、カラム又はロ
ウ線の不良を2個救済することが出来る。
【0019】なお、図1では2個の冗長線を用いる場合
を示しているが、n+2個直列接続したヒューズ回路と
n+3個の単位回路を有する切替回路との組を設けるこ
とによって、3個のカラム線又はロウ線に関する不良を
救済することができ、さらにヒューズ回路と切替回路と
の組を追加することによって任意の個数の不良を救済す
ることもできる。
【0020】
【発明の実施の形態】図2はこの発明の第1の実施形態
を示す回路図であり、また、冗長を1つだけ使用する場
合の動作を示すものであり、図3は図2の回路構成にお
いて冗長を2つ使用する場合の動作を示すものである。
【0021】本発明の第1の実施形態は、図2を参照す
るに、ヒューズ1〜3及び42〜44、ラッチ回路4及
び45、Yアドレスデコーダ(但しそのNORゲート4
6〜47を示す)、カラム線切替回路8及び48、カラ
ムドライバー9並びに冗長カラム線RCL1及びRCL
2Lから構成され、従来回路に、ヒューズ42〜44、
ラッチ回路45、カラム線切替回路48、及び冗長カラ
ム線RCL2からなるものをもう1組追加した構成とし
てある。
【0022】ヒューズ1〜3は従来と同様にn個直列接
続され、ヒューズ42〜44はn+1個直列に接続さ
れ、それぞれの一端からBSELが与えられ、他端には
1つのヒューズを切断したときにBSELから切り離さ
れたヒューズがフローティングにならないようにするラ
ッチ回路4及び45が接続されている。
【0023】なお、従来と同様に、BSELはリセット
時は“H”でありセット時に“L”を取り、ラッチ回路
4及び45はBSELから切り離されたヒューズへセッ
ト時に“H”を与える。
【0024】NOR回路46、47は、従来と同様に、
アドレスデコード信号AY234、AY567を出力す
る2つのデコーダ(図示せず)とともにYアドレスデコ
ーダを構成し、駆動すべきカラム線のカラムドライバー
に“L”を与える。
【0025】カラム線切替回路8は、従来と同様に、2
個のPMOS、2個のNMOS、及び2個のインバータ
からなる組を単位として、各Yアドレスデコーダの各出
力信号に対応して計n組設けてあり、また、各単位に対
応して、ヒューズ1〜3間の接続点ノード又はラッチ回
路4の出力端のノードから“H”又は“L”が制御信号
として与えられるようなっている。
【0026】ここで、各単位回路は、例えばNOR回路
47に対応した単位では、NMOS22及び23のソー
スがNOR回路47の出力端のノードに接続され、NM
OS22及びPMOS15のドレインが対応した出力端
のノードmに接続され、NMOS23のドレインが冗長
側に1つシフトした次段単位の出力端のノードqに接続
され、PMOS15のソースが前段単位のPMOS14
のドレインに接続され、PMOS16のソースが電源電
位VCCにドレインが次段単位のPMOS17のソース
に接続され、インバータ28の入力ノードがラッチ回路
4の出力端のノードlに接続され、インバータ28の出
力ノードがNMOS22及びPMOS15のゲート並び
にインバータ29の入力ノードに接続され、インバータ
29の出力ノードがNMOS23及びPMOS16のゲ
ートに接続されて構成してある。
【0027】カラム線切替回路48は、PMOS49〜
56、NMOS57〜62、及びインバータ63〜68
をもって、カラム線切替回路8と同様に、2個のPMO
S、2個のNMOS、及び2個のインバータからなる組
を単位として構成し、カラム線切替回路8の各出力端の
ノードに対応して計n+1組設けてあり、また、各単位
に対応して、ヒューズ42〜44間の接続点ノード又は
ラッチ回路54の出力ノードから“H”又は“L”が制
御信号として与えられるようなっている。
【0028】ここで、各単位回路は、例えばカラム線切
替回路8の出力端のノードmに対応した単位では、NM
OS59及び60のソースがノードmに接続され、NM
OS59及びPMOS52のドレインがカラムドライバ
9の対応した入力端のノードoに接続され、NMOS6
0のドレインが冗長側に1つシフトした次段単位の入力
端のノードrに接続され、PMOS52のソースが前段
単位のPMOS51のドレインに接続され、PMOS5
3のソースが電源電位VCCにドレインが次段単位のP
MOS56のソースに接続され、インバータ65の入力
ノードがヒューズ43と44との間の接続点ノードnに
接続され、インバータ65の出力ノードがNMOS59
及びPMOS52のゲート並びにインバータ66の入力
ノードに接続され、インバータ66の出力ノードがNM
OS60及びPMOS53のゲートに接続されて構成し
てある。
【0029】図2の構成において、まず、冗長未使用の
時の動作について、図4(A)のタイミングチャートを
参照して説明する。
【0030】冗長未使用時においては、選択されたBS
ELは電源電位VCCの“H”から接地電位0ボルトの
“L”になり、Yアドレスデコーダの例えばNORゲー
ト46がセットされたとすると、ヒューズ接続点のノー
ドhも“H”から“L”になり、インバータ24を介し
NMOS19がOFF且つNMOS18がONして、N
ORゲート46の出力信号(セット時のYアドレスデコ
ード出力信号は“L”)はノードiに伝達され、さらに
ヒューズ接続点のノードjも“H”から“L”になって
いるので、NMOS58がOFF、NMOS57がON
して、ノードkに伝達され、カラムドライバー9の対応
した入力ノードへ与えられる。
【0031】よって、YアドレスデコーダにおけるNO
Rゲート46の出力信号は、実線の経路をたどって、対
応したカラム線CL1を立ち上げる。
【0032】次に、図2と図4(B)において、冗長1
個使用時(冗長へ1つシフトする)の動作について説明
する。冗長1個使用時においては、例えばカラム線CL
nが不良である場合、カラム線を1つシフトさせるため
にヒューズ3を切断する。
【0033】そうすると、選択されたBSELが“H”
から“L”になった場合も、ラッチ回路4につながって
いるノードlは“H”のままになり、インバータ28を
介しNMOS22がOFF且つPMOS15がONし、
またPMOS14もONするので、ノードmも“H”の
ままになり、またヒューズ接続点のノードnは“H”か
ら“L”になるため、インバータ65を介しNMOS5
9がOFF且つPMOS52がONし、ノードmの
“H”はカラムドライバー9のノードoに伝達され、カ
ラム線CLnは“L”になるので使用されなくなる。
【0034】他方、選択されたBSELが“H”から
“L”になった場合、インバータ28及び29を介しN
MOS23がONし、YアドレスデコーダのNORゲー
ト47の出力信号の“L”はノードqに伝達され、ま
た、ラッチ回路45につながっているノードpも“H”
から“L”になるため、NMOS62がOFF且つNM
OS61がONして、YアドレスデコーダのNORゲー
ト47の出力信号は点線の経路をたどっていきノードr
に伝達され、カラムドライバー9は冗長カラム線RCL
1を立ち上げる。よって、カラム線CLnは冗長側1つ
シフトした冗長カラム線RCL1に置き換えられる。
【0035】さらに図3と図4(C)において、冗長2
個使用時(冗長へ2つシフトする)の動作について説明
する。例えばカラム線CLn−1(図示せず)とCLn
とが不良である場合、CLn−1をRCL1へCLnを
RCL2へそれぞれ2つシフトさせるためにヒューズ4
3(及びヒューズ3の前段のヒューズ)を切断する。
【0036】そうするとラッチ回路45とラッチ回路4
とにつながっているノードlとノードnとノードpとは
“H”のままになるので、NMOS22がOFF且つN
MOS23がONして(及び前段単位のNMOSがOF
F且つPMOSがONして)、YアドレスデコーダのN
ORゲート47(及びその前段のNORゲート)の出力
信号はノードq(及びm)に伝達され、NMOS61
(及び59)がOFF且つNMOS62(及び60)が
ONしてノードs(及びr)に伝達され、点線の経路を
たどっていき冗長カラム線RCL2(及びRCL1)が
立ち上げられる。
【0037】よって、カラム線CLn−1は冗長カラム
線RCL1へ、カラム線CLnは冗長カラム線RCL2
へ、それぞれ2つシフトして置き換えられる。
【0038】以上のように、第1の実施形態によれば、
カラム線切替回路を2段にし、それぞれのヒューズを用
意することでカラム線の立ち上がりが高速化であるシフ
ト型回路を用いながらカラム線CL1〜CLnの中で上
記したように1つのブロックで隣接した2つのカラム線
はもちろん、隣接していない2つのカラム線でも自由に
冗長救済できるという効果がある。
【0039】図5は、本発明の第2の実施形態を示す回
路図である。この実施形態は第1の実施形態で説明した
回路において1段目のカラム線切替回路8の各単位にさ
らに回路78〜79を追加して構成される。
【0040】追加した回路79に注目して説明すると、
PMOS80のソースがNMOS22のドレインに、ド
レインがNMOS22のソースに、ゲートがインバータ
29の出力ノードに接続され、PMOS81のソースが
NMOS23のソースに、ドレインがNMOS23のド
レインに、ゲートがインバータ28の出力ノードに接続
されている。上記のように接続された回路がn個の各単
位にそれぞれ追加されている。
【0041】第2の実施形態の動作を図5と図6で説明
する。例えばYアドレスデコーダのNORゲート77の
出力信号が“L”から“H”(セット時からリセット
時)になる時に冗長未使用でNMOS22がONする
と、NORゲート77の出力信号である“H”信号はV
CC−Vt(VtはNMOS22のしきい値)のレベル
までしかノードuに伝達されない。
【0042】しかし、第2の実施形態ではPMOS81
がOFF且つPMOS80がONするので、NORゲー
ト77の出力信号はVCCのレベルまでノードuに伝達
される。
【0043】冗長使用時にはNMOS22がOFF且つ
NMOS23がONして、さらにPMOS80がOFF
且つNMOS81がONするので、ノードuの“H”の
信号はVCCのレベルでノードvに伝達される。
【0044】 以上のように、第2の実施形態によれ
ば、カラム線切替回路にPMOSで構成される回路を付
け加えることで、カラム線のリセット時に、Yアドレス
デコーダの出力信号の“H”を、PMOS80、81の
一方をNすることで、VCCレベルで伝達し、回路の
安定動作(特に低電圧時)させるという効果がある。
【0045】図7は本発明の第3の実施形態を示す回路
図である。この回路は第2の実施形態で説明した回路に
おいては1段目のカラム線切替回路8だけにPMOSを
追加して構成されていたが、第3の実施形態ではさらに
2段目のカラム線切替回路48にも同様にPMOSを追
加して構成される。
【0046】 第3の実施形態の動作を図7と図8で説
明する。例えばYアドレスデコーダのNORゲート82
の出力信号が“L” から“H”(セット時からリセッ
ト時)になる時、冗長未使用時にはNMOS23がOF
F且つNMOS22がONして、さらにPMOS89が
FF且つPMOS88がONするので、NORゲート
82の出力信号はVCCのレベルでノードxに伝達さ
れ、NMOS60がOFF且つNMOS59がONし、
さらにPMOS91がFF且つPMOS90がONす
るので、ここでもNORゲート82の出力信号はVCC
のレベルでノードzに伝達され、そのため、ノードzの
レベルがVCC−Vt(VtはNMOS59のしきい
値)のときよりもカラムドライバー9のインバータ74
の出力が高速に立ち下がる。
【0047】また、冗長1個使用時にはNMOS22が
OFF且つNMOS23がON、さらにPMOS88が
OFF且つPMOS89がONするのでYアドレスデコ
ーダのNOR回路82の出力信号はVCCのレベルでノ
ードbbに伝達され、NMOS62がOFF且つNMO
S61がONし、さらにPMOS93がOFF且つPM
OS92がONするので、ここでもNOR回路82の出
信号はVCCのレベルでノードccに伝達され、カラム
ドライバー9のインバータ75が高速に立ち下がる。
【0048】また、冗長2個使用時についても同じ様に
カラムドライバー9のインバータ76の出力が高速に立
ち下がる。
【0049】以上のように、第3の実施形態によれば、
カラム線切替回路にPMOSで構成される回路を付け加
えることでカラム線のリセット時に、Yアドレスデコー
ダの出力信号の“H”の信号を、PMOS90、91の
一方をONさせることで、VCCレベルで伝達し、且つ
高速に伝達してカラム線を立ち下げることができるとい
う効果がある。
【0050】
【発明の効果】以上のように、本発明では、ヒューズ回
路とカラム線切替回路とを少なくとも2組設けているた
め、少なくとも2個のカラム又はロー線に関する不良セ
ル等を救済することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体記憶装置の概念を示すブロ
ック図
【図2】本発明に係る半導体記憶装置の第1の実施形態
の要部を示す回路図
【図3】第1の実施形態において冗長を2個使用した場
合の信号伝達回路を示す回路
【図4】(A)は第1の実施形態における冗長未使用時
の動作を示すタイミングチャート、(B)は第1の実施
形態における冗長1個使用時の動作を示すタイミングチ
ャート、(C)はは第1の実施形態における冗長2個使
用時の動作を示すタイミングチャート
【図5】本発明に係る半導体記憶装置の第2の実施形態
の要部を示す回路図
【図6】第2の実施形態においてカラム線をリセットす
る時の冗長未使用時と冗長使用時のタイミングチャート
【図7】本発明に係る半導体記憶装置の第3の実施形態
の要部を示す回路図
【図8】第3の実施形態においてカラム線をリセットす
る時の冗長未使用時と冗長1個使用時のタイミングチャ
ート
【図9】従来回路の説明図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−212795(JP,A) 特開 平8−167297(JP,A) 特開 平8−8344(JP,A) 国際公開93/05512(WO,A1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00 603 G11C 11/401

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 n個の出力ノードからそれぞれのアドレ
    スデコード信号を出力するアドレスデコーダと、 少なくともn+2個の入力ノードとそれと同数の出力ノ
    ードを有して、その出力ノードに接続されたn個のカラ
    ム線又はロウ線と少なくとも2個の冗長線とを駆動する
    ドライバーと、 直列にn個接続されたヒューズを有して冗長線使用時に
    当該ヒューズの1つを切断して使用するヒューズ回路で
    あって、セット時に当該ヒューズ回路の第1端から第1
    電位レベルの信号が与えられ且つ当該ヒューズ回路の第
    2端から第2電位レベルの信号が与えられる第1ヒュー
    ズ回路と、 n個の入力ノードとn+1個の出力ノードを有する切替
    回路であって、当該切替回路の各入力ノードが前記アド
    レスデコーダの対応した各出力ノードへ接続され、第1
    から第n−1の当該入力ノードと前記第1ヒューズ回路
    における第1から第n−1のヒューズ間接続点とを1対
    1で対応させ且つ第nの当該入力ノードを前記第1ヒュ
    ーズ回路における前記第2端に対応させて前記第1電位
    レベル及び第2電位レベルの信号が当該切替回路の制御
    信号として与えられ、切断されたヒューズを境にして、
    前記第1電位レベルの前記制御信号に対応した入力ノー
    ドから与えられた前記アドレスデコード信号を当該入力
    ノードに対応した出力ノードから出力し、前記第2レベ
    ルの前記制御信号に対応した当該入力ノードから与えら
    れた前記アドレスデコード信号を前記冗長線側へ1つシ
    フトした出力ノードから出力する第1切替回路と、 直列にn+1個接続されたヒューズを有して冗長線使用
    時に当該ヒューズの1つを切断して使用する第2ヒュー
    ズ回路であって、セット時に当該ヒューズ回路の第1端
    から第1電位レベルの信号が与えられ且つ当該ヒューズ
    回路の第2端から第2電位レベルの信号が与えられるよ
    うにされた第2ヒューズ回路と、 n+1個の入力ノードとn+2個の出力ノードを有する
    第2切替回路であって、当該切替回路の各入力ノードが
    前記アドレスデコーダの対応した各出力ノードへ接続さ
    れ、第1から第nの当該入力ノードと前記第2ヒューズ
    回路における第1から第nのヒューズ間接続点とを1対
    1で対応させ且つ第nの当該入力ノードを前記第2ヒュ
    ーズ回路における前記第2端に対応させて前記第1電位
    レベル及び第2電位レベルの信号が当該第2切替回路の
    制御信号として与えられ、切断されたヒューズを境にし
    て、前記第1電位レベルの前記制御信号に対応した入力
    ノードから与えられた前記アドレスデコード信号を当該
    入力ノードに対応した出力ノードから前記ドライバーへ
    出力し、前記第2電位レベルの前記制御信号に対応した
    当該入力ノードから与えられた前記アドレスデコード信
    号を前記冗長線側へ1つシフトした出力ノードから前記
    ドライバーへ出力する第2切替回路と、 を備えていることを特徴とした半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 n個の出力ノードからアドレスデコード
    信号を出力するアドレスデコーダと、 n+2個の入力ノードとそれと同数の出力ノードを有し
    て、その出力ノードに接続されたn個のカラム線と2個
    の冗長カラム線とを駆動するドライバーと、 直列にn個接続されたヒューズを有して冗長線使用時に
    当該ヒューズの1つを切断して使用するヒューズ回路で
    あって、セット時に当該ヒューズ回路の第1端からロー
    レベル信号が与えられ且つ当該ヒューズ回路の第2端か
    らハイレベル信号が与えられる第1ヒューズ回路と、 直列にn+1個接続されたヒューズを有して冗長線使用
    時に当該ヒューズの1つを切断して使用するヒューズ回
    路であって、セット時に当該ヒューズ回路の第1端から
    ローレベル信号が与えられ且つ当該ヒューズ回路の第2
    端からハイレベル信号が与えられる第2ヒューズ回路
    と、 第1NMOS、第2NMOS、第1PMOS、第2PM
    OS、第1インバータ、第2インバータとからなる単位
    をn組有し、且つ前記アドレスデコーダに接続されたn
    個の入力ノードとn+1個の出力ノードを有するカラム
    線切替回路であって、第1NMOS及び第2NMOSの
    ソースが1つの当該入力ノードに接続され、第1NMO
    S及び第1PMOSのドレインが当該入力ノードに対応
    した出力ノードに接続され、第2NMOSのドレインが
    冗長側に1つシフトした次段単位の出力ノードに接続さ
    れ、第1PMOSのソースが前段単位の第2PMOSの
    ドレインに接続され、第2PMOSのソースが電源電位
    ドレインが次段単位の第1PMOSのドレインに接
    続され、第1インバータの入力ノードが前記第1ヒュー
    ズ回路におけるヒューズ間接続点又は前記第2端のノー
    ドに接続され、当該第1インバータの出力ノードが第1
    NMOS及び第1PMOSのゲート並びに第2インバー
    タの入力ノードに接続され、当該第2インバータの出力
    ノードが第2NMOS及び第2PMOSのゲートに接続
    されている第1カラム線切替回路と、 第3NMOS、第4NMOS、第3PMOS、第4PM
    OS、第3インバータ、第4インバータとからなる単位
    n+1組有し、且つ前記アドレスデコーダに接続され
    n+1個の入力ノードとn+2個の出力ノードを有す
    るカラム線切替回路であって、第3NMOS及び第4N
    MOSのソースが1つの当該入力ノードに接続され、第
    3NMOS及び第3PMOSのドレインが当該入力ノー
    ドに対応した出力ノードに接続され、第4NMOSのド
    レインが冗長側に1つシフトした次段単位の出力ノード
    に接続され、第3PMOSのソースが前段単位の第4P
    MOSのドレインに接続され、第4PMOSのソースが
    電源電位に、ドレインが次段単位の第3PMOSのドレ
    インに接続され、第3インバータの入力ノードが前記第
    2ヒューズ回路におけるヒューズ間接続点ノード又は前
    記第2端のノードに接続され、当該第3インバータの出
    力ノードが第3NMOS及び第3PMOSのゲート並び
    に第4インバータの入力ノードに接続され、当該第4イ
    ンバータの出力ノードが第4NMOS及び第4PMOS
    のゲートに接続されている第2カラム線切替回路と、 を備えていることを特徴とした半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項記載の半導体記憶装置におい
    て、さらに、第1カラム線切替回路の各単位回路に第5
    PMOS及び第6PMOSとを備え、当該第5PMOS
    のソースが第1NMOSのドレインに、ドレインが第1
    NMOSのソースに、ゲートが第2インバータの出力ノ
    ードに接続され、前記第6PMOSのソースが第2NM
    OSのソースに、ドレインが第2NMOSのドレイン
    に、ゲートが第1インバータの出力ノードに接続されて
    いることを特徴とした半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の半導体記憶装置におい
    て、さらに、第2カラム線切替回路の各単位回路に第7
    PMOS及び第8PMOSとを備え、当該第7PMOS
    のソースが第1NMOSのドレインに、ドレインが第1
    NMOSのソースに、ゲートが第2インバータの出力ノ
    ードに接続され、前記第8PMOSのソースが第2NM
    OSのソースに、ドレインが第2NMOSのドレイン
    に、ゲートが第1インバータの出力ノードに接続されて
    いることを特徴とした半導体記憶装置。
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