JP3501159B1 - 塗布工具及び塗布装置 - Google Patents
塗布工具及び塗布装置Info
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Abstract
【要約】
【課題】 塗布液が流通するスロットの幅を容易に調整
する。 【解決手段】 ヘッド部材１１Ａにおけるスロット１６
を画成する側面１２とは反対側の側面１７に、塗布液の
流通方向であるスロット１６の延在方向に沿った方向を
向いて互いに対向する一対の壁面２２，２２を備えた凹
部２０を形成する。凹部２０内に、スロット１６の延在
方向に沿った方向での長さを大きくすることによって、
一対の壁面２２，２２同士の間の距離が大きくなるよう
にヘッド部材１１Ａを変形させて、スロット１６の幅を
調整することが可能な調整ユニット３０を設ける。
する。 【解決手段】 ヘッド部材１１Ａにおけるスロット１６
を画成する側面１２とは反対側の側面１７に、塗布液の
流通方向であるスロット１６の延在方向に沿った方向を
向いて互いに対向する一対の壁面２２，２２を備えた凹
部２０を形成する。凹部２０内に、スロット１６の延在
方向に沿った方向での長さを大きくすることによって、
一対の壁面２２，２２同士の間の距離が大きくなるよう
にヘッド部材１１Ａを変形させて、スロット１６の幅を
調整することが可能な調整ユニット３０を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被塗布物に対して
塗布液を塗布するために用いられる塗布装置及びこれに
装着される塗布工具に関するものである。
塗布液を塗布するために用いられる塗布装置及びこれに
装着される塗布工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、塗布工具としては、例えば一
対のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、一対
のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、
塗布液が供給されるポケットと、このポケットから先端
側へ延びて塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロット
とが画成されたものが知られている。このような塗布工
具は、塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向配置させると
ともに、塗布ヘッドの長手方向（スロットの長手方向）
を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布装置に
装着されるものであって、塗布液タンクから供給ポンプ
によってポケット内に供給された塗布液が、スロット内
を流通して塗布ヘッドの先端から吐出されることによ
り、この塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動する被
塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
対のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、一対
のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、
塗布液が供給されるポケットと、このポケットから先端
側へ延びて塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロット
とが画成されたものが知られている。このような塗布工
具は、塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向配置させると
ともに、塗布ヘッドの長手方向（スロットの長手方向）
を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布装置に
装着されるものであって、塗布液タンクから供給ポンプ
によってポケット内に供給された塗布液が、スロット内
を流通して塗布ヘッドの先端から吐出されることによ
り、この塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動する被
塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
【０００３】ところで、上記のような塗布装置は、可撓
性を有するシート状の被塗布物の表面に対して塗布液を
塗布するために用いられるだけではなく、例えば液晶デ
ィスプレイのパネル本体となるガラス基板のようなパネ
ル状の被塗布物の表面に対してカラーレジストなどの塗
布液を塗布するためにも用いられるのであるが、いずれ
にしても、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を
均一にすることが強く求められる。つまり、従来の塗布
装置では、とくに塗布開始時に、例えば塗布液をポケッ
ト内に供給するときの供給口の位置などに起因して、ス
ロット内を流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗
布液の流量が、このスロットの長手方向に沿った方向の
略全長に亘って略一定とはならないため、被塗布物の表
面に塗布された塗布液の膜厚が不均一になるという問題
があったのである。
性を有するシート状の被塗布物の表面に対して塗布液を
塗布するために用いられるだけではなく、例えば液晶デ
ィスプレイのパネル本体となるガラス基板のようなパネ
ル状の被塗布物の表面に対してカラーレジストなどの塗
布液を塗布するためにも用いられるのであるが、いずれ
にしても、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を
均一にすることが強く求められる。つまり、従来の塗布
装置では、とくに塗布開始時に、例えば塗布液をポケッ
ト内に供給するときの供給口の位置などに起因して、ス
ロット内を流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗
布液の流量が、このスロットの長手方向に沿った方向の
略全長に亘って略一定とはならないため、被塗布物の表
面に塗布された塗布液の膜厚が不均一になるという問題
があったのである。
【０００４】これに対して、特許文献１には、塗布ヘッ
ドを構成している一方のヘッド部材の先端部を押圧する
ためのプッシュロッド及び調整ボルトが、スロットの長
手方向に沿って複数配列されるように設けられた塗布工
具が開示されており、調整ボルトをねじ込むことによ
り、この調整ボルトの先端に接触するプッシュボルト
が、その先端でヘッド部材の先端部をスロットの開口部
側へ向けて局所的に押圧して変形させ、スロットの幅を
調整することができるようになっている。そして、スロ
ット内を流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布
液の流量を、スロットの長手方向に沿った方向の略全長
に亘って略一定とするように、このスロットの幅を調整
することで、被塗布物の表面に塗布される塗布液の膜厚
を均一にすることを狙っているのである。
ドを構成している一方のヘッド部材の先端部を押圧する
ためのプッシュロッド及び調整ボルトが、スロットの長
手方向に沿って複数配列されるように設けられた塗布工
具が開示されており、調整ボルトをねじ込むことによ
り、この調整ボルトの先端に接触するプッシュボルト
が、その先端でヘッド部材の先端部をスロットの開口部
側へ向けて局所的に押圧して変形させ、スロットの幅を
調整することができるようになっている。そして、スロ
ット内を流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布
液の流量を、スロットの長手方向に沿った方向の略全長
に亘って略一定とするように、このスロットの幅を調整
することで、被塗布物の表面に塗布される塗布液の膜厚
を均一にすることを狙っているのである。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２３８２１号公報（第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、塗布ヘ
ッドの先端から吐出される塗布液の流量は、スロットの
長手方向に沿った方向で局所的に変化しているというこ
とはなく、スロットの長手方向に沿った方向における所
定領域でのスロットの幅を調整する必要があるため、特
許文献１に開示された塗布工具のように、ヘッド部材の
先端部をプッシュロッドの先端で局所的に押圧する構成
となっていると、上記の所定領域に対応する範囲内に設
けられた複数の調整ボルトをそれぞれねじ込み、複数の
プッシュロッドの各先端でヘッド部材の先端部を押圧し
なければならない。そのため、複数のプッシュロッドに
よるヘッド部材の押圧状態が互いに干渉しあって、プッ
シュロッドの先端とヘッド部材の先端部との間に非接触
箇所が生じやすく、スロットの幅を所望の値に調整する
までに、複数回繰り返しての調整が必要となり、作業時
間が長くかかるという問題があった。また、調整ボルト
をねじ込むことによって直接的にヘッド部材の先端部を
押圧してスロットの幅を調整するようになっているた
め、このスロットの幅の調整量（スロットの幅の変化の
挙動）が、調整ボルトの雄ねじ部に切られたネジ山のピ
ッチに依存してしまい、例えばミクロンオーダーでの微
細な調整が困難であった。
ッドの先端から吐出される塗布液の流量は、スロットの
長手方向に沿った方向で局所的に変化しているというこ
とはなく、スロットの長手方向に沿った方向における所
定領域でのスロットの幅を調整する必要があるため、特
許文献１に開示された塗布工具のように、ヘッド部材の
先端部をプッシュロッドの先端で局所的に押圧する構成
となっていると、上記の所定領域に対応する範囲内に設
けられた複数の調整ボルトをそれぞれねじ込み、複数の
プッシュロッドの各先端でヘッド部材の先端部を押圧し
なければならない。そのため、複数のプッシュロッドに
よるヘッド部材の押圧状態が互いに干渉しあって、プッ
シュロッドの先端とヘッド部材の先端部との間に非接触
箇所が生じやすく、スロットの幅を所望の値に調整する
までに、複数回繰り返しての調整が必要となり、作業時
間が長くかかるという問題があった。また、調整ボルト
をねじ込むことによって直接的にヘッド部材の先端部を
押圧してスロットの幅を調整するようになっているた
め、このスロットの幅の調整量（スロットの幅の変化の
挙動）が、調整ボルトの雄ねじ部に切られたネジ山のピ
ッチに依存してしまい、例えばミクロンオーダーでの微
細な調整が困難であった。
【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、塗布液が流通するスロットの幅を容易に調整するこ
とができる塗布工具及び塗布装置を提供することを目的
とする。
で、塗布液が流通するスロットの幅を容易に調整するこ
とができる塗布工具及び塗布装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決して、
このような目的を達成するために、本発明による塗布工
具は、複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有
し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面
同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のス
ロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して
前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であっ
て、前記ヘッド部材における前記スロットを画成する側
面とは反対側の側面に、前記塗布液の流通方向である前
記スロットの延在方向に沿った方向を向いて互いに対向
する一対の壁面を備えた凹部が形成され、この凹部内
に、前記スロットの延在方向に沿った方向での長さを大
きくすることによって、前記一対の壁面同士の間の距離
が大きくなるように前記ヘッド部材を変形させて、前記
スロットの幅を調整することが可能な調整ユニットが設
けられ、さらに、前記凹部が、前記スロットの長手方向
に沿った方向に延びるように形成され、前記調整ユニッ
トが、前記スロットの長手方向に沿った方向の任意の位
置へ移動及び固定可能とされていることを特徴とするも
のであり、また、本発明による塗布装置は、本発明の塗
布工具が、前記塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向配置
させるように装着されていて、前記塗布ヘッドの先端か
ら塗布液が吐出されることにより、前記塗布ヘッドの先
端に対して相対的に移動する前記被塗布物に塗布液が塗
布されることを特徴とするものである。
このような目的を達成するために、本発明による塗布工
具は、複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有
し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面
同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のス
ロットが画成され、塗布液が前記スロット内を流通して
前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具であっ
て、前記ヘッド部材における前記スロットを画成する側
面とは反対側の側面に、前記塗布液の流通方向である前
記スロットの延在方向に沿った方向を向いて互いに対向
する一対の壁面を備えた凹部が形成され、この凹部内
に、前記スロットの延在方向に沿った方向での長さを大
きくすることによって、前記一対の壁面同士の間の距離
が大きくなるように前記ヘッド部材を変形させて、前記
スロットの幅を調整することが可能な調整ユニットが設
けられ、さらに、前記凹部が、前記スロットの長手方向
に沿った方向に延びるように形成され、前記調整ユニッ
トが、前記スロットの長手方向に沿った方向の任意の位
置へ移動及び固定可能とされていることを特徴とするも
のであり、また、本発明による塗布装置は、本発明の塗
布工具が、前記塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向配置
させるように装着されていて、前記塗布ヘッドの先端か
ら塗布液が吐出されることにより、前記塗布ヘッドの先
端に対して相対的に移動する前記被塗布物に塗布液が塗
布されることを特徴とするものである。
【０００９】 このような本発明では、ヘッド部材の側
面に形成された凹部内に設けられる調整ユニットを用い
て、この凹部における一対の壁面同士の間の距離が大き
くなるようにヘッド部材を変形させることで、複数のヘ
ッド部材における互いに対向する側面同士の間に画成さ
れたスロットの幅を調整することができるようになって
いる。しかも、調整するスロットの幅については、この
スロットの長手方向に沿った方向での略全長に亘って略
一定となるように設定するだけではなく、例えば、ある
所定領域で意図的に大きくなったり小さくなったりする
ように設定することもできる。そして、このような調整
ユニットを用いると、調整ユニットにおけるスロットの
長手方向に沿った方向での長さを必要に応じて適宜与え
てやることで、ヘッド部材を変形させるときの押圧部分
が局所的になってしまうことがなくなり、所定領域での
スロットの幅を調整する場合であっても、従来の調整ボ
ルトを用いたときのような複数回繰り返しての調整が必
要とならず、容易にスロットの幅を調整することができ
る。さらに、前記凹部が、前記スロットの長手方向に沿
った方向に延びるように形成され、前記調整ユニット
が、前記スロットの長手方向に沿った方向の任意の位置
へ移動及び固定可能とされているので、この調整ユニッ
トを、スロットの長手方向に沿った方向での任意の位置
に移動させて固定し、その任意の位置に対応する領域で
のスロットの幅を調整することができる。
面に形成された凹部内に設けられる調整ユニットを用い
て、この凹部における一対の壁面同士の間の距離が大き
くなるようにヘッド部材を変形させることで、複数のヘ
ッド部材における互いに対向する側面同士の間に画成さ
れたスロットの幅を調整することができるようになって
いる。しかも、調整するスロットの幅については、この
スロットの長手方向に沿った方向での略全長に亘って略
一定となるように設定するだけではなく、例えば、ある
所定領域で意図的に大きくなったり小さくなったりする
ように設定することもできる。そして、このような調整
ユニットを用いると、調整ユニットにおけるスロットの
長手方向に沿った方向での長さを必要に応じて適宜与え
てやることで、ヘッド部材を変形させるときの押圧部分
が局所的になってしまうことがなくなり、所定領域での
スロットの幅を調整する場合であっても、従来の調整ボ
ルトを用いたときのような複数回繰り返しての調整が必
要とならず、容易にスロットの幅を調整することができ
る。さらに、前記凹部が、前記スロットの長手方向に沿
った方向に延びるように形成され、前記調整ユニット
が、前記スロットの長手方向に沿った方向の任意の位置
へ移動及び固定可能とされているので、この調整ユニッ
トを、スロットの長手方向に沿った方向での任意の位置
に移動させて固定し、その任意の位置に対応する領域で
のスロットの幅を調整することができる。
【００１０】ここで、前記スロットの幅を調整するため
の前記調整ユニットは、その内部に流体圧室が形成さ
れ、この流体圧室に封入された流体が圧縮されて生じる
流体圧により、前記スロットの延在方向に沿った方向で
の長さを大きくする構成とされていたり、その内部に備
えられたクサビ部材が移動させられて生じる押圧力によ
り、前記スロットの延在方向に沿った方向での長さを大
きくする構成とされていることが好ましい。このような
構成とすると、調整ユニットにおけるスロットの延在方
向に沿った方向での長さを、流体圧やクサビの押圧力に
よって非常に緩やかな変化傾向で大きくすることができ
るので、この調整ユニットによって調整されるスロット
の幅の変化の挙動が非常に緩やかなものとなり、例えば
ミクロンオーダーでの微細な幅の調整が可能となる。
の前記調整ユニットは、その内部に流体圧室が形成さ
れ、この流体圧室に封入された流体が圧縮されて生じる
流体圧により、前記スロットの延在方向に沿った方向で
の長さを大きくする構成とされていたり、その内部に備
えられたクサビ部材が移動させられて生じる押圧力によ
り、前記スロットの延在方向に沿った方向での長さを大
きくする構成とされていることが好ましい。このような
構成とすると、調整ユニットにおけるスロットの延在方
向に沿った方向での長さを、流体圧やクサビの押圧力に
よって非常に緩やかな変化傾向で大きくすることができ
るので、この調整ユニットによって調整されるスロット
の幅の変化の挙動が非常に緩やかなものとなり、例えば
ミクロンオーダーでの微細な幅の調整が可能となる。
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付し
た図面を参照しながら説明する。本発明の第一実施形態
による塗布工具の塗布ヘッド１０は、図１及び図２に示
すように、一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂがそれらの
一方の側面１２，１２同士を互いに対向させるように組
み合わされることによって、長尺状をなすように構成さ
れたものである。また、塗布ヘッド１０を構成する一対
のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂは、それらの後端側（図１
及び図２における下方側）部分同士が、塗布ヘッド１０
の長手方向（図１における左右方向）に沿った方向で所
定間隔をあけて複数のボルト１３…でボルト止めされる
とともに、塗布ヘッド１０の長手方向に沿った方向の両
端に位置する両端面に対してそれぞれサイドプレート１
４，１４が取り付けられることによって、互いに固定さ
れている。
た図面を参照しながら説明する。本発明の第一実施形態
による塗布工具の塗布ヘッド１０は、図１及び図２に示
すように、一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂがそれらの
一方の側面１２，１２同士を互いに対向させるように組
み合わされることによって、長尺状をなすように構成さ
れたものである。また、塗布ヘッド１０を構成する一対
のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂは、それらの後端側（図１
及び図２における下方側）部分同士が、塗布ヘッド１０
の長手方向（図１における左右方向）に沿った方向で所
定間隔をあけて複数のボルト１３…でボルト止めされる
とともに、塗布ヘッド１０の長手方向に沿った方向の両
端に位置する両端面に対してそれぞれサイドプレート１
４，１４が取り付けられることによって、互いに固定さ
れている。
【００１３】塗布ヘッド１０を構成する一方のヘッド部
材１１Ａ（図２中、右側に位置するヘッド部材１１Ａ）
における一方の側面１２は、その略全面が略平坦面とさ
れているのに対し、塗布ヘッド１０を構成する他方のヘ
ッド部材１１Ｂ（図２中、左側に位置するヘッド部材１
１Ｂ）における一方の側面１２は、塗布ヘッド１０の長
手方向に沿った方向に延びるように切り欠かれてなる凹
溝１２Ａを有しているとともに、この凹溝１２Ａより塗
布ヘッド１０の先端側に位置する先端側部分が、凹溝１
２Ａよりも塗布ヘッド１０の後端側に位置する後端側部
分に対して所定間隔後退させられている。
材１１Ａ（図２中、右側に位置するヘッド部材１１Ａ）
における一方の側面１２は、その略全面が略平坦面とさ
れているのに対し、塗布ヘッド１０を構成する他方のヘ
ッド部材１１Ｂ（図２中、左側に位置するヘッド部材１
１Ｂ）における一方の側面１２は、塗布ヘッド１０の長
手方向に沿った方向に延びるように切り欠かれてなる凹
溝１２Ａを有しているとともに、この凹溝１２Ａより塗
布ヘッド１０の先端側に位置する先端側部分が、凹溝１
２Ａよりも塗布ヘッド１０の後端側に位置する後端側部
分に対して所定間隔後退させられている。
【００１４】そのため、一対のヘッド部材１１Ａ，１１
Ｂが一方の側面１２，１２同士を互いに対向させるよう
に組み合わされたときに、互いに対向する一方の側面１
２，１２同士の間には、一方のヘッド部材１１Ａにおけ
る一方の側面１２と他方のヘッド部材１１Ｂにおける一
方の側面１２に形成された凹溝１２Ａとの間の空間であ
るポケット１５と、一方のヘッド部材１１Ａにおける一
方の側面１２と他方のヘッド部材１１Ｂにおける一方の
側面１２の先端側部分との間の空間である溝状のスロッ
ト１６とが、それらの長手方向を塗布ヘッド１０の長手
方向と一致させるように画成される。
Ｂが一方の側面１２，１２同士を互いに対向させるよう
に組み合わされたときに、互いに対向する一方の側面１
２，１２同士の間には、一方のヘッド部材１１Ａにおけ
る一方の側面１２と他方のヘッド部材１１Ｂにおける一
方の側面１２に形成された凹溝１２Ａとの間の空間であ
るポケット１５と、一方のヘッド部材１１Ａにおける一
方の側面１２と他方のヘッド部材１１Ｂにおける一方の
側面１２の先端側部分との間の空間である溝状のスロッ
ト１６とが、それらの長手方向を塗布ヘッド１０の長手
方向と一致させるように画成される。
【００１５】このスロット１６は、ポケット１５に連通
する部分から、塗布ヘッド１０の先端側へ向かって延び
て、塗布ヘッド１０の先端に開口するように延在させら
れており、塗布液がポケット１５内に供給されたときに
は、この塗布液が、ポケット１５に連通するスロット１
６内を塗布ヘッド１０の先端側へ向かって流通して、塗
布ヘッド１０の先端から吐出される。
する部分から、塗布ヘッド１０の先端側へ向かって延び
て、塗布ヘッド１０の先端に開口するように延在させら
れており、塗布液がポケット１５内に供給されたときに
は、この塗布液が、ポケット１５に連通するスロット１
６内を塗布ヘッド１０の先端側へ向かって流通して、塗
布ヘッド１０の先端から吐出される。
【００１６】また、塗布ヘッド１０を構成する一対のヘ
ッド部材１１Ａ，１１Ｂにおいて、スロット１６及びポ
ケット１５を画成する一方の側面１２，１２とは反対側
に位置する他方の側面１７，１７は、塗布ヘッド１０の
先端寄りに位置する部分が、塗布ヘッド１０の先端側に
向かうにしたがいスロット１６側へ向かうように傾斜し
た傾斜面１７Ａ，１７Ａとされ、このような一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂから構成された塗布ヘッド１０
は、その先端が先細りした形状をなすことになる。
ッド部材１１Ａ，１１Ｂにおいて、スロット１６及びポ
ケット１５を画成する一方の側面１２，１２とは反対側
に位置する他方の側面１７，１７は、塗布ヘッド１０の
先端寄りに位置する部分が、塗布ヘッド１０の先端側に
向かうにしたがいスロット１６側へ向かうように傾斜し
た傾斜面１７Ａ，１７Ａとされ、このような一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂから構成された塗布ヘッド１０
は、その先端が先細りした形状をなすことになる。
【００１７】そして、塗布ヘッド１０を構成する一方の
ヘッド部材１１Ａにおける他方の側面１７（上記の傾斜
面１７Ａを除く他方の側面１７）に、この他方の側面１
７に開口して、一方の側面１２（スロット１６）側へ向
かって一段凹む凹部２０が、スロット１６の長手方向
（塗布ヘッド１０の長手方向）に沿った方向に延びるよ
うに形成されている。
ヘッド部材１１Ａにおける他方の側面１７（上記の傾斜
面１７Ａを除く他方の側面１７）に、この他方の側面１
７に開口して、一方の側面１２（スロット１６）側へ向
かって一段凹む凹部２０が、スロット１６の長手方向
（塗布ヘッド１０の長手方向）に沿った方向に延びるよ
うに形成されている。
【００１８】凹部２０は、他方の側面１７に交差すると
ともに、塗布液の流通方向であるスロット１６の延在方
向（図２における上下方向、塗布ヘッド１６の長手方向
に直交する断面で見たときのスロット１６の延在方向）
に沿った方向を向いて互いに対向する一対の壁面２２，
２２と、これら一対の壁面２２，２２同士を接続すると
ともに、凹部２０における側面１７への開口部側を向く
底面２１とを備えている。また、凹部２０における一対
の壁面２２，２２は、これら一対の壁面２２，２２同士
の間の距離（スロット１６の延在方向に沿った方向での
距離）が凹部２０における開口部側へ向かうにしたがい
漸次小さくなるように、互いに傾斜させられている。
ともに、塗布液の流通方向であるスロット１６の延在方
向（図２における上下方向、塗布ヘッド１６の長手方向
に直交する断面で見たときのスロット１６の延在方向）
に沿った方向を向いて互いに対向する一対の壁面２２，
２２と、これら一対の壁面２２，２２同士を接続すると
ともに、凹部２０における側面１７への開口部側を向く
底面２１とを備えている。また、凹部２０における一対
の壁面２２，２２は、これら一対の壁面２２，２２同士
の間の距離（スロット１６の延在方向に沿った方向での
距離）が凹部２０における開口部側へ向かうにしたがい
漸次小さくなるように、互いに傾斜させられている。
【００１９】このような凹部２０が形成されていること
により、一方のヘッド部材１１Ａは、凹部２０の底面２
１と一方の側面１２との間がポケット１５に隣接する薄
肉部分とされているのであるが、本第一実施形態では、
さらなる薄肉部分を形成するため、凹部２０の底面２１
に、この底面２１に開口して、一方の側面１２側へ向か
って一段凹む第二凹部２１Ａが、凹部２０と同じくスロ
ット１６の長手方向に沿った方向に延びるように形成さ
れている。
により、一方のヘッド部材１１Ａは、凹部２０の底面２
１と一方の側面１２との間がポケット１５に隣接する薄
肉部分とされているのであるが、本第一実施形態では、
さらなる薄肉部分を形成するため、凹部２０の底面２１
に、この底面２１に開口して、一方の側面１２側へ向か
って一段凹む第二凹部２１Ａが、凹部２０と同じくスロ
ット１６の長手方向に沿った方向に延びるように形成さ
れている。
【００２０】凹部２０内には、図１〜図４に示すよう
に、スロット１６の長手方向（塗布ヘッド１０の長手方
向）に沿った方向に延びる略直方体状をなす調整ユニッ
ト３０が、凹部２０の延びる方向であるスロット１６の
長手方向に沿った方向に移動可能とされるように設けら
れている。調整ユニット３０は、凹部２０における一対
の壁面２２，２２のそれぞれに接触させられる一対の押
圧面３２，３２と、凹部２０における底面２１に接触さ
せられる背面３１と、凹部２０における側面１７への開
口部に露出させられる前面３３とを備えている。
に、スロット１６の長手方向（塗布ヘッド１０の長手方
向）に沿った方向に延びる略直方体状をなす調整ユニッ
ト３０が、凹部２０の延びる方向であるスロット１６の
長手方向に沿った方向に移動可能とされるように設けら
れている。調整ユニット３０は、凹部２０における一対
の壁面２２，２２のそれぞれに接触させられる一対の押
圧面３２，３２と、凹部２０における底面２１に接触さ
せられる背面３１と、凹部２０における側面１７への開
口部に露出させられる前面３３とを備えている。
【００２１】また、調整ユニット３０における一対の押
圧面３２，３２は、上記の凹部２０における一対の壁面
２２，２２と同様に、これら一対の押圧面３２，３２同
士の間の距離（スロット１６の延在方向に沿った方向で
の距離）が前面３３側へ向かうにしたがい漸次小さくな
るように、互いに傾斜させられている。そのため、調整
ユニット３０は、凹部２０内において、スロット１６の
長手方向に沿った方向で移動可能とされているものの、
凹部２０における側面１７への開口部側からは抜け落ち
ないようになっている。
圧面３２，３２は、上記の凹部２０における一対の壁面
２２，２２と同様に、これら一対の押圧面３２，３２同
士の間の距離（スロット１６の延在方向に沿った方向で
の距離）が前面３３側へ向かうにしたがい漸次小さくな
るように、互いに傾斜させられている。そのため、調整
ユニット３０は、凹部２０内において、スロット１６の
長手方向に沿った方向で移動可能とされているものの、
凹部２０における側面１７への開口部側からは抜け落ち
ないようになっている。
【００２２】この調整ユニット３０において、スロット
１６の延在方向に沿った方向を向く一対の押圧面３２，
３２のうち、塗布ヘッド１０の先端側を向く一方の押圧
面３２を含む部分の内部に、流体としての油が封入され
る流体圧室３４が形成されており、この流体圧室３４の
存在によって、一方の押圧面３２を含む部分が弾性変形
可能な程度に薄肉化されている。さらに、この調整ユニ
ット３０の内部には、上記の流体圧室３４に接続される
ピストン機構３５が備えられ、このピストン機構３５
は、調整ユニット３０の前面３３に露出する調整ネジ３
６をねじ込むことによって、調整ネジ３６の先端に接触
するピストン３７を前進させ、ピストン機構３５に接続
された流体圧室３４内に封入された流体としての油を圧
縮するようになっている。なお、上記の流体圧室３４内
には、調整ユニット３０の前面３３に開口する孔部を介
して流体としての油が封入され、その後、グリスニップ
ル３８によって封止されている。
１６の延在方向に沿った方向を向く一対の押圧面３２，
３２のうち、塗布ヘッド１０の先端側を向く一方の押圧
面３２を含む部分の内部に、流体としての油が封入され
る流体圧室３４が形成されており、この流体圧室３４の
存在によって、一方の押圧面３２を含む部分が弾性変形
可能な程度に薄肉化されている。さらに、この調整ユニ
ット３０の内部には、上記の流体圧室３４に接続される
ピストン機構３５が備えられ、このピストン機構３５
は、調整ユニット３０の前面３３に露出する調整ネジ３
６をねじ込むことによって、調整ネジ３６の先端に接触
するピストン３７を前進させ、ピストン機構３５に接続
された流体圧室３４内に封入された流体としての油を圧
縮するようになっている。なお、上記の流体圧室３４内
には、調整ユニット３０の前面３３に開口する孔部を介
して流体としての油が封入され、その後、グリスニップ
ル３８によって封止されている。
【００２３】上述したような構成を有する塗布工具は、
塗布ヘッド１０の先端を被塗布物に対向配置させるとと
もに、塗布ヘッド１０の長手方向（スロット１６の長手
方向）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布
装置に装着され、塗布液タンクから供給ポンプによって
ポケット１５内に供給された塗布液が、スロット１６内
を流通して塗布ヘッド１０の先端から吐出されることに
より、この塗布ヘッド１０の先端に対して相対的に移動
する被塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
塗布ヘッド１０の先端を被塗布物に対向配置させるとと
もに、塗布ヘッド１０の長手方向（スロット１６の長手
方向）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布
装置に装着され、塗布液タンクから供給ポンプによって
ポケット１５内に供給された塗布液が、スロット１６内
を流通して塗布ヘッド１０の先端から吐出されることに
より、この塗布ヘッド１０の先端に対して相対的に移動
する被塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
【００２４】以上説明したような本第一実施形態では、
スロット１６の幅を調整するのに際して、まず、凹部２
０の延びる方向であるスロット１６の長手方向に沿った
方向に移動可能とされた調整ユニット３０を、スロット
１６の幅を小さくすべき領域に対応する位置に移動させ
る。次に、調整ユニット３０の内部に備えられたピスト
ン機構３５の調整ネジ３６をねじ込むことによって、図
４中の矢印Ｘで示す方向にピストン３６を前進させ、調
整ユニット３０の内部に形成された流体圧室３４に封入
されている流体としての油を圧縮する。
スロット１６の幅を調整するのに際して、まず、凹部２
０の延びる方向であるスロット１６の長手方向に沿った
方向に移動可能とされた調整ユニット３０を、スロット
１６の幅を小さくすべき領域に対応する位置に移動させ
る。次に、調整ユニット３０の内部に備えられたピスト
ン機構３５の調整ネジ３６をねじ込むことによって、図
４中の矢印Ｘで示す方向にピストン３６を前進させ、調
整ユニット３０の内部に形成された流体圧室３４に封入
されている流体としての油を圧縮する。
【００２５】すると、流体圧室３４内で流体としての油
が圧縮されて生じる流体圧により、この調整ユニット３
０において、弾性変形可能な程度に薄肉化された一方の
押圧面３２を含む部分が、図４中の矢印Ｙで示すよう
に、塗布ヘッド１０の先端側へ向かって膨らむように弾
性変形し、この調整ユニット３０における一対の押圧面
３２，３２同士の間の距離が大きくなる、つまり、調整
ユニット３０におけるスロット１６の延在方向での長さ
が大きくなることになる。
が圧縮されて生じる流体圧により、この調整ユニット３
０において、弾性変形可能な程度に薄肉化された一方の
押圧面３２を含む部分が、図４中の矢印Ｙで示すよう
に、塗布ヘッド１０の先端側へ向かって膨らむように弾
性変形し、この調整ユニット３０における一対の押圧面
３２，３２同士の間の距離が大きくなる、つまり、調整
ユニット３０におけるスロット１６の延在方向での長さ
が大きくなることになる。
【００２６】これにより、一方のヘッド部材１１Ａは、
凹部２０における一対の壁面２２，２２同士の間の距離
が大きくなるように、ポケット１５に隣接する薄肉部分
を支点として弾性変形させられるのであり、このような
一方のヘッド部材１１Ａの変形にともない、一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂにおける互いに対向する一方の側
面１２，１２同士の間に画成されたスロット１６の幅が
小さくなるように、このスロット１６の幅が調整される
（調整ユニット３０によって幅が小さくされる領域以外
のスロット１６の幅を、見かけ上大きくする）。
凹部２０における一対の壁面２２，２２同士の間の距離
が大きくなるように、ポケット１５に隣接する薄肉部分
を支点として弾性変形させられるのであり、このような
一方のヘッド部材１１Ａの変形にともない、一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂにおける互いに対向する一方の側
面１２，１２同士の間に画成されたスロット１６の幅が
小さくなるように、このスロット１６の幅が調整される
（調整ユニット３０によって幅が小さくされる領域以外
のスロット１６の幅を、見かけ上大きくする）。
【００２７】このような本第一実施形態では、スロット
１６の幅を調整するための調整ユニット３０が、スロッ
ト１６の長手方向に沿った方向で移動可能とされている
ことから、この調整ユニット３０を、スロット１６の長
手方向に沿った方向での任意の位置に移動させて固定
し、その任意の位置に対応する領域でのスロット１６
（例えば１００μｍ以上の幅を有するスロット１６）の
幅を調整することができるようになっている。しかも、
調整するスロットの幅については、このスロットの長手
方向に沿った方向での略全長に亘って略一定となるよう
に設定するだけではなく、例えば、ある所定領域で意図
的に大きくなったり小さくなったりするように設定する
こともできる。
１６の幅を調整するための調整ユニット３０が、スロッ
ト１６の長手方向に沿った方向で移動可能とされている
ことから、この調整ユニット３０を、スロット１６の長
手方向に沿った方向での任意の位置に移動させて固定
し、その任意の位置に対応する領域でのスロット１６
（例えば１００μｍ以上の幅を有するスロット１６）の
幅を調整することができるようになっている。しかも、
調整するスロットの幅については、このスロットの長手
方向に沿った方向での略全長に亘って略一定となるよう
に設定するだけではなく、例えば、ある所定領域で意図
的に大きくなったり小さくなったりするように設定する
こともできる。
【００２８】そのため、スロット１６内を流通して塗布
ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量を、この
スロット１６の長手方向に沿った方向の略全長に亘って
略一定とするように、調整ユニット３０を用いてスロッ
ト１６の幅を調整することにより、被塗布物の表面に塗
布される塗布液の膜厚を均一に維持することができるの
である。また、粘度の高い塗布液を高圧でポケット１５
内に供給するときには、塗布液に加えられた圧力によっ
て、スロット１６の幅が、その長手方向の略中央部で大
きくなってしまう、いわゆる中開き現象が生じて、吐出
された塗布液の流量にばらつきが生じてしまうおそれが
あるが、このような中開き現象を想定したスロット１６
の幅を設定することで、スロット１６内を流通して塗布
ヘッド１０の先端から吐出される粘度の高い塗布液の流
量を、スロット１６の長手方向の略全長に亘って略一定
に維持することもできる。
ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量を、この
スロット１６の長手方向に沿った方向の略全長に亘って
略一定とするように、調整ユニット３０を用いてスロッ
ト１６の幅を調整することにより、被塗布物の表面に塗
布される塗布液の膜厚を均一に維持することができるの
である。また、粘度の高い塗布液を高圧でポケット１５
内に供給するときには、塗布液に加えられた圧力によっ
て、スロット１６の幅が、その長手方向の略中央部で大
きくなってしまう、いわゆる中開き現象が生じて、吐出
された塗布液の流量にばらつきが生じてしまうおそれが
あるが、このような中開き現象を想定したスロット１６
の幅を設定することで、スロット１６内を流通して塗布
ヘッド１０の先端から吐出される粘度の高い塗布液の流
量を、スロット１６の長手方向の略全長に亘って略一定
に維持することもできる。
【００２９】そして、スロット１６の幅を調整するた
め、上記のような調整ユニット３０を用いたことによ
り、この調整ユニット３０におけるスロット１６の長手
方向に沿った方向での長さを必要に応じて適宜与えてや
ることで、一方のヘッド部材１１Ａを変形させるときの
押圧部分が局所的になることがなくなり、所定領域での
スロット１６の幅を調整するときであっても、従来の調
整ボルトを用いた直接的かつ局所的な押圧でスロット１
６の幅を調整する場合のように、複数回繰り返しての調
整が必要となることはなく、容易にスロット１６の幅を
調整することができる。
め、上記のような調整ユニット３０を用いたことによ
り、この調整ユニット３０におけるスロット１６の長手
方向に沿った方向での長さを必要に応じて適宜与えてや
ることで、一方のヘッド部材１１Ａを変形させるときの
押圧部分が局所的になることがなくなり、所定領域での
スロット１６の幅を調整するときであっても、従来の調
整ボルトを用いた直接的かつ局所的な押圧でスロット１
６の幅を調整する場合のように、複数回繰り返しての調
整が必要となることはなく、容易にスロット１６の幅を
調整することができる。
【００３０】さらに、調整ユニット３０は、その内部に
封入された流体としての油が圧縮されて生じる流体圧
（油圧）を用いて、スロット１６の延在方向に沿った方
向での長さを非常に緩やかな変化傾向で大きくする構成
であることから、この調整ユニット３０で一方のヘッド
部材１１Ａを変形させて調整されるスロット１６の幅の
変化の挙動を非常に緩やかなものにして、例えばミクロ
ンオーダーでの微細な幅の調整を行うことが可能となっ
ている。とくに、流体圧室３４に封入される流体として
油を選択し、この油が圧縮されて生じる油圧を利用する
調整ユニット３０を採用したことから、スロット１６の
幅を調整するときのロスを少なくすることができてい
る。
封入された流体としての油が圧縮されて生じる流体圧
（油圧）を用いて、スロット１６の延在方向に沿った方
向での長さを非常に緩やかな変化傾向で大きくする構成
であることから、この調整ユニット３０で一方のヘッド
部材１１Ａを変形させて調整されるスロット１６の幅の
変化の挙動を非常に緩やかなものにして、例えばミクロ
ンオーダーでの微細な幅の調整を行うことが可能となっ
ている。とくに、流体圧室３４に封入される流体として
油を選択し、この油が圧縮されて生じる油圧を利用する
調整ユニット３０を採用したことから、スロット１６の
幅を調整するときのロスを少なくすることができてい
る。
【００３１】次に、本発明の第二実施形態を説明する
が、上述した第一実施形態とは、調整ユニット３０の構
成が異なるだけであるので、この第一実施形態と同様の
部分については、同一の符合を用いてその説明を省略す
る。本発明の第二実施形態にて用いられる略直方体状を
なす調整ユニット３０には、図５及び図６に示すよう
に、その前面３３に開口するとともに、スロット１６の
長手方向に沿った方向の両端に位置する両端面３０Ａ，
３０Ａに開口するクサビ収容部４０が形成されている。
が、上述した第一実施形態とは、調整ユニット３０の構
成が異なるだけであるので、この第一実施形態と同様の
部分については、同一の符合を用いてその説明を省略す
る。本発明の第二実施形態にて用いられる略直方体状を
なす調整ユニット３０には、図５及び図６に示すよう
に、その前面３３に開口するとともに、スロット１６の
長手方向に沿った方向の両端に位置する両端面３０Ａ，
３０Ａに開口するクサビ収容部４０が形成されている。
【００３２】クサビ収容部４０は、調整ユニット３０の
前面３３に交差するとともに塗布液の流通方向であるス
ロット１６の延在方向（図６における上下方向）に沿っ
た方向を向いて互いに対向する一対の壁面４２，４２
と、これら一対の壁面４２，４２同士を接続するととも
にクサビ収容部４０における前面３３への開口部側を向
く底面４１とを備えている。また、クサビ収容部４０に
おける一対の壁面４２，４２は、これら一対の壁面４
２，４２同士の間の距離（スロット１６の延在方向に沿
った方向での距離）がクサビ収容部４０における開口部
側へ向かうにしたがい漸次大きくなるように、互いに傾
斜させられている。
前面３３に交差するとともに塗布液の流通方向であるス
ロット１６の延在方向（図６における上下方向）に沿っ
た方向を向いて互いに対向する一対の壁面４２，４２
と、これら一対の壁面４２，４２同士を接続するととも
にクサビ収容部４０における前面３３への開口部側を向
く底面４１とを備えている。また、クサビ収容部４０に
おける一対の壁面４２，４２は、これら一対の壁面４
２，４２同士の間の距離（スロット１６の延在方向に沿
った方向での距離）がクサビ収容部４０における開口部
側へ向かうにしたがい漸次大きくなるように、互いに傾
斜させられている。
【００３３】さらに、このクサビ収容部４０において、
スロット１６の延在方向に沿った方向を向く一対の壁面
４２，４２のうち、塗布ヘッド１０の後端側を向く一方
の壁面４２と、底面４１との交差稜線部には、スロット
１６の長手方向に沿った方向に延びるぬすみ穴４３が形
成されており、このぬすみ穴４３によって、後述するク
サビ部材４５が挿入されて移動させられたときの弾性変
形を促すための薄肉部分を形成するとともに、弾性変形
時の応力集中を緩和するようになっている。
スロット１６の延在方向に沿った方向を向く一対の壁面
４２，４２のうち、塗布ヘッド１０の後端側を向く一方
の壁面４２と、底面４１との交差稜線部には、スロット
１６の長手方向に沿った方向に延びるぬすみ穴４３が形
成されており、このぬすみ穴４３によって、後述するク
サビ部材４５が挿入されて移動させられたときの弾性変
形を促すための薄肉部分を形成するとともに、弾性変形
時の応力集中を緩和するようになっている。
【００３４】クサビ収容部４０内には、このクサビ収容
部４０における一対の壁面４２，４２に密着する一対の
押圧面４６，４６を備えたクサビ部材４５が挿入されて
おり、このクサビ部材４５を調整ユニット３０における
前面３３側から背面３１側へ向かって貫通する調整ネジ
４７が、クサビ収容部４０における底面４１に形成され
たネジ穴４１Ａにねじ込まれていることによって、この
クサビ部材４５が調整ユニット３０の内部に備えられる
ように固定されている。
部４０における一対の壁面４２，４２に密着する一対の
押圧面４６，４６を備えたクサビ部材４５が挿入されて
おり、このクサビ部材４５を調整ユニット３０における
前面３３側から背面３１側へ向かって貫通する調整ネジ
４７が、クサビ収容部４０における底面４１に形成され
たネジ穴４１Ａにねじ込まれていることによって、この
クサビ部材４５が調整ユニット３０の内部に備えられる
ように固定されている。
【００３５】以上説明したような本第二実施形態では、
スロット１６の幅を調整するのに際して、まず、凹部２
０の延びる方向であるスロット１６の長手方向に沿った
方向に移動可能とされた調整ユニット３０を、スロット
１６の幅を小さくすべき領域に対応する位置に移動させ
る。次に、調整ユニット３０の内部に備えられたクサビ
部材４５を貫通している調整ネジ４７をねじ込むことに
よって、図６中の矢印Ｘで示す方向（一方の側面１２
（スロット１６）側へ向かう方向）にクサビ部材４５を
前進させるように移動させ、このクサビ部材４５におけ
る一対の押圧面４６，４６で、これら一対の押圧面４
６，４６が密着して互いに傾斜するクサビ収容部４０に
おける一対の壁面４２，４２をそれぞれ押圧する。
スロット１６の幅を調整するのに際して、まず、凹部２
０の延びる方向であるスロット１６の長手方向に沿った
方向に移動可能とされた調整ユニット３０を、スロット
１６の幅を小さくすべき領域に対応する位置に移動させ
る。次に、調整ユニット３０の内部に備えられたクサビ
部材４５を貫通している調整ネジ４７をねじ込むことに
よって、図６中の矢印Ｘで示す方向（一方の側面１２
（スロット１６）側へ向かう方向）にクサビ部材４５を
前進させるように移動させ、このクサビ部材４５におけ
る一対の押圧面４６，４６で、これら一対の押圧面４
６，４６が密着して互いに傾斜するクサビ収容部４０に
おける一対の壁面４２，４２をそれぞれ押圧する。
【００３６】すると、クサビ部材４５が移動させられて
生じる押圧力により、この調整ユニット３０において、
一方の押圧面３２を含む部分が、図６中の矢印Ｙで示す
ように、ぬすみ穴４３によって薄肉化された部分を支点
として塗布ヘッド１０の先端側へ向かって移動するよう
に弾性変形し、この調整ユニット３０における一対の押
圧面３２，３２同士の間の距離が大きくなる、つまり、
調整ユニット３０におけるスロット１６の延在方向での
長さが大きくなることになる。
生じる押圧力により、この調整ユニット３０において、
一方の押圧面３２を含む部分が、図６中の矢印Ｙで示す
ように、ぬすみ穴４３によって薄肉化された部分を支点
として塗布ヘッド１０の先端側へ向かって移動するよう
に弾性変形し、この調整ユニット３０における一対の押
圧面３２，３２同士の間の距離が大きくなる、つまり、
調整ユニット３０におけるスロット１６の延在方向での
長さが大きくなることになる。
【００３７】これにより、一方のヘッド部材１１Ａは、
凹部２０における一対の壁面２２，２２同士の間の距離
が大きくなるように、ポケット１５に隣接する薄肉部分
を支点として弾性変形させられるのであり、このような
一方のヘッド部材１１Ａの変形にともない、一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂにおける互いに対向する一方の側
面１２，１２同士の間に画成されたスロット１６の幅が
小さくなるように調整される（調整ユニット３０によっ
て幅が小さくされる領域以外のスロット１６の幅を、見
かけ上大きくする）。
凹部２０における一対の壁面２２，２２同士の間の距離
が大きくなるように、ポケット１５に隣接する薄肉部分
を支点として弾性変形させられるのであり、このような
一方のヘッド部材１１Ａの変形にともない、一対のヘッ
ド部材１１Ａ，１１Ｂにおける互いに対向する一方の側
面１２，１２同士の間に画成されたスロット１６の幅が
小さくなるように調整される（調整ユニット３０によっ
て幅が小さくされる領域以外のスロット１６の幅を、見
かけ上大きくする）。
【００３８】このような本第二実施形態でも、上述した
第一実施形態と同様の効果を得ることができるのである
が、とくに、第一実施形態のような流体としての油が圧
縮されて生じる油圧を利用するものではなく、クサビ部
材４５による機械的な押圧力を利用する調整ユニット３
０を採用したことから、例えばクリーンルームで塗布装
置の使用する場合などにも対応することができる。ま
た、本第二実施形態で用いたような、クサビ部材４５が
移動させられて生じる押圧力によって、スロット１６の
延在方向に沿った方向での長さを大きくする調整ユニッ
ト３０と、上記の第一実施形態で用いたような、流体が
圧縮されて生じる流体圧によって、スロット１６の延在
方向に沿った方向での長さを大きくする調整ユニット３
０とを併用することも考えられる。
第一実施形態と同様の効果を得ることができるのである
が、とくに、第一実施形態のような流体としての油が圧
縮されて生じる油圧を利用するものではなく、クサビ部
材４５による機械的な押圧力を利用する調整ユニット３
０を採用したことから、例えばクリーンルームで塗布装
置の使用する場合などにも対応することができる。ま
た、本第二実施形態で用いたような、クサビ部材４５が
移動させられて生じる押圧力によって、スロット１６の
延在方向に沿った方向での長さを大きくする調整ユニッ
ト３０と、上記の第一実施形態で用いたような、流体が
圧縮されて生じる流体圧によって、スロット１６の延在
方向に沿った方向での長さを大きくする調整ユニット３
０とを併用することも考えられる。
【００３９】なお、上記の各実施形態においては、調整
ユニット３０を設ける凹部２０を、塗布ヘッド１０を構
成する一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂのうち、ポケッ
ト１５を画成する凹溝１２Ａが一方の側面１２に形成さ
れていない一方のヘッド部材１１Ａのみに形成するよう
にしたが、もちろん、他方のヘッド部材１１Ｂにおける
他方の側面１７にも凹部２０を形成して、この凹部２０
内に調整ユニット３０を設けるようにしてもよい。しか
し、この調整ユニット３０は、ヘッド部材を変形させる
ことによってスロット１６の幅を調整するものであるか
ら、他方のヘッド部材１１Ｂを変形させると、これにと
もなってポケット１５の形状も変形させられ、ポケット
１５内に供給された塗布液の定常流の状態を崩してしま
って、塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流
量に悪影響を与えてしまうおそれがあるので、上記の各
実施形態のように、一方のヘッド部材１１Ａのみを変化
させることによって、スロット１６の幅を調整すること
が好ましい。
ユニット３０を設ける凹部２０を、塗布ヘッド１０を構
成する一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂのうち、ポケッ
ト１５を画成する凹溝１２Ａが一方の側面１２に形成さ
れていない一方のヘッド部材１１Ａのみに形成するよう
にしたが、もちろん、他方のヘッド部材１１Ｂにおける
他方の側面１７にも凹部２０を形成して、この凹部２０
内に調整ユニット３０を設けるようにしてもよい。しか
し、この調整ユニット３０は、ヘッド部材を変形させる
ことによってスロット１６の幅を調整するものであるか
ら、他方のヘッド部材１１Ｂを変形させると、これにと
もなってポケット１５の形状も変形させられ、ポケット
１５内に供給された塗布液の定常流の状態を崩してしま
って、塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流
量に悪影響を与えてしまうおそれがあるので、上記の各
実施形態のように、一方のヘッド部材１１Ａのみを変化
させることによって、スロット１６の幅を調整すること
が好ましい。
【００４０】また、上記の各実施形態においては、スロ
ット１６の長手方向に沿って延びるように形成された一
つの凹部２０内には、一つの調整ユニット３０を設ける
ようにしているが、これに限定されることはなく、必要
に応じて、一つの凹部２０内に、複数の調整ユニット３
０を設けるようにしても構わない。
ット１６の長手方向に沿って延びるように形成された一
つの凹部２０内には、一つの調整ユニット３０を設ける
ようにしているが、これに限定されることはなく、必要
に応じて、一つの凹部２０内に、複数の調整ユニット３
０を設けるようにしても構わない。
【００４１】さらに、上記の各実施形態においては、塗
布ヘッド１０を構成するヘッド部材１１Ａ，１１Ｂのそ
れぞれが、塗布ヘッド１０の先端を構成する部分を含め
て一体のものとして説明されているが、これに限定され
ることはなく、例えば、ヘッド部材１１Ａ，１１Ｂの先
端に対して超硬合金などの硬質部材が取り付けられたも
のであってもよい。
布ヘッド１０を構成するヘッド部材１１Ａ，１１Ｂのそ
れぞれが、塗布ヘッド１０の先端を構成する部分を含め
て一体のものとして説明されているが、これに限定され
ることはなく、例えば、ヘッド部材１１Ａ，１１Ｂの先
端に対して超硬合金などの硬質部材が取り付けられたも
のであってもよい。
【００４２】加えて、上記の各実施形態においては、塗
布ヘッド１０が一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂから構
成されたものとして説明しているが、例えば、塗布ヘッ
ド１０が３つ以上のヘッド部材から構成されて、これら
３つ以上のヘッド部材における互いに対向する側面同士
の間に、塗布ヘッド１０の先端に開口する２つ以上のス
ロットが画成されるようにして、被塗布物の表面に２つ
以上の塗布液が層をなすように同時に塗布されるような
ものであってもよい。
布ヘッド１０が一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂから構
成されたものとして説明しているが、例えば、塗布ヘッ
ド１０が３つ以上のヘッド部材から構成されて、これら
３つ以上のヘッド部材における互いに対向する側面同士
の間に、塗布ヘッド１０の先端に開口する２つ以上のス
ロットが画成されるようにして、被塗布物の表面に２つ
以上の塗布液が層をなすように同時に塗布されるような
ものであってもよい。
【００４３】
【発明の効果】本発明によれば、ヘッド部材の側面に形
成された凹部内に設けられる調整ユニットを用い、この
凹部における一対の壁面同士の間の距離を大きくするよ
うにヘッド部材を変形させることで、複数のヘッド部材
における互いに対向する側面同士の間に画成されたスロ
ットの幅を調整することができるようになっている。そ
して、調整ユニットにおけるスロットの長手方向に沿っ
た方向での長さを必要に応じて適宜与えてやることで、
ヘッド部材を変形させるときの押圧部分が局所的になっ
てしまうことがなくなり、所定領域のスロットの幅を調
整する場合でも、従来の調整ボルトを用いた場合のよう
な複数回繰り返しての調整が必要とならず、容易にスロ
ットの幅を調整することが可能となる。さらに、前記凹
部が、前記スロットの長手方向に沿った方向に延びるよ
うに形成され、前記調整ユニットが、前記スロットの長
手方向に沿った方向の任意の位置へ移動及び固定可能と
されているので、この調整ユニットを、スロットの長手
方向に沿った方向での任意の位置に移動させて固定し、
その任意の位置に対応する領域でのスロットの幅を調整
することができる。
成された凹部内に設けられる調整ユニットを用い、この
凹部における一対の壁面同士の間の距離を大きくするよ
うにヘッド部材を変形させることで、複数のヘッド部材
における互いに対向する側面同士の間に画成されたスロ
ットの幅を調整することができるようになっている。そ
して、調整ユニットにおけるスロットの長手方向に沿っ
た方向での長さを必要に応じて適宜与えてやることで、
ヘッド部材を変形させるときの押圧部分が局所的になっ
てしまうことがなくなり、所定領域のスロットの幅を調
整する場合でも、従来の調整ボルトを用いた場合のよう
な複数回繰り返しての調整が必要とならず、容易にスロ
ットの幅を調整することが可能となる。さらに、前記凹
部が、前記スロットの長手方向に沿った方向に延びるよ
うに形成され、前記調整ユニットが、前記スロットの長
手方向に沿った方向の任意の位置へ移動及び固定可能と
されているので、この調整ユニットを、スロットの長手
方向に沿った方向での任意の位置に移動させて固定し、
その任意の位置に対応する領域でのスロットの幅を調整
することができる。
【図１】 本発明の第一実施形態による塗布工具を示す
側面図である。
側面図である。
【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】 本発明の第一実施形態による塗布工具を示す
要部拡大側面図である。
要部拡大側面図である。
【図４】 本発明の第一実施形態による塗布工具を示す
要部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
【図５】 本発明の第二実施形態による塗布工具を示す
要部拡大側面図である。
要部拡大側面図である。
【図６】 本発明の第二実施形態による塗布工具を示す
要部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
１０ 塗布ヘッド
１１Ａ，１１Ｂ ヘッド部材
１２ 一方の側面（スロットを画成する側面）
１５ ポケット
１６ スロット
１７ 他方の側面（スロットを画成する側面とは反対側
の側面） ２０ 凹部 ２２ 壁面 ３０ 調整ユニット ３４ 流体圧室 ３５ ピストン機構 ４０ クサビ収容部 ４５ クサビ部材
の側面） ２０ 凹部 ２２ 壁面 ３０ 調整ユニット ３４ 流体圧室 ３５ ピストン機構 ４０ クサビ収容部 ４５ クサビ部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 掛橋 典之
岐阜県安八郡神戸町大字横井字中新田
1528番地 株式会社リョウテック 耐摩
工具事業部内
(72)発明者 金山 利彦
岐阜県安八郡神戸町大字横井字中新田
1528番地 株式会社リョウテック 耐摩
工具事業部内
(72)発明者 福田 努
岐阜県安八郡神戸町大字横井字中新田
1528番地 株式会社リョウテック 耐摩
工具事業部内
(56)参考文献 特開 平９−131561（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−47030（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B05C 5/02
B29C 47/16
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のヘッド部材から構成された塗布ヘ
ッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向
する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する
溝状のスロットが画成され、塗布液が前記スロット内を
流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具
であって、 前記ヘッド部材における前記スロットを画成する側面と
は反対側の側面に、前記塗布液の流通方向である前記ス
ロットの延在方向に沿った方向を向いて互いに対向する
一対の壁面を備えた凹部が形成され、 この凹部内に、前記スロットの延在方向に沿った方向で
の長さを大きくすることによって、前記一対の壁面同士
の間の距離が大きくなるように前記ヘッド部材を変形さ
せて、前記スロットの幅を調整することが可能な調整ユ
ニットが設けられ、 さらに、前記凹部が、前記スロットの長手方向に沿った
方向に延びるように形成され、 前記調整ユニットが、前記スロットの長手方向に沿った
方向の任意の位置へ移動及び固定可能とされていること
を特徴とする塗布工具。 - 【請求項２】 請求項１に記載の塗布工具において、 前記調整ユニットは、その内部に流体圧室が形成され、
この流体圧室に封入された流体が圧縮されて生じる流体
圧により、前記スロットの延在方向に沿った方向での長
さを大きくすることを特徴とする塗布工具。 - 【請求項３】 請求項１に記載の塗布工具において、 前記調整ユニットは、その内部に備えられたクサビ部材
が移動させられて生じる押圧力により、前記スロットの
延在方向に沿った方向での長さを大きくすることを特徴
とする塗布工具。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
の塗布工具が、前記塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向
配置させるように装着されていて、前記塗布ヘッドの先
端から塗布液が吐出されることにより、前記塗布ヘッド
の先端に対して相対的に移動する前記被塗布物に塗布液
が塗布されることを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003119014A JP3501159B1 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | 塗布工具及び塗布装置 |
| TW093103768A TWI289480B (en) | 2003-04-23 | 2004-02-17 | Coating tool and device |
| KR1020040013173A KR100583219B1 (ko) | 2003-04-23 | 2004-02-26 | 도포 공구 및 도포 장치 |
| CNB2004100350923A CN100425352C (zh) | 2003-04-23 | 2004-04-23 | 涂布工具及涂布装置 |
| HK05101844.1A HK1069354A1 (en) | 2003-04-23 | 2005-03-02 | Coating tool and coating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003119014A JP3501159B1 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | 塗布工具及び塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3501159B1 true JP3501159B1 (ja) | 2004-03-02 |
| JP2004321911A JP2004321911A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=32025639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003119014A Expired - Lifetime JP3501159B1 (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | 塗布工具及び塗布装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3501159B1 (ja) |
| KR (1) | KR100583219B1 (ja) |
| CN (1) | CN100425352C (ja) |
| HK (1) | HK1069354A1 (ja) |
| TW (1) | TWI289480B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2006239664A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド及びスリットギャップ調整方法 |
| JP2008212775A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Mitsubishi Materials Corp | 塗布工具 |
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| JP4492375B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2010-06-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 塗布工具および塗布装置 |
| KR100969358B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-07-09 | 주식회사 디엠에스 | 슬릿 노즐 |
| JP5732736B2 (ja) | 2009-08-20 | 2015-06-10 | 三菱マテリアル株式会社 | 塗布工具 |
| MY184214A (en) * | 2012-10-19 | 2021-03-26 | Asahi Kasei E Mat Corporation | Coating head with inner deckle |
| CN108554669B (zh) * | 2018-01-03 | 2020-04-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种喷嘴、涂布机及涂布方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3940221A (en) * | 1973-09-10 | 1976-02-24 | Welex Incorporated | Thickness control system for an extrusion die |
| AT392934B (de) * | 1989-06-30 | 1991-07-10 | Cincinnati Milacron Austria | Breitschlitzduese |
| US5067432A (en) | 1990-05-23 | 1991-11-26 | Extrusion Dies, Inc. | Replaceable wiping insert for slot die head |
| US5259747A (en) * | 1992-04-30 | 1993-11-09 | The Cloeren Company | Web thickness control |
| JP3122568B2 (ja) | 1993-10-19 | 2001-01-09 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布装置 |
| JP3620801B2 (ja) * | 1994-03-25 | 2005-02-16 | Ｔｄｋ株式会社 | 塗布装置 |
| DE19651739A1 (de) * | 1996-12-12 | 1998-06-18 | Voith Sulzer Papiermasch Gmbh | Auftragwerk zum direkten oder indirekten Auftragen eines flüssigen oder pastösen Streichmediums auf eine laufende Materialbahn, insbesondere aus Papier oder Karton |
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-
2003
- 2003-04-23 JP JP2003119014A patent/JP3501159B1/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-02-17 TW TW093103768A patent/TWI289480B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-02-26 KR KR1020040013173A patent/KR100583219B1/ko active IP Right Grant
- 2004-04-23 CN CNB2004100350923A patent/CN100425352C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-02 HK HK05101844.1A patent/HK1069354A1/xx not_active IP Right Cessation
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| JP2008212775A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Mitsubishi Materials Corp | 塗布工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| CN100425352C (zh) | 2008-10-15 |
| TWI289480B (en) | 2007-11-11 |
| KR20040092385A (ko) | 2004-11-03 |
| CN1539559A (zh) | 2004-10-27 |
| HK1069354A1 (en) | 2005-05-20 |
| JP2004321911A (ja) | 2004-11-18 |
| KR100583219B1 (ko) | 2006-05-24 |
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