KR20040092385A

KR20040092385A - 도포 공구 및 도포 장치

Info

Publication number: KR20040092385A
Application number: KR1020040013173A
Authority: KR
Inventors: 야스따께무쯔미; 다까하시가즈히꼬; 가께하시노리유끼; 가나야마도시히꼬; 후꾸다즈또무
Original assignee: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
Priority date: 2003-04-23
Filing date: 2004-02-26
Publication date: 2004-11-03
Also published as: JP3501159B1; CN100425352C; HK1069354A1; TW200505586A; KR100583219B1; CN1539559A; TWI289480B; JP2004321911A

Abstract

본 발명은, 도포액이 유통되는 슬롯의 폭을 용이하게 조정하는 것을 그 과제로 한다.

본 발명은, 이의 해결수단으로서, 헤드 부재(11A)에서의 슬롯(16)을 구획형성하는 측면(12)과는 반대측의 측면(17)에, 도포액의 유통방향인 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향을 향해 서로 대향하는 한 쌍의 벽면(22,22)을 구비한 오목부(20)를 형성한다. 오목부(20) 내에, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 함으로써, 한 쌍의 벽면(22,22) 간의 거리가 커지도록 헤드 부재(11A)를 변형시켜, 슬롯(16)의 폭을 조정할 수 있는 조정 유닛(30)을 설치한다.

Description

도포 공구 및 도포 장치{COATING TOOL AND COATING DEVICE}

본 발명은, 피도포물에 대하여 도포액을 도포하기 위해 사용되는 도포 장치 및 그것에 장착되는 도포 공구에 관한 것이다.

종래부터 도포 공구로서는, 예를 들어 한 쌍의 헤드 부재로 구성된 도포 헤드를 가지며, 한 쌍의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 간에, 도포액이 공급되는 포켓과 이 포켓으로부터 선단측으로 연장되어 도포 헤드의 선단에 개구되는 홈형 슬롯이 구획형성된 것이 알려져 있다.

이러한 도포 공구는, 도포 헤드의 선단을 피도포물에 대향 배치시키는 동시에, 도포 헤드의 길이방향(슬롯의 길이방향)을 피도포물의 폭방향에 일치시키도록 하여 도포 장치에 장착되는 것으로서, 도포액 탱크로부터 공급 펌프에 의해 포켓 내로 공급된 도포액이, 슬롯 내를 유통하여 도포 헤드의 선단으로부터 토출됨으로써, 이 도포 헤드의 선단에 대하여 상대적으로 이동하는 피도포물의 표면에 도포액이 도포되게 된다.

그런데, 상기한 바와 같은 도포 장치는, 가요성이 있는 시트형 피도포물의 표면에 대하여 도포액을 도포하기 위해 사용될 뿐만 아니라, 예를 들어 액정 디스플레이의 패널 본체가 되는 유리 기판과 같은 패널형 피도포물의 표면에 대하여 컬러 레지스트 등의 도포액을 도포하기 위해서도 사용되고 있는데, 어느 경우나, 피도포물의 표면에 도포된 도포액의 막두께를 균일하게 할 것이 강하게 요구되고 있다.

다시 말해, 종래의 도포 장치에서는, 특히 도포 개시시에, 예를 들어 도포액을 포켓 내로 공급할 때의 공급구 위치 등에 기인하여, 슬롯 내를 유통하여 도포 헤드의 선단으로부터 토출되는 도포액의 유량이, 이 슬롯의 길이방향을 따른 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정해지지는 않으므로, 피도포물의 표면에 도포된 도포액의 막두께가 불균일해진다는 문제가 있었다.

이에 대하여, 일본 공개특허공보 평6-23821호(도 1)에는, 도포 헤드를 구성하고 있는 일방의 헤드 부재의 선단부를 가압하기 위한 푸시 로드 및 조정 볼트가, 슬롯의 길이방향을 따라 복수 배열되도록 형성된 도포 공구가 개시되어 있으며, 조정 볼트를 돌려 넣음으로써, 이 조정 볼트의 선단에 접촉하는 푸시 볼트가, 그 선단에서 헤드 부재의 선단부를 슬롯의 개구부측을 향하여 국소적으로 가압하여 변형시켜, 슬롯의 폭을 조정할 수 있게 되어 있다.

그리고, 슬롯 내를 유통하여 도포 헤드의 선단으로부터 토출되는 도포액의 유량을, 슬롯의 길이방향을 따른 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정하게 하도록, 이 슬롯의 폭을 조정함으로써, 피도포물의 표면에 도포되는 도포액의 막두께를 균일하게 하는 것을 목표로 하고 있다.

그러나, 도포 헤드의 선단으로부터 토출되는 도포액의 유량은, 슬롯의 길이방향을 따른 방향에서 국소적으로 변화하지 않아, 슬롯의 길이방향을 따른 방향의 소정 영역에서의 슬롯의 폭을 조정할 필요가 있기 때문에, 일본 공개특허공보 평6-23821호에 개시된 도포 공구와 같이, 헤드 부재의 선단부를 푸시 로드의 선단에서 국소적으로 가압하는 구조로 되어 있으면, 상기 소정 영역에 대응하는 범위 내에 형성된 복수의 조정 볼트를 각각 돌려 넣어, 복수의 푸시 로드의 각 선단에서 헤드 부재의 선단부를 가압하여야 한다. 그 때문에, 복수의 푸시 로드에 의한 헤드 부재의 가압 상태가 서로 간섭하여, 푸시 로드의 선단과 헤드 부재의 선단부 사이에 비접촉 개소가 생기기 쉬워, 슬롯의 폭을 원하는 값으로 조정할 때까지, 복수회 반복 조정하는 것이 필요해져, 작업 시간이 길어진다는 문제가 있었다.

또, 조정 볼트를 돌려 넣음으로써 직접적으로 헤드 부재의 선단부를 가압하여 슬롯의 폭을 조정하도록 되어 있기 때문에, 이 슬롯의 폭 조정량(슬롯의 폭 변화의 거동)이, 조정 볼트의 수나사부에 형성된 나사산의 피치에 의존하게 되어, 예를 들어 미크론 정도의 미세한 조정이 곤란하였다.

본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 도포액이 유통되는 슬롯의 폭을 용이하게 조정할 수 있는 도포 공구 및 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 도포 공구를 나타내는 측면도이다.

도 2 는 도 1 에서의 A-A 선 단면도이다.

도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 도포 공구를 나타내는 요부 확대 측면도이다.

도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 도포 공구를 나타내는 요부 확대 단면도이다.

도 5 는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 도포 공구를 나타내는 요부 확대 측면도이다.

도 6 은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 도포 공구를 나타내는 요부 확대 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 도포 헤드 11A, 11B : 헤드 부재

12 : 일방의 측면(슬롯을 구획형성하는 측면)

15 : 포켓 16 : 슬롯

17 : 타방의 측면(슬롯을 구획형성하는 측면과는 반대측의 측면)

20 : 오목부 22 : 벽면

30 : 조정 유닛 34 : 유체압실

35 : 피스톤 기구 40 : 쐐기 수용부

45 : 쐐기 부재

상기 과제를 해결하고, 이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 도포 공구는, 복수의 헤드 부재로 구성된 도포 헤드를 가지며, 상기 복수의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 간에, 상기 도포 헤드의 선단에 개구되는 홈형 슬롯이 구획형성되고, 도포액이 상기 슬롯 내를 유통하여 상기 도포 헤드의 선단으로부터 토출되는 도포 공구로서, 상기 헤드 부재에서의 상기 슬롯을 구획형성하는 측면과는 반대측의 측면에, 상기 도포액의 유통방향인 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향을 향하여 서로 대향하는 한 쌍의 벽면을 구비한 오목부가 형성되고, 이 오목부 내에, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 함으로써, 상기 한 쌍의 벽면 간의 거리가 커지도록 상기 헤드 부재를 변형시켜, 상기 슬롯의 폭을 조정할 수 있는 조정 유닛이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이고, 또한 본 발명에 의한 도포 장치는, 본 발명의 도포 공구가, 상기 도포 헤드의 선단을 피도포물에 대향 배치시키도록 장착되어 있고, 상기 도포 헤드의 선단으로부터 도포액이 토출됨으로써, 상기 도포 헤드의 선단에 대하여 상대적으로 이동하는 상기 피도포물에 도포액이 도포되는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 본 발명에서는, 헤드 부재의 측면에 형성된 오목부 내에 형성되는 조정 유닛을 사용하고, 이 오목부에서의 한 쌍의 벽면 간의 거리가 커지도록 헤드 부재를 변형시킴으로써, 복수의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 간에 구획형성된 슬롯의 폭을 조정할 수 있게 되어 있다. 게다가, 조정할 슬롯의 폭에 관해서는, 이 슬롯의 길이방향을 따른 방향에서의 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정해지도록 설정할 뿐만 아니라, 예를 들어 어느 소정 영역에서 의도적으로 커지거나 작아지도록 설정할 수도 있다.

그리고, 이러한 조정 유닛을 사용하면, 조정 유닛에서의 슬롯의 길이방향을따른 방향에서의 길이를 필요에 따라 적절히 부여함으로써, 헤드 부재를 변형시킬 때의 가압부분이 국소적으로 되는 일이 없어져, 소정 영역에서의 슬롯의 폭을 조정하는 경우에도, 종래의 조정 볼트를 사용하였을 때와 같은 복수회 반복 조정하는 것이 필요하지 않아, 용이하게 슬롯의 폭을 조정할 수 있다.

여기에서, 상기 슬롯의 폭을 조정하기 위한 상기 조정 유닛은, 그 내부에 유체압실이 형성되며, 이 유체압실에 봉입된 유체가 압축되어 생기는 유체압에 의해, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 구성으로 되어 있거나, 그 내부에 구비된 쐐기 부재가 이동되어 생기는 가압력에 의해, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 구성으로 되어 있는 것이 바람직하다.

이러한 구성으로 하면, 조정 유닛에서의 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를, 유체압이나 쐐기의 가압력에 의해 매우 완만한 변화 경향으로 크게 할 수 있기 때문에, 이 조정 유닛에 의해 조정되는 슬롯의 폭 변화의 거동이 매우 완만해져, 예를 들어 미크론 정도의 미세한 폭의 조정이 가능해진다.

그리고, 상기 오목부가 상기 슬롯의 길이방향을 따른 방향으로 연장되도록 형성되며, 상기 조정 유닛이, 상기 슬롯의 길이방향을 따른 방향의 임의의 위치로 이동 및 고정될 수 있도록 하면, 이 조정 유닛을, 슬롯의 길이방향을 따른 방향에서의 임의의 위치로 이동시켜 고정하고, 그 임의의 위치에 대응하는 영역에서의 슬롯의 폭을 조정할 수 있다.

(발명의 실시형태)

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부한 도면을 참조하면서 설명한다.

본 발명의 제 1 실시형태에 의한 도포 공구의 도포 헤드(10)는, 도 1 및 도 2 에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)가 그들의 일방의 측면(12,12)을 서로 대향시키도록 조합됨으로써, 장척형상을 이루도록 구성된 것이다.

또, 도포 헤드(10)를 구성하는 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)는, 이들의 후단측(도 1 및 도 2 에서의 하방측) 부분끼리가, 도포 헤드(10)의 길이방향(도 1 에서의 좌우 방향)을 따른 방향에서 소정 간격을 두고 복수의 볼트(13…)로 볼트 고정되는 동시에, 도포 헤드(10)의 길이방향을 따른 방향의 양단에 위치하는 양 단면에 대하여 각각 사이드 플레이트(14,14)가 부착됨으로써, 서로 고정되어 있다.

도포 헤드(10)를 구성하는 일방의 헤드 부재(11A ; 도 2 중 우측에 위치하는 헤드 부재(11A))에서의 일방의 측면(12)은, 그 대략 전체 면이 거의 평탄면으로 되어 있는 것에 반하여, 도포 헤드(10)를 구성하는 타방의 헤드 부재(11B ; 도 2 중 좌측에 위치하는 헤드 부재(11B))에서의 일방의 측면(12)은, 도포 헤드(10)의 길이방향을 따른 방향으로 연장되도록 절결되어 이루어지는 오목홈(12A)을 가지는 동시에, 이 오목홈(12A)보다 도포 헤드(10)의 선단측에 위치하는 선단측 부분이, 오목홈(12A)보다도 도포 헤드(10)의 후단측에 위치하는 후단측 부분에 대하여 소정 간격만큼 후퇴되어 있다.

그 때문에, 한 쌍의 헤드부재(11A,11B)가 일방의 측면(12,12)을 서로 대향시키도록 조합되었을 때, 서로 대향하는 일방의 측면(12,12) 간에는, 일방의 헤드 부재(11A)에서의 일방의 측면(12)과 타방의 헤드 부재(11B)에서의 일방의 측면(12)에 형성된 오목홈(12A) 과의 공간인 포켓(15)과, 일방의 헤드 부재(11A)에서의 일방의측면(12)과 타방의 헤드 부재(11B)에서의 일방의 측면(12)의 선단측 부분과의 공간인 홈형의 슬롯(16)이, 이들의 길이방향을 도포 헤드(10)의 길이 방향과 일치시키도록 구획형성되어 있다.

이 슬롯(16)은, 포켓(15)에 연통되는 부분으로부터, 도포 헤드(10)의 선단측을 향해 연장되어, 도포 헤드(10)의 선단에 개구되도록 연장되어 있으며, 도포액이 포켓(15) 내에 공급되었을 때에는, 이 도포액이, 포켓(15)에 연통되는 슬롯(16) 내를 도포 헤드(10)의 선단측을 향해 유통하여, 도포 헤드(10)의 선단으로부터 토출된다.

또, 도포 헤드(10)를 구성하는 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)에서, 슬롯(16) 및 포켓(15)을 구획형성하는 일방의 측면(12,12)과는 반대측에 위치하는 타방의 측면(17,17)은, 도포 헤드(10)의 선단 근처에 위치하는 부분이, 도포 헤드(10)의 선단측을 향함에 따라 슬롯(16)측을 향하도록 경사진 경사면(17A,17A)이 되며, 이러한 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)로 구성된 도포 헤드(10)는, 그 선단의 끝이 가늘어지는 형상을 이루게 된다.

그리고, 도포 헤드(10)를 구성하는 일방의 헤드 부재(11A)에서의 타방의 측면(17 ; 상기 경사면(17A)을 제외한 타방의 측면(17))에, 이 타방의 측면(17)에 개구되고, 일방의 측면(12 : 슬롯(16))측을 향해 한 단 오목해진 오목부(20)가, 슬롯(16)의 길이방향(도포 헤드(10)의 길이방향)을 따른 방향으로 연장되도록 형성되어 있다.

오목부(20)는, 타방의 측면(17)에 교차되는 동시에, 도포액의 유통 방향인슬롯(16)의 연장방향(도 2 에서의 상하방향, 도포 헤드(16)의 길이방향에 직교하는 단면에서 보았을 때의 슬롯(16)의 연장방향)을 따른 방향을 향해 서로 대향하는 한 쌍의 벽면(22,22)과, 이들 한 쌍의 벽면(22,22)끼리를 접속하는 동시에, 오목부(20)에서의 측면(17)으로의 개구부측을 향한 바닥면(21)을 구비하고 있다.

또, 오목부(20)에서의 한 쌍의 벽면(22,22)은, 이들 한 쌍의 벽면(22,22) 간의 거리(슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 거리)가 오목부(20)에서의 개구부측을 향함에 따라 점차 작아지도록, 서로 경사져 있다.

이러한 오목부(20)가 형성되어 있어서, 일방의 헤드 부재(11A)는, 오목부(20)의 바닥면(21)과 일방의 측면(12) 간이 포켓(15)에 인접하는 얇은 부분으로 되어 있는데, 본 제 1 실시형태에서는, 더 얇은 부분을 형성하기 위하여, 오목부(20)의 바닥면(21)에, 이 바닥면(21)에 개구되고, 일방의 측면(12) 측으로 향해 한 단 오목해진 제 2 오목부(21A)가, 오목부(20)와 동일하게 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향으로 연장되도록 형성되어 있다.

오목부(20) 내에는, 도 1∼도 4 에 나타낸 바와 같이, 슬롯(16)의 길이방향(도포 헤드(10)의 길이방향)을 따른 방향으로 연장되는 대략 직사각형체를 이루는 조정 유닛(30)이, 오목부(20)가 연장되는 방향인 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향으로 이동 가능해지도록 형성되어 있다.

조정 유닛(30)은, 오목부(20)에서의 한 쌍의 벽면(22,22) 각각에 접촉되는 한 쌍의 가압면(32,32)과, 오목부(20)에서의 바닥면(21)에 접촉되는 배면(31)과, 오목부(20)에서의 측면(17)에 대한 개구부에 노출되는 전면(33)을 구비하고 있다.

또, 조정 유닛(30)에서의 한 쌍의 가압면(32,32)은, 상기 오목부(20)에서의 한 쌍의 벽면(22,22)과 마찬가지로, 이들 한 쌍의 가압면(32,32) 간의 거리(슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 거리)가 전면(33) 측으로 감에 따라 점차 작아지도록, 서로 경사져 있다.

이 때문에, 조정 유닛(30)은, 오목부(20) 내에서, 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향에서 이동 가능하게 되어 있으나, 오목부(20)에서의 측면(17)으로의 개구부측으로부터는 빠져나가지 않게 되어 있다.

이 조정 유닛(30)에서, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향을 향한 한 쌍의 가압면(32,32) 중, 도포 헤드(10)의 선단측을 향한 일방의 가압면(32)을 포함하는 부분의 내부에, 유체로서의 오일이 봉입되는 유체압실(34)이 형성되어 있고, 이 유체압실(34)의 존재에 의해, 일방의 가압면(32)을 포함하는 부분이 탄성변형 가능한 정도로 얇아져 있다.

그리고, 이 조정 유닛(30)의 내부에는, 상기 유체압실(34)에 접속되는 피스톤 기구(35)가 구비되며, 이 피스톤 기구(35)는, 조정 유닛(30)의 전면(33)에 노출되는 조정 나사(36)를 돌려 넣음으로써, 조정 나사(36)의 선단에 접촉하는 피스톤(37)을 전진시켜, 피스톤 기구(35)에 접속된 유체압실(34) 내에 봉입된 유체로서의 오일을 압축하도록 되어 있다. 그리고, 상기 유체압실(34) 내에는, 조정 유닛(30)의 전면(33)에 개구되는 구멍부를 통하여 유체로서의 오일이 봉입되고, 그 후, 그리스 니플(38)에 의해 밀봉되어 있다.

전술한 바와 같은 구성을 갖는 도포 공구는, 도포 헤드(10)의 선단을 피도포물에 대향 배치시키는 동시에, 도포 헤드(10)의 길이방향(슬롯(16)의 길이방향)을 피도포물의 폭방향에 일치시키도록 하여 도포 장치에 장착되고, 도포액 탱크로부터 공급 펌프에 의해 포켓(15) 내에 공급된 도포액이, 슬롯(16) 내를 유통하여 도포 헤드(10)의 선단으로부터 토출됨으로써, 이 도포 헤드(10)의 선단에 대하여 상대적으로 이동하는 피도포물의 표면에 도포액이 도포되게 된다.

이상 설명한 바와 같은 본 제 1 실시형태에서는, 슬롯(16)의 폭을 조정할 때에, 먼저, 오목부(20)가 연장되는 방향인 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향으로 이동 가능하게 된 조정 유닛(30)을, 슬롯(16)의 폭을 작게 하기 위한 영역에 대응하는 위치로 이동시킨다.

이어서, 조정 유닛(30)의 내부에 구비된 피스톤 기구(35)의 조정 나사(36)를 돌려 넣음으로써, 도 4 중 화살표 X 로 나타내는 방향으로 피스톤(37)을 전진시켜, 조정 유닛(30)의 내부에 형성된 유체압실(34)에 봉입되어 있는 유체로서의 오일을 압축한다.

그러면, 유체압실(34) 내에서 유체로서의 오일이 압축되어 생기는 유체압에 의해, 이 조정 유닛(30)에서, 탄성변형 가능한 정도로 얇아진 일방의 가압면(32)을 포함하는 부분이, 도 4 중 화살표 Y 로 나타내는 바와 같이, 도포 헤드(10)의 선단측을 향해 부풀도록 탄성변형하며, 이 조정 유닛(30)에서의 한 쌍의 가압면(32,32) 간의 거리가 커지게, 다시 말해 조정 유닛(30)에서의 슬롯(16)의 연장방향에서의 길이가 커지게 된다.

이로써, 일방의 헤드 부재(11A)는, 오목부(20)에서의 한 쌍의 벽면(22,22)간의 거리가 커지도록, 포켓(15)에 인접하는 얇은 부분을 지점으로 하여 탄성변형되며, 이러한 일방의 헤드 부재(11A)의 변형과 함께, 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)에서의 서로 대향하는 일방의 측면(12,12) 간에 구획형성된 슬롯(16)의 폭이 작아지도록, 이 슬롯(16)의 폭이 조정된다(조정 유닛(30)에 의해 폭이 작아지는 영역 이외의 슬롯(16)의 폭을, 외관상 크게 한다).

이러한 본 제 1 실시형태에서는, 슬롯(16)의 폭을 조정하기 위한 조정 유닛(30)이, 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향에서 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 이 조정 유닛(30)을, 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향에서의 임의의 위치로 이동시켜 고정하여, 그 임의의 위치에 대응하는 영역에서의 슬롯(16 ; 예를 들어 100㎛ 이상의 폭을 갖는 슬롯(16))의 폭을 조정할 수 있게 되어 있다.

게다가, 조정할 슬롯의 폭에 관해서는, 이 슬롯의 길이방향을 따른 방향에서의 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정해지도록 설정할 뿐만 아니라, 예를 들어 어느 소정 영역에서 의도적으로 커지거나 작아지거나 하도록 설정할 수도 있다.

이 때문에, 슬롯(16) 내를 유통하여 도포 헤드(10)의 선단으로부터 토출되는 도포액의 유량을, 이 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정해지도록, 조정 유닛(30)을 사용하여 슬롯(16)의 폭을 조정함으로써, 피도포물의 표면에 도포되는 도포액의 막두께를 균일하게 유지할 수 있다.

또, 점도가 높은 도포액을 고압으로 포켓(15) 내에 공급할 때에는, 도포액에 가해진 압력에 의해, 슬롯(16)의 폭이, 그 길이방향의 대략 중앙부에서 커지게 되는, 이른바 중앙 확대 현상이 생겨, 토출된 도포액의 유량에 편차가 생기게 될 우려가 있으나, 이러한 중앙 확대 현상을 상정한 슬롯(16)의 폭을 설정함으로써, 슬롯(16) 내를 유통하여 도포 헤드(10)의 선단으로부터 토출되는 점도가 높은 도포액의 유량을, 슬롯(16)의 길이방향 대략 전체 길이에 걸쳐 거의 일정하게 유지할 수도 있다.

그리고, 슬롯(16)의 폭을 조정하기 위하여, 상기한 바와 같은 조정 유닛(30)을 사용함으로써, 이 조정 유닛(30)에서의 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향에서의 길이를 필요에 따라 적절히 부여함으로써, 일방의 헤드 부재(11A)를 변형시킬 때의 가압 부분이 국소적으로 되는 일이 없어져, 소정 영역에서의 슬롯(16)의 폭을 조정할 때라 해도, 종래의 조정 볼트를 사용한 직접적이고 국소적인 가압으로 슬롯(16)의 폭을 조정하는 경우와 같이, 복수회 반복한 조정이 필요해지는 일이 없어, 용이하게 슬롯(16)의 폭을 조정할 수 있다.

또한 조정 유닛(30)은, 그 내부에 밀봉된 유체로서의 오일이 압축되어 생기는 유체압(유압)을 이용하여, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 매우 완만한 변화 경향으로 크게 하는 구성이기 때문에, 이 조정 유닛(30)으로 일방의 헤드 부재(11A)를 변형시켜 조정되는 슬롯(16)의 폭 변화의 거동을 매우 완만하게 하여, 예를 들어 미크론 정도의 미세한 폭조정이 가능해진다.

특히, 유체압실(34)에 봉입되는 유체로서 오일을 선택하고, 이 오일이 압축되어 생기는 유압을 이용하는 조정 유닛(30)을 채용하였기 때문에, 슬롯(16)의 폭을 조정할 때의 손실을 적게 할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태를 설명하는데, 전술한 제 1 실시형태와는 조정 유닛(30)의 구성이 상이할 뿐이므로, 이 제 1 실시형태와 동일한 부분에 관해서는 동일한 부호를 사용하여 그 설명을 생략한다.

본 발명의 제 2 실시형태에서 사용되는 대략 직사각형체를 이루는 조정 유닛(30)에는, 도 5 및 도 6 에 나타낸 바와 같이, 그 전면(33)에 개구되는 동시에, 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향의 양단에 위치하는 양단면(30A,30A)에 개구되는 쐐기 수용부(40)가 형성되어 있다.

쐐기 수용부(40)는, 조정 유닛(30)의 전면(33)에 교차하는 동시에 도포액의 유통 방향인 슬롯(16)의 연장방향(도 6 에서의 상하방향)을 따른 방향을 향해 서로 대향하는 한 쌍의 벽면(42,42)과, 이들 한 쌍의 벽면(42,42)끼리를 접속하는 동시에 쐐기 수용부(40)에서의 전면(33)으로의 개구부측을 향한 바닥면(41)을 구비하고 있다.

또, 쐐기 수용부(40)에서의 한 쌍의 벽면(42,42)은, 이들 한 쌍의 벽면(42,42) 간의 거리(슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 거리)가 쐐기 수용부(40)에서의 개구부측을 향함에 따라 점차 커지도록, 서로 경사되어 있다.

그리고, 이 쐐기 수용부(40)에 있어서, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향을 향한 한 쌍의 벽면(42,42) 중, 도포 헤드(10)의 후단측을 향한 일방의 벽면(42)과 바닥면(41)과의 교차 능선부에는, 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향으로 연장되는 릴리프 홀(43)이 형성되어 있고, 이 릴리프 홀(43)에 의해, 후술하는 쐐기 부재(45)가 삽입되어 이동했을 때의 탄성변형을 촉진하기 위한 얇은 부분을 형성하는 동시에, 탄성 변형시의 응력 집중을 완화시키게 되어 있다.

쐐기 수용부(40) 내에는, 이 쐐기 수용부(40)에서의 한 쌍의 벽면(42,42)에 밀착되는 한 쌍의 가압면(46,46)을 구비한 쐐기 부재(45)가 삽입되어 있고, 이 쐐기 부재(45)를 조정 유닛(30)에서의 전면(33) 측으로부터 배면(31)측을 향해 관통하는 조정 나사(47)가, 쐐기 수용부(40)에서의 바닥면(41)에 형성된 나사구멍(41A)에 돌려 끼워져 있음으로써, 이 쐐기 부재(45)가 조정 유닛(30)의 내부에 구비되도록 고정되어 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 제 2 실시형태에서는, 슬롯(16)의 폭을 조정할 때에, 먼저, 오목부(20)가 연장되는 방향인 슬롯(16)의 길이방향을 따른 방향으로 이동 가능하게 된 조정 유닛(30)을, 슬롯(16)의 폭을 작게 해야 할 영역에 대응하는 위치로 이동시킨다.

이어서, 조정 유닛(30)의 내부에 구비된 쐐기 부재(45)를 관통하고 있는 조정 나사(47)를 돌려 넣음으로써, 도 6 중 화살표 X 로 나타내는 방향(일방의 측면(12 ; 슬롯(16))측을 향한 방향)으로 쐐기 부재(45)를 전진시키도록 이동시키고, 이 쐐기 부재(45)에서의 한 쌍의 가압면(46,46)으로, 이들 한 쌍의 가압면(46,46)이 밀착되어 서로 경사되는 쐐기 수용부(40)에서의 한 쌍의 벽면(42,42)을 각각 가압한다.

그러면, 쐐기 부재(45)가 이동되어 생기는 가압력에 의해, 이 조정 유닛(30)에 있어서, 일방의 가압면(32)을 포함하는 부분이, 도 6 중 화살표 Y 로 나타내는 바와 같이, 릴리프 홀(43)에 의해 얇아진 부분을 지점으로 하여 도포 헤드(10)의 선단측을 향해 이동하도록 탄성 변형하고, 이 조정 유닛(30)에서의 한 쌍의가압면(32,32) 간의 거리가 커지게, 다시 말해 조정 유닛(30)에서의 슬롯(16)의 연장방향에서의 길이가 커지게 된다.

이로써, 일방의 헤드 부재(11A)는, 오목부(20)에서의 한 쌍의 벽면(22,22) 간의 거리가 커지도록, 포켓(15)에 인접하는 얇은 부분을 지점으로 하여 탄성변형되며, 이러한 일방의 헤드 부재(11A)의 변형과 함께, 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)에서의 서로 대향하는 일방의 측면(12,12) 간에 구획형성된 슬롯(16)의 폭이 작아지도록 조정된다(조정 유닛(30)에 의해 폭이 작아지는 영역 이외의 슬롯(16)의 폭을, 외관상 크게 한다).

이러한 본 제 2 실시형태에서도, 상기 서술한 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있는데, 특히, 제 1 실시형태와 같은 유체로서의 오일이 압축되어 생기는 유압을 이용하는 것이 아니라, 쐐기 부재(45)에 의한 기계적인 가압력을 이용하는 조정 유닛(30)을 채용하였기 때문에, 예를 들어 클린룸에서 도포 장치를 사용하는 경우 등에도 대응할 수 있다.

또, 본 제 2 실시형태에서 사용한 바와 같이, 쐐기 부재(45)가 이동되어 생기는 가압력에 의해, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 조정 유닛(30)과, 상기 제 1 실시형태에서 사용한 바와 같은, 유체가 압축되어 생기는 유체압에 의해, 슬롯(16)의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 조정 유닛(30)을 병용하는 것도 생각할 수 있다.

또, 상기 각 실시형태에서는, 조정 유닛(30)을 설치하는 오목부(20)를, 도포 헤드(10)를 구성하는 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B) 중, 포켓(15)을 구획형성하는 오목홈(12A)이 일방의 측면(12)에 형성되지 않은 일방의 헤드 부재(11A)에만 형성하도록 하였으나, 물론, 타방의 헤드 부재(11B)에서의 타방의 측면(17)에도 오목부(20)를 형성하여, 이 오목부(20) 내에 조정 유닛(30)을 설치하도록 할 수도 있다.

그러나, 이 조정 유닛(30)은, 헤드 부재를 변형시킴으로써 슬롯(16)의 폭을 조정하는 것이므로, 타방의 헤드 부재(11B)를 변형시키면, 이와 함께 포켓(15)의 형상도 변형되어, 포켓(15) 내에 공급된 도포액의 정상류의 상태를 붕괴시켜, 도포 헤드(10)의 선단으로부터 토출되는 도포액의 유량에 악영향을 끼칠 우려가 있기 때문에, 상기 각 실시형태와 같이, 일방의 헤드 부재(11A)만을 변형시킴으로써, 슬롯(16)의 폭을 조정하는 것이 바람직하다.

또, 상기 각 실시형태에서는, 슬롯(16)의 길이방향을 따라 연장되도록 형성된 하나의 오목부(20) 내에는, 하나의 조정 유닛(30)을 형성하도록 하고 있으나, 이것에 한정되지 않고, 필요에 따라, 하나의 오목부(20) 내에, 복수의 조정 유닛(30)을 형성하도록 해도 된다.

그리고, 상기 각 실시형태에서는, 도포 헤드(10)를 구성하는 헤드 부재(11A,11B) 각각이, 도포 헤드(10)의 선단을 구성하는 부분을 포함하여 일체인 것으로서 설명되고 있으나, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 헤드 부재(11A,11B)의 선단에 대하여 초경합금 등의 경질 부재가 부착된 것이어도 된다.

또한, 상기 각 실시형태에서는, 도포 헤드(10)가 한 쌍의 헤드 부재(11A,11B)로 구성된 것으로서 설명하였지만, 예를 들어, 도포 헤드(10)가 3개이상의 헤드 부재로 구성되고, 이들 3개 이상의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 사이에, 도포 헤드(10)의 선단에 개구되는 2개 이상의 슬롯이 구획형성되도록 하여, 피도포물의 표면에 2개 이상의 도포액이 층을 이루도록 동시에 도포되는 것이어도 된다.

본 발명에 의하면, 헤드 부재의 측면에 형성된 오목부 내에 형성되는 조정 유닛을 사용하여, 이 오목부에서의 한 쌍의 벽면 간의 거리를 크게 하도록 헤드 부재를 변형시킴으로써, 복수의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 간에 구획형성된 슬롯의 폭을 조정할 수 있게 되어 있다.

그리고, 조정 유닛에서의 슬롯의 길이방향을 따른 방향에서의 길이를 필요에 따라 적절히 부여함으로써, 헤드 부재를 변형시킬 때의 가압 부분이 국소적으로 되는 일이 없어져, 소정 영역의 슬롯의 폭을 조정하는 경우에도, 종래의 조정 볼트를 사용한 경우와 같은 복수회 반복하여 조정하는 것이 필요하지 않게 되어, 용이하게 슬롯의 폭을 조정하는 것이 가능해진다.

Claims

복수의 헤드 부재로 구성된 도포 헤드를 가지며, 상기 복수의 헤드 부재에서의 서로 대향하는 측면 간에, 상기 도포 헤드의 선단에 개구되는 홈형 슬롯이 구획형성되고, 도포액이 상기 슬롯 내를 유통하여 상기 도포 헤드의 선단으로부터 토출되는 도포 공구로서,

상기 헤드 부재에서의 상기 슬롯을 구획형성하는 측면과는 반대측의 측면에, 상기 도포액의 유통방향인 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향을 향하여 서로 대향하는 한 쌍의 벽면을 구비한 오목부가 형성되고,

이 오목부 내에, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 함으로써, 상기 한 쌍의 벽면 간의 거리가 커지도록 상기 헤드 부재를 변형시켜, 상기 슬롯의 폭을 조정할 수 있는 조정 유닛이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 공구.
제 1 항에 있어서,

상기 조정 유닛은, 그 내부에 유체압실이 형성되며, 이 유체압실에 봉입된 유체가 압축되어 생기는 유체압에 의해, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 것을 특징으로 하는 도포 공구.
제 1 항에 있어서,

상기 조정 유닛은, 그 내부에 구비된 쐐기 부재가 이동되어 생기는 가압력에 의해, 상기 슬롯의 연장방향을 따른 방향에서의 길이를 크게 하는 것을 특징으로 하는 도포 공구.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 오목부가, 상기 슬롯의 길이방향을 따른 방향으로 연장되도록 형성되며,

상기 조정 유닛이, 상기 슬롯의 길이방향을 따른 방향의 임의의 위치로 이동 및 고정될 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 공구.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 도포 공구가, 상기 도포 헤드의 선단을 피도포물에 대향 배치시키도록 장착되어 있고, 상기 도포 헤드의 선단으로부터 도포액이 토출됨으로써, 상기 도포 헤드의 선단에 대하여 상대적으로 이동하는 상기 피도포물에 도포액이 도포되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.