JP2007307527A - 薄膜塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル部から吐出した塗工液の塗布幅方向の膜厚分布を、これまでになく微量に調整可能で、これにより、これまで以上に薄い膜厚に塗工液を均一に塗布できる画期的な薄膜塗布装置を提供する。
【解決手段】ノズル部１のスリット状の吐出孔１ａと連通するノズル内流通路４と連通状態にこの吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の液供給管部５を設け、塗工液２は、この複数の液供給管部５を介してノズル部１のノズル内流通路４に供給されてノズル部１から吐出するように構成し、この複数の各液供給管部５を押圧する押圧手段Ｐを各液供給管部５に設け、この押圧手段Ｐの押圧による各液供給管部５の押圧変形により、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整自在に構成し、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整することで前記ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を微量調整自在とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、被塗布体に塗工液を薄膜状に塗布する薄膜塗布装置に関するものである。

被塗布体に塗工液を塗布する装置として、例えば、ダイコーターと呼ばれる薄膜塗布装置がある。

これは、一般に、ノズル部の先端のスリット状の吐出孔から塗工液を被塗布体に向けて連続的に吐出しつつ、このノズル部に対して被塗布体を相対移動させることで、この被塗布体に前記塗工液を薄膜状に塗布する構成であり、例えば、被塗布体の表面コーティングや、薄膜フィルムの製造など、種々の用途で使用される。

ところで、この種の薄膜塗布装置は、ノズル部から塗布幅方向（吐出孔のスリット長さ方向）に均一な液吐出量で塗工液を吐出し、被塗布体に塗布した塗工液の塗布幅方向の膜厚分布を一定とすることで、膜厚が一定な薄膜状に塗工液を塗布し得るものである。

しかしながら、このノズル部の吐出孔を完全に均一なスリット間隔の孔形状に形成することは困難であり、実際には、このノズル部からの液吐出量を塗布幅方向に均一となるように何らかの調整を行ったうえで塗工液の塗布が行われる。

このノズル部の液吐出量の調整は、通常、ノズル部の先端部を螺子で押圧して撓み変形させ、図７のようにこのノズル部の吐出孔の形状を変形させることで行う。

具体的には、前記螺子をノズル部の吐出孔のスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数設けた構成とし、調整に際しては、先ず塗工液を試験塗布し、その際の塗布幅方向の膜厚分布を測定して膜厚の厚い（ノズル部からの液吐出量の多い）部位や、膜厚の薄い（ノズル部からの液吐出量の少ない）部位を検地し、例えば液吐出量の多い部位は前記螺子を締めてノズル部のスリット間隔を締める（開口量を絞る）などして、このノズル部の塗布幅方向の液吐出量を均一に調整する。

このように、従来の薄膜塗布装置は、ノズル部の先端部に設けた複数の螺子を螺動調整してノズル部の吐出孔の開口形状を適宜調整することでノズル部の液吐出量を調整し、塗布した塗工液の塗布幅方向の膜圧分布を調整するものであり、この従来手法による膜厚分布の調整によれば、実際に被塗布体に塗布した際の塗工液の膜厚を数ミクロンオーダーの精度で調整することが可能であった。

ところで、従来、この種の薄膜塗布装置で塗工液の塗布を行う場合、塗工液の膜厚は略数μｍ〜数１０μｍ程度に設定して行われていたので、上述した従来の膜厚調整の手法による、数ミクロンオーダーの精度で十分に塗工液の膜厚を均一に調整できたが、近年では、この数ミクロンオーダーより遥かに小さい、例えば、１００ｎｍ程度の極薄厚の薄膜フィルムを製造する技術が幅広い分野で望まれている。

しかしながら、従来の薄膜塗布装置においては、このように１００ｎｍ程度の極薄厚に塗工液を塗布する場合に、その塗布幅の膜厚が均一となるようにノズル部の液吐出量を調整できる有効な手法が提案されておらず（図７のような螺子式の膜厚調整では数ミクロンオーダーの精度が限界である）、したがって、これまで以上に精度の高いｎｍオーダーでノズル部の液吐出量の調整、即ち塗工液の塗布幅方向の膜厚分布の調整ができ、極薄膜で、しかも均一に塗工液を塗布できる画期的な薄膜塗布装置の提供が望まれる。

本発明は、従来からある薄膜塗布装置について更なる研究開発を進め、ノズル部のスリット状の吐出孔と連通するノズル内流通路にスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の液供給管部を連通状態に設け、この各液供給管部を夫々、押圧変形によって各個に液流量を調整できるようにし、このスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数設けた各液供給管部からノズル内流通路への液供給量を各個に調整することによってノズル部の塗布幅方向（スリット長さ方向）の吐出量を均一に調整し、このノズル部から吐出した塗工液の塗布幅方向の膜厚分布を一定に調整するように構成することで、従来例のノズル部の先端部を螺子で撓み変形させる構成では成し得なかった高精度の膜厚調整を可能とし、ひいては、これまで困難であった１μｍより小さい膜厚での塗工液の均一薄膜塗布を良好に達成し得る極めて実用性に秀れた画期的な薄膜塗布装置を提供するものである。

添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。

スリット状の吐出孔１ａから塗工液２を吐出するノズル部１を有し、このノズル部１から塗工液２を吐出すると共に、このノズル部１に対し、ノズル部１の液吐出方向側に位置する被塗布体３をこのノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向と交差する方向に相対移動させることでこの被塗布体３に前記塗工液２を薄膜状に塗布する薄膜塗布装置であって、前記ノズル部１には、前記吐出孔１ａと連通するノズル内流通路４と連通状態にこの吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の液供給管部５を設け、前記塗工液２は、この複数の液供給管部５を介してノズル部１のノズル内流通路４に供給されてノズル部１から吐出するように構成し、この複数の各液供給管部５を押圧する押圧手段Ｐを各液供給管部５に設け、この押圧手段Ｐの押圧による各液供給管部５の押圧変形により、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整自在に構成し、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整することで前記ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を微量調整自在に構成したことを特徴とする薄膜塗布装置に係るものである。

また、前記押圧手段Ｐは、前記液供給管部５の外周面を押圧当接する当接子６Ａと、この当接子６Ａを前記液供給管部５に向けて進退調整する進退調整機構６とから成り、この進退調整機構６により前記当接子６Ａを前進して液供給管部５の外周面に押圧当接させることでこの液供給管部５を押圧変形させ、この当接子６Ａを後退して液供給管部５の外周面から退避動させることでこの液供給管部５を戻り復帰変形させるように構成したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗布装置に係るものである。

また、前記ノズル部１の先端から奥行き方向に、スリット状の前記吐出孔１ａを先端開口部とするスリット状溝７を形成して前記ノズル内流通路４の一部を構成し、このスリット状溝７の奥方に、このスリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の前記液供給管部５を連通状態に設けた構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置に係るものである。

また、前記ノズル部１のノズル内流通路４のスリット状溝７の溝幅方向の溝内面に、このスリット状溝７の奥方から先端の吐出孔１ａに向けて流通する塗工液２に対する流動抵抗となる流動抵抗部８を設け、前記塗工液２はこの流動抵抗部８を乗り越えて先端の吐出孔１ａから吐出されるように構成したことを特徴とする請求項３記載の薄膜塗布装置に係るものである。

また、前記スリット状溝７の溝幅方向の溝内面にこのスリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に凸条８若しくは凹条８を形成してこの凸条８若しくは凹条８を前記流動抵抗部８として構成したことを特徴とする請求項４記載の薄膜塗布装置に係るものである。

また、前記塗工液２を貯留する液貯留部９を有し、この液貯留部９に複数の前記液供給管部５を連通状態に設け、前記液貯留部９に供給された塗工液２が各液供給管部５を介して前記ノズル部１のノズル内流通路４に供給されノズル部１から吐出するように構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置に係るものである。

本発明は上述のように構成したから、ノズル部に、連通状態にしてスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数設けた複数の液供給管部の液流量を各個に微量調整することにより、ノズル部から吐出した塗工液の塗布幅方向の膜厚分布をこれまでになく微量に、即ち高精度に調整でき、しかも各液供給管部の液流量の調整は、外部から押圧手段によって押圧してその押圧変形による微量な液流量の変化によって行うものとしたから、前記膜厚分布を一層微量に、即ち高精度に調整でき得る構成でありながら簡易に設計実現可能とし、よって、これまで困難とされていた、例えば１μｍ以下の（例えば１００ｎｍ程度の）極薄厚の薄膜状に塗工液を均一に塗布するといったことも容易に達成できる極めて実用性に秀れた画期的で商品価値の高い薄膜塗布装置となる。

また、請求項２記載の発明においては、単に進退調整機構により当接子を液供給管部の外周面に押圧当接させたり、進退調整機構により当接子を液供給管部から退避させることで、液供給管部を押圧変形，及び戻り復帰変形させ、簡易構成にして確実に液供給管部の液流量の調整を行える簡便な押圧手段を備え、生産性及び実用性に秀れた薄膜塗布装置となる。

また、請求項３〜５記載の発明においては、ノズル部のノズル内流通路に供給された塗工液が、このノズル内流通路のスリット状溝で横方向（スリット長さ方向）に拡がりながら先端の吐出孔へと流通するので、このスリット状溝により塗工液の流量がそれだけ均一となる。特に、このスリット状溝の溝幅方向の溝内面に、前記塗工液の流動抵抗となる例えば凸条や凹条などの流動抵抗部を設けて、この流動抵抗部を乗り越えて塗工液が奥方から先端の吐出孔へと流通するように構成すれば、塗工液が前記流動抵抗部により一層横方向（スリット長さ方向）に拡げられながら吐出孔へと流通することとなるので、それだけノズル部からの突出量が均一となる。

また、このスリット状溝で塗工液が横方向に拡がってスリット長さ方向に均一となる為複数の各液供給管部の液流量の調整の影響がこのスリット状溝により軽減され、よって、一層微量な液吐出量の調整（即ち、膜厚分布の調整）が可能である。

また、請求項６記載の発明においては、供給源からの塗工液は、一旦液貯留部に供給され、この液貯留部から複数の各液供給管部へと流通してノズル部に供給される。即ち、複数の各液供給管部になるべく均一に塗工液が供給されるように構成したので、この複数の各液供給管部による上記流量調整、つまりノズル部からの液吐出量の均一化調整を、一層良好に達成でき、ひいては塗工液の膜厚の均一化を一層確実且つ良好に達成できる実用性に秀れた薄膜塗布装置となる。

好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。

ノズル部１のスリット状の吐出孔１ａから塗工液２を吐出すると共に、このノズル部１に対し、ノズル部１の液吐出方向側に位置する被塗布体３をこのノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向と交差する方向に相対移動させることでこの被塗布体３に前記塗工液２を薄膜状に塗布する。

このノズル部１には、前記吐出孔１ａと連通するノズル内流通路４と連通状態にして、この吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて液供給管部５が複数設けられており、この複数の各液供給管部５を介してノズル内流通路４に塗工液２が供給され、前記吐出孔１ａから吐出される。

この各液供給管部５には、夫々押圧手段Ｐが設けられており、この押圧手段Ｐにより前記液供給管部５を押圧変形させることで、それだけ液供給管部５の液流量を微量調整できる。

従って、本発明は、ノズル部１のノズル内流通路４に塗工液２を供給する液供給管部５が吐出孔１ａのスリット長さ方向に複数設けられており、この各液供給管部５の液流量を個々に調整することにより、前記ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向（ノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向）の膜厚分布を微量調整することが可能である。

即ち、例えば、被塗布体３に塗布した塗工液２の膜厚分布が一定でなく仮に塗布幅方向中央部位置の膜厚をやや減らしたい場合、これに相当するノズル部１の膜幅方向（スリット長さ方向）中央部に連設した液供給管部５を押圧手段Ｐにより押圧して液流量を絞ることで、膜厚を調整（減少）できる。同じように、複数の各液供給管部５の液流量を個々に調整することでノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を微量調整できる。

しかも、ノズル部１の先端部を螺子で押圧して撓み変形させてノズル部１の開口形状を変化させてしまう従来手法の膜厚分布の調整では、せいぜい数ミクロンオーダーでの膜厚調整しかできないが、この点、本発明は、ノズル部１の開口形状ではなくノズル部１への液供給量を複数の各液供給管部５の液流量の調整によって行うので、従来手法に比して非常に微量な膜厚調整が可能な構成とすることも簡易に設計実現可能である（即ち、従来手法はノズル部１の吐出孔１ａの形状を撓み変形により変化させるので液吐出量の増減の影響が大きいが、本発明は、ノズル部１の吐出孔１ａの上流側の各液供給管部５の液流量の調整なので、実際にノズル部１内に供給され吐出孔１ａから吐出するまでの流路で、その影響は軽減され、塗工液２の吐出量を非常に微量に増減調整することが可能である。）。

しかも、本発明では、各液供給管部５の流量調整を、単にこの液供給管部５を押圧手段Ｐにより押圧して変形させることによって行うので、例えば液供給管部５内に液流通を阻害する止水壁を開閉自在に設ける構成などに比して、液供給管部５の外方に非常に押圧手段Ｐを設けるだけで簡単に、それだけコスト安に設計実現でき、その上、止水壁を液供給管部５内に設ける構成に比して、液供給管部５を外側から押圧変形させる構成は一層液流量を微量に調整することをも簡易に実現可能で、生産性に実用性を兼ね備えた構成となる。

以上、本発明は、ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を、これまでになく微量に、即ち高精度に調整でき得る構成を簡易に設計実現可能とし、これまで困難とされていた、例えば数μｍ以下（例えば１００ｎｍ程度）の極薄厚な薄膜状に塗工液２を均一に塗布するとも簡易に達成し得、例えば表面コーティングや、薄膜フィルムの製造などに使用されるこの種の薄膜塗布装置としての極めて高い実用価値を有するここととなる。

また、前述の押圧手段Ｐは、例えば、前記液供給管部５の外周面を押圧当接する当接子６Ａと、この当接子６Ａを前記液供給管部５に向けて進退調整する進退調整機構６とから成り、この進退調整機構６により前記当接子６Ａを前進して液供給管部５の外周面に押圧当接させることでこの液供給管部５を押圧変形させ、この当接子６Ａを後退して液供給管部５の外周面から退避動させることでこの液供給管部５を戻り復帰変形させるように構成した場合、例えば前記液供給管部５を押圧変形させる押圧手段Ｐと、押圧変形した状態の液供給管部５を戻り復帰変形させる別の変形手段とを設ける必要は無く、単に、各液供給管部５の外周面に、外方から当接子６Ａを押圧当接させたり、反対に退避動させたりするシンプルな進退調整機構６を各液供給管部５毎に設けるだけで、簡易に押圧手段Ｐを構成でき、一層簡易に設計実現可能で実用性に秀れることとなる。

また、例えば、前記ノズル部１の先端から奥行き方向に、スリット状の前記吐出孔１ａを先端開口部とするスリット状溝７を形成して前記ノズル内流通路４の一部を構成し、このスリット状溝７の奥方に、このスリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の前記液供給管部５を連通状態に設けた構成とした場合には、ノズル部１のノズル内流通路４に供給された塗工液２が、前記スリット状溝７を流通する際に吐出方向ではなく横方向（スリット長さ方向）に拡がり、それだけ均一な液吐出が行われる。このスリット条溝７の溝内面は、例えば鏡面仕上げにより、液がスムーズに流通し且つ横方向にもスムーズに拡がるように表面仕上げしても良いが、例えば、スリット状溝７の溝幅方向の溝内面（スリット間隔方向に対向する溝内面）に、このスリット状溝７の奥方から先端の吐出孔１ａに向けて流通する塗工液２の流動抵抗となる流動抵抗部８を設け、前記塗工液２はこの流動抵抗部８を乗り越えて先端の吐出孔１ａから吐出されるように構成した場合、スリット状溝７内を吐出孔１ａに向けて流通する塗工液２が、前記流動抵抗部８を乗り越える際に一層横方向（スリット長さ方向）に拡がることとなるので、それだけ一層均一な吐出が可能となる。

また、このようにスリット状溝７で塗工液２が横方向に拡げられるぶん、各液供給管部５の液流量を増減調整した場合に実際にノズル部１から吐出される塗工液２の液吐出量の増減の影響が少なくなる（スリット状溝７により各液供給管部５の液流量の調整の影響が軽減される）ことから、それだけ一層微量に液吐出量の調整（即ち、膜厚分布の調整）が行えることとなる。

尚、流動抵抗部８として、例えば、上述のスリット状溝７の溝幅方向の溝内面にこのスリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に凸条８若しくは凹条８を形成してこの凸条８若しくは凹条８を前記流動抵抗部８として構成した場合、スリット状溝７内を流通する塗工液２を、前記凸条８若しくは凹条８の条方向である横方向（スリット長さ方向）に確実に拡げさせることができる。

また、例えば、前記塗工液２を貯留する液貯留部９を有し、この液貯留部９に複数の前記液供給管部５を連通状態に設け、前記液貯留部９に供給された塗工液２が各液供給管部５を介して前記ノズル部１のノズル内流通路４に供給されノズル部１から吐出するように構成した場合、ノズル部１から液吐出を行うに際して、塗工液２は先ず液貯留部９に供給され、この液貯留部９から各液供給管部５へと供給され、この各液供給部５を介して前記ノズル部１へと供給される。即ち各液供給管部５夫々への液供給が、前記液貯留部９を介することで均一に行われることとなり、それだけこの各液供給管部５を介して前記ノズル部１への液供給も一層均一に行われることとなり、上記塗工液２の均一な薄膜吐出を一層確実且つ良好に達成できることとなる。

本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。

本実施例は、スリット状の吐出孔１ａから塗工液２を吐出するノズル部１を有し、このノズル部１から塗工液２を吐出すると共に、このノズル部１に対し、ノズル部１の液吐出方向側に位置する被塗布体３をこのノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向と交差する方向に相対移動させることでこの被塗布体３に前記塗工液２を薄膜状に塗布する薄膜塗布装置であって、前記ノズル部１には、前記吐出孔１ａと連通するノズル内流通路４と連通状態にこの吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の液供給管部５を設け、前記塗工液２は、この複数の液供給管部５を介してノズル部１のノズル内流通路４に供給されてノズル部１から吐出するように構成し、この複数の各液供給管部５を押圧する押圧手段Ｐを各液供給管部５に設け、この押圧手段Ｐの押圧による各液供給管部５の押圧変形により、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整自在に構成し、この各液供給管部５の液流量を夫々微量調整することで前記ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を微量調整自在に構成したものである。

具体的に各部を詳述する。

ノズル部１は、第一分割部材１Ａと第二分割部材１Ｂとを重合して成る構成である。

具体的には、図２に図示したように、上側の第一分割部材１Ａの重合面と、下側の第二分割部材１Ｂの重合面とを重合せしめると共に、重合部先端側を重合当接状態とせず、微細な間隙が形成されるように第二分割部材１Ｂの重合面の先端側面をやや凹没した形状に構成することで、この第一分割部材１Ａと第二分割部材１Ｂとから成るノズル部１の先端から奥行き方向に、スリット状の前記吐出孔１ａを先端開口部とするスリット状溝７を形成した構成とする。

従って、ノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向と等しいスリット長さを有するスリット状溝７を前記ノズル内流通路４の一部として構成する。

このスリット状溝７の奥方に、このスリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔（本実施例においては、数１０ｍｍの等間隔）をおいて複数の前記液供給管部５を連通状態に設ける。

具体的には、このスリット状溝７の上流側にして奥方（図２中、左方）に液貯留部10を設けている。この液貯留部10は、図２に図示したように、下側の第二分割部材１Ｂに凹没形成したもので、図３に図示したように、スリット状溝７の奥方端側（上流端側）にスリット長さ方向に連通状態に形成したものである。この液貯留部10と、前記液供給管部５とを連通する管接続用流通路11を、図２に図示したように、下流側を液貯留部10に連通し、上流側を液供給管部５と連通している。

同様にして、図１及び図３に図示したように、ノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向（スリット状溝７のスリット長さ方向）に所定間隔をおいて複数の管接続用流通部11を形成し、この複数の各管接続用流通部11を介して複数の各液供給管部５をノズル部１のノズル内流通路４に連通した構成とする。

従って、複数の各液供給管部５から供給された塗工液２は、各管接続用流通路11を介して液貯留部10内に供給され、この液貯留部10から前記スリット状溝７を介し、吐出孔１ａから吐出される。よって、一端液貯留部10内で塗工液２が整流されるので、スリット状溝７にはそれだけスリット長さ方向に均一に塗工液２が導入される。

尚、例えば、このスリット状溝７の奥方から先端の吐出孔１ａに向けて流通する塗工液２の流動抵抗となる流動抵抗部８を設け、前記塗工液２はこの流動抵抗部８を乗り越えて先端の吐出孔１ａから吐出されるように構成しても良い。具体的には、例えば図６に図示したように、スリット状溝７の溝幅方向の溝内面（ノズル部１の先端の接液面）に、スリット状溝７の溝幅方向にして前記吐出孔１ａのスリット長さ方向に凸条８（凹条８でも良い）を形成して、これをこれを流動抵抗部８としてスリット状溝７に形成した構成としても良い。

この場合には、スリット状溝７を流通する際に前記流動抵抗部８を乗り越えて先端の吐出部１ａに向けて流通しなければならず、この流動抵抗部８を流通を遮られることで横方向（スリット長さ方向）に塗工液２が良好に拡がり、よってそれだけ塗工液２が一層このスリット状溝７を通過する際にスリット長さ方向に均一となる。

複数の各液供給管部５は、夫々が前記ノズル部１の管接続用連通路11の上流側と、立設状態の供給管体５ａの下部にして下流側とを連通状態に設けている。

また、この液供給管部５を押圧する押圧手段Ｐは、図２に図示したように、この液供給管部５の供給管体５ａの外周面を当接子６Ａにより押圧当接する構成である。

具体的には、図１〜図３に図示したように、各液供給管部５の供給管体５ａを夫々押圧当接する当接子６Ａと、この各当接子６Ａを各供給管体５ａに向けて進退調整する進退調整機構６とから成る構成とする。更に具体的には、この進退調整機構６は、例えば装置本体に固定した筒体の内面部に螺合部を形成し、この筒体の螺合部と螺合する螺子部を外周面に形成した螺子杆体を前記筒体内に螺着し、この螺子杆体を、先端で前記液供給管５を押圧する前記当接子６Ａとして構成し、この螺子杆体を前記筒体に対して螺動前進若しくは螺動後退することで前記当接子６Ａを供給管体５ａの外周面に押圧当接若しくは退避動させる構成とする。尚、螺動進退構造には種々あるが、この進退調整機構６の螺動進退構造としては、本実施例と同様の機能を発揮し得る構造であればどのようなものを採用しても良い。

本実施例においては、供給管体５ａを高分子部材で構成している。また、図４（ｂ）の通り、進退調整機構６により前記当接子６Ａを前進してこの供給管体５ａの外周面に押圧当接させることで、この供給管体５ａを押圧変形させ、また、図４（ａ）に図示したように、この当接子６Ａを後退して供給管体５ａの外周面から退避動させることでこの供給管体５ａを前記高分子部材の弾性により戻り復帰変形させる構成である（尚、この供給管部５ａは例えば金属製部材などの他の部材で構成しても良い。）。

また、本実施例では、図１及び図２に図示したように、前記塗工液２を貯留する液貯留部９を有し、この液貯留部９に複数の前記液供給管部５を連通状態に設けている。

具体的には、複数の各液供給管部５の各供給管体５ａの上部にして上流側を前記液貯留部９に連通接続している。

この液貯留部９の内部は、接続した前記各供給管体５ａの複数並設方向である長さ方向に連通した形状である。

また、この液貯留部９には、液供給源からの塗工液２を導入するための導入管16をこの液貯留部９の長さ方向に所定間隔を介して複数並設状態に連通接続している。

従って、液供給源から前記導入管16を介して供給された塗工液２は、液貯留部９内に一端供給された後、各液供給管部５を介して前記ノズル部１のノズル内流通路４に供給されるので、この各液供給管部５に塗工液２が供給される際に前記液貯留部９で整流され、なるべく均一な液流量で各液供給管部５内に供給されるように構成している。

本実施例は、以上のように構成したから、塗工液２として、例えば溶解した液状の樹脂を液貯留部９に供給すると、この液貯留部９に連通接続した複数の各液供給管部５を介してノズル部１のノズル内流通路４に供給され、このノズル部１のスリット状の吐出孔１ａから薄膜状に吐出され、図６に図示したようにこのノズル部１に対して被塗布体３を相対移動せしめることで、この被塗布体３の表面上に薄膜状に前記塗工液２を塗布する。

この際、ノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数設けた各液供給管部５の液流量を、上述の各押圧手段Ｐによって個別に微量調整できる。

具体的には、図４（ａ）の通常状態（押圧による変形がない状態）の供給管体５ａを、液流量を減らしたい場合には図４（ｂ）のように押圧手段Ｐによって押圧し、管断面を潰すように変形せしめることで、管内の液流量を僅かに絞る（減らす）ことができる。このようにして各供給管部５の液流量を微量に調整することが可能である。

これにより本実施例は、ノズル部１のノズル内流通路４に供給する塗工液２の供給量を微量に変化させ、ひいてはノズル部１から吐出する際の塗工液２の吐出量を微量に変化させ、この塗工液２が被塗布体３に塗布された際の塗布幅方向（ノズル部１の吐出孔１ａのスリット長さ方向）の膜厚分布を微量に調整できる。

これにより、本実施例は、ノズル部１から吐出した塗工液２の塗布幅方向の膜厚分布を、これまでになく微量に、即ち高精度に調整でき得る構成を簡易に設計実現可能としたものである。

実際に本実施例品を使用して、被塗布体３へ塗工液２の塗布を行ったところ、膜厚を１００ｎｍ程度に設定した際，塗布幅方向の膜厚分布を前記設定膜厚に対して数パーセント以内の範囲とする極めて薄厚で且つ均一な塗工液２の塗布を達成した。

従って、これまで困難とされていた、例えば数μｍ以下の極めて薄膜な膜厚に塗工液２を均一に塗布することも簡易に達成でき、例えば、被塗布体３に薄膜コーティングを行ったり、例えば、薄膜フィルムの製造などに使用するこの種の薄膜塗布装置として、極めて高い実用価値を有する画期的な薄膜塗布装置である。

尚、本実施例においては、各液供給管５の液流量を個別に調整することで膜厚分布を調整できるものであるが、この各液供給管５の液流量の調整に加えて、図７に図示した従来例のようにノズル部１の先端部にこのノズル部１の先端部を撓み変形させて膜厚分布の調整を図る螺子を設ける構成としても良い。

また、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。

本実施例に係る薄膜塗布装置の説明斜視図である。 本実施例に係る薄膜塗布装置の説明側断面図である。 本実施例に係る薄膜塗布装置の説明平面図である。 本実施例に係る薄膜塗布装置の液供給管部５の液流量の調整方法を説明する図である。 本実施例に係る薄膜塗布装置の使用状態を示す図である。 本実施例に係る薄膜塗布装置のノズル部１先端の説明斜視図である。 従来例を示す図である。

符号の説明

１ ノズル部
１ａ 吐出孔
２ 塗工液
３ 被塗布体
４ ノズル内流通路
５ 液供給管部
６ 進退調整機構
６Ａ 当接子
７ スリット状溝
８ 流動抵抗部，凸条，凹条
９ 液貯留部
Ｐ 押圧手段

Claims (6)

1. スリット状の吐出孔から塗工液を吐出するノズル部を有し、このノズル部から塗工液を吐出すると共に、このノズル部に対し、ノズル部の液吐出方向側に位置する被塗布体をこのノズル部の吐出孔のスリット長さ方向と交差する方向に相対移動させることでこの被塗布体に前記塗工液を薄膜状に塗布する薄膜塗布装置であって、前記ノズル部には、前記吐出孔と連通するノズル内流通路と連通状態にこの吐出孔のスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の液供給管部を設け、前記塗工液は、この複数の液供給管部を介してノズル部のノズル内流通路に供給されてノズル部から吐出するように構成し、この複数の各液供給管部を押圧する押圧手段を各液供給管部に設け、この押圧手段の押圧による各液供給管部の押圧変形により、この各液供給管部の液流量を夫々微量調整自在に構成し、この各液供給管部の液流量を夫々微量調整することで前記ノズル部から吐出した塗工液の塗布幅方向の膜厚分布を微量調整自在に構成したことを特徴とする薄膜塗布装置。
2. 前記押圧手段は、前記液供給管部の外周面を押圧当接する当接子と、この当接子を前記液供給管部に向けて進退調整する進退調整機構とから成り、この進退調整機構により前記当接子を前進して液供給管部の外周面に押圧当接させることでこの液供給管部を押圧変形させ、この当接子を後退して液供給管部の外周面から退避動させることでこの液供給管部を戻り復帰変形させるように構成したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗布装置。
3. 前記ノズル部の先端から奥行き方向に、スリット状の前記吐出孔を先端開口部とするスリット状溝を形成して前記ノズル内流通路の一部を構成し、このスリット状溝の奥方に、このスリット状溝の溝幅方向にして前記吐出孔のスリット長さ方向に所定間隔をおいて複数の前記液供給管部を連通状態に設けた構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置。
4. 前記ノズル部のノズル内流通路のスリット状溝の溝幅方向の溝内面に、このスリット状溝の奥方から先端の吐出孔に向けて流通する塗工液に対する流動抵抗となる流動抵抗部を設け、前記塗工液はこの流動抵抗部を乗り越えて先端の吐出孔から吐出されるように構成したことを特徴とする請求項３記載の薄膜塗布装置。
5. 前記スリット状溝の溝幅方向の溝内面にこのスリット状溝の溝幅方向にして前記吐出孔のスリット長さ方向に凸条若しくは凹条を形成してこの凸条若しくは凹条を前記流動抵抗部として構成したことを特徴とする請求項４記載の薄膜塗布装置。
6. 前記塗工液を貯留する液貯留部を有し、この液貯留部に複数の前記液供給管部を連通状態に設け、前記液貯留部に供給された塗工液が各液供給管部を介して前記ノズル部のノズル内流通路に供給されノズル部から吐出するように構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置。

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