JP3496203B2 - 加工レンズ保護機構及び方法 - Google Patents
加工レンズ保護機構及び方法Info
- Publication number
- JP3496203B2 JP3496203B2 JP2000262149A JP2000262149A JP3496203B2 JP 3496203 B2 JP3496203 B2 JP 3496203B2 JP 2000262149 A JP2000262149 A JP 2000262149A JP 2000262149 A JP2000262149 A JP 2000262149A JP 3496203 B2 JP3496203 B2 JP 3496203B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- processing
- nozzle
- dust
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工レンズの保護
機構に関する。
機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザドリル機は、レーザ発振器からの
レーザ光を加工レンズを用いて集光し、被加工物である
回路基板等に照射して、その照射領域においてアブレー
ションを発生させて、バイアホール等の穴を形成する機
器（レーザ加工機）である。
レーザ光を加工レンズを用いて集光し、被加工物である
回路基板等に照射して、その照射領域においてアブレー
ションを発生させて、バイアホール等の穴を形成する機
器（レーザ加工機）である。
【０００３】このレーザドリル機を用いた穴あけ加工で
は、加工の際にダストが発生する。そして、レーザドリ
ル機では、一般的に加工レンズとして比較的大口径のレ
ンズを使用しているので、加工中に発生したダストは、
容易に加工レンズの表面に付着する。加工レンズに付着
したダストは、レーザ光を反射または吸収して被加工物
に照射されるレーザ光の光量を減少させ、加工効率を低
下させたり、レーザ光を吸収して発熱し加工レンズを損
傷させたりするなどの問題を引き起こす。従って、この
ようなレーザドリル機では、何らかの方法で、加工中に
発生するダストが加工レンズへ付着することを防止する
必要がある。
は、加工の際にダストが発生する。そして、レーザドリ
ル機では、一般的に加工レンズとして比較的大口径のレ
ンズを使用しているので、加工中に発生したダストは、
容易に加工レンズの表面に付着する。加工レンズに付着
したダストは、レーザ光を反射または吸収して被加工物
に照射されるレーザ光の光量を減少させ、加工効率を低
下させたり、レーザ光を吸収して発熱し加工レンズを損
傷させたりするなどの問題を引き起こす。従って、この
ようなレーザドリル機では、何らかの方法で、加工中に
発生するダストが加工レンズへ付着することを防止する
必要がある。
【０００４】従来のレーザドリル機用加工レンズの保護
機構は、エアブロアやエアナイフ等を用いて、加工領域
付近にクリーンエアを吹き付けることにより、そこで発
生したダストを側方へ吹き飛ばし、ダストが加工レンズ
へと向かわないようにしている。
機構は、エアブロアやエアナイフ等を用いて、加工領域
付近にクリーンエアを吹き付けることにより、そこで発
生したダストを側方へ吹き飛ばし、ダストが加工レンズ
へと向かわないようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザドリル機
用加工レンズの保護機構では、加工領域で発生したダス
トの多くを側方へ吹き飛ばすことができ、加工レンズへ
のダストの付着量を減少させることができる。
用加工レンズの保護機構では、加工領域で発生したダス
トの多くを側方へ吹き飛ばすことができ、加工レンズへ
のダストの付着量を減少させることができる。
【０００６】しかしながら、この方法では、全てのダス
トを側方へ吹き飛ばすことができず、一部のダストは加
工レンズに付着してしまう。即ち、ダストの加工レンズ
への付着を完全に防止することはできない。このため、
従来のレーザドリル機加工レンズの保護機構では、レー
ザドリル機での穴あけ加工が繰り返されると、次第に加
工レンズに付着するダストの量が増加して、やがて加工
効率の低下や加工レンズの損傷などを招いてしまうと問
題点がある。
トを側方へ吹き飛ばすことができず、一部のダストは加
工レンズに付着してしまう。即ち、ダストの加工レンズ
への付着を完全に防止することはできない。このため、
従来のレーザドリル機加工レンズの保護機構では、レー
ザドリル機での穴あけ加工が繰り返されると、次第に加
工レンズに付着するダストの量が増加して、やがて加工
効率の低下や加工レンズの損傷などを招いてしまうと問
題点がある。
【０００７】そこで、本発明は、レーザ加工機の加工レ
ンズへのダストの付着を防止するとともに、加工レンズ
に付着してしまったダストを除去することができる加工
レンズの保護機構を提供することを目的とする。
ンズへのダストの付着を防止するとともに、加工レンズ
に付着してしまったダストを除去することができる加工
レンズの保護機構を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、レーザ
光を加工レンズで集光して加工台上に保持された被加工
物に照射し、前記被加工物の加工を行なうレーザ加工機
に用いられ、加工の際に発生するダストから前記加工レ
ンズを保護する加工レンズ保護機構において、前記ダス
トを吹き飛ばすためのブロー用気体を吹出すためのノズ
ルと、当該ノズルから吹出した前記ブロー用気体を前記
ダストとともに吸い込むための吸引ダクトとを、前記ブ
ロー用気体が前記加工レンズと前記加工台との間を通過
するように設けるとともに、前記ブロー用気体が、前記
加工レンズ及び前記加工台のうちのいずれか一方に向か
って選択的に前記ノズルから吹出すようにしたことを特
徴とする加工レンズ保護機構が得られる。
光を加工レンズで集光して加工台上に保持された被加工
物に照射し、前記被加工物の加工を行なうレーザ加工機
に用いられ、加工の際に発生するダストから前記加工レ
ンズを保護する加工レンズ保護機構において、前記ダス
トを吹き飛ばすためのブロー用気体を吹出すためのノズ
ルと、当該ノズルから吹出した前記ブロー用気体を前記
ダストとともに吸い込むための吸引ダクトとを、前記ブ
ロー用気体が前記加工レンズと前記加工台との間を通過
するように設けるとともに、前記ブロー用気体が、前記
加工レンズ及び前記加工台のうちのいずれか一方に向か
って選択的に前記ノズルから吹出すようにしたことを特
徴とする加工レンズ保護機構が得られる。
【０００９】具体的には、本発明は、前記ノズルとし
て、前記加工レンズに向けられたダスト除去用ノズルと
前記加工台に向けられたレンズ保護用ノズルとを有し、
前記ダスト除去用ノズルと前記レンズ保護用ノズルのい
ずれか一方から前記ブロー用気体を吹出させるようにし
たことを特徴とする。
て、前記加工レンズに向けられたダスト除去用ノズルと
前記加工台に向けられたレンズ保護用ノズルとを有し、
前記ダスト除去用ノズルと前記レンズ保護用ノズルのい
ずれか一方から前記ブロー用気体を吹出させるようにし
たことを特徴とする。
【００１０】あるいは、本発明は、前記ノズルが、前記
加工レンズ及び前記加工台のうちのいずれか一方に向か
って選択的に前記ブロー用気体を吹出すよう、吹出し方
向切替機構を備えていることを特徴とする。
加工レンズ及び前記加工台のうちのいずれか一方に向か
って選択的に前記ブロー用気体を吹出すよう、吹出し方
向切替機構を備えていることを特徴とする。
【００１１】また、本発明によれば、レーザ光を加工レ
ンズで集光して被加工物に照射し、前記被加工物の加工
を行なうレーザ加工機に用いられ、加工の際に発生する
ダストから前記加工レンズを保護する加工レンズ保護方
法において、加工中は、前記ダストを吹き飛ばすための
ブロー用気体を前記被加工物に向けて略側方から吹き付
け、レンズクリーニング時には、前記ブロー用気体を前
記加工レンズに向けて略側方から吹き付けるようにした
ことを特徴とする加工レンズ保護方法が得られる。
ンズで集光して被加工物に照射し、前記被加工物の加工
を行なうレーザ加工機に用いられ、加工の際に発生する
ダストから前記加工レンズを保護する加工レンズ保護方
法において、加工中は、前記ダストを吹き飛ばすための
ブロー用気体を前記被加工物に向けて略側方から吹き付
け、レンズクリーニング時には、前記ブロー用気体を前
記加工レンズに向けて略側方から吹き付けるようにした
ことを特徴とする加工レンズ保護方法が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。
実施の形態について詳細に説明する。
【００１３】図１に、本発明の一実施の形態に係るレー
ザ加工機（レーザドリル機）用加工レンズ保護機構を示
す。図１の加工レンズ保護機構は、レーザドリル機の出
射光学系の先端に固定されている加工レンズ１１にブロ
ー用気体（ここでは、クリーンエア）を吹き付けるため
のダスト除去用ノズル１２と、レーザドリル機の加工台
１３上に保持された被加工物１４の表面にクリーンエア
を吹き付けるためのレンズ保護用ノズル１５と、これら
２つのブロアノズル１２，１５から吹出したクリーンエ
アをダストとともに吸引するための吸引ダクト１６とを
有している。
ザ加工機（レーザドリル機）用加工レンズ保護機構を示
す。図１の加工レンズ保護機構は、レーザドリル機の出
射光学系の先端に固定されている加工レンズ１１にブロ
ー用気体（ここでは、クリーンエア）を吹き付けるため
のダスト除去用ノズル１２と、レーザドリル機の加工台
１３上に保持された被加工物１４の表面にクリーンエア
を吹き付けるためのレンズ保護用ノズル１５と、これら
２つのブロアノズル１２，１５から吹出したクリーンエ
アをダストとともに吸引するための吸引ダクト１６とを
有している。
【００１４】ダスト除去用ノズル１２及びレンズ保護用
ノズル１５と、吸引ダクト１６とは、加工レンズ１１と
被加工物１４（加工台１３）との間の空間を挟さんで、
互いに対向するように配置されている。そして、ダスト
除去用ノズル１２は、上述のように、加工レンズ１１に
クリーンエアを吹き付けるために、その吹出し方向が、
図の横方向より若干上向きとなるように設定されてい
る。また、レンズ保護用ノズル１５は、上述のように被
加工物１４の表面にクリーンエアを吹き付けるために、
クリーンエアが加工台１３の方へ向かって吹出すよう
に、図の横方向より若干下向きに吹出し方向が設定され
ている。
ノズル１５と、吸引ダクト１６とは、加工レンズ１１と
被加工物１４（加工台１３）との間の空間を挟さんで、
互いに対向するように配置されている。そして、ダスト
除去用ノズル１２は、上述のように、加工レンズ１１に
クリーンエアを吹き付けるために、その吹出し方向が、
図の横方向より若干上向きとなるように設定されてい
る。また、レンズ保護用ノズル１５は、上述のように被
加工物１４の表面にクリーンエアを吹き付けるために、
クリーンエアが加工台１３の方へ向かって吹出すよう
に、図の横方向より若干下向きに吹出し方向が設定され
ている。
【００１５】ダスト除去用ノズル１２及びレンズ保護用
ノズル１５には、それぞれ電磁弁１７，１８が接続され
ている。そして、電磁弁１７，１８には、共通のクリー
ンエアボンベ（図示せず）が接続されている。電磁弁１
７，１８は、レーザドリル機の制御装置（図示せず）に
より制御され、後述のようにいずれか一方のみが開状態
となって、加工レンズ１１の保護動作又はダストの除去
動作を選択的に行なう。なお、ノズル１２，１５から吹
出すクリーンエアーの流量は、図示しない流量調整バル
ブにより調整することができる。
ノズル１５には、それぞれ電磁弁１７，１８が接続され
ている。そして、電磁弁１７，１８には、共通のクリー
ンエアボンベ（図示せず）が接続されている。電磁弁１
７，１８は、レーザドリル機の制御装置（図示せず）に
より制御され、後述のようにいずれか一方のみが開状態
となって、加工レンズ１１の保護動作又はダストの除去
動作を選択的に行なう。なお、ノズル１２，１５から吹
出すクリーンエアーの流量は、図示しない流量調整バル
ブにより調整することができる。
【００１６】吸引ダクト１６には、図示しないポンプが
連結されており、ポンプは、吸引ダクト１６を通して、
ダスト除去用ノズル１２とレンズ保護用ノズル１５とか
らそれぞれ吹出したクリーンエアを吸引する。
連結されており、ポンプは、吸引ダクト１６を通して、
ダスト除去用ノズル１２とレンズ保護用ノズル１５とか
らそれぞれ吹出したクリーンエアを吸引する。
【００１７】以下、この加工レンズ保護機構の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１８】レーザドリル機は、レーザ光を集光レンズ
１１で集光して、被加工物１４である基板（プリント回
路基板）に照射し、基板の所定位置に複数のバイアホー
ルを形成する。このバイアホールの形成には、ダストの
発生が伴う。
１１で集光して、被加工物１４である基板（プリント回
路基板）に照射し、基板の所定位置に複数のバイアホー
ルを形成する。このバイアホールの形成には、ダストの
発生が伴う。
【００１９】レーザドリル機が、１枚の基板に対して穴
あけ加工を施している間、レーザドリル機を制御する制
御装置は、電磁弁１８を開状態にし、レンズ保護用ノズ
ル１５から基板の表面に向けてクリーンエアーを吹出さ
せる。レンズ保護用ノズル１５から吹出したクリーンエ
アは、基板表面に衝突し、基板の加工に伴って発生する
ダストを吹き飛ばす。吸引ダクト１６は、クリーンエア
により吹き飛ばされたダストを、クリーンエアとともに
吸引する。こうして、基板の穴あけ加工に伴って発生す
るダストの大部分が、加工レンズに付着することなく除
去される。ただし、少量のダストが、クリーンエアによ
るブローにもかかわらず、加工レンズ１１の表面に到達
して付着する。
あけ加工を施している間、レーザドリル機を制御する制
御装置は、電磁弁１８を開状態にし、レンズ保護用ノズ
ル１５から基板の表面に向けてクリーンエアーを吹出さ
せる。レンズ保護用ノズル１５から吹出したクリーンエ
アは、基板表面に衝突し、基板の加工に伴って発生する
ダストを吹き飛ばす。吸引ダクト１６は、クリーンエア
により吹き飛ばされたダストを、クリーンエアとともに
吸引する。こうして、基板の穴あけ加工に伴って発生す
るダストの大部分が、加工レンズに付着することなく除
去される。ただし、少量のダストが、クリーンエアによ
るブローにもかかわらず、加工レンズ１１の表面に到達
して付着する。
【００２０】次に、１枚の基板に対する穴あけ加工が終
了すると、制御装置は、電磁弁１８を閉じ、電磁弁１７
を開く。これにより、ダスト除去用ノズル１２から加工
レンズ１１の表面に向けてクリーンエアーが吹出す。そ
して、加工レンズ１１に付着したダストを吹き飛ばし、
加工レンズ１１の表面より除去する。吸引ダクト１６
は、クリーンエアにより加工レンズ１１表面から除去さ
れたダストを、そのクリーンエアとともに吸引する。こ
うして、加工レンズ１１の表面に付着したダストのほと
んどが、加工レンズ１１の表面より取り除かれる。な
お、この間に、基板の交換が行なわれ、次に穴あけ加工
される基板が、加工台上に保持される。
了すると、制御装置は、電磁弁１８を閉じ、電磁弁１７
を開く。これにより、ダスト除去用ノズル１２から加工
レンズ１１の表面に向けてクリーンエアーが吹出す。そ
して、加工レンズ１１に付着したダストを吹き飛ばし、
加工レンズ１１の表面より除去する。吸引ダクト１６
は、クリーンエアにより加工レンズ１１表面から除去さ
れたダストを、そのクリーンエアとともに吸引する。こ
うして、加工レンズ１１の表面に付着したダストのほと
んどが、加工レンズ１１の表面より取り除かれる。な
お、この間に、基板の交換が行なわれ、次に穴あけ加工
される基板が、加工台上に保持される。
【００２１】以上のように、本実施の形態では、レーザ
ドリル機による加工が行なわれているとき（加工中）に
は、基板に向けてクリーンエアによるブローを行ない、
加工が行なわれていないとき（レンズクリーニング時）
には、加工レンズ１１に向けてクリーンエアによるブロ
ーを行なうようにしている。このように、加工中に、加
工レンズ１１へ向けてのブローを行なわないのは、も
し、加工中に加工レンズ１１へ向けてブローを行なう
と、基板へ向けたブローで吹き飛ばすことができなかっ
たダストを加工レンズ１１に吹き付けることになってし
まうからである。
ドリル機による加工が行なわれているとき（加工中）に
は、基板に向けてクリーンエアによるブローを行ない、
加工が行なわれていないとき（レンズクリーニング時）
には、加工レンズ１１に向けてクリーンエアによるブロ
ーを行なうようにしている。このように、加工中に、加
工レンズ１１へ向けてのブローを行なわないのは、も
し、加工中に加工レンズ１１へ向けてブローを行なう
と、基板へ向けたブローで吹き飛ばすことができなかっ
たダストを加工レンズ１１に吹き付けることになってし
まうからである。
【００２２】また、本実施の形態では、１枚の基板に複
数のバイアホールを形成している間中、レンズ保護用ノ
ズル１５からクリーンエアを吹出させるようにしている
が、理論上は、バイアホールを一つ形成する毎に、ダス
ト除去用ノズル１２からクリーンエアを吹出させるよう
に切換制御することも可能である。しかしながら、レー
ザ加工機の加工効率等を考慮すると、基板毎あるいは複
数の基板毎にダスト除去用ノズル１２からクリーンエア
を吹出させるようにすることが好ましい。
数のバイアホールを形成している間中、レンズ保護用ノ
ズル１５からクリーンエアを吹出させるようにしている
が、理論上は、バイアホールを一つ形成する毎に、ダス
ト除去用ノズル１２からクリーンエアを吹出させるよう
に切換制御することも可能である。しかしながら、レー
ザ加工機の加工効率等を考慮すると、基板毎あるいは複
数の基板毎にダスト除去用ノズル１２からクリーンエア
を吹出させるようにすることが好ましい。
【００２３】以上のようにして、本実施の形態による加
工レンズ保護機構では、単に加工レンズ１１へのダスト
の付着を防止するだけでなく、加工レンズ１１に付着し
てしまったダストも除去することができる。
工レンズ保護機構では、単に加工レンズ１１へのダスト
の付着を防止するだけでなく、加工レンズ１１に付着し
てしまったダストも除去することができる。
【００２４】なお、上記実施の形態では、加工レンズ１
１へ向けてクリーンエアを吹出すノズル１２と、被加工
物１４（加工台１３）へ向けてクリーンエアを吹出すノ
ズル１５とを別々ノズルとしたが、図２に示すように、
その吹出し方向を変えることができる単一のブロアノズ
ルを用いるようにしてもよい。この場合、制御装置は、
２つの電磁弁１７，１８を制御する代わりに、単一の電
磁弁とノズルの吹出し方向とを制御することになる。
１へ向けてクリーンエアを吹出すノズル１２と、被加工
物１４（加工台１３）へ向けてクリーンエアを吹出すノ
ズル１５とを別々ノズルとしたが、図２に示すように、
その吹出し方向を変えることができる単一のブロアノズ
ルを用いるようにしてもよい。この場合、制御装置は、
２つの電磁弁１７，１８を制御する代わりに、単一の電
磁弁とノズルの吹出し方向とを制御することになる。
【００２５】また、上記実施の形態では、加工レンズが
露出している場合について説明したが、図３に示すよう
に、加工レンズ１１の前面に保護レンズ３１あるいは保
護ガラスを有しているレーザドリル機にも、本発明は適
用可能である。
露出している場合について説明したが、図３に示すよう
に、加工レンズ１１の前面に保護レンズ３１あるいは保
護ガラスを有しているレーザドリル機にも、本発明は適
用可能である。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、加工中は、加工台上の
被加工物に向けて、レンズクリーニング時には、加工レ
ンズに向けて、それぞれブロアノズルからブロー用気体
を吹出させるようにしたことで、単に加工レンズへのダ
ストの付着を防止できるだけでなく、加工レンズ１１に
付着してしまったダストも除去することができる。
被加工物に向けて、レンズクリーニング時には、加工レ
ンズに向けて、それぞれブロアノズルからブロー用気体
を吹出させるようにしたことで、単に加工レンズへのダ
ストの付着を防止できるだけでなく、加工レンズ１１に
付着してしまったダストも除去することができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係るレーザドリル機用
加工レンズの保護機構の構成を示す概略図である。
加工レンズの保護機構の構成を示す概略図である。
【図２】本発明に利用できる他のブロアノズルを説明す
るための図である。
るための図である。
【図３】本発明が適用できる、保護レンズまたは保護ガ
ラスを備えたレーザドリル機の出射光学系の先端部の構
成を示す図である。
ラスを備えたレーザドリル機の出射光学系の先端部の構
成を示す図である。
１１ 加工レンズ
１２ ダスト除去用ノズル
１３ 加工台
１４ 被加工物
１５ レンズ保護用ノズル
１６ 吸引ダクト
１７ 電磁弁
１８ 電磁弁
３１ 保護レンズ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23K 26/00 - 26/42
B23Q 11/00
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ光を加工レンズで集光して加工台
上に保持された被加工物に照射し、前記被加工物の加工
を行なうレーザ加工機に用いられ、加工の際に発生する
ダストから前記加工レンズを保護する加工レンズ保護機
構において、 前記ダストを吹き飛ばすためのブロー用気体を吹出すた
めのノズルと、当該ノズルから吹出した前記ブロー用気
体を前記ダストとともに吸い込むための吸引ダクトと
を、前記ブロー用気体が前記加工レンズと前記加工台と
の間を通過するように設けるとともに、 前記ブロー用気体が、前記加工レンズ及び前記加工台の
うちのいずれか一方に向かって選択的に前記ノズルから
吹出すようにしたことを特徴とする加工レンズ保護機
構。 - 【請求項２】 前記ノズルとして、前記加工レンズに向
けられたダスト除去用ノズルと前記加工台に向けられた
レンズ保護用ノズルとを有し、前記ダスト除去用ノズル
と前記レンズ保護用ノズルのいずれか一方から前記ブロ
ー用気体を吹出させるようにしたことを特徴とする請求
項１の加工レンズ保護機構。 - 【請求項３】 前記ノズルが、前記加工レンズ及び前記
加工台のうちのいずれか一方に向かって選択的に前記ブ
ロー用気体を吹出すよう、吹出し方向切替機構を備えて
いることを特徴とする請求項１の加工レンズ保護機構。 - 【請求項４】 レーザ光を加工レンズで集光して被加工
物に照射し、前記被加工物の加工を行なうレーザ加工機
に用いられ、加工の際に発生するダストから前記加工レ
ンズを保護する加工レンズ保護方法において、 加工中は、前記ダストを吹き飛ばすためのブロー用気体
を前記被加工物に向けて略側方から吹き付け、レンズク
リーニング時には、前記ブロー用気体を前記加工レンズ
に向けて略側方から吹き付けるようにしたことを特徴と
する加工レンズ保護方法。 - 【請求項５】 前記被加工物に向けて略側方から吹き付
けられた前記ブロー用気体と、前記加工レンズに向けて
略側方から吹き付けられた前記ブロー用気体とを、同一
の吸引ダクトを用いて吸引するようにしたことを特徴と
する請求項４の加工レンズ保護方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000262149A JP3496203B2 (ja) | 2000-08-31 | 2000-08-31 | 加工レンズ保護機構及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000262149A JP3496203B2 (ja) | 2000-08-31 | 2000-08-31 | 加工レンズ保護機構及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002066781A JP2002066781A (ja) | 2002-03-05 |
| JP3496203B2 true JP3496203B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=18749871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000262149A Expired - Fee Related JP3496203B2 (ja) | 2000-08-31 | 2000-08-31 | 加工レンズ保護機構及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3496203B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103240526A (zh) * | 2013-05-10 | 2013-08-14 | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 | 基于纳米级粒子流的激光打孔方法 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4805626B2 (ja) * | 2005-07-28 | 2011-11-02 | 四国電力株式会社 | 気中ピーニング加工装置および加工方法 |
| JP5194367B2 (ja) * | 2006-02-20 | 2013-05-08 | 日産自動車株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工方法 |
| JP5104914B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-12-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 除去装置 |
| JP2013010124A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Disco Corp | レーザ加工装置 |
| JP2013010123A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Disco Corp | レーザ加工装置 |
| JP6583176B2 (ja) * | 2016-07-25 | 2019-10-02 | 株式会社村田製作所 | 粉塵対策装置 |
| WO2018168270A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | 本田技研工業株式会社 | レーザ加工機 |
| CN108436260A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-08-24 | 上海柏楚电子科技有限公司 | 一种激光切割机镜片保护吹气方法 |
| CN109514085B (zh) * | 2018-11-29 | 2021-02-23 | 深圳泰德激光科技有限公司 | 激光焊接装置 |
| CN109895177A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-18 | 大连崇达电子有限公司 | 一种高效去除pcb钻孔机粉尘的吸尘系统及吸尘方法 |
| KR102090420B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2020-03-17 | 김찬삼 | 강판 레이저 사이드 트리밍 장치 및 방법 |
| CN115041831A (zh) * | 2022-05-23 | 2022-09-13 | 杭州乾瑭云科技有限公司 | 一种激光切割气阀 |
-
2000
- 2000-08-31 JP JP2000262149A patent/JP3496203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103240526A (zh) * | 2013-05-10 | 2013-08-14 | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 | 基于纳米级粒子流的激光打孔方法 |
| CN103240526B (zh) * | 2013-05-10 | 2015-06-10 | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 | 基于纳米级粒子流的激光打孔方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002066781A (ja) | 2002-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3496203B2 (ja) | 加工レンズ保護機構及び方法 | |
| JP5964693B2 (ja) | 物質捕集方法及び物質捕集装置 | |
| KR20140045874A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 장치의 흡인로의 세정 방법 | |
| TWI388390B (zh) | Laser processing device | |
| US7326878B2 (en) | Laser beam processing machine | |
| JP6647829B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| KR20140123415A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 | |
| JP2017035714A (ja) | レーザ加工装置 | |
| KR102379215B1 (ko) | 레이저 장치 | |
| EP1504842A4 (en) | A LASER BEAM USING FINISHING MACHINE | |
| JP3262894B2 (ja) | レーザ加工用ノズル | |
| JP2007185685A (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP6363894B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP6316702B2 (ja) | 加工装置及びウエーハの加工方法 | |
| JP2011125871A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP7479761B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP2000317670A (ja) | 集塵装置、集塵方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工方法 | |
| JP3441244B2 (ja) | 熱切断加工機のワークテーブル | |
| JPS62179888A (ja) | レ−ザ加工機の加工ノズル | |
| JPH05121541A (ja) | ダイシング装置 | |
| JP2021126659A (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP2005118849A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH05111780A (ja) | プリント配線板の導電性パターンの切断方法及び装置 | |
| JP2013022601A (ja) | レーザー加工装置用のノズルクリーナ | |
| JP6739306B2 (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031105 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071128 Year of fee payment: 4 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081128 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081128 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101128 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131128 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |