JP5104914B2 - 除去装置 - Google Patents
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Description
(1)絶縁基板の膜面(絶縁基板の主面のうち、膜が形成された面)が下側となるように反転させるとともに、
(2)膜面と逆側の面(絶縁基板の上側の主面)から入射され、絶縁基板を透過したレーザ光を、膜に照射することによって、
絶縁基板上の膜を除去する。
図1および図2は、本発明の実施の形態における除去装置1の構成の一例を示す斜視図である。図3は、除去吸引ユニット30付近の構成の一例を示す正面図である。ここで、除去装置1は、絶縁基板5から膜6を除去し、絶縁基板5の表面を露出させることによって、絶縁基板5の周縁付近のデリーション加工を実行する。図1および図2に示すように、除去装置1は、主として、保持ユニット10と、架橋構造体20と、除去吸引ユニット30と、浄化ノズル80と、制御部90と、を有している。
ここでは、除去吸引ユニット30のハードウェア構成について説明する。図3に示すように、除去吸引ユニット30は、主として、照射部40と、吸引部50と、取付部60と、を有している。
(1)照射部40および吸引部50だけが移動する、
(2)保持ユニット10だけが移動する、
(3)照射部40および吸引部50と、保持ユニット10と、の両者が移動する、
が、挙げられる。
以上のように、本実施の形態の除去装置1において、照射部40は、レーザ光40aを照射しつつ、保持ユニット10に対して相対的に移動させられる。また、吸引部50は、照射部40との位置関係が保持された状態で照射部40とともに、保持ユニット10に対して相対的に移動させられる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
5 絶縁基板
6 膜
7 除去範囲
8 保持範囲
10 保持ユニット
10a 保持面
11a、60a 水平駆動部
11b 回転駆動部
11c 回転軸
20 架橋構造体
30 除去吸引ユニット
40 照射部
40a レーザ光
40b、50a 中心軸
50 吸引部
51 吸引ノズル
60 取付部
70 駆動ユニット
80 浄化ノズル
D1 走査幅
D2 開口幅
P1 退避位置
Claims (3)
- 透光性を有する絶縁基板上から膜を除去する除去装置において、
(a) 前記膜が上側となるように、前記絶縁基板を保持する保持ユニットと、
(b) 前記絶縁基板上から前記膜を除去および吸引する除去吸引ユニットと、
(c) 前記保持ユニットに対して前記除去吸引ユニットを相対的に移動させる駆動ユニットと、
(d)前記除去吸引ユニットの退避位置に設けられており、前記照射部に清浄ガスを供給する浄化ノズルと、
を備え、
前記除去吸引ユニットは、
(b-1) 前記保持ユニットに保持された前記絶縁基板の下方に設けられており、前記絶縁基板上に形成された前記膜にレーザ光を照射する照射部と、
(b-2) 前記保持ユニットに保持された前記絶縁基板の上方、かつ、前記照射部の直上に設けられており、前記レーザ光の照射により除去された前記膜の構成物質を吸引する吸引部と、
を有し、
前記駆動ユニットは、相互の位置関係が維持された前記照射部および前記吸引部を、前記保持ユニットに対して相対的に移動させることを特徴とする除去装置。 - 請求項1に記載の除去装置において、
前記除去吸引ユニットは、
(b-3) 前記照射部および前記吸引部が取り付けられた取付部、
を、さらに有しており、
前記駆動ユニットは、前記取付部に駆動力を付与することによって、前記照射部および前記吸引部を前記保持ユニットに対して相対的に移動させることを特徴とする除去装置。 - 請求項1または請求項2に記載の除去装置において、
前記照射部の中心軸と、前記吸引部の中心軸と、が、略一致することを特徴とする除去装置。
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