KR20120002421A - 제거 장치 - Google Patents

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토시오 아카이
요시미 다카하시
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 절연 기판 상에 형성된 막을 양호하게 제거할 수 있는 제거 장치를 제공한다.
(해결 수단) 조사부(40)는, 레이저광(40a)을 조사하면서, 보지(holding) 유닛(10)에 대하여 상대적으로 이동된다. 또한, 흡인부(50)는, 조사부(40)와의 위치 관계가 보지된 상태에서, 조사부(40)와 함께 보지 유닛(10)에 대하여 상대적으로 이동된다. 이에 따라, 조사부(40)로부터 조사된 레이저광(40a)은, 절연 기판(5)의 하측으로부터 절연 기판(5)에 입사(入射)되고, 절연 기판(5) 상에 형성된 막(6)에 도달한다. 그리고, 이 레이저광(40a)에 의해 절연 기판(5) 상으로부터 제거된 막(6)의 구성 물질은, 제거 후, 신속하게, 조사부(40)의 바로 위에 형성된 흡인부(50)에 의해 흡인된다.

Description

제거 장치{REMOVAL APPARATUS}
본 발명은, 유기 일렉트로루미네선스(electroluminesence) 표시용 유리 기판, 액정 표시용 유리 기판, 수지 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광디스크용 기판 및, 태양전지용 유리 기판 등과 같이, 절연체에 의해 형성되어 있고, 투광성을 갖는 절연 기판(이하, 단순히, 「절연 기판」이라고 칭함)으로부터, 막을 제거하는 제거 장치에 관한 것이다.
종래, 절연 기판 상에 형성된 막에 레이저광을 조사함으로써, 절연 기판 상의 막을 제거하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1에서 3). 여기에서, 특허문헌 1에서 3에 기재된 기술은,
(1) 절연 기판의 막면(절연 기판의 주면(主面) 중, 막이 형성된 면)이 하측이 되도록 반전시킴과 함께,
(2) 막면과 반대측의 면(절연 기판의 상측의 주면)으로부터 입사(入射)되어, 절연 기판을 투과한 레이저광을, 막에 조사함으로써, 절연 기판 상의 막을 제거한다.
일본공개특허공보 2001-111078호 일본공개특허공보 2009-082974호 일본공개특허공보 2010-092893호
이와 같이, 특허문헌 1에서 3의 기술은, 막면의 제거에 앞서, 막면이 하측이 되도록 절연 기판을 반전시키는 것을 전제로 하고 있다. 이 경우에 있어서, 절연 기판의 보지(保持;holding)부는, 막면에 형성된 막이 손상을 받는 것을 방지하기 위해, 반전 후의 절연 기판의 주연부(周緣部)를 보지한다.
따라서, 절연 기판이 대형화되면, 절연 기판의 휨의 영향이 더욱 증대된다. 그 결과, 절연 기판 상에 형성되어 있는 막에 대하여 레이저광을 양호하게 집광시킬 수 없어, 이 막을 양호하게 제거할 수 없다는 문제가 발생한다.
그래서, 본 발명에서는, 절연 기판 상에 형성된 막을 양호하게 제거할 수 있는 제거 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 투광성을 갖는 절연 기판 상으로부터 막을 제거하는 제거 장치에 있어서, 상기 막이 상측이 되도록, 상기 절연 기판을 보지하는 보지 유닛과, 상기 절연 기판 상으로부터 상기 막을 제거 및 흡인하는 제거 흡인 유닛과, 상기 보지 유닛에 대하여 상기 제거 흡인 유닛을 상대적으로 이동시키는 구동 유닛을 구비하고, 상기 제거 흡인 유닛은, 상기 보지 유닛에 보지된 상기 절연 기판의 하방에 형성되어 있고, 상기 절연 기판 상에 형성된 상기 막에 레이저광을 조사하는 조사부와, 상기 보지 유닛에 보지된 상기 절연 기판의 상방, 그리고, 상기 조사부의 바로 위에 형성되어 있고, 상기 레이저광의 조사에 의해 제거된 상기 막의 구성 물질을 흡인하는 흡인부를 갖고, 상기 구동 유닛은, 상호 위치 관계가 유지된 상기 조사부 및 상기 흡인부를, 상기 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재된 제거 장치에 있어서, 상기 제거 흡인 유닛은, 상기 조사부 및 상기 흡인부가 부착된 부착부를 추가로 갖고 있고, 상기 구동 유닛은, 상기 부착부에 구동력을 부여함으로써, 상기 조사부 및 상기 흡인부를 상기 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 제거 장치에 있어서, 상기 조사부의 중심축과, 상기 흡인부의 중심축이 대략 일치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 4의 발명은, 청구항 1에서 청구항 3 중 어느 하나에 기재된 제거 장치에 있어서, 상기 제거 흡인 유닛의 퇴피 위치에 설치되어 있고, 상기 조사부에 청정 가스를 공급하는 정화 노즐을 추가로 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 1에서 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 조사부는, 레이저광을 조사하면서, 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동된다. 또한, 흡인부는, 조사부와의 위치 관계가 보지된 상태에서 조사부와 함께, 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동된다.
이에 따라, 조사부로부터 조사된 레이저광은, 절연 기판의 하측으로부터 절연 기판에 입사되고, 절연 기판 상에 형성된 막에 도달한다. 그리고, 이 레이저광에 의해 절연 기판 상으로부터 제거된 막의 구성 물질은, 제거 후, 신속하게, 조사부의 바로 위에 형성된 흡인부에 의해 흡인된다.
이와 같이, 청구항 1에서 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 조사부의 바로 위에 흡인부를 형성하면서, 흡인부를 조사부와 함께 이동시킴으로써, 절연 기판으로부터 제거된 막의 구성 물질을 양호하게 흡인할 수 있다. 즉, 보지 유닛의 부근에 대형의 흡인 기구를 설치할 필요가 없다. 그 때문에, 제거 장치의 장치 사이즈 및 제거 장치의 제조 비용을 저감할 수 있다.
특히, 청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 조사부 및 흡인부의 각각은, 부착부에 부착되어 있고, 조사부 및 흡인부는, 일체가 되어, 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동된다. 그 때문에, 절연 기판 상의 막의 제거 및 흡인을 더욱 양호하게 실행할 수 있다.
특히 청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 조사부의 중심축과, 흡인부의 중심축은 대략 일치하고 있다. 이에 따라, 절연 기판 상으로부터 제거된 막의 구성 물질은, 더욱 신속하게 흡인부에서 흡인된다. 그 때문에, 절연 기판 상의 막의 제거 및 흡인을 더욱 양호하게 실행할 수 있다.
특히, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 퇴피 위치로 이동된 제거 흡인 유닛의 조사부에, 청정 가스를 공급할 수 있다. 이에 따라, 절연 기판의 하측으로부터 레이저광이 조사되는 경우라도, 조사부를 청정한 상태로 유지할 수 있다. 그 때문에, 레이저광에 의한 막의 제거 상태를 양호하게 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 제거 장치의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 제거 장치의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 제거 흡인 유닛 부근의 구성의 일 예를 나타내는 정면도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 대해서 상세하게 설명한다.
<1. 제거 장치의 구성>
도 1 및 도 2는, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 제거 장치(1)의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다. 도 3은, 제거 흡인 유닛(30) 부근의 구성의 일 예를 나타내는 정면도이다. 여기에서, 제거 장치(1)는, 절연 기판(5)으로부터 막(6)을 제거하고, 절연 기판(5)의 표면을 노출시킴으로써, 절연 기판(5)의 주연(周緣) 부근의 딜리션(deletion) 가공을 실행한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제거 장치(1)는, 주로, 보지 유닛(10)과, 가교 구조체(20)와, 제거 흡인 유닛(30)과, 정화 노즐(80)과, 제어부(90)를 갖고 있다.
또한, 도 1에서 도 3에는, 그들의 방향 관계를 명확히 하기 위해, Z축 방향을 연직(鉛直) 방향으로 하고, XY 평면을 수평면으로 하는 XYZ 직교 좌표계가 첨부되어 있다.
보지 유닛(10)은, 막(6)이 상측이 되도록(보다 구체적으로는, 보지 유닛(10)은, 제거 범위(7)보다 중심측이 되는 보지 범위(8)에서), 절연 기판(5)을 보지한다. 도 1에서 도 3에 나타내는 바와 같이, 보지 유닛(10)은, 주로, 수평 구동부(11a)와, 회전 구동부(11b)를 갖고 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 보지 유닛(10)에는, 흡착홈(12) 및 관통구멍(13)이 형성되어 있다.
수평 구동부(11a)는, 보지 유닛(10)을, 화살표(AR1) 방향(Y축 플러스 또는 마이너스 방향: 제1 수평 방향)으로 진퇴시킨다. 또한, 회전 구동부(11b)는, 회전 축(11c)을 중심으로 하여 화살표(R1) 방향(회전 방향)으로, 보지 유닛(10)을 회전시킨다. 이에 따라, 보지 유닛(10)은, 보지된 절연 기판(5)의 4변 중 어느 1변을, 제거 흡인 유닛(30) 부근으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 이 1변을 따라서, 제거 범위(7)(도 3 참조)가 설정된다.
복수(도 3에서는, 도시의 사정상 1개)의 흡착홈(12)은, 보지 유닛(10)의 보지면(10a) 상에 형성된 오목부이다. 각 흡착홈(12)은, X축 또는 Y축을 따라서 대략 직선 형상으로 연장되도록 형성되어 있고, 격자 형상으로 되어 있다.
복수(도 3에서는, 도시의 사정상 2개)의 관통구멍(13)의 각각은, 각 흡착홈(12)과, 보지 유닛(10)의 하면측을 관통하는 세로구멍이다. 예를 들면, 관통구멍(13)은, 복수의 흡착홈(12)이 교차하는 교차점(격자점)에서 접속되어도 좋다.
또한, 각 관통구멍(13)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 배관(15), 밸브(16), 펌프(17) 및, 공통 배관(18)을 통하여, 배기 드레인(19)과 연통(communicating) 접속되어 있다.
이에 따라, 밸브(16)가 개방되어, 펌프(17)가 동작되어짐으로써, 절연 기판(5)의 하측 부근의 분위기 및, 흡착홈(12) 내의 분위기는 배기된다. 그 때문에, 절연 기판(5)은, 보지 유닛(10)의 보지면(10a)에 대하여 흡착 보지된다.
가교 구조체(20)는, 보지 유닛(10)에 걸치도록 배치된 구조물이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 가교 구조체(20)는, 보지 유닛(10)의 진행 방향(화살표(AR1) 방향)과 직교하는 방향(화살표(AR2) 방향)으로 연장되는 유닛 지지체(21)를 갖고 있다.
제거 흡인 유닛(30)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 가교 구조체(20)의 유닛 지지체(21)를 따라서 진퇴하면서, 레이저광(40a)에 의해 절연 기판(5) 상의 제거 범위(7)로부터 막(6)을 제거한다. 또한, 제거 흡인 유닛(30)은, 절연 기판(5) 상으로부터 방출된 막(6)의 구성 물질을 흡인(흡진)한다. 또한, 제거 흡인 유닛(30)의 상세에 대해서는 후술한다.
정화 노즐(80)은, 예를 들면, 조사부(40)의 주사부(42)(도 3 참조)와 같은 광학계에 청정 가스(예를 들면, 질소 가스)를 공급함으로써, 조사부(40)에 부착된 먼지 등을 제거하여, 조사부(40)를 정화한다. 정화 노즐(80)은, 배관(81)을 통하여 도시하지 않은 청정 가스 공급원에 접속되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 정화 노즐(80)은, 제거 흡인 유닛(30)의 퇴피 위치(P1)에 설치되어 있다.
이에 따라, 절연 기판(5)의 하측으로부터 레이저광(40a)이 조사되는 경우라도, 조사부(40)를 청정한 상태로 유지할 수 있다. 그 때문에, 레이저광(40a)에 의한 막(6)의 제거 상태를 양호하게 유지할 수 있다.
제어부(90)는, 예를 들면 보지 유닛(10)의 진퇴 및 회전 동작, 그리고 제거 흡인 유닛(30)의 진퇴 동작, 조사 동작 및, 흡인 동작을 제어함과 함께, 데이터 연산을 실현한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제어부(90)는, 주로, ROM(91)과, RAM(92)과, CPU(93)를 갖고 있다.
ROM(Read Only Memory)(91)은, 소위 불휘발성의 기억부로, 예를 들면, 프로그램(91a)이 격납(格納)되어 있다. 또한, ROM(91)으로서는, 읽고 쓰기가 자유로운 불휘발성 메모리인 플래시 메모리가 사용되어도 좋다.
RAM(Random Access Memory)(92)은, 휘발성의 기억부로, 예를 들면, CPU(93)의 연산에서 사용되는 데이터가 격납된다. CPU(Central Processing Unit)(93)는, ROM(91)의 프로그램(91a)에 따른 제어(예를 들면, 제거 흡인 유닛(30)에 의한 흡인 동작의 제어)나 데이터 처리를 실행한다.
<2. 제거 흡인 유닛의 구성>
여기에서는, 제거 흡인 유닛(30)의 하드 웨어 구성에 대해서 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제거 흡인 유닛(30)은, 주로, 조사부(40)와, 흡인부(50)와, 부착부(60)를 갖고 있다.
조사부(40)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 보지 유닛(10)에 보지된 절연 기판(5)의 하방에 형성되어 있고, 절연 기판(5) 상에 형성된 막(6)에 레이저광(40a)(예를 들면, 레이저 스폿 지름이 150㎛ 정도)을 조사한다. 레이저광(40a)에 조사된 막(6)은, 원자 상태, 분자 상태, 플라즈마 상태가 되어, 막(6)의 구성 물질의 미립자가 절연 기판(5) 상으로부터 방출된다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 조사부(40)는, 주로, 레이저 발진기(41)와, 주사부(42)와, 광화이버(43)를 갖고 있다.
레이저 발진기(41)는, 제어부(90)로부터 송출되는 구동 신호에 기초하여, 레이저광을 출사한다. 본 실시 형태에 있어서, 레이저 발진기(41)로서는, 비시감도(比視感度)가 높은 그린 레이저(파장 532㎚ 반도체 여기 고정 레이저)가 이용되어도 좋다. 그리고, 레이저 발진기(41)로부터 출사된 레이저광은, 광화이버(43)를 통하여 주사부(42)에 인도된다.
주사부(42)는, 레이저광(40a)의 조사 방향을 변경함으로써, 레이저광(40a)을 막(6)에 대하여 주사시킨다. 여기에서, 본 실시 형태의 주사부(42)는, 2매의 미러(도시 생략)를 갖고 있고, 각 미러의 회전축은 서로 직교한다. 따라서, 주사부(42)는, 각 미러의 회전량을 조정함으로써, 레이저광(40a)을 소망 방향으로 요동시킬 수 있다.
흡인부(50)는, 절연 기판(5) 상으로부터 방출된 막(6)의 구성 물질을 흡인한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡인부(50)는, 보지 유닛(10)에 보지된 절연 기판(5)의 상방, 그리고, 조사부(40)의 바로 위에 형성되어 있고, 흡인 노즐(51)을 갖고 있다.
흡인 노즐(51)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하 방향(Z축 방향)으로 연장되는 중공(中空)의 통형상체이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡인 노즐(51)은, 주로, 직진부(52)와, 확개부(擴開部; 53)와, 평탄부(54)를 갖고 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡인 노즐(51)은, 배관(55), 밸브(56), 분리부(57), 배관(58) 및, 펌프(59)를 통하여, 배기 드레인(19)과 연통 접속되어 있다.
직진부(52)는, 확개부(53)의 상측에 배치되어 있고, 상하 방향으로 똑바로 연장되는 원통체이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 직진부(52)의 내경(內徑)은, 상하 방향(Z축 방향)의 각 위치에 있어서 대략 동일해진다. 또한, 마찬가지로, 직진부(52)의 외경(外徑)도, 상하 방향의 각 위치에 있어서 대략 동일해진다.
확개부(53)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 직진부(52)의 하측에 형성되어 있고, 원뿔대 형상의 외형을 갖고 있다. 확개부(53)의 내경 및 외경은, 직진부(52)측으로부터 평탄부(54)측을 향함에 따라 증대된다.
평탄부(54)는, 확개부(53)의 하측에 형성된 링 형상의 평판이다. 평탄부(54)의 개구(54a)는, 막(6)의 구성 물질을 흡인하는 흡인구로서 이용된다. 이에 따라, 흡인 노즐(51)에서 고화(固化)된 막(6)의 고형물은, 확개부(53) 및 평탄부(54) 사이에 끼이는 포착 공간(50b)에서 포착된다. 그 때문에, 고화된 막(6)의 고형물이, 절연 기판(5)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡인 노즐(51)은, 배관(55), 밸브(56), 분리부(57), 배관(58) 및, 펌프(59)를 통하여, 배기 드레인(19)과 연통 접속되어 있다. 이에 따라, 밸브(56)가 개방되어, 펌프(59)가 동작되어짐으로써, 제거 범위(7)에 존재하는 막(6)의 구성 물질은, 제거 범위(7) 부근의 분위기와 함께 배기된다. 그 때문에, 절연 기판(5)의 상측 부근을 청정하게 유지할 수 있다.
여기에서, 분리부(57)는, 막(6)의 구성 물질을 포함하는 기체로부터, 이 구성 물질을 분리한다. 예를 들면, 흡인 노즐(51)로 흡인된 막(6)의 구성 물질은, 배관(55) 및 밸브(56)를 통하여, 분리부(57)의 밀폐 공간(57a) 내로 안내된다. 밀폐 공간(57a) 내로 안내된 막(6)의 구성 물질은, 고화되어 고형물(57b)로 되어 있으며, 밀폐 공간(57a) 내에 남는다. 그 때문에, 분리부(57)로부터는, 막(6)의 구성 물질을 포함하지 않는 청정한 공기가, 배기 드레인(19)을 향하여 배기된다.
부착부(60)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 가교 구조체(20)의 길이 방향(화살표(AR2) 방향)을 따라서 진퇴하는 이동 부재이다. 부착부(60)에는, 조사부(40) 및 흡인부(50)가 부착되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 부착부(60)는, 주로, 수평 구동부(60a)와, 지지 부재(61)와, 상부 및 하부 브래킷(62, 63)을 갖고 있다.
지지 부재(61)는, 상하 방향으로 연장되는 기둥 형상체이다. 상부 및 하부 브래킷(62, 63)은, 각각 지지 부재(61)의 상단(上端) 및 하단(下端) 부근에, 외팔보 형상으로 설치되어 있다. 그리고, 상부 및 하부 브래킷(62, 63)의 자유단(自由端)에는, 각각 흡인부(50) 및 조사부(40)가 고정되어 있다.
이에 따라, 부착부(60)에 고정된 조사부(40) 및 흡인부(50)는, 상면에서 볼 때 각형(角形)의 절연 기판(5)의 주연을 따라서, 화살표(AR2) 방향(도 1 및 도 2 참조)으로 이동할 수 있다. 즉, 조사부(40) 및 흡인부(50)는, 보지 유닛(10)에 대하여, 일체가 되어 이동된다. 그 때문에, 절연 기판(5) 상의 막(6)의 제거 및 흡인이 더욱 양호하게 실행된다.
여기에서, 도 3에 나타내는 바와 같이, 조사부(40) 및 흡인부(50)는, 중심축(40b, 50a)이 대략 일치하도록, 부착부(60)에 대하여 부착되어 있다. 이에 따라, 절연 기판(5) 상으로부터 제거된 막(6)의 구성 물질은, 더욱 신속하게 흡인부(50)에서 흡인된다. 그 때문에, 절연 기판(5) 상의 막(6)의 제거 및 흡인을 더욱 양호하게 실행할 수 있다.
수평 구동부(60a)는, 부착부(60)의 지지 부재(61)에 구동력을 부여한다. 이에 따라, 지지 부재(61)와, 상부 및 하부 브래킷(62, 63)은, 화살표(AR2) 방향(X축 플러스 또는 마이너스 방향: 제2 수평 방향)으로 진퇴할 수 있다.
이와 같이, 수평 구동부(60a), 그리고 보지 유닛(10)의 수평 구동부(11a) 및
회전 구동부(11b)는, 상호 위치 관계가 유지된 조사부(40) 및 흡인부(50)를, 보지 유닛(10)에 대하여 상대적으로 이동시킬 수 있다. 즉, 수평 구동부(11a), 회전 구동부(11b) 및, 수평 구동부(60a)는, 구동 유닛(70)으로서 사용할 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 주사부(42)는, 레이저광(40a)을 조사 방향을 변경함으로써, 레이저광(40a)을 막(6)으로 주사시킬 수 있다.
이에 따라, 주사부(42)에 의해 레이저광(40a)을 화살표(AR1) 방향으로 왕복 스캔시키면서, 구동 유닛(70)에 의해 절연 기판(5)의 주연을 따라서 조사부(40) 및 흡인부(50)를 이동시킬 수 있다.
그 때문에, 조사부(40)는, 절연 기판(5)의 주연 부근이 되는 제거 범위(7)(예를 들면, 주사폭(D1)이 5∼10㎜)로부터 막(6)이 제거되도록, 레이저광(40a)을 조사할 수 있고, 절연 기판(5)의 표면을 노출시킬 수 있다.
또한, 수평 구동부(11a), 회전 구동부(11b) 및, 수평 구동부(60a)에 의한 이동 실시 형태의 일 예로서는,
(1) 조사부(40) 및 흡인부(50)만이 이동한다,
(2) 보지 유닛(10)만이 이동한다,
(3) 조사부(40) 및 흡인부(50)와, 보지 유닛(10)의 양자가 이동한다,
를 들 수 있다.
또한, 흡인 노즐(51)의 개구폭(D2)은, 제거 범위(7)보다 커지도록 설정되어 있다. 그 때문에, 흡인부(50)는, 막(6)의 구성 물질을 더욱 양호하게 흡인할 수 있다.
<3. 본 실시 형태의 제거 장치의 이점>
이상과 같이, 본 실시 형태의 제거 장치(1)에 있어서, 조사부(40)는, 레이저광(40a)을 조사하면서, 보지 유닛(10)에 대하여 상대적으로 이동된다. 또한, 흡인부(50)는, 조사부(40)와의 위치 관계가 보지된 상태에서 조사부(40)와 함께, 보지 유닛(10)에 대하여 상대적으로 이동된다.
이에 따라, 조사부(40)로부터 조사된 레이저광(40a)은, 절연 기판(5)의 하측으로부터 절연 기판(5)에 입사되고, 절연 기판(5) 상에 형성된 막(6)에 도달한다. 그리고, 이 레이저광(40a)에 의해 절연 기판(5) 상으로부터 제거된 막의 구성 물질은, 제거 후, 신속하게, 조사부(40)의 바로 위에 형성된 흡인부(50)에 의해 흡인된다.
이와 같이, 조사부(40)의 바로 위에 흡인부(50)를 형성하면서, 조사부(40) 및 흡인부(50)를 일체적으로 이동시킴으로써, 절연 기판(5)으로부터 제거된 막(6)의 구성 물질을 양호하게 흡인할 수 있다. 즉, 보지 유닛(10)의 부근에 대형의 흡인 기구를 설치할 필요가 없다. 그 때문에, 제거 장치(1)의 장치 사이즈 및 제거 장치(1)의 제조 비용을 저감할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 제거 장치(1)는, 절연 기판(5)을 반전시키는 일 없이, 절연 기판(5) 상의 막(6)을 제거할 수 있다. 즉, 본 실시 형태의 제거 장치(1)는, 반전 상태의 절연 기판(5)을 보지할 경우에 문제가 되는 절연 기판(5)의 휨의 영향을 억제할 수 있다. 그 때문에, 레이저광(40a)을 막(6)으로 양호하게 집광시킬 수 있어, 막(6)의 제거를 양호하게 실행할 수 있다.
<4. 변형예>
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것이 아니며 여러 가지 변형이 가능하다.
본 실시 형태에 있어서, 보지 유닛(10)의 보지면(10a)의 사이즈는, 절연 기판(5)의 주면 사이즈보다 작은 것으로 하여 설명했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 보지 유닛(10)의 재질이 레이저광(40a)에 대하여 투명하면, 보지 유닛(10)의 보지면(10a)의 사이즈는, 절연 기판(5)의 주면 사이즈 이상이라도 좋다. 이 경우, 레이저광(40a)은, 보지 유닛(10)의 하측으로부터 보지 유닛(10)에 입사되고, 절연 기판(5)을 통하여 막(6)에 도달한다.
1 : 제거 장치
5 : 절연 기판
6 : 막
7 : 제거 범위
8 : 보지 범위
10 : 보지 유닛
10a : 보지면
11a, 60a : 수평 구동부
11b : 회전 구동부
11c : 회전축
20 : 가교 구조체
30 : 제거 흡인 유닛
40 : 조사부
40a : 레이저광
40b, 50a : 중심축
50 : 흡인부
51 : 흡인 노즐
60 : 부착부
70 : 구동 유닛
80 : 정화 노즐
D1 : 주사폭
D2 : 개구폭
P1 : 퇴피 위치

Claims (4)

  1. 투광성을 갖는 절연 기판 상으로부터 막을 제거하는 제거 장치에 있어서,
    상기 막이 상측이 되도록, 상기 절연 기판을 보지(holding)하는 보지 유닛과,
    상기 절연 기판 상으로부터 상기 막을 제거 및 흡인하는 제거 흡인 유닛과,
    상기 보지 유닛에 대하여 상기 제거 흡인 유닛을 상대적으로 이동시키는 구동 유닛을 구비하고,
    상기 제거 흡인 유닛은,
    상기 보지 유닛에 보지된 상기 절연 기판의 하방에 형성되어 있고, 상기 절연 기판 상에 형성된 상기 막에 레이저광을 조사하는 조사부와,
    상기 보지 유닛에 보지된 상기 절연 기판의 상방, 그리고, 상기 조사부의 바로 위에 형성되어 있고, 상기 레이저광의 조사에 의해 제거된 상기 막의 구성 물질을 흡인하는 흡인부를 갖고,
    상기 구동 유닛은, 상호 위치 관계가 유지된 상기 조사부 및 상기 흡인부를, 상기 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제거 흡인 유닛은,
    상기 조사부 및 상기 흡인부가 부착된 부착부를 추가로 갖고 있고,
    상기 구동 유닛은, 상기 부착부에 구동력을 부여함으로써, 상기 조사부 및 상기 흡인부를 상기 보지 유닛에 대하여 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 조사부의 중심축과, 상기 흡인부의 중심축이 대략 일치하는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
  4. 재1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제거 흡인 유닛의 퇴피 위치에 설치되어 있고, 상기 조사부에 청정 가스를 공급하는 정화 노즐을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 제거 장치.
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