JP3495583B2 - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JP3495583B2
JP3495583B2 JP34260497A JP34260497A JP3495583B2 JP 3495583 B2 JP3495583 B2 JP 3495583B2 JP 34260497 A JP34260497 A JP 34260497A JP 34260497 A JP34260497 A JP 34260497A JP 3495583 B2 JP3495583 B2 JP 3495583B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真式光プリ
ンタ、デジタル複写機、ファクシミリ等の光書込みユニ
ットやスキャナ等の光読取りユニットに用いられるLE
Dアレイ、ELアレイ等の微小光源アレイを光源とする
光学装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年におけるオフィスユースやパーソナ
ルユースの情報機器の発展により、電子写真式光プリン
タやスキャナ等では、より高解像度でコンパクトかつ安
価な装置の需要が高まっている。このような要求を満た
す機器の例としては、例えば、多数のLEDを配列させ
たLEDアレイを用いた電子写真式光プリンタ(LED
プリンタ)がある。この方式のプリンタは、LEDアレ
イを書込み光源とする固体走査型であるため半導体レー
ザを用いたラスタスキニング方式の書込み光学系による
場合に比して機器を小型化しやすく、かつ、LEDアレ
イの各LEDが並列的に書込みを行なうために高速出力
化も比較的容易に図れる等の利点を有する。
【0003】ここに、LEDアレイを光源に用いる場
合、各LEDの放射光を受光面(感光面)に対して高分
解能かつ高効率で伝達させる必要がある。また、機器を
よりコンパクト化させるためには、光源(LEDアレ
イ)と感光面との間の距離を減少させることが必要で、
このためには、共役長の短い結像光学系が必要となる。
このような結像光学系としては、複数のロッドレンズを
束ねたロッドレンズアレイが知られており、現実に各種
LEDプリンタに搭載されている。
【0004】図8は、ロッドレンズアレイを用いた光学
装置の一例として、特開平7−108709号公報中に
開示された構造例を示す。この構造によれば、LEDア
レイ101中の複数のLED102から出射された光が
ロッドレンズアレイ103中の対応する1つのロッドレ
ンズ104の集光作用により感光面105に投影され、
これによって、感光面105に微小な点像が結像され
る。即ち、ロッドレンズアレイ103が結像光学系10
6を構成している。
【0005】また、同じLEDアレイを用いた書込みユ
ニットなる光学装置として、密着型構造のものが提案さ
れている。図9は、密着型構造の光学装置の一例とし
て、特開平8−1998号公報中に開示された構造例を
示す。この構造によれば、LEDアレイチップ(LED
アレイ)111中のLED112から出射された光は、
LEDアレイチップ111上に配設させた導光路113
を経て外部に取り出され、保護層を兼ねる遮光性材料の
基板114に密着させた感光面(図示せず)に照射され
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図8に示したようなロ
ッドレンズアレイ方式の場合、ロッドレンズ104は開
口角が大きく明るい光学系を構成しているため、LED
102からの光を比較的効率よく感光面105に伝達さ
せることができる。しかし、LEDアレイ101におけ
るLED102の放射角は元々広いために、LED10
2からロッドレンズ104へ至る間にLED102から
放射された放射光の大半がロッドレンズ104へは入射
せず、放射光の利用効率が悪いものである。従って、感
光面105で所定の光量を必要とする場合、LED10
2の駆動電流を上げる必要があり、その分、LED10
2が発熱し易くなってしまう問題も生ずる。
【0007】図9に示したような密着型構造の場合、L
ED112の光をパイプ状の導光路113で限定するの
で、外部に取り出される光量が少なくなりがちな暗い光
学系構成である上に、LEDアレイチップ111中の微
細なチャンネル間に光学的な遮光を施しているので、製
造も極めて難しい、という致命的な欠点がある。
【0008】そこで、本発明は、結像光学系と組合せら
れる発光素子アレイに関して、結像光学系に対する光結
合効率を向上させ得る構成下に、不要な光について簡単
な構成で対処し得る光学装置を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
複数の発光素子を備えた発光素子アレイ上に積層されて
平面上の透明基板表面に個々の発光素子の放射角を狭化
させるレンズアレイが集積化形成された光学系を有する
光学装置であって、内部に前記レンズアレイの各レンズ
間を遮光する構造を有しない前記透明基板の非有効表面
及び側面で背景光を遮光するようにし、前記透明基板の
側面が、順メサ形状であるようにした。
【0010】一般に、LEDアレイに代表されるこの種
の発光素子アレイでは、面発光型であり、発光素子の放
射方向に対して幅広い放射角を持つため、その放射光を
結像光学系を介して感光体面等に結像させる場合には、
発光素子と結像光学系との光結合効率が悪いという問題
がある。この点、基本的には、発光素子からの放射光の
放射角を狭化させる光学系として、レンズアレイが集積
化形成された透明基板を発光素子アレイ上に設けること
により、発光素子と結像光学系との光結合効率が向上
し、無駄なく光を利用できることになる。この際、この
ように放射角を狭化させる光学系に関しては、各発光素
子の光を対応する光学系、具体的にはレンズアレイの各
レンズに結合させると同時に、隣接する発光素子の光を
遮光することが望ましい。しかし、発光素子の配列ピッ
チが狭くなった場合、微細なチャンネル間の遮光構造を
光の放射方向、即ち、発光素子アレイの基板に垂直な方
向に沿って形成することは難しくコストがかかる。例え
ば、1200dpiのLEDアレイプリンタヘッドの場
合であれば、各LED間のピッチが21μmであり、放
射角を狭化させるレンズの厚さは概ね30μm程度とな
るため、完璧なチャンネル間遮光を行うためには、例え
ば、直径21μmで高さ30μmの円筒状の遮光構造体
を設けることになる。しかし、実際の放射角を狭化する
レンズアレイなる光学系の仕様を検討すると、隣接する
発光素子から放射角を狭化するレンズに入射する光は、
感光体面等に像を形成するための結像光学系の視野角外
の放射方向を持つ場合が多く、チャンネル間自体の遮光
は不要な場合が多い。この場合、問題となるのは、チャ
ンネル間を遮光しないことにより、不要な発光素子の光
が背景光となり、感光体面等の結像面上の像のコントラ
ストの低下をもたらす点である。ここに、背景光となる
光は、レンズアレイにおけるレンズの有効部分以外の非
有効表面部分、即ち、各レンズの周辺から放射される光
が主であり、この他、レンズアレイを構成する透明基板
を導波してその基板側面から放射される導波光がある。
この点、内部にレンズアレイの各レンズ間を遮光する構
造を有しない透明基板の少なくとも非有効表面でレンズ
アレイなる光学系の有効部分以外から放射される背景光
を遮光することで、基板内に遮光構造を有しない簡単な
構成下に、光学的な性能を低下させることなく、望まし
くない背景光を抑制できる。この場合、発光素子として
LEDを用いたLEDアレイが発光素子アレイの典型例
となるが、この他、例えば、発光素子としてEL(端面
発光素子)を用いたELアレイによる発光素子アレイの
場合も該当する。
【0011】 背景光を遮光する具体的な構成例として
は、例えば、透明基板を平面状とし、この透明基板のレ
ンズアレイの個々のレンズの有効部分以外の非有効表面
のみを吸収膜で被覆すれば、簡単な構成で背景光の透明
基板非有効表面からの漏れを抑制できる。また、透明基
板を平面状とし、この透明基板のレンズアレイの個々の
レンズの有効部分以外の非有効表面のみを散乱面としこ
の散乱面を反射膜又は吸収膜で被覆すれば、背景光をレ
ンズの有効部分以外の非有効表面の散乱面で散乱させた
上に背景光の透明基板非有効表面からの漏れを抑制でき
る。また、請求項記載の発明のように、透明基板を平
面状とし、この透明基板のレンズアレイの個々のレンズ
の有効部分以外の非有効表面のみを反射膜で被覆し、発
光素子アレイ表面の個々の発光素子周辺を吸収膜で被覆
すれば、反射された背景光を発光素子周辺の吸収膜で吸
収でき、背景光の透明基板非有効表面からの漏れを抑制
できる。さらには、請求項記載の発明のように、透明
基板を平面状としてその側面が結像光学系の視野半角を
θとした場合に垂直からの傾き角がθ以上の逆メサ形状
であり、透明基板のレンズアレイの個々のレンズの有効
部分以外の非有効表面のみを反射膜で被覆すれば、側面
から放射される背景光の放射方向が結像光学系の視野に
入らないため、実効的に背景光の影響を除去することが
できる。
【0012】請求項2記載の発明は、請求項1記載の光
学装置であって、透明基板の非有効表面及び側面で背景
光を遮光するようにした。従って、透明基板の非有効表
面だけでなく、側面でも背景光を遮光することにより基
板内に遮光構造を有しない簡単な構成下に、光学的な性
能を低下させることなく、望ましくない背景光を抑制で
きる。
【0013】 背景光を遮光する具体的な構成例として
は、例えば、透明基板を平面状とし、この透明基板のレ
ンズアレイの個々のレンズの有効部分以外の非有効表面
及び透明基板の側面とを反射膜又は吸収膜で被覆すれ
ば、簡単な構成で背景光の透明基板非有効表面及び側面
からの漏れを抑制できる。この際、平面状の透明基板の
側面を、順メサ形状とすれば、非有効表面側と同時に遮
光処理を施すことができ、製造工程を簡略化し得る。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図1
に基づいて説明する。本実施の形態は、請求項1又は2
記載の発明に基づく基本的な構成例を示すもので、例え
ば、ロッドレンズアレイ等による等倍結像光学系(特に
図示しないが、図8の結像光学系106が相当する)を
使用する光書込用の光学装置を想定したもので、図1に
示すように、LEDアレイヘッド1から出射された光を
等倍結像光学系により受光面となる感光面に結像させる
構成を基本とする。
【0015】本実施の形態のLEDアレイヘッド1は、
図1に示すように、LEDアレイ基板2上に発光素子と
しての複数のLED3が1列に配列されたLEDアレイ
(発光素子アレイ)4をベースとして形成されたもの
で、このLEDアレイ4上には狭化光学系を構成するレ
ンズアレイ5が透明基板6の表面に集積化形成されてい
る。ここに、レンズアレイ5の各レンズ7は各LED3
に対応させてチャンネル毎に形成されており、LED3
から概ね垂直方向に放射される光P1 の放射角を狭化さ
せる凸レンズ形状に形成されている。
【0016】このような狭化光学系(レンズアレイ5)
を含む光学装置であって、LED3から放射されてレン
ズ7の有効部分以外の箇所8を透過する光P2 は放射角
の狭化に寄与しないので、望ましくない背景光となる。
そこで、本実施の形態では、透明基板6の内部に各レン
ズ7間を遮光する遮光構造を設けることなく、この透明
基板6の有効部分以外の箇所8なる非有効表面6aで背
景光P2 を遮光する構造を含むことを基本とする。ま
た、LED3から放射されてレンズアレイ5に沿って透
明基板6の側面6bから直接外部に放射されて背景光P
3 となる光や、レンズアレイ5に沿って途中で反射を繰
返しながら側面6bから間接的に外部に放射されて背景
光P4 となる光が存在する。そこで、本実施の形態で
は、非有効表面6aだけでなく、側面6bにも背景光P
3 ,P4 を遮光する構造を含むものである。この場合の
非有効表面6a又は側面6bの遮光構造は、後述する反
射膜或は吸収膜に代表される周知技術を用いて形成され
る。
【0017】このような構成によれば、LEDアレイ4
におけるLED3毎にレンズ7を有するレンズアレイ5
なる狭化光学系を設けた光学装置であって、各レンズ7
間の内部遮光構造を無くして簡略化しながら、光学系の
有効部分以外の箇所(非有効表面6a及び側面6b)を
遮光しているので、光学的な性能を低下させることな
く、背景光P2 ,P3 ,P4 の影響を除去することがで
きる。
【0018】本発明の第二の実施の形態を図2に基づい
て説明する。図1で示した部分と同一部分は同一符号を
用いて示し、説明も省略する(以降の各実施の形態でも
同様とする)。本実施の形態を含む以降の各実施の形態
は、前述した背景光P2 又はP3 ,P4 の遮光構造の具
体例を順に例示するものである。
【0019】まず、放射角を狭化させるレンズアレイ5
付きの透明基板6に関しては平面状であると製造しやす
いので、本実施の形態では、透明平板とされている。こ
のような透明基板(内部に遮光構造を有しない)6につ
いて、各レンズ7部分なる有効部分以外の平坦な非有効
表面6a部分と側面6b部分とが図2(c)に示すよう
に反射膜9で被膜されている。このように透明基板6の
レンズ7部分以外の箇所を反射膜9で被膜することによ
り、レンズ7を通して外部に取り出される光P1 以外の
背景光P2 ,P3 ,P4 となり得る光を透明基板6内に
閉じ込めることができる。反射膜9で反射された背景光
2 ,P3 ,P4 はLEDアレイ基板2で吸収されるの
で、何度も反射を繰返す内にその強度が弱められる。反
射膜9に代えて、吸収膜を用いてその吸収膜で吸収され
るので、同様に、背景光P2 ,P3 ,P4 の外部への漏
れを抑制できる。
【0020】ここで、このような反射膜9の製造方法を
含む具体例について図2により説明する。まず、図2
(a)に示すように、石英基板による透明基板6に、フ
ォトリソグラフィ及びドライエッチング法により、マイ
クロレンズアレイ構造のレンズアレイ5を集積化形成す
る。具体的には、底面(非有効表面6a)からレンズ頂
点までのレンズ厚さは29μm、レンズ7の曲率半径は
11μm、レンズ7の直径は20μm、レンズピッチは
21μm(1200dpi相当である)。続いて、図2
(b)に示すように、透明基板6のレンズ側全表面及び
側面6bに各々厚さ300nmのCr膜を遮光のために
蒸着し、レンズ7による有効部分のCrのみをエッチン
グ除去することにより、非有効表面6a及び側面6bに
反射膜9を形成する。このようにレンズアレイ5及び反
射膜9が形成された平板状の透明基板6を、図2(c)
に示すように、21μmピッチでLED3がアレイ状に
配列されたLEDアレイ基板2上に透明接着剤で貼り合
わせることにより完成する。
【0021】本発明の第三の実施の形態を図3に基づい
て説明する。本実施の形態は、基本的には、第二の実施
の形態と同様であるが、透明基板6の側面6bが順メサ
形状(台形状)とされている。具体的には、この側面6
bのメサ角は垂直面に対して20°とされている。
【0022】このように、順メサ形状の透明基板6を用
いて、Cr膜の蒸着工程を行うと、レンズ側全表面と同
時に側面6bに対しても成膜することができ、工程数を
減らすことができ、工業的に望ましいものとなる。成膜
工程終了後は、フォトリソグラフィ及びドライエッチン
グ法により、レンズ7による有効部分のCrのみを除去
することにより、非有効表面6a及び側面6bに反射膜
9を形成する。このようにレンズアレイ5及び反射膜9
が形成された順メサ型平板状の透明基板6を、図3
(b)に示すように、21μmピッチでLED3がアレ
イ状に配列されたLEDアレイ基板2上に透明接着剤で
貼り合わせることにより完成する。
【0023】即ち、反射膜9或は吸収膜なる遮光膜は、
電子ビーム蒸着法やスパッタリング法などの簡便な手法
により形成するのが望ましいが、本実施の形態のよう
に、透明基板6として順メサ形状のものを用いれば、レ
ンズ側全非有効表面と側面6bとを同時に成膜でき、製
造工程を簡略化し得ることになる。
【0024】本発明の第四の実施の形態を図4に基づい
て説明する。本実施の形態では、平板状の透明基板6に
関して、レンズ7部分以外の非有効表面6aのみがクロ
ムと酸化クロムとの多層膜構造による吸収膜10により
被膜されている。即ち、側面6b部分に関しては何も処
理していない。
【0025】このような構成によれば、LED3からの
放射光のうち、背景光P2 のような光は非有効表面6a
に形成された吸収膜10により吸収される。よって、仮
に間接的な背景光P4 のように吸収膜10で反射が生じ
てもさらにLEDアレイ基板2による吸収を受けるた
め、背景光として側面6bから放射されにくいものとな
る。よって、側面6bに遮光構造を有しないため、直接
的な背景光P3 のような光は除去できないが、側面6b
に吸収膜10のような遮光構造を設ける必要がないた
め、製造工程を簡略化することができ、工業的に有利と
なる。
【0026】本発明の第五の実施の形態を図5に基づい
て説明する。本実施の形態では、平板状の透明基板6に
関して、レンズ7部分以外の非有効表面6aに例えば1
μm周期のグレーティングパターンによる散乱面11が
形成され、この散乱面11上にCrによる反射膜9(又
は、多層膜構造の吸収膜10)が形成されている。
【0027】このような構成によれば、背景光P4 とな
り得る光が反射膜9で反射される際に散乱面11によっ
て散乱されるため、その照度が平均化される。よって、
仮に側面6bから放射される背景光P4 があっても、散
乱面11を用いない場合に比べて減少させ得る。
【0028】即ち、非有効表面6aが反射膜9又は吸収
膜10で覆われた散乱面11の場合、この散乱面11で
光が散乱されることにより放射方向が分散され、背景光
の照度が平均化される。特に、吸収膜10で覆われてい
る場合には、この吸収膜10部分での吸収も生じるの
で、さらに照度減少が期待できる。このように照度が平
均化されると、結局、背景光の減少効果が得られるの
で、背景光を抑制し得る。特に、側面6bまで遮光する
ことが望ましいが、上記の照度減少の効果が十分であれ
ば、遮光しなくても実使用上は支障ない。
【0029】本発明の第六の実施の形態を図6に基づい
て説明する。本実施の形態では、平板状の透明基板6に
関して、レンズ7部分以外の非有効表面6aのみをクロ
ムにより反射膜9として覆うとともに、LEDアレイ基
板2側に関しても個々のLED3周辺をクロムと酸化ク
ロムとの多層構造による吸収膜12で被覆し、このよう
なLEDアレイ基板2上に透明基板6を貼り合わせてな
る。
【0030】このような構成によれば、背景光P4 とな
り得る光はLEDアレイ基板2側に反射された場合に吸
収膜12で吸収されるので、透明基板6の側面6bを遮
光せずとも、その背景光P4 を抑制し得ることになる。
よって、側面6bに遮光構造を有しないため、直接的な
背景光P3 のような光は除去できないが、側面6bに遮
光構造を設ける必要がないため、製造工程を簡略化する
ことができ、工業的に有利となる。
【0031】本発明の第七の実施の形態を図7に基づい
て説明する。本実施の形態では、図4に示した第四の実
施の形態の構成を基本とし、その透明基板6の側面6b
を逆メサ形状に形成してなる。13は例えば視野角20
°の等倍結像光学系である。透明基板6の側面6bの逆
メサ形状に関する垂直からの傾き角αはθ以上、本実施
の形態では、α=θ=20°とされている。
【0032】このような構成によれば、非有効表面6a
の反射膜9で反射された光の一部は側面6bから放射さ
れるが、等倍結像光学系13に入射する角度βは必ず垂
直から20°以上ずれる。即ち、背景光P3 ,P4 のよ
うな光が生じても、等倍結像光学系13に対してはその
視野角θ以上で入射するので、実質的に等倍結像光学系
13中には入り込まず背景光の影響を抑制できる。よっ
て、側面6bに遮光構造を設けることなく、逆メサ形状
に形成するだけで、背景光を抑制することができる。
【0033】
【0034】
【0035】
【0036】
【発明の効果】 請求項記載の発明によれば、透明基板
の側面が順メサ形状であるので、非有効表面と側面とに
対して同時に成膜処理することができ、製造プロセスを
簡略化できる。
【0037】
【0038】
【0039】 請求項記載の発明によれば、透明基板
の非有効表面のみに反射膜を形成する一方、発光素子ア
レイ表面側には個々の発光素子周辺を吸収膜で覆ったの
で、透明基板内で反射される背景光成分を発光素子周辺
の吸収膜で吸収することで減衰させることができ、側面
側が遮光処理されていないにもかかわらず側面からの背
景光の放射を抑制することができる。
【0040】 請求項記載の発明によれば、透明基板
の非有効表面のみを反射膜で覆う構造に関して、透明基
板の側面を所定の角度以上の逆メサ形状としているの
で、側面側が遮光処理されていないにもかかわらず、側
面から放射される背景光が結像光学系の視野中には入り
込まず、実質的に背景光の影響を抑制することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施の形態を示す断面構造図で
ある。
【図2】本発明の第二の実施の形態を工程順に示す断面
構造図である。
【図3】本発明の第三の実施の形態を工程順に示す断面
構造図である。
【図4】本発明の第四の実施の形態を示す断面構造図で
ある。
【図5】本発明の第五の実施の形態を示す断面構造図で
ある。
【図6】本発明の第六の実施の形態を示す断面構造図で
ある。
【図7】本発明の第七の実施の形態を示す断面構造図で
ある。
【図8】ロッドレンズアレイ方式の従来例を示す断面構
造図である。
【図9】密着型の光学装置の従来例を示す透視斜視図で
ある。
【符号の説明】
3 発光素子 4 発光素子アレイ 5 レンズアレイ 6 透明基板 6a 非有効表面 6b 側面 7 レンズ 9 反射膜 10 吸収膜 11 散乱面 12 吸収膜 13 結像光学系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−198877(JP,A) 特開 平9−191130(JP,A) 特開 平8−79447(JP,A) 特開 平10−244702(JP,A) 実開 平4−85755(JP,U) 実開 平4−89909(JP,U) 実開 平5−25604(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/44 B41J 2/45 B41J 2/455 H01L 33/00 H04N 1/036

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の発光素子を備えた発光素子アレイ
    上に積層されて平面上の透明基板表面に個々の発光素子
    の放射角を狭化させるレンズアレイが集積化形成された
    光学系を有する光学装置であって、 内部に前記レンズアレイの各レンズ間を遮光する構造を
    有しない前記透明基板の非有効表面及び側面で背景光を
    遮光するようにし、前記透明基板の側面が、順メサ形状
    であることを特徴とする光学装置。
  2. 【請求項2】 複数の発光素子を備えた発光素子アレイ
    上に積層されて透明基板表面に個々の発光素子の放射角
    を狭化させるレンズアレイが集積化形成された光学系を
    有する光学装置であって、 内部に前記レンズアレイの各レンズ間を遮光する構造を
    有しない前記透明基板の少なくとも非有効表面で背景光
    を遮光するようにし、 前記 透明基板が平面状であり、この透明基板のレンズア
    レイの個々のレンズの有効部分以外の非有効表面のみを
    反射膜で被覆し、発光素子アレイ表面の個々の発光素子
    周辺を吸収膜で被覆したことを特徴とする光学装置。
  3. 【請求項3】 複数の発光素子を備えた発光素子アレイ
    上に積層されて透明基板表面に個々の発光素子の放射角
    を狭化させるレンズアレイが集積化形成された光学系を
    有する光学装置であって、 内部に前記レンズアレイの各レンズ間を遮光する構造を
    有しない前記透明基板の少なくとも非有効表面で背景光
    を遮光するようにし、 前記 透明基板が平面状であってその側面が結像光学系の
    視野半角をθとした場合に垂直からの傾き角がθ以上の
    逆メサ形状であり、前記透明基板のレンズアレイの個々
    のレンズの有効部分以外の非有効表面のみを反射膜で被
    覆したことを特徴とする光学装置。
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