JP3492299B2 - 真空容器および表示装置 - Google Patents

真空容器および表示装置

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JP3492299B2 JP2000228830A JP2000228830A JP3492299B2 JP 3492299 B2 JP3492299 B2 JP 3492299B2 JP 2000228830 A JP2000228830 A JP 2000228830A JP 2000228830 A JP2000228830 A JP 2000228830A JP 3492299 B2 JP3492299 B2 JP 3492299B2
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    • H01J2201/00Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30Cold cathodes
    • H01J2201/304Field emission cathodes
    • HELECTRICITY
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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空外囲器のよう
な真空容器内にゲッタ材を飛散させることで真空を維持
する真空容器や表示装置に関するものである。表示装置
として、フィールドエミッションディスプレイ及びこれ
に準ずる構造の電子放出素子を有する真空画像表示装置
(以下FEDという)や蛍光表示管(VFD)、FEセ
ンサー等が使用される。
【0002】
【従来の技術】従来、平面ディスプレイとして液晶ディ
スプレイが広く利用されているが、最近、液晶ディスプ
レイに代わる平面ディスプレイとしてFEDが注目され
ている。
【0003】図11は、電子放出素子を用いた従来のF
EDの一例を示す断面図である。このFEDの真空外囲
器18は、配線層12と電子放出素子13と絶縁層14
と引き出し電極15とが形成された電子放出基板25
と、対面する陽極16と蛍光体層17とが形成された発
光基板26とをスペーサ3を介して封着した構造となっ
ている。さらに真空外囲器18の電子放出基板25の裏
面に箱形のゲッタ室20を設けて真空外囲器18内と排
気孔23で導通させ、このゲッタ室20内にはバネ21
で支持されたゲッタ4が圧接・保持された構造となって
いる。
【0004】図12に示されているように、ゲッタ4
は、ニッケルメッキされた環状の金属製枠材5の内部
に、ゲッタリング作用のあるゲッタ材6が充填されたも
のである。ゲッタ材6は、例えばBaAl4等の粉末状
の合金である。そして、真空外囲器18及びゲッタ室2
0内の大気は、ゲッタ室20に設けられた排気孔24及
び排気管22を介して排気され、その後排気管22を封
止することによって、真空外囲器18内およびゲッタ室
20は真空雰囲気に保持される。そして、前記ゲッタ4
は図示しない高周波誘導等で加熱蒸発され、ゲッタ材6
はゲッタ室20の内面に蒸着してゲッタ膜19を形成
し、さらに真空外囲器18内部およびゲッタ室20内を
高真空雰囲気に保持し、電子放出素子13からの電子放
出を安定化させていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た表示装置では、電子線を効率よく且つ低電流で安定的
に放出させるためには真空外囲器内を高真空状態に保持
する必要がある。このため、ゲッタのガス吸着効果を利
用し真空外囲器内部を高真空状態に維持させていた。と
ころが、従来は先述したように支持体であるバネを介し
て真空外囲器内部にゲッタを支持させていたため、高周
波加熱によるゲッタ材の蒸発時に、ゲッタ材の飛散制御
ができず真空外囲器内で余分な導通が起こるという問題
があった。その対策としてゲッタ室を真空外囲器下部に
形成していたが、そのため完全なフラットパネル化がで
きなかった。ここで、余分な導通とは、導電性を有する
ゲッタ材が表示エリア等に付着することにより、本来電
気的に接続されるすべきでない電極間がゲッタ材により
接続されるために電気が流れることである。
【0006】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、ゲッタを真空外囲器内部において支持
する場合に、部品点数を削減し、製造工程の簡略化を図
り、さらに真空度の劣化を防ぎ、しかもゲッタフラッシ
ュの飛散方向を制限することができる真空外囲器のよう
な真空容器および表示装置を提供することを課題とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項1記載の真空容器は、内部の真空度
を保持するために、ゲッタ材を有するゲッタを備え、前
記ゲッタ材の飛散方向に、制御板と支持脚と保持板から
なるゲッタ支持具を設けて前記ゲッタ材の飛散方向を制
限する真空容器において、前記制御板は、直円錐形と円
筒形を組み合わせた凹部を有し、前記直円錐形の頂点と
底面の中心とを含む前記制御板の断面において、前記円
筒形の底面に相当する部分の長さをaとし、前記円筒形
の側面に相当する部分の長さをbとするとき、前記制御
板の頂角がa、bのなす角の逆正接tan -1 (b/a)
の2倍以下であり、且、前記円筒形の底面に相当する部
分が底辺であり前記底辺の両端の角が逆正接tan
-1 (b/a)である二等辺三角形内にあるように、前記
ゲッタの飛散面は、前記保持板によって支持されること
を特徴とするものである。
【0008】 本発明の請求項1記載の真空容器は、ゲ
ッタ材の飛散方向を制御することができるため、真空容
器内部にゲッタを設置することができ、さらに、従来必
要であったゲッタ室を削減でき、フラットな真空容器が
得られるという作用を有する。また、ゲッタのゲッタ材
の蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二次までの飛散粒子
はゲッタ支持具で制御することができ、三次の飛散粒子
がある場合でも真空容器内壁に蒸着できるという作用を
有する。
【0009】次に、本発明の請求項2記載の真空容器
は、本発明の請求項1記載の真空容器において、前記制
御板は凹部を有し、前記保持板は前記ゲッタの飛散面を
前記制御板の凹部の開口部内で支持し、前記支持脚は前
記制御板を真空容器内に固定することを特徴とするもの
である。
【0010】本発明の請求項2記載の真空容器は、ゲッ
タのゲッタ材の蒸発時、ゲッタ材の少なくとも一次の飛
散粒子はゲッタ支持具で制御することができ、二次の飛
散粒子も真空容器内壁に蒸着できるという作用を有す
る。
【0011】次に、本発明の請求項3記載の真空容器
は、本発明の請求項2記載の真空容器において、飛散す
る前記ゲッタ材が前記制御板において反射した後に、前
記制御板外に飛散する場合、前記制御板は、飛散する前
記ゲッタ材が少なくとも2度前記制御板で反射するよう
な構造を有することを特徴とするものである。
【0012】本発明の請求項3記載の真空容器は、ゲッ
タのゲッタ材の蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二次の
飛散粒子までゲッタ支持具で制御することができ、三次
の飛散粒子がある場合でも真空容器内壁に蒸着できると
いう作用を有する。
【0013】
【0014】
【0015】
【0016】
【0017】 次に、本発明の請求項記載の真空容器
は、本発明の請求項2記載の真空容器において、前記ゲ
ッタ支持具が、少なくとも金属部材で構成されているこ
とを特徴とするものである。
【0018】 本発明の請求項記載の真空容器は、ゲ
ッタフラッシュ時の高周波加熱にも耐えるという作用を
有する。
【0019】 次に、本発明の請求項記載の真空容器
は、本発明の請求項1記載の真空容器において、前記ゲ
ッタ支持具が複数個設けられていることを特徴とするも
のである。
【0020】 本発明の請求項記載の真空容器は、真
空容器内を高真空に維持することができ、真空容器の大
型化にも対応できるという作用を有する。
【0021】 次に、本発明の請求項記載の真空容器
は、本発明の請求項1記載の真空容器において、前記支
持脚は、1つで複数の前記制御板を支持することを特徴
とするものである。
【0022】 本発明の請求項記載の真空容器は、真
空容器内の部品の数を減らすことができるという作用を
有する。
【0023】 次に、本発明の請求項記載の表示装置
は、内部の真空度を保持するために、ゲッタ材を有する
ゲッタを備え、前記ゲッタ材の飛散方向に、制御板と支
持脚と保持板からなるゲッタ支持具を設けて前記ゲッタ
材の飛散方向を制限する表示装置において、前記制御板
は、直円錐形と円筒形を組み合わせた凹部を有し、前記
直円錐形の頂点と底面の中心とを含む前記制御板の断面
において、前記円筒形の底面に相当する部分の長さをa
とし、前記円筒形の側面に相当する部分の長さをbとす
るとき、前記制御板の頂角がa、bのなす角の逆正接t
an-1(b/a)の2倍以下であり、且、前記円筒形の
底面に相当する部分が底辺であり前記底辺の両端の角が
逆正接tan-1(b/a)である二等辺三角形内にある
ように、前記ゲッタの飛散面は、前記保持板によって支
持されることを特徴とするものである。
【0024】 本発明の請求項記載の表示装置は、ゲ
ッタ材の飛散方向を制御することができるため、表示装
置内部にゲッタを設置することができ、さらに従来必要
であったゲッタ室を削減でき、フラットな表示装置が得
られるという作用を有する。また、ゲッタのゲッタ材の
蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二次の飛散粒子までゲ
ッタ支持具で制御することができ、さらに三次の飛散粒
子がある場合でも真空容器内壁に蒸着できるという作用
を有する。
【0025】 次に、本発明の請求項記載の表示装置
は、本発明の請求項記載の表示装置において、少なく
とも配線層と電子放出素子と絶縁層と引き出し電極とが
形成された第1のガラス基板からなる電子放出基板と、
少なくとも陽極と蛍光体層とが形成された第2のガラス
基板からなる発光基板と、前記電子放出基板と前記発光
基板とが対向して所定の間隔を保持するように、前記電
子放出基板と前記発光基板との間に配設されたスペーサ
とを備えることを特徴とするものである。
【0026】 本発明の請求項記載の表示装置は、ゲ
ッタ材の飛散方向を制御することができるため、表示装
置内部にゲッタを設置することができ、さらに従来必要
であったゲッタ室を削減でき、フラットな表示装置が得
られるという作用を有する。
【0027】 次に、本発明の請求項記載の表示装置
は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記制
御板は凹部を有し、前記保持板は前記ゲッタの飛散面を
前記制御板の凹部の開口部内で支持し、前記支持脚は前
記制御板を表示装置内に固定することを特徴とするもの
である。
【0028】 本発明の請求項記載の表示装置は、ゲ
ッタのゲッタ材の蒸発時、ゲッタ材の少なくとも一次の
飛散粒子はゲッタ支持具で制御することができ、二次の
飛散粒子も表示装置内壁に蒸着でき、表示エリアまでは
飛散し難いため、導通を防ぐという作用を有する。
【0029】 次に、本発明の請求項10記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、飛散
する前記ゲッタ材が前記制御板において反射した後に、
前記制御板外に飛散する場合、前記制御板は、飛散する
前記ゲッタ材が少なくとも2度前記制御板で反射するよ
うな構造を有することを特徴とするものである。
【0030】 本発明の請求項10記載の表示装置は、
ゲッタのゲッタ材の蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二
次の飛散粒子までゲッタ支持具で制御することができ、
さらに三次の飛散粒子がある場合でも真空容器内壁に蒸
着させる作用を有する。
【0031】
【0032】
【0033】
【0034】
【0035】 次に、本発明の請求項11記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ支持具は、前記電子放出基板と前記発光基板との
間に収まり、かつ前記制御板の開口部が少なくともゲッ
タの寸法以上であることを特徴とするものである。
【0036】 本発明の請求項11記載の表示装置は、
ゲッタ支持具のために表示装置の厚みを変更する必要が
ないため、薄型の表示装置にすることができるという作
用を有する。
【0037】 次に、本発明の請求項12記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ支持具が、少なくとも金属部材で構成されている
ことを特徴とするものである。
【0038】 本発明の請求項12記載の表示装置は、
ゲッタフラッシュ時の高周波加熱にも耐えるという作用
を有する。
【0039】 次に、本発明の請求項13記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ支持具が、複数個設けられていることを特徴とす
るものである。
【0040】 本発明の請求項13記載の表示装置は、
表示装置内を高真空に維持することができ、表示装置の
大型化にも対応できるという作用を有する。
【0041】 次に、本発明の請求項14記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
支持脚は、1つで複数の前記制御板を支持することを特
徴とするものである。
【0042】 本発明の請求項14記載の表示装置は、
表示装置内の部品の数を減らすことができるという作用
を有する。
【0043】 次に、本発明の請求項15記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ支持具は、表示装置の表示エリア外に設置されて
いることを特徴とするものである。
【0044】 本発明の請求項15記載の表示装置は、
表示装置内を均一な真空に保つことができるため、表示
のむらを抑えるという作用を有する。
【0045】 次に、本発明の請求項16記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ支持具は、表示装置の表示エリアを挟んで対向す
るように設置されていることを特徴とするものである。
【0046】 本発明の請求項16記載の表示装置は、
表示装置内を均一な真空に保つことができるため、表示
のむらを抑えるという作用を有する。
【0047】 次に、本発明の請求項17記載の表示装
置は、本発明の請求項記載の表示装置において、前記
ゲッタ材が露出しているゲッタの露出面は、前記電子放
出素子を向いており、ゲッタ材の飛散粒子が、少なくと
も1度前記制御板に衝突するまたは少なくとも1度前記
制御板で反射するように、前記ゲッタと前記電子放出素
子との間にゲッタ支持具を設けることを特徴とするもの
である。
【0048】 本発明の請求項17記載の表示装置は、
ゲッタのゲッタ材の蒸発時、ゲッタ材の少なくとも一次
の飛散粒子はゲッタ支持具で制御することができ、二次
の飛散粒子も表示装置内壁に蒸着でき、表示エリアまで
は飛散し難いため、導通を防ぐという作用を有する。
【0049】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)以下に、本発明
の実施の形態1について、図1、図2、図3、図12を
用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけ
る表示装置の断面図である。図2は、電子放出基板の断
面図である。図3は、本発明の実施の形態1における表
示装置の断面図である。図1、図3(a)において、ゲ
ッタ支持具7の内部を明らかにするために、ゲッタ支持
具7は、断面図ではなく、斜視図で示されている。実際
のゲッタ支持具7の断面図は、図3(b)において示さ
れている。
【0050】図1、図2、図3に示されているように、
表示装置は、スペーサ3と、ゲッタ4と、ゲッタ支持具
7と、電子放出基板25と、発光基板26とで構成され
ている。また、電子放出基板25は、配線層12と電子
放出素子13と絶縁層14と引き出し電極15とが順次
形成された第1のガラス基板1から構成されている。ま
た、発光基板26は、例えばITO(酸化インジウム
錫)からなる透明な陽極16と例えばZnO:Zn等を
主成分とした蛍光体層17とが順次形成された第2のガ
ラス基板2から構成されている。さらに矩形枠状のスペ
ーサ3は、対向積層させる電子放出基板25と発光基板
26とともに真空外囲器18を構成する。ゲッタ支持具
7は、支持脚8と、制御板9と、保持板10とで構成さ
れている。ゲッタ支持具7は、ゲッタ4の飛散方向を制
限するためのものである。
【0051】図12に示されているように、ゲッタ4
は、ニッケルメッキされた環状の金属製枠材5の内部
に、ゲッタリング作用のあるゲッタ材6が充填されたも
のである。ゲッタ4は、ゲッタ材6が露出しているゲッ
タの飛散面とゲッタ材6が露出していないゲッタの裏面
とを有する。ゲッタ材6は、例えばBaAl4等の粉末
状の合金である。そして、真空外囲器18内の大気は、
真空外囲器18内に設けられた排気孔(図示していな
い)を介して排気され、その後排気孔を封止することに
よって、真空外囲器18内は真空雰囲気に保持される。
そして、前記ゲッタ4は図示しない高周波誘導等で加熱
蒸発され、ゲッタ材6は真空外囲器18内壁に蒸着して
ゲッタ膜を形成し、さらに真空外囲器18内部を高真空
雰囲気に保持し、電子放出素子13からの電子放出を安
定化させ、表示装置を完成させる。
【0052】図2(a)は電子放出基板25の断面図で
ある。例えば1〜2mm程度の均一な厚さで透光性を有
するソーダライムガラスからなる第1のガラス基板1上
に、配線層12が例えばAu等の導電性の高い金属で形
成され、さらに引き出し電極15がCrで形成される。
上記のソーダライムガラスは、軟化点が700°C程度
である。電子放出素子13は例えばMo等から成るスピ
ント型と呼ばれる円錐状の冷陰極であり、複数個が何れ
も1μm程度の一様な高さに形成されている。これらは
何れもスパッタ等の薄膜法によって設けられている。ま
た上記の引き出し電極15の表面には、電子放出素子1
3が見えるように、例えばイオンエッチング等で引き出
し電極15を部分的に除去することによって、直径1〜
2μm程度の大きさの略円形の孔が形成されている。な
お電子放出素子13が形成されている部分を除いた配線
層12の略前面を覆って二酸化珪素(SiO2)等から
成る絶縁層14が設けられ、引き出し電極15はその絶
縁層14上に形成されている。この絶縁層14により、
配線層12と引き出し電極15とが相互に絶縁させられ
ている。
【0053】図2(b)は発光基板26の断面図であ
る。電子放出基板25と同様に例えば1〜2mm程度の
均一な厚さで透光性を有するソーダライムガラスからな
る第2のガラス基板2上に、透明な陽極16がその一面
を覆って設けられており、更にその陽極16の表面に
は、蛍光体層17が設けられている。上記のソーダライ
ムガラスは、軟化点が700°C程度である。上記の陽
極16は、例えばITO(酸化インジウム錫)等で構成
されている。上記の陽極16は例えばスパッタ等の薄膜
法によって例えば1μm程度の厚さに形成されたもので
あり、シート抵抗値が10Ω/□以下程度と比較的高い
導電性を備えている。また、上記の蛍光体層17は、1
画素を構成する区分毎にそれぞれR(赤)、G(緑)、
B(青)の3つの発光色に対応する。上記蛍光体層17
は、例えばZnO:Zn、ZnS:Ag等の電子線によ
って可視光を発する材料から構成されるものであって、
厚膜スクリーン印刷法等によって5μm程度の厚さで設
けられる。
【0054】なお、詳細は図示しないが、電子放出素子
13は、エミッタとゲートを有しており、ゲートが形成
する電界によってエミッタから放出された電子が、コレ
クタとなる陽極16の蛍光体層17に衝突してこれを発
光させる。
【0055】図3(a)は、電子放出基板25と電子放
出基板25上に形成されたゲッタ支持具7の断面図であ
る。図2(a)により形成された電子放出基板25上の
所定位置には、ゲッタ4がゲッタ支持具7に支持されて
設けられている。ゲッタ支持具7は円錐形状の制御板9
を有しており、底面の直径は少なくともゲッタ4の外径
寸法以上である。ゲッタ材6が制御板9の内部に蒸着さ
れるように、制御板9は保持板10でゲッタ4を支持し
ている。また、支持脚8は、制御板9を真空外囲器18
内で固定する為に真空外囲器18に設けられている。な
お、制御板9は円錐形に限定されるわけではなく、三角
錐など底面が多角形である錐体であってもよい。
【0056】図3(b)は、上記ゲッタ支持具7をFE
Dに使用した場合のFEDの一部分の断面図である。図
3(b)に示されているように、表示装置は、第1のガ
ラス基板1と、第2のガラス基板2と、スペーサ3と、
ゲッタ4と、ゲッタ支持具7と、表示エリア27とで構
成されている。この表示エリア27は、図2(a)にお
いて示されている配線層12と電子放出素子13と絶縁
層14と引き出し電極15とで構成されている。FED
に上記ゲッタ支持具7を使用した場合、ゲッタ4のゲッ
タ材6の蒸発時、少なくとも1次の飛散粒子はゲッタ支
持具7で制御することができ、2次の飛散粒子もスペー
サ3等の真空外囲器18内壁に蒸着できる。したがっ
て、ゲッタ材6の飛散粒子は、表示エリア27までは飛
散し難いため、表示エリア27において、導通すること
はない。ここで、n(n>0)次の飛散粒子とは、制御
板9または真空外囲器18内壁でn−1回反射したゲッ
タ材6の飛散粒子のことである。
【0057】なお、ゲッタ4のゲッタ材6が露出してい
るゲッタの飛散面が表示エリア27を向いており、かつ
ゲッタ4の中心とゲッタ支持具7を構成する制御板9の
頂点とを結ぶ直線が、表示エリア27と交差しているこ
とが好ましい。このように、ゲッタ4とゲッタ支持具7
を配置することにより、より効果的に表示エリア27に
おける導通を防ぐことができる。以上のように、真空外
囲器18は、真空容器として、さらに表示装置用容器と
して使用されることが可能である。また、表示装置は、
例えば画像を表示するための画像表示装置であってもよ
い。
【0058】(実施の形態2)以下、図面を用いて本発
明の実施の形態2について説明する。まず、実施の形態
1と異なる構造の制御板を有するゲッタ支持具につい
て、図4、図5、図6を用いて説明する。図4は、本発
明の実施の形態2における制御板の構成図である。図5
は、本発明の実施の形態2における表示装置の断面図で
ある。図6は、制御板9の円錐形の頂点と底面の中心と
を含む、制御板の断面図である。
【0059】図4(a)は、制御板9の斜視図である。
図4(a)に示されているように、制御板9は、直円錐
形と円筒形を組み合わせた凹部を有する。図4(b)
は、制御板9の円錐形の頂点と底面の中心とを含む断面
図である。図4(b)に示されているように、円筒形は
底面の直径aで高さbの構造である。制御板9は、円錐
形の頂角が、辺a、bのなす角の逆正接tan-1(b/
a)の2倍である構造を有する。このとき、ゲッタ4の
飛散面は、円筒形の底面に相当する長さaの辺が底辺で
ありその両端の角がtan-1(b/a)である二等辺三
角形内にあるように、保持板10によって支持される。
なお、図4(b)における角度αは、tan-1(b/
a)に等しい。
【0060】図5は、図4(a)、図4(b)に示され
ている制御板9を有するゲッタ支持具7をFEDに使用
した場合のFEDの一部分の断面図を示す。図5に示さ
れているように、FEDは、第1のガラス基板1と、第
2のガラス基板2と、スペーサ3と、ゲッタ4と、ゲッ
タ支持具7と、表示エリア27とで構成されている。こ
の表示エリア27は、図2(a)において示されている
配線層12と電子放出素子13と絶縁層14と引き出し
電極15とで構成されている。本発明に係るゲッタ支持
具7は、図5に示されているように、ゲッタ4のゲッタ
材6の蒸発時、少なくとも2次までの飛散粒子は制御板
9で反射または衝突するために、ゲッタ支持具7で制御
することができる。3次の飛散粒子がある場合でも、ス
ペーサ3等の真空外囲器18内壁に蒸着するため、表示
エリア27に飛散粒子が付着することはなく、電極間の
リーク電流を低減でき導通を防ぐことができる。したが
って、FEDにおいて本実施の形態に係るゲッタ支持具
7は極めて有効である。
【0061】図6(a)は、頂角がtan-1(b/a)
の2倍である場合の制御板の断面図である。制御板9の
断面は、五角形ABCDEである。辺ABの長さはaで
あり、辺AEと辺BCの長さはbである。線分ACと線
分BEの交点は点Fである。角度αは、tan-1(b/
a)に等しい。角DCAと角DEBはともに90°であ
る。図6(a)を用いて、二等辺三角形ABF外のゲッ
タ4からゲッタ材6が飛散する場合について説明する。
辺BEより制御板9の内部から飛散するゲッタ材6が、
頂点Eまたは頂点Eからわずかに頂点D方向にずれた位
置で制御板9に衝突する場合、ゲッタ材6が反射するな
らば、入射角は、90°である角BEDより小さいため
に、点線30のように、ゲッタ材6は制御板9外に飛散
する。辺ACより制御板9の内部から飛散するゲッタ材
6が、頂点Cまたは頂点Cからわずかに頂点D方向にず
れた位置で制御板9に衝突する場合、ゲッタ材6が反射
するならば、同様にゲッタ材6は制御板9外に飛散す
る。
【0062】したがって、ゲッタ4が二等辺三角形AB
Fより制御板9の内部にあるならば、スペーサ3等の真
空外囲器18内壁に、ゲッタ材6の2次の飛散粒子が蒸
着する。ゲッタ4が二等辺三角形ABF内にあるなら
ば、ゲッタ材6の少なくとも2次までの飛散粒子は制御
板9で反射または衝突するために、ゲッタ支持具7は2
次までの飛散粒子を制御することができる。
【0063】図6(b)は、頂角がtan-1(b/a)
の2倍より小さい場合の制御板の断面図である。制御板
9の断面は、五角形ABCDEである。辺ABの長さは
aであり、辺AEと辺BCの長さはbである。角度β
は、角度αより小さく、したがってtan-1(b/a)
より小さい。頂点Cから辺CDに対して垂直な線を引
き、この直線と辺AEとの交点を点Gとする。頂点Eか
ら辺DEに対して垂直な線を引き、この直線と辺BCと
の交点を点Hとする。線分CGと線分EHとの交点を点
Iとする。上記において説明されているように、ゲッタ
4が五角形ABHIGより制御板9の内部にあるなら
ば、スペーサ3等の真空外囲器18内壁に、ゲッタ材6
の2次の飛散粒子が蒸着する。ゲッタ4が五角形ABH
IG内にあるならば、ゲッタ材6の少なくとも2次まで
の飛散粒子は制御板9で反射または衝突するために、ゲ
ッタ支持具7は2次までの飛散粒子を制御することがで
きる。
【0064】図6(c)は、tan-1(b/a)の2倍
より大きい場合の制御板の断面図である。制御板9の断
面は、五角形ABCDEである。辺ABの長さはaであ
り、辺AEと辺BCの長さはbである。角度γは、角度
αより大きく、したがってtan-1(b/a)より大き
い。頂点Cから辺CDに対して垂直な線を引き、この直
線と辺ABとの交点を点Jとする。頂点Eから辺DEに
対して垂直な線を引き、この直線と辺ABとの交点を点
Kとする。線分CJと線分EKとの交点を点Lとする。
上記において説明されているように、ゲッタ4が三角形
JKL外でかつ制御板9の内部にあるならば、スペーサ
3等の真空外囲器18内壁に、ゲッタ材6の2次の飛散
粒子が蒸着する。ゲッタ4が三角形JKL内にあるなら
ば、ゲッタ材6の少なくとも2次までの飛散粒子は制御
板9で反射または衝突するために、ゲッタ支持具7は2
次までの飛散粒子を制御することができる。
【0065】ここでは、制御板9の円錐形の頂点と底面
の中心とを含む断面で考えたが、当然この断面は、ゲッ
タ4を含むものでもある。
【0066】なお、ゲッタ4のゲッタ材6が露出してい
るゲッタの飛散面が表示エリア27を向いており、かつ
ゲッタ4の中心とゲッタ支持具7を構成する制御板9の
頂点とを結ぶ直線が、表示エリア27と交差しているこ
とが好ましい。このように、ゲッタ4とゲッタ支持具7
を配置することにより、より効果的に表示エリア27に
おける導通を防ぐことができる。さらに、真空外囲器1
8は、表示装置用容器としてだけでなく、真空容器とし
て使用されることも可能である。
【0067】次に、支持脚の別の実施の形態について説
明する。実施の形態1においては、ゲッタ支持具7を1
つだけ真空外囲器18に配置する場合について説明した
が、ゲッタ支持具7を真空外囲器18に複数配置する場
合について説明する。図7は、ゲッタ支持具の配置を説
明するための説明図である。真空外囲器18にゲッタ支
持具7を複数配置する場合、各ゲッタ支持具7にそれぞ
れ支持脚8を設けるのではなく、図7に示されているよ
うに、複数の制御板9を1つの支持脚8で支持すること
で部品を減らすことができる。また、ゲッタ支持具7を
真空外囲器18内の表示エリア27を挟んで対向させる
ように設置することで真空外囲器18内を均一に真空維
持することができる。さらに、ゲッタ支持具7を真空外
囲器18内の表示エリア27の外に設置することで、表
示エリア27を遮ることなく、真空外囲器18内を均一
に真空維持することができる。
【0068】なお、本実施の形態によれば、ゲッタ4は
真空外囲器18を構成する工程の前に真空外囲器18内
部に設置されるため、非蒸発型のゲッタよりゲッター効
果が強力な蒸発型のゲッタ、例えばN301(東芝製)
などが使用できる。
【0069】さらにスペーサ3は、例えば電子放出基板
25と発光基板26と同様な外径寸法を有する矩形枠状
を成すものである。このスペーサ3は2mm程度の一様
な厚さでガラスフリットが枠体上下面に予め形成されて
いる。
【0070】以上のように構成された電子放出基板2
5、発光基板26、スペーサ3を精密に組み合わせ、例
えば真空雰囲気下において所定の温度を印加することに
より、真空外囲器18および表示装置が得られる(図1
参照)。
【0071】次に、ゲッタ支持具の製造方法について、
図8を用いて説明する。図8(a)は成形前のゲッタ支
持具7である。図8(b)は、成形過程にあるゲッタ支
持具7である。図8(c)は、成形後のゲッタ支持具7
である。この実施の形態では厚さ0.07mmのステン
レス鋼を用いて加工した。この成形前のゲッタ支持具7
は、ゲッタ4と、支持脚8と、制御板9と、保持板10
とを有している。図8(b)に示されているように、ゲ
ッタ材6が露出してないゲッタ4の裏面と保持板10と
を合わせて溶接で固定し、更に、保持板10と制御板
9、制御板9と支持脚8とを溶接で固定する。図8
(c)に示されているように、ゲッタ材6が露出してい
る面が制御板9の開口部内に収容されるように、保持板
10を折り曲げ、ゲッタ支持具7は真空外囲器18内に
収まるように支持脚8を折り曲げる。このとき、支持脚
8の先端を図8(c)のように内部に折り曲げることに
より、第1のガラス基板1、第2のガラス基板2、スペ
ーサ3のいずれの表面も痛めないですむ。
【0072】図3(a)に示されているように、好まし
くは、制御板9の開口部が配線層12や電子放出素子1
3の反対側になるように、ゲッタ支持具7を設置する。
【0073】また、ゲッタ支持具のその他の製造方法に
ついて図9を用いて説明する。図9(a)は成形前のゲ
ッタ支持具7を示す。図9(b)は、成形過程にあるゲ
ッタ支持具7を示す。図9(c)は、成形後のゲッタ支
持具7を示す。この実施の形態では厚さ0.07mmの
ステンレス鋼を用いて加工した。図9(a)に示されて
いるように、この成形前のゲッタ支持具7は、支持脚8
と、制御板9と、保持板10とを有しており、前記各部
材は一体構造からなり、制御板9は円錐形状にするため
切り欠き11を入れている。図9(b)に示されている
ように、ゲッタ材6が露出してないゲッタ4の裏面と保
持板10とを合わせて溶接で固定する。制御板9は、ゲ
ッタ4の外径寸法以上になるように、また、凹部になる
よう切り欠き11を重ね合わせ、円錐形状を作り溶接で
固定する。ゲッタ材6が露出している面が制御板9の開
口部内に収容されるように、保持板10を折り曲げ、ゲ
ッタ支持具7は真空外囲器18内に収まるように支持脚
8を折り曲げる。このとき、支持脚8の先端を図9
(c)のように内部に折り曲げることにより、第1のガ
ラス基板1、第2のガラス基板2、スペーサ3のいずれ
の表面も痛めないですむ。
【0074】図3(a)に示されているように、好まし
くは、制御板9の開口部が配線層12や電子放出素子1
3の反対側になるように、ゲッタ支持具7を設置する。
【0075】また、ゲッタ支持具のその他の製造方法に
ついて図10を用いて説明する。図10(a)は、成形
前のゲッタ支持具7を示す。図10(b)は、成形過程
のゲッタ支持具7を示す。図10(c)は、成形後のゲ
ッタ支持具7を示す。この実施の形態では厚さ0.07
mmのステンレス鋼を用いて加工した。この成形前のゲ
ッタ支持具7は、支持脚8と、制御板9と、保持板10
とを有しており、前記各部材は一体構造からなり、制御
板9は絞り加工で立体形状に加工されている。図10
(b)に示されているように、ゲッタ材6が露出してな
いゲッタ4の裏面と保持板10とを合わせて溶接で固定
する。図10(c)に示されているように、ゲッタ材6
が露出している面が制御板9の開口部内に収容されるよ
うに、保持板10を折り曲げ、ゲッタ支持具7が真空外
囲器18内に収まるように支持脚8を折り曲げる。この
とき、支持脚8の先端を図10(c)のように内部に折
り曲げることにより、第1のガラス基板1、第2のガラ
ス基板2、スペーサ3のいずれの表面も痛めないです
む。
【0076】図3(a)に示されているように、好まし
くは、制御板9の開口部が配線層12や電子放出素子1
3の反対側になるように、ゲッタ支持具7を設置する。
【0077】かかる材料、構成および工程によれば、ゲ
ッタを真空外囲器18内部において支持する場合に、部
品点数を削減し、製造工程の簡略化を図り、さらに真空
度の劣化を防ぎ、しかもゲッタフラッシュの飛散方向を
制限することができる真空外囲器18および表示装置を
提供することが可能となる。さらに、ゲッタの飛散方向
を制御することができるため、真空外囲器18内部及び
表示装置内部にゲッタを設置することができる。また、
従来必要であったゲッタ室を削減でき、フラットな真空
外囲器18および表示装置が得られるものである。
【0078】
【発明の効果】以上のように、本発明の真空容器によれ
ば、ゲッタを真空容器内部において支持する場合に、部
品点数を削減し、製造工程の簡略化を図り、さらに真空
度の劣化を防ぎ、しかもゲッタフラッシュの飛散方向を
制限することができるという効果を奏する。さらに、ゲ
ッタの飛散方向を制御することができるため、真空容器
内部にゲッタを設置することができるという効果を奏す
る。また、従来必要であったゲッタ室を削減でき、フラ
ットな真空容器が得られるという効果を奏する。また、
ゲッタのゲッタ材の蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二
次までの飛散粒子はゲッタ支持具で制御することがで
き、三次の飛散粒子がある場合でも真空容器内壁に蒸着
できるという効果を奏する。
【0079】 さらに、本発明の表示装置によれば、ゲ
ッタを表示装置内部において支持する場合に、部品点数
を削減し、製造工程の簡略化を図り、さらに真空度の劣
化を防ぎ、しかもゲッタフラッシュの飛散方向を制限す
ることができるという効果を奏する。さらに、ゲッタの
飛散方向を制御することができるため、表示装置内部に
ゲッタを設置することができるという効果を奏する。ま
た、従来必要であったゲッタ室を削減でき、フラットな
表示装置が得られるという効果を奏する。また、ゲッタ
のゲッタ材の蒸発時に、ゲッタ材の少なくとも二次の飛
散粒子までゲッタ支持具で制御することができ、さらに
三次の飛散粒子がある場合でも真空容器内壁に蒸着でき
るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1における表示装置の断
面図
【図2】 電子放出基板の断面図
【図3】 本発明の実施の形態1における表示装置の断
面図
【図4】 本発明の実施の形態2における制御板の構成
【図5】 本発明の実施の形態2における表示装置の断
面図
【図6】 制御板の円錐形の頂点と底面の中心とを含
む、制御板の断面図
【図7】 本発明の実施の形態2における複数のゲッタ
支持具の配置を説明する説明図
【図8】 ゲッタ支持具の製造方法の工程図
【図9】 ゲッタ支持具の製造方法の工程図
【図10】 ゲッタ支持具の製造方法の工程図
【図11】 従来の真空外囲器の断面図
【図12】 蒸発型ゲッタの平面図と断面図
【符号の説明】
1 第1のガラス基板 2 第2のガラス基板 3 スペーサ 4 ゲッタ 5 金属製の枠材 6 ゲッタ材 7 ゲッタ支持具 8 支持脚 9 制御板 10 保持板 11 切り欠き 12 配線層 13 電子放出素子 14 絶縁層 15 引き出し電極 16 陽極 17 蛍光体層 18 真空外囲器 19 ゲッタ膜 20 ゲッタ室 21 バネ 22 排気管 23 排気孔 24 排気孔 25 電子放出基板 26 発光基板 27 表示エリア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−77951(JP,A) 特開 平3−285232(JP,A) 特開 平9−106770(JP,A) 特開 平4−289640(JP,A) 特開 平9−199009(JP,A) 特開 昭51−112175(JP,A) 特開 昭51−4958(JP,A) 実開 昭59−170366(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 7/18 H01J 29/94

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部の真空度を保持するために、ゲッタ
    材を有するゲッタを備え、前記ゲッタ材の飛散方向に、
    制御板と支持脚と保持板からなるゲッタ支持具を設けて
    前記ゲッタ材の飛散方向を制限する真空容器において、 前記制御板は、直円錐形と円筒形を組み合わせた凹部を
    有し、前記直円錐形の頂点と底面の中心とを含む前記制
    御板の断面において、前記円筒形の底面に相当する部分
    の長さをaとし、前記円筒形の側面に相当する部分の長
    さをbとするとき、前記制御板の頂角がa、bのなす角
    の逆正接tan-1(b/a)の2倍以下であり、且、前
    記円筒形の底面に相当する部分が底辺であり前記底辺の
    両端の角が逆正接tan-1(b/a)である二等辺三角
    形内にあるように、前記ゲッタの飛散面は、前記保持板
    によって支持されることを特徴とする真空容器。
  2. 【請求項2】 前記制御板は凹部を有し、前記保持板は
    前記ゲッタの飛散面を前記制御板の凹部の開口部内で支
    持し、前記支持脚は前記制御板を真空容器内に固定する
    ことを特徴とする請求項1記載の真空容器。
  3. 【請求項3】 飛散する前記ゲッタ材が前記制御板にお
    いて反射した後に、前記制御板外に飛散する場合、前記
    制御板は、飛散する前記ゲッタ材が少なくとも2度前記
    制御板で反射するような構造を有することを特徴とする
    請求項2記載の真空容器。
  4. 【請求項4】 前記ゲッタ支持具が、少なくとも金属部
    材で構成されていることを特徴とする請求項2記載の真
    空容器。
  5. 【請求項5】 前記ゲッタ支持具が複数個設けられてい
    ることを特徴とする請求項1記載の真空容器。
  6. 【請求項6】 前記支持脚は、1つで複数の前記制御板
    を支持することを特徴とする請求項1記載の真空容器。
  7. 【請求項7】 内部の真空度を保持するために、ゲッタ
    材を有するゲッタを備え、前記ゲッタ材の飛散方向に、
    制御板と支持脚と保持板からなるゲッタ支持具を設けて
    前記ゲッタ材の飛散方向を制限する表示装置において、 前記制御板は、直円錐形と円筒形を組み合わせた凹部を
    有し、前記直円錐形の頂点と底面の中心とを含む前記制
    御板の断面において、前記円筒形の底面に相当する部分
    の長さをaとし、前記円筒形の側面に相当する部分の長
    さをbとするとき、前記制御板の頂角がa、bのなす角
    の逆正接tan -1 (b/a)の2倍以下であり、且、前
    記円筒形の底面に相当する部分が底辺であり前記底辺の
    両端の角が逆正接tan -1 (b/a)である二等辺三角
    形内にあるように、前記ゲッタの飛散面は、前記保持板
    によって支持されることを特徴とする表示装置。
  8. 【請求項8】 少なくとも配線層と電子放出素子と絶縁
    層と引き出し電極とが形成された第1のガラス基板から
    なる電子放出基板と、 少なくとも陽極と蛍光体層とが形成された第2のガラス
    基板からなる発光基板と、 前記電子放出基板と前記発光基板とが対向して所定の間
    隔を保持するように、前記電子放出基板と前記発光基板
    との間に配設されたスペーサとを備えることを特徴とす
    る請求項7記載の表示装置。
  9. 【請求項9】 前記制御板は凹部を有し、前記保持板は
    前記ゲッタの飛散面を前記制御板の凹部の開口部内で支
    持し、前記支持脚は前記制御板を表示装置内に固定する
    ことを特徴とする請求項7記載の表示装置。
  10. 【請求項10】 飛散する前記ゲッタ材が前記制御板に
    おいて反射した後に、前記制御板外に飛散する場合、前
    記制御板は、飛散する前記ゲッタ材が少なくとも2度前
    記制御板で反射するような構造を有することを特徴とす
    る請求項9記載の表示装置。
  11. 【請求項11】 前記ゲッタ支持具は、前記電子放出基
    板と前記発光基板との間に収まり、かつ前記制御板の開
    口部が少なくともゲッタの寸法以上であることを特徴と
    する請求項9記載の表示装置。
  12. 【請求項12】 前記ゲッタ支持具が、少なくとも金属
    部材で構成されていることを特徴とする請求項9記載の
    表示装置。
  13. 【請求項13】 前記ゲッタ支持具が複数個設けられて
    いることを特徴とする請求項7記載の表示装置。
  14. 【請求項14】 前記支持脚は、1つで複数の前記制御
    板を支持することを特徴とする請求項7記載の表示装
    置。
  15. 【請求項15】 前記ゲッタ支持具は、表示装置の表示
    エリア外に設置されていることを特徴とする請求項7記
    載の表示装置。
  16. 【請求項16】 前記ゲッタ支持具は、表示装置の表示
    エリアを挟んで対向するように設置されていることを特
    徴とする請求項7記載の表示装置。
  17. 【請求項17】 前記ゲッタ材が露出しているゲッタの
    露出面は、前記電子放出素子を向いており、ゲッタ材の
    飛散粒子が、少なくとも1度前記制御板に衝突するまた
    は少なくとも1度前記制御板で反射するように、前記ゲ
    ッタと前記電子放出素子との間にゲッタ支持具を設ける
    ことを特徴とする請求項8記載の表示装置。
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