KR100276117B1 - 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시 장치 - Google Patents

격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드 전극과 에미터가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층과 게이트전극이 형성된 하부기판과, 상기 캐소드 전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애노드 전극과 형광체가 헝성된 상부 기판이 소정 간격 이격되게 유지시키는 게터-스페이서를 포함하는 전계 방출 표시장치에 있어서, 상기 게터-스페이서에서 다공성 후막 게터로 이루어져 가스를 포획하고 소정의 높이를 갖는 격벽과, 상기 격벽의 상부 및 하부에 형성되어 상기 게터-스페이서에 전류가 흐르지 않게 하는 산화층과, 상기 격벽의 상부에 형성된 산화층의 상부에 비증발성으로 띠 모양을 갖도록 형성된 게터를 포함한다. 따라서, 본 발명은 게터가 스페이서 역할을 하면서 동시에 게터링을 하므로 제조공정이 용이하고 고진공 상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.

Description

격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치
제1도는 종래 기술에 따른 스페이서를 이용한 전계 방출 표시장치의 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 격자형 게터-스페이서의 사시도.
제3도는 제2도에 도시된 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
51 : 하부기판 53 : 캐소드 전극
55 : 에미터 56 : 절연체
57 : 게이트 전극 59 : 상부기판
61 : 애노드 전극 63 : 형광체
65 : 공간 67 : 게터-스페이서
69 : 격벽 71 : 산화층
73 : 게터
본 발명은 전계 방출 표시장치에 관한 것으로서, 특히, 게터(getter)가 스페이서 역할을 하면서 동시에 게터링을 할 수 있는 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치에 관한 것이다.
일반적으로 표시소자와 압력센서 등은 진공 패키징을 필요로 한다. 상기 진공 패키징을 필요로 하는 표시소자로는 브라운관(CRT), 프라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP라 칭함), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display) 및 진공 형광 표시소자(Vacuum Fluorescence Display : 이하, VFD라 침함) 등이 있다. 상기 표시소자 중 PDP는 네온 등의 동작 가스를 충진된 공간에서 방전시켜 발생되는 전자 및 양자들이 형광체와 충돌하여 화면을 나타내므로 수백 토르(torr) 정도의 낮은 진공도가 요구된다. 그러나, 현재 가장 널리 사용되고 있는 CRT를 비롯한 전계 방출 표시장치 및 VFD 등은 발생된 전자가 형광체가 충돌하는 것에 의해 화면을 나타내므로 전자의 자유 이동 거리(mean free path)를 크게하기 위해서는 고진공을 필요로 한다. 특히, 전계 방출 표시장치는 1O-6토르 정도의 높은 진공도가 필요하므로 고진공 패키징 기술이 필요하다. 그러므로, 고진공을 필요로 하는 표시소자는 이 표시소자 내에 잔류하는 가스 분자를 배기하고 패키징하는 공정이 필수적이다.
배기공정에 이용되는 가장 일반적인 방법은 표시소자와 진공펌프 사이에 유리로 이루어진 배기 튜브를 연결시켜 표시소자 내의 가스 분자를 배기시킨 후 표시소자와 배기 튜브를 분리하기 위해 이 배기 튜브를 반용융 상태로 가열하여 봉입하고 냉각시켜 진공패키지를 완성시킨다.
제1도는 종래 기술에 따른 스페이서를 이용한 전계 방출 표시장치의 단면도이다.
상기 전계 방출 표시장치는 스트라이프(stripe) 형상의 다수 개의 캐소드 전극(13)이 형성된 하부기판(11)과, 상기 캐소드 전극(13)과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애노드 전극(21)이 형성된 상부기판(19)을 포함한다.
상부기판(19)과 하부기판(11)은 형광체(23)와 에미터(15)가 마주하여 공간(25)을 이루도록 스페이서(spacer : 27)에 의해 소정 간격, 예를 들면, 100∼200㎛ 정도가 이격되게 부착된다. 그리그, 공간(25)은 상부기판(19)과 하부기판(11)을 부착한 후 배기 튜브(31)로 전계 방출 표시장치의 구멍(29)과 진공 펌프(도시되지 않음)를 연결한 후 이 진공 펌프를 이용하여 상기 공간(25) 내의 잔류 가스를 배출하여 진공시킨다. 그리고, 공간(25) 내부가 진공을 유지하면서 전계 방출 표시장치와 진공 펌프가 분리되도록 배기튜브(31)를 가열하면서 회전 및 신장하여 자른다.
스페이서(27)는 상부기판(19)이 마주하여 공간(25)을 이루도록 다수 개가 형성된다. 상기에서, 스페이서(27)는 상부기판(19) 및 하부기판(11)의 모서리에서는 벽과 같은 형상을 갖고 가운데 부분에서는 원통 형상을 갖는 유리, 산화물 또는 질화물을 포함하는 세라믹 등과 같은 경도가 크고 절연성이 좋은 물질이나, 또는, 폴리이미드를 포함하는 폴리머 등과 같은 절연물질로 이루어진다. 상기에서, 스페이서(27)는 상부기판(19)과 하부기판(11)의 모서리를 부착시킬 뿐만 아니라 대화면인 경우에는 수백 내지 수천 개가 가운데 부분에 형성되어 공간(25)과 대기압 상태인 외부의 기압 차에 의해 상부기판(19)과 하부기판(11)이 접촉되는 것을 방지한다.
게터(33)는 하부기판(11)의 양끝단에 형성되어 공간(25)을 진공시키기 위하여 배기튜브(31)를 가열하면서 회전 및 신장하며 자를 때 발생하는 가스를 제거한다. 게터(33)는 바륨(Ba) 또는 티타늄(Ti)을 사용하는 증발성 게터와 지르코늄-알루미늄(Zr-Al) 합금 또는 지르크늄-바나듐-철(Zr-V-Fe) 합금을 사용하는 비증발성 게터가 있다.
상술한 구조의 전계 방출 표시장치의 스페이서(27)는 하부기판(11)의 상부에 스크린프린팅(screenprinting) 방법, 몰딩(molding) 방법, 또는, 전면 도포 후 레이저 또는 포토리쏘그래피(photolithography) 방법으르 형성할 수 있다.
상기에서, 스크린프린팅 방법은 유리 분말을 주성분으로 하는 슬러리(slurry)를 다수 번의 스크린프린트하여 스페이서의 형상을 만든 후 소성하는 것이고, 몰딩(molding) 방법은 스페이서 형태의 틀(mold)을 이용하여 산화물이나 질화물로 형성하는 것이다. 또한, 하부기판(11)의 전표면에 스페이서를 형성할 물질을 도포한 후 소정부분을 제외한 나머지 부분에 도포된 물질을 레이저로 제거하여 스페이서를 형성한다. 그리고, 폴리머를 스핀코팅한 후 상기 레이저 대신 포토리쏘그래피 방법으로 제거하여 형성할 수 있다.
그리나, 상술한 바와 같은 종래 기술에 따른 전계 방출 표시장치는 스페이서를 제조하는 공정이 복잡하고 밀봉시 발생하는 가스를 제거하기 위하여 별도의 게터를 형성해야 하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 게터가 스페이서 역할을 하며 동시에 가스를 제거하는 게터링을 할 수 있는 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치는 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드 전극과 에미터가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층과 게이트전극이 형성된 하부기판과, 상기 캐소드 전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애노드 전극과 형광체가 형성된 상부기판이 소정 간격 이격되게 유지시키는 게터-스페이서를 포함하는 전계 방출 표시장치에 있어서, 상기 게터-스페이서에서 다공성 후막 게터로 이루어져 가스를 포획하고 소정의 높이를 갖는 격벽과, 상기 격벽의 상부 및 하부에 형성되어 상기 게터-스페이서에 전류가 흐르지 않게 하는 산화층과, 상기 격벽의 상부에 형성된 산화층의 상부에 비증발성으로 띠모양을 갖도록 형성된 게터를 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하겠다.
제2도는 본 발명에 따른 격자형 게터-스페이서의 사시도이다.
상기 게터-스페이서(67)는 소정 높이, 예를 들면, 100~200㎛ 정도 높이의 격벽(69)을 갖는 격자형으로 형성된다. 게터-스페이서(67)의 격벽(69)은 다공성 후막 게터로 형성되어 잔류하는 가스를 제거하며, 단위 격자는 화소 단위 또는 다수 개의 화소를 에워쌀 수 있는 크기를 가지며 인접하는 단위 격자들과 연결된다. 또한, 게터-스페이서(67)는 격벽(69)이 하나로 몸체로 형성되어 상부 및 하부기판(도시되지 않음)과의 접합면적이 커지게 되어 접합력이 증가된다. 그리고, 게터-스페이서(67)는 상부 및 하부표면에 산화층(71)이 형성되어 격벽(69)에 전류가 흐르는 것을 차단한다. 상기 격벽(69) 상부에 형성된다. 게터(73)는 밀봉된 전계 방출 표시장치의 내부 공간의 잔류가스를 포획하여 진공도를 향상시키기 위한 것으로 지르코늄-알루미늄(Zr-Al) 또는 지루코늄-바나듐-철(Zr-V-Fe)의 합금을 사용하는 비증발성이 사용된다.
제3도는 제2도에 도시된 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치의 단면도이다.
상기 전계 방출 표시장치는 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드 전극(53)이 형성된 하부기판(51)과, 상기 캐소드 전극(53)과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애노드 전극(61)이 형성된 상부기판(59)과, 하부기판(51)과 상부기판(59) 사이에 공간(65)이 형성되게 소정 간격 이격되게 유지시키고 공간내에 잔류하는 가스를 제거하는 게터-스페이서(67)를 포함한다.
상부기판(59)은 시청자의 정면에 위치하는 것으로 나트륨(Na)을 포함하는 투명한 경화유리(Pyrex)로 형성된다. 그리고, 애노드 전극(61)은 상부기판(59)의 배면에 투명한 전도성 물질인 인듐-주석 산화물(ITO)로 형성되며, 애노드 전극(61)의 표면에는 전자와 충돌에 의해 발광하는 형광체(63)가 각각 형성되어 있다.
하부기판(51)은 시청자의 배면에 위치하는 것으로 상부기판(59)과 동일하게 나트륨을 포함하는 경화유리로 형성된다. 그리고, 캐소드 전극(53)은 크롬(Cr)등의 전도성 금속으로 형성되며, 캐소드 전극(53)의 표면에 몰리브덴(Mo) 또는 텅스텐(W) 등이 원추형으로 이루어진 전자를 방출하는 다수 개의 에미터(55)가 형성된다. 또한, 에미터(55)의 양측단에는 절연체(56)가 형성되며, 이 절연체(56)의 상부에 캐소드 전극(53)과 대향하는 게이트 전극(57)이 형성된다. 상기, 게이트 전극(57)은 에미터(55)에서 전자의 방출을 용이하게 한다.
게터-스페이서(67)는 형광체(63)와 에미터(55)가 대향하여 공간(65)을 이루도록 하부기판(51)과 상부기판(59)을 부착하여 높이가 소정간격, 예를 들면, 100∼200㎛ 정도 이격되고 다공성 후막 게터로 형성되어 잔류하는 가스를 포획한다. 상기에서, 게터-스페이서(67)가 격벽(69)을 갖는 격자형으로 형성되는데, 각각의 단위격자는 화소단위 또는 다수 개의 화소를 에워쌀 수 있는 크기를 가지며 인접하는 단위 격자들과 연결된다. 따라서, 게터-스페이서(67)는 격벽(69)에 의해 소정 격자내에서 방출하는 전자가 인접하는 격자내의 형광체(63)와 충돌되지 않도록 하여 누화(CROSSTALK)를 방지하며, 또한, 하나의 몸체로 형성되어 하부기판(51) 및 상부기판(59)과의 접합면적이 커지게 되어 접합력이 증가된다. 그리그, 격벽(69)의 상부면에는 산화층(71)이 형성되어 전기가 흐르지 않게 한다. 그리그, 격벽(69)의 상부에 형성된 산화층(71)에 게터(73)를 띠모양으로 형성한다. 상기 게터(73)는 패키징된 전계 방출 표시장치의 내부 공간(65)에 잔류하는 가스를 포획하여 진공도를 향상시킨다. 이때, 게터(73)는 지르코늄-알루미늄(Zr-Al) 또는 지르코늄-바나듐-철(Zr-V-Fe)등의 비증발성 게터를 사용한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 게터-스페이서의 격벽을 다공성 후막게터로 형성하여 가스를 제거하그 화소 단위 또는 다수 개의 화소를 에워쌀 수 있는 크기를 가지고 인접하는 단위격자들과 연결되며 소정 높이의 격벽을 갖는 형상으로 형성되고, 격벽의 상부에 비증발성 게터를 형성하여 공간내에 잔류하는 가스를 포획한다.
따라서, 본 발명은 게터가 스페이서 역할을 하면서 동시에 게터링을 하므로 제조공정이 용이하고 고진공 상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 스트라이프 형상의 다수 개의 캐소드 전극과 에미터가 형성되며 상기 에미터 사이에 절연층과 게이트전극이 형성된 하부기판과, 상기 캐소드 전극과 교차하는 스트라이프 형상의 다수 개의 애느드 전극과 형광체가 형성된 상부기판이 소정 간격 이격되게 유지시키는 게터-스페이서를 포함하는 전계 방출 표시장치에 있어서, 상기 게터-스페이서에서 다공성 후막 게터로 이루어져 가스를 포획하고 소정의 높이를 갖는 격벽과, 상기 격벽의 상부 및 하부에 형성되어 상기 게터-스페이서에 전류가 흐르지 않게 하는 산화층과, 상기 격벽의 상부에 형성된 산화층의 상부에 비증발성으로 띠모양을 갖도록 형성된 게터를 포함하는 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스페이서의 격벽의 높이가 100∼200㎛ 정도인 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치.
  3. 제2항에서 있어서, 상기 게터가 지르코늄-알루미늄(Zr-Al) 또는 지루코늄-바나듐-철(Zr-V-Fe)을 선택적으로 사용하는 격자형 게터-스페이서를 갖는 전계 방출 표시장치.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100319378B1 (ko) * 1999-11-27 2002-01-09 김덕중 전계방출 표시장치의 스페이서 및 이를 구비하는 전계방출표시장치
KR100542318B1 (ko) * 1999-12-28 2006-01-12 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 전계방출표시소자 및 그 제조방법
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN103930269A (zh) * 2011-11-16 2014-07-16 乐金华奥斯有限公司 具有吸收用填料的真空玻璃面板及其制备方法
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