JP3488526B2 - 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 - Google Patents
耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フライス加工，切削加
工，穿孔加工等の加工に使用される切削工具の表面被覆
材、或は金型，軸受け，ダイス，ロールなど高硬度が要
求される耐摩耗部材の表面被覆材、もしくは成形機用ス
クリューやシリンダ等の耐熱・耐食部材の表面被覆材と
して有用な硬質皮膜に関し、更には該硬質皮膜を被覆す
ることによって優れた耐摩耗性を発揮する硬質皮膜被覆
部材に関するものである。
工，穿孔加工等の加工に使用される切削工具の表面被覆
材、或は金型，軸受け，ダイス，ロールなど高硬度が要
求される耐摩耗部材の表面被覆材、もしくは成形機用ス
クリューやシリンダ等の耐熱・耐食部材の表面被覆材と
して有用な硬質皮膜に関し、更には該硬質皮膜を被覆す
ることによって優れた耐摩耗性を発揮する硬質皮膜被覆
部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速度工具や超硬合金工具など高い耐摩
耗性が要求される切削工具は、工具の基材表面にＴｉＮ
やＴｉＣ等の硬質皮膜を形成することにより耐摩耗性の
向上が図られている。
耗性が要求される切削工具は、工具の基材表面にＴｉＮ
やＴｉＣ等の硬質皮膜を形成することにより耐摩耗性の
向上が図られている。
【０００３】上記ＴｉＮとＴｉＣの耐摩耗性を比較する
と、ＴｉＮは高温域における耐酸化性の点でＴｉＣより
優れており、切削時の加工熱や摩擦熱によって生じる工
具すくい面のクレータ摩耗に対して良好な耐摩耗性を発
揮する。しかもＴｉＮは母材との密着性にも優れてい
る。一方ＴｉＣはＴｉＮより硬度が高く、被削材と接す
る逃げ面のフランク摩耗に対して高い耐久性を有してい
る。
と、ＴｉＮは高温域における耐酸化性の点でＴｉＣより
優れており、切削時の加工熱や摩擦熱によって生じる工
具すくい面のクレータ摩耗に対して良好な耐摩耗性を発
揮する。しかもＴｉＮは母材との密着性にも優れてい
る。一方ＴｉＣはＴｉＮより硬度が高く、被削材と接す
る逃げ面のフランク摩耗に対して高い耐久性を有してい
る。
【０００４】しかしながら耐酸化性に優れたＴｉＮであ
っても酸化開始温度はせいぜい６００℃程度であり、ま
た高い硬度を有するＴｉＣであってもそのビッカース硬
さはせいぜい２０００程度であり、いずれについても耐
摩耗性の一層の改善が望まれていた。
っても酸化開始温度はせいぜい６００℃程度であり、ま
た高い硬度を有するＴｉＣであってもそのビッカース硬
さはせいぜい２０００程度であり、いずれについても耐
摩耗性の一層の改善が望まれていた。
【０００５】そこで例えば特開平２−１９４１５９に
は、ＴｉＮやＴｉＣの耐酸化性や硬度の向上を目的とし
て、Ｔｉの一部をＡｌに置換したＡｌとＴｉの複合窒化
物や複合炭窒化物［以下（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｃ，Ｎ）と示
す］が開示されており、酸化開始温度は約８００℃、ビ
ッカース硬さは２５００程度まで改善されている。
は、ＴｉＮやＴｉＣの耐酸化性や硬度の向上を目的とし
て、Ｔｉの一部をＡｌに置換したＡｌとＴｉの複合窒化
物や複合炭窒化物［以下（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｃ，Ｎ）と示
す］が開示されており、酸化開始温度は約８００℃、ビ
ッカース硬さは２５００程度まで改善されている。
【０００６】また本発明者らはＡｌおよびＴｉとＮとの
化合物をベースとして、一部の元素を他の元素と置換す
ることにより、高い硬度と良好な耐酸化性を有して優れ
た耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を開発して先に出願を済
ませている。例えば、特開平４−２６７５６号公報に記
載の（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｂ，Ｎ）は、酸化開始温度が約８
００℃であり、ビッカース硬さは３４００程度である。
また（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｃ，Ｎ）膜（特願平６−１
００１５４）は、酸化開始温度は約１０００℃であり、
ビッカース硬さは３１００程度である。但し一層の高能
率化が要求されている切削加工などの分野では、より優
れた耐摩耗性を有する硬質皮膜の開発が期待される。
化合物をベースとして、一部の元素を他の元素と置換す
ることにより、高い硬度と良好な耐酸化性を有して優れ
た耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を開発して先に出願を済
ませている。例えば、特開平４−２６７５６号公報に記
載の（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｂ，Ｎ）は、酸化開始温度が約８
００℃であり、ビッカース硬さは３４００程度である。
また（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｃ，Ｎ）膜（特願平６−１
００１５４）は、酸化開始温度は約１０００℃であり、
ビッカース硬さは３１００程度である。但し一層の高能
率化が要求されている切削加工などの分野では、より優
れた耐摩耗性を有する硬質皮膜の開発が期待される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこうした事情
に着目してなされたものであって、これまでに開発して
きた硬質皮膜の優れた特性を生かしつつ、一段と優れた
耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を提供することを目的とし
ており、更には高い耐摩耗性が要求される部材に上記硬
質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆部材を提供しようとする
ものである。
に着目してなされたものであって、これまでに開発して
きた硬質皮膜の優れた特性を生かしつつ、一段と優れた
耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を提供することを目的とし
ており、更には高い耐摩耗性が要求される部材に上記硬
質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆部材を提供しようとする
ものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明に係る硬質皮膜とは、基材表面に形成される硬質皮
膜であって、第１層および第２層を有し、上記第１層は
基材側に形成されて、Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉよりなる群から
少なくともＴｉを含んで選択される１種以上の金属元素
と、Ｂ，Ｃ，Ｎよりなる群から選ばれる１種以上の非金
属元素との化合物からなり、前記第２層は表面側に積層
されたＡｌＢＮであることを要旨とするものである。
発明に係る硬質皮膜とは、基材表面に形成される硬質皮
膜であって、第１層および第２層を有し、上記第１層は
基材側に形成されて、Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉよりなる群から
少なくともＴｉを含んで選択される１種以上の金属元素
と、Ｂ，Ｃ，Ｎよりなる群から選ばれる１種以上の非金
属元素との化合物からなり、前記第２層は表面側に積層
されたＡｌＢＮであることを要旨とするものである。
【０００９】 上記第１層としては、特に以下の化学組
成式（１）〜（３）のいずれかで示される化合物を用い
ることが推奨される。 （１）（ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b） 但し、０．２５≦ａ≦０．７５ ０≦ｂ≦０．４ （２）（ＡｌcＴｉ1-c）（BdＮ1-d） 但し、０．０５≦ｃ≦０．７５ ０．０２≦ｄ≦０．１２ （３）（ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉy）（ＣzＮ1-z） 但し、０．０５≦ｘ≦０．７５ ０．０１≦ｙ≦０．１ ０≦ｚ≦０．４ 尚、上記の変数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｘ，ｙ，ｚはいずれ
も、原子量比である。
成式（１）〜（３）のいずれかで示される化合物を用い
ることが推奨される。 （１）（ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b） 但し、０．２５≦ａ≦０．７５ ０≦ｂ≦０．４ （２）（ＡｌcＴｉ1-c）（BdＮ1-d） 但し、０．０５≦ｃ≦０．７５ ０．０２≦ｄ≦０．１２ （３）（ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉy）（ＣzＮ1-z） 但し、０．０５≦ｘ≦０．７５ ０．０１≦ｙ≦０．１ ０≦ｚ≦０．４ 尚、上記の変数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｘ，ｙ，ｚはいずれ
も、原子量比である。
【００１０】 また以下の説明では、第１層を構成する
皮膜（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉよりなる群から少なくともＴｉ
を含んで選択される１種以上の金属元素と、Ｂ，Ｃ，Ｎ
よりなる群から選ばれる１種以上の非金属元素との化合
物）を総称して、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）
系皮膜という。
皮膜（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉよりなる群から少なくともＴｉ
を含んで選択される１種以上の金属元素と、Ｂ，Ｃ，Ｎ
よりなる群から選ばれる１種以上の非金属元素との化合
物）を総称して、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）
系皮膜という。
【００１１】上記硬質皮膜の厚さは、第１層および第２
層共に０．１〜２０μｍにすることが好ましく、上記硬
質皮膜を基材表面に形成すれば耐摩耗性に優れた硬質皮
膜被覆部材を得ることができる。
層共に０．１〜２０μｍにすることが好ましく、上記硬
質皮膜を基材表面に形成すれば耐摩耗性に優れた硬質皮
膜被覆部材を得ることができる。
【００１２】
【作用】本発明者らは上記（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，
Ｃ，Ｎ）系皮膜の耐摩耗性をより一層向上させることを
目的として検討を重ねた結果、上記（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓ
ｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜の表面にＡｌＢＮ膜を保護層
として密着性よく形成することによって、硬質皮膜全体
としての硬度および耐酸化性を高めることができ、硬質
皮膜の耐摩耗性を大幅に向上できることを突き止めた。
Ｃ，Ｎ）系皮膜の耐摩耗性をより一層向上させることを
目的として検討を重ねた結果、上記（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓ
ｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜の表面にＡｌＢＮ膜を保護層
として密着性よく形成することによって、硬質皮膜全体
としての硬度および耐酸化性を高めることができ、硬質
皮膜の耐摩耗性を大幅に向上できることを突き止めた。
【００１３】本発明の硬質皮膜が従来の硬質皮膜に比べ
て優れた耐摩耗性を発揮できる様になった理由は十分に
解明されたわけではないが、以下の様に考えられる。即
ち、硬度が高く且つ耐酸化性に優れしかも摩擦係数が小
さいＡｌＢＮ膜を、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，
Ｎ）系皮膜上に表面層として密着性よく形成することに
よって、皮膜全体のビッカース硬さを３５００以上と高
硬度にすることができると共に、耐酸化性が要求される
高温域においてはＡｌＢＮ膜中のＡｌが皮膜表面でＡｌ
酸化物からなる保護皮膜を形成し、更にはその下層の
（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜表面に形成
されＡｌ酸化物からなる保護皮膜を著しく緻密化するた
めであると考えられる。
て優れた耐摩耗性を発揮できる様になった理由は十分に
解明されたわけではないが、以下の様に考えられる。即
ち、硬度が高く且つ耐酸化性に優れしかも摩擦係数が小
さいＡｌＢＮ膜を、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，
Ｎ）系皮膜上に表面層として密着性よく形成することに
よって、皮膜全体のビッカース硬さを３５００以上と高
硬度にすることができると共に、耐酸化性が要求される
高温域においてはＡｌＢＮ膜中のＡｌが皮膜表面でＡｌ
酸化物からなる保護皮膜を形成し、更にはその下層の
（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜表面に形成
されＡｌ酸化物からなる保護皮膜を著しく緻密化するた
めであると考えられる。
【００１４】尚、本発明に係るＡｌＢＮ皮膜は、（Ａ
ｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜と優れた親和性
および反応性を有しているので、下地の（Ａｌ，Ｔｉ，
Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜に密着性良く形成すること
ができ、しかも（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系
皮膜と基材との密着性を損なうこともないので、切削工
具やその他の耐摩耗部材の表面に適用した場合であって
も、各界面における剥離の問題を生ずることが少なく、
硬質皮膜の優れた耐摩耗性を十分に発揮する硬質皮膜被
覆部材を得ることができる。
ｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜と優れた親和性
および反応性を有しているので、下地の（Ａｌ，Ｔｉ，
Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜に密着性良く形成すること
ができ、しかも（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系
皮膜と基材との密着性を損なうこともないので、切削工
具やその他の耐摩耗部材の表面に適用した場合であって
も、各界面における剥離の問題を生ずることが少なく、
硬質皮膜の優れた耐摩耗性を十分に発揮する硬質皮膜被
覆部材を得ることができる。
【００１５】本発明におけるＡｌＢＮ皮膜が下地（Ａ
ｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜に密着性良く形
成することができる理由については、未解明の部分を残
しているが、例えばJOURNAL OF HARD MATERIALS(Vol.2,
No.3-4,1991,P233 〜243)によると、ｃＢＮ−ＴｉＡｌ
Ｎ複合材料の界面には、ＡｌＮ，ＴｉＮ，ＴｉＢ2 等の
反応層が形成される様であり、本発明の場合においても
（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）とＡｌＢＮの界面
にＡｌＮ，ＴｉＮ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＴｉＢ2 等からなる反
応層が形成され、これによって密着性が著しく高まるも
のであると考えている。
ｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜に密着性良く形
成することができる理由については、未解明の部分を残
しているが、例えばJOURNAL OF HARD MATERIALS(Vol.2,
No.3-4,1991,P233 〜243)によると、ｃＢＮ−ＴｉＡｌ
Ｎ複合材料の界面には、ＡｌＮ，ＴｉＮ，ＴｉＢ2 等の
反応層が形成される様であり、本発明の場合においても
（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，Ｃ，Ｎ）とＡｌＢＮの界面
にＡｌＮ，ＴｉＮ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＴｉＢ2 等からなる反
応層が形成され、これによって密着性が著しく高まるも
のであると考えている。
【００１６】本発明はＡｌＢＮ膜の組成を限定するもの
ではないが、Ａｌp Ｂq Ｎ1-p-q と表示した場合におい
て、ｐ，ｑが夫々０．０１≦ｐ≦０．３、０．２≦ｑ≦
０．６という条件を満足することが好ましい。これはｐ
の値が０．０１未満ではＡｌＢＮ膜中にＡｌを含有させ
たことによる硬さ向上効果および密着性向上効果が十分
得られないからであり、一方ｐの値が０．３を超えると
結晶構造が立方晶からＡｌＮと同じ六方晶に変化するこ
とがあり、皮膜硬さが低下して十分な耐摩耗性が得られ
ない場合があるからである。また、ｑの値が０．２未満
であるか、或いは０．６を超えると皮膜硬さが低下し十
分な耐摩耗性が得られない。なお、ｐの値は０．０３以
上とすることがより好ましく、上限値は０．１とするこ
とがより望ましい。ｑの値は０．４以上とすることがよ
り好ましく、上限値は０．５５とすることがより望まし
い。
ではないが、Ａｌp Ｂq Ｎ1-p-q と表示した場合におい
て、ｐ，ｑが夫々０．０１≦ｐ≦０．３、０．２≦ｑ≦
０．６という条件を満足することが好ましい。これはｐ
の値が０．０１未満ではＡｌＢＮ膜中にＡｌを含有させ
たことによる硬さ向上効果および密着性向上効果が十分
得られないからであり、一方ｐの値が０．３を超えると
結晶構造が立方晶からＡｌＮと同じ六方晶に変化するこ
とがあり、皮膜硬さが低下して十分な耐摩耗性が得られ
ない場合があるからである。また、ｑの値が０．２未満
であるか、或いは０．６を超えると皮膜硬さが低下し十
分な耐摩耗性が得られない。なお、ｐの値は０．０３以
上とすることがより好ましく、上限値は０．１とするこ
とがより望ましい。ｑの値は０．４以上とすることがよ
り好ましく、上限値は０．５５とすることがより望まし
い。
【００１７】 本発明に係る硬質皮膜において、基材上
に形成される第１層は少なくとも（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）
（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜であればＡｌＢＮ層との相乗効果
により優れた耐摩耗性を発揮するが、特に下記（１）〜
（３）の化学組成で示される如く少なくともＴｉを含む
皮膜を採用することが好ましい。尚、本発明において第
１層に少なくともＴｉを含有させる理由は、前述のよう
に第２層のＡｌＢＮ層との界面に反応層を形成して密着
性を高めるという観点からである。
に形成される第１層は少なくとも（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）
（Ｂ，Ｃ，Ｎ）系皮膜であればＡｌＢＮ層との相乗効果
により優れた耐摩耗性を発揮するが、特に下記（１）〜
（３）の化学組成で示される如く少なくともＴｉを含む
皮膜を採用することが好ましい。尚、本発明において第
１層に少なくともＴｉを含有させる理由は、前述のよう
に第２層のＡｌＢＮ層との界面に反応層を形成して密着
性を高めるという観点からである。
【００１８】
（１）（ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b）
但し、０．２５≦ａ≦０．７５
０≦ｂ≦０．４
（２）（ＡｌcＴｉ1-c）（BdＮ1-d）
但し、０．０５≦ｃ≦０．７５
０．０２≦ｄ≦０．１２
（３）（ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉy）（ＣzＮ1-z）
但し、０．０５≦ｘ≦０．７５
０．０１≦ｙ≦０．１
０≦ｚ≦０．４
【００１９】 上記（１）〜（３）の化学組成において
各成分範囲を夫々設定した理由について以下に述べる。 （１）（ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b）が優れた耐摩耗性
を発揮するには、金属元素の成分組成ＡｌaＴｉ1-aにお
いてａの値は０．２５≦ａ≦０．７５という条件を満足
することが必要である。ａの値が０．２５未満では十分
な耐酸化性の向上効果を得ることができない。またａの
値が０．７５を超えると皮膜の結晶構造が立方晶から六
方晶へ変化してしまい、皮膜硬さが低下して十分な耐摩
耗性が得られない。なお、ａの下限値としては０．４５
が好ましく、０．５６以上であることがより望ましい。
ａの上限値としては０．７０が好ましく、０．６５以下
であることがより望ましい。
各成分範囲を夫々設定した理由について以下に述べる。 （１）（ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b）が優れた耐摩耗性
を発揮するには、金属元素の成分組成ＡｌaＴｉ1-aにお
いてａの値は０．２５≦ａ≦０．７５という条件を満足
することが必要である。ａの値が０．２５未満では十分
な耐酸化性の向上効果を得ることができない。またａの
値が０．７５を超えると皮膜の結晶構造が立方晶から六
方晶へ変化してしまい、皮膜硬さが低下して十分な耐摩
耗性が得られない。なお、ａの下限値としては０．４５
が好ましく、０．５６以上であることがより望ましい。
ａの上限値としては０．７０が好ましく、０．６５以下
であることがより望ましい。
【００２０】また本発明に係る硬質皮膜の第１層は、上
記金属元素の窒化物であっても炭・窒化物であっても優
れた耐摩耗性を発揮する。但し、Ｃb Ｎ1-b においてｂ
の値が０．４を超えると皮膜の耐酸化性が低下してしま
うので、０≦ｂ≦０．４を満足することが好ましい。
尚、ｂの値が０．２以下であると耐酸化性がより良好と
なる。
記金属元素の窒化物であっても炭・窒化物であっても優
れた耐摩耗性を発揮する。但し、Ｃb Ｎ1-b においてｂ
の値が０．４を超えると皮膜の耐酸化性が低下してしま
うので、０≦ｂ≦０．４を満足することが好ましい。
尚、ｂの値が０．２以下であると耐酸化性がより良好と
なる。
【００２１】（２）（ＡｌcＴｉ1-c）（BdＮ1-d）が優
れた耐摩耗性を発揮するには、金属元素の成分組成Ａｌ
cＴｉ1-cにおいてｃの値は０．０５≦ｃ≦０．７５とい
う条件を満足することが必要である。ｃの値が０．０５
未満では十分な耐酸化性の向上効果を得ることができな
い。またｃの値が０．７５を超えると皮膜の結晶構造が
立方晶から六方晶へ変化してしまい、皮膜硬さが低下し
て十分な耐摩耗性が得られない。なお、ｃの下限値とし
ては０．２５が好ましく、０．５０以上であることがよ
り望ましい。ｃの上限値としては０．７０が好ましく、
０．６５以下であることがより望ましい。
れた耐摩耗性を発揮するには、金属元素の成分組成Ａｌ
cＴｉ1-cにおいてｃの値は０．０５≦ｃ≦０．７５とい
う条件を満足することが必要である。ｃの値が０．０５
未満では十分な耐酸化性の向上効果を得ることができな
い。またｃの値が０．７５を超えると皮膜の結晶構造が
立方晶から六方晶へ変化してしまい、皮膜硬さが低下し
て十分な耐摩耗性が得られない。なお、ｃの下限値とし
ては０．２５が好ましく、０．５０以上であることがよ
り望ましい。ｃの上限値としては０．７０が好ましく、
０．６５以下であることがより望ましい。
【００２２】また本発明に係る硬質皮膜の第１層は、上
記金属元素の硼・窒化物であっても優れた耐摩耗性を発
揮する。特にＢb Ｎ1-b で０．０２≦ｂ≦０．１２を満
足することが好ましく、ｄの値が０．０２未満の場合は
硼素添加による硬度向上効果が十分に発揮されず、一方
ｄの値が０．１２を超えるとＮａＣｌ構造からなる結晶
構造の一部が非晶質となり、かえって硬度が低下してし
まい望ましくない。尚、ｄのより好ましい下限値は０．
０３であり、より好ましい上限値は０．０８である。
記金属元素の硼・窒化物であっても優れた耐摩耗性を発
揮する。特にＢb Ｎ1-b で０．０２≦ｂ≦０．１２を満
足することが好ましく、ｄの値が０．０２未満の場合は
硼素添加による硬度向上効果が十分に発揮されず、一方
ｄの値が０．１２を超えるとＮａＣｌ構造からなる結晶
構造の一部が非晶質となり、かえって硬度が低下してし
まい望ましくない。尚、ｄのより好ましい下限値は０．
０３であり、より好ましい上限値は０．０８である。
【００２３】（３）（ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉy）（ＣzＮ
1-z）が優れた耐摩耗性を発揮するには、金属元素の成
分組成ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉyにおいてｘ，ｙの値は夫々
０．０５≦ｘ≦０．７５，０．０１≦ｙ≦０．１という
条件を満足することが必要である。ｘの値が０．０５未
満であるか、またはｙの値が０．０１未満では十分な耐
酸化性の向上効果を得ることができない。またｘの値が
０．７５を超えるか、またはｙの値が０．１を超えると
皮膜の結晶構造が立方晶から六方晶へ変化してしまい、
皮膜硬さが低下して十分な耐摩耗性が得られない。な
お、ｘの下限値としては０．２５が好ましく、０．５６
以上であることがより望ましい。ｘの上限値としては
０．７が好ましい。ｙの好ましい下限値は０．０２であ
り、一方ｙの上限値としては０．０８が好ましく、０．
０５以下であることがより望ましい。
1-z）が優れた耐摩耗性を発揮するには、金属元素の成
分組成ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉyにおいてｘ，ｙの値は夫々
０．０５≦ｘ≦０．７５，０．０１≦ｙ≦０．１という
条件を満足することが必要である。ｘの値が０．０５未
満であるか、またはｙの値が０．０１未満では十分な耐
酸化性の向上効果を得ることができない。またｘの値が
０．７５を超えるか、またはｙの値が０．１を超えると
皮膜の結晶構造が立方晶から六方晶へ変化してしまい、
皮膜硬さが低下して十分な耐摩耗性が得られない。な
お、ｘの下限値としては０．２５が好ましく、０．５６
以上であることがより望ましい。ｘの上限値としては
０．７が好ましい。ｙの好ましい下限値は０．０２であ
り、一方ｙの上限値としては０．０８が好ましく、０．
０５以下であることがより望ましい。
【００２４】また本発明に係る硬質皮膜の第１層は、上
記金属元素の窒化物であっても炭・窒化物であっても優
れた耐摩耗性を発揮する。但し、Ｃz Ｎ1-z においてｚ
の値が０．４を超えると皮膜の耐酸化性が低下してしま
うので、０≦ｚ≦０．４を満足することが望ましい。
尚、ｚの値が０．２以下であると耐酸化性がより良好と
なる。
記金属元素の窒化物であっても炭・窒化物であっても優
れた耐摩耗性を発揮する。但し、Ｃz Ｎ1-z においてｚ
の値が０．４を超えると皮膜の耐酸化性が低下してしま
うので、０≦ｚ≦０．４を満足することが望ましい。
尚、ｚの値が０．２以下であると耐酸化性がより良好と
なる。
【００２５】次に本発明に係る硬質皮膜の厚さとして
は、第１層および第２層共に、０．１μｍ以上２０μｍ
以下であることが望まれる。０．１μｍ未満であると耐
摩耗性が十分発揮できず、一方２０μｍを超えると衝撃
力によって硬質皮膜にクラックが入ることがあるからで
ある。
は、第１層および第２層共に、０．１μｍ以上２０μｍ
以下であることが望まれる。０．１μｍ未満であると耐
摩耗性が十分発揮できず、一方２０μｍを超えると衝撃
力によって硬質皮膜にクラックが入ることがあるからで
ある。
【００２６】なお、本発明に係る硬質皮膜を切削工具に
被覆する場合には、工具基材本来の切れ刃の特性を生か
しつつ、同時に硬質皮膜の優れた耐摩耗性を発揮させる
ことが望まれる。このような観点から本発明に係る硬質
皮膜の厚さは、第１層および第２層共に、１μｍ以上と
することが好ましく、２μｍ以上がより好ましい。また
上限については１２μｍ以下とすることが好ましく、８
μｍ以下がより望ましい。
被覆する場合には、工具基材本来の切れ刃の特性を生か
しつつ、同時に硬質皮膜の優れた耐摩耗性を発揮させる
ことが望まれる。このような観点から本発明に係る硬質
皮膜の厚さは、第１層および第２層共に、１μｍ以上と
することが好ましく、２μｍ以上がより好ましい。また
上限については１２μｍ以下とすることが好ましく、８
μｍ以下がより望ましい。
【００２７】また、本発明は硬質皮膜を被覆する基材の
材質を限定するものではないが、基材表面に密着性よく
被覆して優れた耐摩耗性を発揮させるためには、超硬合
金，高速度工具鋼，ダイス鋼，サーメットまたはセラミ
ック等の硬質物質が適している。
材質を限定するものではないが、基材表面に密着性よく
被覆して優れた耐摩耗性を発揮させるためには、超硬合
金，高速度工具鋼，ダイス鋼，サーメットまたはセラミ
ック等の硬質物質が適している。
【００２８】尚、本発明に係る硬質皮膜を基材表面に被
覆するにあたって、まず第１層の形成方法としては、イ
オンプレーティング法やスパッタリング法等に代表され
るＰＶＤ法が挙げられるが、例えばアーク放電式イオン
プレーティング法を採用する場合には以下に例示する方
法を用いればよい。即ち、アーク放電により蒸発源であ
るカソードから金属成分（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）をイオン
化させ、Ｎ2 雰囲気および／またはＣＨ4 雰囲気中でイ
オンプレーティングすることによって窒化物および／ま
たは炭化物を基材上に形成することができる。硼化物を
形成する場合には、上記金属成分にＢを加えたターゲッ
トを用いればよい。更に、目的とする皮膜組成と同一の
金属組成（必要によりＢを含む）のターゲットを用いれ
ば、組成のずれを生じることが少なく安定した組成の皮
膜を得ることが容易となる。また基材にバイアス電位を
印加しながらイオンプレーティングを行えば、皮膜の密
着性を一段と高めることができるので好ましい。
覆するにあたって、まず第１層の形成方法としては、イ
オンプレーティング法やスパッタリング法等に代表され
るＰＶＤ法が挙げられるが、例えばアーク放電式イオン
プレーティング法を採用する場合には以下に例示する方
法を用いればよい。即ち、アーク放電により蒸発源であ
るカソードから金属成分（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）をイオン
化させ、Ｎ2 雰囲気および／またはＣＨ4 雰囲気中でイ
オンプレーティングすることによって窒化物および／ま
たは炭化物を基材上に形成することができる。硼化物を
形成する場合には、上記金属成分にＢを加えたターゲッ
トを用いればよい。更に、目的とする皮膜組成と同一の
金属組成（必要によりＢを含む）のターゲットを用いれ
ば、組成のずれを生じることが少なく安定した組成の皮
膜を得ることが容易となる。また基材にバイアス電位を
印加しながらイオンプレーティングを行えば、皮膜の密
着性を一段と高めることができるので好ましい。
【００２９】さらに本発明はイオンプレーティング時の
ガス圧も特に限定するものではないが、１×１０-3〜５
×１０-2Ｔｏｒｒ程度が好ましく、ガス圧をこの範囲内
に設定すれば耐摩耗性の一段と優れた高結晶性の緻密な
硬質皮膜が得られ易い。
ガス圧も特に限定するものではないが、１×１０-3〜５
×１０-2Ｔｏｒｒ程度が好ましく、ガス圧をこの範囲内
に設定すれば耐摩耗性の一段と優れた高結晶性の緻密な
硬質皮膜が得られ易い。
【００３０】また本発明はＡｌＢＮ皮膜を形成する方法
を限定するものでもなく、前述のイオンプレーティング
法やイオンアシストデポジション法等を用いればよい。
イオンプレーティング法を採用する場合には、Ａｌおよ
びＢの混合ターゲットを用い、イオン化させたＡｌおよ
びＢをＮ2 雰囲気中で反応させることによって基材上に
ＡｌＢＮ皮膜を形成することができる。またイオンアシ
ストデポジション法を採用する場合には、別々の坩堝に
入れたＡｌおよびＢに電子ビームを同時に照射してＡｌ
およびＢを蒸発させ窒素イオンを反応させることによ
り、基材上にＡｌＢＮを被覆することができる。このと
き、基材にバイアス電位を印加すると、皮膜の密着性を
一段と高めることができるので好ましい。
を限定するものでもなく、前述のイオンプレーティング
法やイオンアシストデポジション法等を用いればよい。
イオンプレーティング法を採用する場合には、Ａｌおよ
びＢの混合ターゲットを用い、イオン化させたＡｌおよ
びＢをＮ2 雰囲気中で反応させることによって基材上に
ＡｌＢＮ皮膜を形成することができる。またイオンアシ
ストデポジション法を採用する場合には、別々の坩堝に
入れたＡｌおよびＢに電子ビームを同時に照射してＡｌ
およびＢを蒸発させ窒素イオンを反応させることによ
り、基材上にＡｌＢＮを被覆することができる。このと
き、基材にバイアス電位を印加すると、皮膜の密着性を
一段と高めることができるので好ましい。
【００３１】以下実施例について説明するが、本発明は
下記の実施例に限定されるものではなく、前・後記の趣
旨に徴して適宜変更することは本発明の技術的範囲に含
まれる。
下記の実施例に限定されるものではなく、前・後記の趣
旨に徴して適宜変更することは本発明の技術的範囲に含
まれる。
【００３２】
【実施例】実施例１
まず、寸法１０ｍｍ×２５ｍｍの白金箔からなる基材を
イオンプレーティング装置に装着し、以下の方法により
第１層を形成した。上記基材を４００℃に加熱した後、
第１層を構成する元素のうちＮ以外の元素を組成成分と
するカソードを蒸発させると共に、反応ガスとしてＮ2
ガスを導入して、７×１０-3Ｔｏｒｒの雰囲気とし、且
つ上記基材に−１５０Ｖの電位を印加することによって
表１に示す種々の組成の第１層皮膜を５μｍ被覆した試
験片を製作した。なお、皮膜の組成は誘導結合型アルゴ
ンプラズマ発光分析法およびオージェ電子分光法により
確認した。
イオンプレーティング装置に装着し、以下の方法により
第１層を形成した。上記基材を４００℃に加熱した後、
第１層を構成する元素のうちＮ以外の元素を組成成分と
するカソードを蒸発させると共に、反応ガスとしてＮ2
ガスを導入して、７×１０-3Ｔｏｒｒの雰囲気とし、且
つ上記基材に−１５０Ｖの電位を印加することによって
表１に示す種々の組成の第１層皮膜を５μｍ被覆した試
験片を製作した。なお、皮膜の組成は誘導結合型アルゴ
ンプラズマ発光分析法およびオージェ電子分光法により
確認した。
【００３３】本発明に係る硬質皮膜については、第１層
の皮膜を形成した後、上記イオンプレーティング装置内
の電子ビーム銃を起動し、別々の坩堝に入れたＡｌ及び
Ｂに電子ビームを照射してＡｌ及びＢを蒸発させ、装置
内の真空度が５×１０-4ＴｏｒｒになるようにしてＡｌ
及びＢの蒸気に５００ｅＶの出力で窒素イオンビームを
あて反応させると共に、基材に−１５０Ｖの電位を印加
することによって３μｍの厚さのＡｌＢＮ皮膜を形成し
た。なお、皮膜の組成は電子プルーブＸ線マイクロアナ
リシスおよびオージェ電子分光法により確認した。
の皮膜を形成した後、上記イオンプレーティング装置内
の電子ビーム銃を起動し、別々の坩堝に入れたＡｌ及び
Ｂに電子ビームを照射してＡｌ及びＢを蒸発させ、装置
内の真空度が５×１０-4ＴｏｒｒになるようにしてＡｌ
及びＢの蒸気に５００ｅＶの出力で窒素イオンビームを
あて反応させると共に、基材に−１５０Ｖの電位を印加
することによって３μｍの厚さのＡｌＢＮ皮膜を形成し
た。なお、皮膜の組成は電子プルーブＸ線マイクロアナ
リシスおよびオージェ電子分光法により確認した。
【００３４】この様にして得られた試験片を用いて下記
条件の酸化試験を行ったところ、表１に示す結果を得
た。 （酸化試験の条件） 温度範囲：室温〜１３００℃ 昇温速度：１０°／ｍｉｎ 雰囲気 ：乾燥空気、大気圧 空気流量：１５０ｃｃ／ｍｉｎ
条件の酸化試験を行ったところ、表１に示す結果を得
た。 （酸化試験の条件） 温度範囲：室温〜１３００℃ 昇温速度：１０°／ｍｉｎ 雰囲気 ：乾燥空気、大気圧 空気流量：１５０ｃｃ／ｍｉｎ
【００３５】
【表１】
【００３６】第２層としてＡｌＢＮ膜が形成されていな
い従来例（Ｎｏ．１，５，７）と該従来例の皮膜に第２
層としてＡｌＢＮ膜が形成された実施例（Ｎｏ．３，
６，８）とを夫々比較すると、本発明に係る硬質皮膜は
酸化開始温度が１段と高くなっていることから耐酸化性
が向上していることが分かる。
い従来例（Ｎｏ．１，５，７）と該従来例の皮膜に第２
層としてＡｌＢＮ膜が形成された実施例（Ｎｏ．３，
６，８）とを夫々比較すると、本発明に係る硬質皮膜は
酸化開始温度が１段と高くなっていることから耐酸化性
が向上していることが分かる。
【００３７】Ｎｏ．９は、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，
Ｃ，Ｎ）系皮膜を第１層として形成することなく、Ａｌ
ＢＮ皮膜が形成された比較例である。基材との密着性が
乏しいことからＡｌＢＮ皮膜本来の特性を発揮できず、
酸化開始温度が低い。
Ｃ，Ｎ）系皮膜を第１層として形成することなく、Ａｌ
ＢＮ皮膜が形成された比較例である。基材との密着性が
乏しいことからＡｌＢＮ皮膜本来の特性を発揮できず、
酸化開始温度が低い。
【００３８】Ｎｏ．１０は、第１層の（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ
に、ＢＮを第２層として形成した従来例であり、第２層
の密着性が不十分であり本発明に係る硬質皮膜に比べる
と耐酸化性に劣ることが分かる。
に、ＢＮを第２層として形成した従来例であり、第２層
の密着性が不十分であり本発明に係る硬質皮膜に比べる
と耐酸化性に劣ることが分かる。
【００３９】実施例２
基材として超硬チップを用い、皮膜の厚みを各々１０μ
ｍにする以外は、実施例１と同じ方法で試験片を製作し
た。これらの皮膜のマイクロビッカース硬さを荷重１０
０ｇで測定したところ、前記表１に併記する結果が得ら
れた。
ｍにする以外は、実施例１と同じ方法で試験片を製作し
た。これらの皮膜のマイクロビッカース硬さを荷重１０
０ｇで測定したところ、前記表１に併記する結果が得ら
れた。
【００４０】表１から明らかな様に、従来例（Ｎｏ．
１，５，７）と該従来例の皮膜に第２層としてＡｌＢＮ
膜が形成された実施例（Ｎｏ．３，６，８）とを夫々比
較すると、本発明に係る硬質皮膜はマイクロビッカース
硬さが１０００以上も高くなっていることから硬度が著
しく高くなっていることが分かる。
１，５，７）と該従来例の皮膜に第２層としてＡｌＢＮ
膜が形成された実施例（Ｎｏ．３，６，８）とを夫々比
較すると、本発明に係る硬質皮膜はマイクロビッカース
硬さが１０００以上も高くなっていることから硬度が著
しく高くなっていることが分かる。
【００４１】Ｎｏ．９は、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）（Ｂ，
Ｃ，Ｎ）系皮膜を第１層として形成することなく、Ａｌ
ＢＮ皮膜が形成された比較例である。基材との密着性が
乏しいことからＡｌＢＮ皮膜本来の特性を発揮できず、
マイクロビッカース硬さが低い。
Ｃ，Ｎ）系皮膜を第１層として形成することなく、Ａｌ
ＢＮ皮膜が形成された比較例である。基材との密着性が
乏しいことからＡｌＢＮ皮膜本来の特性を発揮できず、
マイクロビッカース硬さが低い。
【００４２】Ｎｏ．１０は、第１層の（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ
に、ＢＮを第２層として形成した従来例であり、第２層
の密着性が不十分であり本発明に係る硬質皮膜に比べる
と硬度が低いことが分かる。
に、ＢＮを第２層として形成した従来例であり、第２層
の密着性が不十分であり本発明に係る硬質皮膜に比べる
と硬度が低いことが分かる。
【００４３】実施例３
超硬合金を基材として用いて、外径１０ｍｍの２枚刃エ
ンドミルを製作し、夫々のエンドミルの刃部表面に基材
と皮膜厚さ以外は実施例１と同じ方法で表２に示す硬質
皮膜を形成した。この場合、皮膜厚さは第１層および第
２層を形成する場合は夫々４μｍおよび２μｍとし、第
１層または第２層のみ形成する場合は６μｍとした。
ンドミルを製作し、夫々のエンドミルの刃部表面に基材
と皮膜厚さ以外は実施例１と同じ方法で表２に示す硬質
皮膜を形成した。この場合、皮膜厚さは第１層および第
２層を形成する場合は夫々４μｍおよび２μｍとし、第
１層または第２層のみ形成する場合は６μｍとした。
【００４４】得られた表面被覆エンドミルを用いて、下
記の条件により切削試験を行ないエンドミル切れ刃逃げ
面の摩耗量を測定したところ、表２に併記する結果を得
た。 （切削条件） 切削方法：側面切削ダウンカット 被削材 ：ＳＫＤ１１（硬さＨＢ２１９） 切込み ：Ｒｄ １ｍｍ×Ａｄ １０ｍｍ 切削速度：６０ｍ／ｍｉｎ 送り ：０．０７ｍｍ／ｔｏｏｔｈ（２７０ｍｍ／ｍ
ｉｎ） 切削油 ：エアーブロー 切削長 ：５０ｍ
記の条件により切削試験を行ないエンドミル切れ刃逃げ
面の摩耗量を測定したところ、表２に併記する結果を得
た。 （切削条件） 切削方法：側面切削ダウンカット 被削材 ：ＳＫＤ１１（硬さＨＢ２１９） 切込み ：Ｒｄ １ｍｍ×Ａｄ １０ｍｍ 切削速度：６０ｍ／ｍｉｎ 送り ：０．０７ｍｍ／ｔｏｏｔｈ（２７０ｍｍ／ｍ
ｉｎ） 切削油 ：エアーブロー 切削長 ：５０ｍ
【００４５】
【表２】
【００４６】表２からも明らかな様に、本発明に係る硬
質皮膜被覆エンドミル（Ｎｏ．２，３，４，６，８）
は、従来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎ
ｏ．９）と比べて逃げ面摩耗量が小さく耐摩耗性に優れ
ていることが分かる。
質皮膜被覆エンドミル（Ｎｏ．２，３，４，６，８）
は、従来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎ
ｏ．９）と比べて逃げ面摩耗量が小さく耐摩耗性に優れ
ていることが分かる。
【００４７】実施例４
基材としてＪＩＳ規格ＳＫＨ５１相当の高速度鋼を用い
て、外径１０ｍｍのＪＩＳ規格ドリルを製作し、これら
を基材として用いる以外は実施例３と同じ方法で、夫々
のドリル刃部表面に表３に示す硬質皮膜を形成した。
て、外径１０ｍｍのＪＩＳ規格ドリルを製作し、これら
を基材として用いる以外は実施例３と同じ方法で、夫々
のドリル刃部表面に表３に示す硬質皮膜を形成した。
【００４８】得られた表面被覆ドリルを用いて、下記の
条件により切削試験を行ない切削寿命を調べたところ、
表３に併記する結果を得た。 （切削条件） 切削方法：穴あけ加工、各５本切削 被削材 ：Ｓ５５Ｃ（硬さＨＢ２２０） 切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ 送り ：０．２ｍｍ／ｒｅｖ 切削長さ：２５ｍｍ（貫通穴） 切削油 ：水溶性エマルジョン型切削油
条件により切削試験を行ない切削寿命を調べたところ、
表３に併記する結果を得た。 （切削条件） 切削方法：穴あけ加工、各５本切削 被削材 ：Ｓ５５Ｃ（硬さＨＢ２２０） 切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ 送り ：０．２ｍｍ／ｒｅｖ 切削長さ：２５ｍｍ（貫通穴） 切削油 ：水溶性エマルジョン型切削油
【００４９】
【表３】
【００５０】表３からも明らかな様に、本発明に係る硬
質皮膜被覆ドリル（Ｎｏ．２，３，４，６，８）は、従
来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎｏ．９）
と比べて平均穴あけ個数が多く切削寿命が長いことが分
かる。
質皮膜被覆ドリル（Ｎｏ．２，３，４，６，８）は、従
来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎｏ．９）
と比べて平均穴あけ個数が多く切削寿命が長いことが分
かる。
【００５１】実施例５
ＪＩＳ規格ＳＫＤ６１相当の金型材を用いて、寸法４０
×２０×５ｍｍの基材を製作し、第１層および第２層の
合計の皮膜厚さを１０μｍとする以外は実施例４と同じ
方法で表４に示す硬質皮膜を形成して試験片とした。
×２０×５ｍｍの基材を製作し、第１層および第２層の
合計の皮膜厚さを１０μｍとする以外は実施例４と同じ
方法で表４に示す硬質皮膜を形成して試験片とした。
【００５２】得られた試験片を用いて、下記の条件で熱
サイクル試験を行ない耐久性を調査したところ、表４に
併記する結果を得た。 （熱サイクル試験条件） 高温槽温度、保持時間：８００℃、１５０秒 低温槽温度、保持時間：水冷、１０秒
サイクル試験を行ない耐久性を調査したところ、表４に
併記する結果を得た。 （熱サイクル試験条件） 高温槽温度、保持時間：８００℃、１５０秒 低温槽温度、保持時間：水冷、１０秒
【００５３】
【表４】
【００５４】表４からも明らかな様に、本発明に係る硬
質皮膜を被覆した試験片（Ｎｏ．３，５，７）は、従来
例（Ｎｏ．１，２，４，６）と比べてクラック発生まで
のサイクル数が大きく改善されており、優れた耐熱サイ
クル性を示している。
質皮膜を被覆した試験片（Ｎｏ．３，５，７）は、従来
例（Ｎｏ．１，２，４，６）と比べてクラック発生まで
のサイクル数が大きく改善されており、優れた耐熱サイ
クル性を示している。
【００５５】実施例６
超硬チップを基材として用いて、基材が異なること以外
は実施例３と同じ方法で夫々のチップの刃部表面に表５
に示す硬質皮膜を形成した。得られた表面被覆チップを
用いて、下記の条件により切削試験を行ないチップ切れ
刃逃げ面の摩耗量を測定したところ、表５に併記する結
果を得た。 （切削条件） 被削材 ：Ｓ４５Ｃ 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ 送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ：２ｍｍ 切削油 ：乾式 切削時間：４０ｍｉｎ
は実施例３と同じ方法で夫々のチップの刃部表面に表５
に示す硬質皮膜を形成した。得られた表面被覆チップを
用いて、下記の条件により切削試験を行ないチップ切れ
刃逃げ面の摩耗量を測定したところ、表５に併記する結
果を得た。 （切削条件） 被削材 ：Ｓ４５Ｃ 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ 送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ：２ｍｍ 切削油 ：乾式 切削時間：４０ｍｉｎ
【００５６】
【表５】
【００５７】表５からも明らかな様に、本発明に係る硬
質皮膜被覆チップ（Ｎｏ．２，３，４，６，８）は、従
来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎｏ．９）
と比べて逃げ面摩耗量が小さく耐摩耗性が優れているこ
とが分かる。
質皮膜被覆チップ（Ｎｏ．２，３，４，６，８）は、従
来例（Ｎｏ．１，５，７，１０）や比較例（Ｎｏ．９）
と比べて逃げ面摩耗量が小さく耐摩耗性が優れているこ
とが分かる。
【００５８】実施例７
切削工具などに被覆された硬質皮膜は種々の要因により
摩耗するが、被削材との反応によっても摩耗が起こり、
特にチップ等のすくい面では被削材との反応に起因して
クレータ摩耗が加速される場合がある。
摩耗するが、被削材との反応によっても摩耗が起こり、
特にチップ等のすくい面では被削材との反応に起因して
クレータ摩耗が加速される場合がある。
【００５９】そこで超硬合金を基材として用いる以外は
実施例１と同様な方法で表６に示す硬質皮膜で被覆され
た試験片を製作し、被削材として多用されている鋼材を
高温・高圧で上記試験片に押しつけることにより硬質皮
膜の耐反応性を調べた。尚、耐反応性の評価は、前記硬
質皮膜と上記鋼材との間に形成される反応層の有無を確
認することによって行った。押しつけ条件は以下に示
し、結果は表６に併記する。 （押しつけ条件） 押しつけ材 ：Ｓ５５Ｃ（硬さＨＢ２２０） 押しつけ面積 ：０．２５ｃｍ2 押しつけ荷重 ：５００ｋｇｆ 温度 ：８００℃
実施例１と同様な方法で表６に示す硬質皮膜で被覆され
た試験片を製作し、被削材として多用されている鋼材を
高温・高圧で上記試験片に押しつけることにより硬質皮
膜の耐反応性を調べた。尚、耐反応性の評価は、前記硬
質皮膜と上記鋼材との間に形成される反応層の有無を確
認することによって行った。押しつけ条件は以下に示
し、結果は表６に併記する。 （押しつけ条件） 押しつけ材 ：Ｓ５５Ｃ（硬さＨＢ２２０） 押しつけ面積 ：０．２５ｃｍ2 押しつけ荷重 ：５００ｋｇｆ 温度 ：８００℃
【００６０】
【表６】
【００６１】表６から明らかな様に、高温・高圧におい
て従来例（Ｎｏ．１）や比較例（Ｎｏ．３）では反応層
が生じたり、割れが発生するのに対して、本発明に係る
硬質皮膜（Ｎｏ．２，４，５）は非常に安定で、反応層
を形成しない。従って、本発明による硬質皮膜は被削材
に対する耐反応性に優れており、高速切削や難削材を切
削する際においても安定した耐摩耗性が発揮できること
が分かる。
て従来例（Ｎｏ．１）や比較例（Ｎｏ．３）では反応層
が生じたり、割れが発生するのに対して、本発明に係る
硬質皮膜（Ｎｏ．２，４，５）は非常に安定で、反応層
を形成しない。従って、本発明による硬質皮膜は被削材
に対する耐反応性に優れており、高速切削や難削材を切
削する際においても安定した耐摩耗性が発揮できること
が分かる。
【００６２】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、これまでに開発してきた硬質皮膜の優れた特性を生
かしつつ、一段と優れた耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を
提供することが可能となり、更には高い耐摩耗性が要求
される部材に上記硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆部材
が提供できることとなった。
で、これまでに開発してきた硬質皮膜の優れた特性を生
かしつつ、一段と優れた耐摩耗性を発揮する硬質皮膜を
提供することが可能となり、更には高い耐摩耗性が要求
される部材に上記硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆部材
が提供できることとなった。
フロントページの続き
(72)発明者 池田 孜
兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番
１ 株式会社神戸製鋼所 明石工場内
(72)発明者 山田 保之
兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番
１ 株式会社神戸製鋼所 明石工場内
(72)発明者 田中 裕介
兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番
１ 株式会社神戸製鋼所 明石工場内
(72)発明者 和田 恭典
兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番
１ 株式会社神戸製鋼所 明石工場内
(72)発明者 大西 泰司
兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番
１ 株式会社神戸製鋼所 明石工場内
(56)参考文献 特開 平７−315998（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 14/00 - 16/56
B23B 27/00
B23P 15/28
Claims (7)
- 【請求項１】 基材表面に形成される硬質皮膜であっ
て、第１層および第２層を有し、 上記第１層は基材側に形成されて、Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉよ
りなる群から少なくともＴｉを含んで選択される１種以
上の金属元素と、Ｂ，Ｃ，Ｎよりなる群から選ばれる１
種以上の非金属元素との化合物からなり、 前記第２層は表面側に積層されたＡｌＢＮであることを
特徴とする耐摩耗性に優れた硬質皮膜。 - 【請求項２】 前記第１層が、 （ＡｌaＴｉ1-a）（ＣbＮ1-b） 但し、０．２５≦ａ≦０．７５ ０≦ｂ≦０．４ で示される化学組成からなる請求項１に記載の硬質皮
膜。 - 【請求項３】 前記第１層が、 （ＡｌcＴｉ1-c）（BdＮ1-d） 但し、０．０５≦ｃ≦０．７５ ０．０２≦ｄ≦０．１２ で示される化学組成からなる請求項１に記載の硬質皮
膜。 - 【請求項４】 前記第１層が、 （ＡｌxＴｉ1-x-yＳｉy）（ＣzＮ1-z） 但し、０．０５≦ｘ≦０．７５ ０．０１≦ｙ≦０．１ ０≦ｚ≦０．４ で示される化学組成からなる請求項１に記載の硬質皮
膜。 - 【請求項５】 前記第１層の厚さが、０．１〜２０μm
である請求項１〜４のいずれかに記載の硬質皮膜。 - 【請求項６】 前記第２層の厚さが、０．１〜２０μm
である請求項１〜５のいずれかに記載の硬質皮膜。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載の硬質皮
膜を、基材表面に形成してなることを特徴とする耐摩耗
性に優れた硬質皮膜被覆部材。
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|---|---|---|---|
| JP31100494A JP3488526B2 (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 |
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| JP31100494A JP3488526B2 (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 |
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| US6607782B1 (en) * | 2000-06-29 | 2003-08-19 | Board Of Trustees Of The University Of Arkansas | Methods of making and using cubic boron nitride composition, coating and articles made therefrom |
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| ATE343659T1 (de) * | 2000-12-28 | 2006-11-15 | Kobe Steel Ltd | Hartstoffschicht für schneidwerkzeuge |
| US6988858B2 (en) * | 2001-02-28 | 2006-01-24 | Kennametal Inc. | Oxidation-resistant cutting assembly |
| US20040008950A1 (en) * | 2001-03-20 | 2004-01-15 | Daiichi Kasei Co., Ltd. | Resin ferrule for use in optical fiber connector and molding die therefor |
| DE10120046B4 (de) * | 2001-04-24 | 2009-10-29 | Widia Gmbh | Schneideinsatz zur Bearbeitung von schwer zerspanbaren Metalllegierungswerkstücken und Verfahren zu dessen Herstellung |
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| JP3996809B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2007-10-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆切削工具 |
| US6858333B2 (en) * | 2002-10-09 | 2005-02-22 | Kennametal Inc. | Tool with wear resistant low friction coating and method of making the same |
| JP3853757B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2006-12-06 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用硬質皮膜 |
| US6871613B2 (en) * | 2003-06-06 | 2005-03-29 | Schulmerich Carillons, Inc. | Tarnish-resistant handbell and its method of manufacture |
| US7131365B2 (en) * | 2003-09-16 | 2006-11-07 | Irwin Industrial Tool Company | Multi-chip facet cutting saw blade and related method |
| KR100600573B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2006-07-13 | 한국야금 주식회사 | 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재 |
| AT7941U1 (de) | 2004-12-02 | 2005-11-15 | Ceratizit Austria Gmbh | Werkzeug zur spanabhebenden bearbeitung |
| SE529223C2 (sv) * | 2005-05-06 | 2007-06-05 | Seco Tools Ab | Belagt skärverktyg innefattande hexagonal h-(Mel,Me2)Xfas |
| EP2256229A1 (de) * | 2005-11-04 | 2010-12-01 | Sulzer Metaplas GmbH | Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem |
| JP4985919B2 (ja) | 2005-12-22 | 2012-07-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
| US20070172659A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-07-26 | Shao Richard L | Anti-oxidation coating for carbon composites |
| JP5005262B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2012-08-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工できわめて優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
| JP4699978B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2011-06-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆材 |
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| US20120003425A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | Kennametal Inc. | TiAIN COATINGS FOR GLASS MOLDING DIES AND TOOLING |
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| EP3047048B8 (en) | 2013-09-18 | 2021-04-14 | Raytheon Technologies Corporation | Article having coating including compound of aluminum, boron and nitrogen |
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|---|---|---|---|---|
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- 1994-12-14 JP JP31100494A patent/JP3488526B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1995
- 1995-11-21 TW TW084112365A patent/TW306936B/zh not_active IP Right Cessation
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-
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- 1997-03-17 US US08/819,489 patent/US5882778A/en not_active Expired - Lifetime
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