JP3460287B2 - 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 - Google Patents
耐摩耗性に優れた表面被覆部材Info
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- JP3460287B2 JP3460287B2 JP00509994A JP509994A JP3460287B2 JP 3460287 B2 JP3460287 B2 JP 3460287B2 JP 00509994 A JP00509994 A JP 00509994A JP 509994 A JP509994 A JP 509994A JP 3460287 B2 JP3460287 B2 JP 3460287B2
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- Japan
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- cutting
- hard coating
- tool
- base material
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックス等を母材とし、その母材の表面に
特定の硬質物質を被覆することにより、母材の耐欠損性
を維持しながら耐摩耗性を向上させた表面被覆部材に関
する。なお、この部材の代表的な用途としては切削工具
や耐摩工具が挙げられる。
メット、セラミックス等を母材とし、その母材の表面に
特定の硬質物質を被覆することにより、母材の耐欠損性
を維持しながら耐摩耗性を向上させた表面被覆部材に関
する。なお、この部材の代表的な用途としては切削工具
や耐摩工具が挙げられる。
【０００２】
【従来の技術】切削工具、耐摩工具の耐摩耗性を向上さ
せるため、これ等の工具の母材表面にＰＶＤ法やＣＶＤ
法によりＴｉ、Ｈｆ、Ｚｒの炭化物、窒化物、炭窒化物
やＡｌの酸化物から成る単層又は複層の被覆膜を設ける
ことは既に一般化している。この硬質被膜をもつ表面被
覆部材の中でも特に、硬質被膜をＰＶＤ法で形成するも
のは、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上できるとい
う特長があり、ドリル、エンドミル、フライス切削用ス
ローアウェイチップなど強度の要求される切削用途に適
応されている。
せるため、これ等の工具の母材表面にＰＶＤ法やＣＶＤ
法によりＴｉ、Ｈｆ、Ｚｒの炭化物、窒化物、炭窒化物
やＡｌの酸化物から成る単層又は複層の被覆膜を設ける
ことは既に一般化している。この硬質被膜をもつ表面被
覆部材の中でも特に、硬質被膜をＰＶＤ法で形成するも
のは、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上できるとい
う特長があり、ドリル、エンドミル、フライス切削用ス
ローアウェイチップなど強度の要求される切削用途に適
応されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】Ａｌの酸化物被膜は、
耐摩耗性に関して非常に好ましいものであるが、ＰＶＤ
法ではこのＡｌの酸化膜を安定して被覆するのが難し
く、母材強度の面からＰＶＤ法を用いる部材については
このＡｌの酸化被膜は実用化に至っていない。
耐摩耗性に関して非常に好ましいものであるが、ＰＶＤ
法ではこのＡｌの酸化膜を安定して被覆するのが難し
く、母材強度の面からＰＶＤ法を用いる部材については
このＡｌの酸化被膜は実用化に至っていない。
【０００４】現在実用化されているものは、Ｔｉ、Ｈ
ｆ、Ｚｒ等の窒化物の被膜である。ところが、この種の
被膜は、特に、高速切削用途での耐摩性が不足し、早期
に寿命に至っている。
ｆ、Ｚｒ等の窒化物の被膜である。ところが、この種の
被膜は、特に、高速切削用途での耐摩性が不足し、早期
に寿命に至っている。
【０００５】そこで、本発明は、ＰＶＤ法での形成が可
能であり、しかも耐摩耗性が従来のＰＶＤ法による被膜
に比べて格段に優れている被膜をもった表面被覆部材を
提供しようとするものである。
能であり、しかも耐摩耗性が従来のＰＶＤ法による被膜
に比べて格段に優れている被膜をもった表面被覆部材を
提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明においては、母材表面に設ける硬質被膜を、
IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素或いはＡｌ、Ｓｉの窒化
物、酸化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化物の中から選ん
だ１つ以上の化合物と、IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素お
よびＡｌ、Ｓｉのうちの２種の金属元素の合金の窒化
物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び／若しくはホウ化物
を積層周期０．４ｎｍ〜５０ｎｍで積層し、全体の膜厚
を０．５〜１０μｍとした構造の膜となしたのである。
め、本発明においては、母材表面に設ける硬質被膜を、
IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素或いはＡｌ、Ｓｉの窒化
物、酸化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化物の中から選ん
だ１つ以上の化合物と、IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素お
よびＡｌ、Ｓｉのうちの２種の金属元素の合金の窒化
物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び／若しくはホウ化物
を積層周期０．４ｎｍ〜５０ｎｍで積層し、全体の膜厚
を０．５〜１０μｍとした構造の膜となしたのである。
【０００７】この表面被覆部材を切削工具や耐摩工具と
して利用する場合の母材材料は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックスなどが適している。
して利用する場合の母材材料は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックスなどが適している。
【０００８】また、切削用途、耐摩用途では特に、母材
と硬質被膜との界面及び／若しくは硬質被膜の表面にIV
族金属元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少な
くとも１種から成る中間層や表層膜を配することも有効
なことである。この中間層や表層膜は、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、又はそれ等の積層物が特に好まし
い。
と硬質被膜との界面及び／若しくは硬質被膜の表面にIV
族金属元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少な
くとも１種から成る中間層や表層膜を配することも有効
なことである。この中間層や表層膜は、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、又はそれ等の積層物が特に好まし
い。
【０００９】以下、本発明の構成について更に詳細に述
べる。
べる。
【００１０】IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、
Ｓｉの中から選ばれた２種類以上の金属からなる合金の
窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物の被膜
を形成した表面被覆硬質部材は、優れた切削工具、耐摩
工具となり得ることがこれまでに良く知られているが、
発明者らはこれらの膜の特徴を研究していくうちに以下
のような知見を得るに至った。
Ｓｉの中から選ばれた２種類以上の金属からなる合金の
窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物の被膜
を形成した表面被覆硬質部材は、優れた切削工具、耐摩
工具となり得ることがこれまでに良く知られているが、
発明者らはこれらの膜の特徴を研究していくうちに以下
のような知見を得るに至った。
【００１１】いままでに上記金属の窒化物、炭化物、炭
窒化物及びホウ化物のうち２つ以上の化合物を層厚０．
２〜１０ｎｍで積層すると良好な耐摩耗性を示す硬質膜
が得られることが知られている（特願平４−２７２９４
６）。しかし、このときIVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素お
よびＡｌ、Ｓｉから選んだ金属の窒化物、炭化物、炭窒
化物及びホウ化物のうち２種類を交互に積層した場合、
各々の界面で剥離が起きることがあり、結果的に摩耗が
早くなり実際の使用にあたって問題となることがあっ
た。
窒化物及びホウ化物のうち２つ以上の化合物を層厚０．
２〜１０ｎｍで積層すると良好な耐摩耗性を示す硬質膜
が得られることが知られている（特願平４−２７２９４
６）。しかし、このときIVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素お
よびＡｌ、Ｓｉから選んだ金属の窒化物、炭化物、炭窒
化物及びホウ化物のうち２種類を交互に積層した場合、
各々の界面で剥離が起きることがあり、結果的に摩耗が
早くなり実際の使用にあたって問題となることがあっ
た。
【００１２】そこで片方の化合物を上記金属元素のうち
２つ以上からなる合金の窒化物、炭化物、炭窒化物或い
はホウ化物としたところ、界面の整合性が良くなり、結
果的に優れた耐摩耗性を示す硬質膜を得ることができ
た。
２つ以上からなる合金の窒化物、炭化物、炭窒化物或い
はホウ化物としたところ、界面の整合性が良くなり、結
果的に優れた耐摩耗性を示す硬質膜を得ることができ
た。
【００１３】この硬質膜はいままで知られていた積層膜
よりも高い硬度をもつこともわかった。この理由として
は以下のことがあげられる。
よりも高い硬度をもつこともわかった。この理由として
は以下のことがあげられる。
【００１４】IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、
Ｓｉから選んだ２つ以上の元素から成る合金の窒化物、
炭化物、炭窒化物又はホウ化物は、その硬度がIVａ、Ｖ
ａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉの窒化物、炭化
物、炭窒化物或いはホウ化物よりも増すことが知られて
いる。この硬度の高い合金の窒化物、炭化物、炭窒化物
或いはホウ化物と、IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素および
Ａｌ、Ｓｉから選んだ金属の窒化物、炭化物、炭窒化物
もしくはホウ化物を層厚０．２〜１０ｎｍで積層すると
前者の化合物の特性が生かされ、非合金化合物どうしを
積層した場合よりも硬度が上がるのである。
Ｓｉから選んだ２つ以上の元素から成る合金の窒化物、
炭化物、炭窒化物又はホウ化物は、その硬度がIVａ、Ｖ
ａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉの窒化物、炭化
物、炭窒化物或いはホウ化物よりも増すことが知られて
いる。この硬度の高い合金の窒化物、炭化物、炭窒化物
或いはホウ化物と、IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素および
Ａｌ、Ｓｉから選んだ金属の窒化物、炭化物、炭窒化物
もしくはホウ化物を層厚０．２〜１０ｎｍで積層すると
前者の化合物の特性が生かされ、非合金化合物どうしを
積層した場合よりも硬度が上がるのである。
【００１５】さらにくわえてこの多層膜を形成する際、
硬質被膜と母材の界面または、硬質被膜の最表面にIV族
の金属元素の窒化物、炭窒化物、炭化物、酸化物を形成
しておくと、さらに良好な耐摩耗性を得ることができる
という知見をえた。
硬質被膜と母材の界面または、硬質被膜の最表面にIV族
の金属元素の窒化物、炭窒化物、炭化物、酸化物を形成
しておくと、さらに良好な耐摩耗性を得ることができる
という知見をえた。
【００１６】この硬質膜で被覆された切削工具はとくに
鋼の切削において優れた切削性能を示すが、鋳鉄切削で
も良好な性能を示す。また、この硬質被膜をもつ切削工
具はフライス切削において優れた性能を示すことが多い
が、旋削においても良い性能を示す。さらに、従来の硬
質膜が低送りおよび微小送りにおいて十分な性能を示せ
なかったのに対し、本発明の工具の硬質膜はこれらの膜
に大きな負担がかかる切削においても良好な耐摩耗性を
示す。
鋼の切削において優れた切削性能を示すが、鋳鉄切削で
も良好な性能を示す。また、この硬質被膜をもつ切削工
具はフライス切削において優れた性能を示すことが多い
が、旋削においても良い性能を示す。さらに、従来の硬
質膜が低送りおよび微小送りにおいて十分な性能を示せ
なかったのに対し、本発明の工具の硬質膜はこれらの膜
に大きな負担がかかる切削においても良好な耐摩耗性を
示す。
【００１７】なお、本発明の表面被覆部材を切削工具や
耐摩工具として用いる場合の母材は、勿論、高速度鋼等
であってもよい。
耐摩工具として用いる場合の母材は、勿論、高速度鋼等
であってもよい。
【００１８】
【実施例】以下に、本発明の表面被覆部材の具体例とそ
の製造方法について述べる。
の製造方法について述べる。
【００１９】基板母材として、ＪＩＳ規格Ｐ３０の超硬
合金と、サーメットと、セラミックスを用意した。母材
の形状はＪＩＳ・ＳＮＧ４３２の切削チップである。こ
の切削チップを、公知の真空アーク蒸着法によりターゲ
ットとしてＴｉとＡｌ、ＺｒとＨｆ、およびＴｉとＨｆ
の３種の組合せを用いて被覆を行なった。
合金と、サーメットと、セラミックスを用意した。母材
の形状はＪＩＳ・ＳＮＧ４３２の切削チップである。こ
の切削チップを、公知の真空アーク蒸着法によりターゲ
ットとしてＴｉとＡｌ、ＺｒとＨｆ、およびＴｉとＨｆ
の３種の組合せを用いて被覆を行なった。
【００２０】図１に示すように、蒸着装置１内の一方に
Ｔｉターゲット２を設置し、その向い側にＴｉＡｌター
ゲット３を設置し、その中央でターンテーブル４上の切
削チップＴＡが一分間に５０回転するように調節した
後、炉内をＡｒガス１×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に保
ち、切削チップに−２０００Ｖの電圧をかけて洗浄を行
い、さらに、５００℃まで加熱した後、Ａｒを排気して
Ｎ2 ガスを３００ＣＣ／ｍｉｎの割合で導入した。ここ
で真空アーク放電によりＴｉターゲット、ＴｉＡｌター
ゲットを蒸発、イオン化させることにより、切削チップ
がＴｉとＴｉＡｌの蒸気の中を交互に通過することにな
る。このとき被覆対象の切削チップを回転させることで
表面にＴｉＡｌＮとＴｉＮを交互に積層した構成の硬質
被膜を形成することができた。全体の層厚は被覆時間に
よって制御した。
Ｔｉターゲット２を設置し、その向い側にＴｉＡｌター
ゲット３を設置し、その中央でターンテーブル４上の切
削チップＴＡが一分間に５０回転するように調節した
後、炉内をＡｒガス１×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に保
ち、切削チップに−２０００Ｖの電圧をかけて洗浄を行
い、さらに、５００℃まで加熱した後、Ａｒを排気して
Ｎ2 ガスを３００ＣＣ／ｍｉｎの割合で導入した。ここ
で真空アーク放電によりＴｉターゲット、ＴｉＡｌター
ゲットを蒸発、イオン化させることにより、切削チップ
がＴｉとＴｉＡｌの蒸気の中を交互に通過することにな
る。このとき被覆対象の切削チップを回転させることで
表面にＴｉＡｌＮとＴｉＮを交互に積層した構成の硬質
被膜を形成することができた。全体の層厚は被覆時間に
よって制御した。
【００２１】以上の方法にて表１に示される層構成の硬
質被膜層を形成することにより、本発明の表面被覆切削
チップを製造した（実施例Ｉ）。同様に、ターゲットと
してＺｒとＺｒＨｆ、反応ガスとしてＣＨ4 を用い、Ｚ
ｒＣとＺｒＨｆＣの積層膜を形成した（実施例II）。ま
たターゲットとしてＴｉとＴｉＨｆ、反応ガスとしてＣ
Ｈ4 を用い、ＴｉＣとＴｉＨｆＣの積層膜を形成した
（実施例III ）。
質被膜層を形成することにより、本発明の表面被覆切削
チップを製造した（実施例Ｉ）。同様に、ターゲットと
してＺｒとＺｒＨｆ、反応ガスとしてＣＨ4 を用い、Ｚ
ｒＣとＺｒＨｆＣの積層膜を形成した（実施例II）。ま
たターゲットとしてＴｉとＴｉＨｆ、反応ガスとしてＣ
Ｈ4 を用い、ＴｉＣとＴｉＨｆＣの積層膜を形成した
（実施例III ）。
【００２２】所期の積層構造となっていることはＥＰＭ
Ａ、オージェ、ＴＥＭといった分析法によって確認でき
る。
Ａ、オージェ、ＴＥＭといった分析法によって確認でき
る。
【００２３】また、比較のため、同じ切削チップを同じ
装置にて表面にＴｉおよびＡｌの窒化物、炭化物、炭窒
化物のうちの１種類の単層、もしくは２種類以上の複層
を形成した表面被覆切削チップＡ〜Ｃをそれぞれ製造
し、通常良く用いられているＣＶＤ法にてコーティング
した表面被覆切削チップＤ、Ｅも用意した。またＦとし
て、通常良く知られている合金の蒸発源を使用して作製
したＴｉＡｌＮ膜被覆の切削チップを用意した。さら
に、Ｇとして、ＴｉＮとＡｌＮ膜を形成した表面被覆切
削チップを用意した。また、ＺｒＨｆＣ、ＴｉＨｆＣに
ついても同様な層構成をもつ表面被覆切削チップを用意
した。これらをまとめて表１、表２、表３、表４に示
す。
装置にて表面にＴｉおよびＡｌの窒化物、炭化物、炭窒
化物のうちの１種類の単層、もしくは２種類以上の複層
を形成した表面被覆切削チップＡ〜Ｃをそれぞれ製造
し、通常良く用いられているＣＶＤ法にてコーティング
した表面被覆切削チップＤ、Ｅも用意した。またＦとし
て、通常良く知られている合金の蒸発源を使用して作製
したＴｉＡｌＮ膜被覆の切削チップを用意した。さら
に、Ｇとして、ＴｉＮとＡｌＮ膜を形成した表面被覆切
削チップを用意した。また、ＺｒＨｆＣ、ＴｉＨｆＣに
ついても同様な層構成をもつ表面被覆切削チップを用意
した。これらをまとめて表１、表２、表３、表４に示
す。
【００２４】次に、これらの試作表面被覆切削チップに
ついて、連続切削試験、および断続切削試験を表５に示
した条件にて行ない、切れ刃の逃げ面摩耗量を測定し
た。その結果を表１〜表４に併せて示す。
ついて、連続切削試験、および断続切削試験を表５に示
した条件にて行ない、切れ刃の逃げ面摩耗量を測定し
た。その結果を表１〜表４に併せて示す。
【００２５】
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】
【表４】
【００３０】表１〜表４に示す切削実験結果から判るよ
うに、本発明の表面被覆切削チップは、いずれも従来の
被覆切削チップＡ〜Ｆと同様の材料で硬質被膜を形成し
たにも拘らず、従来チップに比べてはるかに優れた耐欠
損性と耐摩耗性を発揮する。
うに、本発明の表面被覆切削チップは、いずれも従来の
被覆切削チップＡ〜Ｆと同様の材料で硬質被膜を形成し
たにも拘らず、従来チップに比べてはるかに優れた耐欠
損性と耐摩耗性を発揮する。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の表面被覆部
材は、母材表面に、単元素の化合物と合金の化合物を積
層した構造の硬質被膜を有するため、優れた耐熱性、溶
着防止特性、耐酸化性、摺動特性、耐マイクロチッピン
グ性を有し、ＰＶＤ法で形成できるその硬質被膜が従来
の被膜と同等以上の硬さを持ちながら靱性も兼ね備えて
いるため、切削工具や耐摩工具として用いると、長期に
渡って良好な工具性能を維持し続けると言う効果が得ら
れる。
材は、母材表面に、単元素の化合物と合金の化合物を積
層した構造の硬質被膜を有するため、優れた耐熱性、溶
着防止特性、耐酸化性、摺動特性、耐マイクロチッピン
グ性を有し、ＰＶＤ法で形成できるその硬質被膜が従来
の被膜と同等以上の硬さを持ちながら靱性も兼ね備えて
いるため、切削工具や耐摩工具として用いると、長期に
渡って良好な工具性能を維持し続けると言う効果が得ら
れる。
【００３２】なお、本発明の部材は、切削工具、耐摩工
具はもとより、表面の摩滅防止が要求される摺動部品等
に利用しても寿命延長の効果がある。
具はもとより、表面の摩滅防止が要求される摺動部品等
に利用しても寿命延長の効果がある。
【図１】本発明の表面被覆部材の製造方法の一例を示す
線図
線図
１ 真空アーク蒸着装置
２、３ ターゲット
４ ターンテーブル
ＴＡ 切削チップ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｃ
Ｈ
14/08 14/08 Ａ
Ｈ
14/18 14/18
(72)発明者 瀬戸山 誠
伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気
工業株式会社伊丹製作所内
(72)発明者 中山 明
伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気
工業株式会社伊丹製作所内
(72)発明者 吉岡 剛
伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気
工業株式会社伊丹製作所内
(56)参考文献 特開 昭58−115081（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−23608（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−17914（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−26786（ＪＰ，Ａ)
特開 昭55−145165（ＪＰ，Ａ)
特開 昭48−59106（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−99678（ＪＰ，Ａ)
特開 昭49−108111（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B32B 9/00
B23B 27/14
B23P 15/28 - 15/52
C23C 14/06
Claims (7)
- 【請求項１】 IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素或いはＡ
ｌ、Ｓｉの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化
物の中から選んだ１つ以上の化合物と、IVａ、Ｖａ、VI
ａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉのうちの２種の金属元素
の合金の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び／若し
くはホウ化物を積層周期０．４ｎｍ〜５０ｎｍで積層
し、全体の膜厚を０．５〜１０μｍとした構成の硬質被
膜を母材表面にもつことを特徴とする耐摩耗性に優れた
表面被覆部材。 - 【請求項２】 ＷＣ基超硬合金、サーメット又はセラミ
ックスから成る母材の表面に請求項１記載の硬質被膜を
設けてある切削工具又は耐摩工具。 - 【請求項３】 前記母材と硬質被膜との界面にIV族金属
元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少なくとも
１種から成る中間層を配してある請求項２記載の切削工
具又は耐摩工具。 - 【請求項４】 前記中間層がＴｉの窒化物、炭化物、炭
窒化物、又はそれ等の積層物である請求項３記載の切削
工具又は耐摩工具。 - 【請求項５】 前記硬質被膜の表面に、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、もしくはそれ等の積層物から成る表
層膜を配した請求項２、３又は４記載の切削工具又は耐
摩工具。 - 【請求項６】 前記硬質被膜として、ＴｉＮとＴｉＡｌ
Ｎを０．４〜５０ｎｍの周期で積層したものを備えてい
る請求項２記載の切削工具又は耐摩工具。 - 【請求項７】 前記母材と硬質被膜との界面にＴｉの窒
化物からなる中間層を有している請求項６記載の切削工
具又は耐摩工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00509994A JP3460287B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00509994A JP3460287B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205361A JPH07205361A (ja) | 1995-08-08 |
| JP3460287B2 true JP3460287B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=11601937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00509994A Expired - Lifetime JP3460287B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3460287B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4824163B2 (ja) * | 1998-06-11 | 2011-11-30 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ | 硬質材層を除去するための方法 |
| SE528671C2 (sv) * | 2005-01-31 | 2007-01-16 | Sandvik Intellectual Property | Hårdmetallskär för seghetskrävande korthålsborrning samt förfarande för att framställa detsamma |
| US7537822B2 (en) | 2005-05-26 | 2009-05-26 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Hard-coated member |
| WO2009037776A1 (ja) | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Osg Corporation | 硬質積層被膜、硬質積層被膜被覆工具、および被膜形成方法 |
| KR101616600B1 (ko) * | 2009-11-12 | 2016-04-28 | 오에스지 가부시키가이샤 | 경질 피막 피복 공구 |
| CN103339282A (zh) | 2011-02-01 | 2013-10-02 | Osg株式会社 | 硬质层叠被膜 |
| JP5734318B2 (ja) | 2011-02-01 | 2015-06-17 | オーエスジー株式会社 | 硬質積層被膜 |
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