JP4331807B2 - 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フライス加工,切削加工,穿孔加工等の加工に使用される切削工具の表面被覆材、或は金型,軸受け,ダイス,ロールなど高硬度が要求される耐摩耗部材の表面被覆材、もしくは成形機用スクリューやシリンダ等の耐熱・耐食部材の表面被覆材として有用な硬質皮膜に関し、更には該硬質皮膜を被覆することによって優れた耐摩耗性を発揮する硬質皮膜被覆部材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
高速度工具や超硬合金工具など高い耐摩耗性が要求される切削工具は、工具の基材表面にTiNやTiCN等の硬質皮膜を形成することにより耐摩耗性の向上が図られている。
【0003】
また、上記硬質皮膜より一層優れた耐摩耗性を発揮する皮膜として、(Ti,Al)N膜が開発され、高硬度材の切削や、高速切削に用いる工具に使用されている。
【0004】
更に、硬質皮膜の開発は上記(Ti,Al)N膜の様な3元系の複合材料にとどまらず、4元系の複合材料による耐摩耗性改善技術も提案されている。例えば、特開平3−120354号,特開平10−18024号,特公平5−88309号,特開平10−237628号公報等に開示されている(Ti,Al,V)N系の膜がある。但し、この硬質皮膜は、S50C等の炭素鋼に代表される低硬度鋼材の切削においては優れた耐摩耗性を示すが、基材との密着性に乏しく剥離し易いことから、TiNの中間層を挿入したり、膜厚方向にAlとVの組成を変化させる傾斜組成化を図ることによって密着性の改善が試みられている。しかしながら、これらの改善技術を用いても密着性は十分でなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情に着目してなされたものであって、耐摩耗性及び密着性に優れた硬質皮膜と、上記硬質皮膜が形成された硬質皮膜被覆部材を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成した本発明とは、基材表面に形成される硬質皮膜であって、
基材側に形成される第1層は、Zr,Ta,Wのいずれかの金属からなり、
表面側に積層された第2層の組成は
(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )
但し、p,q,rは0.20≦p,0.20≦q,
0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1
であり、
前記基材は、超硬合金、高速度工具鋼、サーメット、セラミックのいずれかであり、
前記第1層の厚さが、5〜500nm
前記第1層及び第2層の合計の厚さが、0.8〜20μm
であることを要旨とするものである。
【0008】
上記硬質皮膜を基材表面に形成すれば耐摩耗性に優れた硬質皮膜被覆部材または硬質皮膜被覆工具を得ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、耐摩耗性及び密着性に優れた硬質皮膜の開発を目的として、鋭意研究を重ねた。その結果、基材表面に形成される硬質皮膜において、
基材側に4a,5a,6a族の金属からなる第1層を形成し、その上に形成する第2層の組成を、(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )
但し、p,q,rは0.20≦p,0.20≦q,
0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1
とすれば、非常に耐摩耗性に優れた硬質皮膜を基材上に密着性良く形成できることを見出し、本発明に想到した。
【0010】
本発明に係る硬質皮膜が、優れた密着性を発揮する理由は、4a,5a,6a族の金属からなる第1層を、基材と(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )膜の間に形成することにより応力が緩和されるからであると考えられる。
【0011】
本発明において、基材側に形成される第1層として4a,5a,6a族の金属を用いるのは、これらの金属は融点が1600℃以上と高いからであり、低融点の金属を用いると中間層形成時に溶融塊ができて平滑に薄膜を形成することができないが、上記の高融点金属を蒸発源として用いて中間層を形成すれば溶融塊が発生し難く平滑で均一な膜を得ることができ、高い密着力が得られるからである。
【0012】
本発明において、第2層の組成は、
(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )
但し、p,q,rは0.20≦p,0.20≦q,
0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1
とすることが必要である。
【0013】
第2層の組成範囲を上記の通り設定した理由は、後述する実施例からも分かる様に、上記のp,q,r,vの範囲において膜硬度は高くなり、本発明の効果を十分に発揮することができるからである。尚、p/qの値が1.0以上1.6以下であると、より高い硬度が得られるので望ましい。
【0014】
またuの値が0.6未満では、(Al,Ti,V)(Nu C1-u )膜の靭性が低下し、十分な密着力が得られなくなるので、0.6≦u≦1であることが必要である。
【0015】
本発明に係る第1層の厚さは、薄過ぎると中間層としての十分な効果が得られないので5nm以上が望ましい。一方、本発明に係る第1層は第2層に比べると軟らかく、第1層が厚過ぎると、切削等による摩擦抵抗に耐え切れず剥離が発生する場合があるので、第1層は500nm以下とすることが望ましい。
【0016】
本発明に係る硬質皮膜の厚さは、薄過ぎると耐摩耗性が不十分となるので第1層と第2層の合計の厚さで0.8μm以上が望ましく、一方厚過ぎると膜自体にクラックが入り易くなって強度が不十分となるので第1層と第2層の合計の厚さは20μm以下とすることが望ましい。尚、本発明の硬質皮膜は切削工具の表面に形成することにより非常に優れた効果を発揮するが、皮膜が厚過ぎると切れ味が低下しチッピング等が発生するので、特に切削工具に適用する場合には、皮膜の厚さを20μm以下とすることが望ましい。
【0017】
また、本発明に係る硬質皮膜を形成する方法としては、アークイオンプレーティング法を採用することが推奨される。その理由は、イオン化効率を高くすることや反応性を高めること、又は基板にバイアス電圧を印加することなどによって一層密着性の優れた皮膜を得ることができるからである。またカソードとして目的とする組成比の合金ターゲットを用いれば、皮膜組成のコントロールが容易であり推奨される。
【0018】
また、本発明は硬質皮膜を被覆する基材の材質を限定するものではないが、基材表面に密着性よく被覆して優れた耐摩耗性を発揮させるためには、超硬合金,高速度工具鋼,ダイス鋼,サーメットまたはセラミック等の硬質物質が適している。
【0019】
以下実施例について説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではなく、前・後記の趣旨に徴して適宜変更することは本発明の技術的範囲に含まれる。
【0020】
【実施例】
実施例1
超硬チップをアークイオンプレーティング装置内に置き、真空排気を行い、ヒータによって炉内雰囲気温度を約400℃で60分間保持した。その後、ワークに−200〜−600Vのバイアス電圧を印加し、表1に示す種々の金属層を第1層として形成した。その後、ワークに−150Vのバイアス電圧を印加すると共に、炉内に高純度のN2 ガスまたはN2 /CH4 混合ガスを7.0×10-3torrとなるまで導入し、種々の組成を有するTiAl(V)カソードを用いてアーク放電を行い、表1に示す組成の第2層を成膜した。
【0021】
得られた試験片について、マイクロビッカース硬度計により荷重0.98Nにおける硬度を測定した。各組成ごとに5回の測定を行い、平均を算出した。結果は表1に示す。
【0022】
【表1】
【0023】
本発明例であるNo.1〜5はいずれも硬度が高い。
No.6〜10は第2層の組成が本発明範囲を満足しない場合の比較例であり、いずれも硬度が低い。No.11は、第1層の膜厚が厚過ぎる場合の比較例である。No.12は、第1層の膜厚が薄過ぎる場合の比較例であり、皮膜がはがれてしまい硬度の測定はできなかった。
【0024】
No.13,14は従来例であり、No.13では硬度が低く、No.14では皮膜がはがれてしまい硬度の測定はできなかった。
【0025】
実施例2
平坦な超硬基板上に、実施例1と同様の方法で、表2に示す組成及び膜厚の層構成を有する硬質皮膜を形成した。皮膜の組成は、電子プローブX線マイクロアナリシス及びオージェ電子分光法により確認した。
【0026】
得られた試験片を用いてスクラッチテストを行い、夫々の皮膜の密着性を評価した。具体的には膜損傷時のAE信号の変化とテスト後の光学顕微鏡観察によって皮膜が損傷した荷重を密着力とした。結果は各サンプル3回のスクラッチテストの平均であり、表2に示す。
【0027】
【表2】
【0028】
本発明例であるNo.1〜5では臨界荷重が高く、超硬基板上に形成された硬質皮膜の密着性が非常に優れている。
【0029】
No.6〜9は第1層の組成が本発明範囲を満足しない場合の比較例であり、いずれも密着力が小さい。No.10は、硬質皮膜の膜厚が厚過ぎる場合の比較例であり、いずれの密着性も低い。
【0030】
No.11〜13は従来例であり、No.11,12は第1層が形成されておらず、No.13は第1層としてTiNが形成されている従来例であるが、いずれも本発明例に比べて硬質皮膜の密着性が大幅に劣ることが分かる。
【0031】
実施例3
耐摩耗性の評価を目的として、ボールオンディスク試験を実施した。ボールとしては、鏡面仕上げした直径10mmの超硬球の表面に実施例1と同様の方法により表3に示す組成及び層を有する皮膜を形成した超硬球を用い、S55C製のディスクに対し、荷重10N、摺動速度1m/sec 、温度500℃、摺動距離500mの条件で摺動試験を行い、摩耗量と摩擦係数を測定した。なお摩耗量は超硬球に生じた摺動痕の幅をとった。結果は表3に示す。
【0032】
【表3】
【0033】
No.1〜5は本発明例であり、No.6〜17は比較例、No.18〜20は従来例である。本発明例は比較例及び従来例に対し、摩耗量が非常に小さいことが分かる。これは本発明に係る硬質皮膜の密着性が優れるためであると考えられる。
【0034】
実施例4
超硬合金製ボールエンドミル(径5R)に対し、実施例1と同様の方法により表4に組成及び膜厚を示す硬質皮膜を形成し、切削試験を行った。切削試験に用いた被削材はS55Cであり、切削速度は98m/min、送りは1刃あたり0.05mm、切り込み量はピックフィード0.5mm、軸方向切り込みは4.0mmで、エアブローしながらダウンカットにて切削を行い、切削長50mを加工した後の先端部と境界部の摩耗量を測定した。結果は表4に示す。
【0035】
【表4】
【0036】
No.1〜5は本発明例であり、No.6〜17は比較例、No.18〜20は従来例である。本発明例は、先端部と境界部のいずれにおいても比較例及び従来例と比べて摩耗量が非常に小さく、優れた耐摩耗性を発揮することが分かる。
【0037】
実施例5
高速度鋼製JIS標準ストレートドリル(外径φ6.0mm)に対し、実施例1と同様の方法により表5に示す硬質皮膜を形成し、切削試験を行った。被削材としてはS50Cを用い、切削速度30m/min、送り0.18mm/rev.、切削油はエマルションという切削条件にて穴深さ16mmの貫通穴を穿孔し、寿命までの穴明け数を調べた。各皮膜につき3本の切削試験を行い、穴明け数の平均を算出した。結果は表5に示す。
【0038】
【表5】
【0039】
No.1〜5は本発明例であり、No.6〜17は比較例、No.18〜20は従来例である。本発明例は、比較例及び従来例と比べて大幅に寿命が改善されていることが分かる。これは、本発明に係る皮膜を形成したドリルでは、耐摩耗性及び密着性が非常に優れているからであると考えられる。
【0040】
実施例6
炭窒化チタン基サーメット製フライス加工用チップ(SDKN42,JISP10)に対し、実施例1と同様の方法により表6に示す硬質皮膜を形成し、切削試験を行った。切削試験に用いた被削材はS50Cであり、切削速度は200m/min、送りは1刃あたり0.15mm、切り込み量は2.0mm、乾式にて切削を行い、切削長50mでの逃げ面摩耗幅を測定した。結果は表6に示す。
【0041】
【表6】
【0042】
No.1〜5は本発明例であり、No.6〜17は比較例、No.18〜20は従来例である。本発明例は、比較例及び従来例と比べて逃げ面摩耗幅が非常に小さく、優れた耐摩耗性を発揮し、長寿命であることが分かる。
【0043】
実施例7
Al2 O3 −TiCセラミックス製の旋削加工用チップに対し、実施例1と同様の方法により表7に示す硬質皮膜を形成し、連続旋削加工での切削試験を行った。切削試験に用いた被削材はFCD45であり、切削速度は300m/min、送りは0.15mm/回転、切り込み量は0.3mm、乾式にて切削を行い、切削長50mでの逃げ面摩耗幅を測定した。結果は表7に示す。
【0044】
【表7】
【0045】
No.1〜5は本発明例であり、No.6〜17は比較例、No.18〜20は従来例である。本発明例は、比較例及び従来例と比べて逃げ面摩耗幅が非常に小さく、優れた耐摩耗性を発揮し、長寿命であることが分かる。
【0046】
【発明の効果】
本発明は以上の様に構成されているので、これまでに開発してきた硬質皮膜の優れた特性を生かしつつ、一段と優れた耐摩耗性及び密着性を発揮する硬質皮膜を提供することが可能となり、更には高い耐摩耗性が要求される部材に上記硬質皮膜を密着性良く被覆した硬質皮膜被覆部材が提供できることとなった。
Claims (3)
- 基材表面に形成される硬質皮膜であって、
基材側に形成される第1層は、Zr,Ta,Wのいずれかの金属からなり、
表面側に積層された第2層の組成は
(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )
但し、p,q,rは0.20≦p,0.20≦q,
0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1
であり、
前記基材は、超硬合金、高速度工具鋼、サーメット、セラミックのいずれかであり、
前記第1層の厚さが、5〜500nm
前記第1層及び第2層の合計の厚さが、0.8〜20μm
であることを特徴とする耐摩耗性に優れた硬質皮膜。 - 請求項1に記載の硬質皮膜が形成されてなる硬質皮膜被覆部材。
- 請求項1に記載の硬質皮膜が形成されてなる切削工具。
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