KR100186910B1 - 내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재 - Google Patents

내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재 Download PDF

Info

Publication number
KR100186910B1
KR100186910B1 KR1019950047578A KR19950047578A KR100186910B1 KR 100186910 B1 KR100186910 B1 KR 100186910B1 KR 1019950047578 A KR1019950047578 A KR 1019950047578A KR 19950047578 A KR19950047578 A KR 19950047578A KR 100186910 B1 KR100186910 B1 KR 100186910B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hard coating
layer
film
coating
hard
Prior art date
Application number
KR1019950047578A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960023207A (ko
Inventor
야스아키 스기자키
충시엔 차이
쓰또무 이케다
유스케 다나까
야스노리 와다
야스시 오니시
야스유키 야마다
Original Assignee
가메다까 모또요시
가부시끼가이샤 고오베세이꼬쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가메다까 모또요시, 가부시끼가이샤 고오베세이꼬쇼 filed Critical 가메다까 모또요시
Publication of KR960023207A publication Critical patent/KR960023207A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100186910B1 publication Critical patent/KR100186910B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Abstract

밀링가공, 절삭가공, 드릴가공등 가공에 사용되는 절삭공구의 표면피복재 또는 금형, 베어링, 다이스, 로울 등 높은 경도가 요구되는 내마모성부재의 표면피복재, 또는 성형기용스크류와 실린더등의 내열, 내식성부재의 표면피복재로서 유용한 경질피막의 제공을 목적으로 하고, 또한, 이 경질 피막을 피복하므로써 우수한 내마모성을 발휘하는 경질피막피복부재를 제공함을 목적으로 하고, 기재표면에 형성되는 경질피막으로서, 제1층 및 제2층을 가지고, 상기 제1층은 기재측에 형성되고, Al, Ti, Si으로 이루어지는 군으로 부터 적어도 Al 또는 Ti을 함유하여 선택되는 1종 이상의 금속원소와, B, C, N으로 이루어지는 군으로 부터 선택되는 1종 이상의 비금속원소와의 화합물로 되고, 상기 제2층은 표면측에 적층된 AlBN으로 되는 것을 특징으로 하는 내마모성이 우수한 경질피막 및 경질피막피복부재.

Description

내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재
본 발명은 밀링(milling), 절삭가공 및 드릴가공과 같은 곳에 사용되는 절삭공구의 표면피복재, 또는 금형, 베어링, 다이스, 로울러 같이 높은 경도가 요구되는 내마모성부재의 표면피복재, 또는 성형기용 스크류와 실린더등의 내열·내식성부재의 표면피복재로서 유용한 경질피막(head coating)에 관한 것이다. 또한 본 발명은 이 경질피막을 피복하므로써 우수한 내마모성을 발휘하는 경질피막피복부재(hard coating coated member)에 관한 것이다.
종래의 경우, 고속도공구와 초경합금공구등 높은 내마모성이 요구되는 절삭공구는 공구의 기재표면에 질화티탄(TiN)과 탄화티탄(TiC) 등의 경질피막을 형성하므로써 내마모성의 향상이 도모되어 왔다.
상기 TiN 과 TiC 의 내마모성을 비교하면, TiN 은 고온역에서 내산화선에서 TiC 보다 우수하고, 절삭시의 가공열과 마찰열에 의해 생기는 공구절삭면의 크레이터 마모(crater abrasion)에 대하여 양호한 내마모성을 발휘한다. 그러면서도 TiN 은 모재와의 밀착성에서도 우수하다. 한편 TiC 는 TiN 보다 경도가 높고, 피삭재와 접하는 프랭크 마모(flank wear)에 대하여 높은 내구성을 가진다.
그러나, 내산화성이 우수한 TiN이라도 산화개시온도는 대략 600℃정도이고, 또한 높은 경도를 가지는 TiC 라도 그 빅카스경도는 대략 2,000 정도여서, 어느것이나 내마모성을 일층 개선하는 것이 바람직하다.
따라서, 특개평 2-194159호에는 TiN 과 TiC의 내산화성과 경도향상을 목적으로 Ti 의 일부를 Al 으로 치환한 Al 과 Ti의 복합질화물과 복합탄질화물 [이하(Al, Ti),(C, N)으로 표시함이 개시되어 있고, 산화개시온도는 800℃, 빅카스경도는 2,500정도까지 개선되어 있다.
또한, 본 발명자등은 Al 및 Ti 와 N 과의 화합물을 기본으로 하여, 일부 원소를 다른 원소로 치환하므로써, 높은 경도와 양호한 내산화성을 가지고 우수한 내마모성을 발휘하는 경질피막을 개발하기에 앞서 출원을 끝내었다. 예컨데 특개 평 4-26756호의 공보개재의 (Al, Ti) (B, N)을 산화개시온도가 약 800℃이고, 빅카스경도는 약 3400정도이다. 또한 (Al, Ti, Si) (C, N) 막 (특원 평 6-100154)은 산화개시온도가 약 1,000℃이고, 빅카스경도는 3100 정도이다.
다만 더욱 고능률화가 요구되는 절삭가공 등의 분야에는, 보다 우수한 내마모성을 가지는 경질피막의 개발이 필요하다.
본 발명은 이러한 사정에 착안한 것으로, 이때까지 개발하여 온 경질피막이 우수한 특성을 만들고, 일단 우수한 내마모성을 발휘하는 경질의 피막을 제공하는 것을 목적으로 하고, 또한, 높은 내마모성이 요구되는 부재에 상기 경질피막을 피복한 경질피막피복부재를 제공하고저 한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명상의 경질피막은 제1층 및 제2층을 가지고, 상기 제1층은 기재측에 형성되어 Al, Ti, Si으로 이루어지는 군으로 부터 적어도 Al 또는 Ti 을 함유하여 선택되는 1종 이상의 금속원소와, B, C, N으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 비금속원소와의 화합물로 이루어지며, 상기 제2층은 표면에 적층된 AlBN인 것을 요지로 한다.
상기 제1층으로서는, 특히 이하의 화학조성식 ① ~ ③ 중 어느 것인가로 나타나는 화합물을 이용할 것이 권장된다.
여기에서, 상기의 변수 a, b, c, d, x, y, z는 모두 원자량비를 나타낸다.
또한, 이하의 발명에서는 제1층을 구성하는 피막 (Al, Ti, Si으로 이루어지는 군으로 부터 적어도 Al 또는 Ti 을 포함선택되는 1종 이상의 금속원소와, B, C, N으로 이루어지는 군으로 부터 선택되는 1종 이상의 비금속원소와의 화합물)을 총칭하여, (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막이라 한다.
상기 경질 피막의 두께는, 제1층 및 제2층 모두 0.1 ~ 20㎛ 으로 하는 것이 좋고, 상기 경질피막을 기재표면에 형성하면 내마모성이 우수한 경질피막복부재를 얻을 수가 있다.
본 발명자등은 상기 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막의 내마모성을 일층 향상시킬 목적으로 검토를 거듭한 결과, 상기 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막의 표면에 AlBN막을 보호층으로 하여 밀착성을 좋게 형성하면, 경질피막전체로서의 경도 및 내산화성을 높일수가 있고, 경질피막의 내마모성을 대폭 향상시킬 수 있음을 알게 되었다.
본 발명상의 경질피막이 종래의 경질피막에 비하여 우수한 내마모성을 발휘할 수 있게 된 이유는 해명되고 있지 않으나 다음과 같이 추정된다. 즉, 경도가 높고 내산화성이 우수하면서도 마찰계수가 적은 AlBN 막을 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막상에 표면층으로서 밀착성 좋게 형성하므로써, 피막전체의 빅카스경도를 3500 이상으로 높은 경도로 할 수가 있다. 이와 함께 내산화성이 요구되는 고온역에서는 AlBN 중의 Al 가 피막표면에 Al 산화물로 이루어지는 보호피막을 형성하고, 또한 그 하층의 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막표면에 형성된 Al 산화물로 이루어지는 보호피막을 현저히 치밀화하기 때문으로 생각된다.
한편, 본 발명에 관한 AlBN 피막은 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막과 우수한 친화성과 반응성을 가지고 있으므로 하지(下地)의 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막에 밀착성 좋게 형성할 수가 있고, 그러면서도 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막과 기재(基材)와의 밀착성을 손상시키는 일이 없으므로 절삭공구와 기타 내마모성부재의 표면에 적용한 경우라도 각 계면에서 박리를 일으키는 일이 적고, 경질피막이 우수한 내마모성을 충분히 발휘하는 경질피막부재를 얻을 수가 있다.
본 발명에서의 AlBN 피막이 하지 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막에 밀착성을 형성하는 일이 가능한 이유에 대해서는, 해명되지 않은 부분을 남기고 있으나, 예컨데 져널 어브 하드 마티어 리얼스 (2권 3~4 호. 1991. 제 233~243 페이지)지에 의하면 cBN-TiAlN 복합재료의 계면에는, AlN, TiN, TiB2등의 반응층이 형성되게 되고, 본 발명의 경우에도 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 과 AlBN 의 계면에 AlN, TiN, Si3N4, TiB2등으로 이루어지는 반응층이 형성되고, 이에 따라 밀착성을 현저히 높일 수 있는 것으로 생각되고 있다.
본 발명은 AlBN 피막의 조성을 한정하고 있지 않으나, AlpBqN1-p-q로 표시된 경우에도, p, q 가 각각 0.01p0.3, 0.2q0.6 이라고 하는 조건을 만족하는 것이 바람직하다. 이것은 P의 값이 0.01 미만에서는 AlBN막중의 Al을 함유시키므로 인한 경도향상효과와 밀착성향상효과가 충분히 이루어지지 않기 때문인데, P의 값이 0.3을 초과하면 결정구조가 입방정으로부터 AlN과 같이 6 방정으로 변화하는 일이 있고, 피막경도가 저하하여 충분한 내마모성이 얻어지지 않는 경우가 있기 때문이다. 또한, q의 값이 0.2 미만이거나 0.6 을 초과하면 피막경도가 저하하여 충분한 내마모성이 얻어지지 않고, 한편 P의 값은 0.03 이상으로 하는 것이 좋고, 상한치는 0.1 로 하는 것이 바람직하다. q의 값은 0.4 이상으로 하는 것이 보다 바람직하고, 상한치는 0.55 로 하는 것이 보다 바람직하다.
본 발명에 관한 경질피막에 있어서, 기재상에 형성되는 제1층은 적어도 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막이면 AlBN층과의 상승효과에 따라 우수한 내마모성을 발휘하며, 특히 다음의 ① ~ ③의 화학조성으로 보는 바와 같이 Al 또는 Ti이 적어도 1종 이상을 포함하는 피막을 채용하는 것이 바람직하다. 또한 본 발명에 있어 제1층에 Al 또는 Ti의 적어도 1종 이상을 함유시키는 이유는 전술한 바와 같이 제2층의 AlBN막과의 계면에 반응층을 형성하여 밀착성을 높인다는 관점 때문이다.
(1) (AlaTi1-a) (CbN1-b)
단, 0.25a0.75 0b0.4
(2) (AlcTi1-c) (BdN1-d)
단, 0.05c0.75 0.02d0.12
(3) (AlxTi1-x-ySiy) (CzN1-z)
단, 0.05x0.75, 0.01y0.1
0z0.4
상기 (1) ~ (3) 의 화학조성에서 각 성분범위를 각각 설정한 이유에 대해 다음에 설명한다.
(1) (AlaTi1-a) (CbN1-b)가 우수한 내마모성을 발휘하는데는 금속원소의 성분조성 AlaTi1-a에서 a의 값은 0.25a0.75 의 조건을 만족시켜야 한다. a의 값이 0.25 미만에서는 충분한 내산화성의 향상효과를 얻을 수 없고 반대로 a 의 값이 0.75를 초과하면, 피막의 결정구조가 입방정에서 6 방정으로 변화해버려서 피막 경도가 저하하여 충분한 내마모성이 얻어지지 않는다. 한편, a의 하한치로서는 0.45가 좋고, 0.56 이상이면 더욱 바람직하다. a의 상한치로서는 0.70이 좋고, 0.65 이하이면 더욱 바람직하다.
또한, 본 발명에 관한 경질피막의 제1층은 상기 금속원소의 질화물이더라도 탄·질화물이라도 우수한 내마모성을 발휘한다. 다만, CbN1-b에서 b의 값이 0.4 를 넘으면 피막의 내산화성이 저화하여버리므로, 0b0.4 를 만족하는 것이 바람직하다. 또한, b의 값이 0.2 이하이면 내산화성이 보다 좋아진다.
(2) (AlcTi1-c) (BdN1-d) 가 우수한 내마모성을 발휘하는데는, 금속원소의 성분조성 AlcTi1-c에서 c의 값이 0.05c0.75 라고 하는 조건을 만족시킴이 필요하다. c의 값이 0.05 미만이면 충분한 내산화성의 향상효과를 거둘수가 없다. 또한 c의 값이 0.75를 넘으면 피막의 결정구조가 입방정으로부터 6 방정으로 변해버려서 피막강도가 저하하여 충분한 내마모성이 얻어지지 않는다. 또한, c의 하한치로서는 0.25 가 좋고, 0.50 이상인 것이 보다 바람직하다. c의 상한치로서는 0.70 이 좋고, 0.65 이하이면 더욱 바람직하다.
또한, 본 발명에 관한 경질피막의 제1층은 상기 금속원소의 붕, 질화물이라도 우수한 내마모성을 발휘한다. 특히 BdN1-d에서 0.02d0.12 를 만족하는 것이 바람직하고, d의 값이 0.02 미만인 경우에는 붕소첨가에 의한 경도향상효과가 충분히 발휘되지 않고, 한편 d의 값이 0.12를 초과하면 NaCl 구조로부터 이루어지는 결정구조의 일부가 비정질로 되고, 이에 따라 경도가 저하하여 버려 바람직스럽지 못하다. d의 보다 바람직한 하한치는 0.03 이고 보다 바람직한 상한치는 0.08 이다.
(3) (AlxTi1-x-ySiy) (CzN1-z) 가 우수한 내마모성을 발휘하는데는, 금속원소의 성분조성 AlxTi1-x-ySiy에서 x, y 의 값은 0.05x0.75, 0.01y0.1이라고 하는 조건을 만족시킬 것이 필요하다. x의 값이 0.05 미만이거나 또는 y의 값이 0.01 미만에서는 충분한 내산화성의 향상효과를 거둘수가 없다. 또한 x 의 값이 0.75를 넘든가, y 의 값이 0.1 를 넘으면 피막의 결정구조가 입방정에서 6 방정으로 변화해버려서 피막경도가 저하하여 충분한 내마모성이 얻어지지 않는다. 또한, x의 하한치로서는 0.25 가 좋고, 0.56 이상이 보다 바람직하다. x 의 상한치로서는 0.7 이 좋고, y의 하한치는 0.02 가 좋으며, 한편 y 의 상한치로서는 0.08 이 좋으며, 가급적 0.05 이하일 것이 요구된다.
또한, 본 발명에 관한 경질피막의 제1층은, 상기 금속원소의 질화물이라도 탄·질화물이라도 우수한 내마모성을 발휘한다. 다만, CzN1-z에서 z의 값이 0.4 를 넘으면 피막의 내산화성이 저하하여 버리므로, 0z0.4 를 만족할 것이 필요하다. 또한, z 의 값이 0.2 이하이면 내산화성이 보다 양호해진다.
다음, 본 발명에 관한 경질피막의 두께로서는 제1층 및 제2층 모두 0.1㎛ 이상 20㎛ 이하일 것이 바람직하다. 0.1㎛ 미만이면 내마모성이 충분히 발휘되지 않고, 20㎛ 을 넘으면 충격력으로 인해 경질피막에 크랙이 생기기 때문이다.
한편, 본 발명에 관한 경질피막을 절삭공구로 피복하는 경우에는, 공구기재 본래가 가진 컷팅날, 즉 절단칼날의 특성을 살려 가면서도 동시에 경질피막의 우수한 내마모성을 발휘시키는 일이 요망된다. 이와 같은 관점에서 본 발명상의 경질피막의 두께는 제1층 및 제2층 모두 1㎛ 이상일 것이 요망되고, 2㎛ 이상이 보다 바람직하다. 또한 상한치는 12㎛ 이하로 하는 것이 바람직하고 8㎛ 이하가 보다 바람직하다.
또한, 본 발명은 경질피막을 피복하는 기재(基材)의 재질을 한정하는 것은 아니다. 기재표면에 밀착성 좋게 피복하여 우수한 내마모성을 발휘시키기 위해서는 초경합금, 고속도공구강, 다이스강, 서멧트(cermet) 또는 세라믹등의 경질물질이 적합하다.
한편, 본 발명에 관한 경질피막을 기재표면에 피복함에 있어, 먼저 제1층의 형성방법으로서는 이온도금법(ion plating methods) 과 스퍼터링법(sputtering methods)등으로 대표되는 PVD 법을 들 수 있으나, 예컨데 아-크 방전식이온도금법을 채용할 경우에는 아래에 예시한 방법을 이용하면 좋다. 즉, 아-크 방전으로 증발원인 양극 캐소드(cathode) 로 부터 금속성분(Al, Ti, Si) 을 이온화 시키고, N2분위기 및/또는 CH4분위기중에 이온도금을 하므로써 질화물 및/또는 탄화물을 기재상에 형성할 수가 있다. 붕화물을 형성할 경우에는, 상기 금속성분에 B을 가한 타겟트(target)를 쓰면 좋다. 또한, 목적으로 하는 피막조성과 동일한 금속조성(필요에 따라 B 을 함유)의 타겟트를 이용하면, 조성의 벗어남을 만드는 일이 적어 안정된 조성을 가진 피막을 얻는 것이 용이하다. 또한, 기재에 바이아스전위(biased electrical charge)를 인가(印加)해 가면서 이온도금을 행하면 피막의 밀착성을 일층 높일 수가 있다.
또한, 본 발명은 이온도금시의 가스압도 특히 한정되는 것은 아니나 1×10-3~ 5×10-2Torr 정도가 좋고, 가스압을 이 범위내로 설정하면 내마모성과 우수한 고결정성이 치밀한 경질피막이 얻어지기 쉽다.
또한, 본 발명은 AlBN 피막을 형성하는 방법을 한정하는 것도 아니고, 전술한 이온도금법과 이온어시스트데포지션법 등을 이용하면 좋다. 이온도금법을 채용하는 경우에는, Al 및 B의 혼합타겟트를 이용한다. 이온시킨 Al 및 B 을 N2가스분위기중에서 반응시켜서 기재상에 AlBN 피막을 형성할 수가 있다. 또한, 이온 어시스트데포지션(ion assisted deposition)법을 사용할 경우에는, 따로따로의 도가니에 넣은 Al 및 B을 증발시키고 질소이온을 반응시켜서 기재상에 AlBN 을 피복할 수가 있다. 이 때 기재에 바이아스전위를 인가하면, 피막의 밀착성을 한층 높일 수 있으므로 바람직하다.
이하 실시예에 의해 설명하나, 본 발명은 다음의 실시예로 한정되는 것이 아니고, 전·후 취지에 비추어 적절히 변경하는 것은 본 발명의 기술적 범위에 속한다.
[실시예]
[실시예 1]
먼저, 칫수 10mm × 25mm 의 백금박(箔)으로 이루어진 기재를 이온도금장치에 장착하고, 이하의 방법으로 제1층을 형성하였다. 상기 기재를 400℃ 로 가열한 후, 제1층을 구성하는 원소 중 N 이외의 원소를 조성성분으로 하는 캐소드를 증발시킴과 아울러, 반응가스로서 N2가스를 도입하여 7 × 10-3Torr의 분위기로 하고, 또한 상기 기재에 -150 V 의 전위를 인가하므로써 표 1에 나타나 있는 여러가지 조성을 가진 제1층 피막을 5㎛ 피복한 시험편을 제작하였다. 또한, 피막의 조성은 유도결합형 알곤플라즈마 발광분석법(inductively-coupled argon plasma spectroscopy) 및 오-거 전자분광법(Auger electron spectroscopy)으로 확인하였다.
본 발명에 관한 경질피막에 대해서는, 제1층의 피막을 형성한 후, 상기 이온도금장치내의 전자 비임총을 기동하고, 별도의 도가니에 넣은 Al 및 B 에 전자비임을 조사하여 Al 및 B을 증발시키고, 장치내의 진공도가 5 × 10-4Torr가 되도록 Al 및 B 의 증기에 500 eV의 출력으로 질소이온비임을 반응시킴과 아울러, 기재에 -150V의 전위를 인가하므로써 3㎛ 의 두께를 가진 AlBN 피막을 형성하였다. 또한, 피막의 조성은 전자프로브마이크로 분석(electron probe micro analysis) 및 오-거 전자분광법(Auger electron spectroscopy mothods)으로 확인하였다.
이와 같이 하여 얻어진 시험편을 이용하여 다음조건의 산화시험을 행한 바, 표 1에 그 결과를 실었다.
(산화시험조건)
온도범위 : 상온 ~ 1,300℃
승온속도 : 10℃/분
분위기 : 건조공기, 대기압
공기유량 : 150 cc/분
제2층으로서 AlBN 막이 형성되어 있지 않은 종래예(제 1,5,7 시편)외 이 종래예의 피막에 제2층으로서 AlBN 막이 형성된 실시예(제 3,6,8 시편)와를 각각 비교하면, 본 발명에 관한 경질피막은 산화개시온도가 일층 높아진다고 하는 점에서 내산화성이 향상되어 있음을 알 수 있다.
제9번 시편은 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막을 제1층으로 하여 형성함이 없이, AlBN 피막이 형성된 비교예이다. 기재와의 밀착성이 결핍된 데서 AlBN 피막 본래의 특성을 발휘할 수 없고, 산화개시온도는 낮다.
제10번 시편은 제1층의 (Al, Ti) N에 BN을 제2층으로 형성한 종래예이고, 제2층의 밀착성이 불충분하며 본 발명에 관한 경질 피막에 비하면 내산화성이 열등함을 알 수 있다.
[실시예 2]
기재로서 WC-Co초경팁을 사용하고, 피막의 두께를 각각 10㎛으로 하는 이외에는 실시예 1 과 같은 방법으로 시험편을 제작하였다. 이들 피막의 마이크로 빅카스 경도를 하중 100g으로 측정한 바, 상기 표 1에 병기하는 결과가 얻어졌다.
표 1로 부터 알 수 있는 바와 같이 종래예(제 1,5,7 시편)와 이 종래예의 피막에 제2층으로서 AlBN 막이 형성된 실시예(제 3,6,8 시편)와를 각각 비교하면, 본 발명에 관한 경질피막은 마이크로 빅카스경도가 1000 이상이나 높게되어 있어 경도가 매우 높아져 있음을 알 수 있다.
제9번 시편은 (Al, Ti, Si) (B, C, N) 계 피막을 제1층으로 하여 형성하는 일 없이, AlBN 피막이 형성된 비교예이다. 기재와의 밀착성이 결핍되어 있어 ALBN 피막 본래의 특성을 발휘하지 못하고, 마이크로 빅카스 경도가 낮다.
제10번 시편은 제1층의 (Al, Ti) N 에 BN 을 제2층으로 형성한 종래예로서, 제2층의 밀착성이 불충분하여 본 발명에 관한 경질피막에 비하면 경도가 낮은 것을 알 수 있다.
[실시예 3]
초경합금으로써 WC-Co 카바이드를 기재로 사용하여 외경 10mm의 2 매 칼날엔드밀(two blades endmills)을 제작하고, 각각의 엔드밀의 날부표면에 기재와 피막두께 이외에는 실시예 1 과 같은 방법으로 표 2 에서와 같은 경질피막을 형성하였다. 이 경우, 피막두께는 제1층 및 제2층을 형성할 경우 각각 4㎛ 및 2㎛ 으로 하고, 제1층 또는 제2층만을 형성할 경우에는 6㎛으로 하였다.
얻어진 표면피복엔드밀을 이용하여 다음 조건으로 절삭시험을 행하여 엔드밀 플랭크면(flank face)의 마모량을 측정한 바, 표 2에 병기하는 결과를 얻었다.
(절삭조건)
절삭방법 : 측면절삭 다운커트 (down cut)
피절삭재 : SKD11 (경도 H219)
커트깊이 : Rd 1mm × Ad 10mm
절삭속도 : 60m/분
이송속도 : 0.07mm/치 (tooth) : 270mm/분
절삭유 : 에어블로우 (air blow)
절삭길이 : 50m
표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 관한 경질피막 피복엔드밀(제 2,3,4,6,8)은 종래예(제 1,5,7,10)와 비교예(제9)와 비교하여 플랭크면(flank face) 마모량이 적어서 내마모성이 우수함을 알 수 있다.
[실시예 4]
기재로서 JIS규격 SKH51 상당의 고속도강을 이용하여, 외경 10mm의 JIS규격드릴을 제작하고, 이들을 기재로 하여 사용하는 이외에는 실시예 3 과 같은 방법으로, 각각의 드릴날부표면에 표 3 에서 보는 바와 같은 경질피막을 형성하였다.
얻어진 표면피복드릴을 이용하여, 다음 조건에 따라 절삭시험을 행하고 절삭수명을 조사한 바, 표 3에 병기하는 결과는 얻었다.
(절삭조건)
절삭방법 : 구멍드릴가공 각 5 본 절삭가공
피절삭재 : S55C재 (경도 H220)
절삭속도 : 30 m/분
이송속도 : 0.2 mm/회전(rev)
절삭길이 : 25 mm (구멍관통)
절삭유 : 수용성 에멀죤형 절삭유
표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 관한 경질피막 피복드릴(제 2,3,4,6,8)은 종래예(제 1,5,7,10)와 비교예(제9)에 비하여 평균 드릴 구멍수가 많고 절삭수명이 긴 것을 알 수 있다.
[실시예 5]
일본 JIS 표준규격상의 SKD61 재질에 상당하는 금형재를 이용하여, 칫수 40 × 20 × 5mm 의 지재를 제작하고, 제1층 및 제2층의 합계의 피막두께를 10㎛ 으로하는 이외에는 실시예 4 와 같은 방법으로 표 4에서와 같이 경질피막을 형성하여 시험편으로 하였다.
얻어진 시험편을 이용하여, 다음조건으로 열 사이클시험을 행하여 내구성을 조사한 바, 표 4에 병기하는 결과를 얻었다.
(열사이클 시험조건)
고온조(槽)온도, 보지시간 : 800℃, 150초
저온조(槽)온도, 보지시간 : 수냉, 10초
표 4로 부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 관한 경질피막을 피복한 시험편(제 3,5,7)은 종래예(제 1,2,4,6,)와 비교하여 크랙 발생까지의 사이클 수가 크게 개선되고, 우수한 내열사이클성을 나타내고 있다.
[실시예 6]
WC-Co 초경팁을 기재로 이용하여, 기재가 서로 다른 이외에는 실시예 3과 같은 방법으로 각각의 팁의 날부표면에 표 5에서 보는 바와 같은 경질피막을 형성하였다.
얻어진 표면피복팁을 이용하여, 다음 조건으로 절삭시험을 행하고 팁의 프랭크면의 마모량을 측정한 바, 표 5 에서 병기한 결과를 얻었다.
(절삭조건)
피절삭재 : S45C
절삭속도 : 200m/분
이송속도 : 0.3mm/회(rev)
절삭깊이 : 2mm
절삭유 : 건식
절삭시간 : 40분
표 5로 부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 관한 경질피막 피복팁(제 2,3,4,6,8)은 종래예(제 1,5,7,10)와 비교예(제9)와 비교하여 프랭크면 마모량이 적고 내마모성이 우수한 것을 알 수 있다.
[실시예 7]
절삭공구등에 피복된 경질피막은 여러가지 요인으로 마모되나, 피절삭재와의 반응에 따라서도 마모가 일어나고, 특히 팁 등과 같은 뾰족한 면에는 피절삭재와의 반응에 따라 크레이터 마모(crater wear)가 가속되는 경우가 있다.
따라서 WC-Co 카바이드 등의 초경합금을 기재로 하는 경우 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 표 6에서 보는 바의 경질피막으로 피복된 시험편을 제작하고, 피절삭재로서 자주 쓰이고 있는 강재를 고온·고압으로 상기 시험편에 눌러 넣으므로써 경질피막의 내(耐)반응성을 조사하였다. 또한, 내반응성의 평가는 상기 경질피막과 상기 강재와의 사이에 형성되는 반응층의 유무를 확인하므로써 이를 행하였다.
눌러넣는 조건은 다음과 같고, 그 결과는 표 6에 병기하였다.
압입조건(press-in condition)
압입재 : S55C (경도 HB 220)
압입면적 : 0.25 cm
압입하중 : 500 Kgf
온도 : 800℃
표 6으로 부터 알 수 있는 바와 같이 고온·고압에서 종래예(제1번)와 비교예(제3번)에서는 반응층이 생기기도 하고, 크랙이 발생하는데 대하여, 본 발명에 관한 경질피막(제 2,4,5)은 매우 안정적이고, 반응층을 형성하지 않는다.
따라서, 본 발명에 의한 경질피막은 피절삭재에 대한 내반응성이 우수하고, 고속절삭재와 난절삭재(難切削材)를 절삭함에 있어서도 안정된 내마모성을 발휘할 수 있음을 알 수 있다.
본 발명은 이상과 같이 구성되어 있으므로, 지금까지 개발하여 온 경질피막이 우수한 특성을 가지고 있어 일층 우수한 내마모성을 발휘하는 경질피막을 제공하는 것이 가능하게 되고, 또한 높은 내마모성이 요구되는 부재에 상기 경질피막을 피복한 경질피막피복부재가 제공될 수 있게 되었다.

Claims (6)

  1. 기재표면에 형성되는 경질피막으로서 제1층 및 제2층을 가지고, 상기 제1층은 기재측에 형성되어 Al, Ti, Si으로 이루어지는 적어도 Al 또는 Ti을 포함선택되는 1종 이상의 금속원소와, B, C, N으로 이루어지는 군으로 부터 선택되는 1종 이상의 비금속원소와의 화합물로 이루어지며, 상기 제2층은 표면측에 적층된 AlBN 으로 되는 것을 특징으로 하는 내마모성이 우수한 경질피막(硬質皮膜).
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1층은 (AlaTil-a) (CbN1-b)로 되는 화학조성으로 이루어지는 경질피막
    여기에서, 0.25a0.75
    0b0.4
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1층은 (AlcTi1-c) (BdN1-d)로 되는 화학조성으로 이루어지는 경질피막
    여기에서, 0.05c0.75
    0.02d0.12
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1층은 (AlxTi1-x-ySiy) (CzN1-z)로 되는 화학조성으로 이루어지는 경질피막
    여기에서, 0.05x0.75
    0.01y0.1
    0z0.4
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1층의 두께는 0.1~20㎛으로 하는 경질피막.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2층의 두께는 0.1~20㎛으로 되는 경질피막.
KR1019950047578A 1994-12-14 1995-12-07 내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재 KR100186910B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31100494A JP3488526B2 (ja) 1994-12-14 1994-12-14 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP94-311004 1994-12-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960023207A KR960023207A (ko) 1996-07-18
KR100186910B1 true KR100186910B1 (ko) 1999-04-01

Family

ID=18011971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950047578A KR100186910B1 (ko) 1994-12-14 1995-12-07 내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5882778A (ko)
JP (1) JP3488526B2 (ko)
KR (1) KR100186910B1 (ko)
DE (1) DE19546357C2 (ko)
TW (1) TW306936B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100783990B1 (ko) * 2003-05-30 2007-12-07 유니온쓰루 가부시키가이샤 절삭공구용 경질피막

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6613410B1 (en) * 1999-09-23 2003-09-02 National Label Company Extended wrap label
EP0972091A1 (en) * 1998-02-04 2000-01-19 OSG Corporation Multilayer coated tool
US6492011B1 (en) * 1998-09-02 2002-12-10 Unaxis Trading Ag Wear-resistant workpiece and method for producing same
US6593015B1 (en) 1999-11-18 2003-07-15 Kennametal Pc Inc. Tool with a hard coating containing an aluminum-nitrogen compound and a boron-nitrogen compound and method of making the same
US6607782B1 (en) * 2000-06-29 2003-08-19 Board Of Trustees Of The University Of Arkansas Methods of making and using cubic boron nitride composition, coating and articles made therefrom
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
DE60124061T2 (de) * 2000-12-28 2007-04-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe Hartstoffschicht für Schneidwerkzeuge
US6988858B2 (en) * 2001-02-28 2006-01-24 Kennametal Inc. Oxidation-resistant cutting assembly
US20040008950A1 (en) * 2001-03-20 2004-01-15 Daiichi Kasei Co., Ltd. Resin ferrule for use in optical fiber connector and molding die therefor
DE10120046B4 (de) * 2001-04-24 2009-10-29 Widia Gmbh Schneideinsatz zur Bearbeitung von schwer zerspanbaren Metalllegierungswerkstücken und Verfahren zu dessen Herstellung
US6660133B2 (en) 2002-03-14 2003-12-09 Kennametal Inc. Nanolayered coated cutting tool and method for making the same
JP3996809B2 (ja) * 2002-07-11 2007-10-24 住友電工ハードメタル株式会社 被覆切削工具
US6858333B2 (en) * 2002-10-09 2005-02-22 Kennametal Inc. Tool with wear resistant low friction coating and method of making the same
US6871613B2 (en) * 2003-06-06 2005-03-29 Schulmerich Carillons, Inc. Tarnish-resistant handbell and its method of manufacture
US7131365B2 (en) * 2003-09-16 2006-11-07 Irwin Industrial Tool Company Multi-chip facet cutting saw blade and related method
KR100600573B1 (ko) * 2004-06-30 2006-07-13 한국야금 주식회사 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재
AT7941U1 (de) 2004-12-02 2005-11-15 Ceratizit Austria Gmbh Werkzeug zur spanabhebenden bearbeitung
SE529223C2 (sv) * 2005-05-06 2007-06-05 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg innefattande hexagonal h-(Mel,Me2)Xfas
EP2256229A1 (de) * 2005-11-04 2010-12-01 Sulzer Metaplas GmbH Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem
JP4985919B2 (ja) 2005-12-22 2012-07-25 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
US20070172659A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Shao Richard L Anti-oxidation coating for carbon composites
JP5005262B2 (ja) * 2006-05-26 2012-08-22 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工できわめて優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
JP4699978B2 (ja) * 2006-08-09 2011-06-15 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆材
JP5173670B2 (ja) * 2008-08-20 2013-04-03 株式会社アマダ 鋸刃及びその製造方法
US20120003425A1 (en) * 2010-06-30 2012-01-05 Kennametal Inc. TiAIN COATINGS FOR GLASS MOLDING DIES AND TOOLING
US8440328B2 (en) 2011-03-18 2013-05-14 Kennametal Inc. Coating for improved wear resistance
EP3047048B8 (en) * 2013-09-18 2021-04-14 Raytheon Technologies Corporation Article having coating including compound of aluminum, boron and nitrogen
CN107636193A (zh) 2015-04-20 2018-01-26 山高刀具公司 涂层切削刀具和对所述切削刀具进行涂覆的方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE306077C (ko) *
US4714660A (en) * 1985-12-23 1987-12-22 Fansteel Inc. Hard coatings with multiphase microstructures
US4970092A (en) * 1986-05-28 1990-11-13 Gavrilov Alexei G Wear resistant coating of cutting tool and methods of applying same
AT387988B (de) * 1987-08-31 1989-04-10 Plansee Tizit Gmbh Verfahren zur herstellung mehrlagig beschichteter hartmetallteile
JP2793696B2 (ja) * 1990-05-17 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性皮膜
DE59106090D1 (de) * 1991-01-21 1995-08-31 Balzers Hochvakuum Beschichtetes hochverschleissfestes Werkzeug und physikalisches Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von hochverschleissfesten Werkzeugen.
US5330853A (en) * 1991-03-16 1994-07-19 Leybold Ag Multilayer Ti-Al-N coating for tools
JP2793773B2 (ja) * 1994-05-13 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100783990B1 (ko) * 2003-05-30 2007-12-07 유니온쓰루 가부시키가이샤 절삭공구용 경질피막

Also Published As

Publication number Publication date
TW306936B (ko) 1997-06-01
DE19546357C2 (de) 2002-05-08
US5882778A (en) 1999-03-16
DE19546357A1 (de) 1996-06-20
KR960023207A (ko) 1996-07-18
JP3488526B2 (ja) 2004-01-19
JPH08170164A (ja) 1996-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100186910B1 (ko) 내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재
JP2793773B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材
CN102304692B (zh) 硬质保护膜及其形成方法
JP4702520B2 (ja) 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
US7939186B2 (en) Cutting tool made of surface-coated cubic boron nitride-based ultra-high-pressure sintered material
JPH07310173A (ja) 密着性に優れた硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜被覆部材
KR101616600B1 (ko) 경질 피막 피복 공구
US20040157090A1 (en) Hard film, method of forming the same and target for hard film formation
JP3963354B2 (ja) 被覆切削工具
KR100681741B1 (ko) 고속절삭가공에서 경질피복층이 우수한 내마모성을발휘하는 표면피복 초경합금제 절삭공구
JP2840541B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材
JP4331807B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
KR20170137162A (ko) 경질 피막 및 경질 피막 피복 부재
JP4350822B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP3822655B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP4645820B2 (ja) 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
JP4645819B2 (ja) 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
KR20210118093A (ko) 경질 피막 절삭 공구
JP4678582B2 (ja) 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
JP3836640B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP3934263B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP2019118995A (ja) 表面被覆切削工具
JP2005271155A (ja) 被覆切削工具
JP3902249B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP2008260097A (ja) 表面被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121221

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131220

Year of fee payment: 16

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141219

Year of fee payment: 17

EXPY Expiration of term