JP3469117B2 - ガイドローラの位置合せ用ゲージ及びそれを使用するワイヤソー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソーにお
いて、複数の加工用ローラ上の環状溝と、ワイヤを案内
するためのガイドローラとの位置合わせに使用するよう
にした位置合せ用ゲージに関するものである。また、そ
の位置合せ用ゲージを使用するワイヤソーに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤを用いて、半導体材料、磁性材
料、セラミック等の硬脆材料よりなるワークを切断加工
するワイヤソーにおいては、複数の加工用ローラ上に形
成された多数の環状溝にワイヤが順に巻回される。そし
て、加工用ローラの回転に伴い、ワイヤが供給側のガイ
ドローラを介して加工用ローラ上に供給されて、加工用
ローラ間で走行されるとともに、引出側のガイドローラ
を介して加工用ローラ上から引出される。

【０００３】この場合、ガイドローラのワイヤガイド溝
と、加工用ローラの巻始め及び巻終わり部分の環状溝と
が同一面内において正確に一致していないと、ワイヤが
ガイド溝あるいは環状溝と斜交することになる。このた
め、ガイドローラのワイヤガイド溝の部分や、加工用ロ
ーラの環状溝の部分が異常摩耗したり、早期摩耗した
り、あるいはワイヤが断線したりことになる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このため、ガイドロー
ラのワイヤガイド溝と、加工用ローラの所要の環状溝と
は正確に位置合わせされる必要があるが、従来はこの作
業が、作業者の熟練に依存していた。従って、その位置
合わせ作業を正確にかつ簡単におこなうことが難しかっ
た。

【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ガイドローラを加工用ローラ上の所要の
環状溝と対応する位置へ移動調整する際に、そのガイド
ローラの位置合せを容易かつ正確に行うことができるガ
イドローラの位置合せ用ゲージ及びそれを使用するワイ
ヤソーを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、間隔をおいて平行に
配設された複数の加工用ローラを備え、各加工用ローラ
の外周には多数の環状溝が形成され、それらの環状溝に
１本のワイヤを連続的に巻回することによって、平行に
延びるワイヤ列が張設され、これら複数の加工用ローラ
上の環状溝に対するワイヤの供給または環状溝からのワ
イヤの引出を、ガイドローラを介して行うようにしたワ
イヤソーにおいて、ガイドローラを加工用ローラ上のワ
イヤ掛装端部の環状溝の溝位置と合致する位置に移動調
整する際に使用するガイドローラの位置合せ用ゲージで
あって、基端部には位置調節機構によって移動調節され
るガイドローラの支持部に取り付けられる取付部を設け
るとともに、先端部には加工用ローラの外周面に接合可
能な接合部を設け、前記接合部側の一側面には、取付部
がガイドローラの支持部に取り付けられた状態におい
て、取り付け時のガイドローラの溝位置と一直線上に位
置する基準面が形成され、この基準面を加工用ローラ上
のワイヤ掛装端部の環状溝の溝位置と合致させるように
位置調整機構を調整して位置合せするものである。

【０００７】従って、ガイドローラをガイドローラの溝
位置が加工用ローラ上のワイヤ掛装端部の環状溝の溝位
置と合致する位置へ移動調整する場合には、位置合せ用
ゲージの基端部の取付部をガイドローラ側に取り付け
て、基準面をガイドローラの溝位置と一直線上にあわせ
た状態で、先端部の接合部を加工用ローラ上の外周面に
接合させて、ガイドローラを移動調整し、基準面を加工
用ローラ上のワイヤ掛装端部の環状溝の溝位置に一致さ
せる。これにより、ガイドローラのワイヤ案内用のガイ
ド溝が加工用ローラ上のワイヤ掛装端部すなわちワイヤ
巻き始めまたは巻き終わりの環状溝と合致するように、
ガイドローラを所定位置に容易かつ正確に位置合せする
ことができる。このため、作業者の熟練に依存しなくて
も、前述したガイドローラと環状溝との位置合わせを正
確かつ容易に行うことができる。

【０００８】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のガイドローラの位置合せ用ゲージにおいて、前記取
付部は、ガイドローラを支持する支持軸上に取り付けら
れ、ガイドローラを支持軸から取り外した状態で、その
支持軸に取り付けられる取付孔からなるものである。

【０００９】従って、ガイドローラの移動調整時には、
ガイドローラを支持軸から取り外すとともに、その支持
軸に位置合せ用ゲージの取付孔を嵌合装着した状態で、
ガイドローラの位置合せを容易かつ正確に行うことがで
きる。

【００１０】請求項３に記載の発明では、請求項１に記
載のガイドローラの位置合せ用ゲージにおいて、ガイド
ローラを支持する支持軸上に取り付けられ、前記取付部
は、ガイドローラを支持軸に取り付けたままの状態で、
ガイドローラを支持軸に保持するキャップ上に取り付け
られる取付孔からなるものである。

【００１１】従って、ガイドローラの移動調整時には、
ガイドローラを支持軸から取り外すことなく、締付キャ
ップに位置合せ用ゲージの取付孔を嵌合装着した状態
で、ガイドローラの位置合せを容易かつ正確に行うこと
ができる。

【００１２】請求項４に記載の発明では、請求項１に記
載のガイドローラの位置合せ用ゲージにおいて、前記取
付部は、ガイドローラを支持する支持部材上に取り付け
られるものである。

【００１３】従って、加工用ローラを支持軸から取り外
すことなく、位置合せ用ゲージをガイドローラ側に対し
て容易に着脱することができ、位置合わせ作業が容易に
なる。

【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項１ない
し請求項４のいずれ一項に記載のガイドローラの位置合
せ用ゲージにおいて、前記取付部は、ガイドローラの支
持部に回動可能に取り付けられるものである。

【００１５】従って、位置合わせ用ゲージの取付部をガ
イドローラよりも加工用ローラに近い位置に配置すれ
ば、位置合わせ用ゲージを短い小型のものにすることが
できる。

【００１６】請求項６に記載のワイヤソーの発明では、
前記請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のガ
イドローラの位置合せ用ゲージを使用したものである。

【００１７】

【００１８】従って、位置合せ用ゲージを使用して、供
給側ガイドローラ及び引出側ガイドローラを加工用ロー
ラ上のワイヤ掛装端部の環状溝の溝位置と合致する位置
に、容易かつ正確に移動調整することができる。このた
め、加工用ローラ上のワイヤ巻き始めまたは巻き終わり
部分の環状溝が早期に摩耗して加工精度が低下したり、
ワイヤが断線したりするおそれを防止することができ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図８に基づいて説明す
る。

【００２０】図１に示すように、この実施形態のワイヤ
ソーにおいては、ベース１１上にコラム１２が立設され
ている。コラム１２の一側においてベース１１上には切
断機構１３が、一対の支持フレーム１４を介して装設さ
れている。この切断機構１３は、間隔をおいて平行に配
設された複数（実施形態では３個，２個または４個の場
合もある）の加工用ローラ１５，１６，１７を備え、そ
れらの外周には多数の環状溝１５ａ，１６ａ，１７ａが
軸方向に列設形成されている。

【００２１】前記加工用ローラ１５，１６，１７間に
は、それらの環状溝１５ａ〜１７ａに１本の線材よりな
るワイヤ１８を連続的に巻回することによって、平行に
延びるワイヤ列１８Ａが張設されている。支持フレーム
１４にはワイヤガイド機構１９が装設され、加工用ロー
ラ１５〜１７へのワイヤ１８の供給を案内するワイヤ供
給側ユニット１９Ａと、加工用ローラ１５〜１７からの
ワイヤ１８の引出を案内するワイヤ引出側ユニット１９
Ｂとを備えている。

【００２２】そして、加工用ローラ１５〜１７が図示し
ないワイヤ走行用モータにて回転されることにより、ワ
イヤ１８がワイヤ供給側ユニット１９Ａを介して加工用
ローラ１５〜１７上に給送されて、加工用ローラ１５〜
１７間をワイヤ列１８Ａが走行された後に、ワイヤ引出
側ユニット１９Ｂを介して引出される。このとき、ワイ
ヤ列１８Ａが切断機構１３の加工用ローラ１５〜１７間
で走行されながら、ワーク支持機構２１が図示しない送
り用モータにより切断機構１３に向かって下方に送り移
動される。そして、スラリ供給ノズル２０からワイヤ列
１８Ａ上に遊離砥粒を含むスラリが供給されるととも
に、そのワイヤ列１８Ａに対しワーク２２が押し付け接
触されて、ワーク２２がウエハ状または薄板状に切断加
工される。

【００２３】次に、前記ワイヤガイド機構１９について
詳細に説明する。図２及び図３に示すように、ワイヤガ
イド機構１９のワイヤ供給側ユニット１９Ａ及びワイヤ
引出側ユニット１９Ｂは、それぞれ第１ガイドローラ２
５、第２ガイドローラ２６及び第３ガイドローラ２７を
備えている。そして、両ユニット１９Ａ，１９Ｂの第１
ガイドローラ２５はブラケツト２８を介して、支持フレ
ーム１４の両側外面に回転可能に支持されている。

【００２４】一方の支持フレーム１４の外側端には取付
金具２９が取り付けられ、この取付金具２９と対応する
ように、他方の支持フレーム１４の外側端には係止金具
３０が取り付けられている。取付金具２９には支持バー
３１が基端にて支持ピン３２により回動可能に取り付け
られ、その先端には係止金具３０に係合可能な二叉状の
係合部３１ａが形成されている。

【００２５】そして、この支持バー３１は、図２に実線
で示すように加工用ローラ１５〜１７に近接した閉止位
置と、同図に鎖線で示すように加工用ローラ１５〜１７
から外側方に離間した開放位置とに回動配置されるよう
になっている。また、この支持バー３１は閉止位置に回
動配置された状態で、係合部３１ａと係止金具３０との
係合により、その閉止位置に位置決め保持されるように
なっている。

【００２６】図２〜図５において、ガイドローラの支持
機構および位置調整機構について説明する。前記支持バ
ー３１の外側面には支持溝３３が加工用ローラ１５〜１
７の軸線方向へ延長形成され、内側の幅広溝部３３ａと
外側の幅狭溝部３３ｂとを備えている。支持バー３１の
支持溝３３には一対の第１調整板３４が、加工用ローラ
１５〜１７の全長に亘ってその軸線方向へ移動調整可能
に支持されている。各第１調整板３４に対応するよう
に、支持溝３３の幅広溝部３３ａ内には一対のナット３
５か摺動可能に配設され、これらのナット３５には第１
調整板３４上から支持溝３３の幅狭溝部３３ｂを介して
締付ボルト３６が螺合されている。そして、これらの締
付ボルト３６を締め付けることにより、各第１調整板３
４が所定の移動調整位置に固定されるようになってい
る。

【００２７】前記各第１調整板３４の上部には支持部材
としての第２調整板３７が長孔３８に挿入されたボルト
３９を緩めることにより、加工用ローラ１５〜１７の軸
線方向へ微調整移動可能で、締め付けることにより位置
固定されるようになっている。各第２調整板３７の側面
には微調整ネジ４０がブラケット４１を介して回動調整
可能に支持され、各第１調整板３４のネジ孔４２に螺合
されている。そして、これらの微調整ネジ４０を回動さ
せることにより、第２調整板３７が第１調整板３４上
で、加工用ローラ１５〜１７の軸線方向へ微調整移動さ
れるようになっている。

【００２８】また、前記ワイヤ供給側ユニット１９Ａ及
びワイヤ引出側ユニット１９Ｂの第２ガイドローラ２６
は、各第２調整板３７上に回転可能に支持されている。
さらに、図６及び図７に示すように、各ユニット１９
Ａ，１９Ｂの第３ガイドローラ２７は、各第２調整板３
７上に突設された支持軸４３に対して、締付キャップ４
４及び一対の締付ネジ４５により回転可能及び着脱可能
に支持されている。支持軸４３はフランジ４３ａを有
し、第３ガイドローラ２７がこのフランジ４３ａに当て
られて位置決めされる。

【００２９】切断機構１３の加工用ローラ１５〜１７に
は、ワイヤ供給側ユニット１９Ａの第１ガイドローラ２
５、第２ガイドローラ２６及び第３ガイドローラ２７を
介して、ワイヤ１８が供給される。また、加工用ローラ
１５〜１７からは、ワイヤ引出側ユニット１９Ｂの第３
ガイドローラ２７、第２ガイドローラ２６及び第１ガイ
ドローラ２５を介して、ワイヤ１８が引き出される。

【００３０】次に、前記両ユニット１９Ａ，１９Ｂの第
２ガイドローラ２６及び第３ガイドローラ２７を、加工
用ローラ１５，１７上のワイヤ掛装端部の環状溝１５
ａ，１７ａと対応する位置に移動調整する際に使用する
位置合せ用ゲージについて説明する。図６〜図８に示す
ように、位置合せ用ゲージ４８のゲージ本体４９は金属
板等により長尺状に形成されている。ゲージ本体４９の
基端には取付部としての取付孔４９ａが形成され、先端
には接合部４９ｂが形成されている。

【００３１】そして、図６及び図７に示すように、前記
第２及び第３ガイドローラ２６，２７の移動調整時に
は、第３ガイドローラ２７を支持軸４３から取り外した
状態で、その支持軸４３にゲージ本体４９の取付孔４９
ａを嵌挿するとともに、フランジ４３ａに当てて位置決
めをして、保持キャップ５０及び締付ネジ４５により回
動可能に支持する。このとき、第３ガイドローラ２７が
取り付けられている時のガイド溝の溝位置とゲージ本体
４９の一側面すなわち接合部４９ｂに形成された基準面
Ｋが一直線上に位置するように寸法形成されている。こ
の状態で、図８に示すように、ゲージ本体４９を加工用
ローラ１５，１７に対する離間位置から接合位置に回動
させて、先端の接合部４９ｂを加工用ローラ１５，１７
の外周面に当て、基準面Ｋが加工用ローラ１５，１７の
ワイヤ掛装部の端部に位置する所要の環状溝１５ａ，１
７ａの位置に合致している状態がすなわちガイドローラ
２６，２７の位置合せ状態となる。

【００３２】次に、前記のように構成されたワイヤソー
及び位置合せ用ゲージの作用を説明する。さて、このワ
イヤソーにおいて、加工用ローラ１５〜１７に新たなワ
イヤ１８を掛装する場合、加工用ローラ１５〜１７の軸
方向におけるワイヤ１８の掛装位置に応じて、ワイヤガ
イド機構１９の両ユニット１９Ａ，１９Ｂにおける第２
ガイドローラ２６及び第３ガイドローラ２７の位置を、
ワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ〜１７ａと対応するよう
に移動調整する必要がある。すなわち、各第３ガイドロ
ーラ２７上のガイド溝２７ａとワイヤ掛装端部の環状溝
１５ａ〜１７ａとが一致するように、第３ガイドローラ
２７の位置合せを行う必要がある。

【００３３】この第２及び第３ガイドローラ２６，２７
の移動調整時には、各ユニット１９Ａ，１９Ｂの第３ガ
イドローラ２７を第２調整板３７上の支持軸４３から取
り外す。この状態で、各支持軸４３に位置合せ用ゲージ
４８の取付孔４９ａを嵌挿して、位置合せ用ゲージ４８
を第２調整板３７上にそれぞれ回動可能に装着支持す
る。そして、図８に鎖線及び実線で示すように、位置合
せ用ゲージ４８を加工用ローラ１５，１７に対する離間
位置から接合位置に回動させて、先端の接合部４９ｂを
加工用ローラ１５，１７の外周面に接合させる。

【００３４】その後、各ユニット１９Ａ，１９Ｂの第１
調整板３４の締付ボルト３６を緩め、各第１調整板３４
を支持バー３１の支持溝３３に沿って移動させて、各ユ
ニット１９Ａ，１９Ｂの支持軸４３上に支持された位置
合せ用ゲージ４８の基準面Ｋが、ワイヤ掛装端部の環状
溝１５ａ，１７ａとほぼ合致する位置になるように移動
調整し、大まかな位置合せを行う。そして、この調整状
態で、各締付ボルト３６をナット３５に締め付けて、各
第１調整板３４を支持バー３１に固定する。

【００３５】さらに、各ユニット１９Ａ，１９Ｂの第１
調整板３４のボルト３９を緩め、微調整ネジ４０を回動
させて、第２調整板３７を第１調整板３４上で、加工用
ローラ１５〜１７の軸線方向へ微調整移動させる。これ
により、図７に示すように、各ユニット１９Ａ，１９Ｂ
の第２調整板３７の支持軸４３上に支持された位置合せ
用ゲージ４８の基準面Ｋが、加工用ローラ１５，１７の
ワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ，１７ａの位置と合致す
るように微調整する。そして、この微調整後に、各ボル
ト３９を締付けて、各第２調整板３７を第１調整板３４
に固定する。

【００３６】その後、図８に実線及び鎖線で示すよう
に、各位置合せ用ゲージ４８を加工用ローラ１５，１７
に対する接合位置から離間位置に回動させる。そして、
各位置合せ用ゲージ４８を支持軸４３から取り外して、
それらの支持軸４３上に第３ガイドローラ２７を取り付
ける。これにより、各ユニット１９Ａ，１９Ｂにおける
第３ガイドローラ２７上のガイド溝２７ａが、加工用ロ
ーラ１５，１７のワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ，１７
ａと一直線に位置するように配置される。

【００３７】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 （１） 以上のように、この実施形態のガイドローラの
位置合せ用ゲージにおいては、新たなワイヤ１８の掛装
時に、ゲージ本体４９の基端の取付部としての取付孔４
９ａをガイドローラ２７の支持軸４３に嵌合装着する。
そして、この状態で、位置合せ用ゲージ４８の先端の接
合部４９ｂを、加工用ローラ１５，１７上に接合させれ
ば、ゲージ本体４９の一側面と所要のガイド溝２７ａと
を一致させることができる。従って、この状態において
第２調整板３７が最適な位置に配置されるため、その第
２調整板３７上の支持軸４３にガイドローラ２７を支持
すれば、ワイヤ１８がガイドローラ２７のガイド溝２７
ａ及び加工用ローラ１５，１７の所要の環状溝１５ａ，
１７ａを通る面内に配置されて、それらの間に張設され
る。

【００３８】このため、加工用ローラ１５，１７の環状
溝１５ａ，１７ａの部分やガイドローラ２７のガイド溝
２７ａ部分の異常摩耗あるいは早期摩耗を抑制できると
ともに、ワイヤ断線を防止できる。しかも、前述の説明
から明らかなように、ガイドローラ２７の位置合わせを
位置合わせ用ゲージ４８を用いて熟練を要することなく
簡単に行うことができる。

【００３９】（２） ケージ本体４９の基端の取付孔４
９ａが、ガイドローラ２７用の支持軸４３に回動可能に
取り付けられるため、位置合せ用ゲージ４８を加工用ロ
ーラ１５，１７から離間した位置に回動配置した状態
で、ガイドローラ２７用の支持軸４３に対して容易に着
脱することができる。また、位置合せ用ゲージ４８を支
持軸４３に装着した状態で、加工用ローラ１５，１７と
接合する位置に回動配置することにより、ガイドローラ
２７の位置合せを容易かつ正確に行うことができる。

【００４０】（３） 前記のような構成の位置合せ用ゲ
ージ４８を使用したワイヤソーは、前記のように、加工
用ローラ１５，１７上の環状溝１５ａ，１７ａやガイド
ローラ２７のガイド溝２７ａ部分が異常摩耗や早期摩耗
したり、ワイヤ１８が断線したりするおそれを防止する
ことができる。

【００４１】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００４２】さて、この第２の実施形態においては、図
９に示すように、位置合せ用ゲージ４８のゲージ本体４
９の基端に、取付部としての大径の取付孔４９ａが形成
されている。そして、第３ガイドローラ２７を加工用ロ
ーラ１５，１７上のワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ，１
７ａと対応する位置に移動調整する場合には、第３ガイ
ドローラ２７を支持軸４３に取り付けたままの状態で、
位置合せ用ゲージ４８の取付孔４９ａを締付キャップ４
４に回動可能に嵌合装着するようになっている。

【００４３】従って、この位置合せ用ゲージ４８をその
一側面がガイドローラ２７の側面により位置決めされる
ように締付キャップ４４に装着する。この状態で、先端
の接合部４９ｂを加工用ローラ１５，１７上の外周面に
接合させ、その基準面Ｋがワイヤ掛装端部の環状溝１５
ａ，１７ａとほぼ合致する位置になるように微調整ネジ
４０により移動調整することにより、第３ガイドローラ
２７をそのガイド溝２７ａがワイヤ掛装端部の環状溝１
５ａ，１７ａと一直線上に位置するように位置合せする
ことができる。位置合わせ終了後、位置合せ用ゲージ４
８は締付キャップ４４から取り外される。

【００４４】この第２の実施形態においては、前述した
第１の実施形態における（２）及び（３）に記載の効果
に加えて、次のような効果を期待することができる。 （４） ガイドローラの移動調整時には、ガイドローラ
２７を支持軸４３から取り外すことなく、締付キャップ
４４に位置合せ用ゲージ４８の取付孔４９ａを嵌合装着
すればよく、また、位置合わせ終了後は位置合せ用ゲー
ジ４８を締付キャップ４４から簡単に取り外すことがで
きる。従って、ガイドローラ２７の位置合せ作業が容易
になる。

【００４５】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００４６】さて、この第３の実施形態においては、図
１０に示すように、位置合せ用ゲージ４８のゲージ本体
４９の基端に、取付部としての小径の取付孔４９ａが形
成されている。また、各ユニット１９Ａ，１９Ｂの第２
調整板３７には、支持軸４３に隣接して取付ピン５１が
突設されている。そして、第３ガイドローラ２７を加工
用ローラ１５，１７上のワイヤ掛装端部の環状溝１５
ａ，１７ａと対応する位置に移動調整する場合には、第
３ガイドローラ２７を支持軸４３に取り付けたままの状
態で、位置合せ用ゲージ４８の取付孔４９ａを取付ピン
５１に回動可能に、かつ着脱可能に嵌合装着するように
なっている。

【００４７】従って、この位置合せ用ゲージ４８をその
一側面が第２調整板３７により位置決めされるように基
端の取付孔４９ａを取付ピン５１に装着する。この状態
で、先端の接合部４９ｂを加工用ローラ１５，１７上の
ワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ，１７ａに接合させ、そ
の基準面Ｋがワイヤ掛装端部の環状溝１５ａ，１７ａと
合致するように微調整ネジ４０により移動調整すること
により第３ガイドローラ２７の位置合せをすることがで
きる。位置合わせ終了後、位置合せ用ゲージ４８は取付
ピン５１から取り外される。

【００４８】この第３の実施形態においては、前述した
第１の実施形態における（２），（３）及び第２実施形
態に記載の効果に加えて、次のような効果を期待するこ
とができる。

【００４９】（５） 取付ピン５１をガイドローラ２７
よりも加工用ローラ１５，１７に接近した位置に配置で
きるため、位置合せ用ゲージ４８を短く小型のものにで
きる。

【００５０】なお、この実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ 位置合せ用ゲージ４８の基端の取付孔４９ａを、予
め第３ガイドローラ２７用の支持軸４３の基端部に回動
可能に嵌合装着すること。

【００５１】・ 前記第３の実施形態において、位置合
せ用ゲージ４８の基端の取付孔４９ａを、予め第２調整
板３７上の取付ピン５１に回動可能に、かつ常時装着す
ること。

【００５２】・ 前記第３の実施形態において、取付ピ
ン５１と取付孔４９ａとの位置関係を逆にすること。す
なわち、位置合わせ用ゲージ４８に取付ピンを、第２調
節板３７に取付孔を設けること。

【００５３】・ 前記第１の実施形態において、保持キ
ャップ５０と支持軸４３に取付けることなく位置合わせ
作業を行うこと。

【００５４】

【発明の効果】以上実施形態で例示したように、この発
明においては以下の効果を発揮する。請求項１に記載の
発明では、位置調節機構によって移動調節されるガイド
ローラの支持部に取り付けられる取付部と加工用ローラ
の外周面に接合可能な接合部とを設けたことにより、ガ
イドローラと環状溝との位置合わせを簡単に行うことが
できる。また、接合部側には、取付部がガイドローラの
支持部に取り付けられた状態において、取り付け時のガ
イドローラの溝位置と一直線上に位置する基準面が形成
され、この基準面を加工用ローラ上の所要の環状溝と合
致させるように位置調整機構を調整して位置合せするよ
うにしたことにより、基準面をガイドローラの溝位置に
あわせれば、ガイドローラの位置合わせを正確かつ容易
におこなうことができる。

【００５５】請求項２に記載の発明では、取付部をガイ
ドローラを支持軸から取り外した状態でその支持軸に取
り付けられる取付孔により構成したことにより、支持軸
に位置合せ用ゲージの取付孔を嵌合装着した状態で、ガ
イドローラの位置合せを容易かつ正確に行うことができ
る。

【００５６】請求項３に記載の発明では、取付部をガイ
ドローラを支持軸に取り付けたままの状態でガイドロー
ラを支持軸に保持するキャップ上に取り付けられる取付
孔により構成したことにより、ガイドローラを支持軸か
ら取り外すことなく、ガイドローラの位置合せをきわめ
て容易に行うことができる。

【００５７】請求項４に記載の発明では、取付部をガイ
ドローラを支持する支持部材上に取り付けられようにし
たことにより、加工用ローラを支持軸から取り外すこと
なく、位置合せ用ゲージをガイドローラ側に対して容易
に着脱することができ、位置合わせ作業が容易になる。

【００５８】請求項５に記載の発明では、取付部をガイ
ドローラの支持部に取り付けられるようにしたことによ
り、位置合わせ用ゲージを小型化することが可能にな
る。

【００５９】請求項６に記載の発明では、ガイドローラ
のガイド溝や加工用ローラ上のワイヤ掛装端部の環状溝
すなわちワイヤ巻き始めまたは巻き終わり部分の環状溝
が早期に摩耗して加工精度が低下したり、ワイヤが断線
したりするおそれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施形態を示すワイヤソー
の要部正面図。

【図２】 図１のワイヤソーの要部平面図。

【図３】 図１のワイヤソーの要部側面図。

【図４】 図３の一部を拡大して示す部分破断側面図。

【図５】 図４の５−５線における部分断面図。

【図６】 第１の実施形態のゲージの取付構成を示す分
解斜視図。

【図７】 図６のゲージの使用状態を示す部分破断側面
図。

【図８】 同じくゲージの使用状態を説明する要部正面
図。

【図９】 第２の実施形態のゲージの使用状態を示す部
分破断側面図。

【図１０】 第２の実施形態のゲージの使用状態を示す
部分破断側面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
５ａ，１６ａ，１７ａ…環状溝、１８…ワイヤ、１９…
ワイヤガイド機構、１９Ａ…ワイヤ供給側ユニット、１
９Ｂ…ワイヤ引出側ユニット、２１…ワーク支持機構、
２２…ワーク、２５…第１ガイドローラ、２６…第２ガ
イドローラ、２７…第３ガイドローラ、２７ａ…ガイド
溝、３１…支持バー、３３…支持溝、３４…第１調整
板、３７…支持部材としての第２調整板、４０…微調整
ネジ、４３…支持軸、４４…締付キャップ、４８…位置
合せ用ゲージ、４９…ゲージ本体、４９ａ…取付部とし
ての取付孔、４９ｂ…接合部、５１…取付ピン、Ｋ…基
準面。

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 間隔をおいて平行に配設された複数の加
   工用ローラを備え、各加工用ローラの外周には多数の環
   状溝が形成され、それらの環状溝に１本のワイヤを連続
   的に巻回することによって、平行に延びるワイヤ列が張
   設され、これら複数の加工用ローラ上の環状溝に対する
   ワイヤの供給または環状溝からのワイヤの引出を、ガイ
   ドローラを介して行うようにしたワイヤソーにおいて、
   ガイドローラをガイドローラの溝位置が加工用ローラ上
   のワイヤ掛装端部の環状溝の溝位置と合致する位置に移
   動調整する際に使用するガイドローラの位置合せ用ゲー
   ジであって、 基端部には、位置調整機構によって移動調整されるガイ
   ドローラの支持部に取り付けられる取付部を設けるとと
   もに、先端部には加工用ローラの外周面に接合可能な接
   合部を設け、前記接合部側の一側面には、取付部がガイ
   ドローラの支持部に取り付けられた状態において、取り
   付け時のガイドローラの溝位置と一直線上に位置する基
   準面が形成され、この基準面を加工用ローラ上のワイヤ
   掛装端部の環状溝の溝位置と合致させるように位置調整
   機構を調整して位置合せするガイドローラの位置合せ用
   ゲージ。
2. 【請求項２】 前記取付部は、ガイドローラを支持する
   支持軸上に取り付けられ、ガイドローラを支持軸から取
   り外した状態で、その支持軸に取り付けられる取付孔か
   らなる請求項１に記載のガイドローラの位置合せ用ゲー
   ジ。
3. 【請求項３】 前記取付部は、ガイドローラを支持する
   支持軸上に取り付けられ、ガイドローラを支持軸に取り
   付けたままの状態で、ガイドローラを支持軸に保持する
   ためのキャップ上に取り付けられる取付孔からなる請求
   項１に記載のガイドローラの位置合せ用ゲージ。
4. 【請求項４】 前記取付部は、ガイドローラを支持する
   支持部材上に取り付けられる請求項１に記載のガイドロ
   ーラの位置合せ用ゲージ。
5. 【請求項５】 前記取付部は、ガイドローラの支持部に
   回動可能に取り付けられる請求項１ないし請求項４のい
   ずれか一項に記載のガイドローラの位置合せ用ゲージ。
6. 【請求項６】 前記請求項１ないし請求項５のいずれか
   一項に記載のガイドローラの位置合せ用ゲージを使用し
   たワイヤソー。