JP3268742B2 - ワイヤソー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断等の加工を施すワイヤソーに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のワイヤソーにおいては、
複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それら
のローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形成さ
れている。また、各加工用ローラ間において、環状溝に
は１本のワイヤが順に巻回されている。さらに、加工用
ローラ間のワイヤに対応してワーク支持機構が配設さ
れ、このワーク支持機構の下部にワークが着脱可能に取
り付けられている。そして、ワイヤが走行されながら、
そのワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この
状態でワーク支持機構により、ワイヤに対しワークが押
し付け接触されて、ワークに切断等の加工が施されるよ
うになっている。

【０００３】この種のワイヤソーにおいては、ワークの
結晶方位を予め測定し、その測定結果に応じて、結晶方
位がワイヤの走行方向と所定の位置関係をもって対応す
るように、ワークの向きを調整する必要があった。この
ため、従来のワイヤソーにおいては、ワーク支持機構の
本体側にワークの回転方向（或いは垂直方向）及び水平
方向の結晶方位の向きを調整するための方位調整機構が
設けられていた。なお、この明細書においては、結晶方
位の向きの調整を、単に結晶方位の調整ということにす
る。そして、ワーク支持機構にワークを装着した後、こ
の方位調整機構により、ワークを軸線の周りで回転させ
るか或いは垂直方向に傾動させて一方向の結晶方位を調
整するとともに、さらにワークの軸線を水平面内で変移
させて、水平方向の結晶方位を調整していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来構
成においては、ワークの回転方向（或いは垂直方向）及
び水平方向の結晶方位を調整するための方位調整機構
を、ワイヤソーのワーク支持機構本体に設ける必要があ
る。このため、ワイヤソーの構成が複雑になるという問
題があった。

【０００５】また、この従来構成においては、ワイヤソ
ーのワーク支持機構にワークを装着した後、回転方向及
び水平方向の結晶方位をそれぞれ調整する必要があるた
め、調整時間を含めた加工時間全体が長くなって、加工
能率が低下するという問題もあった。

【０００６】しかも、従来のワイヤソーにおいては、ワ
ーク支持機構に方位調整機構が一カ所しかないため、異
なる結晶方位のワークを複数個設置し、同時に結晶方位
を合わせながら切断することは不可能であった。つま
り、一つのワーク支持具に一つのワークを装着し、これ
をワーク支持機構に装着して、方位調整した後に切断す
るというように、短物ワークでも、長物ワークでも一つ
ずつしか切断加工することができなかった。従って、ワ
イヤソーの加工能率が悪く、生産性の低いものであっ
た。

【０００７】また、ワーク支持機構に方位調整機構を複
数個設けて、異なる結晶方位の複数のワークを取り付け
てそれぞれを方位調整して、同時加工を可能にすること
も考えられる。しかしながら、ワーク支持機構の構成が
非常に複雑になり、さらにそれぞれに二方向の方位調整
を行ってからの切断開始となるため、作業性が悪いとと
もに、調整時間が長くかかる。

【０００８】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、簡単な構成でワーク支持機構に複数のワ
ークをそれぞれ方位調整した状態で支持でき、それらの
ワークを同時に加工することができて、加工能率を高め
ることができるワイヤソーを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、複数の加工用ローラ
間に所定ピッチで巻回したワイヤを走行させながら、ワ
ーク支持機構に支持したワークをワイヤに接触させて、
加工を施すようにしたワイヤソーにおいて、ワーク支持
機構本体に１または２以上のワーク支持部を設け、この
各ワーク支持部にそれぞれ予め一方向に方位調整してワ
ーク取付部材に取り付けた１または２以上のワークをそ
れぞれ支持する支持ベースを所定角度で位置決め支持
し、この支持ベースには各ワークに対応して水平方向の
結晶方位を調整するための方位調整機構が設けられ、こ
の方位調整機構に前記ワークを取り付けたワーク取付部
材が装着されることを要旨とする。

【００１０】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、ワーク支持部に対し支持ベー
スがくさび係合により位置決め固定されることを要旨と
する。

【００１１】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は請求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記方位調整
機構は、水平な支持ベースに対し、ワーク取付部材を垂
直軸線の周りで回動させる回動部材と、その回動部材を
回動調整する調整部材とから構成した。

【００１２】請求項４に記載の発明では、請求項３に記
載のワイヤソーにおいて、方位調整機構は、調整部材に
より往復動される移動体を備え、回動部材を移動体に連
結し、移動体の移動によりワーク取付部材が回動される
ことを要旨とする。

【００１３】請求項５に記載の発明では、請求項４に記
載のワイヤソーにおいて、方位調整機構の回動部材に対
しワーク取付部材を位置調整可能に取り付けたことを要
旨とする。

【００１４】請求項６に記載の発明では、請求項１〜５
のうち何れか一項に記載のワイヤソーにおいて、前記ワ
ークはワーク支持機構に対して、ワイヤの走行方向に複
数列で、各列に複数個ずつ配置したことを要旨とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明のワイヤソーの一
実施形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示
すように、装置基台１１上にはコラム１２が立設されて
いる。コラム１２の一側には切断機構１３がブラケット
１４を介して装設されている。この切断機構１３は所定
間隔をおいて平行に延びる複数の加工用ローラ１５，１
６，１７を備え、それらの外周には環状溝１５ａ，１６
ａ，１７ａが所定ピッチで形成されている。なお、図面
においては理解を容易にするために、環状溝１５ａ，１
６ａ，１７ａの数を実際よりも少なく描いてある。

【００１６】前記加工用ローラ１５，１６，１７の各環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本の線材よりなる
ワイヤ１８が連続的に巻回されている。ブラケット１４
にはワイヤ走行用モータ１９が配設され、このモータ１
９により図示しない伝達機構を介して加工用ローラ１
５，１６，１７が回転される。そして、これらの加工用
ローラ１５，１６，１７の回転によって、ワイヤ１８が
所定の走行速度で走行される。このワイヤ１８の走行
は、一定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例え
ば９ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前進するよう
に行われる。

【００１７】前記切断機構１３の上方に位置するよう
に、ブラケット１４上にはスラリ供給機構２０が配設さ
れ、このスラリ供給機構２０から加工用ローラ１５，１
６，１７間のワイヤ１８上に、遊離砥粒を含む水性また
は油性のスラリが供給される。スラリ供給機構２０の上
方において、コラム１２にはワーク支持機構２１が上下
動可能に支持され、その下部には硬脆材料よりなる一対
のワーク２２が着脱自在にセットされる。コラム１２上
にはワーク昇降用モータ２３が配設され、このモータ２
３により図示しないボールスクリュー等を介してワーク
支持機構２１が上下動される。

【００１８】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２１が切断機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２０からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対し各ワーク２２が押
し付け接触され、ラッピング作用によって各ワーク２２
がウエハ状にスライス加工される。

【００１９】前記装置基台１１上にはリール機構２４が
装設され、ワイヤ１８を繰り出すための繰出しリール２
５と、ワイヤ１８を巻き取るための巻取りリール２６と
を備えている。装置基台１１には回転方向及び回転速度
を変更可能なサーボモータよりなる一対のリール回転用
モータ２７，２８が配設され、それらのモータ軸には図
示しない伝達機構を介して両リール２５，２６が連結さ
れている。なお、ワイヤ１８の一方のリール２６への巻
き取り完了後は、そのリール２６がワイヤ繰り出し側
に、他方のリール２５がワイヤ巻き取り側に変わるもの
である。

【００２０】前記装置基台１１上にはリール機構２４に
隣接してトラバース機構２９が装設され、繰出しリール
２５からのワイヤ１８の繰出し及び巻取りリール２６へ
のワイヤ１８の巻取りを、上下にトラバースしながらワ
イヤ１８を案内する。そして、前記リール機構２４の両
リール２５，２６の回転により、繰出しリール２５から
切断機構１３へワイヤ１８が繰り出されるとともに、加
工後のワイヤ１８が巻取りリール２６に巻き取られる。

【００２１】前記リール機構２４と切断機構１３との間
には、張力保持機構３０及びガイド機構３１が配設され
ている。そして、切断機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間に巻回されたワイヤ１８の両端が、ガイド機
構３１の各ガイドローラ３２を介して張力保持機構３０
に掛装されている。この状態で、張力保持機構３０によ
り、加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８に所
定の張力が付与されるようになっている。

【００２２】次に、前記ワーク支持機構２１の構成につ
いて詳細に説明する。図３〜図４に示すように、前記コ
ラム１２の側部にはワーク支持機構本体としての昇降台
３５が昇降可能に支持され、その下面にはクランプベー
ス３６が配設されている。クランプベース３６の両側に
はクランプ板３７，３８が取り付けられ、一方のクラン
プ板３７の下端内縁には傾斜係合面３７ａが形成されて
いる。一対のクランプ板３７，３８の互いに対向する位
置において、各クランプ板３７，３８の下端内面には各
一対の支持突起３９が所定間隔おきに２箇所に突設さ
れ、各一対の支持突起３９の対向面には取付方向基準面
となる傾斜支持面３９ａがほぼＶ字状をなすように形成
されている。

【００２３】すなわち、前記両クランプ板３７，３８間
において、各一対の支持突起３９によりワーク支持部が
構成され、支持ベース４０がクランプ支持されている。
つまり、ここでは支持突起３９が２箇所平行に配置され
ている。各支持ベース４０の両側にはワーク支持機構２
１への取付基準となる断面ほぼ逆台形状の係合片４１が
突設され、これらの係合片４１及び図示しない搬送台車
等に載せるための突片７４が各一対の支持突起３９の傾
斜支持面３９ａ上に係合支持される。そして、各係合片
４１の先端上縁には傾斜面４１ａが形成されている。

【００２４】前記クランプ板３８には各支持ベース４０
に対応して一対のクランプねじ４２が螺合され、このク
ランプねじ４２を螺進せることにより、その先端が一方
の係合片４１の傾斜面４１ａに接合される。これに伴っ
て、支持ベース４０が図４の左側方に移動され、他方の
係合片４１の傾斜面４１ａがクランプ板３７の傾斜係合
面３７ａにくさび係合される。これにより、一対の支持
ベース４０が両クランプ板３７，３８間の支持突起３９
上で所定位置に確実にクランプされ、支持ベース４０は
取付基準線がワイヤ１８の走行方向と直交する方向と一
致するように、所定の角度位置に位置決めされる。

【００２５】前記クランプ板３７の外面には戻し用シリ
ンダ４３が配設され、そのピストンロッド４３ａの先端
が他方の係合片４１に対向配置されている。そして、前
記クランプねじ４２を螺退させた状態で、この戻し用シ
リンダ４３が突出動作されたとき、支持ベース４０が図
４の右側方に移動されて、係合片４１の傾斜面４１ａと
クランプ板３７の傾斜係合面３７ａとの係合が解除され
る。これにより、支持ベース４０を両クランプ板３７，
３８間の支持突起３９上から取り外すことができる。

【００２６】前記各支持ベース４０には一対の方位調整
機構４４が装設され、これらの方位調整機構４４の下部
には複数のワーク２２が各別に支持されている。また、
これらのワーク２２は、図３〜図５に示すように、加工
用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８の走行方向に
所定間隔をおいて２列で、各列に２個ずつ位置をずらし
て配置されている。そして、これらの方位調整機構４４
により、水平な支持ベース４０に対し各ワーク２２が垂
直軸線４６ａの周りで回動されて、各ワーク２２の結晶
方位が係合片４１の長手方向である取付基準線と平行に
なるように調整される。

【００２７】そこで、この方位調整機構４４について詳
述すると、図６〜図８に示すように、前記各支持ベース
４０の下面には一対の接合板４５が取り付けられてい
る。各接合板４５を貫通するように、支持ベース４０に
は一対の垂直軸線４６ａの上にそれぞれ回動軸４６がベ
アリング４７を介して回動可能に支持されている。各回
動軸４６の下端にはワーク支持体４８が固定され、それ
らの下面には摺動案内するアリ部４８ａがワイヤ１８の
走行方向と直交する方向に延長形成されている。

【００２８】前記回動軸４６の外周には複数の皿ばね４
９が一対のばね受け５０，５１を介して取り付けられ、
ナット５２により抜け止めされている。そして、この皿
ばね４９により回動軸４６が上方に付勢されて、ワーク
支持体４８が接合体４５に圧接されている。これによ
り、ワーク支持体４８が所定の回動調整位置に保持され
るようになっている。

【００２９】前記各ワーク支持体４８の下面にはワーク
取付部材を構成するワーク取付板５３が、その上面のア
リ溝５３ａをアリ部４８ａに係合させることによって、
ワイヤ１８の走行方向と直交する方向へ移動可能及び着
脱可能に取り付けられている。そして、これらのワーク
取付板５３の下面には、ガラス板５４及びカーボン板５
５を介して予め一方向、すなわち回転方向或いは垂直方
向に方位調整されたワーク２２が接着固定されている。

【００３０】前記ワーク支持体４８のアリ部４８ａと対
応するように、ワーク取付板５３の外側には締付ねじ５
７が螺合されるとともに、その内側には移動ピン５８及
びクランプ体５９が移動可能に配設されている。そし
て、この締付ねじ５７を螺進させることにより、移動ピ
ン５８を介してクランプ体５９がワーク支持体４８のア
リ部４８ａに圧接されて、ワーク取付板５３がワーク支
持体４８に固定されるようになっている。

【００３１】図６〜図８に示すように、前記各回動軸４
６の上端には回動部材としての回動レバー６０がねじ６
１により固定され、それらの先端下面には係合ローラ６
２が回転可能に支持されている。支持ベース４０に螺合
したばね受け６３と各回動レバー６０との間にはばね６
４が介装され、これらのばね６４により各回動レバー６
０が図７の矢印方向に回動付勢されている。

【００３２】前記各回動レバー６０と対応するように、
支持ベース４０には一対の収容孔６５が形成されてい
る。各収容孔６５内には円筒状の移動体６６が移動可能
に収容され、その外周面には係合溝６６ａが形成される
とともに、中心にはねじ孔６６ｂが形成されている。支
持ベース４０には一対の回り止めピン６７が螺合され、
それらの先端が移動体６６の係合溝６６ａに係合するこ
とにより、各移動体６６の回転が規制されている。各移
動体６６の外面には係合溝６８が形成され、この係合溝
６８内に各回動レバー６０上の係合ローラ６２が係合さ
れている。

【００３３】前記各移動体６６と対応するように、支持
ベース４０の各収容孔６５内には調整部材としての調整
軸６９がベアリング７０を介して回転可能に支持されて
いる。また、各調整軸６９の外端には工具係合孔６９ａ
が形成されるとともに、内端には移動体６６のねじ孔６
６ｂに螺合するねじ部６９ｂが形成されている。

【００３４】そして、工具係合孔６９ａに図示しない工
具を係合させて、調整軸６９を回動調整したときには、
ねじ部６９ｂ及びねじ孔６６ｂを介して移動体６６が移
動され、係合溝６８及び係合ローラ６２を介して回動レ
バー６０が回動される。これにより、回動軸４６を介し
てワーク支持体４８が回動され、ワーク取付板５３の下
面に取り付けられたワーク２２の中心軸線２２ａが水平
面内で回動変位されて、水平方向の結晶方位が調整され
るようになっている。

【００３５】なお、前記支持ベース４０の上面には上カ
バー７１が取り付けられ、各回動レバー６０の上方が覆
われている。支持ベース４０の前面には一対のフランジ
板７２が取り付けられ、各調整軸６９の前端を露出させ
た状態で、各収容孔６５の前部が覆われている。支持ベ
ース４０の後面には後カバー７３が取り付けられ、各収
容孔６５の後部が覆われている。

【００３６】次に、前記のように構成されたワイヤソー
について動作を説明する。さて、このワイヤソーにおい
て、ワーク支持機構２１に複数のワーク２２を取り付け
る場合には、支持ベース４０をワーク支持機構２１のク
ランプベース３６に装着する前工程において、予めワー
クの方位調整を行っておく。まず、ワーク取付板５３に
予め一方向に方位調整した状態のワーク２２を取り付け
る。すなわち、ワーク取付板５３の下面に、ガラス板５
４及びカーボン板５５を介して、ワーク２２をそれぞれ
接着固定する。

【００３７】その後、アリ溝５３ａとアリ部４８ａとの
係合により、それぞれワーク２２を接着した一対のワー
ク取付板５３を支持ベース４０の下部の各ワーク支持体
４８に支持して、締付ねじ５７により所定位置に締付け
固定すると、支持ベース４０の下面に２個のワーク２２
が同一軸線上に配列支持される。この支持ベース４０上
で各ワーク２２と対応する方位調整機構４４において、
調整軸６９の工具係合孔６９ａに図示しない工具を係合
させて、調整軸６９を回動調整する。すると、ねじ部６
９ｂ及びねじ孔６６ｂを介して移動体６６が移動され、
係合溝６８及び係合ローラ６２を介して回動レバー６０
が回動される。これにより、回動軸４６を介してワーク
支持体４８が回動され、ワーク取付板５３の下面に取り
付けられたワーク２２が回動されて、その結晶方位が支
持ベース４０に対し調整される。さらに、一対の支持ベ
ース４０をクランプベース３６のクランプ板３７，３８
間の支持突起３９上に支持して、クランプねじ４２を締
付けることにより所定の取付角度で位置決めクランプす
る。これにより、複数のワーク２２がワーク支持機構２
１の下部に、ワイヤ１８の走行方向へ所定間隔をおいて
２列で、各列に２個ずつ位置をずらして計４個それぞれ
が方位調整された状態で配置される。

【００３８】なお、このとき、ワイヤソーのワイヤ１８
の列の中で、２列のワーク２２から完全に外れて切断し
ない部分がないように、ワーク２２の位置を各支持ベー
ス４０の内で移動調整することも可能である。この場
合、締付けねじ５７を緩めて、ワーク取付板５３をワー
ク支持板４８のアリ部４８ａに沿って移動させた後、締
付けねじ５７で固定する。

【００３９】その後、ワイヤソーの運転を開始すると、
ワイヤ１８がリール機構２４の繰出しリール２５から繰
り出され、切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間において歩進的に走行された後、巻取りリール２６
に巻き取られる。そして、スラリ供給機構２０により、
加工用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８上に遊離
砥粒を含むスラリが供給されながら、ワーク支持機構２
１の下降により、ワイヤ１８に対して複数のワーク２２
が押し付け接触される。これにより、各ワーク２２が所
定の厚さに同時に切断加工される。

【００４０】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態のワイヤソーにおいては、ワーク支持
機構２１に支持ベース４０を介して複数のワーク２２が
支持されるようになっている。また、支持ベース４０に
は各ワーク２２に対応して結晶方位を調整するための方
位調整機構４４が設けられている。このため、ワーク支
持機構２１に支持ベース４０を装着するに先立って、支
持ベース４０上でワークの方位調整を行っておくことが
でき、そして、ワーク支持機構２１に複数のワーク２２
を支持した状態で、それらのワーク２２を同時に加工す
ることができて、加工能率を高めることができる。さら
に、装着後においても方位調整機構４４により、各ワー
ク２２の結晶方位をワイヤ１８の走行方向に対し最終調
整することができて、各ワーク２２について所定の加工
精度を確保することができる。

【００４１】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、ワーク２２がワーク支持機構２１に対して、ワイヤ
１８の走行方向に複数列で、各列に複数個ずつ配置され
るようになっている。このため、複数のワーク２２をワ
ーク支持機構２１に対して、容易に配列支持することが
できる。

【００４２】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、方位調整機構４４が、ワーク２２を支持するワーク
支持体４８と、そのワーク支持体４８を垂直軸線の周り
で回動させる回動部材としての回動レバー６０と、その
回動レバー６０を回動調整する調整部材としての調整軸
６９とから構成されている。このため、方位調整機構４
４の簡単な構成により、各ワーク２２の結晶方位を容易
に調整することができる。

【００４３】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 ・ ワーク支持機構２１に対してワーク２２を、３列以
上の複数列で、各列に１個または３個以上の複数個ずつ
配置するように構成すること。

【００４４】・ クランプベース３６のクランプ板３
７，３８間における支持ベース４０のクランプ構成にお
いて、前記実施形態のクランプねじ４２に代えて、クラ
ンプ用シリンダを設けること。

【００４５】・ 前記実施形態では、一対の支持突起３
９によりワーク支持部を構成したが、両支持突起３９を
１組又は３組以上設けること。

【００４６】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、予め方位調整したワークをワーク支持機構
に複数個取り付けることができ、それらのワークを同時
に加工することができて、加工能率を高めることができ
る。ワーク支持機構に方位調整機構を設ける必要がない
ため、ワイヤソーの構成を簡単にできる。

【００４７】請求項２に記載の発明によれば、くさび係
合により支持ベースの取付精度が高く正確な角度で確実
に固定される。請求項３に記載の発明によれば、方位調
整機構の簡単な構成により、各ワークの結晶方位を容易
に調整することができる。

【００４８】請求項５に記載の発明によれば、ワークの
配置に応じてワーク位置を調整することもでき、これに
より、ワイヤ列に均一の切断抵抗がかかり、安定した加
工が可能となる。

【００４９】請求項６に記載の発明によれば、複数のワ
ークをワーク支持機構に対して、容易に配列支持するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワイヤソーの一実施形態を示す正
面図。

【図２】 そのワイヤソーの平面図。

【図３】 ワーク支持機構を拡大して示す要部破断正面
図。

【図４】 そのワーク支持機構の要部破断側面図。

【図５】 図４の５−５線における断面図。

【図６】 図４の一部をさらに拡大して示す要部破断側
面図。

【図７】 図６のワーク支持機構の要部破断平面図。

【図８】 図６の８−８線における断面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
８…ワイヤ、２１…ワーク支持機構、２２…ワーク、３
５…ワーク支持機構本体としての昇降台３５、３６…ク
ランプベース、３７，３８…クランプ板、３９…ワーク
支持部としての支持突起、４０…支持ベース、４４…方
位調整機構、４６…回動軸、４６ａ…垂直軸線、４８…
ワーク支持体、５３…ワーク取付部材としてのワーク取
付板、６０…回動部材としての回動レバー、６６…移動
体、６６ｂ…ねじ孔、６９…調整部材としての調整軸、
６９ｂ…ねじ部。

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
   回したワイヤを走行させながら、ワーク支持機構に支持
   したワークをワイヤに接触させて、加工を施すようにし
   たワイヤソーにおいて、 ワーク支持機構本体に１または２以上のワーク支持部を
   設け、この各ワーク支持部にそれぞれ予め一方向に方位
   調整してワーク取付部材に取り付けた１または２以上の
   ワークをそれぞれ支持する支持ベースを所定角度で位置
   決め支持し、この支持ベースには各ワークに対応して水
   平方向の結晶方位を調整するための方位調整機構が設け
   られ、この方位調整機構に前記ワークを取り付けたワー
   ク取付部材が装着されるワイヤソー。
2. 【請求項２】 ワーク支持部に対し支持ベースがくさび
   係合により位置決め固定される請求項１に記載のワイヤ
   ソー。
3. 【請求項３】 前記方位調整機構は、水平な支持ベース
   に対し、ワーク取付部材を垂直軸線の周りで回動させる
   回動部材と、その回動部材を回動調整する調整部材とか
   ら構成した請求項１または請求項２に記載のワイヤソ
   ー。
4. 【請求項４】 方位調整機構は、調整部材により往復動
   される移動体を備え、回動部材を移動体に連結し、移動
   体の移動によりワーク取付部材が回動される請求項３に
   記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 方位調整機構の回動部材に対しワーク取
   付部材を位置調整可能に取り付けた請求項４に記載のワ
   イヤソー。
6. 【請求項６】 前記ワークはワーク支持機構に対して、
   ワイヤの走行方向に複数列で、各列に複数個ずつ配置し
   た請求項１〜５のうち何れか一項に記載のワイヤソー。