JPH03154768A - ワイヤ式切断機における溝ローラ支持装置 - Google Patents
ワイヤ式切断機における溝ローラ支持装置Info
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- JPH03154768A JPH03154768A JP29419889A JP29419889A JPH03154768A JP H03154768 A JPH03154768 A JP H03154768A JP 29419889 A JP29419889 A JP 29419889A JP 29419889 A JP29419889 A JP 29419889A JP H03154768 A JPH03154768 A JP H03154768A
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- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数の溝ローラにワイヤを螺旋状に巻付け、
ワイヤを高速走行させ、これに被切断物を押し当てて同
時に多数のウェハー状に切断するワイヤ式切断機におい
て、上記溝ローラを着脱可能に支持する支持装置に間す
る。
ワイヤを高速走行させ、これに被切断物を押し当てて同
時に多数のウェハー状に切断するワイヤ式切断機におい
て、上記溝ローラを着脱可能に支持する支持装置に間す
る。
上記ワイヤ式切断機としては、例えば特開昭６１−１０
０３６２号等に示す如く、ワイヤを螺旋状に巻付ける複
数個例えば３個の溝ローラは、それぞれ前後の支持ブラ
ケットに貫挿し、回動自在に支持されている。従って、
溝ローラが摩耗もしくは破損したとき、あるいは定翻的
にこれの交換を行うに際しては、１つの手段として溝ロ
ーラを前後の支持ブラケットと共に切断機から取り外し
て行う方法があり、他の手段としては前方の支持ブラケ
ットに取り付けられるベアリングを取り外し自在とし、
このベアリングを取り外して空洞を形成し、溝ローラを
この空洞から前方に引き出す方法等がある。
０３６２号等に示す如く、ワイヤを螺旋状に巻付ける複
数個例えば３個の溝ローラは、それぞれ前後の支持ブラ
ケットに貫挿し、回動自在に支持されている。従って、
溝ローラが摩耗もしくは破損したとき、あるいは定翻的
にこれの交換を行うに際しては、１つの手段として溝ロ
ーラを前後の支持ブラケットと共に切断機から取り外し
て行う方法があり、他の手段としては前方の支持ブラケ
ットに取り付けられるベアリングを取り外し自在とし、
このベアリングを取り外して空洞を形成し、溝ローラを
この空洞から前方に引き出す方法等がある。
前者の溝ローラを支持ブラケットと共に取り外す方式で
は、溝ローラは相当の重量があり、操作が困難であると
共に、取り付けに際し張設するワイヤと被切断物軸心と
の角度即ち芯出し作業に手数を要する等の問題がある。
は、溝ローラは相当の重量があり、操作が困難であると
共に、取り付けに際し張設するワイヤと被切断物軸心と
の角度即ち芯出し作業に手数を要する等の問題がある。
また後者のベアリングを取り外した空洞から溝ローラを
引き出す方法では、溝ローラは寸法にもよるが、通常３
０ ｋｇ前後あり、取扱いが困難で、空洞に挿入するに
際し、溝ローラに刻設した環状溝を損傷する等の問題が
ある。
引き出す方法では、溝ローラは寸法にもよるが、通常３
０ ｋｇ前後あり、取扱いが困難で、空洞に挿入するに
際し、溝ローラに刻設した環状溝を損傷する等の問題が
ある。
本発明はかかる点に鑑み、溝ローラを下方から着脱を容
易とする支持装置を提供することを目的とする。
易とする支持装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明のワイヤ式切断機にお
けろ溝ローラ支持走行は、前後の溝ローラ支持ブラケッ
トにはそれぞｂ回転支軸を回動自在に備え、溝ローラは
両回転支軸間に挿入する長さとし、かつ分割可能の締付
金具により溝ローラ両端をそれぞれ回転支軸に連結する
ようにしたものである。
けろ溝ローラ支持走行は、前後の溝ローラ支持ブラケッ
トにはそれぞｂ回転支軸を回動自在に備え、溝ローラは
両回転支軸間に挿入する長さとし、かつ分割可能の締付
金具により溝ローラ両端をそれぞれ回転支軸に連結する
ようにしたものである。
溝ローラの装着に当たっては、前後の回転支軸間に満ロ
ーラを挿入し、締付金具により溝ローラ両端をそれぞれ
回転支軸と結合して終わる。
ーラを挿入し、締付金具により溝ローラ両端をそれぞれ
回転支軸と結合して終わる。
取り外しに際してはその逆を行う。
図は本発明の実施例を示す、第８図及び第９図に示す如
く、ワイヤ式切断機１はワイヤＳを調節する複数個例え
ば３個の溝ローラ２，３゜４とこれらを支持する前後の
支持ブラケット５゜６を備える。但し、上部溝ローラ２
は駆動溝ローラとし、また後部ブラケット６は円板状と
し、機台面接Ｆにベアリング７を介して回動自在とした
もので、この後部ブラケット６の中心には回動主軸８を
取り付け、これに駆動プーリ９を固着し、この駆動プー
リ９はベルト１０を介して円板駆動モータ（図示省略）
に連結する。そして各溝ローラ２． ３． ４にワイヤ
Ｓを巻付けるとき、前後部ブラケット５．６を溝ローラ
２゜３．４と共に回動し、適宜のガイド機構（図示省略
）によりワイヤを所定速度にて溝ローラ軸心方向に送り
、所定ピッチにて巻付けるようにしたものである。
１１はベアリングカバーである。
く、ワイヤ式切断機１はワイヤＳを調節する複数個例え
ば３個の溝ローラ２，３゜４とこれらを支持する前後の
支持ブラケット５゜６を備える。但し、上部溝ローラ２
は駆動溝ローラとし、また後部ブラケット６は円板状と
し、機台面接Ｆにベアリング７を介して回動自在とした
もので、この後部ブラケット６の中心には回動主軸８を
取り付け、これに駆動プーリ９を固着し、この駆動プー
リ９はベルト１０を介して円板駆動モータ（図示省略）
に連結する。そして各溝ローラ２． ３． ４にワイヤ
Ｓを巻付けるとき、前後部ブラケット５．６を溝ローラ
２゜３．４と共に回動し、適宜のガイド機構（図示省略
）によりワイヤを所定速度にて溝ローラ軸心方向に送り
、所定ピッチにて巻付けるようにしたものである。
１１はベアリングカバーである。
また前部ブラケット５は連結杆１５により後部ブラケッ
ト６に連結し、所定間隔を保持すると共に機台面接Ｆに
は前後に摺動可能に貫挿した案内杆１６の先端に取り付
ける支持板１７に突子１Ｂ（好ましくは２個）を嵌挿し
、回動を阻止して保持する。
ト６に連結し、所定間隔を保持すると共に機台面接Ｆに
は前後に摺動可能に貫挿した案内杆１６の先端に取り付
ける支持板１７に突子１Ｂ（好ましくは２個）を嵌挿し
、回動を阻止して保持する。
なお、上記各溝ローラ２． ３． ４は何れも同一構造
であり、以下溝ローラ２について説明する。この溝ロー
ラ２は筒状のローラ本体２０とその両側に取り付けられ
る前後のフランジ２１゜２２とよりなり、ローラ本体２
０は耐摩耗性材料を以てする外１１ｍ２３を備え、この
外１２３には所定ピッチの環状？１１２４を形成し、且
つ外筒２３は前フランジ２１の鍔と後フランジ２２に螺
合する締付ナツトで挟持され、る、上記前後のフランジ
２１．２２にはそれぞれボス部２５゜２６を突設する。
であり、以下溝ローラ２について説明する。この溝ロー
ラ２は筒状のローラ本体２０とその両側に取り付けられ
る前後のフランジ２１゜２２とよりなり、ローラ本体２
０は耐摩耗性材料を以てする外１１ｍ２３を備え、この
外１２３には所定ピッチの環状？１１２４を形成し、且
つ外筒２３は前フランジ２１の鍔と後フランジ２２に螺
合する締付ナツトで挟持され、る、上記前後のフランジ
２１．２２にはそれぞれボス部２５゜２６を突設する。
なお他の溝ローラ３．４については同一部品に対しては
同一符号を付して説明を省略する。
同一符号を付して説明を省略する。
これら各満ローラに対する支持装！１３０は各溝ローラ
に対し前後のブラケット５．６に取り付けられる前部軸
学部材３１ ａ、 ３ ｌ ｂ、 ３１Ｃ（以下総
称するときは単に３１という）と後部軸受部材３２ａ、
３２ｂ、３２ｃ （以下総称するときは単に３２という
）のそれぞれの回転支軸３３．３３．３３並びに３４ａ
、３４ｂ。
に対し前後のブラケット５．６に取り付けられる前部軸
学部材３１ ａ、 ３ ｌ ｂ、 ３１Ｃ（以下総
称するときは単に３１という）と後部軸受部材３２ａ、
３２ｂ、３２ｃ （以下総称するときは単に３２という
）のそれぞれの回転支軸３３．３３．３３並びに３４ａ
、３４ｂ。
３４Ｃ（以下これらを総称するときは３３．３４という
）と溝ローラ２． ３． ４とこれら回転支軸３３．３
４とを連結する締付金具３５とを備える。
）と溝ローラ２． ３． ４とこれら回転支軸３３．３
４とを連結する締付金具３５とを備える。
上記前部ブラケット５に取り付けられる軸受部材３１ａ
、３１ｂ、３１ｃは何れも同一構造であり、以下軸受部
材３１ａについて説明し、他の軸受部材については同一
部品は同一符号を付して説明を省略する。
、３１ｂ、３１ｃは何れも同一構造であり、以下軸受部
材３１ａについて説明し、他の軸受部材については同一
部品は同一符号を付して説明を省略する。
この軸受部材３１ａは前部ブラケット５に取り付けられ
る外１１４０内にベアリング４】を介して回転支軸３３
を回動自在に支持し、溝口−ラ２側にはフランジ２１に
形成したボス部２５と同一径のボス部４２を突設し、か
つ軸心には螺軸４３を螺合し、螺軸先端は溝ローラフラ
ンジ２１に形成した円錐状内孔４５（第２図）に適合す
る傾斜角の尖頭部４４を形成する。
る外１１４０内にベアリング４】を介して回転支軸３３
を回動自在に支持し、溝口−ラ２側にはフランジ２１に
形成したボス部２５と同一径のボス部４２を突設し、か
つ軸心には螺軸４３を螺合し、螺軸先端は溝ローラフラ
ンジ２１に形成した円錐状内孔４５（第２図）に適合す
る傾斜角の尖頭部４４を形成する。
図中４６はベアリング４１に対するシール環である。
他方の後部ブラケット６に取り付けられる軸受部材３２
ａ、３２ｂ、３２ｃも回転支軸３４ａは駆動支軸、他の
支軸３４ｂ、３４ｃはアイドル支軸とした以外は同一構
造である。以下軸受部材３２ａについて説明し、他の軸
受部材３２ｂ、３２ｃに対しては同一部品は同一符号を
付して説明を省略する。
ａ、３２ｂ、３２ｃも回転支軸３４ａは駆動支軸、他の
支軸３４ｂ、３４ｃはアイドル支軸とした以外は同一構
造である。以下軸受部材３２ａについて説明し、他の軸
受部材３２ｂ、３２ｃに対しては同一部品は同一符号を
付して説明を省略する。
この回転支軸３４ａは、後部ブラケット６にベアリング
５０を介して回動自在に支持され、各溝ローラ２例にフ
ランジ２２のボス部２６に対向し、これと同一径とした
ボス部５１を突設し、反対例には主動プーリ５２を取り
付け、回動主軸８には２個のプーリ５４．５５を有する
中間プーリ５３を回動自在に取り付け、主動プーリ５２
と一方のプーリ５４との間にベルト５６を張設し、他方
のプーリ６［５は溝ローラ駆動モータ（図示省略）との
間にベルト５７を張設する。
５０を介して回動自在に支持され、各溝ローラ２例にフ
ランジ２２のボス部２６に対向し、これと同一径とした
ボス部５１を突設し、反対例には主動プーリ５２を取り
付け、回動主軸８には２個のプーリ５４．５５を有する
中間プーリ５３を回動自在に取り付け、主動プーリ５２
と一方のプーリ５４との間にベルト５６を張設し、他方
のプーリ６［５は溝ローラ駆動モータ（図示省略）との
間にベルト５７を張設する。
図中、５８はベアリング５０に対するシール環、また５
９はアイドル支軸３４ｂ、３４ｃの外端を覆う盲蓋であ
る。
９はアイドル支軸３４ｂ、３４ｃの外端を覆う盲蓋であ
る。
締付金具３５は上部金具６０と下部金具６１及び両金具
締付ボルト６２とを備え、前記溝ローラ２． ３． ４
の前後のボス部２５．２６及び各回転支軸３３．３４の
ボス部４２．５１に適合する内孔６０ａ、６１ａを有し
、かつ外周両側は溝ローラ両側のフランジ２１．２１並
びにシール環４６．５８の外径を覆う突出部６３゜６４
を形成する。更に締付金具３５と各ボス部２５．２６，
３３．３４とはスリップを防止するためキー６５を備え
る。
締付ボルト６２とを備え、前記溝ローラ２． ３． ４
の前後のボス部２５．２６及び各回転支軸３３．３４の
ボス部４２．５１に適合する内孔６０ａ、６１ａを有し
、かつ外周両側は溝ローラ両側のフランジ２１．２１並
びにシール環４６．５８の外径を覆う突出部６３゜６４
を形成する。更に締付金具３５と各ボス部２５．２６，
３３．３４とはスリップを防止するためキー６５を備え
る。
上記構成において、溝ローラ２． ３． ４の取り付け
に際しては、前部ブラケット５は連結杆１５及び案内杆
１６により固定し、各軸受部材３１．３２の回転支軸３
３．３４間は所定間隔に保持する。この状態において満
ローラ、例えば２を下方から前後のボス部４２．５１間
に挿入する。この場合溝ローラ全長は両ボス部４２゜５
１間の間隔に可及的に近接した長さとすることが好まし
い、ついで満ローラ２の前後のボス部２５．２６と、こ
れに対向する回転支軸３３゜３４のボス部４２．５１と
を締付金具３５により仮締めにより連結し、螺軸４３を
回動して前進させ、溝ローラ２を後部回転支軸３４ａに
圧接する。ついで両締付金具３６を強固に締結して終わ
る。
に際しては、前部ブラケット５は連結杆１５及び案内杆
１６により固定し、各軸受部材３１．３２の回転支軸３
３．３４間は所定間隔に保持する。この状態において満
ローラ、例えば２を下方から前後のボス部４２．５１間
に挿入する。この場合溝ローラ全長は両ボス部４２゜５
１間の間隔に可及的に近接した長さとすることが好まし
い、ついで満ローラ２の前後のボス部２５．２６と、こ
れに対向する回転支軸３３゜３４のボス部４２．５１と
を締付金具３５により仮締めにより連結し、螺軸４３を
回動して前進させ、溝ローラ２を後部回転支軸３４ａに
圧接する。ついで両締付金具３６を強固に締結して終わ
る。
溝ローラの取り外しに際しては、上記と反対に動作を行
えばよい。
えばよい。
本発明によるときは、溝ローラは前後のブラケットにそ
れぞれ取り付けた回転支軸間に挿入し、締付金具により
着脱可能に連結するようにしたから、溝ローラの取り付
け、取り外しは下方から容易に行うことができ、溝ロー
ラはブラケットに当接することがなく、従って、溝ロー
ラの溝を損傷することがない、また前後の各ブラケット
に取り付（すられる回転支軸は軸方向に移動させる必要
がなく、構造簡単でかつ精度を維持することができる。
れぞれ取り付けた回転支軸間に挿入し、締付金具により
着脱可能に連結するようにしたから、溝ローラの取り付
け、取り外しは下方から容易に行うことができ、溝ロー
ラはブラケットに当接することがなく、従って、溝ロー
ラの溝を損傷することがない、また前後の各ブラケット
に取り付（すられる回転支軸は軸方向に移動させる必要
がなく、構造簡単でかつ精度を維持することができる。
図は本発明の実施例を示すもので、第１図は溝ローラ支
持装置の全体説明図、第２図はその分解図、第３図は第
２図におけるＩ＝Ｉ線に沿う後部軸受部材の正面図、第
４図は第２図における■−■線に沿う締付金具の縦断面
図、第５図は第２図における■−■線に沿う溝ローラ前
部フランジの正面図、第６図は第２図におけるＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿う前部軸受靜材の正面図、第７図は締付金具の
縦断面図、第８図はワイヤ式切断機のワイヤ張設部の正
面図、第９図は第８図における■−ｖ線に沿う断面図で
ある。 ｌはワイヤ式切断機、２． ３． ４は溝ローラ、５は
前部ブラケット、６は後部ブラケット、３０は溝ローラ
支持装置、 ３ ３゜ ３４は回転支 軸、 ３５は締付金具である。 ６：倹旬ドアつグ〜ト 第８図
持装置の全体説明図、第２図はその分解図、第３図は第
２図におけるＩ＝Ｉ線に沿う後部軸受部材の正面図、第
４図は第２図における■−■線に沿う締付金具の縦断面
図、第５図は第２図における■−■線に沿う溝ローラ前
部フランジの正面図、第６図は第２図におけるＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿う前部軸受靜材の正面図、第７図は締付金具の
縦断面図、第８図はワイヤ式切断機のワイヤ張設部の正
面図、第９図は第８図における■−ｖ線に沿う断面図で
ある。 ｌはワイヤ式切断機、２． ３． ４は溝ローラ、５は
前部ブラケット、６は後部ブラケット、３０は溝ローラ
支持装置、 ３ ３゜ ３４は回転支 軸、 ３５は締付金具である。 ６：倹旬ドアつグ〜ト 第８図
Claims (1)
- （１）複数の溝ローラを組とし、これにワイヤを螺旋状
に巻付け、ワイヤを高速走行させて被切断物を同時に多
数のウェハー状に切断するワイヤ式切断機において、前
後の溝ローラ支持ブラケットにはそれぞれ回転支軸を回
動自在に備え、溝ローラは両回転支軸間に挿入する長さ
とし、かつ分割可能の締付金具により溝ローラ両端をそ
れぞれ回転支軸に連結することを特徴とするワイヤ式切
断機における溝ローラ支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29419889A JPH03154768A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | ワイヤ式切断機における溝ローラ支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29419889A JPH03154768A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | ワイヤ式切断機における溝ローラ支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03154768A true JPH03154768A (ja) | 1991-07-02 |
Family
ID=17804587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29419889A Pending JPH03154768A (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | ワイヤ式切断機における溝ローラ支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03154768A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276028A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Sumco Corp | ワイヤソー用グルーブローラ |
| CN101670623A (zh) * | 2009-09-29 | 2010-03-17 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 线轮主轴 |
| JP2011000665A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Mitsubishi Plastics Inc | ワイヤソー用メインローラー、そのローラー本体及び製造方法 |
| JP7156747B1 (ja) * | 2021-09-24 | 2022-10-19 | 燕山大学 | マルチワイヤソー用主軸のアンロード装置及びその作業方法 |
-
1989
- 1989-11-13 JP JP29419889A patent/JPH03154768A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276028A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Sumco Corp | ワイヤソー用グルーブローラ |
| JP2011000665A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Mitsubishi Plastics Inc | ワイヤソー用メインローラー、そのローラー本体及び製造方法 |
| CN101670623A (zh) * | 2009-09-29 | 2010-03-17 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 线轮主轴 |
| JP7156747B1 (ja) * | 2021-09-24 | 2022-10-19 | 燕山大学 | マルチワイヤソー用主軸のアンロード装置及びその作業方法 |
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