JP4007420B2 - バフロール式研磨装置におけるバフローラー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、バフロール式研磨装置におけるバフローラーに関する。詳しくは、円筒形をしたバフロールを回転軸に外嵌状に取り付けた構造のバフローラーと該バフローラーに対向したバックアップローラーとの間にプリント基板材等の板状ワークを供給してその表面を研磨等するバフロール式研磨装置におけるバフローラーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
研磨装置の一種に、円筒形の砥面やブラシを備えたバフロールでワークの表面を研磨等する方式のものがあり、プリント配線板の製作過程における各種の研磨や整面等の処理に多用されている。
この種の研磨装置に用いられるバフロールは、一般に、ベークライトやアルミニウム製の円筒形コアの外周面に繊維と接着剤等によって砥粒を固定したりブラシを取り付けた構造になっていて、通常、その中心孔の両端に軸通しリング(「バフフランジ」等と称されることもある)を嵌込み固定し、この軸通しリングを介して回転軸(「バフ軸」と言うこともある)に着脱自在に取り付けられる。
【0003】
従来のバフバフロール式研磨装置の一例aを図5及び図6に示す。同図において、bは垂直姿勢で互いに左右平行に対向した支持壁を示し、この2つの支持壁bに掛け渡すように支持された搬送ローラーcが前後方向へ多数配列されている。この搬送ローラーcに上から接する水平面がワーク搬送面であり、このワーク搬送面を上下から挟む形でバフローラーdとバックアップローラーeが4組一定間隔で設けられていて、これらバフローラーdとバックアップローラーeの各組の間に数個の搬送ローラーcが配置されている。
【0004】
バフローラーdは、バフロールfと、該バフロールfの中心孔の左右両端に嵌込み固定された軸通しリングgと、この軸通しリングgの中心孔hに挿通された回転軸iと、位置決めリングj及び締付け用のナットkなどで構成される。回転軸iは金属製の横長円柱状をしており、その両端部は支持壁bの通し孔を通して外へ延びて図示しない軸受けに回転自在に支持されると共に、その左端部からモーターの回転力が入力されることで回転される。
回転軸iのうち2つの支持壁bの間の部分における左端寄り位置には位置決めリングjが固定され、また回転軸iの右端寄りの位置は螺軸部mになっていて、この螺軸部mにナットkが螺合される。
【0005】
左側の軸通しリングgを位置決めリングjに突き当てた状態でナットkを右側の軸通しリングgに対して締め付けることで、回転軸i上でのバフロールfの位置が固定され、回転軸iに取り付けられている図示しないキィーが左側の軸通しリングgの内周面に形成されている図示しないキィー溝に係合することで、バフロールfと回転軸iとが一体的に回転するように結合される。
従って、バフロールfの交換や回転軸iの姿勢調整その他所要の作業を行うためにこのバフロールfを回転軸iから抜き取る際は、右側の図示しない軸受けを回転軸iから抜き取ると共にナットkを取り外してからバフロールfを抜き取るという手順での作業を行うことになる。
【0006】
バックアップローラーeもその両端部が支持壁bの孔を通して外へ延びて図示しない軸受けに回転自在に支持されると共に、その左端部からモーターの回転力が入力されることでバフローラーdとは反対方向へ回転される。
しかして、搬送ローラーcに乗って搬送されるワークWがバフローラーdとバックアップローラーeとの間を通過する際に、その表面がバフロールfで研磨されてバリ取りや酸化皮膜の除去、整面などの処理が行われる。この処理は、通常、水を吹き掛けながら行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来のバフバフロール式研磨装置aにあっては、回転軸iに対するバフロールfの抜き差しが重くなってしまったり、ナットkに対する作業が非常にやり難いという問題があった。
【0008】
抜き差しが重くなる主な原因としては、バフロールfを抜き差しする際に軸通しリングg等が回転軸iの表面を傷付けてそこにバリのような突起傷を作ってしまうことや、バフロールfから剥がれ落ちた砥粒や繊維が軸通しリングgの中心孔hと回転軸iとの間に詰まったり、或いは、バフロールfや軸通しリングgの真円精度が悪いために左右の軸通しリングgの軸心どうしが一直線上に無くてこの軸通しリングgが回転軸iにかじりついてしまうこと等が考えられる。もとより、軸通しリングgの中心孔hは、回転軸iを挿通するのに必要最小限のクリアランスが設けられるだけであるから、回転軸iの表面に突起傷があったり、砥粒などが詰まったりすれば回転軸iを抜き差しすることは容易でなくなる。
【0009】
また、従来のバフローラーdにあっては、バフロールfを抜き差しするに当たって、支持壁bの内側に手を入れてナットkを締め付けたり緩めたりする作業が必要になるため、無理な作業姿勢を強いられるし、バフローラーdの周りには搬送ローラーcや給水管その他所要の機構が配置されているために、そのままではスパナなどの工具が入らないことが多い。その場合は、いちいち搬送ローラーc等を一部取り外さなければならない。
この種の研磨装置は24時間連続して稼動することが多いので、バフロールfの抜き差しに長い時間が掛かることは稼動効率を著しく低下させることになってしまう。
【0010】
本発明は上記した従来の問題点に鑑みて為されたものであり、バフロールの回転軸に対する取付け構造を工夫することで、回転軸表面の状態に拘わり無くバフロールの抜き差しを常に容易に行うことができ、また、バフロールを締付け固定するためのナットに対する作業を支持壁の外側で行うことができる新規なバフロール式研磨装置におけるバフローラーを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この目的を解決するために、請求項1に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーは、左右両端に軸通しリングが取り付けられたバフロールを回転軸に外嵌状に取り付けた構造のバフローラーと該バフローラーに対向したバックアップローラーとの間にプリント基板材等の板状ワークを供給してその表面を研磨等するバフロール式研磨装置におけるバフローラーであって、軸通しリングは、ボス部とこれに同軸でそれより大径のフランジ部とが一体に形成されてなり、ボス部がバフロールの中心孔に圧入されることで前記バフロールの左右両端の中心孔に各別に嵌込み固定されており、前記軸通しリングの中心孔はボス部側において前記回転軸に対する必要なクリアランス以上の余裕を有した大きさの内径で延びる余裕孔とこれに続くフランジ部側に延びる内周面が傾斜した円錐孔からなり、前記円錐孔の内径は前記余裕孔から遠くなるに従って拡大しており、さらに、前記回転軸の左右両端に外嵌め状に取付けられる芯決め部材を備え、前記軸通しリングが取り付けられたバフロールを前記芯決め部材が取り付けられた回転軸に外嵌状に取り付けると、前記軸通しリングの円錐孔に相対的に挿入される前記芯決め部材の挿入部は、前記軸通しリングの円錐孔の内周面の傾斜度と一致する傾斜度で傾斜しており、前記芯決め部材の通し孔の内径は前記回転軸の挿通に必要最小限のクリアランスだけ有した大きさとなっていることを特徴とするものである。
【0012】
この発明にあっては、バフロールの軸通しリングは回転軸に対して多少の遊びを有するので、回転軸の表面に突起傷があったり回転軸との間に砥粒などが詰まっても、回転軸に対する抜き差しが重くなる虞れは無い。そして、軸通しリングの中心軸は、その円錐孔に芯決め部材の挿入部が挿入されることで回転軸の中心軸と精度良く一致する。芯決め部材の孔には必要なクリアランス以上の遊びを設けることはできないが、この芯決め部材の軸長はバフロールの軸長に較べれば短くて足りるので、必要最小限のクリアランスだけでも回転軸に対する抜き差しが重くなることは殆ど無い。従って本発明によれば、回転軸表面の状態に係わり無くこの回転軸に対するバフロールの抜き差しを常に容易に行うことができる。
【0013】
請求項2に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーは、請求項1に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーにおいて、回転軸の両端部はバフロールの両端の脇近くに立つ壁の外へ延びており、この外へ延びた部分に螺軸部を形成してここにナットを取り付け、一方の芯決め部材は回転軸に固定するか又は回転軸に固定された位置決め部材に当てることで位置固定されるようにし、他方の芯決め部材と上記ナットとの間にカラーを設け、このカラーに対して上記ナットを締め付けることで芯決め部材と軸通しリングとが圧着されることを特徴とするものである。
【0014】
この発明においては、ナットをカラーに対して締付ける力が他方の芯決め部材、他方の軸通しリング、バフロール、一方の軸通しリング、一方の芯決め部材にこの順で加えられて芯決め部材が軸通しリングに圧着され、ナットに対する作業は壁の外側で行うことになる。
従って、バフロールを交換したりするときのナットの着脱や締付け作業は支持壁の外で行うことができるので、楽な姿勢で作業することができるし、当該バフローラーの脇にある搬送ローラー等を取り外さなくてもバフロールの抜き差しを簡単に行うことができる。
【0015】
請求項3に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーは、請求項1又は2に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーにおいて、軸通しリングはバフロールの中心孔に挿入されるボス部を有し、このボス部の外周面にOリングを取り付け、少なくともボス部がバフロールの中心孔に挿入される前の状態では上記Oリングの外頂面がボス部の外周面より突出していることを特徴とするものである。
【0016】
このようにすると、バフロールの孔や軸通しリングの挿入部の真円精度が低い場合でも、この挿入部がOリングを挟んでバフロールの中心孔に隙間無く圧入されるので、それによってバフロール中心孔の真円が精度良く矯正されると共に、左右の軸通しリングの軸心どうしがほぼ完全に一致するので、軸通しリングが回転軸にこじり付くのを防止できて、バフロールの回転軸に対する抜き差しを一層容易に行うことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態に係るバフロール式研磨装置のバフローラーを図面に従って説明する。
【0018】
〔A.バフロール式研磨装置の概要〕(図1、図2)
1はバフロール式研磨装置を示し、3はその機枠を示す。該機枠3は、前後方向(図1における左下方へ向かう方向を前側とし、右下方へ向かう方向を右側とする。)から見て、上面の左右方向中間部が欠落した形の横長矩形を為す機台4と、該機台4の左右の甲板4aの互いに近い側縁から垂直に立ち上がった左右の支持壁5等から成り、この左右の支持壁5に掛け渡すように設けられた搬送ローラー6(図1に太い二点鎖線だけで示してある。)が前後方向へ多数配列されている。搬送ローラー6は図示しないモーターにより、この上に乗ったワークWを後ろへ送る方向へ回転される。
【0019】
この搬送ローラー6に上から接する水平面がワーク搬送面であり、該ワーク搬送面を上下から挟む形で左右方向へ延びるバフローラー7とバックアップローラー8が4組前後方向へ一定間隔で設けられている。バフローラー7とバックアップローラー8の上下の位置関係には、バフローラー7がバックアップラー8の下にある「下バフ」形とバフローラー7がバックアップローラー8の上にある「上バフ」形の2つあって、この2つの形を交互に配置することでワークWの表裏両面を同時に研磨できるようにしてある。
バフローラー7の回転中心を為す回転軸41の両端部とバックアップローラー8の両端部は、いずれも、支持壁5に形成されたローラー通し孔5a等を通して支持壁5の外側へ延びている。
【0020】
機台4の左右の甲板4aにはそれぞれ昇降機構9が4つ取り付けられている。この昇降機構9の昇降軸9aの上端部には軸受け取付け台10が固定されていて、これに軸受け11がボルト12によって着脱自在に取り付けられている。この左右の軸受け11に回転軸41の両端部が各別に回転自在に支持されている。
バフローラー7は軸回りへ回転されるだけで無く軸方向へも往復移動される。このために、軸受け11のベアリング構造は、内輪が外輪に対してある程度スラスト移動できる方式のものが使用されている。
【0021】
また、左右の支持壁5の外側面のうちローラー通し孔5aの上又は下の位置には薄型の軸受け13が取り付けられていて、この軸受け13にバッアップローラー8の両端部が回転自在に支持されている。下バフ形のバックアップローラー8を支持する軸受け13は、昇降機構14によって高さ調節できるようになっている。
【0022】
回転軸41の左端部にはベルトプーリー17が取り付けられていて、このベルトプーリー17とバフローラー回転モーター18の出力軸に取り付けられたベルトプーリー19に無端ベルト20が掛け渡されており、このバフローラー回転モーター18が駆動することでバフローラー7が回転される。
また、バッアップローラー8の左端部にもベルトプーリー17′が取り付けられていて、このベルトプーリー17′とバックアップローラー回転モーター18′の出力軸に取り付けられたベルトプーリー19′に無端ベルト20′が掛け渡されており、このモーター18′が駆動することでバックアップローラー8が回転される。
【0023】
前記ワーク搬送面より下にあるバフローラー7とバックアップローラー8の回転方向は搬送ローラー6の回転方向と同じであり、ワーク搬送面より上にあるバフローラー7とバックアップローラー8の回転方向は搬送ローラー6の回転方向と反対の方向である。
しかして、搬送ローラー6に乗って搬送されるワークWがバフローラー7とバックアップローラー8との間を通過する際に、その表面がバフロール31で研磨されてバリ取りや酸化皮膜除去、整面などの処理が行われる。
【0024】
〔B.バフローラー〕(図1〜図4)
〔B−1.構成部材〕
バフローラー7は、バフロール31と、該バフロール31の両端部に各別に嵌込み固定された2つの軸通しリング32、32′と、金属製の回転軸41と、位置決めリング44と、左右2つの芯決め部材47、47′と、2つのカラー51、52と、ナット53などで構成される。
図面ではバフロール31を構成しているコアその他の細部については省略してあるが、その構造は円筒形をした一般的なもので、外周面が砥面になっている。
【0025】
回転軸41は、両端部が稍小径にされた形の横長円柱状をしている。この回転軸41は、その右端部が螺軸41a(図3等参照)に加工されると共に、中間部と左端とのほぼ中間位置に係合溝41bが形成され、この係合溝41bの右脇にキィー42が取り付けられている。
【0026】
軸通しリング32、32′は、円板形をしたボス部33とこれに同軸でそれより稍大径の円板形をしたフランジ部34とが金属材料で一体に形成されていて、ボス部33の外周面には環状溝33aが形成されている。この環状溝33aにはOリング37が取り付けられており、軸通しリング32、32′がバフロール31に取り付けられる前の状態では、Oリング37の外頂面はボス部33の外周面から多少突出している。
ボス部33の外径はバフロール31の中心孔31aの径とほぼ同じである。
【0027】
軸通しリング32、32′の中心孔である回転軸通し孔35は、ボス部33側において一定の内径で延びる余裕孔35aとこれに続く円錐孔35bとから成っている。余裕孔35aの内径は、回転軸41の中間部を挿通するのに必要なクリアランスより多少大きく、円錐孔35bは余裕孔35aから遠くなるに従って拡径し、その内周面の法線は中心線に対してほぼ15゜傾斜している。
左側の軸通しリング32は、その円錐孔35bが右側の軸通しリング32′のそれより稍短いが、法線の傾斜度は同じである。また、左側の軸通しリング32の余裕孔35aの内周面にはキィー係合溝36が形成されている。
【0028】
位置決めリング44は、円形リングを径方向で二分割した2つのハーフ(図4参照)で構成されており、その内周面には周方向へ延びる係合突条44aが形成され、一方のハーフの分割面には螺穴44bが形成され、他方のハーフにはボルト孔44cが形成されている。
この位置決めリング44は回転軸41のうち前記係合溝41bが形成されている位置に取り付けられる。即ち、位置決めリング44の2つのハーフは、その係合突条44aを係合溝41bに係合させた状態で、ボルト孔44cを通したボルト45を螺穴44bにねじ込むことで回転軸41に固定される。
【0029】
芯決め部材47、47′は、金属材料によって、外形が概ね円錐台形をしたリング状に形成されている。即ち、芯決め部材47、47′は、厚い円板の軸方向における半部若しくは大部分をテーパー状に加工した形をしており、このテーパー状に加工された部分である挿入部47a、47′aの外周面の傾斜度は、軸通しリング32、32′の円錐孔35bの内周面の傾斜度と一致している。芯決め部材47、47′の軸心部を貫通している通し孔47b、47′bの内径は、回転軸41の挿通に必要最小限のクリアランスだけ有した大きさになっている。
左側の芯決め部材47にはスリット47c(図4参照)が設けられていて、このスリット47cを挟んだ両脇に図示しない螺穴とボルト孔が形成されると共に、内周面にキィー係合溝47fが形成されている。
【0030】
一方のカラー51は一端側が稍大径になった段付きの円筒形をしており、他方のカラー52はストレートな円筒形をしている。
ナット53には六角ナットを使用している。
【0031】
〔B−2.組立て〕
以上の諸部材によって構成されるバフローラー7の組立ては次のように行う。組立てに先立って、軸通しリング32と32′をバフロール31の両端に取り付ける。この取付けは、ボス部33をバフロール31の中心孔31aに圧入することで行う。このとき、中心孔31aはボス部33に装着されているOリング37が圧入されることによってその断面形状を正確な真円に矯正され、これにより、左右の軸通しリング32と32′の各中心線が一直線上に精度良く位置する。
【0032】
組立てに当っては、先ず、位置決めリング44を前記のように回転軸41に固定した後、左側の芯決め部材47を回転軸41に取り付ける。この取付けは、挿入部47aが右側を向く向きで該芯決め部材47を回転軸41に右端から外嵌めして左側へ滑らせ、そのキィー係合溝47fに前記キィー42を相対的に係合させながら位置決めリング44にぴったり押し当て、ボルト孔に通してあるボルト49を螺穴にネジ入れて締め付ける、という手順で行う。
【0033】
この状態から、バフロール31を回転軸41に外嵌めして左側へ滑らせると、当該バフロール31に取り付けられている左側の軸通しリング32の円錐孔35bに左側の芯決め部材47の挿入部47aが相対的に挿入される。このとき、バフロール31を適当に回転させて芯決め部材47のキィー係合溝47fにキィー42を相対的に係合させる。
次いで、右側の芯決め部材47′をその挿入部47′aが左側を向く向きで回転軸41に外嵌めし、これを左側へ滑らせて挿入部47′aを右側の軸通しリング32′の円錐孔35bに挿入する。
そして、カラー51とカラー52をこの順で回転軸41に外嵌めすると、該回転軸41の前記螺軸部41aがカラー52から右側へ突出した状態になる。この螺軸部41aにナット53を取り付けてこれをカラー52に対して締め付ける。
【0034】
この締付けによって、カラー52、カラー51、右側の芯決め部材47´、右側の軸通しリング32´、バフロール31、左側の軸通しリング32、左側の芯決め部材47が相互に軸方向で圧着され、この圧着により、回転軸41上でのバフロール31の位置が固定されると共に、バフロール31の軸心が回転軸41の軸心と一致する。即ち、バフロール31の実質的な中心孔を担う軸通しリング32、32´の孔は一番小径な余裕孔35aでさえ回転軸41の中間部の外径より多少大きくされているので、そのままではバフロール31の軸心が回転軸41の軸心と一致することは無いが、バフロール31の左右両端においては、回転軸41に対して必要最小限のクリアランスだけを持つ芯決め部材47、47´の挿入部47a、47´aが軸通しリング32、32´の円錐孔35bに圧入されることでこれらの軸心が一致するからである。
【0035】
尚、実際の組み立てにおいては、回転軸41にナット53を取り付ける前に、前記軸受け11の内輪をカラー52に外嵌めする。
バフローラー7の組み立ては以上のようにして行われ、位置決めリング44以外の各部材を回転軸41に通す作業は、支持壁5に形成されている前記ローラー通し孔5aを通して行う。このために、該ローラー通し孔5aはバフロール31の直径より多少大きく形成されている。このローラー通し孔5aは、軸受け11に取り付けられている蛇腹状をした図示しないフードによって水密に塞がれる。
バフロール31の回転軸41に対する回り止めは、キィー42によって担保される。
【0036】
〔B−3.バフロールの交換作業等〕
バフロール31の交換や回転軸41の芯調整その他所要の作業を行うためにバフロール31を外す作業は、前記した組み立ての手順と逆の手順で行う。即ち、回転軸41からナット53を取り外すと共に軸受け11を取り外し、カラー52、51と右側の芯決め部材47´を回転軸41から抜き取った後、バフロール31を抜き取る。この場合、軸通しリング32、32´の一番小径な余裕孔35aは回転軸41の中間部の外径より多少大きくされているため、回転軸41の表面に突起傷があったり余裕孔35aにゴミが入っていたりしても、バフロール31を大した抵抗も無く抜き取ることができる。
【0037】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の具体的構成がこの実施の形態に限定されるものでは無く、本発明の要旨から外れない範囲での設計変更等があっても本発明に含まれる。
例えば、実施の形態においては、軸通しリングの中心孔を余裕孔と円錐孔で構成したが、場合によっては、この中心孔の全体を円錐孔にしても良い。
【0038】
【発明の効果】
以上のように、請求項1の発明によれば、回転軸の表面に突起傷があったり回転軸との間に砥粒などが入り込んでいても、回転軸に対する抜き差しが重くなる虞れは無く、回転軸に対するバフロールの抜き差しを常に容易に行うことができる。
【0039】
請求項2の発明によれば、バフロールを交換したりするときのナットの着脱や締付け作業は支持壁の外で行うことができるので、楽な姿勢で作業することができるし、当該バフローラーの脇にある搬送ローラー等を取り外さなくてもバフロールの抜き差しを簡単に行うことができる。
【0040】
請求項3の発明によれば、軸通しリングに装着したOリングによってバフロールの中心孔の真円が精度良く矯正されると共に、左右の軸通しリングの軸心どうしが精度良く一直線上に位置するので、軸通しリングが回転軸にこじり付くのを防止できて、バフロールの回転軸に対する抜き差しを一層容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るバフローラーを備えたプリント基板材研磨装置を示す全体斜視図である。
【図2】図1のA−A線に沿って切断した拡大断面図である。
【図3】図1に示すプリント基板材研磨装置におけるバフロールの要部を拡大した縦断面図である。
【図4】図1に示すプリント基板材研磨装置におけるバフロールの要部を分解した斜視図である。
【図5】従来のプリント基板材研磨装置の一例を示す概略断面図である。
【図6】図5のプリント基板材研磨装置における要部を拡大した断面図である。
【符号の説明】
1…バフロール式研磨装置 5…壁 7…バフローラー
8…バックアップローラー 31…バフロール
31a…バフロールの中心孔 32…軸通しリング 32′…軸通しリング
33…ボス部 35b…円錐孔 37…Oリング 41…回転軸
41a…螺軸部 41a、53…ナット式締付け手段 44…位置決め部材
47…(一方の)芯決め部材 47′…(他方の)芯決め部材
47a…挿入部 47′a…挿入部 51…カラー 52…カラー
53…ナット W…ワーク
Claims (3)
- 左右両端に軸通しリングが取り付けられたバフロールを回転軸に外嵌状に取り付けた構造のバフローラーと該バフローラーに対向したバックアップローラーとの間にプリント基板材等の板状ワークを供給してその表面を研磨等するバフロール式研磨装置におけるバフローラーであって、
軸通しリングは、ボス部とこれに同軸でそれより大径のフランジ部とが一体に形成されてなり、ボス部がバフロールの中心孔に圧入されることで前記バフロールの左右両端の中心孔に各別に嵌込み固定されており、
前記軸通しリングの中心孔はボス部側において前記回転軸に対する必要なクリアランス以上の余裕を有した大きさの内径で延びる余裕孔とこれに続くフランジ部側に延びる内周面が傾斜した円錐孔からなり、前記円錐孔の内径は前記余裕孔から遠くなるに従って拡大しており、
さらに、前記回転軸の左右両端に外嵌め状に取付けられる芯決め部材を備え、前記軸通しリングが取り付けられたバフロールを前記芯決め部材が取り付けられた回転軸に外嵌状に取り付けると、前記軸通しリングの円錐孔に相対的に挿入される前記芯決め部材の挿入部は、前記軸通しリングの円錐孔の内周面の傾斜度と一致する傾斜度で傾斜しており、前記芯決め部材の通し孔の内径は前記回転軸の挿通に必要最小限のクリアランスだけ有した大きさとなっていることを特徴とするバフロール式研磨装置におけるバフローラー。 - 請求項1に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーにおいて、回転軸の両端部はバフロールの両端の脇近くに立つ壁の外へ延びており、この外へ延びた部分に螺軸部を形成してここにナットを取り付け、一方の芯決め部材は回転軸に固定するか又は回転軸に固定された位置決め部材に当てることで位置固定されるようにし、他方の芯決め部材と上記ナットとの間にカラーを設け、このカラーに対して上記ナットを締め付けることで芯決め部材と軸通しリングとが圧着されることを特徴とするバフロール式研磨装置におけるバフローラー。
- 請求項1又は2に記載したバフロール式研磨装置におけるバフローラーにおいて、軸通しリングはバフロールの中心孔に挿入されるボス部を有し、このボス部の外周面にOリングを取り付け、少なくともボス部がバフロールの中心孔に挿入される前の状態では上記Oリングの外頂面がボス部の外周面より突出していることを特徴とするバフロール式研磨装置におけるバフローラー。
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