JP3435998B2 - レーザビーム走査光学装置 - Google Patents
レーザビーム走査光学装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビーム走査
光学装置、特に、レーザプリンタやデジタル複写機に画
像印字手段として組み込まれるレーザビーム走査光学装
置に関する。
光学装置、特に、レーザプリンタやデジタル複写機に画
像印字手段として組み込まれるレーザビーム走査光学装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザプリンタやデジタル複写機
に画像印字手段として組み込まれるレーザビーム走査光
学装置は、画質向上のために高密度での印字を可能とさ
れている。このため、被走査面（感光体）上でのレーザ
ビームのスポット径は小さくなり、焦点の許容深度が浅
くなってきている。そして、環境の変化、特に、使用中
に光学装置が発熱して光学素子やそのホルダが熱膨張を
生じると、集光位置が被走査面の前後方向にずれてビー
ムスポット径が大きくなり、高画質を維持するうえで許
容できなくなってきた。
に画像印字手段として組み込まれるレーザビーム走査光
学装置は、画質向上のために高密度での印字を可能とさ
れている。このため、被走査面（感光体）上でのレーザ
ビームのスポット径は小さくなり、焦点の許容深度が浅
くなってきている。そして、環境の変化、特に、使用中
に光学装置が発熱して光学素子やそのホルダが熱膨張を
生じると、集光位置が被走査面の前後方向にずれてビー
ムスポット径が大きくなり、高画質を維持するうえで許
容できなくなってきた。
【０００３】このような問題点に対処するため、特開平
２−５８０１６号公報には、感光体と光学的に等価位置
でレーザビームの集光状態を検出し、フォーカシングレ
ンズを移動させてビーム集光位置を補正することが開示
されている。
２−５８０１６号公報には、感光体と光学的に等価位置
でレーザビームの集光状態を検出し、フォーカシングレ
ンズを移動させてビーム集光位置を補正することが開示
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、最近では、
プリントスピードが高速に設定されるに伴って、ビーム
スポットの走査速度が非常に速くなってきている。従っ
て、従来のビーム集光状態検出手段では検出回路の応答
速度を速くしなければならず、ＭＨｚ，ＧＨｚオーダー
の間隔で受光素子の出力をサンプルできる高速応答性の
高い素子を使用する必要があり、コストアップを招来し
ていた。
プリントスピードが高速に設定されるに伴って、ビーム
スポットの走査速度が非常に速くなってきている。従っ
て、従来のビーム集光状態検出手段では検出回路の応答
速度を速くしなければならず、ＭＨｚ，ＧＨｚオーダー
の間隔で受光素子の出力をサンプルできる高速応答性の
高い素子を使用する必要があり、コストアップを招来し
ていた。
【０００５】そこで、本発明の目的は、簡単な構成のビ
ーム集光状態検出手段を使用するにも拘らず高速走査に
対応でき、ビーム集光位置を精度よく調整でき、高品質
の画像を得ることのできるレーザビーム走査光学装置を
提供することにある。
ーム集光状態検出手段を使用するにも拘らず高速走査に
対応でき、ビーム集光位置を精度よく調整でき、高品質
の画像を得ることのできるレーザビーム走査光学装置を
提供することにある。
【０００６】
【発明の要旨及び効果】以上の目的を達成するため、本
発明に係るレーザビーム走査光学装置は、レーザ光源か
ら放射されたレーザビームの集光位置を調整するための
光学素子と、走査されたレーザビームが通過したことを
検出して垂直同期信号を発生する検出手段と、該垂直同
期信号の発生から所定時間後に前記レーザ光源をパルス
発光させるパルス発光手段と、被走査面と光学的に略等
価位置に配置され、パルス発光されたレーザビームを受
光するビーム集光状態検出手段と、該検出手段の検出結
果に基づいて前記光学素子を駆動し、レーザビームの集
光位置を調整する制御手段とを備えている。
発明に係るレーザビーム走査光学装置は、レーザ光源か
ら放射されたレーザビームの集光位置を調整するための
光学素子と、走査されたレーザビームが通過したことを
検出して垂直同期信号を発生する検出手段と、該垂直同
期信号の発生から所定時間後に前記レーザ光源をパルス
発光させるパルス発光手段と、被走査面と光学的に略等
価位置に配置され、パルス発光されたレーザビームを受
光するビーム集光状態検出手段と、該検出手段の検出結
果に基づいて前記光学素子を駆動し、レーザビームの集
光位置を調整する制御手段とを備えている。
【０００７】以上の構成において、走査中のレーザビー
ムは定点でパルス発光し、パルスビームが集光状態検出
手段に入射する。従って、レーザビームが高速で走査さ
れていても、静止ビームとしてビームの集光状態を検出
することができる。即ち、本発明によればレーザ光源を
定点でパルス発光させ、このパルスビームの集光状態を
検出するようにしたため、高速走査であっても簡単な構
成の検出手段でレーザビームの集光状態を検出でき、か
つ、集光状態検出結果に基づいて光学素子を駆動してレ
ーザビームの集光位置を調整することにより、常時高品
質の画像を得ることができる。
ムは定点でパルス発光し、パルスビームが集光状態検出
手段に入射する。従って、レーザビームが高速で走査さ
れていても、静止ビームとしてビームの集光状態を検出
することができる。即ち、本発明によればレーザ光源を
定点でパルス発光させ、このパルスビームの集光状態を
検出するようにしたため、高速走査であっても簡単な構
成の検出手段でレーザビームの集光状態を検出でき、か
つ、集光状態検出結果に基づいて光学素子を駆動してレ
ーザビームの集光位置を調整することにより、常時高品
質の画像を得ることができる。
【０００８】さらに、本発明にあっては、前記ビーム集
光状態検出手段は、電荷蓄積型センサと、複数回の走査
で検出された検出値を積分する積分回路を備えているこ
とが好ましい。ビーム集光状態の検出精度が向上し、集
光位置の調整効果の向上を図ることができる。
光状態検出手段は、電荷蓄積型センサと、複数回の走査
で検出された検出値を積分する積分回路を備えているこ
とが好ましい。ビーム集光状態の検出精度が向上し、集
光位置の調整効果の向上を図ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るレーザビーム
走査光学装置の実施形態について添付図面を参照して説
明する。
走査光学装置の実施形態について添付図面を参照して説
明する。
【００１０】図１において、レーザビーム走査光学装置
は、レーザダイオード１と、コリメータレンズ２と、フ
ォーカシングレンズ３と、シリンドリカルレンズ４と、
平面ミラー５とポリゴンミラー６と、ｆθレンズ７（レ
ンズ７ａ，７ｂ，７ｃから構成されている）と平面ミラ
ー８と、ＳＯＳ用平面ミラー１５と、ＳＯＳ用シリンド
リカルレンズ１６と、ＳＯＳ用光センサ１７と、ビーム
集光状態検出器１０とで構成されている。
は、レーザダイオード１と、コリメータレンズ２と、フ
ォーカシングレンズ３と、シリンドリカルレンズ４と、
平面ミラー５とポリゴンミラー６と、ｆθレンズ７（レ
ンズ７ａ，７ｂ，７ｃから構成されている）と平面ミラ
ー８と、ＳＯＳ用平面ミラー１５と、ＳＯＳ用シリンド
リカルレンズ１６と、ＳＯＳ用光センサ１７と、ビーム
集光状態検出器１０とで構成されている。
【００１１】レーザダイオード１は図示しない駆動回路
に入力された画像データに基づいて変調（オン、オフ）
制御され、オン時にレーザビームを放射する。このレー
ザビームはコリメータレンズ２で略平行に収束され、フ
ォーカシングレンズ３で集光位置を調整され（以下に詳
述する）、シリンドリカルレンズ４から平面ミラー５を
介してポリゴンミラー６に到達する。
に入力された画像データに基づいて変調（オン、オフ）
制御され、オン時にレーザビームを放射する。このレー
ザビームはコリメータレンズ２で略平行に収束され、フ
ォーカシングレンズ３で集光位置を調整され（以下に詳
述する）、シリンドリカルレンズ４から平面ミラー５を
介してポリゴンミラー６に到達する。
【００１２】ポリゴンミラー６は矢印ａ方向に一定速度
で回転駆動される。レーザビームはポリゴンミラー６の
回転に基づいて各偏向面で等角速度に偏向され、ｆθレ
ンズ７に入射する。ｆθレンズ７を透過したレーザビー
ムは平面ミラー８で反射された後、感光体ドラム４０上
に集光され、感光体ドラム４０上を矢印ｂ方向に走査す
る。ｆθレンズ７は主に前記ポリゴンミラー６で等角速
度で偏向されたレーザビームを被走査面（感光体ドラム
４０）上での主走査速度を等速に補正、即ち、歪曲収差
を補正する機能を有している。
で回転駆動される。レーザビームはポリゴンミラー６の
回転に基づいて各偏向面で等角速度に偏向され、ｆθレ
ンズ７に入射する。ｆθレンズ７を透過したレーザビー
ムは平面ミラー８で反射された後、感光体ドラム４０上
に集光され、感光体ドラム４０上を矢印ｂ方向に走査す
る。ｆθレンズ７は主に前記ポリゴンミラー６で等角速
度で偏向されたレーザビームを被走査面（感光体ドラム
４０）上での主走査速度を等速に補正、即ち、歪曲収差
を補正する機能を有している。
【００１３】感光体ドラム４０は矢印ｃ方向に一定速度
で回転駆動され、ポリゴンミラー６及びｆθレンズ７に
よる矢印ｂ方向への主走査とドラム４０の矢印ｃ方向へ
の副走査によってドラム４０上に画像（静電潜像）が形
成される。
で回転駆動され、ポリゴンミラー６及びｆθレンズ７に
よる矢印ｂ方向への主走査とドラム４０の矢印ｃ方向へ
の副走査によってドラム４０上に画像（静電潜像）が形
成される。
【００１４】また、レーザビームの主走査方向先端部の
レーザビームは平面ミラー１５で反射され、シリンドリ
カルレンズ１６を透過してＳＯＳ用光センサ１７へ入射
する。ＳＯＳ用光センサ１７から出力されるビーム検出
信号は、１走査ラインごとに印字開始位置を決めるため
の垂直同期信号を発生させる。
レーザビームは平面ミラー１５で反射され、シリンドリ
カルレンズ１６を透過してＳＯＳ用光センサ１７へ入射
する。ＳＯＳ用光センサ１７から出力されるビーム検出
信号は、１走査ラインごとに印字開始位置を決めるため
の垂直同期信号を発生させる。
【００１５】フォーカシングレンズ３はベース板２０上
に取り付けられ、ベース板２０の側面に形成したラック
２０ａにはステッピングモータ２１の出力ピニオン２２
が噛合している。制御部３０からの信号によってステッ
ピングモータ２１を正転あるいは逆転させることによ
り、レンズ３は光軸上で前後方向に移動可能であり、こ
の移動によってレーザビームの感光体ドラム４０上での
集光位置が調整される。
に取り付けられ、ベース板２０の側面に形成したラック
２０ａにはステッピングモータ２１の出力ピニオン２２
が噛合している。制御部３０からの信号によってステッ
ピングモータ２１を正転あるいは逆転させることによ
り、レンズ３は光軸上で前後方向に移動可能であり、こ
の移動によってレーザビームの感光体ドラム４０上での
集光位置が調整される。
【００１６】ビーム集光状態検出器１０は、感光体ドラ
ム４０の一側方であって被走査面と光学的に等価位置に
配置され、被走査面上でのレーザビームの集光状態を検
出する。詳しくは、ナイフエッジ法によるもので、ナイ
フ１１と二つの電荷蓄積型光電変換センサ１２Ａ，１２
Ｂとで構成されている。図２に示すように、ナイフ１１
はそのエッジがセンサ１２Ａ，１２Ｂへ入射するレーザ
ビームＬの半分を遮光する。レーザビームＬが合焦状態
のとき、図２（ａ）に示すように、センサ１２Ａ，１２
Ｂの分割部分にピンポイントで照射する。レーザビーム
Ｌが前ピント状態の時、図２（ｂ）に示すように、セン
サ１２Ａを照射する割合が多くなる。一方、レーザビー
ムＬが後ピント状態のとき、図２（ｃ）に示すように、
センサ１２Ｂを照射する割合が多くなる。
ム４０の一側方であって被走査面と光学的に等価位置に
配置され、被走査面上でのレーザビームの集光状態を検
出する。詳しくは、ナイフエッジ法によるもので、ナイ
フ１１と二つの電荷蓄積型光電変換センサ１２Ａ，１２
Ｂとで構成されている。図２に示すように、ナイフ１１
はそのエッジがセンサ１２Ａ，１２Ｂへ入射するレーザ
ビームＬの半分を遮光する。レーザビームＬが合焦状態
のとき、図２（ａ）に示すように、センサ１２Ａ，１２
Ｂの分割部分にピンポイントで照射する。レーザビーム
Ｌが前ピント状態の時、図２（ｂ）に示すように、セン
サ１２Ａを照射する割合が多くなる。一方、レーザビー
ムＬが後ピント状態のとき、図２（ｃ）に示すように、
センサ１２Ｂを照射する割合が多くなる。
【００１７】図３は、前記レーザビームＬのディフォー
カス量とセンサ１２Ａ，１２Ｂの出力電圧との関係を示
す。センサ１２Ａ，１２Ｂからの出力はコンデンサに蓄
積され、これを読み出すことによって応答速度の高速化
を回避してディフォーカス量を検出できる。
カス量とセンサ１２Ａ，１２Ｂの出力電圧との関係を示
す。センサ１２Ａ，１２Ｂからの出力はコンデンサに蓄
積され、これを読み出すことによって応答速度の高速化
を回避してディフォーカス量を検出できる。
【００１８】次に、集光位置の調整手順について説明す
る。画像形成時において、１走査ラインごとに、まず最
初はレーザダイオード１を連続的にオンし、前記ＳＯＳ
用光センサ１７にてレーザビームが検出されるとＳＯＳ
信号が発せられる。このＳＯＳ信号発生から所定時間後
にレーザダイオード１をパルス発光させる。所定時間と
はレーザビームがＳＯＳ用光センサ１７から前記検出器
１０まで移動する時間である。パルス発光時間はレーザ
ビームＬがセンサ１２Ａ，１２Ｂ上で移動していないと
みなせる時間が望ましい。具体的には、被走査面上での
ビーム移動量がビームスポット径の約１／１０以下が望
ましい。本実施形態では、ナイフエッジ法を用いている
ので、レーザビームＬの中心がナイフ１１のエッジを照
射するタイミングでレーザダイオード１をパルス発光さ
せる。また、検出信号を安定させるためには複数回の走
査でパルス発光させ、検出値を平均化すればよい。パル
ス発光を検出するのであるから、検出器１０として従来
知られているＨＯＥ（Holograhic Optical Element）
を使って集光状態を検出できる。
る。画像形成時において、１走査ラインごとに、まず最
初はレーザダイオード１を連続的にオンし、前記ＳＯＳ
用光センサ１７にてレーザビームが検出されるとＳＯＳ
信号が発せられる。このＳＯＳ信号発生から所定時間後
にレーザダイオード１をパルス発光させる。所定時間と
はレーザビームがＳＯＳ用光センサ１７から前記検出器
１０まで移動する時間である。パルス発光時間はレーザ
ビームＬがセンサ１２Ａ，１２Ｂ上で移動していないと
みなせる時間が望ましい。具体的には、被走査面上での
ビーム移動量がビームスポット径の約１／１０以下が望
ましい。本実施形態では、ナイフエッジ法を用いている
ので、レーザビームＬの中心がナイフ１１のエッジを照
射するタイミングでレーザダイオード１をパルス発光さ
せる。また、検出信号を安定させるためには複数回の走
査でパルス発光させ、検出値を平均化すればよい。パル
ス発光を検出するのであるから、検出器１０として従来
知られているＨＯＥ（Holograhic Optical Element）
を使って集光状態を検出できる。
【００１９】以上の如くセンサ１２Ａ，１２Ｂの出力電
圧から検出されたレーザビームのディフォーカス量（図
３参照）は制御部３０へ入力され、前記ステッピングモ
ータ２１を駆動してフォーカシングレンズ３を光軸上で
移動させ、被走査面上でのレーザビーム集光位置を調整
する。検出されたディフォーカス量に対応するレンズ３
の補正移動量は予め制御部３０内にメモリされているこ
とは勿論である。
圧から検出されたレーザビームのディフォーカス量（図
３参照）は制御部３０へ入力され、前記ステッピングモ
ータ２１を駆動してフォーカシングレンズ３を光軸上で
移動させ、被走査面上でのレーザビーム集光位置を調整
する。検出されたディフォーカス量に対応するレンズ３
の補正移動量は予め制御部３０内にメモリされているこ
とは勿論である。
【００２０】次に、図４を参照して制御部３０の回路構
成について説明する。制御部３０はＣＰＵ３１を中心と
して構成され、タイマ回路３２、ＬＤドライブ回路３３
を備えている。ＳＯＳ用光センサ１７からのＳＯＳ信号
ｄはＣＰＵ３１及びタイマ回路３２へ入力される。タイ
マ回路３２はＳＯＳ信号ｄに同期して所定時間経過する
と、前述のようにレーザビームが移動していないとみな
すことのできる時間のパルス信号ｅをＬＤドライブ回路
３３に対して発生する。タイマ回路３２はＣＰＵ３１に
よってカウント値をセットされる。このカウント値はレ
ーザビームがＳＯＳ用光センサ１７を照射してからビー
ム集光状態検出器１０を照射するまでの走査時間に対応
する。
成について説明する。制御部３０はＣＰＵ３１を中心と
して構成され、タイマ回路３２、ＬＤドライブ回路３３
を備えている。ＳＯＳ用光センサ１７からのＳＯＳ信号
ｄはＣＰＵ３１及びタイマ回路３２へ入力される。タイ
マ回路３２はＳＯＳ信号ｄに同期して所定時間経過する
と、前述のようにレーザビームが移動していないとみな
すことのできる時間のパルス信号ｅをＬＤドライブ回路
３３に対して発生する。タイマ回路３２はＣＰＵ３１に
よってカウント値をセットされる。このカウント値はレ
ーザビームがＳＯＳ用光センサ１７を照射してからビー
ム集光状態検出器１０を照射するまでの走査時間に対応
する。
【００２１】一方、ＣＰＵ３１はＳＯＳ信号ｄをカウン
トすることによって検出器１０へのビーム入射回数をカ
ウントする。ＬＤドライブ回路３３は前記パルス信号ｅ
に応じてレーザダイオード１へ発光信号ｆを送出する。
さらに、ＬＤドライブ回路３３は図示しない画像コント
ローラから転送される画像データｇに応じて発光信号ｆ
を送出する。前記パルス信号ｅによってレーザダイオー
ド１から放射されたパルスビームは検出器１０のセンサ
１２Ａ，１２Ｂを照射する。
トすることによって検出器１０へのビーム入射回数をカ
ウントする。ＬＤドライブ回路３３は前記パルス信号ｅ
に応じてレーザダイオード１へ発光信号ｆを送出する。
さらに、ＬＤドライブ回路３３は図示しない画像コント
ローラから転送される画像データｇに応じて発光信号ｆ
を送出する。前記パルス信号ｅによってレーザダイオー
ド１から放射されたパルスビームは検出器１０のセンサ
１２Ａ，１２Ｂを照射する。
【００２２】センサ１２Ａ，１２Ｂに入射したレーザビ
ームは光量に応じて光電変換され、電流信号ｈA，ｈBと
して増幅回路３４Ａ，３４Ｂへ入力され、増幅信号
ｉA，ｉBは積分回路３５Ａ，３５Ｂで積分される。ここ
で積分された信号ｊA，ｊBはサンプルホールド回路３６
Ａ，３６Ｂでサンプルホールドされる。ホールドタイミ
ングはＣＰＵ３１から出力されるホールド信号ｋによっ
て制御される。即ち、ＣＰＵ３１はＳＯＳ信号ｄによっ
て、センサ１２Ａ，１２Ｂへのビーム入射回数をカウン
トし、所定のカウント値になった時点でサンプルホール
ド回路３６Ａ，３６Ｂへホールド信号ｋを送出する。ホ
ールド信号ｋの送出と同時にＣＰＵ３１はサンプルホー
ルド回路３６Ａ，３６Ｂからの出力信号ｍA，ｍBを取り
込み、前記図３に示した特性に基づいてディフォーカス
量を演算する。このディフォーカス量に基づいてフォー
カシングレンズ３を移動させることは前述のとおりであ
る。
ームは光量に応じて光電変換され、電流信号ｈA，ｈBと
して増幅回路３４Ａ，３４Ｂへ入力され、増幅信号
ｉA，ｉBは積分回路３５Ａ，３５Ｂで積分される。ここ
で積分された信号ｊA，ｊBはサンプルホールド回路３６
Ａ，３６Ｂでサンプルホールドされる。ホールドタイミ
ングはＣＰＵ３１から出力されるホールド信号ｋによっ
て制御される。即ち、ＣＰＵ３１はＳＯＳ信号ｄによっ
て、センサ１２Ａ，１２Ｂへのビーム入射回数をカウン
トし、所定のカウント値になった時点でサンプルホール
ド回路３６Ａ，３６Ｂへホールド信号ｋを送出する。ホ
ールド信号ｋの送出と同時にＣＰＵ３１はサンプルホー
ルド回路３６Ａ，３６Ｂからの出力信号ｍA，ｍBを取り
込み、前記図３に示した特性に基づいてディフォーカス
量を演算する。このディフォーカス量に基づいてフォー
カシングレンズ３を移動させることは前述のとおりであ
る。
【００２３】なお、本発明に係るレーザビーム走査光学
装置は前記の実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更可能である。特に、ｆθレンズ
等の光学素子の種類、形状、配置は任意である。また、
ビーム集光状態検出手段としては、ナイフエッジ法以外
に、格子フィルタを用いたもの、モアレ縞を利用するも
の等種々のデバイスを使用することができる。さらに、
レーザビームの偏向手段としては、ポリゴンミラー以外
に、音響光学効果を利用した走査デバイスを使用するこ
とも可能である。
装置は前記の実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更可能である。特に、ｆθレンズ
等の光学素子の種類、形状、配置は任意である。また、
ビーム集光状態検出手段としては、ナイフエッジ法以外
に、格子フィルタを用いたもの、モアレ縞を利用するも
の等種々のデバイスを使用することができる。さらに、
レーザビームの偏向手段としては、ポリゴンミラー以外
に、音響光学効果を利用した走査デバイスを使用するこ
とも可能である。
【図１】本発明の一実施形態であるレーザビーム走査光
学装置を示す斜視図。
学装置を示す斜視図。
【図２】前記光学装置に用いられているビーム集光状態
検出器の検出状態の説明図。
検出器の検出状態の説明図。
【図３】前記検出器の各センサからの出力電圧特性を示
すグラフ。
すグラフ。
【図４】前記光学装置の制御部を示すブロック図。
１…レーザダイオード
３…フォーカシングレンズ
１０…ビーム集光状態検出器
１１…ナイフ
１２Ａ，１２Ｂ…光電変換センサ
２１…集光位置調整用ステッピングモータ
３０…制御部
３１…ＣＰＵ
３５Ａ，３５Ｂ…積分回路
４０…感光体ドラム
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−231716（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 26/10
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ光源から放射されたレーザビーム
を、微小な点に集光すると共に被走査面上を略等速度で
ライン状に走査するレーザビーム走査光学装置におい
て、 前記レーザ光源から放射されたレーザビームの集光位置
を調整するための光学素子と、 走査されたレーザビームが通過したことを検出して垂直
同期信号を発生する検出手段と、 前記垂直同期信号の発生から所定時間後に前記レーザ光
源をパルス発光させるパルス発光手段と、 前記被走査面と光学的に略等価位置に配置され、パルス
発光されたレーザビームを受光するビーム集光状態検出
手段と、 前記ビーム集光状態検出手段の検出結果に基づいて前記
光学素子を駆動し、レーザビームの集光位置を調整する
制御手段と、 を備えたことを特徴とするレーザビーム走査光学装置。 - 【請求項２】 前記ビーム集光状態検出手段は、電荷蓄
積型センサと、複数回の走査で検出された検出値を積分
する積分回路を備えていることを特徴とする請求項１記
載のレーザビーム走査光学装置。 - 【請求項３】 前記パルス発光手段は、前記レーザ光源
を複数回パルス発光させることを特徴とする請求項１記
載のレーザビーム走査光学装置。 - 【請求項４】 前記制御手段は、前記ビーム集光状態検
出手段の複数回の検出値に基づいてレーザビームの集光
位置を調整することを特徴とする請求項３記載のレーザ
ビーム走査光学装置。 - 【請求項５】 前記ビーム集光状態検出手段はナイフエ
ッジ法により集光状態を検出することを特徴とする請求
項１記載のレーザビーム走査光学装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462796A JP3435998B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | レーザビーム走査光学装置 |
| US08/887,460 US5969346A (en) | 1995-08-22 | 1997-07-02 | Laser beam scanning optical apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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