JP3431844B2

JP3431844B2 - スピンドライヤー

Info

Publication number: JP3431844B2
Application number: JP32166098A
Authority: JP
Inventors: 誠梅沢; 茂堀竹
Original assignee: Towa Corp
Current assignee: Towa Corp
Priority date: 1998-11-12
Filing date: 1998-11-12
Publication date: 2003-07-28
Anticipated expiration: 2018-11-12
Also published as: JP2000146435A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスピンドライヤーに
係り、特に、半導体ウエハ、ＣＤ基板、液晶基板などの
洗浄後の乾燥に用いる場合に好適なドライヤーの構造に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハなどを洗浄した後に行う乾
燥工程では、一般に、スピンドライヤーを用いたスピン
乾燥方式やイソプロピルアルコールなどの溶媒を適度な
温度に加熱し、この溶媒中からゆっくりと引き上げる溶
媒引き上げ方式などが用いられている。

【０００３】スピンドライヤーは、通常、ウエハなどの
ワークを回転させることにより遠心力によって水やアル
コールなどの液体を吹き飛ばすものである。図７には従
来のスピンドライヤーの構造例を示す。このスピンドラ
イヤーには、本体内に設けられた収容室１０内に、ワー
クを搭載した適宜のキャリアを装着可能に構成された回
転部１１が配置され、この回転部１１は、駆動モータ１
２によって垂直軸の周りに高速回転するようになってい
る。収容室１０は蓋体１３によって密閉されるように構
成され、蓋体１３には、外気を清浄な状態で取り込むこ
とができるフィルタ１４を備えている。収容室１０はブ
ロアダクト１５に連通しており、ブロアダクト１５は図
示しない排気ファンを備えた排気装置に接続されてい
る。ワークを投入して蓋体１３を閉鎖し、排気装置を稼
働させると、外気はフィルタ１４を介して収容室１０内
に入り込み、ブロアダクト１５から排出される。この状
態で回転部１１を回転させると、ワークは高速回転によ
り遠心力を受けて付着していた液体を周囲にまき散らし
ながら外部からフィルタ１４を介して導入された外気に
さらされ、急速に乾燥する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、一般に、ス
ピン乾燥方式においては、上述のように外気を収容室１
０内に導入しながら乾燥させるため、フィルタ１４から
ブロアダクト１５へと向かう外気の流れ方向と、ワーク
から収容室１０の外周側へと向かう液滴等の流れ方向と
が交差するため、ワークから飛散した液滴や塵埃が再び
ワークに再付着してワークを汚染する場合があるという
問題点がある。

【０００５】また、多くのスピンドライヤーでは、回転
部１１が片持ち状に支持されている（図では下方からの
み支持されている。）ため、高速回転させると振動が生
じてワークにチッピングなどを生じさせたり、ワークに
内部応力を及ぼすなど、悪影響を与えるという問題点も
ある。

【０００６】一方、溶媒引き上げ方式では揮発性の高い
アルコールなどを大量に必要とすること、防爆設備を設
ける必要があることなどから設置及び稼働コストがかか
るという問題点がある。

【０００７】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、従来のスピンドライヤーを改良
し、ワークの汚染や欠損などの発生を抑制することがで
きる新規の乾燥装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、ワークを収容するとともに軸
線周りに回転可能に構成され、少なくとも外周部に開口
部を備えた内部容器と、該内部容器を回転させる回転駆
動手段と、前記内部容器を収容する外部容器と、該外部
容器の内部を排気する排気手段と、前記内部容器の内部
に気体噴出口を備え、気体を前記内部容器の内部に直接
導入する気体導入手段とを有することを特徴とするスピ
ンドライヤーである。内部容器に直接気体を導入するよ
うになっているので、従来のように外気を外側から導入
する必要がなくなり、内部容器から外部容器へと向かう
液滴や塵埃の流れに沿って気体の流れを形成することが
できるので、乾燥中におけるワークの汚染を防止するこ
とができる。特に、ワークは外部容器の内部に配置され
た内部容器の内側に収容されているので、外部容器から
内部容器へと液滴や塵埃などが戻る可能性を低減でき
る。この場合に、内部容器の形状としては、外周部に形
成された開口部に向けて拡径した断面形状を備えた回転
体（断面形状を回転させて得られる立体形状）であるこ
とが好ましい。特に、開口部は外周部における軸線方向
中央部に設けられていることが好ましく、この場合には
外周部内壁面の中央部が外側に向けて膨らんだ内部形状
を備えたものになる。

【０００９】本発明において、前記気体は、前記内部容
器の回転駆動軸の内部を通過して供給されるように構成
されていることが好ましい。この手段によれば、回転駆
動軸の内部を通過して気体が供給されるようになってい
るため、別途新たな構造を設けることなく、また、内部
容器に配管導入用の開口部を設けることもなく、気体を
内部容器の内側に直接に導入することが可能になる。ま
た、気体が回転駆動軸の内部を通過して供給されるの
で、気体噴出口から吹き出た気体が回転する内部容器内
でもスムーズに導入され、乱流などの発生を低減でき
る。ここで、回転駆動軸の内部から内部容器の壁面に沿
って一旦動径方向に気体の通過経路を引き出し、内部容
器内における回転中心軸からずれた位置に形成された気
体噴出口まで気体を導いてから内部容器内に気体を噴出
させることが好ましい。

【００１０】本発明は、前記内部容器は、開口を有する
少なくとも２つのケースをその開口を他のケースの開口
に向けた姿勢で前記開口部に相当する間隔を隔てて配置
したものであることを特徴とする。これにより、内部容
器が複数のケースを間隔を隔てて配置することによって
構成されているので、ケースの製作や組立が容易にな
り、製造コストを低減できる。この場合、２つの椀状若
しくは皿状のケースを開口を相手側に向けた姿勢で間隔
を設けて配置することが最も好ましい。

【００１１】本発明において、前記ケース間を連結する
とともに、内部に気体が導入され、外面に前記気体噴出
口を備えた連結軸を設けることが望ましい。連結軸によ
ってケース間を連結すると同時に、この連結軸に気体噴
出口を設けることによって構造を簡易に構成することが
できる。この場合に、連結軸は内部容器の回転軸の周り
に回転対称に複数設けられていることが好ましく、さら
に、気体噴出口は内部容器の内側へ向けて気体を吹き出
すように構成されていることが好ましい。

【００１２】本発明において、前記内部容器は、軸線方
向の一方の端部側において前記回転駆動手段に連結さ
れ、軸線方向の他方の端部において案内機構により回転
方向に案内されていることが好ましい。内部容器は回転
駆動手段と案内機構により軸線方向の両端で支持される
ので、回転駆動時の振動を低減することができるから、
ワークの損傷や品質劣化を抑制することができる。

【００１３】本発明において、前記気体を供給しながら
前記排気手段を停止した状態で、前記内部容器へのワー
クの出し入れを行うように構成されていることが好まし
い。ワークの出し入れを気体を供給しながら排気手段を
停止した状態で行うことにより、内部容器への外気の混
入を低減することができ、内部容器内の清浄度を保つこ
とができる。

【００１４】本発明において、前記気体は加熱された状
態で前記内部容器内に供給されるように構成されている
ことが望ましい。気体を加熱した状態で内部容器内に供
給することにより、ワークの乾燥を促進することができ
る。気体としては空気の他、窒素などの不活性ガス、水
素などの還元性ガスなどを用いることができる。また、
空気の場合にはドライエアや清浄化エアを用いることが
好ましい。エアの供給圧力としては２〜４ｋｇ／ｃ
ｍ^２、エアの温度としては６０〜７０度程度が好まし
い。なお、外部容器は、装置内に配置されたものであっ
てもよいが、装置（の外形）そのものにより構成された
収容室によって形成されていると見なされるものでもよ
い。また、外部容器は排気経路以外は密閉構造とするこ
とが好ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係るスピンドライ
ヤーの実施形態について詳細に説明する。本実施形態の
主要構成は図１、図２及び図３に示してある。本実施形
態は、半導体ウエハ、半導体素子、その他のワークを収
容するワーク収容機構部１１０と、ワーク収容機構部１
１０を回転させるための回転駆動機構部１２０と、ワー
ク収容機構部１１０を回転可能に支持する回転支持機構
部１３０と、ワーク収容機構部１１０を外側から覆う包
摂機構部１４０と、包摂機構部１４０の内部から排気を
行い、水及び空気を排出させる排出機構部１５０と、上
記各機構部を制御するための制御部１６０とから構成さ
れる。なお、上記各機構部の符号は機能を表すために付
与したものであり、各図には付さず、各機構部を構成す
る構成要素には、原則として各機構部を示す上記符号の
上二桁を共通の数字として有する符号を付して図示して
ある。

【００１６】ワーク収容機構部１１０は、ワークを収容
するためのケースを構成する皿状の上ケース１１１Ａと
下ケース１１１Ｂとを備えている。ワーク収容機構部１
１０の概略は図１乃至図３にも記載されているが、図４
にはワーク収容機構部１１０のみを模式的に示してあ
る。上ケース１１１Ａと下ケース１１１Ｂは共に開口部
を相手側に向けた状態で、両者の内底部間に接続され、
中空の軸孔を内部に備えた４本の連結シャフト１１２に
よって連結され、上ケース１１１Ａの開口縁部と下ケー
ス１１１Ｂの開口縁部との間には僅かな隙間が形成され
ている。ここで、上ケース１１１Ａ及び下ケース１１１
Ｂの外縁部（隙間に臨む部分）はフランジ状に形成さ
れ、このフランジ部間は複数のスペーサ１１１ｃを介し
て相互に固定されている。この外縁部には図４に示すよ
うに先端部を反らせた形状の縁取り部を設けてもよい。

【００１７】上ケース１１１Ａの上部外側にはリング状
の案内リング１１３が固定されている。下ケース１１１
Ｂの下部中央には後述する駆動モータからの駆動力を伝
達される回転駆動体１２５が固定されている。下ケース
１１１Ｂの下部には、回転駆動体１２５に固定された孔
明き円盤状の支持プレート１１４が取り付けられ、連結
シャフト１１２の下端固定位置まで外側に延在してい
る。この支持プレート１１４の上面には回転駆動体１２
５から連結シャフト１１２まで伸びる通気溝１１４ａが
形成されており、この通気溝１１４ａが回転駆動体１２
５の中空孔部１２５ａと連結シャフト１１２の軸孔１１
２ａとを連通させている。連結シャフト１１２の外周面
には軸孔１１２ａと連通するとともに、ケース体１１１
の回転中心軸の方向に向いた噴出口１１２ｂ（図４では
理解しやすいように噴出口を断面方向に向けて描いてあ
る。）が複数個形成されており、軸孔１１２ａへ供給さ
れるエアを上ケース１１１Ａと下ケース１１１Ｂとから
構成されるケース体１１１の内部において中心方向へ向
けて導入するようになっている。

【００１８】ここで、ケース体１１１内に配置されたワ
ークに充分にエアが当たり、エアがスムーズにケース体
１１１から外部へと排出されるようになっていれば、噴
出口１１２ｂはケース体１１１内のどの方向へエアを吹
き出すように構成されていてもよい。例えば、連結シャ
フト１１２から回転方向とは逆側やや内側に向けて吹き
出すようにしてもよい。また、ケース体１１１の中心部
に噴出部を設け、ここから周りに配置されたワークに向
けてエアを吹き出すように構成してもよい。ただし、こ
の場合には噴出部の存在によりワークをケース体１１１
の中心部に配置できなくなる場合がある。

【００１９】図２及び図３に示すように、本実施形態で
は下ケース１１１Ｂの内底面上に取り付けられた一対の
支持部材１１５に対してそれぞれ装着部材１１６が内側
上方に回動可能に取り付けられている。支持部材１１５
及び装着部材１１６はワークを固定するためのブラケッ
トを構成する。装着部材１１６が内側上方へ回動した状
態は図３において２点鎖線にて示してある。この状態で
装着部材１１６には複数のワークを収容したキャリア１
１７が装着される。その後、装着部材１１６とキャリア
１１７は下方に回動され、図３に実線にて示す状態でケ
ース体１１１内に格納される。

【００２０】連結シャフト１１２の外周面上における噴
出口１１２ｂの形成位置はケース体１１１内のワークの
配置によって種々変更することができる。例えば、連結
シャフト１１２の周囲の４方向にそれぞれエアが噴出さ
れるように構成してもよい。一方、本実施形態では、エ
アの噴出位置をケース体１１１内におけるキャリア１１
７の位置とほぼ等しい動径位置にし、噴出口１１２ｂか
ら中心側へ吹き出したエアはケース体１１１の回転によ
り旋回しながらスムーズにキャリア１１７内のワークに
当たり、その後、旋回しながら外側へ流れるように構成
されている。

【００２１】次に、上記ケース体１１１を含むワーク収
容機構部１１０を回転駆動させるための回転駆動機構部
１２０について説明する。駆動モータ１２１は伝動ベル
ト１２２を介して伝動プーリ１２３に伝達される。伝動
プーリ１２３は駆動シャフト１２４に固定され、駆動シ
ャフト１２４は上記回転駆動体１２５に連結固定されて
いる。この構造によって、駆動モータ１２１の回転駆動
力は回転駆動体１２５から下ケース１１１Ｂへと伝えら
れ、ケース体１１１が回転される。伝動プーリ１２３に
はエンコーダプレート１２３ａが取り付けられ、このエ
ンコーダプレート１２３ａのスリットを検出するエンコ
ーダ１２３ｂによって回転数が検出されるようになって
いる。

【００２２】駆動シャフト１２４の下端部は軸受部材１
２６により軸支されており、軸受部材１２６は固定部材
１２７に固定されている。軸受部材１２６の内側には図
示しないエア供給装置から圧縮空気が供給され、軸受部
材１２６の内側から駆動シャフト１２４の内部に形成さ
れた軸孔１２４ａに空気が導入されるようになってい
る。ここで、軸受部材１２６と駆動シャフト１２４との
間の軸受部の上部は磁気シールドによって密閉され、軸
受部材１２６の内部に供給された圧縮空気が外部へ漏れ
ないように構成されている。駆動シャフト１２４の軸孔
１２４ａ内を上方へ向かう空気は回転駆動体１２５の内
部の中空孔１２５ａに導入され、上述のようにして連結
シャフト１１２の軸孔１１２ａ内に供給される。

【００２３】なお、本実施形態のケース体１１１内に供
給されるのは水分を除去した乾燥空気であることが好ま
しい。圧縮空気の供給圧力は２〜４ｋｇ／ｃｍ^２程度で
ある。また、空気でなく、例えば窒素などの不活性ガス
や水素などの還元性ガスなど、他の気体であってもよ
い。また、ケース体１１１の内部に導入される気体は、
例えば６０〜７０℃程度に加熱されて供給されるように
構成することが好ましい。気体の加熱は、気体供給経路
の途中において適宜にヒータなどを配置して行われる。
気体を加熱することによって水分を除去したり、間接的
にワークを加熱したりすることによりワークの乾燥を促
進させることができる。

【００２４】回転支持機構部１３０は、上記のケース体
１１１を回転可能に支持するものであり、装置のフレー
ムに固定された中央の軸支体１３１と、フレームに固定
されているとともに軸支体１３１の上端部に固定された
支持板１３２と、下端部がフレームに固定されるととも
に支持板１３２を挿通して上方へ伸びる４本の支持シャ
フト１３３とを備えている。軸支体１３１は内部に上記
駆動シャフト１２４を挿通した状態で軸支するととも
に、上部にて回転駆動体１２５を軸支している。また、
各支持シャフト１３３は上端部にてリンクスペーサ１３
４を介してガイドローラ１３５を回転可能に軸支してい
る。

【００２５】支持シャフト１３３はフレームと支持板１
３２とによって支持され、ケース体１１１から受ける応
力にも充分耐えうる剛性を付与されている。ガイドロー
ラ１３５は上ケース１１１Ａに固定されたリング状の案
内リング１１３の外周面に当接し、外側上部の４カ所か
らケース体１１１を保持するようになっている。ケース
体１１１が回転するとき、ガイドローラ１３５は回転し
ながら案内リング１１３を案内し、ケース体１１１の上
端部が振れないようにしている。

【００２６】包摂機構部１４０は、上記のケース体１１
１の外側を取り巻くように構成され、上部開口を備えた
有底円筒状の外側ケース１４１と、外側ケース１４１の
上部開口の周縁部を覆うように取り付けられ、中央に円
形の開口部を備えた上部プレート１４２とを備えてい
る。外側ケース１４１の底面上にはケース体１１１を下
方から受け入れるように椀状に形成されたドレンパン１
４１ａが固定されている。このドレンパン１４１ａは、
その上縁部が上ケース１１１Ａと下ケース１１１Ｂとの
間に形成された隙間よりもやや上に配置される形状を備
えており、隙間を周囲から覆うように構成されている。
また、ドレンパン１４１ａの下部には外側ケース１４１
の底部に開口する図４に示す複数の開口部１４１ｂが設
けられている。

【００２７】包摂機構部１４０には、上記の上部プレー
ト１４２の開口部を上方から覆う蓋体１４３が設けら
れ、この蓋体１４３は、装置フレームの両側部において
それぞれガイドされた一対の支持軸１４４の上端部に回
動可能に取り付けられている。支持軸１４４の下方には
昇降シリンダ１４５が設置され、この昇降シリンダ１４
５の駆動軸は支持軸１４５の下端に一端が固定された横
梁１４６に接続されている。横梁１４６の他端には開閉
シリンダ１４７の下端部が連結され、開閉シリンダ１４
７の駆動軸は蓋体１４３の底面に連結されている。

【００２８】蓋体１４３の内面上には、蓋体１４３に対
して回転自在に取り付けられた内蓋１４８が取り付けら
れ、この内蓋１４８は蓋体１４３が閉鎖されたときにケ
ース体１１１の上部開口（案内リング１１３の開口縁
部）に密着し、ケース体１１１を閉鎖し、ケース体１１
１が回転するときには共に回転するようになっている。
また、蓋体１４３の内面上には内蓋１４８の外径よりも
大きな径を備えたシール部材１４９が取り付けられてお
り、蓋体１４３が閉鎖されたときに上記の上部プレート
１４２の表面に密着して外側ケース１４１の密閉性を保
つ。

【００２９】上記構成においては、蓋体１４３を図３に
示す閉鎖した状態から昇降シリンダ１４５の駆動軸を上
昇させることにより蓋体１４３が上昇して図１に示す状
態になり、ここで、開閉シリンダ１４７の駆動軸を突出
させることにより図１に二点鎖線にて示すように蓋体１
４３が開く。蓋体１４３を閉鎖する場合には逆に、開閉
シリンダ１４７の駆動軸を引き込んで図１に示すように
蓋体１４３を略水平状態にしてから、昇降シリンダ１４
５の駆動軸を降下させて上部プレート１４２にシール部
材１４９を密着させる。なお、上記昇降シリンダ１４
５、開閉シリンダ１４７の少なくともいずれか一方をダ
ンパーに代え、手動で蓋体１４３を開閉するようにして
もよい。

【００３０】図５に示すように、排出機構部１５０に
は、上記のドレンパン１４１ａに設けられた開口部１４
１ｂの近傍における外側ケース１４１の底部に接続さ
れ、その内側に通じた好ましくは複数の排気ダクト１５
１（図２参照）と、排気ダクト１５１が接続された、水
分を分離するためのセパレータ１５２と、セパレータ１
５２の出口に接続された排気ダクト１５３と、排気ダク
ト１５３に接続されたブロワー装置１５４とが設けられ
ている。ブロワー装置１５４は内部のファンなどによっ
て外部へと空気を排出するようになっており、これによ
り外側ケース１４１からセパレータ１５２に空気及び水
分が引き込まれる。セパレータ１５２の内部には排気ダ
クト１５３への接続部に向けて順次設けられた仕切板１
５２ａ，１５２ｂと、底部に設けられたドレン口１５２
ｃとが形成されている。セパレータ１４１に引き込まれ
た水分はドレン口１５２ｃから排出され、空気は仕切板
１５２ａ，１５２ｂの開口部を順次通過してブロワー装
置１５４へと排出される。

【００３１】制御部１６０は特に図示していないが、装
置内に配置されたコントローラなどからなる制御装置１
６１と、この制御装置に指令を送る制御盤１６２とを有
する。制御盤１６２には本実施形態の稼働状態を示す表
示部と、本実施形態を動作させるための制御スイッチが
配置されている。制御装置１６１はマイクロコンピュー
タユニット、プログラマブルコントローラ（シーケン
サ）、論理回路により構成される制御回路など、種々に
構成できる。制御装置１６１は上述の駆動モータ１２
１、昇降シリンダ１４５、開閉シリンダ１４７、ブロワ
ー装置１５４、図示しない圧縮空気供給装置若しくは圧
縮空気供給装置に接続された配管に取り付けられた開閉
弁などに接続され、それぞれを制御駆動するようになっ
ている。

【００３２】図６には、上記制御装置１６１により各部
が制御されることによって実現される本実施形態の動作
手順を示す。まず、制御盤１６２のスタートスイッチを
押圧すると圧縮空気が供給され、駆動シャフト１２４、
回転駆動体１２５の内部を通過して連結シャフト１１２
の噴出口１１２ｂからケース体１１１の内部へと供給さ
れる。この状態で閉鎖しているようであれば蓋体１４３
を開放し、ケース体１１１の内部にワークをおさめる。
このとき、ケース体１１１内に導入される空気量が充分
なものであれば、外部からケース体１１１に空気が流れ
込みにくくなるため、ケース体１１１に外部から塵埃が
入り込む可能性を低減できる。ケース体１１１内に導入
される空気は、もちろん、フィルタなどによって予め清
浄化されたものである。

【００３３】その後、蓋体１４３を閉鎖し、密封状態が
確認される（適宜にセンサなどによって密封状態を検知
できるようにしてもよい。）と、ブロワー装置１５４が
稼働を開始し、外側ケース１４１の内部の空気を排気す
る。排気開始後、しばらく（例えば数秒）経過した後
に、上述の駆動モータ１２１が始動し、ケース体１１１
が回転を始める。ケース体１１１の回転によりワークに
付着していた水分は外周側へ吹き飛ばされ、さらに、連
結シャフト１１２から供給される空気によって乾燥が促
進される。ワークの近傍から流れ出す空気及び水分は上
ケース１１１Ａと下ケース１１１Ｂとの隙間から外側へ
排出され、外側ケース１４１へと出る。ここで、ドレン
パン１４１ａは、一端ケース体１１１の外部へ出た水分
が再び上記隙間からケース体１１１内に戻らないように
している。

【００３４】予め決められた時間が経過した後、或い
は、操作者が充分であると認識した後に、駆動モータ１
２１は停止され、その後、ブロワー装置１５４も停止し
て、そのまま蓋体１４３が開放される。このとき、ケー
ス体１１１に導入されるエアをそのまま供給し続ける状
態とし、内部のワークを取り出した後、次のワークを乾
燥させる場合には再び上述の動作を繰り返す。次のワー
クを乾燥させない場合には圧縮空気の供給を停止して、
作業が完了する。ここで、圧縮空気の供給を停止する前
に蓋体１４３を閉鎖するようにしてもよい。

【００３５】以上説明したように本実施形態によれば、
内部容器を構成するケース体１１１の内部に直接エアを
導入し、内部容器の外側を排気するようにしているの
で、常に内部容器から外側へとエアが流れ、ケース体１
１１内の清浄度を保つことができるとともに、ワークへ
の液滴や塵埃の再付着を防止することができる。また、
ケース体１１１は下方の回転駆動体１２５によって回転
駆動されるとともに上方のガイドローラ１３５によって
案内リング１１３を介して案内されているため、高速回
転させても振動が発生しにくく、ワークの損傷や劣化を
抑制できる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、内
部容器に直接気体を導入するようになっているので、従
来のように外気を外側から導入する必要がなくなり、内
部容器から外部容器へと向かう液滴や塵埃の流れに沿っ
て気体の流れを形成することができるので、乾燥中にお
けるワークの汚染を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスピンドライヤーの実施形態全体
構成を示す概略内部構成図である。

【図２】同実施形態の本体部の概略透視平面図である。

【図３】同実施形態の概略縦断面図である。

【図４】同実施形態におけるケース体とドレンパンの構
造を示す模式的な部分断面図である。

【図５】同実施形態における排出機構部の概略構成を示
す構成説明図である。

【図６】同実施形態における制御手順を示す概略フロー
チャートである。

【図７】従来のスピンドライヤーの概略構成を示す模式
的な構成説明図である。

【符号の説明】

１１０ワーク収容機構部１１１ケース体１１１Ａ上ケース１１１Ｂ下ケース１１２連結シャフト１１２ｂ噴出口１１３案内リング１１４支持プレート１２０回転駆動機構部１２１駆動モータ１２４駆動シャフト１２５回転駆動体１３０回転支持機構部１３１軸支体１３２支持板１３３支持シャフト１３５ガイドローラ１４０包摂機構部１４１ケース体１４１ａドレンパン１４３蓋体１４３１４５昇降シリンダ１４７開閉シリンダ１５０排出機構部１５４セパレータ１６０制御部

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F26B 5/08 B04B 3/00 H01L 21/304 651

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークを収容するとともに軸線周りに回
転可能に構成され、少なくとも外周部に開口部を備えた
内部容器と、該内部容器を回転させる回転駆動手段と、
前記内部容器を収容する外部容器と、該外部容器の内部
を排気する排気手段と、前記内部容器の内部に気体噴出
口を備え、気体を前記内部容器の内部に直接導入する気
体導入手段とを有し、前記内部容器は、開口を有する少なくとも２つのケース
をその開口を他のケースの開口に向けた姿勢で前記開口
部に相当する間隔を隔てて配置したものであることを特
徴とするスピンドライヤー。
【請求項２】請求項１において、前記気体は、前記内
部容器の回転駆動軸の内部を通過して供給されるように
構成されていることを特徴とするスピンドライヤー。
【請求項３】請求項１において、前記ケース間を連結
するとともに、内部に気体が導入され、外面に前記気体
噴出口を備えた連結軸を設けたことを特徴とするスピン
ドライヤー。
【請求項４】請求項１から請求項３までのいずれか１
項において、前記内部容器は、軸線方向の一方の端部側
において前記回転駆動手段に連結され、軸線方向の他方
の端部において案内機構により回転方向に案内されてい
ることを特徴とするスピンドライヤー。
【請求項５】請求項１から請求項４までのいずれか１
項において、前記気体を供給しながら前記排気手段を停
止した状態で、前記内部容器へのワークの出し入れを行
うように構成されていることを特徴とするスピンドライ
ヤー。
【請求項６】請求項１から請求項５までのいずれか１
項において、前記気体は加熱された状態で前記内部容器
内に供給されるように構成されていることを特徴とする
スピンドライヤー。