KR100481294B1 - 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일정크기로 절단 완료된 상태의 크린룸용 와이퍼의 표면에 존재하는 먼지를 제거할 수 있도록 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치에 관한 것으로, 종래에는 절단작업 후에 와이퍼 표면에 부착된 먼지를 제거하는 작업을 하지 않은 채 곧바로 와이퍼를 세척하였기 때문에 와이퍼 표면으로부터 먼지를 완벽하게 제거할 수 없게 되고, 그에 따라 고품질의 와이퍼를 생산할 수 없게 되는 문제가 있었던 바, 전면에 회전개폐도아(12)가 마련되는 케이싱(11)의 내부에 다수의 통기공(13a)이 외주면에 형성된 회전드럼(13)을 설치하고, 케이싱(11)의 내상부 일측에 청정공기를 주입할 수 있도록 하는 청정공기 주입구(14)를 마련하는 동시에 케이싱(11)의 내하부 일측에 먼지가 포함된 오염공기를 배출하도록 하는 오염공기 배출구(15)를 마련한 것을 특징으로 하는 본 발명에 의하면 절단작업을 완료한 와이퍼(W)를 세탁하기 전에 그 표면에 부착된 먼지의 대부분을 제거할 수 있게 되므로 세탁효율을크게 향상시킬 수 있게 됨은 물론 보다 고품질의 와이퍼를 제작할 수 있게 되는 등의 효과를 얻을 수 있게 된다.

Description

크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치 { a particle excluding apparatus of a cleanroom wiper }

본 발명은 일정크기로 절단 완료된 상태의 크린룸용 와이퍼의 표면에 존재하는 먼지를 제거할 수 있도록 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치에 관한 것으로, 더 자세하게는 케이싱의 내부에 와이퍼가 투입되는 회전드럼을 설치하고, 케이싱 내상부 일측에 청정공기를 주입할 수 있도록 하는 청정공기 주입구를 마련하는 동시에 케이싱의 내하부 일측에 먼지가 포함된 오염공기를 배출하도록 하는 오염공기 배출구를 마련한 것에 관한 것이다.

일반적으로 청정상태와 무균상태를 유지해야 하는 크린룸(청정실)은 전자산업 및 식품, 의약산업에서 여러 분야에 이용되고 있으며, 특히 반도체 및 TFT LCD 제조 공정을 실시하는 크린룸 내에서 웨이퍼(wafer)나 장치 및 기구 등을 청소할 때에 이용되는 크린룸용 와이퍼는 먼지(particle)나 수분 등의 흡착성이 우수하고, 사용 중에 먼지 등이 억제되는 섬유 재질로 제조되는 것이 보통이다.

이러한 크린룸용 와이퍼는 일정폭의 와이퍼를 원형으로 감은 형태의 롤형 와이퍼와 장방형의 닦개형 와이퍼가 주로 사용되며, 본 발명은 특히 장방형의 닦개형 와이퍼에 관계하는 것이다.

상기 닦개형 와이퍼는 폭이 넓고 길이가 긴 와이퍼원단을 일정폭으로 자른 다음 일정폭으로 가공된 와이퍼원단을 다시 일정길이로 잘라 장방형으로 만들게 되는 것이 보통이며, 절단과정 등에서 외표면에 부착된 먼지 등을 제거하기 위해 절단작업후에 와이퍼를 세탁한 후 포장하게 된다.

그런데 종래에 있어서는 절단작업 후에 와이퍼 표면에 부착된 먼지를 제거하는 작업을 하지 않은 채 곧바로 와이퍼를 세척하였기 때문에 와이퍼 표면으로부터 먼지를 완벽하게 제거할 수 없게 되고, 그에 따라 고품질의 와이퍼를 생산할 수 없게 되는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 종래의 실정을 감안하여 안출한 것이며, 그 목적이 절단작업을 마친 와이퍼를 세척하기 전에 그 표면에 부착된 먼지를 제거할 수 있도록 하는 것에 의해 고품질의 와이퍼를 생산할 수 있도록 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치를 제공하는 데에 있는 것이다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여 전면에 회전개폐도아가 마련되는 케이싱의 내부에 회전드럼을 설치하고, 회전드럼의 내상부 일측에 청정공기를 주입할 수 있도록 하는 청정공기 주입구를 마련하는 동시에 회전드럼의 내하부 일측에 먼지가 포함된 오염공기를 배출하도록 하는 오염공기 배출구를 마련하는 것을 특징으로 하며, 이하 그 구체적인 기술내용을 첨부도면에 의거하여 더욱 자세히 설명하면 다음과 같다.

즉, 도 1에는 본 발명의 한 실시예의 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 동 실시예의 요부 종단면도가 도시되어 있는 바, 본 발명은 절단작업이 완료된 와이퍼(W)의 표면에 부착된 먼지 등을 제거할 수 있도록 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치(10)를 구성함에 있어서, 전면에 회전개폐도아(12)가 마련되는 케이싱(11)의 내부에 다수의 통기공(13a)이 외주면에 형성된 회전드럼(13)을 설치하고, 케이싱(11)의 내상부 일측에 청정공기를 주입할 수 있도록 하는 청정공기 주입구(14)를 마련하는 동시에 케이싱(11)의 내하부 일측에 먼지가 포함된 오염공기를 배출하도록 하는 오염공기 배출구(15)를 마련하여서 되는 것이다.

본 발명에 있어서 청정공기 주입구(14)에는 송풍팬(16)과 다수의 필터(17)가 설치되고, 오염공기 배출구(15)에는 배기팬(18)이 설치된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 있어서는 케이싱(11) 전면의 회전개폐도아(12)를 열고 절단작업이 완료된 와이퍼(W)를 회전드럼(13)에 투입한 후 회전개폐도아(12)를 닫고, 회전드럼(13)의 구동모터(미도시)와 청정공기 주입구(14)의 송풍팬(16)과 오염공기 배출구(15)의 배기팬(18)을 동시에 작동시키게 되면 회전드럼(13)의 회전으로 와이퍼(W)의 표면에 부착된 먼지가 떨어지게 되고 청정공기 주입구(14)를 통해 공급되는 청정공기가 통기공(13a)이 형성된 회전드럼(13)의 내부로 진입하게 되어 회전드럼(13) 내부에서 먼지가 부유되며, 부유되는 먼지와 공기는 배기팬(18)이 설치된 오염공기 배출구(15)를 통해 외부로 배출되므로 와이퍼(W)의 표면에 부착된 먼지의 대부분을 제거할 수 있게 된다.

본 발명의 먼지제거장치(10)를 통하여 절단과정 등에서 와이퍼(W)의 표면에 부착된 먼지의 대부분을 제거한 후 와이퍼(W)를 세탁하게 되면 보다 간편하고도 신속하게 세탁을 마칠 수 있게 되어 세탁효율을 크게 향상시킬 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 다수의 통기공(13a)이 마련된 회전드럼(13)이 내장된 케이싱(11)의 내상부로부터 청정공기를 공급하는 청정공기 주입구(14)를 마련하고 케이싱(11)의 내하부 일측에서 오염공기를 배출할 수 있도록 하는 오염공기 배출구(15)를 마련한 것으로, 본 발명에 의하면 절단작업을 완료한 와이퍼(W)를 세탁하기 전에 그 표면에 부착된 먼지의 대부분을 제거할 수 있게 되므로 세탁효율을크게 향상시킬 수 있게 됨은 물론 보다 고품질의 와이퍼를 제작할 수 있게 되는 등의 효과를 얻을 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 한 실시예의 사시도

도 2는 동 실시예의 요부 종단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 와이퍼 건조장치 11 : 케이싱

12 : 회전개폐도아 13 : 회전드럼

13a : 통기공 14 : 청정공기 주입구

15 : 오염공기 배출구 16 : 송풍팬

17 : 필터 18 : 배기팬

W : 와이퍼

Claims (2)

1. 전면에 회전개폐도아(12)가 마련되는 케이싱(11)의 내부에 다수의 통기공(13a)이 외주면에 형성된 회전드럼(13)을 설치하고, 케이싱(11)의 내상부 일측에 청정공기를 주입할 수 있도록 하는 청정공기 주입구(14)를 마련하는 동시에 케이싱(11)의 내하부 일측에 먼지가 포함된 오염공기를 배출하도록 하는 오염공기 배출구(15)를 마련한 것을 특징으로 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치.
2. 제1항에 있어서, 청정공기 주입구(14)에 송풍팬(16)과 다수의 필터(17)가 설치되고, 오염공기 배출구(15)에 배기팬(18)이 설치되는 것을 특징으로 하는 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치.