JP3420095B2 - ロットストップ情報連絡システム及びその情報連絡方法 - Google Patents

ロットストップ情報連絡システム及びその情報連絡方法

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JP3420095B2
JP3420095B2 JP36567898A JP36567898A JP3420095B2 JP 3420095 B2 JP3420095 B2 JP 3420095B2 JP 36567898 A JP36567898 A JP 36567898A JP 36567898 A JP36567898 A JP 36567898A JP 3420095 B2 JP3420095 B2 JP 3420095B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体前工程(拡
散工程)の生産制御システムにおけるロットストップ発
生時において、ロットストップの連絡を行うロットスト
ップ情報連絡システム及びその情報連絡方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のロットストップ情報連絡システム
を、図13〜図16を用いて説明する。
【0003】(異常ストップの場合)図14において、
異常ストップが発生すると(ステップE01)、作業者
は、ストップ発生の原因を確認する(ステップE0
2)。作業者は、異常ストップ報告を行ったロットにつ
いているロット管理票から、ロットの主担当者名、主担
当者の電話番号、副担当者名、副担当者の電話番号、品
名、ロット番号、作業終了の工程名を得る(ステップE
03)。
【0004】ロットストップの品種を調べ(ステップE
04)、量産品の場合、プロセス保全と生産技術部の該
当プロセス担当者に電話連絡を行う(ステップE0
5)。試作品の場合、主担当者の電話番号に図13の電
話10で連絡を行う(ステップE06)。
【0005】連絡がつかない場合(ステップE07)、
副担当者の電話番号に電話10で連絡を行う(ステップ
E08)。試作品で主担当者、副担当者のどちらにも連
絡がつかない場合と、量産品でプロセス保全又は生産技
術部の該当プロセス担当者に連絡がつかない場合(ステ
ップE09)、図13のロットストップ未連絡リスト1
1に記録する(ステップE10)。
【0006】すなわち、試作品の場合、主担当者名、主
担当者の電話番号、副担当者名、副担当者の電話番号、
品名、ロット番号、工程名、ストップ発生の原因、スト
ップ日時を記録する。量産品の場合、連絡部門、品名、
ロット番号、工程名、ストップ発生の原因、ストップ日
時を記録する。
【0007】班交替後、ロットストップ未連絡リスト1
1を確認し(ステップE11)、各ロットのストップ発
生の原因を確認して(ステップE12)、連絡済みの印
が無くストップ日時から時間のより経過しているロット
から順に電話10で連絡を行う。連絡がつかない場合、
次の班交替後に再び連絡する。
【0008】始めの主担当者、副担当者、プロセス保全
及び生産技術部の該当プロセス担当者への電話連絡、又
は班交替後の電話連絡で連絡がついた場合(ステップE
07、ステップE09)、担当者へ、異常ストップの発
生、品名、ロット番号、工程名、ストップ発生の原因を
連絡する(ステップE13)。
【0009】班交替後の電話連絡で連絡が完了した場
合、ロットストップ未連絡リスト11に連絡済みの印を
記入する。連絡を受取った担当者は、作業者へ処置依頼
を行うか、担当者が処置を行う。
【0010】(保管許容時間オーバーストップの場合)
図15において、図13のロット管理部02は保管許容
時間オーバーであるロットに保管許容時間オーバースト
ップをかける(ステップF01)。作業者は、作業開始
前に、図13のロット問い合わせ装置08にロット番号
を入力する(ステップF02)。
【0011】ロット問い合わせ装置08は、ロット管理
部02にロット番号を提供する。ロット管理部02は、
そのロットが許容時間オーバーかどうか調べる。すなわ
ち、許容時間オーバーである場合、許容時間オーバース
トップ情報をロット問い合わせ装置08に送る。
【0012】作業者は、ロット問い合わせ装置08から
許容時間オーバーストップ情報を受取り確認する(スト
ップF03)。作業者は、保管許容時間オーバーストッ
プ情報を受取ったロットについているロット管理票か
ら、ロットの主担当者名、主担当者の電話番号、副担当
者名、副担当者の電話番号、品名、ロット番号、作業終
了の工程名を得る(ステップF04)。
【0013】ロットストップの品種を調べ(ステップF
05)、量産品の場合、プロセス保全の該当プロセス担
当者に電話10で連絡を行う(ステップF06)。試作
品の場合、主担当者の電話番号に電話10で連絡を行う
(ステップF07)。
【0014】連絡がつかない場合(ステップF08)、
副担当者の電話番号に電話連絡を行う(ステップF0
9)。試作品で主担当者、副担当者どちらも連絡がつか
ない場合、量産品でプロセス保全に連絡がつかない場合
(ステップF10)、図13のロットストップ未連絡リ
スト11に記録する(ステップF11)。
【0015】すなわち、試作品の場合、主担当者名、主
担当者の電話番号、副担当者名、副担当者の電話番号、
品名、ロット番号、工程名、ストップ発生の原因(スト
ップの種類)、ストップ日時を記録する。量産品の場
合、連絡部門、品名、ロット番号、工程名、ストップ発
生の原因(ストップの種類)、ストップ日時を記録す
る。
【0016】班交替後、ロットストップ未連絡リスト1
1を確認して(ステップF12)、連絡済みの印が無く
ストップ日時から時間のより経過しているロットから順
に電話連絡を行う。
【0017】連絡がつかない場合、次の班交替後に再び
連絡する。始めの主担当者、副担当者、プロセス保全へ
の電話連絡、又は班交替後の電話連絡で連絡がついた場
合(ステップF08、ステップF10)、担当者へ、保
管許容時間オーバーストップの発生、品名、ロット番
号、工程名、ストップ発生の原因を連絡する(ステップ
F13)。班交替後の電話連絡で連絡が完了した場合、
ロットストップ未連絡リスト11に連絡済みの印を記入
する。連絡を受取った担当者は、作業者へ処置依頼を行
うか、担当者が処置を行う。
【0018】(指定工程前ストップの場合)図16にお
いて、作業者は、作業終了の報告時、図13の作業終了
報告装置07に作業終了したロット番号を入力する(ス
テップG01)。
【0019】作業終了報告装置07は、図13のロット
管理部02にロット番号を提供する。ロット管理部02
は、そのロットの履歴を次工程の仕掛かり状態にする。
ロット管理部02は仕掛かっている次工程が指定工程前
ストップの工程かどうかを調べる。指定工程前ストップ
の工程である場合、指定工程前ストップをそのロットに
かける(ステップG02)。
【0020】作業者は、そのロットの次工程の作業開始
前に、図13のロット問い合わせ装置08にロット番号
を入力する(ステップG03)。ロット問い合わせ装置
08は、ロット管理部02にロット番号を提供する。
【0021】ロット管理部02は、そのロットが指定工
程前ストップかどうか調べ、指定工程前ストップである
場合、指定工程前ストップ情報をロット問い合わせ装置
08に送る。作業者は、ロット問い合わせ装置08から
指定工程前ストップ情報を受取り確認する(ステップG
04)。
【0022】作業者は、指定工程前ストップ情報を受取
ったロットについているロット管理票から、指定工程前
ストップの指示者名、指示者の電話番号、ロットの主担
当者名、主担当者の電話番号、副担当者名、副担当者の
電話番号、品名、ロット番号、作業終了の工程名を得る
(ストップG05)。
【0023】ストップ指示者の電話番号に電話連絡を行
う(ステップG06)。連絡がつかない場合(ステップ
G07)、ストップしたロットの品種を調べ(ステップ
G08)、試作品の場合、主担当者の電話番号に電話連
絡を行う(ステップG09)。連絡がつかない場合(ス
テップG10)、副担当者の電話番号に電話連絡を行う
(ステップG11)。
【0024】ストップ指示者、主担当者、副担当者のい
ずれも連絡がつかない場合(ステップG12)、ロット
ストップ未連絡リスト11に記録する(ステップG1
3)。ここで記録の内容は、ストップ指示者名、ストッ
プ指示者の電話番号、主担当者名、主担当者の電話番
号、副担当者名、副担当者の電話番号、品名、ロット番
号、工程名、ストップ発生の原因(ストップの種類)、
ストップ日時である。
【0025】班交替後、ロットストップ未連絡リストを
確認して(ステップG14)、連絡済みの印が無くスト
ップ日時から時間がより経過しているロットから順に電
話連絡を行う。
【0026】連絡がつかない場合、次の班交替後に再び
連絡する。始めのストップ指示者、主担当者、副担当者
への電話連絡、または、班交替後の電話連絡で連絡がつ
いた場合(ステップG07、ステップG10、ステップ
G12)、担当者へ、指定工程前ストップの発生、品
名、ロット番号、工程名、ストップ発生の原因(ストッ
プの種類)を連絡する(ステップG15)。班交替後の
電話連絡で連絡が完了した場合、ロットストップ未連絡
リスト11に連絡済みの印を記入する。連絡を受取った
担当者は、作業者へ処置依頼を行うか、担当者が処置を
行う。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のロットストップ情報連絡システムにおいては、次の
ような問題がある。
【0028】第1の問題は、ロットストップの連絡をす
る作業者の工数がかかることである。すなわち、作業者
がロット管理票から、ロットの主担当者名、主担当者の
電話番号、副担当者名、副担当者の電話番号、品名、ロ
ット番号、作業終了の工程名を調べる必要がある。ま
た、担当者への電話連絡が取れなかった場合、ロットス
トップ未連絡リストへ記録する必要もある。さらに、作
業者が電話をかけ直すとき、各ロットのストップ発生の
原因を調べ直す必要もある(異常ストップの場合)であ
る。
【0029】第2の問題は、ロットストップの担当者へ
の連絡が遅れることである。すなわち、作業者は、スト
ップの連絡を担当者へ、電話を用いて行っているため、
担当者が不在のとき連絡が取れない。また、指定工程前
ストップでストップがかかってから作業者がストップ状
態を把握するまで時間がかかる。
【0030】これらが解決できない理由として、ロット
管理部02を構成する汎用コンピュータでは電子メール
を送信することが不可能であることが上げられる。ま
た、ロット管理部02で、ロット毎の担当者の登録機能
がないことも上げられる。さらに、ロット管理部02
で、担当者に対する電子メールアドレスの登録機能がな
いことも上げられる。また、ストップの種類、ストップ
したロットの品種による連絡先、連絡内容を判定するテ
ーブルがないことも上げられる。
【0031】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、ロットストップの連絡をする作業者の工
数を削減するとともに、ロットストップの担当者への連
絡を迅速に行うことができるロットストップ情報連絡シ
ステム及びその情報連絡方法を提供することができるよ
うにするものである。
【0032】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載のロット
ストップ情報連絡システムは、ロットがストップした時
点で、ロットの担当者にストップ情報を送信するロット
ストップ情報連絡システムであって、ロット毎の担当者
に関する情報及びストップ毎の連絡先に関する情報を格
納する記憶装置と、前記記憶装置の情報を管理するロッ
ト管理手段と、前記ストップ情報に関する入力を受付け
るストップ報告入力装置と、前記ロット管理手段及びス
トップ報告入力装置の何れかから前記ストップ情報を受
取ったとき、連絡先及び連絡内容を決定するロットスト
ップ管理手段と、前記ロットストップ管理手段から受取
った前記連絡内容を前記連絡先に電子メールにより送信
する電子メール送信手段とを備えることを特徴とする。
また、前記記憶装置は、ロットの履歴に関するデータを
記憶するロット履歴データ記憶手段と、登録者に関する
データを記憶する登録者データ記憶手段と、指定工程前
のロットに関するデータを記憶する指定工程前ストップ
登録記憶手段と、各工程の保管許容時間に関するデータ
を記憶する保管許容時間設定記憶手段とを備えるように
することができる。また、前記ロットストップ管理手段
は、ロット番号をキーとして、前記ロット履歴データ記
憶手段のデータを検索し、ロットデータを抽出するロッ
トの情報取得手段と、ストップしたロットの品種フラグ
から、連絡先番号を抽出する必要がある登録番号を決定
する連絡先決定手段と、登録番号をキーとして、前記登
録者データ記憶手段を検索し、登録者データを抽出する
登録者情報取得手段と、ストップしたロットの品種フラ
グから、連絡内容を決定する連絡内容構成手段とを備え
るようにすることができる。また、前記ストップ情報
は、作業者番号、ロット番号、異常ストップフラグ、メ
モ番号、メモ、グループ番号、ストップ日時からなる第
1の情報と、ストップ指定者番号、ロット番号、指定工
程前ストップフラグ、指定工程前ストップ時のメモ、ス
トップ日時からなる第2の情報と、ロット番号、保管許
容時間オーバーストップフラグ、ストップ日時からなる
第3の情報と、ストップ指定者番号、ロット番号、指定
工程前ストップの10工程前フラグ、指定工程前ストッ
プ時のメモ、指定工程前ストップの指定工程名、指定工
程コードからなる第4の情報と、ロット番号、指定工程
前ストップ解除のフラグ、ストップ解除者、解除時入力
されたメモ、測定データからなる第5の情報とを備える
ようにすることができる。また、前記連絡内容構成手段
は、前記メモ番号から連絡内容を決定するようにするこ
とができる。請求項6に記載のロットストップの情報連
絡方法は、ロットがストップした時点で、ロットの担当
者にストップ情報を送信するロットストップの情報連絡
方法であって、ロット毎の担当者に関する情報及びスト
ップ毎の連絡先に関する情報を格納する第1の工程と、
前記記憶装置の情報を管理する第2の工程と、前記スト
ップ情報に関する入力を受付ける第3の工程と、前記ス
トップ情報を受取ったとき、連絡先及び連絡内容を決定
する第4の工程とを備え、前記第4の工程には、決定し
た前記連絡先及び前記連絡内容を電子メールにより送信
する工程が含まれるようにすることができることを特徴
とする。前記第1の工程には、ロットの履歴に関するデ
ータを記憶する工程と、登録者に関するデータを記憶す
る工程と、指定工程前のロットに関するデータを記憶す
る工程と、各工程の保管許容時間に関するデータを記憶
する工程とが含まれるようにすることができる。また、
前記第4の工程には、ロット番号をキーとして、前記ロ
ットの履歴に関するデータを検索し、ロットデータを抽
出する工程と、ストップしたロットの品種フラグから、
連絡先番号を抽出する必要がある登録番号を決定する工
程と、登録番号をキーとして、前記登録者に関するデー
タを検索し、登録者データを抽出する工程と、ストップ
したロットの品種フラグから、連絡内容を決定する第5
の工程とが含まれるようにすることができる。また、前
記第3の工程には、作業者番号、ロット番号、異常スト
ップフラグ、メモ番号、メモ、グループ番号、ストップ
日時からなる第1の情報と、ストップ指定者番号、ロッ
ト番号、指定工程前ストップフラグ、指定工程前ストッ
プ時のメモ、ストップ日時からなる第2の情報と、ロッ
ト番号、保管許容時間オーバーストップフラグ、ストッ
プ日時からなる第3の情報と、ストップ指定者番号、ロ
ット番号、指定工程前ストップの10工程前フラグ、指
定工程前ストップ時のメモ、指定工程前ストップの指定
工程名、指定工程コードからなる第4の情報と、ロット
番号、指定工程前ストップ解除のフラグ、ストップ解除
者、解除時入力されたメモ、測定データからなる第5の
情報とを受付ける工程が含まれるようにすることができ
る。また、前記第5の工程には、前記メモ番号から連絡
内容を決定する工程が含まれるようにすることができ
る。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
【0034】(第1の実施の形態)図1は、本発明のロ
ットストップ情報連絡システムの第1の実施の形態を示
すブロック図、図2は、図1の記憶装置及びロットスト
ップ管理部の詳細を示すブロック図、図3は、図1のロ
ットストップ管理部のテーブルを示す図、図4〜図7
は、図1のロットストップ情報連絡システムの動作を説
明するためのタイムチャートである。
【0035】図1において、ロットストップ情報連絡シ
ステムは、ストップ報告入力装置01、ロット管理部0
2、記憶装置03、ロットストップ管理部04、電子メ
ール送信装置05、電子メール受信装置06及び作業終
了報告装置07を備えている。
【0036】ストップ報告入力装置01は、作業者番
号、ロット番号、メモ番号、メモ、グループ番号を、作
業者から受取り、ストップ情報i をロットストップ管理
部04へ供給する。ここで、ストップ情報i は、作業者
番号、ロット番号、異常ストップフラグ、メモ番号、メ
モ、グループ番号、ストップ日時からなる。
【0037】ロット管理部02は、ロット履歴データ記
憶部031の内容を更新、管理している部分である。ロ
ット管理部02は、作業終了報告装置07からロット番
号、工程コードを受取ったとき、ロット履歴データ記憶
部031の該当するロットの工程を終了に書換える。そ
のロットの次の工程のコードを取出し、指定工程前スト
ップ登録記録部033の内容と比較する。
【0038】指定工程前ストップ登録記憶部033に該
当するロット番号、工程コードがある場合、そのロット
に指定工程前ストップをかけて、ストップ情報iiをロッ
トストップ管理部04へ供給する。ここで、ストップ情
報iiは、ストップ指定者番号、ロット番号、指定工程前
ストップフラグ、指定工程前ストップ時のメモ、ストッ
プ日時からなる。
【0039】また、ロット管理部02は、管理している
各ロットが保管許容時間オーバーであるかどうかを一定
時間毎に監視する。ロットの特定の工程の作業終了から
の時間が許容時間を超えても作業開始にならない場合、
そのロットに保管許容時間オーバーストップをかけて、
ストップ情報iii をロットストップ管理部04へ供給す
る。
【0040】ここで、保管許容時間オーバーとは、ある
特定の工程の作業終了からある工程の作業開始までの時
間が許容時間を超えてしまうことである。許容時間は保
管許容時間設定記憶部034が記憶している。ストップ
情報iii は、ロット番号、保管許容時間オーバーストッ
プフラグ、ストップ日時からなる。
【0041】記憶装置03は、ロット履歴データ記憶部
031、指定工程前ストップ登録記憶部033及び保管
許容時間設定記憶部034を備えている。ロット履歴デ
ータ記憶部031は、各ロットの番号に対し、手順名、
主担当者番号、副担当者番号、品種フラグ、仕掛かりラ
イン、仕掛かり工程、仕掛かり枚数、ロット優先ラン
ク、投入工程から仕掛かり工程直前の工程までの「工程
名、工程コード、作業終了時間、作業枚数、作業者番
号、作業号機、作業条件」、仕掛かり工程から入庫まで
の工程の「工程名、工程コード、作業条件」を記憶して
いる。
【0042】指定工程前ストップ登録記憶部033は、
ロット番号、工程コード、ストップ指定者番号、指定工
程前ストップ時のメモを記憶している。保管許容時間設
定記憶部034は、手順名、終了工程コード、開始工程
コード、許容時間を記憶している。
【0043】ロットストップ管理部04は、ストップ情
報i 、ストップ情報ii、ストップ情報iii のいずれかを
ストップ報告入力装置01又はロット管理部02から受
取ったとき、連絡先、連絡内容を決定、構成して、電子
メール送信装置05に連絡先のメールアドレスと、連絡
内容を供給する。
【0044】電子メール送信装置05は、ロットストッ
プ管理部04から受取った連絡先に、 件名を、ロット
番号とストップ名称にした、ロットストップ管理部04
から受取った連絡内容をもつ電子メールを送信する。
【0045】電子メール受信装置06は、電子メール送
信装置05から電子メールを受取り、各連絡先担当者へ
電子メール受信装置06に付属の表示部分に受取った内
容を表示する。
【0046】作業終了報告装置07は、作業者から、作
業者番号、作業した工程の工程コード、作業終了のロッ
ト番号を受取り、ロット番号、工程コードをロット管理
部02へ供給する。
【0047】記憶装置03及びロットストップ管理部0
4の詳細を、図2に示す。図2に示す記憶装置03は、
ロット履歴データ記憶部031及び登録者データ記憶部
032を備えている。
【0048】ロット履歴データ記憶部031は、各ロッ
トの番号に対し、手順名、主担当者番号、副担当者番
号、品種フラグ、仕掛かりライン、仕掛かり工程、仕掛
かり枚数、ロット優先ランク、投入工程から仕掛かり工
程直前の工程までの「工程名、工程コード、作業終了時
間、作業枚数、作業者番号、作業号機、作業条件」、仕
掛かり工程から入庫までの工程の「工程名、工程コー
ド、作業条件」を記憶している。
【0049】登録者データ記憶部032は、各登録者番
号に対し、登録者名、所属部門、電話番号、電子メール
送信先アドレスを記憶している。登録者データ記憶部0
32は、各グループ番号に対し、グループ名、グループ
の所属部門、電話番号、電子メールアドレスを記憶して
いる。
【0050】ロットストップ管理部04は、ロット情報
取得部041、連絡先決定部042、登録者情報取得部
043及び連絡内容構成部044を備えている。
【0051】ロットの情報取得部041は、ロット番号
をキーにして、ロット履歴データ記憶部031のデータ
を検索し、ロットデータv を抽出する。ロットデータv
は、主担当者番号、副担当者番号、手順名、仕掛かり枚
数、優先ランク、仕掛かりライン、仕掛かり工程名、仕
掛かり工程コード、作業終了工程名、作業終了工程コー
ド、品種フラグからなる。
【0052】連絡先決定部042は、各ストップフラグ
の有無、ストップしたロットの品種フラグから、連絡先
番号、抽出する必要がある登録番号を決定する。
【0053】登録者情報取得部043は、登録番号をキ
ーにして、登録者データ記憶部032を検索し、登録者
データviを抽出する。登録者データviは、登録者名、所
属部門、電話番号、電子メールアドレスからなる。連絡
内容構成部044は、各ストップフラグの有無、ストッ
プしたロットの品種フラグから、連絡内容を決定する。
【0054】ロットストップ管理部04のテーブルを、
図3に示す。図3は、ロットストップ管理部04の連絡
先決定部042が連絡先番号、抽出する必要がある登録
者を決定するためのテーブル、連絡内容構成部044が
連絡内容を決定するためのテーブルを示している。
【0055】判定元となる情報は、ストップ種類(異常
ストップ、保管許容時間オーバーストップ、指定工程前
ストップ)、品種(量産、試作、プロセス保全モニター
ロット、生産技術モニターロット)である。
【0056】たとえば、ストップ種類が異常ストップで
品種が量産の場合、連絡先は、プロセス保全、生産技術
部となる。ストップ種類が異常ストップ品種が試作の場
合、連絡先は、試作のロット主担当者、副担当者とな
る。
【0057】以上に第1の実施の形態における構成の詳
細について述べたが、図1のロット管理部02は、当業
者にとってよく知られており、また本発明とは直接関係
しないので、その詳細な構成の説明は省略する。なお、
ロットストップ管理部04は、ロット管理部02の一部
の機能としてもよい。
【0058】次に、図4〜図6を用いて、第1の実施の
形態におけるロットストップ情報連絡システムの動作に
ついて説明する。
【0059】まず、図4において、異常ストップが発生
すると(ステップA01)、作業者は、ストップ発生の
原因を確認する(ステップA02)。作業者は、ストッ
プ報告入力装置01に、作業者番号、ロット番号、メモ
番号、メモ、グループ番号を入力する(ステップA0
3)。
【0060】ストップ報告入力装置01は、ストップ情
報i をロットストップ管理部04へ供給する(ステップ
A04)。ロットストップ管理部04は、ストップ情報
i を受取り(ステップA05)、ストップの連絡先、連
絡内容を決定する(ステップA06)。
【0061】ロットストップ管理部04は、決定した連
絡先、連絡内容を、電子メール送信装置05に供給する
(ステップA07)。電子メール送信装置05は、スト
ップ連絡の電子メールを送信する(ステップA08)。
電子メール受信装置06は、ストップ連絡の電子メール
を受信し(ステップA09)、電子メール受信装置06
に付属の表示部にストップ連絡を表示して、連絡先にス
トップ情報を供給する(ステップA10)。
【0062】次に、図5において、ロット管理部02
は、管理している各ロットが保管許容時間オーバーであ
るかどうかを一定時間毎に監視する。ロットの特定の工
程の作業終了からの時間が許容時間を超えても作業開始
にならない場合、そのロットに保管許容時間オーバース
トップをかける(ステップB01)。
【0063】ロット管理部02は、ストップ情報iii を
ロットストップ管理部04に供給する(ステップB0
2)。ロットストップ管理部04は、ストップ情報iii
を受取り(ステップB03)、ストップの連絡先、連絡
内容を決定する(ステップB04)。
【0064】ロットストップ管理部04は、決定した連
絡先、連絡内容を、電子メール送信装置05に供給する
(ステップB05)。電子メール送信装置05は、スト
ップ連絡の電子メールを送信する(ステップB06)。
電子メール受信装置06は、ストップ連絡の電子メール
を受信し(ステップB07)、電子メール受信装置06
に付属の表示部にストップ連絡を表示して、連絡先にス
トップ情報を供給する(ステップB08)。
【0065】次に、図6において、作業者は、作業終了
の報告時、作業終了報告装置07に作業終了したロット
番号を入力する(ステップC01)。作業終了報告装置
07は、ロット管理部02にロット番号を提供する。
【0066】ロット管理部02は、そのロットの履歴を
次工程の仕掛かり状態にする。ロット管理部02は仕掛
かっている次工程が指定工程前ストップの工程かどうか
を調べる。指定工程前ストップの工程である場合、指定
工程前ストップをそのロットにかける(ステップC0
2)。
【0067】ロット管理部02は、ストップ情報iiをロ
ットストップ管理部04に供給する(ステップC0
3)。ロットストップ管理部04は、ストップ情報iiを
受取り(ステップC04)、ストップの連絡先、連絡内
容を決定する(ステップC05)。
【0068】ロットストップ管理部04は、決定した連
絡先、連絡内容を、電子メール送信装置05に供給する
(ステップC06)。電子メール送信装置05は、スト
ップ連絡の電子メールを送信する(ステップC07)。
電子メール受信装置06は、ストップ連絡の電子メール
を受信し(ステップC08)、電子メール受信装置06
に付属の表示部にストップ連絡を表示して、連絡先にス
トップ情報を供給する(ステップC09)。
【0069】次に、ロットストップ管理部04の動作
を、図7を用いて説明する。まず、ストップ情報ivがロ
ットストップ管理部04に与えられると、ロットストッ
プ管理部04は、ストップ情報ivを受取る。(ステップ
D01)。ストップ情報ivは、図4のストップ情報i 、
図5のストップ情報iii 、図6のストップ情報iiのいず
れかの情報である。
【0070】ロットストップ管理部04は、ストップし
たロット番号をロット情報取得部041に供給する(ス
テップD02)。 ロット情報取得部041は、ロット
ストップ管理部04から受取ったロット番号を抽出する
ロットの番号として、ロット履歴データ記憶部031か
ら、ロットデータv を検索し抽出する(ステップD0
3)。
【0071】ロットストップ管理部04は、連絡先決定
部042に、ストップ情報ivに含まれる各ストップフラ
グの有無とロットデータv に含まれる品種フラグとを供
給する(ステップD04)。連絡先決定部042は、対
応テーブルを参照して連絡先番号と抽出する必要がある
登録者番号を決定する(ステップD05)。
【0072】ロットストップ管理部04は、連絡先番号
と、抽出する必要がある登録者番号を登録者情報取得部
043に供給する(ステップD06)。登録者情報取得
部043は、ロットストップ管理部04から受取った連
絡先番号と抽出する必要がある登録者番号を抽出する登
録者の番号として、登録者データ記憶部032から、登
録者データviを検索し抽出する(ステップD07)。
【0073】ロットストップ管理部04は、ストップ情
報iv、ロットデータv 、登録者データviを連絡内容構成
部044に供給する(ステップD08)。連絡内容構成
部044は、ストップ情報ivに含まれる各ストップフラ
グの有無と、ロットデータvに含まれる品種フラグを基
に(ステップD09)、連絡先電子メールアドレスと連
絡内容を決定する(ステップD10)。ロットストップ
管理部04は、連絡先電子メールアドレス、連絡内容
を、電子メール送信装置05に供給する(ステップD1
1)。
【0074】このように、第1の実施の形態では、ロッ
ト毎の担当者番号を保有しているので、ストップしたロ
ットの担当者に自動的に連絡を行うことができる。
【0075】また、ロット毎の担当者番号をシステム上
の情報として登録しているので、ロットに担当者を記録
した用紙をつけておく必要がなくなり、ライン内のペー
パーレス化のよるゴミ低減ができる。さらに、ストップ
種類、品種毎で連絡先、連絡内容が決定するテーブルを
登録しているので、連絡先を自動で判定することができ
る。
【0076】また、登録者の情報として、電子メールア
ドレスを登録しているので、電子メールを用いて、スト
ップの連絡を行うことができる。さらに、電子メール送
信装置を設けることにより、ロット管理部を構成する装
置がメール送信不可であっても、電子メールの送信が行
えるようになる。
【0077】(第2の実施の形態)第2の実施の形態で
の基本的構成は、第1の実施の形態と同じであるが、連
絡先の判定についてさらに工夫している。すなわち、図
8の連絡先、連絡内容決定テーブルに示すように、連絡
先、連絡内容は、ストップの種類、品種に加えてメモ番
号で判断するようにしている。
【0078】ここで、メモ番号は、プロセスグループ毎
に番号が体系化されており、メモ番号を選択することで
対象プロセスが選択される。
【0079】すなわち、図2において、ストップ報告入
力装置01は、作業者番号、ロット番号、メモ番号、メ
モ、グループ番号を、 作業者から受取り、ストップ情
報iをロットストップ管理部04へ供給する。ストップ
情報i は、作業者番号、ロット番号、異常ストップフラ
グ、メモ番号、メモ、グループ番号、ストップ日時から
なる。
【0080】ロット管理部02は、ロット履歴データ記
憶部031の内容を更新、管理している部分である。ロ
ット管理部02は、指定工程前ストップが発生したと
き、ストップ情報iiをロットストップ管理部04へ供給
する。保管許容時間オーバーストップが発生したとき、
ストップ情報iii をロットストップ管理部04へ供給す
る。
【0081】ストップ情報iiは、ストップ指定者番号、
ロット番号、指定工程前ストップフラグ、指定工程前ス
トップ時のメモ、ストップ日時からなる。ストップ情報
iiiは、ロット番号、保管許容時間オーバーストップフ
ラグ、ストップ日時からなる。
【0082】記憶装置03は、ロット履歴データ記憶部
031と登録者データ記憶部032とを備えている。
【0083】ロット履歴データ記憶部031は、各ロッ
トの番号に対し、手順名、主担当者番号、副担当者番
号、品種フラグ、仕掛かりライン、仕掛かり工程、仕掛
かり枚数、ロット優先ランク、投入工程から仕掛かり工
程直前の工程までの「工程名、工程コード、作業終了時
間、作業枚数、作業者番号、作業号機、作業条件」、仕
掛かり工程から入庫までの工程の「工程名、工程コー
ド、作業条件」を記憶している。
【0084】登録者データ記憶部032は、各登録者番
号に対し、 登録者名、所属部門、電話番号、電子メー
ル送信先アドレスを記憶している。 登録者データ記憶
部032は、各グループ番号に対し、グループ名、グル
ープの所属部門、電話番号、電子メールアドレスを記憶
している。
【0085】ロットストップ管理部04は、ロット情報
取得部041と、連絡先決定部042と、登録者情報取
得部043と、連絡内容構成部044を備えている。ロ
ットの情報取得部041は、ストップ情報i 、ストップ
情報ii、ストップ情報iii に含まれるロット番号をキー
にして、ロット履歴データ記憶部031を検索し、ロッ
トデータv を抽出する。
【0086】ロットデータv は、主担当者番号、副担当
者番号、手順名、仕掛かり枚数、優先ランク、仕掛かり
ライン、仕掛かり工程名、仕掛かり工程コード、作業終
了工程名、作業終了工程コード、品種フラグからなる。
【0087】連絡先決定部042は、各ストップフラグ
の有無、ストップしたロットの品種フラグ、メモ番号か
ら図8の連絡先テーブルにより、連絡先の番号を決定す
る。登録者情報取得部043は、登録者番号をキーにし
て、登録者データ記憶部032を検索し、登録者データ
viを抽出する。登録者データviは、登録者名、所属部
門、電話番号、電子メールアドレスからなる。
【0088】連絡内容構成部044は、各ストップのフ
ラグの有無、ストップしたロットの品種フラグに従い、
連絡内容を決定する。電子メール送信装置05は、ロッ
トストップ管理部04から受取った連絡先に、件名を、
ロット番号とストップ名称にした、連絡内容構成部04
4で決定した連絡内容をもつ電子メールを送信する。
【0089】電子メール受信装置06は、電子メール送
信装置05から電子メールを受取り、各連絡先担当者へ
電子メール受信装置付属の表示部分に受け取った内容を
表示する。
【0090】このように、第2の実施の形態では、図8
にあるプロセスグループ毎に体系化されたメモ番号に従
って、連絡先の判定を行うため、作業者がストップ報告
入力装置01でグループ番号を入力する必要が無くなる
という効果が得られる。
【0091】(第3の実施の形態)第3の実施の形態で
は、ロットストップの種類についてさらに工夫したもの
である。図9の連絡先、連絡内容決定テーブルを図10
に示す。
【0092】図10において、ストップの種類は、指定
工程前ストップの10工程前である。図9において、連
絡する情報は、指定工程前ストップの10工程前の情報
である。
【0093】図9において、ロット管理部02は、指定
工程前ストップの10工程前にロットが仕掛かった場
合、ストップ情報vii をロットストップ管理部04へ供
給する。ストップ情報vii は、 ストップ指定者番号、
ロット番号、指定工程前ストップの10工程前フラグ、
指定工程前ストップ時のメモ、指定工程前ストップの指
定工程名、指定工程コードからなる。
【0094】ロットストップ管理部04は、上述したよ
うに、ロット情報取得部041、連絡先決定部042、
登録者情報取得部043及び連絡内容構成部044を備
えている。
【0095】ロットの情報取得部041は、ストップ情
報vii に含まれるロット番号をキーとして、ロット履歴
データ記憶部031を検索し、ロットデータv を抽出す
る。ロットデータv は、主担当者番号、副担当者番号、
手順名、仕掛かり枚数、優先ランク、仕掛かりライン、
仕掛かり工程名、仕掛かり工程コード、作業終了工程
名、作業終了工程コード、品種フラグからなる。
【0096】連絡先決定部042は、各ストップフラグ
の有無、ストップしたロットの品種フラグから図10の
連絡先テーブルにより、連絡先の番号を決定する。登録
者情報取得部043は、登録者番号をキーにして、登録
者データ記憶部032を検索し、登録者データviを抽出
する。登録者データviは、登録者名、所属部門、電話番
号、電子メールアドレスからなる。
【0097】連絡内容構成部044は、各ストップフラ
グの有無、ストップしたロットの品種フラグから、図1
0のテーブルの連絡内容に従い、連絡内容を決定する。
【0098】このように、第3の実施の形態では、指定
工程前ストップが発生するという情報をストップ支持
者、ロット担当者にストップ前に連絡しておくことによ
り、ロット担当者が、ストップ時の対応準備をしておく
ことができるという効果が得られる。
【0099】(第4の実施の形態)第4の実施の形態で
は、図11に示すように、ロットストップの種類につい
てさらに工夫している。また、連絡先、連絡内容決定テ
ーブルを図12に示す。
【0100】図12において、ストップの種類は指定工
程前ストップ解除である。図11において、連絡する情
報は、指定工程前ストップ解除の情報である。
【0101】図11において、ロット管理部02は、指
定工程前ストップ解除時、ストップ情報viiiをロットス
トップ管理部04へ供給する。ストップ情報viiiは、ロ
ット番号、指定工程前ストップ解除のフラグ、ストップ
解除者、解除時入力されたメモ、測定データからなる。
【0102】ロットストップ管理部04は、上述したよ
うに、ロット情報取得部041、連絡先決定部042、
登録者情報取得部043及び連絡内容構成部044を備
えている。
【0103】ロットの情報取得部041は、ストップ情
報viiiに含まれるロット番号をキーとして、ロット履歴
データ記憶部031を検索し、ロットデータv を抽出す
る。ロットデータv は、主担当者番号、副担当者番号、
手順名、仕掛かり枚数、優先ランク、仕掛かりライン、
仕掛かり工程名、仕掛かり工程コード、作業終了工程
名、作業終了工程コード、品種フラグからなる。
【0104】連絡先決定部042は、各ストップフラグ
の有無、ストップしたロットの品種フラグから図12の
連絡先テーブルにより、連絡先の番号を決定する。登録
者情報取得部043は、登録者番号をキーとして、登録
者データ記憶部032を検索し、登録者データviを抽出
する。
【0105】登録者データviは、登録者名、所属部門、
電話番号、電子メールアドレスからなる。連絡内容構成
部044は、各ストップフラグの有無、ストップしたロ
ットの品種フラグから、図12のテーブルの連絡内容に
従い、連絡内容を決定する。
【0106】このように、第4の実施の形態では、スト
ップ時の対処結果を電子化して記憶し、回収するので、
ストップ時対応作業のペーパーレス化によるクリーンル
ーム内のゴミ発生を押さえるという効果が得られる。な
お、ロット管理部2は、作業終了報告装置07に組込む
ようにしてもよい。
【0107】
【発明の効果】以上の如く本発明に係るロットストップ
情報連絡システム及びその情報連絡方法によれば、ロッ
ト毎に担当者を登録し、ストップ毎の連絡先担当者の連
絡先をテーブルとして所持することで、ロットストップ
発生時、各担当者及び連絡先に電子メールを用いた自動
連絡を行うようにしたので、ロットストップの連絡をす
る作業者の工数を削減するとともに、ロットストップの
担当者への連絡を迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のロットストップ情報連絡システムの第
1の実施の形態を示すブロック図である。
【図2】図1の記憶装置及びロットストップ管理部の詳
細を示すブロック図である。
【図3】図1のロットストップ管理部のテーブルを示す
図である。
【図4】図1のロットストップ情報連絡システムの動作
を説明するためのタイムチャートである。
【図5】図1のロットストップ情報連絡システムの動作
を説明するためのタイムチャートである。
【図6】図1のロットストップ情報連絡システムの動作
を説明するためのタイムチャートである。
【図7】図1のロットストップ情報連絡システムの動作
を説明するためのタイムチャートである。
【図8】本発明のロットストップ情報連絡システムの第
2の実施の形態に係るロットストップ管理部のテーブル
を示す図である。
【図9】本発明のロットストップ情報連絡システムの第
3の実施の形態に係るロットストップ情報連絡システム
を示すブロック図である。
【図10】図9のロットストップ管理部のテーブルを示
す図である。
【図11】本発明のロットストップ情報連絡システムの
第4の実施の形態に係るロットストップ情報連絡システ
ムを示すブロック図である。
【図12】図11のロットストップ管理部のテーブルを
示す図である。
【図13】従来のロットストップ情報連絡システムの一
例を示すブロック図である。
【図14】図13のロットストップ情報連絡システムの
動作を説明するためのフローチャートである。
【図15】図13のロットストップ情報連絡システムの
動作を説明するためのフローチャートである。
【図16】図13のロットストップ情報連絡システムの
動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】 01 ストップ報告入力装置 02 ロット管理部 03 記憶装置 04 ロットストップ管理部 05 電子メール送信装置 06 電子メール受信装置 07 作業終了報告装置 031 ロット履歴データ記憶部 032 登録者データ記憶部 033 指定工程前ストップ登録記憶部 034 保管許容時間設定記憶部 041 ロット情報取得部 042 連絡先決定部 043 登録者情報取得部 044 連絡内容構成部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/02 G06F 17/60 H04M 11/00

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ロットがストップした時点で、ロットの
    担当者にストップ情報を送信するロットストップ情報連
    絡システムであって、 ロット毎の担当者に関する情報及びストップ毎の連絡先
    に関する情報を格納する記憶装置と、 前記記憶装置の情報を管理するロット管理手段と、 前記ストップ情報に関する入力を受付けるストップ報告
    入力装置と、 前記ロット管理手段及びストップ報告入力装置の何れか
    から前記ストップ情報を受取ったとき、連絡先及び連絡
    内容を決定するロットストップ管理手段と、前記ロットストップ管理手段から受取った前記連絡内容
    を前記連絡先に電子メールにより送信する電子メール送
    信手段と を備えることを特徴とするロットストップ情報
    連絡システム。
  2. 【請求項2】 前記記憶装置は、 ロットの履歴に関するデータを記憶するロット履歴デー
    タ記憶手段と、 登録者に関するデータを記憶する登録者データ記憶手段
    と、 指定工程前のロットに関するデータを記憶する指定工程
    前ストップ登録記憶手段と、 各工程の保管許容時間に関するデータを記憶する保管許
    容時間設定記憶手段とを備えることを特徴とする請求項
    1に記載のロットストップ情報連絡システム。
  3. 【請求項3】 前記ロットストップ管理手段は、 ロット番号をキーとして、前記ロット履歴データ記憶手
    段のデータを検索し、ロットデータを抽出するロットの
    情報取得手段と、 ストップしたロットの品種フラグから、連絡先番号を抽
    出する必要がある登録番号を決定する連絡先決定手段
    と、 登録番号をキーとして、前記登録者データ記憶手段を検
    索し、登録者データを抽出する登録者情報取得手段と、 ストップしたロットの品種フラグから、連絡内容を決定
    する連絡内容構成手段とを備えることを特徴とする請求
    項1に記載のロットストップ情報連絡システム。
  4. 【請求項4】 前記ストップ情報は、 作業者番号、ロット番号、異常ストップフラグ、メモ番
    号、メモ、グループ番号、ストップ日時からなる第1の
    情報と、 ストップ指定者番号、ロット番号、指定工程前ストップ
    フラグ、指定工程前ストップ時のメモ、ストップ日時か
    らなる第2の情報と、 ロット番号、保管許容時間オーバーストップフラグ、ス
    トップ日時からなる第3の情報と、 ストップ指定者番号、ロット番号、指定工程前ストップ
    の10工程前フラグ、指定工程前ストップ時のメモ、指
    定工程前ストップの指定工程名、指定工程コードからな
    る第4の情報と、 ロット番号、指定工程前ストップ解除のフラグ、ストッ
    プ解除者、解除時入力されたメモ、測定データからなる
    第5の情報とを備えることを特徴とする請求項1に記載
    のロットストップ情報連絡システム。
  5. 【請求項5】 前記連絡内容構成手段は、前記メモ番号
    から連絡内容を決定することを特徴とする請求項3に記
    載のロットストップ情報連絡システム。
  6. 【請求項6】 ロットがストップした時点で、ロットの
    担当者にストップ情報を送信するロットストップの情報
    連絡方法であって、 ロット毎の担当者に関する情報及びストップ毎の連絡先
    に関する情報を格納する第1の工程と、 前記記憶装置の情報を管理する第2の工程と、 前記ストップ情報に関する入力を受付ける第3の工程
    と、 前記ストップ情報を受取ったとき、連絡先及び連絡内容
    を決定する第4の工程とを備え、前記第4の工程には、決定した前記連絡先及び前記連絡
    内容を電子メールにより送信する工程が含まれる ことを
    特徴とするロットストップの情報連絡方法。
  7. 【請求項7】 前記第1の工程には、 ロットの履歴に関するデータを記憶する工程と、 登録者に関するデータを記憶する工程と、 指定工程前のロットに関するデータを記憶する工程と、 各工程の保管許容時間に関するデータを記憶する工程と
    が含まれることを特徴とする請求項6に記載のロットス
    トップの情報連絡方法。
  8. 【請求項8】 前記第4の工程には、 ロット番号をキーとして、前記ロットの履歴に関するデ
    ータを検索し、ロットデータを抽出する工程と、 ストップしたロットの品種フラグから、連絡先番号を抽
    出する必要がある登録番号を決定する工程と、 登録番号をキーとして、前記登録者に関するデータを検
    索し、登録者データを抽出する工程と、 ストップしたロットの品種フラグから、連絡内容を決定
    する第5の工程とが含まれることを特徴とする請求項6
    に記載のロットストップの情報連絡方法。
  9. 【請求項9】 前記第3の工程には、 作業者番号、ロット番号、異常ストップフラグ、メモ番
    号、メモ、グループ番号、ストップ日時からなる第1の
    情報と、 ストップ指定者番号、ロット番号、指定工程前ストップ
    フラグ、指定工程前ストップ時のメモ、ストップ日時か
    らなる第2の情報と、 ロット番号、保管許容時間オーバーストップフラグ、ス
    トップ日時からなる第3の情報と、 ストップ指定者番号、ロット番号、指定工程前ストップ
    の10工程前フラグ、指定工程前ストップ時のメモ、指
    定工程前ストップの指定工程名、指定工程コードからな
    る第4の情報と、 ロット番号、指定工程前ストップ解除のフラグ、ストッ
    プ解除者、解除時入力されたメモ、測定データからなる
    第5の情報とを受付ける工程が含まれることを特徴とす
    請求項6に記載のロットストップの情報連絡方法。
  10. 【請求項10】 前記第5の工程には、前記メモ番号か
    ら連絡内容を決定する工程が含まれることを特徴とする
    請求項8に記載のロットストップの情報連絡方法。
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