JP3419643B2 - 固体撮像装置の製造方法および製造装置 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法および製造装置Info
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- JP3419643B2 JP3419643B2 JP02743197A JP2743197A JP3419643B2 JP 3419643 B2 JP3419643 B2 JP 3419643B2 JP 02743197 A JP02743197 A JP 02743197A JP 2743197 A JP2743197 A JP 2743197A JP 3419643 B2 JP3419643 B2 JP 3419643B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、固体撮像装置の
製造方法および製造装置に関するものである。
製造方法および製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置のパッケージ構造は、デバ
イスに安定した光を到達させるために収納する容器は中
空でその蓋には、透明なガラス板が用いられる。容器と
蓋の接着については外的な環境からデバイスを保護する
ために気密性の高い工法が必要となる。
イスに安定した光を到達させるために収納する容器は中
空でその蓋には、透明なガラス板が用いられる。容器と
蓋の接着については外的な環境からデバイスを保護する
ために気密性の高い工法が必要となる。
【０００３】そこで、蓋を容器に固定する方法として
は、熱硬化型の接着剤を用いて加熱硬化する方法や紫外
線硬化型の接着剤を用いる方法などがある。これらのう
ち紫外線硬化型の接着剤を用いた方法を図１１ないし図
１４を用いて説明する。図１１は封止用接着剤を塗布し
た固体撮像装置の斜視図である。固体撮像装置３１は、
予め成形されたプラスチックまたは、セラミックの容器
１にチップ２が収納されている。チップ２の表面には、
色再現のための有機膜３が形成されている。この有機膜
３は、フィルタ上面にフォトレジストを所定のパターン
に形成して、さらに所定の色に染色した色フィルタであ
る。チップ２と容器１の電気的な接続は、金属ワイヤ４
により行われ、リードフレーム５を通して外部へ導かれ
る。封止の際には、容器のシール部６上に紫外線硬化型
の接着剤７をディスペンサ８で一周塗布する。
は、熱硬化型の接着剤を用いて加熱硬化する方法や紫外
線硬化型の接着剤を用いる方法などがある。これらのう
ち紫外線硬化型の接着剤を用いた方法を図１１ないし図
１４を用いて説明する。図１１は封止用接着剤を塗布し
た固体撮像装置の斜視図である。固体撮像装置３１は、
予め成形されたプラスチックまたは、セラミックの容器
１にチップ２が収納されている。チップ２の表面には、
色再現のための有機膜３が形成されている。この有機膜
３は、フィルタ上面にフォトレジストを所定のパターン
に形成して、さらに所定の色に染色した色フィルタであ
る。チップ２と容器１の電気的な接続は、金属ワイヤ４
により行われ、リードフレーム５を通して外部へ導かれ
る。封止の際には、容器のシール部６上に紫外線硬化型
の接着剤７をディスペンサ８で一周塗布する。
【０００４】つぎに、ガラスを接着する工法を図１２の
説明図を用いて説明する。接着剤７が塗布された容器１
の上部に、ガラス９を載せる。この場合、接着剤７を均
一に伸ばすためにガラス９をシリンダ１０で押さえる。
最後に接着剤の硬化方法を図１３の斜視図を用いて説明
する。ガラス９が接着された状態の固体撮像装置３１の
上部にランプ光源１４から光ファイバ１６を挿入したラ
イトガイド３５を設置して光ファイバ１６を通して照射
される紫外線によって接着剤７を硬化させる。ここで用
いられるライトガイド３５の端面は、図１４に示すよう
に、光ファイバ１６を束ねた状態である。
説明図を用いて説明する。接着剤７が塗布された容器１
の上部に、ガラス９を載せる。この場合、接着剤７を均
一に伸ばすためにガラス９をシリンダ１０で押さえる。
最後に接着剤の硬化方法を図１３の斜視図を用いて説明
する。ガラス９が接着された状態の固体撮像装置３１の
上部にランプ光源１４から光ファイバ１６を挿入したラ
イトガイド３５を設置して光ファイバ１６を通して照射
される紫外線によって接着剤７を硬化させる。ここで用
いられるライトガイド３５の端面は、図１４に示すよう
に、光ファイバ１６を束ねた状態である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の製造方法では、接着剤７を容器１のシール部６に一
周塗布するためにガラス９を載せて押さえた際、容器１
内のエアーが圧縮されて接着面から外へ出ていこうとす
る作用で接着剤７が内側から外側へ押し広げられ、接着
面が歪になるという欠点を有していた。
来の製造方法では、接着剤７を容器１のシール部６に一
周塗布するためにガラス９を載せて押さえた際、容器１
内のエアーが圧縮されて接着面から外へ出ていこうとす
る作用で接着剤７が内側から外側へ押し広げられ、接着
面が歪になるという欠点を有していた。
【０００６】また、接着剤７を硬化させる紫外線をチッ
プ２表面に照射すると、チップ２上に形成された色再現
のための有機膜３の色が退色して劣化し、所望の色フィ
ルタの分光特性が得られず実用上大きな問題であった。
さらに、ガラス９を押さえる工程と紫外線を照射して接
着剤７を硬化する工程を分離しているために工数が増大
してしまうという欠点を有していた。
プ２表面に照射すると、チップ２上に形成された色再現
のための有機膜３の色が退色して劣化し、所望の色フィ
ルタの分光特性が得られず実用上大きな問題であった。
さらに、ガラス９を押さえる工程と紫外線を照射して接
着剤７を硬化する工程を分離しているために工数が増大
してしまうという欠点を有していた。
【０００７】したがって、この発明の目的は、上記従来
の問題点を解決するもので封止外観品質および画像特性
に優れた、低価格の固体撮像装置の製造方法および製造
装置を提供することである。
の問題点を解決するもので封止外観品質および画像特性
に優れた、低価格の固体撮像装置の製造方法および製造
装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の固体撮像装置の製造方法は、カラー
フィルタを表面に有するチップが収納されたパッケージ
の周縁に位置するシール部の４辺に紫外線硬化型の接着
剤を塗布し、前記パッケージにガラスを載せて前記シー
ル部に接着し、前記シール部の対向する２辺の上に紫外
線照射用の光ファイバを配列させて前記シール部の２辺
を硬化し、前記光ファイバを９０°反転配置して前記シ
ール部の他の２辺を硬化することで、前記シール部の４
辺全面を硬化することを特徴とする。
め、請求項１記載の固体撮像装置の製造方法は、カラー
フィルタを表面に有するチップが収納されたパッケージ
の周縁に位置するシール部の４辺に紫外線硬化型の接着
剤を塗布し、前記パッケージにガラスを載せて前記シー
ル部に接着し、前記シール部の対向する２辺の上に紫外
線照射用の光ファイバを配列させて前記シール部の２辺
を硬化し、前記光ファイバを９０°反転配置して前記シ
ール部の他の２辺を硬化することで、前記シール部の４
辺全面を硬化することを特徴とする。
【０００９】
【００１０】
【００１１】このように、接着剤を紫外線で硬化する際
に、シール部の対向する２辺の上に紫外線照射用の光フ
ァイバを配列させてシール部の２辺を硬化し、光ファイ
バを９０°反転配置してシール部の他の２辺を硬化する
ことで、シール部の４辺全面を硬化するので、紫外線を
シール部のみに照射することが可能となり、チップ上に
形成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除すること
が可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られ
る。また、光ファイバでシール部の対向する２辺を硬化
した後、光ファイバの硬化ポジションを変えて残る２辺
を硬化するため、２工程で接着剤を硬化させることがで
きる。
に、シール部の対向する２辺の上に紫外線照射用の光フ
ァイバを配列させてシール部の２辺を硬化し、光ファイ
バを９０°反転配置してシール部の他の２辺を硬化する
ことで、シール部の４辺全面を硬化するので、紫外線を
シール部のみに照射することが可能となり、チップ上に
形成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除すること
が可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られ
る。また、光ファイバでシール部の対向する２辺を硬化
した後、光ファイバの硬化ポジションを変えて残る２辺
を硬化するため、２工程で接着剤を硬化させることがで
きる。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】請求項２記載の固体撮像装置の製造方法
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部に紫外線硬化型の
接着剤を塗布し、パッケージにガラスを載せてシール部
に接着し、シール部の上に、口の字形に紫外線照射用の
光ファイバを配列し、かつ口形の各コーナ外側にスポッ
ト形に紫外線照射用の光ファイバを配列することで、シ
ール部全面を硬化することを特徴とする。
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部に紫外線硬化型の
接着剤を塗布し、パッケージにガラスを載せてシール部
に接着し、シール部の上に、口の字形に紫外線照射用の
光ファイバを配列し、かつ口形の各コーナ外側にスポッ
ト形に紫外線照射用の光ファイバを配列することで、シ
ール部全面を硬化することを特徴とする。
【００１７】このように、接着剤を紫外線で硬化する際
に、シール部上に、口の字形に紫外線照射用の光ファイ
バを配列し、かつ口形の各コーナ外側にスポット形に紫
外線照射用の光ファイバを配列することで、シール部全
面を硬化するので、接着剤の硬化を１工程で行うことが
でき、しかもスポット形に配列した光ファイバによりシ
ール部のコーナ部の接着剤の硬化をより確実にできる。
また、請求項１と同様に紫外線をシール部のみに照射す
ることが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受
ける紫外線の影響を排除することができる。
に、シール部上に、口の字形に紫外線照射用の光ファイ
バを配列し、かつ口形の各コーナ外側にスポット形に紫
外線照射用の光ファイバを配列することで、シール部全
面を硬化するので、接着剤の硬化を１工程で行うことが
でき、しかもスポット形に配列した光ファイバによりシ
ール部のコーナ部の接着剤の硬化をより確実にできる。
また、請求項１と同様に紫外線をシール部のみに照射す
ることが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受
ける紫外線の影響を排除することができる。
【００１８】
【００１９】請求項３記載の固体撮像装置の製造装置
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部にディスペンサで
紫外線硬化型の接着剤を塗布し、パッケージにガラスを
載せてシール部に接着し、紫外線照射用のライトガイド
をパッケージの上に配置して接着剤を硬化させるように
した固体撮像装置の製造装置であって、ライトガイドの
中の光ファイバが前記シール部に対応するように配列さ
れており、ライトガイドは、ガラスの周縁部を押える傾
斜した押え面が端面に形成されているものである。この
ように、ライトガイド中の光ファイバがシール部に対応
するように配列されているので、紫外線をシール部のみ
に照射することが可能となり、チップ上に形成された有
機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可能とな
り、所望の色フィルタの分光特性が得られる。また、ガ
ラスの周縁部を押える傾斜した押え面がライトガイドの
端面に形成されているので、ガラスの押さえと接着剤の
硬化を１工程で行うことができる。
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部にディスペンサで
紫外線硬化型の接着剤を塗布し、パッケージにガラスを
載せてシール部に接着し、紫外線照射用のライトガイド
をパッケージの上に配置して接着剤を硬化させるように
した固体撮像装置の製造装置であって、ライトガイドの
中の光ファイバが前記シール部に対応するように配列さ
れており、ライトガイドは、ガラスの周縁部を押える傾
斜した押え面が端面に形成されているものである。この
ように、ライトガイド中の光ファイバがシール部に対応
するように配列されているので、紫外線をシール部のみ
に照射することが可能となり、チップ上に形成された有
機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可能とな
り、所望の色フィルタの分光特性が得られる。また、ガ
ラスの周縁部を押える傾斜した押え面がライトガイドの
端面に形成されているので、ガラスの押さえと接着剤の
硬化を１工程で行うことができる。
【００２０】請求項４記載の固体撮像装置の製造装置
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部にディスペンサで
紫外線硬化型の接着剤を塗布し、パッケージにガラスを
載せてシール部に接着し、紫外線照射用のライトガイド
を前記パッケージの上に配置して接着剤を硬化させるよ
うにした固体撮像装置の製造装置であって、ライトガイ
ドの中の光ファイバが前記シール部に対応するように配
列されており、光ファイバは、口の字形に配列され、か
つ口形の各コーナ外側にスポット形に配列されている。
このように、ライトガイド中の光ファイバがシール部に
対応するように配列されているので、紫外線をシール部
のみに照射することが可能となり、チップ上に形成され
た有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可能と
なり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。また、
光ファイバは、口の字形に配列され、かつ口形の各コー
ナ外側にスポット形に配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能になるとともに、接着
剤の硬化を一工程で行うことができる。また、スポット
形に配列された光ファイバによりシール部のコーナ部に
おける接着剤の硬化をより確実にできる。
は、カラーフィルタを表面に有するチップが収納された
パッケージの周縁に位置するシール部にディスペンサで
紫外線硬化型の接着剤を塗布し、パッケージにガラスを
載せてシール部に接着し、紫外線照射用のライトガイド
を前記パッケージの上に配置して接着剤を硬化させるよ
うにした固体撮像装置の製造装置であって、ライトガイ
ドの中の光ファイバが前記シール部に対応するように配
列されており、光ファイバは、口の字形に配列され、か
つ口形の各コーナ外側にスポット形に配列されている。
このように、ライトガイド中の光ファイバがシール部に
対応するように配列されているので、紫外線をシール部
のみに照射することが可能となり、チップ上に形成され
た有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可能と
なり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。また、
光ファイバは、口の字形に配列され、かつ口形の各コー
ナ外側にスポット形に配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能になるとともに、接着
剤の硬化を一工程で行うことができる。また、スポット
形に配列された光ファイバによりシール部のコーナ部に
おける接着剤の硬化をより確実にできる。
【００２１】
【発明の実施の形態】この発明の第１の実施の形態を図
１ないし図５に基づいて説明する。図１はこの発明の第
１の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す
斜視図であり、図２はパッケージの内部圧力が上昇して
接着剤が内側から外側へ押し広げられる現象の斜視図で
ある。固体撮像装置２１は、チップ２が収納されたパッ
ケージ１の周縁に位置するシール部６に紫外線硬化型の
接着剤７を塗布し、この接着剤７によりパッケージ１と
ガラス９を接着している。パッケージ１は、プラスチッ
クまたはセラミックで正方形または長方形に予め成形さ
れたものである。チップ２の表面には色再現のための有
機膜（カラーフィルタ）３が形成されている。この有機
膜３は、フィルタ上面にフォトレジストを所定のパター
ンに形成して、さらに所定の色に染色した色フィルタで
ある。この有機膜３に接着剤７を硬化させる紫外線を照
射すると色が退色して所望の色フィルタの分光特性が得
られない。チップ２とパッケージ１の電気的な接続は、
金属ワイヤ４により行われ、リードフレーム５を通して
外部へ導かれる。
１ないし図５に基づいて説明する。図１はこの発明の第
１の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す
斜視図であり、図２はパッケージの内部圧力が上昇して
接着剤が内側から外側へ押し広げられる現象の斜視図で
ある。固体撮像装置２１は、チップ２が収納されたパッ
ケージ１の周縁に位置するシール部６に紫外線硬化型の
接着剤７を塗布し、この接着剤７によりパッケージ１と
ガラス９を接着している。パッケージ１は、プラスチッ
クまたはセラミックで正方形または長方形に予め成形さ
れたものである。チップ２の表面には色再現のための有
機膜（カラーフィルタ）３が形成されている。この有機
膜３は、フィルタ上面にフォトレジストを所定のパター
ンに形成して、さらに所定の色に染色した色フィルタで
ある。この有機膜３に接着剤７を硬化させる紫外線を照
射すると色が退色して所望の色フィルタの分光特性が得
られない。チップ２とパッケージ１の電気的な接続は、
金属ワイヤ４により行われ、リードフレーム５を通して
外部へ導かれる。
【００２２】つぎに、固体撮像装置の製造方法について
説明する。図１に示すように、パッケージ１のシール部
６にディスペンサ８を使って接着剤７を塗布する。この
とき、シール部６の一周に渡りディスペンサ８を移動さ
せて塗布するが、塗布の起点１１と終点１２を完全につ
なげずに約０．５〜１．０ｍｍ程度の隙間１３を残して
塗布を終了させる。つぎに、パッケージ１にガラス９を
載せてシール部６に接着し、接着剤７を均一に伸ばすた
めにガラス９をシリンダ１０で押さえる（図１１）。こ
れにより、隙間１３は最終的に無くなって完全に密封状
態となる。ここで、隙間１３を設けていないと、図２に
示すように、パッケージ１の内部圧力が上昇して接着剤
７が内側から外側へ押し広げられる現象が起こり、接着
剤７がガラス９の裏面とパッケージ１のシール部６との
間で回り込まない所ができる。すなわち、接着剤７が連
続せず空隙部Ａが形成される。しかし、この製造方法で
は、隙間１３を設けているので、このようなパッケージ
１の内圧による現象を抑制でき、空隙部Ａが形成される
ことはない。
説明する。図１に示すように、パッケージ１のシール部
６にディスペンサ８を使って接着剤７を塗布する。この
とき、シール部６の一周に渡りディスペンサ８を移動さ
せて塗布するが、塗布の起点１１と終点１２を完全につ
なげずに約０．５〜１．０ｍｍ程度の隙間１３を残して
塗布を終了させる。つぎに、パッケージ１にガラス９を
載せてシール部６に接着し、接着剤７を均一に伸ばすた
めにガラス９をシリンダ１０で押さえる（図１１）。こ
れにより、隙間１３は最終的に無くなって完全に密封状
態となる。ここで、隙間１３を設けていないと、図２に
示すように、パッケージ１の内部圧力が上昇して接着剤
７が内側から外側へ押し広げられる現象が起こり、接着
剤７がガラス９の裏面とパッケージ１のシール部６との
間で回り込まない所ができる。すなわち、接着剤７が連
続せず空隙部Ａが形成される。しかし、この製造方法で
は、隙間１３を設けているので、このようなパッケージ
１の内圧による現象を抑制でき、空隙部Ａが形成される
ことはない。
【００２３】上記の方法でパッケージ１にガラス９を載
せて均一に接着剤７か伸びた状態から、図３に示すよう
に、紫外線ランプ光源１４から延出されたライトガイド
１５をパッケージ１の真上に配置させ、接着剤７を硬化
させる。この場合、図４に示すように、ライトガイド１
５の先端部の中に挿入された光ファイバ１６は、シール
部６の対向する２辺の上に平行に配列されている。そし
て、この光ファイバ１６より紫外線を照射すると、硬化
はシール部６の対向する２辺で進行する。以上が硬化第
一工程である。つぎに、残る２辺についても、図５に示
すように、ライトガイド１５の中に上記光ファイバ１６
から９０°反転配置された光ファイバ１６より紫外線を
照射することにより残る２辺で硬化が進行し、シール部
６の全面の硬化が完了する。以上が硬化第二工程であ
る。なお、第一および第二工程で、同一のライトガイド
１５により先端部を反転して用いてもよく、光ファイバ
１６の配置が異なる別々のライトガイド１５を用いても
よい。
せて均一に接着剤７か伸びた状態から、図３に示すよう
に、紫外線ランプ光源１４から延出されたライトガイド
１５をパッケージ１の真上に配置させ、接着剤７を硬化
させる。この場合、図４に示すように、ライトガイド１
５の先端部の中に挿入された光ファイバ１６は、シール
部６の対向する２辺の上に平行に配列されている。そし
て、この光ファイバ１６より紫外線を照射すると、硬化
はシール部６の対向する２辺で進行する。以上が硬化第
一工程である。つぎに、残る２辺についても、図５に示
すように、ライトガイド１５の中に上記光ファイバ１６
から９０°反転配置された光ファイバ１６より紫外線を
照射することにより残る２辺で硬化が進行し、シール部
６の全面の硬化が完了する。以上が硬化第二工程であ
る。なお、第一および第二工程で、同一のライトガイド
１５により先端部を反転して用いてもよく、光ファイバ
１６の配置が異なる別々のライトガイド１５を用いても
よい。
【００２４】この実施の形態によれば、パッケージ１の
シール部６に接着剤７を塗布する際に、隙間１３を設け
ているので、この隙間１３がガラス９を載せて押さえな
がら接着剤７を伸ばしていく際に生じる内部圧力をパッ
ケージ１の外部に逃がしていく経路となり、接着剤７が
均一に伸び、かつパッケージ１の内外の圧力バランスが
取れた状態で塞がる。なお、隙間１３は少なくとも１ヵ
所に設けてあればよい。
シール部６に接着剤７を塗布する際に、隙間１３を設け
ているので、この隙間１３がガラス９を載せて押さえな
がら接着剤７を伸ばしていく際に生じる内部圧力をパッ
ケージ１の外部に逃がしていく経路となり、接着剤７が
均一に伸び、かつパッケージ１の内外の圧力バランスが
取れた状態で塞がる。なお、隙間１３は少なくとも１ヵ
所に設けてあればよい。
【００２５】また、接着剤７を紫外線で硬化する際に、
シール部６の対向する２辺の上に紫外線照射用の光ファ
イバを配列させてシール部６の２辺を硬化し、光ファイ
バ１６を９０°反転配置してシール部６の他の２辺を硬
化することで、シール部の４辺全面を硬化するので、紫
外線をシール部６のみに照射することが可能となり、チ
ップ２上に形成された有機膜３が受ける紫外線の影響を
排除することが可能となり、所望の色フィルタの分光特
性が得られる。また、この場合、光ファイバ１６でシー
ル部６の対向する２辺を硬化した後、光ファイバ１６の
硬化ポジションを変えて残る２辺を硬化するため、２工
程で接着剤７を硬化させることができる。
シール部６の対向する２辺の上に紫外線照射用の光ファ
イバを配列させてシール部６の２辺を硬化し、光ファイ
バ１６を９０°反転配置してシール部６の他の２辺を硬
化することで、シール部の４辺全面を硬化するので、紫
外線をシール部６のみに照射することが可能となり、チ
ップ２上に形成された有機膜３が受ける紫外線の影響を
排除することが可能となり、所望の色フィルタの分光特
性が得られる。また、この場合、光ファイバ１６でシー
ル部６の対向する２辺を硬化した後、光ファイバ１６の
硬化ポジションを変えて残る２辺を硬化するため、２工
程で接着剤７を硬化させることができる。
【００２６】図６は本願発明ではないが参考例として使
用されるライトガイドの端面の光ファイバの配置を示す
平面図である。このライトガイド２２の先端部の中に挿
入された光ファイバ１６は、パッケージのシール部の上
に口の字形に配列されている。
用されるライトガイドの端面の光ファイバの配置を示す
平面図である。このライトガイド２２の先端部の中に挿
入された光ファイバ１６は、パッケージのシール部の上
に口の字形に配列されている。
【００２７】この固体撮像装置の製造方法については、
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２２をパ
ッケージ１の真上に配置させる。その先端部の光ファイ
バ１６はシール部の上に口の字形で配置されており一定
の距離で照射する。その他の構成は第１の実施の形態と
同様である。
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２２をパ
ッケージ１の真上に配置させる。その先端部の光ファイ
バ１６はシール部の上に口の字形で配置されており一定
の距離で照射する。その他の構成は第１の実施の形態と
同様である。
【００２８】この参考例によれば、接着剤を硬化させる
際に、シール部の上に口の字形に紫外線照射用の光ファ
イバ１６を配列させて、シール部全面を硬化するので、
接着剤の硬化を１工程で行うことができ、第１の実施の
形態と同様に、紫外線をシール部のみに照射することが
可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける紫外
線の影響を排除することができる。
際に、シール部の上に口の字形に紫外線照射用の光ファ
イバ１６を配列させて、シール部全面を硬化するので、
接着剤の硬化を１工程で行うことができ、第１の実施の
形態と同様に、紫外線をシール部のみに照射することが
可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける紫外
線の影響を排除することができる。
【００２９】図７は本願発明ではないが別の参考例とし
て使用されるライトガイドの端面の光ファイバの配置を
示す平面図である。このライトガイド２３の先端部の中
に挿入された光ファイバ１６は、パッケージのシール部
の上に井の字形に配列されている。
て使用されるライトガイドの端面の光ファイバの配置を
示す平面図である。このライトガイド２３の先端部の中
に挿入された光ファイバ１６は、パッケージのシール部
の上に井の字形に配列されている。
【００３０】この固体撮像装置の製造方法については、
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２３をパ
ッケージ１の真上に配置させる。その先端部の光ファイ
バ１６はシール部の上に井の字形で配置されており一定
の距離で照射する。この場合、コーナ１９で光ファイバ
１６がクロスして伸びる形状とする。この方法によりコ
ーナ１９の照度を補強して接着剤の硬化を安定させるこ
とができる。
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２３をパ
ッケージ１の真上に配置させる。その先端部の光ファイ
バ１６はシール部の上に井の字形で配置されており一定
の距離で照射する。この場合、コーナ１９で光ファイバ
１６がクロスして伸びる形状とする。この方法によりコ
ーナ１９の照度を補強して接着剤の硬化を安定させるこ
とができる。
【００３１】この発明の第２の実施の形態を図８および
図９に基づいて説明する。図８はこの発明の第２の実施
の形態の固体撮像装置の製造方法に使用されるライトガ
イドの使用状態を示す説明図である。このライトガイド
２０は、ガラス押さえを兼用した構造であり、ガラス９
の周縁部を押さえる傾斜した押え面２５が端面に形成さ
れている。したがって、端面が角錐形状になっている。
また、図９に示すように、このライトガイド２０の中に
挿入される光ファイバ１６は、パッケージ１のシール部
６の上に口の字形に配列されている。
図９に基づいて説明する。図８はこの発明の第２の実施
の形態の固体撮像装置の製造方法に使用されるライトガ
イドの使用状態を示す説明図である。このライトガイド
２０は、ガラス押さえを兼用した構造であり、ガラス９
の周縁部を押さえる傾斜した押え面２５が端面に形成さ
れている。したがって、端面が角錐形状になっている。
また、図９に示すように、このライトガイド２０の中に
挿入される光ファイバ１６は、パッケージ１のシール部
６の上に口の字形に配列されている。
【００３２】この固体撮像装置の製造方法については、
第１の実施の形態と同様にパッケージ１にガラス９を載
せた状態から、ライトガイド２０でガラス９を押さえて
シール部６に接着すると同時に、この状態で光ファイバ
１６はシール部６の上に口の字形で配置されており一定
の距離で照射する。その他の構成は、第１の実施の形態
と同様である。
第１の実施の形態と同様にパッケージ１にガラス９を載
せた状態から、ライトガイド２０でガラス９を押さえて
シール部６に接着すると同時に、この状態で光ファイバ
１６はシール部６の上に口の字形で配置されており一定
の距離で照射する。その他の構成は、第１の実施の形態
と同様である。
【００３３】この実施の形態によれば、パッケージ１に
ガラス９を載せてシール部６に接着すると同時に、この
シール部６の上に紫外線照射用の光ファイバ１６を配列
させて、シール部６の全面を硬化するので、第１の実施
の形態と同様に、紫外線をシール部６のみに照射するこ
とが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける
紫外線の影響を排除することができるとともに、ガラス
９の押さえと接着剤の硬化を１工程で行うことができ
る。このため、工数が少なくなり生産性が向上する。
ガラス９を載せてシール部６に接着すると同時に、この
シール部６の上に紫外線照射用の光ファイバ１６を配列
させて、シール部６の全面を硬化するので、第１の実施
の形態と同様に、紫外線をシール部６のみに照射するこ
とが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける
紫外線の影響を排除することができるとともに、ガラス
９の押さえと接着剤の硬化を１工程で行うことができ
る。このため、工数が少なくなり生産性が向上する。
【００３４】この発明の第３の実施の形態を図１０に基
づいて説明する。図１０はこの発明の第３の実施の形態
の固体撮像装置の製造方法に使用されるライトガイドの
端面の光ファイバの配置を示す平面図である。このライ
トガイド２６の先端部の中に挿入された光ファイバ１６
は、パッケージのシール部の上に口の字形に配列され、
さらに、口形の各コーナ外側にスポット形に配列されて
いる。図中の１６ａは口の字形部分、１６ｂはスポット
形部分を示す。
づいて説明する。図１０はこの発明の第３の実施の形態
の固体撮像装置の製造方法に使用されるライトガイドの
端面の光ファイバの配置を示す平面図である。このライ
トガイド２６の先端部の中に挿入された光ファイバ１６
は、パッケージのシール部の上に口の字形に配列され、
さらに、口形の各コーナ外側にスポット形に配列されて
いる。図中の１６ａは口の字形部分、１６ｂはスポット
形部分を示す。
【００３５】この固体撮像装置の製造方法については、
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２６をパ
ッケージ真上に配置させる。その先端部の光ファイバ１
６はシール部の上に口の字形に配列され、さらに、口形
の各コーナ外側にスポット形に配列されており、一定の
距離で照射する。その他の構成は、第１の実施の形態と
同様である。
第１の実施の形態と同様にパッケージにガラスを載せて
均一に接着剤が伸びた状態から、ライトガイド２６をパ
ッケージ真上に配置させる。その先端部の光ファイバ１
６はシール部の上に口の字形に配列され、さらに、口形
の各コーナ外側にスポット形に配列されており、一定の
距離で照射する。その他の構成は、第１の実施の形態と
同様である。
【００３６】この実施の形態によれば、接着剤を硬化さ
せる際に、シール部の上に口の字形に紫外線照射用の光
ファイバ１６ａを配列し、さらに、口形の各コーナ外側
にスポット形に紫外線照射用の光ファイバ１６ｂを配列
させて、シール部全面を硬化するので、シール部のコー
ナ部における接着剤の硬化をより確実にでき、シール部
全面を均一に硬化することができる。
せる際に、シール部の上に口の字形に紫外線照射用の光
ファイバ１６ａを配列し、さらに、口形の各コーナ外側
にスポット形に紫外線照射用の光ファイバ１６ｂを配列
させて、シール部全面を硬化するので、シール部のコー
ナ部における接着剤の硬化をより確実にでき、シール部
全面を均一に硬化することができる。
【００３７】また、接着剤の硬化を１工程ででき、第１
の実施の形態と同様に、紫外線をシール部のみに照射す
ることが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受
ける紫外線の影響を排除することができる。
の実施の形態と同様に、紫外線をシール部のみに照射す
ることが可能となり、チップ上に形成された有機膜が受
ける紫外線の影響を排除することができる。
【００３８】
【発明の効果】この発明の請求項１記載の固体撮像装置
の製造方法によれば、接着剤を紫外線で硬化する際に、
シール部の対向する２辺の上に紫外線照射用の光ファイ
バを配列させてシール部の２辺を硬化し、光ファイバを
９０°反転配置してシール部の他の２辺を硬化すること
で、シール部の４辺全面を硬化するので、紫外線をシー
ル部のみに照射することが可能となり、チップ上に形成
された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可
能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。ま
た、光ファイバでシール部の対向する２辺を硬化した
後、光ファイバの硬化ポジションを変えて残る２辺を硬
化するため、２工程で接着剤を硬化させることができ
る。
の製造方法によれば、接着剤を紫外線で硬化する際に、
シール部の対向する２辺の上に紫外線照射用の光ファイ
バを配列させてシール部の２辺を硬化し、光ファイバを
９０°反転配置してシール部の他の２辺を硬化すること
で、シール部の４辺全面を硬化するので、紫外線をシー
ル部のみに照射することが可能となり、チップ上に形成
された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが可
能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。ま
た、光ファイバでシール部の対向する２辺を硬化した
後、光ファイバの硬化ポジションを変えて残る２辺を硬
化するため、２工程で接着剤を硬化させることができ
る。
【００３９】
【００４０】
【００４１】
【００４２】この発明の請求項２記載の固体撮像装置の
製造方法によれば、接着剤を紫外線で硬化する際に、シ
ール部上に、口の字形に紫外線照射用の光ファイバを配
列し、かつ口形の各コーナ外側にスポット形に紫外線照
射用の光ファイバを配列することで、シール部全面を硬
化するので、接着剤の硬化を１工程で行うことができ、
しかもスポット形に配列した光ファイバによりシール部
のコーナ部の接着剤の硬化をより確実にできる。また、
請求項１と同様に紫外線をシール部のみに照射すること
が可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける紫
外線の影響を排除することができる。
製造方法によれば、接着剤を紫外線で硬化する際に、シ
ール部上に、口の字形に紫外線照射用の光ファイバを配
列し、かつ口形の各コーナ外側にスポット形に紫外線照
射用の光ファイバを配列することで、シール部全面を硬
化するので、接着剤の硬化を１工程で行うことができ、
しかもスポット形に配列した光ファイバによりシール部
のコーナ部の接着剤の硬化をより確実にできる。また、
請求項１と同様に紫外線をシール部のみに照射すること
が可能となり、チップ上に形成された有機膜が受ける紫
外線の影響を排除することができる。
【００４３】この発明の請求項３記載の固体撮像装置の
製造装置によれば、ライトガイド中の光ファイバがシー
ル部に対応するように配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能となり、チップ上に形
成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが
可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。
また、ガラスの周縁部を押える傾斜した押え面がライト
ガイドの端面に形成されているので、ガラスの押さえと
接着剤の硬化を１工程で行うことができる。
製造装置によれば、ライトガイド中の光ファイバがシー
ル部に対応するように配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能となり、チップ上に形
成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが
可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。
また、ガラスの周縁部を押える傾斜した押え面がライト
ガイドの端面に形成されているので、ガラスの押さえと
接着剤の硬化を１工程で行うことができる。
【００４４】この発明の請求項４記載の固体撮像装置の
製造装置によれば、ライトガイド中の光ファイバがシー
ル部に対応するように配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能となり、チップ上に形
成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが
可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。
また、光ファイバは、口の字形に配列され、かつ口形の
各コーナ外側にスポット形に配列されているので、紫外
線をシール部のみに照射することが可能になるととも
に、接着剤の硬化を一工程で行うことができる。また、
スポット形に配列された光ファイバによりシール部のコ
ーナ部における接着剤の硬化をより確実にできる。
製造装置によれば、ライトガイド中の光ファイバがシー
ル部に対応するように配列されているので、紫外線をシ
ール部のみに照射することが可能となり、チップ上に形
成された有機膜が受ける紫外線の影響を排除することが
可能となり、所望の色フィルタの分光特性が得られる。
また、光ファイバは、口の字形に配列され、かつ口形の
各コーナ外側にスポット形に配列されているので、紫外
線をシール部のみに照射することが可能になるととも
に、接着剤の硬化を一工程で行うことができる。また、
スポット形に配列された光ファイバによりシール部のコ
ーナ部における接着剤の硬化をより確実にできる。
【図１】この発明の第１の実施の形態の固体撮像装置の
製造方法で接着剤を塗布する状態を示す斜視図である。
製造方法で接着剤を塗布する状態を示す斜視図である。
【図２】パッケージの内圧が上昇して接着剤が内側から
外側へ押し広げられる現象の斜視図である。
外側へ押し広げられる現象の斜視図である。
【図３】この発明の第１の実施の形態の固体撮像装置の
製造方法で接着剤を硬化する状態を示す斜視図である。
製造方法で接着剤を硬化する状態を示す斜視図である。
【図４】この発明の第１の実施の形態において硬化第一
工程のライトガイド端面の光ファイバ配置を示す平面図
である。
工程のライトガイド端面の光ファイバ配置を示す平面図
である。
【図５】この発明の第１の実施の形態において硬化第二
工程のライトガイド端面の光ファイバ配置を示す平面図
である。
工程のライトガイド端面の光ファイバ配置を示す平面図
である。
【図６】参考例におけるライトガイド端面の光ファイバ
配置を示す平面図である。
配置を示す平面図である。
【図７】別の参考例におけるライトガイド端面の光ファ
イバ配置を示す平面図である。
イバ配置を示す平面図である。
【図８】この発明の第２の実施の形態の固体撮像装置の
製造方法におけるガラス押さえを兼用したライトガイド
の使用状況を示す説明図である。
製造方法におけるガラス押さえを兼用したライトガイド
の使用状況を示す説明図である。
【図９】この発明の第２の実施の形態の固体撮像装置の
製造方法におけるライトガイド端面の平面図である。
製造方法におけるライトガイド端面の平面図である。
【図１０】この発明の第３の実施の形態の固体撮像装置
の製造方法におけるライトガイドの端面の光ファイバ配
置を示す平面図である。
の製造方法におけるライトガイドの端面の光ファイバ配
置を示す平面図である。
【図１１】従来の製造方法における接着剤を塗布した固
体撮像装置の斜視図である。
体撮像装置の斜視図である。
【図１２】従来の製造方法におけるガラスを接着する工
法の説明図である。
法の説明図である。
【図１３】従来の製造方法における接着剤を硬化する状
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図１４】従来の製造方法におけるライトガイド端面の
平面図である。
平面図である。
１ パッケージ
２ チップ
３ 有機膜（カラーフィルタ）
４ 金属ワイヤ
５ リードフレーム
６ シール部
７ 接着剤
８ ディスペンサ
９ ガラス
１０ シリンダ
１１ 塗布の起点
１２ 塗布の終点
１３ 塗布の隙間
１４ ランプ光源
１５ ライトガイド
１６ 光ファイバ
１９ コーナ
２０ ライトガイド
２１ 固体撮像装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 菅野 純一
大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工
業株式会社内
(72)発明者 大前 昌軌
大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工
業株式会社内
(56)参考文献 特開 平４−76942（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−288485（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−249751（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−201967（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 27/14
H01L 23/02
Claims (4)
- 【請求項１】 カラーフィルタを表面に有するチップが
収納されたパッケージの周縁に位置するシール部の４辺
に紫外線硬化型の接着剤を塗布し、前記パッケージにガ
ラスを載せて前記シール部に接着し、前記シール部の対
向する２辺の上に紫外線照射用の光ファイバを配列させ
て前記シール部の２辺を硬化し、前記光ファイバを９０
°反転配置して前記シール部の他の２辺を硬化すること
で、前記シール部の４辺全面を硬化することを特徴とす
る固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項２】 カラーフィルタを表面に有するチップが
収納されたパッケージの周縁に位置するシール部に紫外
線硬化型の接着剤を塗布し、前記パッケージにガラスを
載せて前記シール部に接着し、前記シール部の上に、口
の字形に紫外線照射用の光ファイバを配列し、かつ口形
の各コーナ外側にスポット形に紫外線照射用の光ファイ
バを配列することで、シール部全面を硬化することを特
徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項３】 カラーフィルタを表面に有するチップが
収納されたパッケージの周縁に位置するシール部にディ
スペンサで紫外線硬化型の接着剤を塗布し、前記パッケ
ージにガラスを載せて前記シール部に接着し、紫外線照
射用のライトガイドを前記パッケージの上に配置して前
記接着剤を硬化させるようにした固体撮像装置の製造装
置であって、前記ライトガイドの中の光ファイバが前記
シール部に対応するように配列されており、前記ライト
ガイドは、前記ガラスの周縁部を押える傾斜した押え面
が端面に形成されていることを特徴とする固体撮像装置
の製造装置。 - 【請求項４】 カラーフィルタを表面に有するチップが
収納されたパッケージの周縁に位置するシール部にディ
スペンサで紫外線硬化型の接着剤を塗布し、前記パッケ
ージにガラスを載せて前記シール部に接着し、紫外線照
射用のライトガイドを前記パッケージの上に配置して前
記接着剤を硬化させるようにした固体撮像装置の製造装
置であって、前記ライトガイドの中の光ファイバが前記
シール部に対応するように配列されており、前記光ファ
イバは、口の字形に配列され、かつ口形の各コーナ外側
にスポット形に配列されていることを特徴とする固体撮
像装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02743197A JP3419643B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-02-12 | 固体撮像装置の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29364696 | 1996-11-06 | ||
| JP8-293646 | 1996-11-06 | ||
| JP02743197A JP3419643B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-02-12 | 固体撮像装置の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189931A JPH10189931A (ja) | 1998-07-21 |
| JP3419643B2 true JP3419643B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=26365339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02743197A Expired - Fee Related JP3419643B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-02-12 | 固体撮像装置の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3419643B2 (ja) |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP02743197A patent/JP3419643B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10189931A (ja) | 1998-07-21 |
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