JP3371150B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP3371150B2 JP3371150B2 JP604193A JP604193A JP3371150B2 JP 3371150 B2 JP3371150 B2 JP 3371150B2 JP 604193 A JP604193 A JP 604193A JP 604193 A JP604193 A JP 604193A JP 3371150 B2 JP3371150 B2 JP 3371150B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームなどの
塵芥があってはならない所で使用される搬送装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術と発明が解決しようとする課題】クリーン
ルームと称される塵芥があってはならない部屋での作業
は、使用される機械装置などから発生する塵芥でも皆無
に近付ける努力が必要である。例えば、半導体のウエハ
など極めて高度なクリーン状態が求められる場合は、使
用される機械自体まったく発塵しないものでなければな
らない。 【０００３】このため、図３および図４に示されるよう
な搬送装置では、リンクを操作するギヤーが発塵するこ
とになり、保護しなければならなかった。しかしなが
ら、ギヤーの保護は、構造的にも信頼性に欠け、半導体
ウエハなどの高度の無塵が要求される場合には不適当で
あった。 【０００４】この様な搬送装置は、図３および図４に示
されるように平行する一対の第１リンク１、２にギヤー
３、４を介して第２リンク５、６が備えられている。そ
して、第２リンク５、６には、搬送のためにフインガー
７が備えられており、半導体ウエハなどを把持するよう
に構成されているものである。しかしながら、ギヤー
３、４が備えられているため、この噛み合いからしばし
ば発塵することがあり、半導体ウエハに不良を発生する
ことがあった。 【０００５】本発明は、この様な事情に鑑みてなされた
ものであり、高度な無塵が要求される半導体ウエハなど
の組み立て用の搬送装置について、極めて高度な無塵を
完成することができる搬送装置を提供することを目的と
している。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、平行する一対
の第１リンクの先端にそれぞれ噛み合うギヤーを備え、
このギヤーに連結して回動する一対の第２リンクを備え
る搬送装置において、外周にＮＳが順次配列されるよう
に周方向の着磁を施した円筒部材を用いてギヤーとし、
円筒部材を軸方向に多段に構成すると共にそれぞれの円
筒部材を周方向に着磁された極の幅を円筒部材の段数で
除した分だけずらすことを特徴とする搬送装置である。 【０００７】 【作 用】円筒部材が周方向に着磁されているため、一
方のギヤーが回転すると他方のギヤーが追従して回転す
ることになり、また、両者が相互に吸引して密着するこ
とになり、確実な噛み合いを得ることができる。そし
て、それぞれのギヤーは、面接触であり、振動や発塵が
なく無塵となる。 【０００８】 【実施例】本発明を図面に示された一実施例に基づいて
説明すると、図１は、本発明による搬送装置の一実施例
の要部を示した縦断面図である。図２は、本発明の他の
実施例による搬送装置の斜視図である。 【０００９】図１において、搬送装置は、平行して備え
られる一対の第１リンク８、９の先端部分にそれぞれ円
筒部材１０、１１が備えられており、この円筒部材１
０、１１を介して一対の第２リンク１２、１３が備えら
れている。そして、円筒部材１０、１１は、周方向に着
磁されて薄い円筒部材である磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、
ｄを構成している。そして、磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、
ｄは、軸方向に４段積層されており、それぞれ着磁され
て構成される１つの極の幅に対して４で除された値だけ
周方向に順次移動して固定されている。さらに、磁気デ
イスクａ、ｂ、ｃ、ｄの着磁は、ＮＳが順次配列される
ように周方向に着磁されており、各磁気デイスクａ、
ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ同じもので構成されている。 【００１０】第１リンク８は、円筒部材１０に対して固
定されており、第１リンク９は、円筒部材１１に対して
軸受１４を介して取り付けられており、回転するように
構成されている。そして、第２リンク１２は、円筒部材
１０に対して回転数軸受け１５を介して回転するように
構成されており、第２リンク１３は、円筒部材１１に対
して固定されている。 【００１１】この様な第１リンク１０、１１および第２
リンク１３、１４、さらに円筒部材１０、１１は、図３
に示されるような従来と同じような構成になっており、
第１リンク８、９は、図３における第１リンク１、２と
同じ構造に構成されており、第２リンク１２、１３は、
図３における第２リンク５、６と同じ構成に構成されて
いる。さらに、円筒部材１０、１１は、図３におけるギ
ヤー３、４と同じく第１リンク１、２および第２リンク
５、６に作用するように構成されている。 【００１２】図２において、搬送装置は、第１リンク１
６、１７に円筒部材１８、１９を介して第２リンク２
０、２１が備えられており、第２リンク１８、１９の端
部には、フインガー２２が取り付けられている。そし
て、第１リンク１６、１７、第２リンク２０、２１およ
びフインガー２２全体を上下方向に移動するように垂直
駆動部２３および第１リンク１６を駆動するように回転
駆動部２４が備えられている。 【００１３】この様な構成おいて、図２において、回転
駆動部２４が動作すると一方の第１リンク１６が回動し
て一対の対１リンク１６、１７の円筒部材１８、１９側
が移動することになる。この時、円筒部材１８、１９
は、外周に着磁されて吸着状態にあるため、外周が一体
となり、回転方向に追従することになる。このため、第
２リンク２０、２１が揺動し、フインガー２２を移動さ
せることができる。この時、フインガー２２に半導体ウ
エハなどを把持させれば移送することができる。 【００１４】この様に動作する円筒部材１８、１９は、
図１に示される通り、磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄを複
数段積層して構成することにより、２個の円筒部材１
０、１１が回転方向に転動した場合、着磁された極の狭
間で吸引力が弱まる現象を少なくすることができる。す
なわち、複数段の磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄの内いず
れかが最も吸引力が強い位置関係になるため、着磁され
た極の狭間によって吸引力が弱まることがなくなる。 【００１５】この様な磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄを複
数段積層することは、搬送装置における円筒部材１０、
１１に必要な結合力によって決定されればよく、大きな
結合力を要する場合は、積層段数を多くする。 【００１６】磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄによる円筒部
材１０、１１は、外周に周方向に着磁されていれば吸着
状態で転動できるるため、発塵の心配は少ないが、さら
に、外周の転動する部分に耐磨耗性の良い、あるい発塵
の少ない材料などを装着するとより発塵を少なくするこ
とができ、また、適度に柔軟な部材を装着すると振動を
少なくすることができ、さらに、摩擦の大きい部材など
を装着すると滑るといったトラブルをも解消できる。 【００１７】この様に円筒部材１０、１１を転動させた
ことによって第１リンク８、９と第２リンク１２、１３
とが連結され、極めて円滑に、しかも無塵でフインガー
を移動させることができる。 【００１８】 【発明の効果】本発明によれば、着磁された円筒部材に
よって第１リンクと第２リンクとを連結しているため、
発塵の心配がなく、しかも円滑な動作が得られ、半導体
ウエハなどの高度な無塵状態を必要とする所での使用に
極めて効果が大きい。
塵芥があってはならない所で使用される搬送装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術と発明が解決しようとする課題】クリーン
ルームと称される塵芥があってはならない部屋での作業
は、使用される機械装置などから発生する塵芥でも皆無
に近付ける努力が必要である。例えば、半導体のウエハ
など極めて高度なクリーン状態が求められる場合は、使
用される機械自体まったく発塵しないものでなければな
らない。 【０００３】このため、図３および図４に示されるよう
な搬送装置では、リンクを操作するギヤーが発塵するこ
とになり、保護しなければならなかった。しかしなが
ら、ギヤーの保護は、構造的にも信頼性に欠け、半導体
ウエハなどの高度の無塵が要求される場合には不適当で
あった。 【０００４】この様な搬送装置は、図３および図４に示
されるように平行する一対の第１リンク１、２にギヤー
３、４を介して第２リンク５、６が備えられている。そ
して、第２リンク５、６には、搬送のためにフインガー
７が備えられており、半導体ウエハなどを把持するよう
に構成されているものである。しかしながら、ギヤー
３、４が備えられているため、この噛み合いからしばし
ば発塵することがあり、半導体ウエハに不良を発生する
ことがあった。 【０００５】本発明は、この様な事情に鑑みてなされた
ものであり、高度な無塵が要求される半導体ウエハなど
の組み立て用の搬送装置について、極めて高度な無塵を
完成することができる搬送装置を提供することを目的と
している。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、平行する一対
の第１リンクの先端にそれぞれ噛み合うギヤーを備え、
このギヤーに連結して回動する一対の第２リンクを備え
る搬送装置において、外周にＮＳが順次配列されるよう
に周方向の着磁を施した円筒部材を用いてギヤーとし、
円筒部材を軸方向に多段に構成すると共にそれぞれの円
筒部材を周方向に着磁された極の幅を円筒部材の段数で
除した分だけずらすことを特徴とする搬送装置である。 【０００７】 【作 用】円筒部材が周方向に着磁されているため、一
方のギヤーが回転すると他方のギヤーが追従して回転す
ることになり、また、両者が相互に吸引して密着するこ
とになり、確実な噛み合いを得ることができる。そし
て、それぞれのギヤーは、面接触であり、振動や発塵が
なく無塵となる。 【０００８】 【実施例】本発明を図面に示された一実施例に基づいて
説明すると、図１は、本発明による搬送装置の一実施例
の要部を示した縦断面図である。図２は、本発明の他の
実施例による搬送装置の斜視図である。 【０００９】図１において、搬送装置は、平行して備え
られる一対の第１リンク８、９の先端部分にそれぞれ円
筒部材１０、１１が備えられており、この円筒部材１
０、１１を介して一対の第２リンク１２、１３が備えら
れている。そして、円筒部材１０、１１は、周方向に着
磁されて薄い円筒部材である磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、
ｄを構成している。そして、磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、
ｄは、軸方向に４段積層されており、それぞれ着磁され
て構成される１つの極の幅に対して４で除された値だけ
周方向に順次移動して固定されている。さらに、磁気デ
イスクａ、ｂ、ｃ、ｄの着磁は、ＮＳが順次配列される
ように周方向に着磁されており、各磁気デイスクａ、
ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ同じもので構成されている。 【００１０】第１リンク８は、円筒部材１０に対して固
定されており、第１リンク９は、円筒部材１１に対して
軸受１４を介して取り付けられており、回転するように
構成されている。そして、第２リンク１２は、円筒部材
１０に対して回転数軸受け１５を介して回転するように
構成されており、第２リンク１３は、円筒部材１１に対
して固定されている。 【００１１】この様な第１リンク１０、１１および第２
リンク１３、１４、さらに円筒部材１０、１１は、図３
に示されるような従来と同じような構成になっており、
第１リンク８、９は、図３における第１リンク１、２と
同じ構造に構成されており、第２リンク１２、１３は、
図３における第２リンク５、６と同じ構成に構成されて
いる。さらに、円筒部材１０、１１は、図３におけるギ
ヤー３、４と同じく第１リンク１、２および第２リンク
５、６に作用するように構成されている。 【００１２】図２において、搬送装置は、第１リンク１
６、１７に円筒部材１８、１９を介して第２リンク２
０、２１が備えられており、第２リンク１８、１９の端
部には、フインガー２２が取り付けられている。そし
て、第１リンク１６、１７、第２リンク２０、２１およ
びフインガー２２全体を上下方向に移動するように垂直
駆動部２３および第１リンク１６を駆動するように回転
駆動部２４が備えられている。 【００１３】この様な構成おいて、図２において、回転
駆動部２４が動作すると一方の第１リンク１６が回動し
て一対の対１リンク１６、１７の円筒部材１８、１９側
が移動することになる。この時、円筒部材１８、１９
は、外周に着磁されて吸着状態にあるため、外周が一体
となり、回転方向に追従することになる。このため、第
２リンク２０、２１が揺動し、フインガー２２を移動さ
せることができる。この時、フインガー２２に半導体ウ
エハなどを把持させれば移送することができる。 【００１４】この様に動作する円筒部材１８、１９は、
図１に示される通り、磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄを複
数段積層して構成することにより、２個の円筒部材１
０、１１が回転方向に転動した場合、着磁された極の狭
間で吸引力が弱まる現象を少なくすることができる。す
なわち、複数段の磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄの内いず
れかが最も吸引力が強い位置関係になるため、着磁され
た極の狭間によって吸引力が弱まることがなくなる。 【００１５】この様な磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄを複
数段積層することは、搬送装置における円筒部材１０、
１１に必要な結合力によって決定されればよく、大きな
結合力を要する場合は、積層段数を多くする。 【００１６】磁気デイスクａ、ｂ、ｃ、ｄによる円筒部
材１０、１１は、外周に周方向に着磁されていれば吸着
状態で転動できるるため、発塵の心配は少ないが、さら
に、外周の転動する部分に耐磨耗性の良い、あるい発塵
の少ない材料などを装着するとより発塵を少なくするこ
とができ、また、適度に柔軟な部材を装着すると振動を
少なくすることができ、さらに、摩擦の大きい部材など
を装着すると滑るといったトラブルをも解消できる。 【００１７】この様に円筒部材１０、１１を転動させた
ことによって第１リンク８、９と第２リンク１２、１３
とが連結され、極めて円滑に、しかも無塵でフインガー
を移動させることができる。 【００１８】 【発明の効果】本発明によれば、着磁された円筒部材に
よって第１リンクと第２リンクとを連結しているため、
発塵の心配がなく、しかも円滑な動作が得られ、半導体
ウエハなどの高度な無塵状態を必要とする所での使用に
極めて効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】円筒部材の側面図である。
【図２】フインガーの斜視図である。
【図３】リンクの平面図である。
【図４】従来のギアの縦断面図である。
【符号の説明】
８、９……第１リンク
１０、１１……円筒部材
１２、１３……第２リンク
ａ、ｂ、ｃ、ｄ……磁気デイスク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−331090（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−107658（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−185273（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−160263（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B25J 19/00
B25J 9/06
F16H 49/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】平行する一対の第１リンクの先端にそれぞ
れ噛み合うギヤーを備え、このギヤーに連結して回動す
る一対の第２リンクを備える搬送装置において、 外周にＮＳが順次配列されるように周方向の着磁を施し
た円筒部材を用いてギヤーとし、 円筒部材を軸方向に多段に構成すると共にそれぞれの円
筒部材を周方向に着磁された極の幅を円筒部材の段数で
除した分だけずらす ことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP604193A JP3371150B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP604193A JP3371150B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06210588A JPH06210588A (ja) | 1994-08-02 |
| JP3371150B2 true JP3371150B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=11627553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP604193A Expired - Fee Related JP3371150B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371150B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2659688B2 (ja) * | 1994-09-16 | 1997-09-30 | シーケーディ株式会社 | 回転機構付把持装置 |
| CN102744723B (zh) * | 2012-07-09 | 2014-11-26 | 浙江大学 | 一种变自由度磁悬浮运动副装置 |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP604193A patent/JP3371150B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06210588A (ja) | 1994-08-02 |
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