JP3331778B2 - 露光機 - Google Patents
露光機Info
- Publication number
- JP3331778B2 JP3331778B2 JP23824794A JP23824794A JP3331778B2 JP 3331778 B2 JP3331778 B2 JP 3331778B2 JP 23824794 A JP23824794 A JP 23824794A JP 23824794 A JP23824794 A JP 23824794A JP 3331778 B2 JP3331778 B2 JP 3331778B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- film
- substrate
- frame
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムを張り合わせ
て、基板に露光する露光装置に関するものである。
て、基板に露光する露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、使用されている露光機は、ポ
ジ又はネガフィルム（以下、露光フィルムとする。）を
張り合わせる焼枠に、上枠にはマイラフィルムが張ら
れ、下枠にはガラス板がはめ合わされている。この焼枠
は、上枠と下枠が対になって一組の焼枠を形成し、露光
機には、この対になった２組の焼枠が上下２段に配置さ
れ、順次切り換えて使用することにより、効率良く生産
できるようになっている。
ジ又はネガフィルム（以下、露光フィルムとする。）を
張り合わせる焼枠に、上枠にはマイラフィルムが張ら
れ、下枠にはガラス板がはめ合わされている。この焼枠
は、上枠と下枠が対になって一組の焼枠を形成し、露光
機には、この対になった２組の焼枠が上下２段に配置さ
れ、順次切り換えて使用することにより、効率良く生産
できるようになっている。
【０００３】この露光機を使用して基板を露光するに
は、まず、上記上下の焼枠に露光フィルムを張り合わせ
る。この露光フィルムを張り合わせた焼枠の間に基板を
配置した後、この上下の焼枠を重ね合わせて、露光フィ
ルムを基板に密着させる。この時、焼枠の間を真空で吸
気することにより、上枠のマイラフィルムが基板に密着
する。しかしながら、真空で焼枠の間を吸気しても、露
光フィルムが基板に確実に密着していなかった。そこ
で、樹脂ロールにより、マイラフィルムの上を押圧して
密着度を向上させていたが、例えば、人的に行ったとす
ると、個人差によりバラツキが非常に大きかった。ま
た、樹脂ロールにより押圧しても、基板の大きさが大き
くなり、フィルムを均一に押圧することが難しかった。
また、上下段の露光サイクルが短いため、自動化を実現
するのも難しかった。
は、まず、上記上下の焼枠に露光フィルムを張り合わせ
る。この露光フィルムを張り合わせた焼枠の間に基板を
配置した後、この上下の焼枠を重ね合わせて、露光フィ
ルムを基板に密着させる。この時、焼枠の間を真空で吸
気することにより、上枠のマイラフィルムが基板に密着
する。しかしながら、真空で焼枠の間を吸気しても、露
光フィルムが基板に確実に密着していなかった。そこ
で、樹脂ロールにより、マイラフィルムの上を押圧して
密着度を向上させていたが、例えば、人的に行ったとす
ると、個人差によりバラツキが非常に大きかった。ま
た、樹脂ロールにより押圧しても、基板の大きさが大き
くなり、フィルムを均一に押圧することが難しかった。
また、上下段の露光サイクルが短いため、自動化を実現
するのも難しかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の事実に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、焼枠
に配置された基板に露光フィルムを密着させて、効率よ
く露光することができる露光機を提供することにある。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、焼枠
に配置された基板に露光フィルムを密着させて、効率よ
く露光することができる露光機を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る露光機は、
露光フィルムを貼着し、基板を配設する上下の焼枠１、
２と、この焼枠１、２のフィルム面を押圧するロール３
を備えた露光機において、該ロール３がシリンダ７とラ
ック・ピニオン機構４のモータ５により上下に移動し、
さらに、スライドシリンダ６により上下の焼枠に応じた
押圧力を加えながら、フィルム面を前後に移動すること
を特徴とする。
露光フィルムを貼着し、基板を配設する上下の焼枠１、
２と、この焼枠１、２のフィルム面を押圧するロール３
を備えた露光機において、該ロール３がシリンダ７とラ
ック・ピニオン機構４のモータ５により上下に移動し、
さらに、スライドシリンダ６により上下の焼枠に応じた
押圧力を加えながら、フィルム面を前後に移動すること
を特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明に係る露光機によると、露光フィルムを
貼着し、基板を配設する上下の焼枠と、この焼枠のフィ
ルム面を押圧するロールを備えた露光機において、該ロ
ールがシリンダとラック、ピニオン機構のモータにより
上下に移動し、さらに、スライドシリンダによりフィル
ム面に押圧力を加えながら、前後に移動するので、露光
フィルムに均一な圧力を加えることができる。さらに、
上下段の焼枠に同等の押圧力を加えることができる。
貼着し、基板を配設する上下の焼枠と、この焼枠のフィ
ルム面を押圧するロールを備えた露光機において、該ロ
ールがシリンダとラック、ピニオン機構のモータにより
上下に移動し、さらに、スライドシリンダによりフィル
ム面に押圧力を加えながら、前後に移動するので、露光
フィルムに均一な圧力を加えることができる。さらに、
上下段の焼枠に同等の押圧力を加えることができる。
【０００７】以下、本発明を添付した図面に沿って一実
施例について詳細に説明する。
施例について詳細に説明する。
【０００８】
実施例１ 図１は本発明一実施例である露光機の正面図で、図２
は、図１に示す露光機の側面図である。
は、図１に示す露光機の側面図である。
【０００９】本実施例の露光機は、図１、図２に示す如
く、露光機本体８と、上段の焼枠１と、下段の焼枠２
と、ロール３と、このロール３を支持して上下するシリ
ンダ７と、このロール３を備えたシリンダ７をスライド
させるスライドシリンダ６と、このスライドシリンダ６
が付設する支持フレーム９と、この支持フレーム９を上
下するラック・ピニオン機構４と、ラック・ピニオン機
構４で支持フレーム９を上下するモータ５とからとから
構成されている。
く、露光機本体８と、上段の焼枠１と、下段の焼枠２
と、ロール３と、このロール３を支持して上下するシリ
ンダ７と、このロール３を備えたシリンダ７をスライド
させるスライドシリンダ６と、このスライドシリンダ６
が付設する支持フレーム９と、この支持フレーム９を上
下するラック・ピニオン機構４と、ラック・ピニオン機
構４で支持フレーム９を上下するモータ５とからとから
構成されている。
【００１０】上記ロール３は、樹脂やゴム、ウレタン等
をライニングしたロールで、硬度が４０〜６０のものが
好ましい。
をライニングしたロールで、硬度が４０〜６０のものが
好ましい。
【００１１】次に、上記構成を有する露光機の一連の動
作について説明する。まず、従来のように、上下段のそ
れぞれの焼枠１、２に露光フィルムを張り合わせて、露
光機本体８の準備を行う。
作について説明する。まず、従来のように、上下段のそ
れぞれの焼枠１、２に露光フィルムを張り合わせて、露
光機本体８の準備を行う。
【００１２】上段の焼枠１から基板を露光する作業を説
明する。始めは、上段の焼枠１の焼枠が露光機本体８よ
り全面にスライドしている。
明する。始めは、上段の焼枠１の焼枠が露光機本体８よ
り全面にスライドしている。
【００１３】この上段の焼枠１の上枠を開き、基板を下
枠に配置し、上枠を閉じる。焼枠を閉じると、ラック・
ピニオン機構４により、露光機本体８の上部に位置して
いた支持フレーム９が下降し、この支持フレーム９に付
設したロール３が上枠の露光フィルムを押圧する位置で
停止する。支持フレーム９が停止した後、シリンダ７が
下降し露光フィルムに押圧力を加え、スライドシリンダ
６により、ロール３が前後に移動して、露光フィルムの
全体を押圧して、基板に密着させる。このロール３の押
圧力は１０〜２０ｋｇで、前後に移動する回数は３〜８
回で、それぞれ、基板の大きさや、厚さによりその値が
異なる。
枠に配置し、上枠を閉じる。焼枠を閉じると、ラック・
ピニオン機構４により、露光機本体８の上部に位置して
いた支持フレーム９が下降し、この支持フレーム９に付
設したロール３が上枠の露光フィルムを押圧する位置で
停止する。支持フレーム９が停止した後、シリンダ７が
下降し露光フィルムに押圧力を加え、スライドシリンダ
６により、ロール３が前後に移動して、露光フィルムの
全体を押圧して、基板に密着させる。このロール３の押
圧力は１０〜２０ｋｇで、前後に移動する回数は３〜８
回で、それぞれ、基板の大きさや、厚さによりその値が
異なる。
【００１４】そして、モータ５により支持フレーム９が
上昇すると、上段の焼枠１が露光機本体８の中にスライ
ドし、入れ代わりに、下段の焼枠２が露光機本体８よ
り、スライドしてくる。
上昇すると、上段の焼枠１が露光機本体８の中にスライ
ドし、入れ代わりに、下段の焼枠２が露光機本体８よ
り、スライドしてくる。
【００１５】ここで、下段の焼枠２に先に露光した基板
が在ると、まず、上枠を開けて露光された基板を取り出
し、そして、未露光の基板を下枠に配置する。そして、
上枠を閉じて焼枠を閉じると、ラック・ピニオン機構４
により、露光機本体８の上部に位置していた支持フレー
ム９が下降し、この支持フレーム９に付設したロール３
が上枠の露光フィルムを押圧する位置で停止する。そし
て、上段の焼枠１と同様に、支持フレーム９が停止した
後、シリンダ７が下降し露光フィルムに押圧力を加え、
スライドシリンダ６により、ロールが前後に移動して、
露光フィルムの全体を押圧して、基板に密着させる。
が在ると、まず、上枠を開けて露光された基板を取り出
し、そして、未露光の基板を下枠に配置する。そして、
上枠を閉じて焼枠を閉じると、ラック・ピニオン機構４
により、露光機本体８の上部に位置していた支持フレー
ム９が下降し、この支持フレーム９に付設したロール３
が上枠の露光フィルムを押圧する位置で停止する。そし
て、上段の焼枠１と同様に、支持フレーム９が停止した
後、シリンダ７が下降し露光フィルムに押圧力を加え、
スライドシリンダ６により、ロールが前後に移動して、
露光フィルムの全体を押圧して、基板に密着させる。
【００１６】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明の露光機に
より、焼枠に配置された基板に露光フィルムを確実に密
着することができ、さらに、効率よく露光することがで
きる。
より、焼枠に配置された基板に露光フィルムを確実に密
着することができ、さらに、効率よく露光することがで
きる。
【図１】本発明の一実施例を示す露光機の正面図であ
る。
る。
【図２】図１の露光機の側面図である。
１ 上段の焼枠 ２ 下段の焼枠 ３ ロール ４ ラック・ピニオン機構 ５ モータ ６ スライドシリンダ ７ シリンダ ８ 露光機本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−163530（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−83540（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−172050（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−152542（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−59263（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02 H01L 21/027
Claims (1)
- 【請求項１】 露光フィルムを貼着し、基板を配設する
上下の焼枠（１）（２）と、この焼枠（１）（２）のフ
ィルム面を押圧するロール（３）を備えた露光機におい
て、該ロール（３）がシリンダ（７）とラック・ピニオ
ン機構（４）のモータ（５）により上下に移動し、さら
に、スライドシリンダ（６）によりフィルム面に押圧力
を加えながら、前後に移動することを特徴とする露光
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23824794A JP3331778B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 露光機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23824794A JP3331778B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 露光機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101510A JPH08101510A (ja) | 1996-04-16 |
| JP3331778B2 true JP3331778B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=17027341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23824794A Expired - Fee Related JP3331778B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 露光機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3331778B2 (ja) |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23824794A patent/JP3331778B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08101510A (ja) | 1996-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020625 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |