JP3296308B2 - プリント配線板の抵抗測定装置およびそれを用いた抵抗測定方法 - Google Patents
プリント配線板の抵抗測定装置およびそれを用いた抵抗測定方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器などに
用いられるプリント配線板の抵抗測定装置およびそれを
用いた抵抗測定方法に関するものである。
用いられるプリント配線板の抵抗測定装置およびそれを
用いた抵抗測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種電子機器などに用いられるプ
リント配線板（以後単に基板と呼ぶ）は、電子機器の小
型化や多機能化に伴い、基板の多層化や電子部品が実装
されるパターンランドの狭ピッチ細線化などファイン化
が進み、基板の電気検査が追随できなくなってきてい
る。さらには多層基板の各層パターンの接続はスルホー
ルからビアホールへと変化し、ビアホールの品質を保証
するためにはビアホールの抵抗値測定が重要な課題とな
っている。
リント配線板（以後単に基板と呼ぶ）は、電子機器の小
型化や多機能化に伴い、基板の多層化や電子部品が実装
されるパターンランドの狭ピッチ細線化などファイン化
が進み、基板の電気検査が追随できなくなってきてい
る。さらには多層基板の各層パターンの接続はスルホー
ルからビアホールへと変化し、ビアホールの品質を保証
するためにはビアホールの抵抗値測定が重要な課題とな
っている。
【０００３】以下に従来の基板の電気検査方法について
図面を用いて説明する。図１０は従来の基板の電気検査
概略構成図であるが、図１０に示すように、ピンボード
３３，３４にスプリング３７，３８付きのプローブピン
３５，３６を取り付け、ピンボード３３，３４を被測定
基板１０の上下からパターン面に押し当て、抵抗測定器
３９により断線、及び抵抗を測定していた。
図面を用いて説明する。図１０は従来の基板の電気検査
概略構成図であるが、図１０に示すように、ピンボード
３３，３４にスプリング３７，３８付きのプローブピン
３５，３６を取り付け、ピンボード３３，３４を被測定
基板１０の上下からパターン面に押し当て、抵抗測定器
３９により断線、及び抵抗を測定していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】基板の電気検査におい
ては、配線が接続されているか、と共に、ビアホールの
精度の良い抵抗値測定、パターンランドに傷をつけない
ことが要求されているが、従来の基板試験装置ではパタ
ーンランドとプローブピン間の接触抵抗により、精度の
高い抵抗測定ができず、パターンランドにもプローブピ
ンの押し痕が残っていた。
ては、配線が接続されているか、と共に、ビアホールの
精度の良い抵抗値測定、パターンランドに傷をつけない
ことが要求されているが、従来の基板試験装置ではパタ
ーンランドとプローブピン間の接触抵抗により、精度の
高い抵抗測定ができず、パターンランドにもプローブピ
ンの押し痕が残っていた。
【０００５】またパターンランドがファイン化されピン
プローブも極細化されているものの１００μｍ以下のピ
ンプローブは実用化されておらずパターンのファイン化
に追随できていない。
プローブも極細化されているものの１００μｍ以下のピ
ンプローブは実用化されておらずパターンのファイン化
に追随できていない。
【０００６】本発明はこのような基板の電気検査におい
て、パターンランドに傷を付けずに基板の抵抗値を接触
抵抗の影響なく高精度で測定することを目的とする。
て、パターンランドに傷を付けずに基板の抵抗値を接触
抵抗の影響なく高精度で測定することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、インピーダンス・位相測定器（以下単に測
定器と呼ぶ）の測定用端子の両側に測定用プローブを設
け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測定用セン
サ電極とＬＣタンク回路が直列に接続されており、他方
の測定用プローブには測定用センサ電極が設けられたプ
リント配線板の抵抗測定装置を用いることであり、ある
いは測定器の両側に測定用プローブを設け、前記測定用
プローブのどちらか一方は、測定用センサ電極とインダ
クタンス素子が直列に接続されており、他方の測定用プ
ローブには測定用センサ電極が設けられ、前記測定用セ
ンサ電極の先端に高誘電率の絶縁体が取り付けられたプ
リント配線板の抵抗測定装置を用いることであり、ある
いは前記測定用センサ電極は導通孔を有する回路基板で
形成されたプリント配線板の抵抗測定装置を用いること
である。
に本発明は、インピーダンス・位相測定器（以下単に測
定器と呼ぶ）の測定用端子の両側に測定用プローブを設
け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測定用セン
サ電極とＬＣタンク回路が直列に接続されており、他方
の測定用プローブには測定用センサ電極が設けられたプ
リント配線板の抵抗測定装置を用いることであり、ある
いは測定器の両側に測定用プローブを設け、前記測定用
プローブのどちらか一方は、測定用センサ電極とインダ
クタンス素子が直列に接続されており、他方の測定用プ
ローブには測定用センサ電極が設けられ、前記測定用セ
ンサ電極の先端に高誘電率の絶縁体が取り付けられたプ
リント配線板の抵抗測定装置を用いることであり、ある
いは前記測定用センサ電極は導通孔を有する回路基板で
形成されたプリント配線板の抵抗測定装置を用いること
である。
【０００８】これにより、パターンランドに傷を付ける
ことなく被測定基板のパターンランド間の抵抗値を接触
抵抗の影響なく高精度で測定することが出来る。
ことなく被測定基板のパターンランド間の抵抗値を接触
抵抗の影響なく高精度で測定することが出来る。
【０００９】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、インピ
ーダンス・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プロ
ーブを設け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測
定用センサ電極とＬＣタンク回路が直列に接続されてお
り、他方の測定用プローブには測定用センサ電極が設け
られたことを特徴とするプリント配線板の抵抗測定装置
としたものであり、インダクタンスの値を小さくしても
ＬＣタンク回路の共振周波数近傍で誘導性インピーダン
スが非常に大きくなることを利用して、測定周波数を低
くして測定精度を向上させるという作用を有する。
ーダンス・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プロ
ーブを設け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測
定用センサ電極とＬＣタンク回路が直列に接続されてお
り、他方の測定用プローブには測定用センサ電極が設け
られたことを特徴とするプリント配線板の抵抗測定装置
としたものであり、インダクタンスの値を小さくしても
ＬＣタンク回路の共振周波数近傍で誘導性インピーダン
スが非常に大きくなることを利用して、測定周波数を低
くして測定精度を向上させるという作用を有する。
【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、インピ
ーダンス・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プロ
ーブを設け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測
定用センサ電極とインダクタンス素子が直列に接続され
ており、他方の測定用プローブには測定用センサ電極が
設けられ、前記測定用センサ電極の先端に高誘電率の絶
縁体が取り付けられたことを特徴とするプリント配線板
の抵抗測定装置としたものであり、センサ電極とパター
ンランド間の容量を大きくして共振周波数を低くし測定
周波数を低くして測定精度を向上させることができ、パ
ターンランドに接触傷を付けることなく基板の抵抗を測
定することができるという作用を有する。
ーダンス・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プロ
ーブを設け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測
定用センサ電極とインダクタンス素子が直列に接続され
ており、他方の測定用プローブには測定用センサ電極が
設けられ、前記測定用センサ電極の先端に高誘電率の絶
縁体が取り付けられたことを特徴とするプリント配線板
の抵抗測定装置としたものであり、センサ電極とパター
ンランド間の容量を大きくして共振周波数を低くし測定
周波数を低くして測定精度を向上させることができ、パ
ターンランドに接触傷を付けることなく基板の抵抗を測
定することができるという作用を有する。
【００１１】また、絶縁体の面をパターンランドに当て
る事により、センサ電極とパターンランドの距離が安定
し、その間の容量を安定させる作用も有するものであ
る。
る事により、センサ電極とパターンランドの距離が安定
し、その間の容量を安定させる作用も有するものであ
る。
【００１２】請求項３に記載の発明は、絶縁体の面積は
センサ電極の面積と同等以上である請求項２に記載のプ
リント配線板の抵抗測定装置としたものであり、センサ
電極とパターンランド間の容量を最大にして共振周波数
を低くし測定周波数を低くして測定精度を向上させると
いう作用を有するものである。
センサ電極の面積と同等以上である請求項２に記載のプ
リント配線板の抵抗測定装置としたものであり、センサ
電極とパターンランド間の容量を最大にして共振周波数
を低くし測定周波数を低くして測定精度を向上させると
いう作用を有するものである。
【００１３】請求項４に記載の発明は、被測定基板の複
数の測定用パターンランドの各々に対応するセンサ電極
パターンを有する請求項３に記載のプリント配線板の抵
抗測定装置としたものであり、センサ電極の面積は被測
定基板のパターンランド面積と同程度あればよく、複数
の測定用パターンランドを有する被測定基板のファイン
化に追随できるセンサ電極を容易に製作することができ
るものである。
数の測定用パターンランドの各々に対応するセンサ電極
パターンを有する請求項３に記載のプリント配線板の抵
抗測定装置としたものであり、センサ電極の面積は被測
定基板のパターンランド面積と同程度あればよく、複数
の測定用パターンランドを有する被測定基板のファイン
化に追随できるセンサ電極を容易に製作することができ
るものである。
【００１４】請求項５に記載の発明は、センサ電極パタ
ーンが導通孔を介してインダクタンス素子に接続されて
いる請求項４に記載のプリント配線板の抵抗測定装置と
したものであり、センサ電極パターンが形成された面の
反対面に導通孔を介してセンサ電極パターンに接続する
パターンを形成し、そのパターンがインダクタンス素子
に接続されていることにより、センサ電極パターンを高
密度に形成することができるという作用を有する。
ーンが導通孔を介してインダクタンス素子に接続されて
いる請求項４に記載のプリント配線板の抵抗測定装置と
したものであり、センサ電極パターンが形成された面の
反対面に導通孔を介してセンサ電極パターンに接続する
パターンを形成し、そのパターンがインダクタンス素子
に接続されていることにより、センサ電極パターンを高
密度に形成することができるという作用を有する。
【００１５】請求項６に記載の発明は、インピーダンス
・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プローブを設
け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測定用セン
サ電極とインダクタンス素子が直列に接続されており、
他方の測定用プローブには測定用センサ電極が設けら
れ、前記測定用センサ電極は導通孔を有する回路基板で
形成されたものであることを特徴とするプリント配線板
の抵抗測定装置としたものであり、パターンランドに接
触傷を付けることなく基板の抵抗を測定することがで
き、ファイン化に追随できるセンサ電極を容易に製作す
ることができるものである。
・位相測定器の測定用端子の両側に測定用プローブを設
け、前記測定用プローブのどちらか一方は、測定用セン
サ電極とインダクタンス素子が直列に接続されており、
他方の測定用プローブには測定用センサ電極が設けら
れ、前記測定用センサ電極は導通孔を有する回路基板で
形成されたものであることを特徴とするプリント配線板
の抵抗測定装置としたものであり、パターンランドに接
触傷を付けることなく基板の抵抗を測定することがで
き、ファイン化に追随できるセンサ電極を容易に製作す
ることができるものである。
【００１６】請求項７に記載の発明は、回路基板が多層
基板である請求項６に記載のプリント配線板の抵抗測定
装置としたものであり、センサ電極を多層回路板で形成
することにより、高密度の被測定基板に容易に対応でき
るという作用を有する。
基板である請求項６に記載のプリント配線板の抵抗測定
装置としたものであり、センサ電極を多層回路板で形成
することにより、高密度の被測定基板に容易に対応でき
るという作用を有する。
【００１７】請求項８に記載の発明は、インダクタンス
素子とインピーダンス・位相測定器の測定用端子の間に
プログラムスイッチを介した請求項６に記載のプリント
配線 板の抵抗測定装置としたものであり、複数の測定用
パターンランドを有する被測定基板を測定に際し、それ
に対応する複数の電極センサパターンを接触させ、プロ
グラムスイッチを切り替えることにより、各測定用パタ
ーンランドの抵抗測定を容易に行うことができる装置を
提供するものである。
素子とインピーダンス・位相測定器の測定用端子の間に
プログラムスイッチを介した請求項６に記載のプリント
配線 板の抵抗測定装置としたものであり、複数の測定用
パターンランドを有する被測定基板を測定に際し、それ
に対応する複数の電極センサパターンを接触させ、プロ
グラムスイッチを切り替えることにより、各測定用パタ
ーンランドの抵抗測定を容易に行うことができる装置を
提供するものである。
【００１８】請求項９に記載の発明は、回路基板は被測
定基板と同じ製造方法で形成されたものであることを特
徴とする請求項６に記載のプリント配線板の抵抗測定装
置としたものであり、センサ電極の回路基板を被測定基
板と同じ製造方法で形成することにより被測定基板の製
造技術が向上し、更にパターンがファイン化されても被
測定基板と同様の製造方法で作成できるので常にファイ
ン化に追随できるものである。
定基板と同じ製造方法で形成されたものであることを特
徴とする請求項６に記載のプリント配線板の抵抗測定装
置としたものであり、センサ電極の回路基板を被測定基
板と同じ製造方法で形成することにより被測定基板の製
造技術が向上し、更にパターンがファイン化されても被
測定基板と同様の製造方法で作成できるので常にファイ
ン化に追随できるものである。
【００１９】請求項１０に記載の発明は、導通孔を有す
るプリント配線板において、前記導通孔を介した少なく
とも２以上の測定用パターンランドに、請求項１または
請求項２または請求項６に記載のプリント配線板の抵抗
測定装置の測定用プローブを接触させることによって抵
抗測定を行うことを特徴とするプリント配線板の抵抗測
定方法というものであり、これによりパターンランドに
接触傷を付けることなく、基板の抵抗を測定することが
でき、さらに導通孔を介する被測定基板の抵抗を精度良
く測定することができるという作用を有する。
るプリント配線板において、前記導通孔を介した少なく
とも２以上の測定用パターンランドに、請求項１または
請求項２または請求項６に記載のプリント配線板の抵抗
測定装置の測定用プローブを接触させることによって抵
抗測定を行うことを特徴とするプリント配線板の抵抗測
定方法というものであり、これによりパターンランドに
接触傷を付けることなく、基板の抵抗を測定することが
でき、さらに導通孔を介する被測定基板の抵抗を精度良
く測定することができるという作用を有する。
【００２０】請求項１１に記載の発明は、請求項２に記
載された測定用プローブの測定用センサ電極先端に設け
られた高誘電率の絶縁体を、測定用パターンランドの面
に押し当てて行うことを特徴とする請求項１０に記載の
プリント配線板の抵抗測定方法というものであり、これ
によりパターンランドに傷がつきにくく、かつ絶縁体の
厚さの分距離を安定して保つことができるため、測定誤
差が少なく精度の良い抵抗測定ができるという作用を有
する。
載された測定用プローブの測定用センサ電極先端に設け
られた高誘電率の絶縁体を、測定用パターンランドの面
に押し当てて行うことを特徴とする請求項１０に記載の
プリント配線板の抵抗測定方法というものであり、これ
によりパターンランドに傷がつきにくく、かつ絶縁体の
厚さの分距離を安定して保つことができるため、測定誤
差が少なく精度の良い抵抗測定ができるという作用を有
する。
【００２１】請求項１２に記載の発明は、請求項８に記
載に記載されたプログラムスイッチを順次切り替えて行
うことを特徴とする請求項１０に記載のプリント配線板
の抵 抗測定方法というものであり、複数の測定用パター
ンランドを有する被測定基板の測定に際し、それに対応
する複数の電極センサパターンを接触させ、プログラム
スイッチを切り替えることにより、各測定用パターンラ
ンドの抵抗測定を容易に行うことができるという作用を
有する。
載に記載されたプログラムスイッチを順次切り替えて行
うことを特徴とする請求項１０に記載のプリント配線板
の抵 抗測定方法というものであり、複数の測定用パター
ンランドを有する被測定基板の測定に際し、それに対応
する複数の電極センサパターンを接触させ、プログラム
スイッチを切り替えることにより、各測定用パターンラ
ンドの抵抗測定を容易に行うことができるという作用を
有する。
【００２２】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図９を用いて説明する。
から図９を用いて説明する。
【００２３】（実施の形態１） 図１は本発明の一実施の形態における基板の電気検査方
法を示す構成図である。
法を示す構成図である。
【００２４】図１において１及び２は測定用プローブ、
３及び４はセンサ電極部、５はインダクタンス素子、６
は基板の上面パターンと下面パターンを接続するビアホ
ール、７は基板上面のパターンランド部、８は基板上面
のパターンランド部７とビアホール６を接続するパター
ン、９は基板下面のパターンランド部、１０は基板下面
のパターンランド部９とビアホール６を接続するパター
ン、１２は測定器であり、上面パターンランド７の上面
に数十μｍ〜数百μｍ程度近接させ、センサ電極３を配
置してある。
３及び４はセンサ電極部、５はインダクタンス素子、６
は基板の上面パターンと下面パターンを接続するビアホ
ール、７は基板上面のパターンランド部、８は基板上面
のパターンランド部７とビアホール６を接続するパター
ン、９は基板下面のパターンランド部、１０は基板下面
のパターンランド部９とビアホール６を接続するパター
ン、１２は測定器であり、上面パターンランド７の上面
に数十μｍ〜数百μｍ程度近接させ、センサ電極３を配
置してある。
【００２５】センサ３からはインダクタンス５を電気的
に介して、測定器１２の測定端子Ａに接続されている。
に介して、測定器１２の測定端子Ａに接続されている。
【００２６】また、上面パターン７、ビアホール６およ
び下面パターン１０を経由して電気的に接続された下面
パターンランド９の面からも数十μｍ〜数百μｍ程度近
接させたセンサ電極４が配置され、そのセンサ電極４は
測定器１２の測定端子Ｂに直接電気的に接続している。
び下面パターン１０を経由して電気的に接続された下面
パターンランド９の面からも数十μｍ〜数百μｍ程度近
接させたセンサ電極４が配置され、そのセンサ電極４は
測定器１２の測定端子Ｂに直接電気的に接続している。
【００２７】図２（ａ）は測定器１２の測定端子Ａ，Ｂ
から見た図１の等価回路であり、１３はインダクタンス
５の抵抗を除くセンサ電極３から測定端子Ａまでの等価
抵抗、１４はインダクタンス５の抵抗分、１５はインダ
クタンス、１６はセンサ電極３と上面パターンランド７
の間の容量、１７は上面パターンランド７から下面パタ
ーンランド９までの抵抗、１８は下面センサ電極４とパ
ターンランド９間の容量、１９は下面センサ電極４から
測定器１２の測定端子Ｂまでの抵抗である。
から見た図１の等価回路であり、１３はインダクタンス
５の抵抗を除くセンサ電極３から測定端子Ａまでの等価
抵抗、１４はインダクタンス５の抵抗分、１５はインダ
クタンス、１６はセンサ電極３と上面パターンランド７
の間の容量、１７は上面パターンランド７から下面パタ
ーンランド９までの抵抗、１８は下面センサ電極４とパ
ターンランド９間の容量、１９は下面センサ電極４から
測定器１２の測定端子Ｂまでの抵抗である。
【００２８】図２（ｂ）は図２（ａ）の総合インピーダ
ンスＺを実数部Ｚr、虚数部誘導成分ＺL、虚数部容量成
分ＺCで表したものでありその値は、
ンスＺを実数部Ｚr、虚数部誘導成分ＺL、虚数部容量成
分ＺCで表したものでありその値は、
【００２９】
【数１】
【００３０】
【数２】
【００３１】
【数３】
【００３２】となり、測定端子Ａ，Ｂから見た総合イン
ピーダンスＺは、
ピーダンスＺは、
【００３３】
【数４】
【００３４】となる。そして虚数部の合計がＺiであ
る。
る。
【００３５】上記（数４）の虚数部誘導成分ＺL、虚数
部容量成分ＺCをインピーダンス−周波数特性図に表す
と図３のようになる。
部容量成分ＺCをインピーダンス−周波数特性図に表す
と図３のようになる。
【００３６】図４は図３の共振周波数ｆ0近傍で任意の
測定周波数ｆ1におけるインピーダンスベクトル図であ
る。
測定周波数ｆ1におけるインピーダンスベクトル図であ
る。
【００３７】図４からわかるように測定器１２で総合イ
ンピーダンスＺ、および位相角θを測定すれば、
ンピーダンスＺ、および位相角θを測定すれば、
【００３８】
【数５】
【００３９】より、実数部Zr、すなわち抵抗値Ｒが求ま
る。
る。
【００４０】また、センサ電極３から測定端子Ａまでの
等価抵抗r1、インダクタンス素子５の抵抗r2,センサ電
極４から測定端子Ｂまでの等価抵抗r4を予め測定してお
けば、（数１）より、上面パターンランド７から下面パ
ターンランド９間の抵抗r3を求めることができる。
等価抵抗r1、インダクタンス素子５の抵抗r2,センサ電
極４から測定端子Ｂまでの等価抵抗r4を予め測定してお
けば、（数１）より、上面パターンランド７から下面パ
ターンランド９間の抵抗r3を求めることができる。
【００４１】インダクタンス５が無い場合でも抵抗値Ｒ
は計算にて求まるが、一般的に、測定すべき上面パター
ンランド７から下面パターンランド９間の抵抗ｒ3の抵
抗値は１０ｍΩ前後、インダクタンス５の抵抗も含めセ
ンサ電極３から測定端子Ａまでの等価抵抗と下面センサ
電極４から測定器１２の測定端子Ｂまでの抵抗の合計は
数百ｍΩ、センサ電極３，４とパターンランド７，９間
の容量は１ｐＦ程度であり、今インダクタンス５が無い
場合（数４）は、
は計算にて求まるが、一般的に、測定すべき上面パター
ンランド７から下面パターンランド９間の抵抗ｒ3の抵
抗値は１０ｍΩ前後、インダクタンス５の抵抗も含めセ
ンサ電極３から測定端子Ａまでの等価抵抗と下面センサ
電極４から測定器１２の測定端子Ｂまでの抵抗の合計は
数百ｍΩ、センサ電極３，４とパターンランド７，９間
の容量は１ｐＦ程度であり、今インダクタンス５が無い
場合（数４）は、
【００４２】
【数６】
【００４３】となり、ここで仮に測定周波数を１００Ｍ
ＨｚとするとインピーダンスＺの値は約１６００Ω、位
相角θは９０°近くになり位相角θの測定誤差が１°あ
ればインピーダンスＺの実数部Ｒは約２８Ωの誤差とな
り、被測定抵抗値より誤差が数十倍となり１０ｍΩ程度
の抵抗を測定することは不可能である。
ＨｚとするとインピーダンスＺの値は約１６００Ω、位
相角θは９０°近くになり位相角θの測定誤差が１°あ
ればインピーダンスＺの実数部Ｒは約２８Ωの誤差とな
り、被測定抵抗値より誤差が数十倍となり１０ｍΩ程度
の抵抗を測定することは不可能である。
【００４４】本発明のように、インダクタンス５を追加
することにより、このインダクタンス５とセンサ電極
３、４とパターンランド７，９間の容量C1およびC2と共
振させると、共振周波数の近傍ではインピーダンスＺが
非常に小さくなり、インピーダンスＺの虚数部Ziと実数
部Zrの比が１に近くなり、位相角θを４５°近くにする
ことで、測定誤差の影響を小さくすることができる。
することにより、このインダクタンス５とセンサ電極
３、４とパターンランド７，９間の容量C1およびC2と共
振させると、共振周波数の近傍ではインピーダンスＺが
非常に小さくなり、インピーダンスＺの虚数部Ziと実数
部Zrの比が１に近くなり、位相角θを４５°近くにする
ことで、測定誤差の影響を小さくすることができる。
【００４５】例えば、インピーダンスＺが２００ｍΩ、
位相角θが６０°であれば（数７）より、インピーダン
スＺの実数部Ｒは１００ｍΩとなる。
位相角θが６０°であれば（数７）より、インピーダン
スＺの実数部Ｒは１００ｍΩとなる。
【００４６】ここで、位相角θの測定誤差が１°発生し
ても実数部Ｒの計算誤差は±３ｍΩ（±３％）程度とな
り、十分実用化が可能である。
ても実数部Ｒの計算誤差は±３ｍΩ（±３％）程度とな
り、十分実用化が可能である。
【００４７】（実施の形態２） 図５は図１のインダクタンス５の代わりに、インダクタ
ンス２３と容量２４を並列結合したタンク回路２５を挿
入したものである。図６（ａ）は図５の等価回路であ
り、図６（ｂ）は図６（ａ）の総合インピーダンスＺ1
を実数部Ｚr1、タンク回路の虚数部ＺLC、虚数部容量成
分ＺCで表したものである。
ンス２３と容量２４を並列結合したタンク回路２５を挿
入したものである。図６（ａ）は図５の等価回路であ
り、図６（ｂ）は図６（ａ）の総合インピーダンスＺ1
を実数部Ｚr1、タンク回路の虚数部ＺLC、虚数部容量成
分ＺCで表したものである。
【００４８】このタンク回路２５のインピーダンスＺLC
Rは
Rは
【００４９】
【数７】
【００５０】となり、総合インピーダンスＺ1の実数部
Ｚr1、タンク回路の虚数部ＺLC、虚数部容量成分ＺCは
それぞれ、
Ｚr1、タンク回路の虚数部ＺLC、虚数部容量成分ＺCは
それぞれ、
【００５１】
【数８】
【００５２】
【数９】
【００５３】
【数１０】
【００５４】図６の合計インピーダンス１は、
【００５５】
【数１１】
【００５６】となる。
【００５７】図７は図６（ｂ）のインピーダンスの虚数
部をタンク回路２５の虚数部ＺLC、その他の虚数部容量
成分ＺC即ち、センサ電極３，４とパターンランド７，
９間の容量Ｃ1，Ｃ2の合計インピーダンスとに分けたイ
ンピーダンス−周波数特性図である。
部をタンク回路２５の虚数部ＺLC、その他の虚数部容量
成分ＺC即ち、センサ電極３，４とパターンランド７，
９間の容量Ｃ1，Ｃ2の合計インピーダンスとに分けたイ
ンピーダンス−周波数特性図である。
【００５８】図７からわかるように、タンク回路２５の
共振周波数の近傍ではタンク回路２５のインピーダンス
の虚数部が非常に大きくなり、共振周波数の低い側では
インピーダンスが誘導性となる。したがって図６（ａ）
の等価回路全体の共振周波数はタンク回路２５の共振周
波数より低い周波数となる。
共振周波数の近傍ではタンク回路２５のインピーダンス
の虚数部が非常に大きくなり、共振周波数の低い側では
インピーダンスが誘導性となる。したがって図６（ａ）
の等価回路全体の共振周波数はタンク回路２５の共振周
波数より低い周波数となる。
【００５９】ここで、測定周波数を回路全体の共振周波
数の近傍でかつ低い周波数側にすれば、測定インピーダ
ンス、及び位相角が小さくなり数十ｍΩ程度の低抵抗が
精度良く測定できる。タンク回路２５の共振周波数を低
くすることは比較的容易であり、回路全体の共振周波数
を低くすることができ、測定周波数を低くして測定系に
近接する他の電気部品、構造部品からの影響を少なくす
ることができる。
数の近傍でかつ低い周波数側にすれば、測定インピーダ
ンス、及び位相角が小さくなり数十ｍΩ程度の低抵抗が
精度良く測定できる。タンク回路２５の共振周波数を低
くすることは比較的容易であり、回路全体の共振周波数
を低くすることができ、測定周波数を低くして測定系に
近接する他の電気部品、構造部品からの影響を少なくす
ることができる。
【００６０】（実施の形態３） 図１の測定回路の構成において、計測器１２の測定周波
数を掃引させ、測定回路の位相角θが０°、またはイン
ピーダンスＺの虚数部Ｚiが０Ω、またはインピーダン
スＺの値が最小値の点を探すなどの方法により測定回路
の共振周波数ｆ0を求め共振周波数ｆ0でインピーダンス
Ｚを測定すれば、インピーダンスＺの虚数部Ｚiは０Ω
となり、（数６）は
数を掃引させ、測定回路の位相角θが０°、またはイン
ピーダンスＺの虚数部Ｚiが０Ω、またはインピーダン
スＺの値が最小値の点を探すなどの方法により測定回路
の共振周波数ｆ0を求め共振周波数ｆ0でインピーダンス
Ｚを測定すれば、インピーダンスＺの虚数部Ｚiは０Ω
となり、（数６）は
【００６１】
【数１２】
【００６２】となり、位相角θの測定誤差の影響が無く
なり、精度の良い抵抗測定ができる。
なり、精度の良い抵抗測定ができる。
【００６３】（実施の形態４） 図８はセンサ電極３とパターンランド７近辺の部分図で
あるが、センサ電極３の先端には、センサ電極３と同程
度以上の面積を持つ高誘電率の誘電体２９が取り付けら
れ、測定時には、誘電体２９のセンサ電極３と反対側の
面を、パターンランド７の面に押し当てている。
あるが、センサ電極３の先端には、センサ電極３と同程
度以上の面積を持つ高誘電率の誘電体２９が取り付けら
れ、測定時には、誘電体２９のセンサ電極３と反対側の
面を、パターンランド７の面に押し当てている。
【００６４】センサ電極３とパターンランド７間容量Ｃ
1の値は、センサ電極３とパターンランド７の対向面積
をＳ［ｍ2］、距離をＴ［ｍ］とすると、
1の値は、センサ電極３とパターンランド７の対向面積
をＳ［ｍ2］、距離をＴ［ｍ］とすると、
【００６５】
【数１３】
【００６６】但し、εO：真空誘電率 εＳ：誘電体
２９の非誘電率となり、誘電体２９の非誘電率に比例し
てセンサ電極３とパターンランド７間の容量Ｃ1が大き
くなり、被測定回路の共振周波数を低くする事ができ、
測定周波数が低くなって、測定系に近接する他の電気部
品、構造部品からの影響を少なくすることができる。
２９の非誘電率となり、誘電体２９の非誘電率に比例し
てセンサ電極３とパターンランド７間の容量Ｃ1が大き
くなり、被測定回路の共振周波数を低くする事ができ、
測定周波数が低くなって、測定系に近接する他の電気部
品、構造部品からの影響を少なくすることができる。
【００６７】また、パターンランド７には、絶縁体２９
の面で当たるため、傷がつきにくく、かつセンサ電極３
とパターンランド７間の距離が安定して保たれるため、
測定誤差が少なく精度の良い測定ができる。
の面で当たるため、傷がつきにくく、かつセンサ電極３
とパターンランド７間の距離が安定して保たれるため、
測定誤差が少なく精度の良い測定ができる。
【００６８】（実施の形態５） 図９は複数のセンサ電極部３０を両面基板３１で作成し
た一例の斜視図であるが、片面に被測定基板と同様の製
造方法でセンサ電極部３０を作成しスルホールあるいは
ビアホール３２で他の面へ引き出され、そこからインダ
クタンス５に接続されている。そこから、プログラムス
イッチにより順次切り替えて、測定器に接続されること
は言うまでもない。
た一例の斜視図であるが、片面に被測定基板と同様の製
造方法でセンサ電極部３０を作成しスルホールあるいは
ビアホール３２で他の面へ引き出され、そこからインダ
クタンス５に接続されている。そこから、プログラムス
イッチにより順次切り替えて、測定器に接続されること
は言うまでもない。
【００６９】センサ電極を両面基板または多層基板を被
測定基板同様の製造法で作成することにより、被測定基
板のパターンが今後更にファイン化されても、センサ電
極部も常にファイン化に追随できる。
測定基板同様の製造法で作成することにより、被測定基
板のパターンが今後更にファイン化されても、センサ電
極部も常にファイン化に追随できる。
【００７０】
【発明の効果】以上のように、本発明は回路基板のパタ
ーンに傷を付けることなく、また接触抵抗の影響がない
ため精度良く回路基板のビアホールを含めた回路の抵抗
が測定できる。またセンサ電極は、被測定回路基板と同
様の製造法で作ればよく、今後更に回路基板のパターン
がファイン化されても、常にファイン化に追随できると
いう効果を有するものである。
ーンに傷を付けることなく、また接触抵抗の影響がない
ため精度良く回路基板のビアホールを含めた回路の抵抗
が測定できる。またセンサ電極は、被測定回路基板と同
様の製造法で作ればよく、今後更に回路基板のパターン
がファイン化されても、常にファイン化に追随できると
いう効果を有するものである。
【００７１】尚、本発明は回路基板のビアホールを含め
た回路の抵抗測定に限定するものではなく、チップ抵抗
など電極面を持つ抵抗の測定などにも応用できることは
言うまでもない。
た回路の抵抗測定に限定するものではなく、チップ抵抗
など電極面を持つ抵抗の測定などにも応用できることは
言うまでもない。
【図１】本発明の一実施の形態の構成図
【図２】図１の等価回路図
【図３】図２の等価回路のインピーダンス虚数部−周波
数特性図
数特性図
【図４】測定周波数におけるインピーダンスベクトル図
【図５】本発明の他の実施の形態を示す構成図
【図６】図５の等価回路図
【図７】図６の等価回路のインピーダンス虚数部−周波
数特性図
数特性図
【図８】本発明の他の実施の形態を示す構成図
【図９】本発明の他の実施の形態を示す構成図
【図１０】従来の構成図
１，２ 測定用プローブ ３，４ センサ電極 ５，２３ インダクタンス ６ ビアホール ７，９ パターンランド ８，１０ パターン １１ 被測プリント配線基板 １２ 測定器 １３，１４，１７，１９ 抵抗 １６，１８，２６ 容量
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−62464（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−180869（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−318975（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−111471（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−196168（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−18460（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−329632（ＪＰ，Ａ) 特公 昭44−12109（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭36−10293（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 27/02 G01R 31/02
Claims (12)
- 【請求項１】 インピーダンス・位相測定器の測定用端
子の両側に測定用プローブを設け、前記測定用プローブ
のどちらか一方は、測定用センサ電極とＬＣタンク回路
が直列に接続されており、他方の測定用プローブには測
定用センサ電極が設けられたことを特徴とするプリント
配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項２】 インピーダンス・位相測定器の測定用端
子の両側に測定用プローブを設け、前記測定用プローブ
のどちらか一方は、測定用センサ電極とインダクタンス
素子が直列に接続されており、他方の測定用プローブに
は測定用センサ電極が設けられ、前記測定用センサ電極
の先端に高誘電率の絶縁体が取り付けられたことを特徴
とするプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項３】 絶縁体の面積はセンサ電極の面積と同等
以上である請求項２に記載のプリント配線板の抵抗測定
装置。 - 【請求項４】 被測定基板の複数の測定用パターンラン
ドの各々に対応するセンサ電極パターンを有する請求項
３に記載のプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項５】 センサ電極パターンが導通孔を介してイ
ンダクタンス素子に接続されている請求項４に記載のプ
リント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項６】 インピーダンス・位相測定器の測定用端
子の両側に測定用プローブを設け、前記測定用プローブ
のどちらか一方は、測定用センサ電極とインダクタンス
素子が直列に接続されており、他方の測定用プローブに
は測定用センサ電極が設けられ、前記測定用センサ電極
は導通孔を有する回路基板で形成されたものであること
を特徴とするプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項７】 回路基板が多層基板である請求項６に記
載のプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項８】 インダクタンス素子とインピーダンス・
位相測定器の測定用端子の間にプログラムスイッチを介
した請求項６に記載のプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項９】 回路基板は被測定基板と同じ製造方法で
形成されたものであることを特徴とする請求項６に記載
のプリント配線板の抵抗測定装置。 - 【請求項１０】 導通孔を有するプリント配線板におい
て、前記導通孔を介した少なくとも２以上の測定用パタ
ーンランドに、請求項１または請求項２または請求項６
に記載のプリント配線板の抵抗測定装置の測定用プロー
ブを接触させることによって抵抗測定を行うことを特徴
とするプリント配線板の抵抗測定方法。 - 【請求項１１】 請求項２に記載された測定用プローブ
の測定用センサ電極先端に設けられた高誘電率の絶縁体
を、測定用パターンランドの面に押し当てて行うことを
特徴とする請求項１０に記載のプリント配線板の抵抗測
定方法。 - 【請求項１２】 請求項８に記載されたプログラムスイ
ッチを順次切り替えて行うことを特徴とする請求項１０
に記載のプリント配線板の抵抗測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34635098A JP3296308B2 (ja) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | プリント配線板の抵抗測定装置およびそれを用いた抵抗測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34635098A JP3296308B2 (ja) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | プリント配線板の抵抗測定装置およびそれを用いた抵抗測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000171500A JP2000171500A (ja) | 2000-06-23 |
| JP3296308B2 true JP3296308B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=18382822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34635098A Expired - Fee Related JP3296308B2 (ja) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | プリント配線板の抵抗測定装置およびそれを用いた抵抗測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3296308B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
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|---|---|---|---|---|
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| KR20020019951A (ko) | 2000-05-19 | 2002-03-13 | 이시오까 쇼오고 | 회로 기판의 도통 검사 장치, 도통 검사 방법, 도통검사용 지그 및 기록 매체 |
| US6947853B2 (en) | 2002-05-23 | 2005-09-20 | Oht, Inc. | Apparatus and method for inspecting electrical continuity of circuit board, jig for use therein, and recording medium thereon |
| JP2004264058A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-24 | Oht Inc | 回路検査装置、回路検査方法、抵抗測定装置および抵抗測定方法 |
| CN100419438C (zh) * | 2004-06-22 | 2008-09-17 | 瀚宇彩晶股份有限公司 | 接合阻抗测量方法与测量电路 |
| KR101142340B1 (ko) | 2010-09-27 | 2012-05-17 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 패키지용 기판 및 그의 제조 방법 |
| JP2012083117A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Lasertec Corp | 検査装置 |
-
1998
- 1998-12-07 JP JP34635098A patent/JP3296308B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000171500A (ja) | 2000-06-23 |
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