JP3259309B2 - 液状樹脂の脱泡方法およびその装置 - Google Patents
液状樹脂の脱泡方法およびその装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は液状樹脂の脱泡方法お
よびその装置に関する。
よびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップ等の電子部品を汚染や破損
から保護するために液状樹脂からなる封止材で封止する
場合、射出器を用いてエポキシ系等の液状樹脂を半導体
チップ等の電子部品に塗布しているが、射出器に液状樹
脂を供給する前に、液状樹脂を脱泡する必要がある。こ
の理由は、射出器を用いて液状樹脂を半導体チップ等の
電子部品に塗布したとき、この塗布した液状樹脂の表面
や内部に気泡が散在するとその強度や耐湿性が劣化して
しまうので、予め液状樹脂に散在する気泡を脱泡により
除去してこの劣化を回避するためである。この場合、射
出器に供給する前の液状樹脂を真空中にて撹拌すると、
この液状樹脂の脱泡が促進される。なお、封止材が樹脂
成分と有機系の溶剤とからなる場合、これらが分離しや
すい傾向にあるが、撹拌すると、分離を妨げて樹脂成分
を均一な分散状態にすることもできる。
から保護するために液状樹脂からなる封止材で封止する
場合、射出器を用いてエポキシ系等の液状樹脂を半導体
チップ等の電子部品に塗布しているが、射出器に液状樹
脂を供給する前に、液状樹脂を脱泡する必要がある。こ
の理由は、射出器を用いて液状樹脂を半導体チップ等の
電子部品に塗布したとき、この塗布した液状樹脂の表面
や内部に気泡が散在するとその強度や耐湿性が劣化して
しまうので、予め液状樹脂に散在する気泡を脱泡により
除去してこの劣化を回避するためである。この場合、射
出器に供給する前の液状樹脂を真空中にて撹拌すると、
この液状樹脂の脱泡が促進される。なお、封止材が樹脂
成分と有機系の溶剤とからなる場合、これらが分離しや
すい傾向にあるが、撹拌すると、分離を妨げて樹脂成分
を均一な分散状態にすることもできる。
【０００３】図２は従来の液状樹脂の脱泡装置の一例を
示したものである。この脱泡装置は、真空槽１を備え、
この真空槽１内に、液状樹脂２を所定量注入された有底
円筒状の容器３が収納されるようになっている。真空槽
１は、有底円筒状の収納部材４の上に有頭円筒状の蓋５
がＯリング６を介して載置され、収納部材４の上部と蓋
５の下部とが固定手段７で固定される構造となってい
る。蓋５の上面中央部にはモータ８が設けられている。
モータ８の回転軸９は、蓋５の上板中央部を気密にかつ
回転可能に貫通して収納部材４の内部に突出されてい
る。モータ８の回転軸９の下端部には撹拌羽根１０が取
り付けられている。蓋５の上板の所定の個所には気体給
排パイプ１１の一端部が連結されている。気体給排パイ
プ１１の他端部には十字状のチューブ１２の第１の分岐
管が連結されている。十字状のチューブ１２の第２の分
岐管には第１のバルブ１３が介在され、同第２の分岐管
の先端部は真空ポンプ１４に連結されている。ここで、
この真空ポンプ１４は常時駆動している。十字状のチュ
ーブ１２の第３の分岐管には第２のバルブ１５が介在さ
れ、同第３の分岐管の先端部は大気中に開放されてい
る。十字状のチューブ１２の第４の分岐管には第３のバ
ルブ１６が介在され、同第３の分岐管の先端部はコンプ
レッサやボンベ等からなる圧縮気体供給源１７に連結さ
れている。蓋５の上板の他の所定の個所には液状樹脂送
出パイプ１８が気密に貫装され、その一端部は収納部材
４の内部に突出されている。液状樹脂送出パイプ１８の
他端部にはチューブ１９の一端部が連結され、チューブ
１９の他端部は射出器２０に連結されている。
示したものである。この脱泡装置は、真空槽１を備え、
この真空槽１内に、液状樹脂２を所定量注入された有底
円筒状の容器３が収納されるようになっている。真空槽
１は、有底円筒状の収納部材４の上に有頭円筒状の蓋５
がＯリング６を介して載置され、収納部材４の上部と蓋
５の下部とが固定手段７で固定される構造となってい
る。蓋５の上面中央部にはモータ８が設けられている。
モータ８の回転軸９は、蓋５の上板中央部を気密にかつ
回転可能に貫通して収納部材４の内部に突出されてい
る。モータ８の回転軸９の下端部には撹拌羽根１０が取
り付けられている。蓋５の上板の所定の個所には気体給
排パイプ１１の一端部が連結されている。気体給排パイ
プ１１の他端部には十字状のチューブ１２の第１の分岐
管が連結されている。十字状のチューブ１２の第２の分
岐管には第１のバルブ１３が介在され、同第２の分岐管
の先端部は真空ポンプ１４に連結されている。ここで、
この真空ポンプ１４は常時駆動している。十字状のチュ
ーブ１２の第３の分岐管には第２のバルブ１５が介在さ
れ、同第３の分岐管の先端部は大気中に開放されてい
る。十字状のチューブ１２の第４の分岐管には第３のバ
ルブ１６が介在され、同第３の分岐管の先端部はコンプ
レッサやボンベ等からなる圧縮気体供給源１７に連結さ
れている。蓋５の上板の他の所定の個所には液状樹脂送
出パイプ１８が気密に貫装され、その一端部は収納部材
４の内部に突出されている。液状樹脂送出パイプ１８の
他端部にはチューブ１９の一端部が連結され、チューブ
１９の他端部は射出器２０に連結されている。
【０００４】さて、この脱泡装置で液状樹脂２の脱泡を
行う場合には、まず、第１のバルブ１３および第３のバ
ルブ１６を閉じ、第２のバルブ１５を開け、真空槽１内
を大気圧の状態とし、この状態において固定手段７を外
し、蓋５を取り外して収納部材４の上部を開放する。こ
の場合、蓋５と共にモータ８、回転軸９、撹拌羽根１０
および２本のパイプ１１、１８が移動される。次に、所
定量の液状樹脂２が注入された容器３を収納部材４内に
収納する。次に、蓋５を収納部材４の上部に取り付け、
固定手段７で固定する。この状態では、撹拌羽根１０お
よび液状樹脂送出パイプ１８の一端部が容器３内の液状
樹脂２中に配置される。
行う場合には、まず、第１のバルブ１３および第３のバ
ルブ１６を閉じ、第２のバルブ１５を開け、真空槽１内
を大気圧の状態とし、この状態において固定手段７を外
し、蓋５を取り外して収納部材４の上部を開放する。こ
の場合、蓋５と共にモータ８、回転軸９、撹拌羽根１０
および２本のパイプ１１、１８が移動される。次に、所
定量の液状樹脂２が注入された容器３を収納部材４内に
収納する。次に、蓋５を収納部材４の上部に取り付け、
固定手段７で固定する。この状態では、撹拌羽根１０お
よび液状樹脂送出パイプ１８の一端部が容器３内の液状
樹脂２中に配置される。
【０００５】次に、第２のバルブ１５を閉じ、次いで第
１のバルブ１３を開けると、常時駆動している真空ポン
プ１４によって真空槽１内が減圧される。このとき、射
出器２０の内部には開閉可能な弁（図示せず）が設けら
れており、この弁は閉じておく。真空槽１内が所定の真
空度に達したら、モータ８を駆動させる。すると、モー
タ８の回転軸９と共に撹拌羽根１０が回転し、容器３内
の液状樹脂２が撹拌され、液状樹脂２中の脱泡が促進さ
れる。そして、容器３内の液状樹脂２の表面に気泡が発
生すると、この発生した気泡が真空槽１内との圧力差に
より弾け、その後気泡内部に存在していた気体が真空ポ
ンプ１４によって排気されることにより、液状樹脂２が
脱泡される。容器３内の液状樹脂２の表面に気泡が発生
しなくなったら、その時点で脱泡が終了したこととな
る。この後、モータ８を停止させて撹拌羽根１０による
撹拌を停止させ、次いで第１のバルブ１３を閉じ、第３
のバルブ１６を開けると、圧縮気体供給源１７から供給
される圧縮気体によって真空槽１内が加圧され、大気中
との圧力差により容器３内の液状樹脂２が液状樹脂送出
パイプ１８およびチューブ１９を介して射出器２０に供
給される。その後、射出器２０の内部に設けられた弁を
開けることにより、電子部品（図示せず）に液状樹脂２
が塗布される。
１のバルブ１３を開けると、常時駆動している真空ポン
プ１４によって真空槽１内が減圧される。このとき、射
出器２０の内部には開閉可能な弁（図示せず）が設けら
れており、この弁は閉じておく。真空槽１内が所定の真
空度に達したら、モータ８を駆動させる。すると、モー
タ８の回転軸９と共に撹拌羽根１０が回転し、容器３内
の液状樹脂２が撹拌され、液状樹脂２中の脱泡が促進さ
れる。そして、容器３内の液状樹脂２の表面に気泡が発
生すると、この発生した気泡が真空槽１内との圧力差に
より弾け、その後気泡内部に存在していた気体が真空ポ
ンプ１４によって排気されることにより、液状樹脂２が
脱泡される。容器３内の液状樹脂２の表面に気泡が発生
しなくなったら、その時点で脱泡が終了したこととな
る。この後、モータ８を停止させて撹拌羽根１０による
撹拌を停止させ、次いで第１のバルブ１３を閉じ、第３
のバルブ１６を開けると、圧縮気体供給源１７から供給
される圧縮気体によって真空槽１内が加圧され、大気中
との圧力差により容器３内の液状樹脂２が液状樹脂送出
パイプ１８およびチューブ１９を介して射出器２０に供
給される。その後、射出器２０の内部に設けられた弁を
開けることにより、電子部品（図示せず）に液状樹脂２
が塗布される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような脱泡装置では、容器３内の液状樹脂２の表面
に発生した気泡を真空槽１内との圧力差により弾けさせ
て脱泡しているので、脱泡効率が容器３内の液状樹脂２
の真空雰囲気と面する部分の表面積に依存することとな
るが、この表面積を大きくすると装置が大型化し、この
ため該表面積をあまり大きくすることができず、また撹
拌しているとはいえ、液状樹脂２の粘度が比較的高いの
で、脱泡が終了するまでにかなりの時間がかかり、脱泡
処理効率がきわめて悪いという問題があった。この発明
の目的は、装置を大型化することなく、液状樹脂の真空
雰囲気と面する部分の表面積を大きくすることのできる
液状樹脂の脱泡方法およびその装置を提供することにあ
る。
このような脱泡装置では、容器３内の液状樹脂２の表面
に発生した気泡を真空槽１内との圧力差により弾けさせ
て脱泡しているので、脱泡効率が容器３内の液状樹脂２
の真空雰囲気と面する部分の表面積に依存することとな
るが、この表面積を大きくすると装置が大型化し、この
ため該表面積をあまり大きくすることができず、また撹
拌しているとはいえ、液状樹脂２の粘度が比較的高いの
で、脱泡が終了するまでにかなりの時間がかかり、脱泡
処理効率がきわめて悪いという問題があった。この発明
の目的は、装置を大型化することなく、液状樹脂の真空
雰囲気と面する部分の表面積を大きくすることのできる
液状樹脂の脱泡方法およびその装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、減圧された
真空槽内において、底面近傍に攪拌羽根を配置した状態
で有底円筒状の容器を回転させ、この状態で前記容器の
内壁上部に液状樹脂を供給すると共に該内壁に沿って自
然落下した後、前記容器と前記攪拌羽根の相対的な回転
により前記容器内に溜った液状樹脂を撹拌して前記液状
樹脂中の気泡を脱泡するようにしたものである。容易に
制御することができる。
真空槽内において、底面近傍に攪拌羽根を配置した状態
で有底円筒状の容器を回転させ、この状態で前記容器の
内壁上部に液状樹脂を供給すると共に該内壁に沿って自
然落下した後、前記容器と前記攪拌羽根の相対的な回転
により前記容器内に溜った液状樹脂を撹拌して前記液状
樹脂中の気泡を脱泡するようにしたものである。容易に
制御することができる。
【０００８】
【作用】この発明によれば、有底円筒状の容器を回転さ
せているので、この容器の内壁上部に液状樹脂が供給さ
れると、容器の内壁上部の全周に供給されることとな
り、次いで容器の内壁に沿って自然落下することによ
り、容器の内壁全体に拡散され、この後容器内に溜るこ
とになる。そして、容器の内壁全体に拡散された液状樹
脂の表面および容器内に溜った液状樹脂の表面に気泡が
発生すると、この発生した気泡が真空槽内との圧力差に
より弾けることにより、液状樹脂が脱泡されることにな
る。また、容器内に溜った液状樹脂は撹拌されるので、
液状樹脂中の再度の脱泡が促進されることになる。この
ように、有底円筒状の容器の内壁全体に拡散された液状
樹脂の表面およびこの容器内に溜った液状樹脂の表面に
発生した気泡を真空槽内との圧力差により弾けさせて脱
泡しているので、装置を大型化することなく、液状樹脂
の真空雰囲気と面する部分の表面積を大きくすることが
できる。
せているので、この容器の内壁上部に液状樹脂が供給さ
れると、容器の内壁上部の全周に供給されることとな
り、次いで容器の内壁に沿って自然落下することによ
り、容器の内壁全体に拡散され、この後容器内に溜るこ
とになる。そして、容器の内壁全体に拡散された液状樹
脂の表面および容器内に溜った液状樹脂の表面に気泡が
発生すると、この発生した気泡が真空槽内との圧力差に
より弾けることにより、液状樹脂が脱泡されることにな
る。また、容器内に溜った液状樹脂は撹拌されるので、
液状樹脂中の再度の脱泡が促進されることになる。この
ように、有底円筒状の容器の内壁全体に拡散された液状
樹脂の表面およびこの容器内に溜った液状樹脂の表面に
発生した気泡を真空槽内との圧力差により弾けさせて脱
泡しているので、装置を大型化することなく、液状樹脂
の真空雰囲気と面する部分の表面積を大きくすることが
できる。
【０００９】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における液状樹脂
の脱泡装置の概略を示したものである。この図におい
て、図２と同一名称部分には同一の符号を付し、その説
明を適宜省略する。
の脱泡装置の概略を示したものである。この図におい
て、図２と同一名称部分には同一の符号を付し、その説
明を適宜省略する。
【００１０】この脱泡装置では、収納部材４の下面中央
部にモータ８が設けられている。モータ８の回転軸９
は、収納部材４の下板中央部を気密にかつ回転可能に貫
通して収納部材４の内部に突出されている。この突出さ
れた回転軸９の上端部には回転テーブル３１の下面中央
部が取り付けられている。そして、収納部材４内の回転
テーブル３１上に有底円筒状の容器３が収納されるよう
になっている。一方、撹拌羽根１０は、蓋５の内面中央
部に上端部を固定された固定軸３２の下端部に取り付け
られている。蓋５の上板の所定の個所には液状樹脂供給
パイプ３３が気密に貫装され、その一端部は蓋５の内部
に突出されている。液状樹脂供給パイプ３３の他端部に
はチューブ３４の一端部が連結されている。チューブ３
４には第４のバルブ３５が介在され、チューブ３４の他
端部は液状樹脂２を所定量注入された液状樹脂槽３６の
下面の所定の個所に連結されている。
部にモータ８が設けられている。モータ８の回転軸９
は、収納部材４の下板中央部を気密にかつ回転可能に貫
通して収納部材４の内部に突出されている。この突出さ
れた回転軸９の上端部には回転テーブル３１の下面中央
部が取り付けられている。そして、収納部材４内の回転
テーブル３１上に有底円筒状の容器３が収納されるよう
になっている。一方、撹拌羽根１０は、蓋５の内面中央
部に上端部を固定された固定軸３２の下端部に取り付け
られている。蓋５の上板の所定の個所には液状樹脂供給
パイプ３３が気密に貫装され、その一端部は蓋５の内部
に突出されている。液状樹脂供給パイプ３３の他端部に
はチューブ３４の一端部が連結されている。チューブ３
４には第４のバルブ３５が介在され、チューブ３４の他
端部は液状樹脂２を所定量注入された液状樹脂槽３６の
下面の所定の個所に連結されている。
【００１１】さて、この脱泡装置で液状樹脂２の脱泡を
行う場合には、まず、第１のバルブ１３、第３のバルブ
１６および第４のバルブ３５を閉じ、第２のバルブ１５
を開け、真空槽１内を大気圧の状態とし、この状態にお
いて固定手段７を外し、蓋５を取り外して収納部材４の
上部を開放する。この場合、蓋５と共に固定軸３２、撹
拌羽根１０および３本のパイプ１１、１８、３３が移動
される。次に、空の有底円筒状の容器３を収納部材４内
の回転テーブル３１上に収納する。次に、蓋５を収納部
材４の上部に取り付け、固定手段７で固定する。この状
態では、撹拌羽根１０および液状樹脂送出パイプ１８の
一端部が空の容器３内に配置され、また液状樹脂供給パ
イプ３３の一端部が空の容器３の内壁上部にほぼ接触さ
れる。
行う場合には、まず、第１のバルブ１３、第３のバルブ
１６および第４のバルブ３５を閉じ、第２のバルブ１５
を開け、真空槽１内を大気圧の状態とし、この状態にお
いて固定手段７を外し、蓋５を取り外して収納部材４の
上部を開放する。この場合、蓋５と共に固定軸３２、撹
拌羽根１０および３本のパイプ１１、１８、３３が移動
される。次に、空の有底円筒状の容器３を収納部材４内
の回転テーブル３１上に収納する。次に、蓋５を収納部
材４の上部に取り付け、固定手段７で固定する。この状
態では、撹拌羽根１０および液状樹脂送出パイプ１８の
一端部が空の容器３内に配置され、また液状樹脂供給パ
イプ３３の一端部が空の容器３の内壁上部にほぼ接触さ
れる。
【００１２】次に、第２のバルブ１５を閉じ、次いで第
１のバルブ１３を開けると、常時駆動している真空ポン
プ１４によって真空槽１内が減圧される。このとき、射
出器２０の内部には開閉可能な弁（図示せず）が設けら
れており、この弁は閉じておく。真空槽１内が所定の真
空度（例えば１〜１０Torr）に達したら、モータ８を駆
動させると共に、第４のバルブ３５を所定量だけ開け
る。モータ８が駆動すると、その回転軸９と共に回転テ
ーブル３１および空の容器３が回転する。また、第４の
バルブ３５が所定量だけ開けられると、真空槽１内が減
圧状態にあることにより、液状樹脂槽３６内の液状樹脂
２がチューブ３４および液状樹脂供給パイプ３３を介し
て真空槽１内の空の容器３の内壁上部に所定量ずつ供給
される。このとき、回転テーブル３１と共に容器３が回
転しているので、液状樹脂供給パイプ３３から供給され
る液状樹脂２は容器３の内壁上部の全周に供給され、次
いで容器３の内壁に沿って自然落下することにより、容
器３の内壁全体に拡散され、この後容器３内に溜ること
になる。そして、容器３の内壁全体に拡散された液状樹
脂２の表面および容器３内に溜った液状樹脂２の表面に
気泡が発生すると、この発生した気泡が真空槽１内との
圧力差により弾け、その後気泡内部に存在していた気体
が真空ポンプ１４によって排気されることにより、液状
樹脂２が脱泡される。また、容器３内に溜った液状樹脂
２は、回転テーブル３１と共に容器３が回転しているこ
とにより、撹拌羽根１０によって相対的に撹拌され、液
状樹脂２中の再度の脱泡が促進される。液状樹脂槽３６
から所要量の液状樹脂２が容器３に供給された後第４の
バルブ３５を閉じ、その後容器３内に溜った液状樹脂２
の表面に気泡が発生しなくなったら、その時点で所要量
の液状樹脂２の脱泡が終了したこととなる。この後、モ
ータ８を停止させて回転テーブル３１を停止させ、次い
で第１のバルブ１３を閉じ、第３のバルブ１６を開ける
と、圧縮気体供給源１７から供給される圧縮気体によっ
て真空槽１内が１．５〜２．０気圧程度に加圧され、大
気中との圧力差により容器３内の液状樹脂２が液状樹脂
送出パイプ１８およびチューブ１９を介して射出器２０
に供給される。その後、射出器２０の内部に設けられた
弁を開けることにより、電子部品（図示せず）に液状樹
脂２が塗布される。
１のバルブ１３を開けると、常時駆動している真空ポン
プ１４によって真空槽１内が減圧される。このとき、射
出器２０の内部には開閉可能な弁（図示せず）が設けら
れており、この弁は閉じておく。真空槽１内が所定の真
空度（例えば１〜１０Torr）に達したら、モータ８を駆
動させると共に、第４のバルブ３５を所定量だけ開け
る。モータ８が駆動すると、その回転軸９と共に回転テ
ーブル３１および空の容器３が回転する。また、第４の
バルブ３５が所定量だけ開けられると、真空槽１内が減
圧状態にあることにより、液状樹脂槽３６内の液状樹脂
２がチューブ３４および液状樹脂供給パイプ３３を介し
て真空槽１内の空の容器３の内壁上部に所定量ずつ供給
される。このとき、回転テーブル３１と共に容器３が回
転しているので、液状樹脂供給パイプ３３から供給され
る液状樹脂２は容器３の内壁上部の全周に供給され、次
いで容器３の内壁に沿って自然落下することにより、容
器３の内壁全体に拡散され、この後容器３内に溜ること
になる。そして、容器３の内壁全体に拡散された液状樹
脂２の表面および容器３内に溜った液状樹脂２の表面に
気泡が発生すると、この発生した気泡が真空槽１内との
圧力差により弾け、その後気泡内部に存在していた気体
が真空ポンプ１４によって排気されることにより、液状
樹脂２が脱泡される。また、容器３内に溜った液状樹脂
２は、回転テーブル３１と共に容器３が回転しているこ
とにより、撹拌羽根１０によって相対的に撹拌され、液
状樹脂２中の再度の脱泡が促進される。液状樹脂槽３６
から所要量の液状樹脂２が容器３に供給された後第４の
バルブ３５を閉じ、その後容器３内に溜った液状樹脂２
の表面に気泡が発生しなくなったら、その時点で所要量
の液状樹脂２の脱泡が終了したこととなる。この後、モ
ータ８を停止させて回転テーブル３１を停止させ、次い
で第１のバルブ１３を閉じ、第３のバルブ１６を開ける
と、圧縮気体供給源１７から供給される圧縮気体によっ
て真空槽１内が１．５〜２．０気圧程度に加圧され、大
気中との圧力差により容器３内の液状樹脂２が液状樹脂
送出パイプ１８およびチューブ１９を介して射出器２０
に供給される。その後、射出器２０の内部に設けられた
弁を開けることにより、電子部品（図示せず）に液状樹
脂２が塗布される。
【００１３】このように、この脱泡装置では、有底円筒
状の容器３の内壁全体に拡散された液状樹脂２の表面お
よび容器３内に溜つた液状樹脂２の表面に発生した気泡
を真空槽１内との圧力差により弾けさせて脱泡している
ので、装置を大型化することなく、液状樹脂２の真空雰
囲気と面する部分の表面積を大きくすることができ、し
かも容器３内に溜った液状樹脂２を撹拌して液状樹脂２
中の再度の脱泡を促進しているので、脱泡が終了するま
でに要する時間をかなり短縮することができ、ひいては
脱泡処理効率をかなり良くすることができる。
状の容器３の内壁全体に拡散された液状樹脂２の表面お
よび容器３内に溜つた液状樹脂２の表面に発生した気泡
を真空槽１内との圧力差により弾けさせて脱泡している
ので、装置を大型化することなく、液状樹脂２の真空雰
囲気と面する部分の表面積を大きくすることができ、し
かも容器３内に溜った液状樹脂２を撹拌して液状樹脂２
中の再度の脱泡を促進しているので、脱泡が終了するま
でに要する時間をかなり短縮することができ、ひいては
脱泡処理効率をかなり良くすることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、有底円筒状の容器の内壁全体に拡散された液状樹脂
の表面および容器内に溜った液状樹脂の表面に発生した
気泡を真空槽内との圧力差により弾けさせて脱泡してい
るので、装置を大型化することなく、液状樹脂の真空雰
囲気と面する部分の表面積を大きくすることができ、し
かも容器内に溜った液状樹脂を撹拌して液状樹脂中の再
度の脱泡を促進しているので、脱泡が終了するまでに要
する時間をかなり短縮することができ、ひいては脱泡処
理効率をかなり良くすることができる。
ば、有底円筒状の容器の内壁全体に拡散された液状樹脂
の表面および容器内に溜った液状樹脂の表面に発生した
気泡を真空槽内との圧力差により弾けさせて脱泡してい
るので、装置を大型化することなく、液状樹脂の真空雰
囲気と面する部分の表面積を大きくすることができ、し
かも容器内に溜った液状樹脂を撹拌して液状樹脂中の再
度の脱泡を促進しているので、脱泡が終了するまでに要
する時間をかなり短縮することができ、ひいては脱泡処
理効率をかなり良くすることができる。
【図１】この発明の一実施例における液状樹脂の脱泡装
置の概略断面図。
置の概略断面図。
【図２】従来の液状樹脂の脱泡装置の一例の概略断面
図。
図。
１ 真空槽 ２ 液状樹脂 ３ 容器 ８ モータ １０ 撹拌羽根 １４ 真空ポンプ ３１ 回転テーブル ３３ 液状樹脂供給パイプ ３６ 液状樹脂槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/56 Ｈ０１Ｌ 21/56 Ｔ // Ｂ０５Ｄ 3/00 Ｂ０５Ｄ 3/00 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】 減圧された真空槽内において、底面近傍
に攪拌羽根を配置した状態で有底円筒状の容器を回転さ
せ、この状態で前記容器の内壁上部に液状樹脂を供給す
ると共に該内壁に沿って自然落下した後、前記容器と前
記攪拌羽根の相対的な回転により前記容器内に溜った液
状樹脂を撹拌して前記液状樹脂中の気泡を脱泡すること
を特徴とする液状樹脂の脱泡方法。 - 【請求項２】 真空槽と、前記真空槽内を減圧する減圧
手段と、前記真空槽内に配置された回転テーブルと、前
記回転テーブルを回転させる回転手段と、前記回転テー
ブル上に載置される有底円筒状の容器と、前記真空槽内
に配置され、前記回転テーブル上に載置された前記容器
の内部を撹拌するための撹拌羽根と、前記回転テーブル
上に載置された前記容器の内壁上部に液状樹脂を前記真
空槽の外部から供給する液状樹脂供給手段とを具備し、
前記減圧手段によって前記真空槽内が減圧され、前記回
転手段によって前記回転テーブルがこれに載置された前
記容器と共に回転され、この状態で前記液状樹脂供給手
段によって液状樹脂を前記容器の内壁上部に供給すると
共に該内壁に沿って落下した後、前記容器と前記攪拌羽
根の相対的な回転により前記容器内に溜った液状樹脂を
撹拌して前記液状樹脂中の気泡を脱泡することを特徴と
する液状樹脂の脱泡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03128792A JP3259309B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 液状樹脂の脱泡方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03128792A JP3259309B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 液状樹脂の脱泡方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200203A JPH05200203A (ja) | 1993-08-10 |
| JP3259309B2 true JP3259309B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=12327095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03128792A Expired - Fee Related JP3259309B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 液状樹脂の脱泡方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3259309B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100702795B1 (ko) * | 2006-05-03 | 2007-04-03 | 주식회사 포스코 | 가변 흡입배관 및 침전물 배출수단을 구비한 순환탱크 |
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-
1992
- 1992-01-23 JP JP03128792A patent/JP3259309B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05200203A (ja) | 1993-08-10 |
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