JPS61111130A - 液体の混合方法及び装置 - Google Patents

液体の混合方法及び装置

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JPS61111130A
JPS61111130A JP59230088A JP23008884A JPS61111130A JP S61111130 A JPS61111130 A JP S61111130A JP 59230088 A JP59230088 A JP 59230088A JP 23008884 A JP23008884 A JP 23008884A JP S61111130 A JPS61111130 A JP S61111130A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liq
liquid
container
mixing
pressure atmosphere
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59230088A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromasa Tsukamoto
塚本 宏正
Masayuki Saito
昌幸 斎藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd, Miyazaki Oki Electric Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication of JPS61111130A publication Critical patent/JPS61111130A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/70Mixers specially adapted for working at sub- or super-atmospheric pressure, e.g. combined with de-foaming

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、液体の混合方法及び装置に関し、詳しくは
、比較的粘度の高い液体を2種以上混合する方法及び装
置に関するものである。
(従来の技術) で 半導体集積回路装置の製造工程に於いマシリコン表面に
形成された素子群を有害な外部雰囲気から保護する為に
ポリイミド系、エポキシ系或はシリコン系の樹脂を保護
膜として塗布することがしばし′ば行われる。これらの
樹脂は、硬化剤を添加して用いられることが少くなくな
い。通常2種以上の樹脂の混合は、攪拌及び脱泡作業を
伴うが、特に脱泡作業は極めて厄介である。それは混合
を均一にする為に攪拌を充分行うが、この攪拌は通常大
気中で行う為、多量の空気が樹脂中に混入する。混入し
た空気は樹脂中に内在する。表面に位・置する気泡は硬
化時に破裂し、ビイドと称する欠けが発生する為、脱泡
作業は、第2図に示す装置によって行われる。即ち第2
図は従来の脱泡装置の模式図であり、デシケータ1は、
内部を減圧にするための真空ポンプ2と、開閉弁3及び
4を備える。デシケータ1は、内部に2種以上の樹脂が
混合され多量の気泡が内在した被脱泡物5を収納し取出
す為の図示しない扉を有する。
(発明が解決しようとする問題点) さて、デシケータ1内に被脱泡物5を収納する容器6を
配置し、開閉弁3を開き真空ポンプ2を駆動することに
よシ、デシケータ1内が徐々に減圧となシ、被脱泡物5
中に内在した気泡7が気圧差によシ押出され脹らんで弾
けるが、多量に気泡が混入している場合や、脱泡作業の
初期は、気泡7によυ樹脂が容器6からあふれ出る為開
閉弁4を開き、大気を導入してデシケータ1内を適当な
圧力に保つべく前記開閉弁4を高頻度で操作する必要が
生ずる。この開閉弁4の繰返し操作は、樹脂中に混入し
た気泡つ多少により或は繰返し回数の増加に伴って開閉
時間のインターバルが異るため通常、透明なデシケータ
1内の被脱泡物5の脱泡状態を観察しながら行う、いわ
ゆる人手作業となる。又容器6から樹脂が流出しない程
度の圧力になるべく開閉弁3及び4を初期に固定する方
法も試みられているが、脱泡時間が徒らに長くなつたシ
、脱泡が不充分となったシしていずれも効率的な脱泡が
行い得ない。
(問題を解決する為の手段) 従ってこの発明は、2種以上の比較的粘度の高い液体を
混合し、混入した気泡を除去するに際し、この混合の為
の攪拌を減圧雰囲気中で行うと共に脱泡を攪拌とほぼ同
時に行うものである。
(作用) この発明の特徴的な作用は、2種以上の比較的粘度の高
い液体を減圧雰囲気中で攪拌・混合することによシ液体
中への気泡の混入を制限させるものである。
(実施例) 第1図はこの発明方法のフロー図、第2図はこの発明装
置の模式図である。
まず第1図に従いこの発明方法を説明すると、  1混
合すべき液体を少なくとも2種類準備する段階、そして
この少なくとも2種類の液体を減圧雰囲気下で一緒にす
る段階、そして減圧雰囲気を保ちながら攪拌し、脱泡す
る段階を含む。この方法に供される液体は比較的粘度の
高い液体、例えばエポキシ系樹脂と、その硬化剤のよう
な組合せに利用できる。粘度の高い液体は混合、攪拌を
充分行う必要があること及び一旦混入した気泡は、大気
圧中では殆んど除去されずに液体中に内在してしまうか
らである。この方法に於ける減圧雰囲気は750〜76
0mmHg程度あれば良いが、混合する液体の粘度によ
シその真空度は下方に又は上方に適宜選択すれば良い。
次に第2図を用いてこの発明装置を説明する。
尚第2図の装置の説明に付随して前述した方法について
も記述するのでよシ理解を深められよう。
さて、容器10は上部にA液供給部11、B液供給部1
2及び真空ポンプ13に連通する開孔部11a、12a
、13aを有し、その途中には各各間閉弁14,15及
び16を有する。更に前記容器1θの上部には、モータ
17が設置され、回転軸18の先端部には攪拌翼19が
設置されている。容器10の下部には、攪拌によりA液
及びB液の混合及び脱泡が終了した混合液を取出す排出
孔20及び開閉弁21が設置されている。更に図示して
いないが容器10の上部には減圧雰囲気を大気圧に戻す
為のり−フ弁及び容器10内の混合液を排出する為の加
圧弁が設置されている。又必要に応じてC液供給部、D
液供給部・・・n液供給部を増設すれば良いが、この実
施例に於ては説明の便宜上A及びB液のみにとどめであ
る。又攪拌機構として、モータ17、回転軸18及び攪
拌翼19として例示しであるが、混合する液体の粘度が
低ければ磁性体を容器10内に配量し、下部から磁石を
回転させる攪拌機構も採用することが可能でbる。との
様な機構は密封性を考慮することがないから有利な場合
もある。
次にこの発明装置の動作について述べると、A液供給部
11にはA液をB液供給部12にはB液を収容する。こ
の時開閉弁14,15.21を閉じておく。又図示しな
いリーフ弁及び加圧弁も閉じておくことは言うまでもな
い。次に真空ポンプ13を、駆動するに先立って開閉弁
16を開き容器10内を排気し、M定の減圧雰囲気が得
られだら前記弁14及び15を開きA液及びB液を所定
の割合で容器10内に導入する。定量のA液及びB液が
導入されたら前記弁14及び15を閉じ、モータ17を
駆動させて攪拌翼19にょ9h液及びB液を攪拌する。
この攪拌は減圧雰囲気を保ちながら行うのでA液及びB
液に初期状態で混入している気泡が脹らんで弾け、脱泡
される。所定の時間攪拌され、脱泡されたA液とB液と
の混合液は弁16を閉じ、図示しないリーク弁を開き容
器lO内を大気圧に戻した後、弁21を開くことによシ
容器10外に導出される。この混合液の導出は、図示し
ない加圧弁を開き容器10内を陽圧にすると容易に出せ
る。開閉弁21の先、即ち省略された部分にディスペン
サなど定量排出装置を接続した場合には、加圧力及び加
圧時間などを制御するための付加装置を並設することが
できる。
1  (発明の効果) 以上詳細に説明した様にこの発明方法及び装置は、混合
、攪拌時に液体中に混入される気泡を罹力制限する為に
減圧雰囲気中で行い且つ減圧雰囲気を保った状態で攪拌
と同時に脱泡を行い得るの・で、混合液中に混入する気
泡が少なく、所要時間も短縮することができる。又攪拌
・混合と脱泡をほぼ同時に自動化して行い得ることが出
来、長時間観察しながら行う人手作業から開放されるな
ど多くの利益を生むものである。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の脱泡方法のフローチャートであシ、
第2図はこの発明の脱泡装置の好ましい実施例を示す模
式図である。第3図は従来の脱泡方法及び装置を説明す
る為の説明図である。 10・・・容器、11・・・A液供給部、12・・・B
液供給部、11a、12a、13a・・・開孔部、14
゜15.16.21・・・開閉弁、17・・・モータ、
18・・・回転軸、19・・・攪拌翼、20・・・排出
孔。 特許出願人  沖電気工業株式会社 手続補正書(自発) 1 事件の表示 昭和59年 特 許 願第230088号2、発明の名
称 液体の混合方法及び装置 3 補正をする者 事件との関係       特 許 出 瀬 人任 所
(〒105)  東京都港区虎ノ門1丁目7番12号住
 所(〒105)  東京都港区虎ノ門1丁目7香12
号6、補正の内容 1、 明細書第2頁第16行目と第17行目に「第2図
」とあるのを「第3図」と補正する。 2 同書第3頁第15行目に「インター・マルが異る」
とあるのを「インクーノ<ルが異なる」と補正する。 3 第6頁第3行目と第17行目に「リーフ弁」とある
のを「リーク弁」と補正する。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)少なくとも一方が比較的粘度の高い液体を少なく
    とも2種類準備する段階と、これらの液体を減圧雰囲気
    下で一緒にする段階と、減圧雰囲気を保ちながら一緒に
    した前記液体を撹拌し脱泡する段階とを含む液体の混合
    方法。
  2. (2)少なくとも一方が比較的粘度の高い液体を少なく
    とも2種類収納し得る内容積をもつ容器と、この容器内
    に前記液体を個別に供給するn個(nは2以上の自然数
    )の液体供給装置と、前記容器内を排気する排気装置と
    、前記容器に収納された液体を攪拌する攪拌装置と、前
    記液体の混合液を排出する排出孔とを有する事を特徴と
    する液体の混合装置。
JP59230088A 1984-11-02 1984-11-02 液体の混合方法及び装置 Pending JPS61111130A (ja)

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