JP3253397B2 - プリント回路基板の検査のための方法および装置 - Google Patents
プリント回路基板の検査のための方法および装置Info
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主にプリント回路基板の
検査用システムに関し、特に、高速で連続した検査領域
を解析するための改良されたシステムに関する。
検査用システムに関し、特に、高速で連続した検査領域
を解析するための改良されたシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】当業者において周知のように、プリント
回路基板は電気部品を所定の様式で取り付けたり、電気
的に相互接続したりするために用いられる。また、この
ようなプリント回路基板は、可能な限り、自動化された
組立装置によって機械的に構成され、当該プリント回路
基板を手動で組立てる場合に必要となる高い製造コスト
をできるだけ低減しようとしている。しかし、このよう
な自動化された組立技術では、全体的なコストが低減さ
れる一方で、部品やリード線若しくはピンの不適性な挿
入等の欠陥、並びに、それに続くはんだ付けのプロセス
における欠陥がある限界数程度ではあるが発生すること
が知られている。
回路基板は電気部品を所定の様式で取り付けたり、電気
的に相互接続したりするために用いられる。また、この
ようなプリント回路基板は、可能な限り、自動化された
組立装置によって機械的に構成され、当該プリント回路
基板を手動で組立てる場合に必要となる高い製造コスト
をできるだけ低減しようとしている。しかし、このよう
な自動化された組立技術では、全体的なコストが低減さ
れる一方で、部品やリード線若しくはピンの不適性な挿
入等の欠陥、並びに、それに続くはんだ付けのプロセス
における欠陥がある限界数程度ではあるが発生すること
が知られている。
【０００３】このような種類の組立不良の位置を確認す
る処理ステップは、製造プロセスの所望の段階において
各プリント回路基板の目視検査を通して、オペレータの
目若しくは実体顕微鏡等によって行われていた。しかし
ながら、このような操作は大変手間や費用がかかり、さ
らに、精度の劣るものであったので、当該回路基板の検
査には上記のような目視検査に代わって自動化されたシ
ステムによる処理が採用されるようになった。
る処理ステップは、製造プロセスの所望の段階において
各プリント回路基板の目視検査を通して、オペレータの
目若しくは実体顕微鏡等によって行われていた。しかし
ながら、このような操作は大変手間や費用がかかり、さ
らに、精度の劣るものであったので、当該回路基板の検
査には上記のような目視検査に代わって自動化されたシ
ステムによる処理が採用されるようになった。
【０００４】この種の一般的な装置の例としては、ニュ
ージャージ、プリンストンのコントロールオートメーシ
ョン社（Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｉｎ
ｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ）によって製造される回路基板検
査システムモデル５５１１、モデル５５１２、モデル５
５１５、モデル５５１６およびモデル５５１７等が挙げ
られる。これらの検査装置は、一般に、プリント回路基
板に対して制御動作が実行可能な据付部分（検査ヘッ
ド）内に取り付けられた一連のカメラを備えている。な
お、該検査ヘッドは、マイクロプロッセッサによる解析
のための画像を得るために、被検査体であるプリント回
路基板の表面に沿う連続した検査領域（典型的には１イ
ンチ毎の領域）をシーケンス毎に進行する様式ものであ
り、また、当該プリント回路基板の表面に沿って連続的
に進行する様式のものでもある。その後、検出された欠
陥はすべてオペレータに報知され、適当な補正がなされ
るようになっている。
ージャージ、プリンストンのコントロールオートメーシ
ョン社（Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｉｎ
ｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ）によって製造される回路基板検
査システムモデル５５１１、モデル５５１２、モデル５
５１５、モデル５５１６およびモデル５５１７等が挙げ
られる。これらの検査装置は、一般に、プリント回路基
板に対して制御動作が実行可能な据付部分（検査ヘッ
ド）内に取り付けられた一連のカメラを備えている。な
お、該検査ヘッドは、マイクロプロッセッサによる解析
のための画像を得るために、被検査体であるプリント回
路基板の表面に沿う連続した検査領域（典型的には１イ
ンチ毎の領域）をシーケンス毎に進行する様式ものであ
り、また、当該プリント回路基板の表面に沿って連続的
に進行する様式のものでもある。その後、検出された欠
陥はすべてオペレータに報知され、適当な補正がなされ
るようになっている。
【０００５】さらに、このような装置は、選択的に制御
可能な光源に基づいて動作する４方向に向けられ、か
つ、直交状態に配置された一連のカメラを内蔵する操作
ヘッドを備えることによって当該検査処理の精度を高め
るように動作する。すなわち、このような光源を伴う一
連のカメラの選択的制御により、はんだ付けによる接合
部の検証とともに、当該はんだ付け処理の前後における
部品（およびそれらのリード線若しくはピン）の位置の
検証を含む種々の検査が可能になる。
可能な光源に基づいて動作する４方向に向けられ、か
つ、直交状態に配置された一連のカメラを内蔵する操作
ヘッドを備えることによって当該検査処理の精度を高め
るように動作する。すなわち、このような光源を伴う一
連のカメラの選択的制御により、はんだ付けによる接合
部の検証とともに、当該はんだ付け処理の前後における
部品（およびそれらのリード線若しくはピン）の位置の
検証を含む種々の検査が可能になる。
【０００６】当初、このような検査処理は検査ヘッド
（若しくはプリント回路基板）を連続的な検査領域にお
いてシーケンス毎に進行させる方式により、検査画像を
得るべく、上記一連のカメラおよびこれに付属の光源を
選択的に動作して行われていた。その後、主として回路
基板の検査速度を高める目的のために、当該検査処理は
検査ヘッド（若しくはプリント回路基板）をその連続す
る検査領域において連続的に進行させる方式により、検
査のための画像を得るべく、上記付属の光源システムを
選択的に動作して行われるようになった。しかしなが
ら、このような改善手段においても、主として使用され
るビデオシステムに付随する制限により、回路基板に対
する可能な検査速度の点において、ある程度の制約がま
だ余儀ないものとされていた。
（若しくはプリント回路基板）を連続的な検査領域にお
いてシーケンス毎に進行させる方式により、検査画像を
得るべく、上記一連のカメラおよびこれに付属の光源を
選択的に動作して行われていた。その後、主として回路
基板の検査速度を高める目的のために、当該検査処理は
検査ヘッド（若しくはプリント回路基板）をその連続す
る検査領域において連続的に進行させる方式により、検
査のための画像を得るべく、上記付属の光源システムを
選択的に動作して行われるようになった。しかしなが
ら、このような改善手段においても、主として使用され
るビデオシステムに付随する制限により、回路基板に対
する可能な検査速度の点において、ある程度の制約がま
だ余儀ないものとされていた。
【０００７】すなわち、上記プリント回路基板について
の連続的検査処理の動作には、走査処理、フレーム記憶
処理および検査処理を実行する３種類の連続した機能を
達成し得るに要する処理速度での、任意の方向の基板走
査処理が含まれている。このような、いわゆる「パイプ
ライン処理」と称される技法は、主に、当該処理におけ
る走査段階でのビデオカメラによるビデオ画像の撮像速
度によって制約を受ける。このことの主な理由は、従来
の（カメラおよびモニタ上の表示のための）ビデオフォ
ーマット処理が特定の帯域幅において動作して、「飛び
越された」画像を展開するため、フレームからフレーム
に移る画像の変化が肉眼で見知しにくいためである。こ
の結果、通常ビデオ画像から成る一連の線は交流の状態
で挙動し、当該交流線の第１の部分（一般に「奇数番目
の領域」と称される）が得られかつ／または処理され
る。次いで、該交流状態の飛越し線の第２の部分（「偶
数番目の領域」と称される）が得られかつ／または処理
される。それゆえ、次の処理のための完全なフレームを
展開するためには、ビデオ画像の領域（偶数番目／奇数
番目）を連続的に組み合わせる必要があり、さらに、こ
れらの処理をすべて当該システムの動作帯域幅内におい
て実行しなければならない。
の連続的検査処理の動作には、走査処理、フレーム記憶
処理および検査処理を実行する３種類の連続した機能を
達成し得るに要する処理速度での、任意の方向の基板走
査処理が含まれている。このような、いわゆる「パイプ
ライン処理」と称される技法は、主に、当該処理におけ
る走査段階でのビデオカメラによるビデオ画像の撮像速
度によって制約を受ける。このことの主な理由は、従来
の（カメラおよびモニタ上の表示のための）ビデオフォ
ーマット処理が特定の帯域幅において動作して、「飛び
越された」画像を展開するため、フレームからフレーム
に移る画像の変化が肉眼で見知しにくいためである。こ
の結果、通常ビデオ画像から成る一連の線は交流の状態
で挙動し、当該交流線の第１の部分（一般に「奇数番目
の領域」と称される）が得られかつ／または処理され
る。次いで、該交流状態の飛越し線の第２の部分（「偶
数番目の領域」と称される）が得られかつ／または処理
される。それゆえ、次の処理のための完全なフレームを
展開するためには、ビデオ画像の領域（偶数番目／奇数
番目）を連続的に組み合わせる必要があり、さらに、こ
れらの処理をすべて当該システムの動作帯域幅内におい
て実行しなければならない。
【０００８】このため、３３．３ミリ秒という時間が、
次の記憶処理および検査処理（偶数番および奇数番の領
域をそれぞれ処理するために１６．７ミリ秒を許容す
る）に対して、ビデオ情報の単一フレームを展開するた
めに一般的に必要となる。現存する装置によってプリン
ト回路基板が検査できる速度はビデオ画像が得られる速
度（すなわち、３３．３ミリ秒間隔）に対応して制限さ
れる。このことにより、従来の検査領域（通常、１イン
チ×１インチ）の場合、回路基板が検査できる速度は１
秒当たり約１５インチに制限される。この理由は、当該
検査装置に付随する上記一連のカメラにより得られる視
野が（異なる露光様式を伴うカメラの対の場合）５０％
ずつ重なっているからである。この結果、当該検査ヘッ
ドは（カメラの各対に対して）３３．３ミリ秒の間に１
／２インチ若しくは１秒間に１５インチ移動しなければ
ならない。
次の記憶処理および検査処理（偶数番および奇数番の領
域をそれぞれ処理するために１６．７ミリ秒を許容す
る）に対して、ビデオ情報の単一フレームを展開するた
めに一般的に必要となる。現存する装置によってプリン
ト回路基板が検査できる速度はビデオ画像が得られる速
度（すなわち、３３．３ミリ秒間隔）に対応して制限さ
れる。このことにより、従来の検査領域（通常、１イン
チ×１インチ）の場合、回路基板が検査できる速度は１
秒当たり約１５インチに制限される。この理由は、当該
検査装置に付随する上記一連のカメラにより得られる視
野が（異なる露光様式を伴うカメラの対の場合）５０％
ずつ重なっているからである。この結果、当該検査ヘッ
ドは（カメラの各対に対して）３３．３ミリ秒の間に１
／２インチ若しくは１秒間に１５インチ移動しなければ
ならない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の主た
る目的はプリント回路基板を高速で検査するための方法
および装置を提供することである。
る目的はプリント回路基板を高速で検査するための方法
および装置を提供することである。
【００１０】また、本発明の他の目的は現存のビデオカ
メラおよびビデオ処理システムを使用してプリント回路
基板を高速で検査するための方法および装置を提供する
ことである。
メラおよびビデオ処理システムを使用してプリント回路
基板を高速で検査するための方法および装置を提供する
ことである。
【００１１】また、本発明のさらに他の目的はプリント
回路基板を高速で検査し、かつ、当該検査速度が、ビデ
オ画像を処理し表示するために必要なフォーマット処理
を維持しながら、実質的に２倍にできる方法および装置
を提供することである。
回路基板を高速で検査し、かつ、当該検査速度が、ビデ
オ画像を処理し表示するために必要なフォーマット処理
を維持しながら、実質的に２倍にできる方法および装置
を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】なお、プリント回路基板
の移送速度を２倍にしたり、得られたビデオ画像が当該
速度の変化に対応するように処理内容を修正したプリン
ト回路基板の検査方法および装置を提供することによ
り、本発明のこれらの目的および他の目的が達成され
る。概ね、このような修正には、処理されるフレームを
得るための同期処理における修正と、単一フレームにお
ける複数の画像の捕捉を避けるために得られる画像に対
して行われるビデオカメラの選択的な露光処理（すなわ
ち、シャッター処理）とを含む、現存のビデオ処理シス
テムについての２種類の修正が含まれる。ビデオ画像
は、一旦得られると、現存のプリント回路基板検査装置
によってこれまで用いられてきたものに実質的に相当す
る技術を利用して記憶されかつ処理される。
の移送速度を２倍にしたり、得られたビデオ画像が当該
速度の変化に対応するように処理内容を修正したプリン
ト回路基板の検査方法および装置を提供することによ
り、本発明のこれらの目的および他の目的が達成され
る。概ね、このような修正には、処理されるフレームを
得るための同期処理における修正と、単一フレームにお
ける複数の画像の捕捉を避けるために得られる画像に対
して行われるビデオカメラの選択的な露光処理（すなわ
ち、シャッター処理）とを含む、現存のビデオ処理シス
テムについての２種類の修正が含まれる。ビデオ画像
は、一旦得られると、現存のプリント回路基板検査装置
によってこれまで用いられてきたものに実質的に相当す
る技術を利用して記憶されかつ処理される。
【００１３】
【実施例】本発明に基づいて構成された方法および装置
のさらなる理解のために、これらの好ましい実施例を添
付図面に基づいて以下詳細に説明する。なお、当該図面
中における同一参照番号は同一の構造を示すものであ
る。
のさらなる理解のために、これらの好ましい実施例を添
付図面に基づいて以下詳細に説明する。なお、当該図面
中における同一参照番号は同一の構造を示すものであ
る。
【００１４】図１は本発明に基づくプリント回路基板
（図示せず）の検査装置１０を概略的に示している。当
該装置１０は一般に検査ヘッド１１を含んでおり、当該
ヘッドは種々の周知のサーボモータ制御のいずれかを使
用するＸ−Ｙテーブル（参照番号１２によって概略的に
示されている）によって定まる平面内において所定の動
作をするように支持されている。さらに、該検査ヘッド
１１は複数のテレビ若しくはビデオカメラ１３，１４，
１５，１６と、プリント回路基板上の領域を選択的に照
らすための照明の据付板２０とを含んでおり、当該ビデ
オカメラ１３，１４，１５，１６によって適当な画像が
得られるようになっている。なお、当該装置１０の基本
構造についての詳細、その種々の部品および動作の態様
は米国特許第５０６００６５号公報により参照すること
ができる。
（図示せず）の検査装置１０を概略的に示している。当
該装置１０は一般に検査ヘッド１１を含んでおり、当該
ヘッドは種々の周知のサーボモータ制御のいずれかを使
用するＸ−Ｙテーブル（参照番号１２によって概略的に
示されている）によって定まる平面内において所定の動
作をするように支持されている。さらに、該検査ヘッド
１１は複数のテレビ若しくはビデオカメラ１３，１４，
１５，１６と、プリント回路基板上の領域を選択的に照
らすための照明の据付板２０とを含んでおり、当該ビデ
オカメラ１３，１４，１５，１６によって適当な画像が
得られるようになっている。なお、当該装置１０の基本
構造についての詳細、その種々の部品および動作の態様
は米国特許第５０６００６５号公報により参照すること
ができる。
【００１５】次いで、図２では、上記カメラ１３，１
４，１５，１６によって得られた画像が信号線２１，２
２，２３，２４にそれぞれ分配される電気的信号（ビデ
オ出力）に変換される。さらに、該ビデオ出力２１，２
２，２３，２４は、当該ビデオ信号を次の処理のために
受け取りかつ一時的に記憶する一連のフレーム記憶ユニ
ット２５，２６，２７，２８に連絡している。このた
め、該フレーム記憶ユニット２５，２６，２７，２８は
情報バス３１を介して中央処理ユニット２９，３０に接
続している。この結果、カメラ１３，１４，１５，１６
によって得られ、かつ、フレーム記憶ユニット２５，２
６，２７，２８に記憶される画像は中央処理ユニット２
９，３０によって選択的にアクセスすることができ、さ
らに、所望の状態に処理することが可能である。なお、
これらの構成要素を供給する手段および得られる情報を
処理する手段は、類似の構成要素並びに処理技法を採用
する従来の回路基板検査装置において周知のものであ
る。従って、これら構成要素についての詳細な説明は、
当該要素と本発明の改良点との相互作用以外は、本発明
をさらに理解する上で特に必要とするものではない。
４，１５，１６によって得られた画像が信号線２１，２
２，２３，２４にそれぞれ分配される電気的信号（ビデ
オ出力）に変換される。さらに、該ビデオ出力２１，２
２，２３，２４は、当該ビデオ信号を次の処理のために
受け取りかつ一時的に記憶する一連のフレーム記憶ユニ
ット２５，２６，２７，２８に連絡している。このた
め、該フレーム記憶ユニット２５，２６，２７，２８は
情報バス３１を介して中央処理ユニット２９，３０に接
続している。この結果、カメラ１３，１４，１５，１６
によって得られ、かつ、フレーム記憶ユニット２５，２
６，２７，２８に記憶される画像は中央処理ユニット２
９，３０によって選択的にアクセスすることができ、さ
らに、所望の状態に処理することが可能である。なお、
これらの構成要素を供給する手段および得られる情報を
処理する手段は、類似の構成要素並びに処理技法を採用
する従来の回路基板検査装置において周知のものであ
る。従って、これら構成要素についての詳細な説明は、
当該要素と本発明の改良点との相互作用以外は、本発明
をさらに理解する上で特に必要とするものではない。
【００１６】本発明によれば、Ｘ−Ｙテーブル１２の移
送速度を２倍にすること、およびビデオ画像を得るため
の処理を修正することとによって、回路基板の検査速度
を実質的に２倍にする処理段階が採用される。従って、
従来周知の技法による典型的な１インチ×１インチの検
査領域測定における解析では、当該Ｘ−Ｙテーブル１２
が、カメラ１３，１５の動作中において３３．３ミリ秒
の間に０．５インチ横移動することになり、その後、カ
メラ１４，１６（これらは５０％重なっている）の動作
中において（さらに３３．３ミリ秒の間に）さらに０．
５インチ移動することになる。このことにより、当該移
送速度は１秒あたり約１５インチとなる。さらに、この
時間間隔中において、記憶処理および次の処理のための
画像を得るためにいくつかの処理段階が採用され、従来
のビデオカメラを使用するビデオ画像を得るために要す
るタイミング処理にかけられる。一方、本発明によれ
ば、上記移送速度は２倍になり、１秒当たり約３０イン
チになる。しかしながら、このことはビデオ画像を得る
ために使用される時間を１／２、すなわち、約１６．７
ミリ秒に縮小する効果を有する。従って、このことは使
用されるビデオ処理機構全体の修正を必要とする。
送速度を２倍にすること、およびビデオ画像を得るため
の処理を修正することとによって、回路基板の検査速度
を実質的に２倍にする処理段階が採用される。従って、
従来周知の技法による典型的な１インチ×１インチの検
査領域測定における解析では、当該Ｘ−Ｙテーブル１２
が、カメラ１３，１５の動作中において３３．３ミリ秒
の間に０．５インチ横移動することになり、その後、カ
メラ１４，１６（これらは５０％重なっている）の動作
中において（さらに３３．３ミリ秒の間に）さらに０．
５インチ移動することになる。このことにより、当該移
送速度は１秒あたり約１５インチとなる。さらに、この
時間間隔中において、記憶処理および次の処理のための
画像を得るためにいくつかの処理段階が採用され、従来
のビデオカメラを使用するビデオ画像を得るために要す
るタイミング処理にかけられる。一方、本発明によれ
ば、上記移送速度は２倍になり、１秒当たり約３０イン
チになる。しかしながら、このことはビデオ画像を得る
ために使用される時間を１／２、すなわち、約１６．７
ミリ秒に縮小する効果を有する。従って、このことは使
用されるビデオ処理機構全体の修正を必要とする。
【００１７】例えば、本発明の方法および装置によって
設定されるビデオ処理の間隔が１／２に減少しても、そ
れ以外の従来のビデオカメラに伴われるビデオ処理間隔
がそれらの通常の速度に保たれる。このことにより、当
該ビデオカメラ１３，１４，１５，１６は対向する（偶
数番目／奇数番目）領域においてそれぞれ動作する必要
がある。それゆえ、カメラ１３，１５が偶数番目の領域
において動作している間に、カメラ１４，１６が奇数番
目の領域で動作し、また、その逆もあり得る。しかしな
がら、生成されるビデオ信号を好適に処理するために
は、上記照明据付板２０が、当該カメラの各々がそれら
の奇数番目の領域内に存する間に点灯されることが必要
である。また、カメラ１３，１５とカメラ１４，１６と
がそれぞれ互いに１８０°ずつ（すなわち、１６．７ミ
リ秒ずつ）位相がずれているので、当該タイミングを補
正するための処理段階を備える必要がある。本発明にお
いては、この処理を、カメラ１４，１６のカメラ１３，
１５に対する水平同期を水平線の１／２だけ遅延するこ
とによって実行している。
設定されるビデオ処理の間隔が１／２に減少しても、そ
れ以外の従来のビデオカメラに伴われるビデオ処理間隔
がそれらの通常の速度に保たれる。このことにより、当
該ビデオカメラ１３，１４，１５，１６は対向する（偶
数番目／奇数番目）領域においてそれぞれ動作する必要
がある。それゆえ、カメラ１３，１５が偶数番目の領域
において動作している間に、カメラ１４，１６が奇数番
目の領域で動作し、また、その逆もあり得る。しかしな
がら、生成されるビデオ信号を好適に処理するために
は、上記照明据付板２０が、当該カメラの各々がそれら
の奇数番目の領域内に存する間に点灯されることが必要
である。また、カメラ１３，１５とカメラ１４，１６と
がそれぞれ互いに１８０°ずつ（すなわち、１６．７ミ
リ秒ずつ）位相がずれているので、当該タイミングを補
正するための処理段階を備える必要がある。本発明にお
いては、この処理を、カメラ１４，１６のカメラ１３，
１５に対する水平同期を水平線の１／２だけ遅延するこ
とによって実行している。
【００１８】この目的のために、カメラ１３に付属して
マスタ−フレーム記憶ユニットとして機能するフレーム
記憶ユニット２５から得られる水平同期信号３６が、カ
メラ１４，１６に付属するフレーム記憶ユニット２７，
２８に供給される前に遅延される。さらに、この処理は
所望の１／２水平線遅延を設定するために形成された遅
延回路３５によって行われる。
マスタ−フレーム記憶ユニットとして機能するフレーム
記憶ユニット２５から得られる水平同期信号３６が、カ
メラ１４，１６に付属するフレーム記憶ユニット２７，
２８に供給される前に遅延される。さらに、この処理は
所望の１／２水平線遅延を設定するために形成された遅
延回路３５によって行われる。
【００１９】従って、図示のように、マスターフレーム
記憶ユニット２５から送られる水平同期信号３６（第１
同期信号）はフレーム記憶ユニット２６と連結してお
り、かつ、当該カメラ１３，１５にそれぞれ付属のフレ
ーム記憶ユニット２５，２６が同期状態で保持されてい
る。一方、フレーム記憶ユニット２７，２８にそれぞれ
対する水平同期信号３８，３９（第２同期信号）はまず
遅延回路３５の作用を受け、その後、カメラ１４，１６
（これらはフレーム記憶ユニット２７，２８にそれぞれ
付属している）について所望の１／２水平線遅延を生じ
る。次いで、垂直同期信号３４に対する水平同期信号３
６，３７，３８，３９の位置により、上記の奇数番目お
よび偶数番目の領域が決定（同定）される。同様の修正
処理が、同期操作全体においてフレーム同期ユニット２
５，２６，２７，２８の各々と連絡しているマスター同
期ユニット４０に対しても行われる。
記憶ユニット２５から送られる水平同期信号３６（第１
同期信号）はフレーム記憶ユニット２６と連結してお
り、かつ、当該カメラ１３，１５にそれぞれ付属のフレ
ーム記憶ユニット２５，２６が同期状態で保持されてい
る。一方、フレーム記憶ユニット２７，２８にそれぞれ
対する水平同期信号３８，３９（第２同期信号）はまず
遅延回路３５の作用を受け、その後、カメラ１４，１６
（これらはフレーム記憶ユニット２７，２８にそれぞれ
付属している）について所望の１／２水平線遅延を生じ
る。次いで、垂直同期信号３４に対する水平同期信号３
６，３７，３８，３９の位置により、上記の奇数番目お
よび偶数番目の領域が決定（同定）される。同様の修正
処理が、同期操作全体においてフレーム同期ユニット２
５，２６，２７，２８の各々と連絡しているマスター同
期ユニット４０に対しても行われる。
【００２０】なお、当該マスター同期ユニット４０は現
存の回路基板検査装置において使用されている類似のユ
ニットに実質的に相当するものであり、遅延回路３５に
よって展開される１／２水平線遅延に対応するように調
整されている。また、当該遅延回路３５の機能を実行す
るには、多くの既知の遅延回路のいずれを使用してもよ
い。なお、図３に示すような再流遅延回路３５’を使用
することによって、特に望ましい結果を得ることができ
る。このような構成においては、水平同期信号３６がシ
フトレジスタ４１（例えば、１２８ビットシフトレジス
タ）と計数回路４２（例えば、３−カウントシフトレジ
スタ）とに送られる。次いで、当該シフトレジスタ４１
を動作するクロック信号４３がビデオ処理システム全体
について設定されている水平同期から派生される。当該
シフトレジスタ４１の動作（第１カウント）に続いて、
計数回路４２が増加され、シフトレジスタ４１は第２カ
ウントを生成する。その後、計数回路４２が再び増加さ
れ、シフトレジスタ４１は第３カウントを生ずる。その
結果、所望とされる水平線の１／２に等しい遅延に対応
するゲート回路４４が起動する。
存の回路基板検査装置において使用されている類似のユ
ニットに実質的に相当するものであり、遅延回路３５に
よって展開される１／２水平線遅延に対応するように調
整されている。また、当該遅延回路３５の機能を実行す
るには、多くの既知の遅延回路のいずれを使用してもよ
い。なお、図３に示すような再流遅延回路３５’を使用
することによって、特に望ましい結果を得ることができ
る。このような構成においては、水平同期信号３６がシ
フトレジスタ４１（例えば、１２８ビットシフトレジス
タ）と計数回路４２（例えば、３−カウントシフトレジ
スタ）とに送られる。次いで、当該シフトレジスタ４１
を動作するクロック信号４３がビデオ処理システム全体
について設定されている水平同期から派生される。当該
シフトレジスタ４１の動作（第１カウント）に続いて、
計数回路４２が増加され、シフトレジスタ４１は第２カ
ウントを生成する。その後、計数回路４２が再び増加さ
れ、シフトレジスタ４１は第３カウントを生ずる。その
結果、所望とされる水平線の１／２に等しい遅延に対応
するゲート回路４４が起動する。
【００２１】さらに、従来のビデオフォーマット処理か
ら考察できることは、得られる画像および結果として生
じる信号が飛越し状態の第１（奇数番目）および第２
（偶数番目）領域にわたって積分されることである。従
って、当該得られる画像（信号）は奇数番目の領域から
始まり偶数番目の領域に続く連続した出力である。しか
しながら、各領域がカメラからこれに対応するフレーム
記憶ユニットに転送されるには１６．７ミリ秒の時間を
要する。さらに、従来の単一画像を得るために全部で３
３．３ミリ秒の時間を要し、かつ、照明据付板２０によ
る点灯機能を備えるシステムにおいては、上記カメラ１
３，１４，１５，１６により得られるビデオ画像（奇数
番目／偶数番目）の間にいかなる相互作用も生じない。
なお、カメラ１３，１５の撮像処理においても、カメラ
１４，１６によって画像が生じる。しかしながら、この
現象は当該カメラ１４，１６の動作が単純に無視できる
（ブランク）状態である場合に発生するため、このよう
な二次的な画像は除去される。
ら考察できることは、得られる画像および結果として生
じる信号が飛越し状態の第１（奇数番目）および第２
（偶数番目）領域にわたって積分されることである。従
って、当該得られる画像（信号）は奇数番目の領域から
始まり偶数番目の領域に続く連続した出力である。しか
しながら、各領域がカメラからこれに対応するフレーム
記憶ユニットに転送されるには１６．７ミリ秒の時間を
要する。さらに、従来の単一画像を得るために全部で３
３．３ミリ秒の時間を要し、かつ、照明据付板２０によ
る点灯機能を備えるシステムにおいては、上記カメラ１
３，１４，１５，１６により得られるビデオ画像（奇数
番目／偶数番目）の間にいかなる相互作用も生じない。
なお、カメラ１３，１５の撮像処理においても、カメラ
１４，１６によって画像が生じる。しかしながら、この
現象は当該カメラ１４，１６の動作が単純に無視できる
（ブランク）状態である場合に発生するため、このよう
な二次的な画像は除去される。
【００２２】ただし、ビデオ動作区間を１６．７ミリ秒
に減少すると、当該二次的な画像はもはや停動期間にお
いて生成されるものではなくなり、その生成がもはや無
視できなくなる。このため、カメラ１３，１５に対する
撮像処理においてカメラ１４，１６にも二次的画像が生
じ、またその逆も起こり得ることになり、これらの二次
画像はカメラの動作を通して自動的に除去することがで
きない。また、本発明により設定された短縮化タイミン
グによって、これらの二次画像がカメラの所望の動作を
妨げることにもなる。
に減少すると、当該二次的な画像はもはや停動期間にお
いて生成されるものではなくなり、その生成がもはや無
視できなくなる。このため、カメラ１３，１５に対する
撮像処理においてカメラ１４，１６にも二次的画像が生
じ、またその逆も起こり得ることになり、これらの二次
画像はカメラの動作を通して自動的に除去することがで
きない。また、本発明により設定された短縮化タイミン
グによって、これらの二次画像がカメラの所望の動作を
妨げることにもなる。
【００２３】従って、本発明においては、上記カメラ１
３，１４，１５，１６の各々にシャッター４５，４６，
４７，４８がそれぞれ設けられており、当該シャッター
が選択的に動作して偶数番目の領域において対向するカ
メラによる撮像時に生じる二次的画像を除去できるよう
にしている。なお、当該シャッター４５，４７の同期信
号はフレーム記憶ユニット２７から信号線４９ａを介し
て送られ、また、シャッター４６，４８の同期信号はフ
レーム記憶ユニット２５から信号線４９ｂを介して送ら
れる。このようにして、偶数番目の領域にあるすべての
カメラのシャッターを閉じることにより、望ましくない
二次的な画像を効果的除去することができる。
３，１４，１５，１６の各々にシャッター４５，４６，
４７，４８がそれぞれ設けられており、当該シャッター
が選択的に動作して偶数番目の領域において対向するカ
メラによる撮像時に生じる二次的画像を除去できるよう
にしている。なお、当該シャッター４５，４７の同期信
号はフレーム記憶ユニット２７から信号線４９ａを介し
て送られ、また、シャッター４６，４８の同期信号はフ
レーム記憶ユニット２５から信号線４９ｂを介して送ら
れる。このようにして、偶数番目の領域にあるすべての
カメラのシャッターを閉じることにより、望ましくない
二次的な画像を効果的除去することができる。
【００２４】好ましくは、当該シャッター４５，４６，
４７，４８は液晶シャッターであり、該シャッターはカ
メラ１３，１４，１５，１６により得られる画像を効果
的に制御するに要する動作に充分対応し得るだけの高速
動作性と弾性とを有している。なお、この種の一般的な
液晶シャッターの例としては、コロラド州ボールダーの
ディスプレイテック社（Ｄｉｓｐｌａｙｔｅｃｈ，Ｉｎ
ｃ．）製の「ライトバルブ（ｌｉｇｈｔ ｖａｌｖ
ｅ）」モデルＬＶ０５０Ｐが挙げられる。これらのシャ
ッターは５０マイクロ秒を上回る速度で動作することが
でき、該速度は要求される高速動作性能に充分に応える
ものである。
４７，４８は液晶シャッターであり、該シャッターはカ
メラ１３，１４，１５，１６により得られる画像を効果
的に制御するに要する動作に充分対応し得るだけの高速
動作性と弾性とを有している。なお、この種の一般的な
液晶シャッターの例としては、コロラド州ボールダーの
ディスプレイテック社（Ｄｉｓｐｌａｙｔｅｃｈ，Ｉｎ
ｃ．）製の「ライトバルブ（ｌｉｇｈｔ ｖａｌｖ
ｅ）」モデルＬＶ０５０Ｐが挙げられる。これらのシャ
ッターは５０マイクロ秒を上回る速度で動作することが
でき、該速度は要求される高速動作性能に充分に応える
ものである。
【００２５】次に、図４に示す動作について説明する。
同図においては、上記回路基板検査装置１０は、上記Ｘ
−Ｙテーブル１２（第１図）が検査ヘッド１１を本発明
により達成される増加された速度（例えば、１秒当たり
２９インチ）でプリント回路基板上を横切らせるように
動作していると考える。このような場合において、上記
フレーム記憶ユニット２５，２６，２７，２８とマスタ
ー同期ユニット４０とから送られる同期信号に呼応し
て、カメラ１３，１４，１５，１６は撮像処理を開始
し、得られた画像を電気的信号２１，２２，２３，２４
に変換する。図４の波形５０、５１は当該撮像処理時に
おけるビデオカメラの動作を概略的に示している。
同図においては、上記回路基板検査装置１０は、上記Ｘ
−Ｙテーブル１２（第１図）が検査ヘッド１１を本発明
により達成される増加された速度（例えば、１秒当たり
２９インチ）でプリント回路基板上を横切らせるように
動作していると考える。このような場合において、上記
フレーム記憶ユニット２５，２６，２７，２８とマスタ
ー同期ユニット４０とから送られる同期信号に呼応し
て、カメラ１３，１４，１５，１６は撮像処理を開始
し、得られた画像を電気的信号２１，２２，２３，２４
に変換する。図４の波形５０、５１は当該撮像処理時に
おけるビデオカメラの動作を概略的に示している。
【００２６】ここで注目すべきは波形５０で示されるカ
メラ１３，１５と波形５１で示されるカメラ１４，１６
とがそれぞれ１６．７ミリ秒区間で交互に動作してお
り、この点で従来の３３．３ミリ秒区間の動作と明らか
に異なることである。さらに注目すべきは、当該カメラ
１３，１４，１５，１６が図４に示す波形５２，５３に
従ってそれぞれ対応するシャッター４５，４６，４７，
４８と関連して動作することである。この場合、波形５
２がカメラ１３，１５に付属するシャッター４５，４７
の動作を示し、波形５３がカメラ１４，１６に付属する
シャッター４６，４８の動作を示している。
メラ１３，１５と波形５１で示されるカメラ１４，１６
とがそれぞれ１６．７ミリ秒区間で交互に動作してお
り、この点で従来の３３．３ミリ秒区間の動作と明らか
に異なることである。さらに注目すべきは、当該カメラ
１３，１４，１５，１６が図４に示す波形５２，５３に
従ってそれぞれ対応するシャッター４５，４６，４７，
４８と関連して動作することである。この場合、波形５
２がカメラ１３，１５に付属するシャッター４５，４７
の動作を示し、波形５３がカメラ１４，１６に付属する
シャッター４６，４８の動作を示している。
【００２７】さらに、図４に示す波形５４，５５によっ
て示されるように、当該ビデオカメラとそれらに付属す
るシャッター機構の動作は照明据付板２０の照明動作と
関連して行われる。この際、カメラ１３，１５（波形５
０）に連動する照明据付板２０の照明動作は付属のシャ
ッター４５，４７の解放時（波形５２）に実行される。
同様に、上記カメラ１４，１６（波形５１）に連動する
照明据付板２０の照明動作は付属のシャッター４６，４
８の解放時（波形５３）に実行される。なお、上記波形
５４，５５により示される当該照明動作は実際の有効な
動作時間の実質的中間時に行われるように示されている
が、これと異なるタイミング構成を、本発明により設定
される１６．７ミリ秒の「ウインドウ」内で展開するこ
とも可能である。
て示されるように、当該ビデオカメラとそれらに付属す
るシャッター機構の動作は照明据付板２０の照明動作と
関連して行われる。この際、カメラ１３，１５（波形５
０）に連動する照明据付板２０の照明動作は付属のシャ
ッター４５，４７の解放時（波形５２）に実行される。
同様に、上記カメラ１４，１６（波形５１）に連動する
照明据付板２０の照明動作は付属のシャッター４６，４
８の解放時（波形５３）に実行される。なお、上記波形
５４，５５により示される当該照明動作は実際の有効な
動作時間の実質的中間時に行われるように示されている
が、これと異なるタイミング構成を、本発明により設定
される１６．７ミリ秒の「ウインドウ」内で展開するこ
とも可能である。
【００２８】この結果、フレーム処理された画像がフレ
ーム記憶ユニット２５、２６，２７，２８に転送され、
波形５６，５７，５８，５９で示される連続したビデオ
画像が記憶される。その後、これらの画像は中央処理ユ
ニット２９，３０によってアクセスされ、従来のこの種
の一般的な回路基板検査システムに用いられる周知の技
法を使用して翻訳される。
ーム記憶ユニット２５、２６，２７，２８に転送され、
波形５６，５７，５８，５９で示される連続したビデオ
画像が記憶される。その後、これらの画像は中央処理ユ
ニット２９，３０によってアクセスされ、従来のこの種
の一般的な回路基板検査システムに用いられる周知の技
法を使用して翻訳される。
【００２９】このような処理はプリント回路基板の全表
面における検査が完了するまで続けられる。その後、Ｘ
−Ｙテーブル１２とフレーム記憶ユニット２５，２６，
２７，２８とがそれぞれの初期状態に帰還して、次のプ
リント回路基板の検査のために待機する。さらに、この
期間中に、上記遅延回路３５によって前に設定された水
平遅延が停止されて、オペレータ機能（すなわち、ユー
ザメニュー、オペレータインターフェイスおよび当該プ
リント回路基板検査システムに付属するモニタ上のビデ
オディスプレイ）が容易化される。このことは、所望す
るビデオ画像が遅延回路３５によって展開される同期処
理における変化による以外にモニタ上に表示され得ない
ため、必要な処理である。
面における検査が完了するまで続けられる。その後、Ｘ
−Ｙテーブル１２とフレーム記憶ユニット２５，２６，
２７，２８とがそれぞれの初期状態に帰還して、次のプ
リント回路基板の検査のために待機する。さらに、この
期間中に、上記遅延回路３５によって前に設定された水
平遅延が停止されて、オペレータ機能（すなわち、ユー
ザメニュー、オペレータインターフェイスおよび当該プ
リント回路基板検査システムに付属するモニタ上のビデ
オディスプレイ）が容易化される。このことは、所望す
るビデオ画像が遅延回路３５によって展開される同期処
理における変化による以外にモニタ上に表示され得ない
ため、必要な処理である。
【００３０】この結果、図３に示す構成において、当該
装置１０からの従来の同期信号（遅延無し）をその入力
６１として受け取る第２ゲート回路６０が設けられてい
る。さらに、６２で示される位置に制御信号が入力され
ると、一方のゲート回路４４が機能しなくなり、また、
他方のゲート回路６０が機能するようになって、所望の
時に遅延回路３５により設定された遅延が解除できる。
なお、当該ゲート回路４４，６０から送られる信号は６
３で示される位置で組み合わされ、当該プリント回路基
板検査装置１０の残りの部分との相互作用のために所望
に用いられる。
装置１０からの従来の同期信号（遅延無し）をその入力
６１として受け取る第２ゲート回路６０が設けられてい
る。さらに、６２で示される位置に制御信号が入力され
ると、一方のゲート回路４４が機能しなくなり、また、
他方のゲート回路６０が機能するようになって、所望の
時に遅延回路３５により設定された遅延が解除できる。
なお、当該ゲート回路４４，６０から送られる信号は６
３で示される位置で組み合わされ、当該プリント回路基
板検査装置１０の残りの部分との相互作用のために所望
に用いられる。
【００３１】なお、本発明の特徴を説明するべくここに
記載しかつ図示した部分のさらなる詳細、材料および配
列構成における種々の変更は、上記の特許請求の範囲に
規定した本発明の趣旨および範囲において、当業者によ
り可能であることは容易に理解されるものである。例え
ば、上記の好ましい実施例の装置をプリント回路基板の
検査用として説明したが、本発明の方法および装置は製
造部品等の他の物品の検査にも同様に使用することがで
きる。また、他の用途についても当業者においては容易
に案出することができる。
記載しかつ図示した部分のさらなる詳細、材料および配
列構成における種々の変更は、上記の特許請求の範囲に
規定した本発明の趣旨および範囲において、当業者によ
り可能であることは容易に理解されるものである。例え
ば、上記の好ましい実施例の装置をプリント回路基板の
検査用として説明したが、本発明の方法および装置は製
造部品等の他の物品の検査にも同様に使用することがで
きる。また、他の用途についても当業者においては容易
に案出することができる。
【図１】プリント回路基板検査装置における検査ヘッド
の部分的破断斜視図である。
の部分的破断斜視図である。
【図２】本発明に基づいて撮像し、かつ、得られた画像
を処理するシステムのブロック図である。
を処理するシステムのブロック図である。
【図３】図２に示すシステムに使用する遅延回路の概略
図である。
図である。
【図４】図２に示すシステムにおけるタイミング図であ
る。
る。
１３，１４，１５，１６：カメラ ２５，２６，２７，２８：フレーム記憶ユニット ２９，３０：ＣＰＵ（中央処理ユニット） ３５：遅延回路 ４０：マスター同期ユニット ４５，４６，４７，４８：シャッター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｇ０６Ｔ 7/00 Ｇ０６Ｆ 15/62 ４０５Ａ Ｈ０５Ｋ 3/00 15/64 Ｄ ３２０Ａ (56)参考文献 特開 昭61−251287（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−299689（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−268260（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−189591（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−131745（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−102377（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/956 G01B 11/24 G06T 1/00 G06T 7/00 H05K 3/00
Claims (19)
- 【請求項１】 製品上の所定領域を検査するための検査
ヘッドと、 前記検査ヘッドに結合する第１カメラおよび第２カメラ
と、 前記製品上の所定領域を各カメラの動作に連動させて照
明する照明手段と、前記第１カメラに付随する第１シャッター手段および前
記第２カメラに付随する第２シャッター手段と から成
り、 前記第１カメラは第１同期信号により同期を取って単一
フレームの奇数フィールドと偶数フィールドを連続的に
走査し、 前記第２カメラは前記第１同期信号に対して位相差が１
８０°となるように遅延された第２同期信号により同期
を取って単一フレームの奇数フィールドと偶数フィール
ドを連続的に走査し、前記第１シャッター手段は前記第１同期信号により同期
を取って前記第１カメラを露光し、 前記第２シャッター手段は前記第２同期信号により同期
を取って前記第２カメラを露光する ことを特徴とする製
品の検査装置。 - 【請求項２】 前記検査ヘッドが製品上の複数の異なる
所定領域の検査に適応することを特徴とする請求項１に
記載の装置。 - 【請求項３】 前記製品がプリント回路基板であること
を特徴とする請求項２に記載の装置。 - 【請求項４】 前記装置はさらに第３カメラおよび第４
カメラとから成り、前記第３カメラは第１方向において
前記第１カメラに対向して配置され、前記第４カメラは
前記第１方向と直交する第２方向において前記第２カメ
ラに対向して配置され、 前記第３カメラは前記第１同期信号により同期を取って
動作し、前記第４カメラは前記第２同期信号により同期
を取って動作することを特徴とする請求項１に記載の装
置。 - 【請求項５】 前記第２同期信号が、フレーム周期の１
／２に相当する時間だけ、前記第１同期信号に対して遅
延されることを特徴とする請求項４に記載の装置。 - 【請求項６】 前記遅延が約１６．７ミリ秒であること
を特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項７】 前記検査ヘッドが製品上の複数の異なる
所定領域の検査を１秒間に約３０インチの速度で実行可
能であることを特徴とする請求項６に記載の装置。 - 【請求項８】 前記遅延が、複数のカウント値を生成す
るシフトレジスタと前記シフトレジスタに結合して当該
シフトレジスタの所定数のカウント値を生成するカウン
タとから成る遅延回路手段によって展開され、該所定数
のカウント値が当該展開される遅延に対応していること
を特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項９】 前記シャッター手段が液晶シャッターで
あることを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項１０】 前記照明手段は前記カメラが奇数フィ
ールドを走査中において選択的に動作し、さらに、前記
シャッター手段は前記カメラが奇数フィールドを走査中
において開放し、かつ、前記カメラが偶数フィールドを
走査中において閉鎖することを特徴とする請求項１に記
載の装置。 - 【請求項１１】 製品上の所定領域を検査するためのヘ
ッドと、前記検査ヘッドに結合する第１カメラおよび第
２カメラと、前記第１カメラに付随する第１シャッター
手段および前記第２カメラに付随する第２シャッター手
段とを含み、前記第１カメラおよび前記第１シャッター
手段は第１同期信号により同期を取って動作し、前記第
２カメラおよび第２シャッター手段は前記第１同期信号
に対して位相差が１８０°となるように遅延された第２
同期信号により同期を取って動作する装置を使用した製
品の検査方法において、 前記第１同期信号を生成する段階と、 前記第１同期信号を遅延させた前記第２同期信号を生成
する段階と、 製品上の所定領域を各カメラの動作に連動させて照明す
る段階と、各シャッター手段により各カメラを露光する段階 とから
なることを特徴とする検査方法。 - 【請求項１２】 前記製品がプリント回路基板であるこ
とを特徴とする請求項１１に記載の方法。 - 【請求項１３】 前記検査ヘッドはさらに第３カメラお
よび第４カメラとから成り、前記第３カメラは第１方向において前記第１カメラに対
向して配置され、前記第４カメラは前記第１方向と直交
する第２方向において前記第２カメラに対向して配置さ
れ、 前記第３カメラは前記第１同期信号により同期を取って
動作し、前記第４カメラは前記第２同期信号により同期
を取って動作することを特徴とする請求項１１載の方
法。 - 【請求項１４】 前記第２同期信号を、フレーム周期の
１／２に相当する時間だけ、前記第１同期信号に対して
遅延することを特徴とする請求項１３に記載の方法。 - 【請求項１５】 前記遅延が約１６．７ミリ秒であるこ
とを特徴とする請求項１４に記載の方法。 - 【請求項１６】 さらに、製品上の複数の異なる所定領
域を検査する段階から成ることを特徴とする請求項１５
に記載の方法。 - 【請求項１７】 前記製品を１秒間に約３０インチの速
度で検査することを特徴とする請求項１６に記載の方
法。 - 【請求項１８】 前記遅延をシフトレジスタにおいて複
数のカウント値を生成することによって展開し、当該シ
フトレジスタにおいて生成されたカウント数を数え、さ
らに、展開される遅延に相当する所定のカウント数に続
いて遅延の完了を信号で示すことを特徴とする請求項１
４に記載の方法。 - 【請求項１９】 前記照明手段は前記カメラが奇数フィ
ールドを走査中において選択的に動作し、さらに、前記
シャッター手段は前記カメラが奇数フィールドを走査中
において開放し、かつ、前記カメラが偶数フィールドを
走査中において閉鎖することを特徴とすることを特徴と
する請求項１１に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/839,831 US5260779A (en) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | Method and apparatus for inspecting a printed circuit board |
| US07/839,831 | 1992-02-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222011A JPH06222011A (ja) | 1994-08-12 |
| JP3253397B2 true JP3253397B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=25280732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03224893A Expired - Fee Related JP3253397B2 (ja) | 1992-02-21 | 1993-02-22 | プリント回路基板の検査のための方法および装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5260779A (ja) |
| EP (1) | EP0557227B1 (ja) |
| JP (1) | JP3253397B2 (ja) |
| AT (1) | ATE182681T1 (ja) |
| CA (1) | CA2089917C (ja) |
| DE (1) | DE69325729T2 (ja) |
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