JP2002031669A - Ｉｃ不良箇所検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エミッション顕微鏡を用いたＩＣファンクシ
ョン不良解析を実施する場合、故障発光像取得のため、
故障が発生するパタ−ンアドレスを求める必要があり、
解析工数がかかる。 【解決手段】 発光デ−タをクロックに同期して画像処
理装置７に転送するコントロ−ル回路６を備えており、
コントロ−ル回路６はクロック入力の遷移タイミングを
除く時間帯の発光デ−タを画像処理装置７に転送する機
能を有するため、電源電流が流れるアドレスを求める必
要はなく、解析工数が削減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ不良解析に関
し、特にエミッション顕微鏡を用いてＩＣ内部の不良箇
所を検出するＩＣ不良箇所検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエミッション顕微鏡を用いたＩＣ
不良検出装置について、図２および図３を参照して説明
する。

【０００３】図２は従来のエミッション顕微鏡の構成を
示す装置概略図である。光学顕微鏡１の下に、ＩＣ試料
２（ＩＣテスタ−にて不良と判定された試料）を装着し
たＩＣテスタ−３が配置されている。光学顕微鏡１には
光検出器４が装着され、光検出器４の出力部にＣＣＤカ
メラ５が装着され、その出力信号は画像処理装置７を介
してモニタ−８に伝達される。

【０００４】図３は従来例におけるテストパタ−ンアド
レス毎の電源電流値を示す図であり、ファンクション
（機能）不良の故障箇所を特定する場合、ＩＣテスタ−
３よりＩＣテスタ−３のログに基づく不良アドレス
（Ｎ）から時間軸に対し、１パタ−ンアドレスずつ遡り
（バックトレ−ス）、アドレス毎にクロックを止め、電
源電流を測定し電源電流が流れるアドレス（Ｎ−4）を
求める。

【０００５】このアドレス（Ｎ−4）でＩＣテスタ−３
のパタ−ンを停止させ、光学顕微鏡１にて発光デ−タを
取得し、画像処理後にモニタ−８で表示させる。同一パ
タ−ン内で複数アドレスにて不良が発生する場合には、
電源電流が流れるアドレスを求める操作を複数回実施
し、都度発光デ−タを取得する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記に説明したよう
な、電源電流が流れるアドレス（故障発生アドレス）を
求める操作はテスタ−等を用いて、人が順次、電源電流
をパタ−ン毎に測定するため工数がかかり、複数箇所発
生する場合、工数は故障箇所数倍に増加する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るＩＣ不良解
析検出装置は、発光デ−タをクロックに同期して画像処
理装置に転送するコントロ−ル回路を備えており、コン
トロ−ル回路はクロック入力の遷移タイミングを除く時
間帯の発光デ−タを画像処理装置に転送する機能を有す
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【０００９】図１は、本発明の一実施の形態を示す装置
概略図である。光学顕微鏡１の下に、ＩＣ試料２を装着
したＩＣテスタ−３が配置されている。光学顕微鏡１に
は光検出器４が装着され、光検出器４の出力部にＣＣＤ
カメラ５が装着され、その出力信号はコントロ−ル回路
６を経由し、画像処理装置７を介してモニタ−８に伝達
される。このコントロ−ル回路６にはＩＣテスタ−３の
クロック（ＩＣ試料のクロック）信号がケ−ブル９を介
して伝達される。

【００１０】次に、本実施の形態装置の動作について説
明する。

【００１１】図４は本発明におけるテストパタ−ンアド
レス毎の電源電流値を示す図であり、ＩＣテスタ−３は
１ｓｔアドレスから最終アドレスまでクロックを止めず
に、動作するように設定する。クロック信号遷移時に流
れる電源電流を除くために、ＩＣテスタ−３のクロック
信号の遷移時間をコントロ−ル回路６に設定し、テスト
パタ−ンを実行させる。ＩＣの光学像を１ｓｔアドレス
より最終アドレスまでＣＣＤカメラ５より得、そのデ−
タを画像処理装置７に取り込む。このようにして得られ
た発光像はモニタ−８上に表示される。

【００１２】図４において、電源電流１１（破線の円で
囲まれた電流）はクロックに同期して流れることを示し
ている。この電源電流による発光デ−タは良品において
も発生するため、故障箇所を特定するためには除去する
必要がある。コントロ−ル回路６を有することにより、
クロック遷移時に電源を流れる貫通電流１１の発光デ−
タを除去することが可能となり、故障による電源電流１
０にて発光した像のみ取得可能となる。また、最終アド
レスまでテストパタ−ンを実行させることにより複数パ
タ−ンでの不良（複数故障）の発光像も同時に取得でき
るようになる。

【００１３】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、人が順次、電源電流が流れるアドレスを求める必要
はなくなり解析工数が削減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の構成を示す概略図

【図２】従来例の構成を示す概略図

【図３】従来例におけるテストパタ−ンアドレス毎の電
源電流値を示す図

【図４】本発明におけるテストパタ−ンアドレス毎の電
源電流値を示す図

【符号の説明】

１ 光学顕微鏡 ２ ＩＣ試料 ３ ＩＣテスタ− ４ 光検出器 ５ ＣＣＤカメラ ６ コントロ−ル回路 ７ 画像処理装置 ８ モニタ− ９ ケ−ブル １０ 故障による電源電流 １１ クロック遷移時に電源を流れる貫通電流

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エミッション顕微鏡と、前記エミッショ
   ン顕微鏡の発光デ−タを任意に画像処理部に転送するコ
   ントロ−ル回路を有することを特徴とするＩＣ不良箇所
   検出装置。
2. 【請求項２】 前記コントロ−ル回路はＩＣ試料のクロ
   ック入力に同期し、その遷移タイミングを除く時間帯の
   発光デ−タを画像処理部に転送する機能を有することを
   特徴とする請求項１記載のＩＣ不良箇所検出装置。