JP2011040560A - 発光解析装置および発光解析方法 - Google Patents
発光解析装置および発光解析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011040560A JP2011040560A JP2009186494A JP2009186494A JP2011040560A JP 2011040560 A JP2011040560 A JP 2011040560A JP 2009186494 A JP2009186494 A JP 2009186494A JP 2009186494 A JP2009186494 A JP 2009186494A JP 2011040560 A JP2011040560 A JP 2011040560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test pattern
- light emission
- address
- semiconductor device
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
- G01R31/311—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【課題】半導体装置の発光解析により半導体装置の故障箇所を精度よく検出可能な発光解析装置および発光解析方法を提供する。
【解決手段】発光解析システムは、制御部1と、画像取得部2と、画像記憶部3と、座標合わせ部4と、比較部5と、駆動装置6と、発光検出器7と、画像表示部8と、を備えている。終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得し、終了テストパターンアドレスが小さい順、すなわち開始テストパターンアドレスに近い終了テストパターンアドレスから順に良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像の比較を行う。そのため、不良品半導体装置における異常な発光が生じる頻度が小さい場合や、良品半導体装置との発光の差異がタイミングの差異のみである場合でも、合成発光積分画像の差異を検出でき、故障箇所を特定できる。
【選択図】図1
【解決手段】発光解析システムは、制御部1と、画像取得部2と、画像記憶部3と、座標合わせ部4と、比較部5と、駆動装置6と、発光検出器7と、画像表示部8と、を備えている。終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得し、終了テストパターンアドレスが小さい順、すなわち開始テストパターンアドレスに近い終了テストパターンアドレスから順に良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像の比較を行う。そのため、不良品半導体装置における異常な発光が生じる頻度が小さい場合や、良品半導体装置との発光の差異がタイミングの差異のみである場合でも、合成発光積分画像の差異を検出でき、故障箇所を特定できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の発光を検出して故障箇所を特定する発光解析装置および発光解析方法に関する。
半導体装置に故障が見つかった場合、故障箇所を特定するために、半導体装置の発光を検出する発光解析装置が用いられる。半導体装置の発光は、例えば、トランジスタ等の半導体素子内に生じる高電界によりホットエレクトロンが発生し、このホットエレクトロンが原因となって生じることがある。また、半導体素子や半導体素子同士を接続する配線に異常電流が流れて発熱し、この発熱により赤外線発光が生じることもある。よって、発光解析装置を用いて、故障がない半導体装置と故障が見つかった半導体装置とで発光の様子を比較し、その差異を検出することで、半導体装置の故障箇所を特定できる。
特許文献1には、故障がない半導体装置と故障が見つかった半導体装置について、複数のテストパターンを入力して両半導体装置の発光を積分した画像を取得し、この積分画像の差異を検出することにより、故障箇所を特定する手法が開示されている。
しかしながら、両半導体装置で発光タイミングの差異があっても、積分画像からはその差異を検出するのは困難である。また、特定のテストパターンに対して両半導体装置で発光の有無が異なっていたとしても、特許文献1は積分画像の検出しか行わないため、どのテストパターンのときに発光に違いが出たのかを検出できないという問題がある。さらに、入力するテストパターンの数に対して、発光の差異が生じる頻度が極めて小さい場合、この差異を正しく検出できないおそれがある。
本発明は、半導体装置の発光解析により半導体装置の故障箇所を精度よく検出可能な発光解析装置および発光解析方法を提供するものである。
本発明の一態様によれば、所定の開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、ファンクションテストで良品と判断された良品半導体装置に入力される間に、前記良品半導体装置からの発光を積分して得られる第1の画像と、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、前記ファンクションテストで不良品と判断された不良品半導体装置に入力される間に、前記不良品半導体装置からの発光を積分して得られる第2の画像と、を、前記終了テストパターンアドレスを複数通りに変化させて前記第1および第2の画像を複数枚ずつ取得する画像取得部と、前記終了テストパターンアドレス毎に、前記第1および第2の画像に差異があるか否かを比較する比較部と、を備えることを特徴とする発光解析装置が提供される。
また、本発明の一態様によれば、所定の開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、ファンクションテストで良品と判断された良品半導体装置に入力される間に、前記良品半導体装置からの発光を積分して得られる第1の画像と、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、前記ファンクションテストで不良品と判断された不良品半導体装置に入力される間に、前記不良品半導体装置からの発光を積分して得られる第2の画像と、を、前記終了テストパターンアドレスを複数通りに変化させて前記第1および第2の画像を複数枚ずつ取得するステップと、前記終了テストパターンアドレス毎に、前記第1および第2の画像に差異があるか否かを比較するステップと、を備えることを特徴とする発光解析方法が提供される。
本発明によれば、半導体装置の発光解析により半導体装置の故障箇所を精度よく検出できる。
以下、本発明に係る発光解析装置および発光解析方法の実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る発光解析装置を内蔵する発光解析システムの概略構成を示すブロック図である。図1の発光解析システムは、制御部1と、画像取得部2と、画像記憶部3と、座標合わせ部4と、比較部5と、駆動装置6と、発光検出器7と、画像表示部8と、を備えている。
制御部1は半導体装置21に入力するテストパターンの開始テストパターンアドレスおよび終了テストパターンアドレスを駆動装置6に設定する。また、制御部1は発光検出器7の撮影タイミングを制御する。駆動装置6は、開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスまでの各アドレスに対応するテストパターンを、検査対象の半導体装置21に入力して半導体装置21を動作させるとともに、テストパターンの半導体装置21への入力が開始および終了したことを示す信号を制御部1に出力する。
発光検出器7は例えば高感度CCDカメラであり、パッケージングされていない状態の半導体ウエハである半導体装置21からの発光を検出する。発光検出器7および半導体装置21は暗箱22内に載置され、発光検出器7は半導体装置21の微小な発光を検出できることを特徴とする。
画像取得部2は発光検出器7が撮影した画像を取得する。画像記憶部3は画像取得部2が取得した画像を記憶する。座標合わせ部4は、故障がない半導体装置21(以下、良品半導体装置)の画像(第1の画像)と、故障が見つかった半導体装置21(以下、不良品半導体装置)の画像(第2の画像)との対応する座標を検出する座標合わせを行う。比較部5は画像記憶部3に記憶された画像を読み出して、良品および不良品半導体装置の画像を比較し、差異があるか否かを比較する。画像表示部8は画像記憶部3に記憶された画像等を表示する。
発光解析装置は、少なくとも画像取得部2と、比較部5とを備えており、その他の構成は発光解析装置に内蔵してもよいし、別個の装置であってもよい。発光解析システムの少なくとも一部の構成部分は、ソフトウェアで実現してもよい。本実施形態では、制御部1、画像取得部2、画像記憶部3、座標合わせ部4および比較部5を一台の制御装置23で実現する例を示す。
図2は、図1の制御装置23の処理動作の一例を示すフローチャートである。
まず、予めファンクションテスト等を行って故障が見つかった不良品半導体装置が暗箱22内に載置される。ファンクションテストとは、半導体テスタ等を用いて種々のテストパターンを半導体装置に入力し、半導体装置の外部端子に出力される信号の実測値と理論値とを比較するテストを指す。ファンクションテストで不良、すなわち、実測値と理論値との不一致が検出されると、その半導体装置は不良品と判断される。
次に、暗箱22内を一旦明るくして、発光検出器7は半導体装置21に形成されている半導体素子や配線等のパターンを撮影し、画像取得部2はこのパターン画像を取得する(ステップS1)。図3は、発光検出器7が取得するパターン画像の一例を示す図である。同図に示すパターン画像は後述する座標合わせ等に用いられる。
そして、制御部1は開始テストパターンアドレスを駆動装置6に設定する(ステップS2)。不良品半導体装置の発光は、良品半導体装置の発光と比較して、発光位置や発光タイミング等に何らかの差異が生じていると考えられる。この差異は、ファンクションテストで実測値と理論値との不一致が検出されるテストパターン、またはそれより前のテストパターンを入力した時に生じている可能性が高い。そのため、制御部1は、ファンクションテストで半導体装置に入力されたアドレスであって、不一致が検出されるアドレスより十分前のアドレス、例えば数百〜数万前のアドレスを開始テストパターンアドレスとして駆動装置6に設定する。
さらに、制御部1は終了テストパターンアドレスを駆動装置6に設定する(ステップS3)。最初の終了テストパターンアドレスは開始テストパターンアドレスと同一とし、その後の終了テストパターンアドレスについては後述する。駆動装置6は設定された開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスまでの各アドレスに対応するテストパターンを順繰りに所定の回数、半導体装置21に入力することになる。
続いて、暗箱22を遮光した状態で、画像取得部2は半導体装置21の発光積分画像を取得する(ステップS4)。図4は、駆動装置6の処理動作の一例を示すフローチャートであり、図5は、発光検出器7の処理動作の一例を示すフローチャートである。図4および図5を用いて、ステップS4について詳しく説明する。
図4に示すように、駆動装置6は制御部1が生成するテストパターン入力開始信号を受信すると(ステップS21)、アドレスiを図2のステップS2で設定された開始テストパターンアドレスに設定する(図4のステップS22)。そして、駆動装置6は、アドレスiに対応するテストパターンを半導体装置21に入力する(ステップS23)。アドレスiが図2のステップS3で設定された終了テストパターンアドレスに達していない場合(図4のステップS24のNO)、駆動装置6はアドレスiを1だけインクリメントして(ステップS25)、さらにアドレスiに対応するテストパターンを半導体装置21に入力する(ステップS23)。このステップS23〜S25を、アドレスiが終了テストパターンアドレスに達するまで行う(ステップS24)。
さらに、ステップS22〜S25を予め設定される所定の回数だけ繰り返す(ステップS26)。所定の回数繰り返す理由は、半導体装置21からの発光は微小であるので、一度だけテストパターンを入力しただけでは、発光を検出できるとは限らないが、何度かテストパターンを繰り返し入力して、後述するように発光検出器7で画像の積分を行えば、精度よく発光を検出できるためである。したがって、所定の回数は発光を確実に検出するのに十分な回数である必要がある。
上記の回数だけテストパターンの入力が終了すると(ステップS26のYES)、駆動装置6はテストパターンの入力が終了したことを示すテストパターン入力終了信号を制御部1に送信する(ステップS27)。
図6は、駆動装置6が生成するテストパターンの一例を示す図である。例えば、開始テストパターンアドレスおよび終了テストパターンアドレスがともに0の場合、図6(a)に示すように、駆動装置6は、アドレス0に対応するテストパターンを所定の回数、繰り返し半導体装置21に出力する。また、開始テストパターンアドレスが0で、終了テストパターンアドレスが1の場合、図6(b)に示すように、駆動装置6は、アドレス0およびアドレス1に対応するテストパターンを所定の回数、繰り返し半導体装置21に出力する。
一方、制御部1は駆動装置6に終了テストパターンアドレスを設定した後(図2のステップS3)、かつ、駆動装置6にテストパターン入力開始信号を送信する前(図4のステップS21)に、撮影開始信号を生成し、発光検出器7に送信する。発光検出器7はこの撮影開始信号を受信すると(図5のステップS31)、カメラのシャッタを開き、撮影を開始する(ステップS32)。
その後、制御部1は駆動装置6からテストパターン入力終了信号を受信すると(図4のステップS27)、撮影終了信号を生成し、発光検出器7に送信する。発光検出器7はこの撮影終了信号を受信すると(図5のステップS33)、カメラのシャッタを閉じ、撮影を終了する(ステップS34)。
このように、発光検出器7は、開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスまでの各アドレスに対応するテストパターンの入力が所定の回数繰り返される間、シャッタが開いており、多重露光を行うことで半導体装置21の画像を積分できる。よって、発光検出器7は、半導体装置21の発光が微小であっても、半導体装置21の発光を精度よく検出できる。撮影終了後に、発光検出器7は撮影した発光積分画像を画像取得部2へ出力する(ステップS35)。
図7は、発光検出器7が取得する発光積分画像の一例を示す図である。例えば、開始テストパターンアドレスおよび終了テストパターンアドレスがともに0の場合、図6(a)に示すように、発光検出器7はアドレス0に対応するテストパターンを半導体装置21に入力した場合の発光L1を検出した発光積分画像を取得する。また、開始テストパターンアドレスが0で、終了テストパターンアドレスが1の場合、図6(b)に示すように、発光検出器7は、アドレス0に対応するテストパターンを半導体装置21に入力した場合の発光L1およびアドレス1に対応するテストパターンを半導体装置に入力した場合の発光L2の両方を検出した発光積分画像を取得する。
以上のようにして、画像取得部2は半導体装置21の発光積分画像を取得する(図2のステップS4)。
さらに、画像取得部2は、半導体装置21の発光箇所が明確になるよう、ステップS1で取得したパターン画像とステップS4で取得した発光積分画像とを合成して合成発光積分画像を生成する(ステップS5)。この合成発光積分画像は終了テストパターンアドレスと関連付けて画像記憶部3に記憶される(ステップS6)。
図8は、画像取得部2が生成する合成発光積分画像の一例を示す図である。例えば、開始テストパターンアドレスおよび終了テストパターンアドレスがともに0の場合、画像取得部2は、図3に示すパターン画像と、図6(a)に示す発光積分画像とを合成し、図8(a)に示す合成発光積分画像を生成する。また、開始テストパターンアドレスが0で、終了テストパターンアドレスが1の場合、画像取得部2は、図3に示すパターン画像と、図6(b)に示す発光積分画像を合成し、図8(b)に示す合成発光積分画像を生成する。
また、画像取得部2は発光積分画像を取得すると、画像取得終了信号を生成し(図2のステップS7)、制御部1に送信する。画像取得終了信号を受信した制御部1は、終了テストパターンアドレスが最終テストパターンアドレスに達しているか否かを判定する(ステップS8)。達していない場合(ステップS8のNO)、制御部1は終了テストパターンアドレスに所定のアドレス移動ステップ値を加算した値を終了テストパターンアドレスに設定する(ステップS3)。なお、図6はアドレス移動ステップ値を1とする例を示している。
ここで、最終テストパターンアドレスとは上述のファンクションテストで不一致が検出されるアドレスである。この最終テストパターンアドレスまたは最終テストパターンアドレスより前のいずれかのアドレスに対応するテストパターンを入力した場合に、不良品半導体装置からの発光は良品半導体装置からの発光との差異が生じていると考えられるため、終了テストパターンアドレスが最終テストパターンアドレスに達するまでステップS3〜S7の処理動作を行う。
例えば、最終テストパターンアドレスがnの場合、図6(a)〜(c)に示すようなテストパターンが入力された場合の発光積分画像(図7(a)〜(c))と、パターン画像(図3)とが合成されて、図8(a)〜(c)に示すn+1枚の合成発光積分画像が、それぞれ終了テストパターンアドレス0〜nと関連付けられて画像記憶部3に記憶される。
終了テストパターンアドレスが最終テストパターンアドレスに達すると(図2のステップS8のYES)、次にファンクションテストで良品と判断された半導体装置(良品半導体装置)の合成発光積分画像を取得するため(ステップS9のNO)、暗箱22内から不良品半導体装置は取り出され、良品半導体装置が暗箱22内に載置される。そして、良品半導体装置に対して、不良品半導体装置に対するステップS1〜S8と同様の処理を行い、良品半導体装置の合成発光積分画像が画像記憶部3に記憶される。
良品半導体装置の合成発光積分画像を取得すると(ステップS9のYES)、座標合わせ部4は合成発光積分画像に含まれるパターン画像を用いてパターンマッチングを行い、良品および不良品半導体装置の撮影位置のずれを検出し、両半導体装置の合成発光積分画像の対応する座標を算出する座標合わせを行う(ステップS10)。両半導体装置は厳密には暗箱22内の同一位置で撮影されるとは限らないが、座標合わせをすることで、撮影位置が異なる場合でも、合成発光積分画像の比較をすることができる。
次に、比較部5は画像記憶部3に記憶された良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像を読み出して、終了テストパターンアドレス毎に、両半導体装置の合成発光積分画像に差異があるか否かを比較する(図2のステップS11)。このとき、上記の座標合わせの結果を考慮し、両画像の対応する位置同士を比較する。比較は終了テストパターンアドレスが小さい順に行い、両画像に差異がない場合(ステップS12のNO)、終了テストパターンアドレスを更新し、次の終了テストパターンアドレスの合成発光積分画像について比較する(ステップS11)。差異がある場合(ステップS12のYES)、その箇所を故障が発生している箇所として特定できる。また同時に、差異が生じるテストパターンを特定できるため、論理シミュレーション等を行って、故障の原因を推測することもできる。
差異が検出されると(ステップS12のYES)、発光解析システムは終了テストパターンの更新を終了し、処理を終了する。差異が検出された時点で比較を終了することで、開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスまでのアドレス数が多い場合でも、解析に要する時間を短縮できる。
なお、ステップS10の座標合わせや、ステップS11の合成発光積分画像の比較は、合成発光積分画像を画像表示部8に表示させて、解析を行う者が手動で行ってもよい。
このように、本実施形態では、終了テストパターンアドレスが小さい順に画像の比較処理を行う。言い換えれば、終了テストパターンアドレスが開始テストパターンアドレスに近い合成発光積分画像を優先して比較処理を行うことになり、短時間で故障箇所を特定できる。
図9は、良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像の一例を示す図であり、同図(a),(b),(c)は、それぞれ、終了テストパターンアドレスが0,1,n(nは最終テストパターンアドレス)の場合に相当する。図9を用いて、比較部5の処理動作を具体的に説明する。比較部5は、まず、終了テストパターンアドレスが0の両画像を比較する(図2のステップS11)。図9(a)の例では、両画像とも発光L11があり、差異はない(図2ステップS12のNO)。よって次に、比較部5は終了テストパターンアドレスが1の両画像を比較する(ステップS11)。図9(b)の例では、両画像ともさらに発光L12があるが、不良品半導体装置の合成発光積分画像にのみ異常な発光L13があり、差異がある。よって、発光L13の箇所に故障が生じていることがわかる。
図9で、アドレス1に対応するテストパターンを不良品半導体装置に入力した場合に限って異常な発光L13が生じるとする。このとき、仮に、終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得する処理を行わず、図9(c)に示す開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスnまでの合成発光積分画像のみを取得して比較する場合、開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスまでのアドレス数n+1に対して、発光L13が生じるのはアドレス1の場合のみであり、発光L13が生じる頻度が極めて少ないため、異常な発光L13を検出できず、故障箇所を特定できないおそれがある。
これに対し、本実施形態では、終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得し、終了テストパターンアドレスが小さい順に比較を行う。そのため、図9(b)の例では、開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレス1までのアドレス数2に対して、発光L13が生じる頻度は相対的に大きくなる。よって、終了テストパターンアドレスが1の合成発光積分画像を比較することで、発光L13の有無の差異を簡易かつ正確に検出でき、故障箇所を正しく特定できる。
図10は、良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像の別の一例を示す図であり、同図(a),(b),(c)は、それぞれ、終了テストパターンアドレスが0,1,n(nは最終テストパターンアドレス)の場合に相当する。図10(a)に示すように、アドレス0に対応するテストパターンを入力した場合、良品半導体装置では発光L21があるが、不良品半導体装置では別の箇所に異常な発光L31がある。また、図10(b)に示すように、アドレス1に対応するテストパターンを入力した場合、良品半導体装置では不良品半導体装置の発光L31と同じ箇所に発光L22があるが、不良品半導体装置では良品半導体装置の発光L21と同じ箇所に異常な発光L32がある。すなわち、両半導体装置において、発光の位置は同じで、タイミングのみに差異がある。
この場合、終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得する処理を行わず、図10(c)に示す開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスnまでの合成発光積分画像のみを取得する場合、発光の差異はタイミングのみであるから、積分して得られる図10(c)では、差異を検出できず、故障箇所を特定できない。
これに対し、本実施形態では、終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得し、終了テストパターンアドレスが小さい順に比較を行うため、終了テストパターンアドレスが0の合成発光積分画像を比較することで、両者の差異を検出でき、故障箇所を特定できる。
このように、本実施形態では、終了テストパターンアドレスを変化させながら複数の合成発光積分画像を取得し、終了テストパターンアドレスが小さい順、すなわち開始テストパターンアドレスに近い終了テストパターンアドレスから順に良品および不良品半導体装置の合成発光積分画像の比較を行う。そのため、不良品半導体装置における異常な発光が生じる頻度が小さい場合や、良品半導体装置との発光の差異がタイミングの差異のみである場合でも、合成発光積分画像の差異を精度よく検出でき、故障箇所を正しく特定できる。また、差異が検出されると比較を終了するため、開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスまでのアドレス数が多い場合でも、解析に要する時間を短縮できる。さらに、制御部1が、発光検出器7の撮影タイミングの制御や、終了テストパターンアドレスの変更を自動で行うため、解析を行う者がこれらの作業を行う必要がなく、手間をかけずに故障箇所の特定を行うことができる。
図6等では、アドレス移動ステップ値を1として終了テストパターンアドレスを変化させていく例を示したが、このアドレス移動ステップ値は任意でよい。アドレス移動ステップ値は、開始テストパターンアドレスから最終テストパターンアドレスまでのアドレス数に応じて定めることにしてもよい。
発光検出器7の感度が高い場合などは、テストパターンの入力を所定の回数繰り返さず、一度だけ半導体装置21に入力してもよい。
発光検出器7はパターン画像および発光積分画像を等しい倍率で撮影するが、その倍率は半導体装置21の発光を検出可能な倍率に設定される。また、微小な発光を確実に検出するためには、倍率を上げて半導体装置21の一部のみを拡大して撮影するのが望ましい。
仮に上述の手法でも故障箇所を特定できない場合、テストパターンを繰り返し半導体装置21に入力する回数や、撮影の倍率、アドレス移動ステップ値、開始テストパターンアドレス等を換えて、再度発光解析を行ってもよい。
上述した実施形態では、良品半導体装置からの発光を観測して発光積分画像を取得する例を示したが、実際に発光を観測することなく、良品半導体装置にテストパターンを入力した場合の発光についてシミュレーションを行い、発光積分画像を取得してもよい。これにより、さらに簡易に故障箇所の特定を行うことができる。
上述した実施形態で説明した発光解析システムの少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、発光解析システムの少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやCD−ROM等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
また、発光解析システムの少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線(無線通信も含む)を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した個々の実施形態には限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
1 制御部
2 画像取得部
4 座標合わせ部
5 比較部
2 画像取得部
4 座標合わせ部
5 比較部
Claims (7)
- 所定の開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、ファンクションテストで良品と判断された良品半導体装置に入力される間に、前記良品半導体装置からの発光を積分して得られる第1の画像と、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、前記ファンクションテストで不良品と判断された不良品半導体装置に入力される間に、前記不良品半導体装置からの発光を積分して得られる第2の画像と、を、前記終了テストパターンアドレスを複数通りに変化させて前記第1および第2の画像を複数枚ずつ取得する画像取得部と、
前記終了テストパターンアドレス毎に、前記第1および第2の画像に差異があるか否かを比較する比較部と、を備えることを特徴とする発光解析装置。 - 前記画像取得部は、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記ファンクションテストで不良が検出されたアドレスである最終テストパターンアドレスまで、前記開始テストパターンアドレスに近いアドレスから順繰りに前記終了テストパターンアドレスを変化させて前記第1および第2の画像を複数枚ずつ取得し、
前記比較部は、前記開始テストパターンアドレスに近いアドレスから順繰りに前記終了テストパターンアドレスを更新しながら前記第1および第2の画像に差異があるか否かを比較することを特徴とする請求項1に記載の発光解析装置。 - 前記比較部は、前記第1および第2の画像に差異がある場合は、前記終了テストパターンアドレスの更新を終了することを特徴とする請求項2に記載の発光解析装置。
- 前記画像取得部は、前記第1または第2の画像の取得が一回ずつ終了する毎に、画像取得終了信号を生成し、
前記画像取得終了信号を受信すると、新たな前記終了テストパターンアドレスを生成し、前記所定の開始テストパターンから前記生成した終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンを生成する制御を行う制御部を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の発光解析装置。 - 前記画像取得部は、前記良品半導体装置のパターン画像と前記第1の画像とを合成した第1の合成発光積分画像と、前記不良品半導体装置のパターン画像と前記第2の画像とを合成した第2の合成発光積分画像と、を生成し、
前記第1および第2の合成発光積分画像に含まれる前記パターン画像に基づいて、前記第1および第2の画像の座標のずれを検出する座標合わせ部を備え、
前記比較部は、前記座標のずれを考慮して、前記第1および第2の合成発光積分画像に差異があるか否かを比較することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の発光解析装置。 - 前記画像取得部は、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが前記良品および前記不良品半導体装置に所定の回数繰り返し入力される間に、前記良品および不良品半導体からの発光を積分して得られる前記第1および第2の画像を取得することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の発光解析装置。
- 所定の開始テストパターンアドレスから終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、ファンクションテストで良品と判断された良品半導体装置に入力される間に、前記良品半導体装置からの発光を積分して得られる第1の画像と、前記所定の開始テストパターンアドレスから前記終了テストパターンアドレスのそれぞれに対応するテストパターンが、前記ファンクションテストで不良品と判断された不良品半導体装置に入力される間に、前記不良品半導体装置からの発光を積分して得られる第2の画像と、を、前記終了テストパターンアドレスを複数通りに変化させて前記第1および第2の画像を複数枚ずつ取得するステップと、
前記終了テストパターンアドレス毎に、前記第1および第2の画像に差異があるか否かを比較するステップと、を備えることを特徴とする発光解析方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009186494A JP2011040560A (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 発光解析装置および発光解析方法 |
US12/727,498 US8488864B2 (en) | 2009-08-11 | 2010-03-19 | Emission analysis device, method and system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009186494A JP2011040560A (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 発光解析装置および発光解析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011040560A true JP2011040560A (ja) | 2011-02-24 |
Family
ID=43588618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009186494A Pending JP2011040560A (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 発光解析装置および発光解析方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8488864B2 (ja) |
JP (1) | JP2011040560A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10937541B2 (en) | 2019-05-28 | 2021-03-02 | PAIGE.AI, Inc. | Systems and methods for processing images to prepare slides for processed images for digital pathology |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06151543A (ja) | 1992-11-13 | 1994-05-31 | Sharp Corp | 半導体素子不良解析装置 |
US6757645B2 (en) * | 1997-09-17 | 2004-06-29 | Numerical Technologies, Inc. | Visual inspection and verification system |
JP3660561B2 (ja) | 1999-11-10 | 2005-06-15 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路の故障解析装置 |
JP4131918B2 (ja) | 2002-07-10 | 2008-08-13 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路の故障解析装置及び故障解析方法 |
JP2005158780A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
-
2009
- 2009-08-11 JP JP2009186494A patent/JP2011040560A/ja active Pending
-
2010
- 2010-03-19 US US12/727,498 patent/US8488864B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8488864B2 (en) | 2013-07-16 |
US20110038506A1 (en) | 2011-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI680291B (zh) | 用於使光學圖像與掃描電子顯微鏡圖像相關聯之方法及系統 | |
US10026011B2 (en) | Mask inspection apparatus, mask evaluation method and mask evaluation system | |
TW200423276A (en) | Reading apparatus of probe trace and reading method of probe trace | |
JP2008267828A (ja) | はんだ検査ライン集中管理システム、それに用いられる管理装置及びはんだ検査ライン集中管理方法 | |
US7085408B1 (en) | Method and system for testing image sensor system-on-chip | |
JP2014212462A (ja) | 撮像装置 | |
CN107147902A (zh) | 摄像设备的检测方法及摄像设备 | |
JP2017045166A (ja) | ワークの処理方法、基準画像の作成方法、基準画像の作成装置、ワークの処理装置、プログラム、及び記録媒体 | |
WO2020039606A1 (ja) | ガス検出装置、情報処理装置およびプログラム | |
JP2011040560A (ja) | 発光解析装置および発光解析方法 | |
KR20100117793A (ko) | 음원 분석 장치 | |
CN113966524A (zh) | 半导体检查方法及半导体检查装置 | |
JP6395455B2 (ja) | 検査装置、検査方法およびプログラム | |
JP2007010419A (ja) | 対象物の3次元形状検証システム。 | |
JP2005227931A (ja) | 画像処理装置 | |
JP2004086712A (ja) | 画像処理装置 | |
JPWO2018158814A1 (ja) | 点検支援装置、点検支援方法およびプログラム | |
JP6917145B2 (ja) | 検査システム、検査方法及び検査プログラム | |
JP2008204775A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
KR20190044152A (ko) | 적외선 센서를 이용한 보드 테스트 장치 | |
WO2020246149A1 (ja) | 半導体検査装置及び半導体検査方法 | |
KR20190119372A (ko) | 시모스 이미지 센서의 검사 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 | |
JP2019139104A (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 | |
KR101898843B1 (ko) | AF(Anti-Finger)코팅 검사시스템 및 방법 | |
JP2018077135A (ja) | 振動試験方法及び振動試験装置 |