JPS63177274A - パタ−ン認識装置 - Google Patents
パタ−ン認識装置Info
- Publication number
- JPS63177274A JPS63177274A JP62008465A JP846587A JPS63177274A JP S63177274 A JPS63177274 A JP S63177274A JP 62008465 A JP62008465 A JP 62008465A JP 846587 A JP846587 A JP 846587A JP S63177274 A JPS63177274 A JP S63177274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- television camera
- image
- pattern recognition
- image processing
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 claims description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 12
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、パターン認識装置に関し、さらに詳しくは
、半導体装置などの製造分野において、目視検査を自動
化するために、テレビカメラと記憶画像処理装置とを組
合わせて構成するパターン認識装置の改良に係るもので
ある。
、半導体装置などの製造分野において、目視検査を自動
化するために、テレビカメラと記憶画像処理装置とを組
合わせて構成するパターン認識装置の改良に係るもので
ある。
半導体装置などの製造分野においては、一般的に横長の
巾広い視野範囲内にある被検査対象物体面を検査するた
めに、通常の場合、テレビカメラと記憶画像処理装置と
を組合わせたパターン認識？装置を用いて、検査視野範
囲を左右２つの範囲に分割し、これらの分割された各検
査視野範囲を。
巾広い視野範囲内にある被検査対象物体面を検査するた
めに、通常の場合、テレビカメラと記憶画像処理装置と
を組合わせたパターン認識？装置を用いて、検査視野範
囲を左右２つの範囲に分割し、これらの分割された各検
査視野範囲を。
各別２台のテレビカメラにより撮像してパターン認識を
なすようにしている。
なすようにしている。
こ−で２．従来例によるこの種のパターン認識装置の概
要構成を第２図に示す。
要構成を第２図に示す。
すなわち、この第２図従来例装置において、符号ｌは被
検査対象物体、ｌａ、ｌｂは左右２つの範囲に分割され
た各検査視野範囲である。また、２ａおよび２ｂはこれ
らの分割された検査視野範囲１ａ、ｌｂを各別に撮像す
る第１．第２のテレビカメラ、５ａおよび５ｂはこれら
の各テレビカメラ２ａ、２ｂにそれぞれ接続された第１
．第２の画像処理装置、 ８ａおよび６ｂはこれらの各
画像処理装置５ａ、５ｂの記憶画像を各別にパターン認
識する第１．第２のマイクロコンピュータである。
検査対象物体、ｌａ、ｌｂは左右２つの範囲に分割され
た各検査視野範囲である。また、２ａおよび２ｂはこれ
らの分割された検査視野範囲１ａ、ｌｂを各別に撮像す
る第１．第２のテレビカメラ、５ａおよび５ｂはこれら
の各テレビカメラ２ａ、２ｂにそれぞれ接続された第１
．第２の画像処理装置、 ８ａおよび６ｂはこれらの各
画像処理装置５ａ、５ｂの記憶画像を各別にパターン認
識する第１．第２のマイクロコンピュータである。
つまり、この第２図に示した従来例のパターン認識装置
では、被検査対象物体１の左右２つに分割された各検査
視野範囲１ａ、ｌｂを、２台からなる第１．第２のテレ
ビカメラ２ａ、２ｂにより各別に撮像してそれぞれに対
応する第１．第２の画像処理装置ｉ５ａ、５ｂに記憶さ
せると共に、その記憶画像を同様に対応する第１．第２
のマイクロコンピュータ６ａ、ｅｂによって、各別にパ
ターン認識するようにしているのである。
では、被検査対象物体１の左右２つに分割された各検査
視野範囲１ａ、ｌｂを、２台からなる第１．第２のテレ
ビカメラ２ａ、２ｂにより各別に撮像してそれぞれに対
応する第１．第２の画像処理装置ｉ５ａ、５ｂに記憶さ
せると共に、その記憶画像を同様に対応する第１．第２
のマイクロコンピュータ６ａ、ｅｂによって、各別にパ
ターン認識するようにしているのである。
しかしながら、前記した従来例でのパターン認識装置に
おいては、このようにそれぞれ第１．第２の各テレビカ
メラ２ａ、２ｂで撮像された各検査視野範囲１ａ、ｌｂ
の画像を個別にパターン認識するようにしているために
、それぞれ２台づ−の第１゜第２の画像処理装置５ａ、
５ｂおよび第１．第２のマイクロコンピュータ８ａ、８
ｂを必要としており、従って装置構成が比較的に大型化
するばかりか、その操作態様も頗る煩雑化して、結果的
に使用に不便で、しかも高価な装置になると云う不都合
があった。
おいては、このようにそれぞれ第１．第２の各テレビカ
メラ２ａ、２ｂで撮像された各検査視野範囲１ａ、ｌｂ
の画像を個別にパターン認識するようにしているために
、それぞれ２台づ−の第１゜第２の画像処理装置５ａ、
５ｂおよび第１．第２のマイクロコンピュータ８ａ、８
ｂを必要としており、従って装置構成が比較的に大型化
するばかりか、その操作態様も頗る煩雑化して、結果的
に使用に不便で、しかも高価な装置になると云う不都合
があった。
この発明は従来のこのような問題点を解消するためにな
されたものであって、その目的とするところは、装置構
成の小型化、操作仕様の簡略化。
されたものであって、その目的とするところは、装置構
成の小型化、操作仕様の簡略化。
ならびに低廉化を図った。この種のパターン認識装置を
提供することである。
提供することである。
前記目的を達成するために、この発明に係るパターン認
識装置は、被検査対象物体の左右２つに分割された各検
査視野範囲を、第１．第２の各テレビカメラにより各別
に撮像してパターン認識する場合、第１のテレビカメラ
の垂直同期信号出力を、予め設定された遅延時間の位相
差を有する垂直同期信号に変換して第２のテレビカメラ
に出力し、この第２のテレビカメラを外部同期駆動させ
る垂直同期信号遅延手段と、これらの第１．第２の各テ
レビカメラによって撮像された画像信号の必要部分を、
第１のテレビカメラの１フレーム時間内に抽出して画像
処理装置に出力する切換え手段と、この切換え手段によ
って抽出された各画像信号部分を、１フレームの合成画
像として記憶する画像処理装置と、この画像処理装置の
記憶画像をパターン認識するマイクロコンピュータとに
より構成したものである。
識装置は、被検査対象物体の左右２つに分割された各検
査視野範囲を、第１．第２の各テレビカメラにより各別
に撮像してパターン認識する場合、第１のテレビカメラ
の垂直同期信号出力を、予め設定された遅延時間の位相
差を有する垂直同期信号に変換して第２のテレビカメラ
に出力し、この第２のテレビカメラを外部同期駆動させ
る垂直同期信号遅延手段と、これらの第１．第２の各テ
レビカメラによって撮像された画像信号の必要部分を、
第１のテレビカメラの１フレーム時間内に抽出して画像
処理装置に出力する切換え手段と、この切換え手段によ
って抽出された各画像信号部分を、１フレームの合成画
像として記憶する画像処理装置と、この画像処理装置の
記憶画像をパターン認識するマイクロコンピュータとに
より構成したものである。
従って、この発明装置では、第１のテレビカメラの画像
信号と、垂直同期信号遅延手段によって外部同期駆動さ
れる第２のテレビカメラの画像信号との必要部分を、切
換え手段により第１のテレビカメラの１フレ一゛ム時間
内に抽出して、ｌフレームの合成画像として画像処理装
置に記憶させ、この記憶画像をマイクロコンピュータに
よりパターン認識し得るのである。
信号と、垂直同期信号遅延手段によって外部同期駆動さ
れる第２のテレビカメラの画像信号との必要部分を、切
換え手段により第１のテレビカメラの１フレ一゛ム時間
内に抽出して、ｌフレームの合成画像として画像処理装
置に記憶させ、この記憶画像をマイクロコンピュータに
よりパターン認識し得るのである。
以下、この発明に係るパターン認識装置の具体化した一
実施例につき、第１図を参照して詳細に説明する。
実施例につき、第１図を参照して詳細に説明する。
第１図はこの実施例によるパターン認識装置の概要構成
を示すブロック図であり、この第１図実施例装置におい
て、前記第２図従来例装置と同一符号は同一または相当
部分を示している。
を示すブロック図であり、この第１図実施例装置におい
て、前記第２図従来例装置と同一符号は同一または相当
部分を示している。
すなわち、この第１図実施例装置においても、符号ｌは
被検査対象物体、 ｌａ、ｌｂは左右２つの範囲に分割
された各検査視野範囲であり、 ２ａおよび２ｂはこれ
らの分割された検査視野範囲１ａ、ｌｂを各別に撮像す
る２台からなる第１．第２のテレビカメラである。
被検査対象物体、 ｌａ、ｌｂは左右２つの範囲に分割
された各検査視野範囲であり、 ２ａおよび２ｂはこれ
らの分割された検査視野範囲１ａ、ｌｂを各別に撮像す
る２台からなる第１．第２のテレビカメラである。
また、３は前記第１のテレビカメラ２ａの垂直同期信号
出力を、予め設定した遅延時間の位相差を有する垂直同
期信号に変換して、第２のテレビカメラ２ｂに出力する
垂直同期信号遅延手段、こへでは垂直同期信号遅延回路
、４は第１．第２のテレビカメラ２ａ、２ｂによって撮
像された画像信号の必要部分を、第１のテレビカメラ２
ａの１フレーム時間内に抽出して出力する切換え手段、
こ−では電子切換え回路、５はこの電子切換え回路４か
ら出力される各画像信号の必要部分をして、１フレーム
の合成画像として記憶する１台だけの画像処理装置、６
はこの画像処理装置５の記憶画像をパターン認識する１
台だけのマイクロコンピュータである。
出力を、予め設定した遅延時間の位相差を有する垂直同
期信号に変換して、第２のテレビカメラ２ｂに出力する
垂直同期信号遅延手段、こへでは垂直同期信号遅延回路
、４は第１．第２のテレビカメラ２ａ、２ｂによって撮
像された画像信号の必要部分を、第１のテレビカメラ２
ａの１フレーム時間内に抽出して出力する切換え手段、
こ−では電子切換え回路、５はこの電子切換え回路４か
ら出力される各画像信号の必要部分をして、１フレーム
の合成画像として記憶する１台だけの画像処理装置、６
はこの画像処理装置５の記憶画像をパターン認識する１
台だけのマイクロコンピュータである。
従って、この実施例構成においても、被検査対象物体１
の左右２つに分割された各検査視野範囲ｌａ、ｌｂを、
２台からなる第１．第２のテレビカメラ２ａ、２ｂによ
り各別に撮像するが、この場合、第１のテレビカメラ２
ａの画像信号と、垂直同期信号遅延回路３によって外部
同期駆動される第２のテレビカメラ２ｂの画像信号との
必要部分を、電子切換え回路４により第１のテレビカメ
ラ２ａの１フレーム時間内に抽出して、これを１フレー
ムの合成画像、つまり１フレームの画像内にあって、必
要とされる撮像画像の左半分が１フレームの上半分に、
右半分が１フレームの下半分に合成された状態で１画像
処理装置５に記憶されると共に、この変換記憶された画
像をマイクロコンピュータ６によりパターン認識し得る
のである。
の左右２つに分割された各検査視野範囲ｌａ、ｌｂを、
２台からなる第１．第２のテレビカメラ２ａ、２ｂによ
り各別に撮像するが、この場合、第１のテレビカメラ２
ａの画像信号と、垂直同期信号遅延回路３によって外部
同期駆動される第２のテレビカメラ２ｂの画像信号との
必要部分を、電子切換え回路４により第１のテレビカメ
ラ２ａの１フレーム時間内に抽出して、これを１フレー
ムの合成画像、つまり１フレームの画像内にあって、必
要とされる撮像画像の左半分が１フレームの上半分に、
右半分が１フレームの下半分に合成された状態で１画像
処理装置５に記憶されると共に、この変換記憶された画
像をマイクロコンピュータ６によりパターン認識し得る
のである。
以上詳述したようにこの発明によれば、被検査対象物体
の左右２つに分割された各検査視野範囲を、 ｆ５ ｌ
、第２の各テレビカメラにより各別に撮像してパター
ン認識する場合にあって、第１のテレビカメラの垂直同
期信号出力を、予め設定されたｉｉ時間の位相差を有す
る垂直同期信号に変換して第２のテレビカメラに出力し
、この第２のテレビカメラを外部同期駆動させる垂直同
期信号遅延手段と、これらの第１．第２の各テレビカメ
ラによって撮像された画像信号の必要部分を、第１のテ
レビカメラの１フレーム時間内に抽出して画像処理装置
に出力する切換え手段とを設けて構成し、第１のテレビ
カメラの画像信号と、垂直同期信号遅延手段によって外
部同期駆動される第２のテレビカメラの画像信号との必
要部分を、切換え手段により第１のテレビカメラの１フ
レーム時間内に抽出して、この必要とされる各画像信号
部分を、ｌフレームの合成画像として画像処理装置に記
憶させると共に、この記憶画像をマイクロコンピュータ
によりパターン認識させるようにしたから、すなわち、
第１．第２の各テレビカメラでそれぞれに撮像された各
検査視野範囲の画像を個別にパターン認識させずに、こ
れらの各画像の必要部分を１フレームの合成画像として
、同時にパターン認識させるようにしているために、第
１．第２の各テレビカメラ以降のそれぞれの機器９回路
構成を、１台づ−で済ませることが可能になり。
の左右２つに分割された各検査視野範囲を、 ｆ５ ｌ
、第２の各テレビカメラにより各別に撮像してパター
ン認識する場合にあって、第１のテレビカメラの垂直同
期信号出力を、予め設定されたｉｉ時間の位相差を有す
る垂直同期信号に変換して第２のテレビカメラに出力し
、この第２のテレビカメラを外部同期駆動させる垂直同
期信号遅延手段と、これらの第１．第２の各テレビカメ
ラによって撮像された画像信号の必要部分を、第１のテ
レビカメラの１フレーム時間内に抽出して画像処理装置
に出力する切換え手段とを設けて構成し、第１のテレビ
カメラの画像信号と、垂直同期信号遅延手段によって外
部同期駆動される第２のテレビカメラの画像信号との必
要部分を、切換え手段により第１のテレビカメラの１フ
レーム時間内に抽出して、この必要とされる各画像信号
部分を、ｌフレームの合成画像として画像処理装置に記
憶させると共に、この記憶画像をマイクロコンピュータ
によりパターン認識させるようにしたから、すなわち、
第１．第２の各テレビカメラでそれぞれに撮像された各
検査視野範囲の画像を個別にパターン認識させずに、こ
れらの各画像の必要部分を１フレームの合成画像として
、同時にパターン認識させるようにしているために、第
１．第２の各テレビカメラ以降のそれぞれの機器９回路
構成を、１台づ−で済ませることが可能になり。
従来例構成に比較するとき、装置構成全体の小型化、お
よび操作仕様の簡略化をそれぞれに達成でき、併せてこ
の種のパターン認識装置を廉価に提供し得られ、しかも
装置構成が簡単であること−も相俟って容易に実施でき
るなどの優れた種々の特長を有するものである。
よび操作仕様の簡略化をそれぞれに達成でき、併せてこ
の種のパターン認識装置を廉価に提供し得られ、しかも
装置構成が簡単であること−も相俟って容易に実施でき
るなどの優れた種々の特長を有するものである。
ｍ１図はこの発明に係るパターン認識装置の一実施例に
よる概要構成を示すブロック図であり、また、第２図は
同上従来例によるパターン認識装置の概要構成を示すブ
ロック図である。 ｌ・・・・被検査対象物体、ｌａ、ｌｂ・・・・分割さ
れた各検査視野範囲、 ２ａ、２ｂ・・・・第１．第２
のテレビカメラ、３・・・・垂直同期信号遅延回路（垂
直同期信号遅延手段）、４・・・・電子切換え回路（切
換え手段）、５・・・・画像処理装置、６・・・・マイ
クロコンピュータ。
よる概要構成を示すブロック図であり、また、第２図は
同上従来例によるパターン認識装置の概要構成を示すブ
ロック図である。 ｌ・・・・被検査対象物体、ｌａ、ｌｂ・・・・分割さ
れた各検査視野範囲、 ２ａ、２ｂ・・・・第１．第２
のテレビカメラ、３・・・・垂直同期信号遅延回路（垂
直同期信号遅延手段）、４・・・・電子切換え回路（切
換え手段）、５・・・・画像処理装置、６・・・・マイ
クロコンピュータ。
Claims (1)
- 被検査対象物体の左右２つに分割された各検査視野範囲
を、第１、第２の各テレビカメラにより各別に撮像して
パターン認識する装置であつて、前記第１のテレビカメ
ラの垂直同期信号出力を、予め設定された遅延時間の位
相差を有する垂直同期信号に変換して前記第２のテレビ
カメラに出力し、この第２のテレビカメラを外部同期駆
動させる垂直同期信号遅延手段と、前記第１、第２のテ
レビカメラによつて撮像された画像信号の必要部分を、
第１のテレビカメラの１フレーム時間内に抽出して画像
処理装置に出力する切換え手段と、この切換え手段によ
つて抽出された各画像信号部分を、１フレームの合成画
像として記憶する画像処理装置と、この画像処理装置の
記憶画像をパターン認識するマイクロコンピュータとを
備えることを特徴とするパターン認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008465A JPS63177274A (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | パタ−ン認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008465A JPS63177274A (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | パタ−ン認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177274A true JPS63177274A (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=11693881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008465A Pending JPS63177274A (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | パタ−ン認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177274A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0557227A2 (en) * | 1992-02-21 | 1993-08-25 | CONTROL AUTOMATION, Inc. | Method and apparatus for inspecting a printed circuit board |
-
1987
- 1987-01-17 JP JP62008465A patent/JPS63177274A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0557227A2 (en) * | 1992-02-21 | 1993-08-25 | CONTROL AUTOMATION, Inc. | Method and apparatus for inspecting a printed circuit board |
| EP0557227A3 (en) * | 1992-02-21 | 1994-08-17 | Control Automation Inc | Method and apparatus for inspecting a printed circuit board |
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