JP3251758B2 - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
半導体集積回路装置の製造方法Info
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- JP3251758B2 JP3251758B2 JP01812394A JP1812394A JP3251758B2 JP 3251758 B2 JP3251758 B2 JP 3251758B2 JP 01812394 A JP01812394 A JP 01812394A JP 1812394 A JP1812394 A JP 1812394A JP 3251758 B2 JP3251758 B2 JP 3251758B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ショットキ−接合と
オ−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性が低
下することのない半導体集積回路装置およびその製造方
法に関する。
オ−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性が低
下することのない半導体集積回路装置およびその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の半導体集積回路装置を示
す断面図である。Ｐ型シリコン基板１の表面にはＮ+ 埋
込み層２が形成されており、このＮ+ 埋込み層２及びＰ
型シリコン基板１の上にはＰ型エピタキシャル層３が形
成されている。このＰ型エピタキシャル層３には前記Ｎ
+ 埋込み層２の上に位置するＮウェル領域の拡散層４が
形成されており、このＮウェル領域の拡散層４の内には
ＤｅｅｐＮ+ 層６が形成されている。
す断面図である。Ｐ型シリコン基板１の表面にはＮ+ 埋
込み層２が形成されており、このＮ+ 埋込み層２及びＰ
型シリコン基板１の上にはＰ型エピタキシャル層３が形
成されている。このＰ型エピタキシャル層３には前記Ｎ
+ 埋込み層２の上に位置するＮウェル領域の拡散層４が
形成されており、このＮウェル領域の拡散層４の内には
ＤｅｅｐＮ+ 層６が形成されている。
【０００３】前記Ｐ型エピタキシャル層３の表面にはＬ
ＯＣＯＳ法により第１乃至第３のフィ−ルド酸化膜５ａ
〜５ｃが形成されている。前記Ｐ型エピタキシャル層３
のＤｅｅｐＮ+ 層６内には第２及び第３のフィ−ルド酸
化膜５ｂ、５ｃの相互間に位置するコンタクト層７が形
成されている。前記Ｎウェル領域の拡散層４内には、第
１及び第２のフィ−ルド酸化膜５ａ、５ｂそれぞれの近
傍に位置するショットキ−接合のガ−ドリング領域８が
形成されている。このガ−ドリング領域８は、接合エッ
ジの影響をなくすために配置されるものである。
ＯＣＯＳ法により第１乃至第３のフィ−ルド酸化膜５ａ
〜５ｃが形成されている。前記Ｐ型エピタキシャル層３
のＤｅｅｐＮ+ 層６内には第２及び第３のフィ−ルド酸
化膜５ｂ、５ｃの相互間に位置するコンタクト層７が形
成されている。前記Ｎウェル領域の拡散層４内には、第
１及び第２のフィ−ルド酸化膜５ａ、５ｂそれぞれの近
傍に位置するショットキ−接合のガ−ドリング領域８が
形成されている。このガ−ドリング領域８は、接合エッ
ジの影響をなくすために配置されるものである。
【０００４】前記第１乃至第３のフィ−ルド酸化膜５ａ
〜５ｃおよびＰ型エピタキシャル層３の上には絶縁膜９
が設けられている。この絶縁膜９にはガ−ドリング領域
８及びコンタクト層７それぞれの上に位置する第１及び
第２のコンタクトホ−ル９ａ、９ｂが設けられている。
これらコンタクトホ−ル９ａ、９ｂの内および絶縁膜９
の上には第１層目のＡｌ配線１０が形成されている。こ
の結果、第１のコンタクトホ−ル９ａ内においてはＡｌ
配線１０とＮウェル領域の拡散層４とによるショットキ
−接合が形成され、第２のコンタクトホ−ル９ｂ内にお
いてはＡｌ配線１０とコンタクト層７とによるオ−ミッ
ク接合が形成されている。前記Ａｌ配線１０及び絶縁膜
９の上には層間絶縁膜１１が堆積されている。
〜５ｃおよびＰ型エピタキシャル層３の上には絶縁膜９
が設けられている。この絶縁膜９にはガ−ドリング領域
８及びコンタクト層７それぞれの上に位置する第１及び
第２のコンタクトホ−ル９ａ、９ｂが設けられている。
これらコンタクトホ−ル９ａ、９ｂの内および絶縁膜９
の上には第１層目のＡｌ配線１０が形成されている。こ
の結果、第１のコンタクトホ−ル９ａ内においてはＡｌ
配線１０とＮウェル領域の拡散層４とによるショットキ
−接合が形成され、第２のコンタクトホ−ル９ｂ内にお
いてはＡｌ配線１０とコンタクト層７とによるオ−ミッ
ク接合が形成されている。前記Ａｌ配線１０及び絶縁膜
９の上には層間絶縁膜１１が堆積されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
半導体集積回路装置では、第１層目のＡｌ配線１０とＰ
型エピタキシャル層３との接合部において、ＳｉがＡｌ
配線１０側に吸い出されるという現象が起こる。この現
象で問題となるのは、半導体集積回路装置が微細化され
ることに伴って例えば図示せぬバイポ−ラ・トランジス
タのＮ型のエミッタ領域の深さが浅くなった場合に、Ｓ
ｉが吸い出されることによりＡｌ配線と前記エミッタ領
域の下に位置するＰ型のベ−ス領域とが直接接続されて
しまうことである。このような問題の改善策としては、
第１層目のＡｌ配線とＰ型エピタキシャル層３との間に
Ｔｉ等の高融点金属を配置することにより良好なオ−ミ
ック接合を形成することが考えられる。
半導体集積回路装置では、第１層目のＡｌ配線１０とＰ
型エピタキシャル層３との接合部において、ＳｉがＡｌ
配線１０側に吸い出されるという現象が起こる。この現
象で問題となるのは、半導体集積回路装置が微細化され
ることに伴って例えば図示せぬバイポ−ラ・トランジス
タのＮ型のエミッタ領域の深さが浅くなった場合に、Ｓ
ｉが吸い出されることによりＡｌ配線と前記エミッタ領
域の下に位置するＰ型のベ−ス領域とが直接接続されて
しまうことである。このような問題の改善策としては、
第１層目のＡｌ配線とＰ型エピタキシャル層３との間に
Ｔｉ等の高融点金属を配置することにより良好なオ−ミ
ック接合を形成することが考えられる。
【０００６】しかし、上記のように高融点金属を配置す
ると、良好なオ−ミック接合を形成することはできる
が、良好なショットキ−接合を形成することができなく
なるという問題が生じる。この理由は、高融点金属とＳ
ｉとによりショットキ−接合を形成すると、高融点金属
とＳｉの仕事関数の差が小さいため、ショットキ−接合
としてはリ−ク量が増加し、良好なショットキ−接合を
得ることはできないからである。
ると、良好なオ−ミック接合を形成することはできる
が、良好なショットキ−接合を形成することができなく
なるという問題が生じる。この理由は、高融点金属とＳ
ｉとによりショットキ−接合を形成すると、高融点金属
とＳｉの仕事関数の差が小さいため、ショットキ−接合
としてはリ−ク量が増加し、良好なショットキ−接合を
得ることはできないからである。
【０００７】一方、オ−ミック接合とショットキ−接合
とを共に良好に形成する方法としては、両接合部に高融
点金属膜を形成した後、ショットキ−接合部のみの高融
点金属をリソグラフィ工程により除去し、次にショット
キ−接合部にＡｌ膜を形成することが考えられる。この
方法では次の二つの点が問題となる。一つは、従来の半
導体集積回路装置の製造工程に比べ、リソグラフィ工程
の数が増加することである。二つめは、ショットキ−接
合部に一度高融点金属膜を形成すると、この膜がシリサ
イド化されるため、このシリサイドをリソグラフィ工程
により除去した後の界面をショットキ−接合に使用する
のが特性的に懸念されることである。つまり、ショット
キ−接合部の信頼性が低下することである。したがっ
て、上記従来の半導体集積回路装置では、ショットキ−
接合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化すると、シ
ョットキ−接合部又はオ−ミック接合部のいずれか一方
の信頼性が低下することになる。
とを共に良好に形成する方法としては、両接合部に高融
点金属膜を形成した後、ショットキ−接合部のみの高融
点金属をリソグラフィ工程により除去し、次にショット
キ−接合部にＡｌ膜を形成することが考えられる。この
方法では次の二つの点が問題となる。一つは、従来の半
導体集積回路装置の製造工程に比べ、リソグラフィ工程
の数が増加することである。二つめは、ショットキ−接
合部に一度高融点金属膜を形成すると、この膜がシリサ
イド化されるため、このシリサイドをリソグラフィ工程
により除去した後の界面をショットキ−接合に使用する
のが特性的に懸念されることである。つまり、ショット
キ−接合部の信頼性が低下することである。したがっ
て、上記従来の半導体集積回路装置では、ショットキ−
接合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化すると、シ
ョットキ−接合部又はオ−ミック接合部のいずれか一方
の信頼性が低下することになる。
【０００８】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、ショットキ−接合とオ
−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性が低下
することのない半導体集積回路装置およびその製造方法
を提供することにある。
されたものであり、その目的は、ショットキ−接合とオ
−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性が低下
することのない半導体集積回路装置およびその製造方法
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するため、半導体層と、前記半導体層とオ−ミック
接合され、少なくとも下層が高融点金属により構成され
た第１層目の金属積層配線と、前記第１層目の金属積層
配線および前記半導体層の上に形成された絶縁膜と、前
記絶縁膜に設けられたショットキ−領域に位置するホ−
ルと、前記ホ−ル内および前記絶縁膜の上に形成され、
前記半導体層とショットキ−接合された第２層目の金属
配線と、を具備することを特徴としている。
解決するため、半導体層と、前記半導体層とオ−ミック
接合され、少なくとも下層が高融点金属により構成され
た第１層目の金属積層配線と、前記第１層目の金属積層
配線および前記半導体層の上に形成された絶縁膜と、前
記絶縁膜に設けられたショットキ−領域に位置するホ−
ルと、前記ホ−ル内および前記絶縁膜の上に形成され、
前記半導体層とショットキ−接合された第２層目の金属
配線と、を具備することを特徴としている。
【００１０】また、ショットキ−接合部およびオ−ミッ
ク接合部を有する半導体層の上に酸化膜を設ける工程
と、前記酸化膜の上に窒化珪素膜を堆積する工程と、前
記窒化珪素膜および前記酸化膜をパタ−ニングすること
により、前記オ−ミック接合部の半導体層を露出させる
工程と、前記半導体層および前記窒化珪素膜の上に高融
点金属膜を堆積する工程と、前記高融点金属膜の上に第
１の金属膜を堆積する工程と、前記第１の金属膜と前記
高融点金属膜とを１回のリソグラフィ工程によってパタ
−ニングすることにより、前記高融点金属膜と前記半導
体層とによるオ−ミック接合部を有する第１層目の金属
積層配線を形成する工程と、前記第１層目の金属積層配
線および前記窒化珪素膜の上に絶縁膜を設ける工程と、
前記絶縁膜に前記ショットキ−接合部の上に位置するホ
−ルを設ける工程と、前記ホ−ル内の窒化珪素膜及び酸
化膜を除去する工程と、前記ホ−ル内および前記絶縁膜
の上に第２の金属膜を堆積する工程と、前記第２の金属
膜をパタ−ニングすることにより、前記第２の金属膜と
前記半導体層とによるショットキ−接合部を有する第２
層目の金属配線を形成する工程と、を具備することを特
徴としている。
ク接合部を有する半導体層の上に酸化膜を設ける工程
と、前記酸化膜の上に窒化珪素膜を堆積する工程と、前
記窒化珪素膜および前記酸化膜をパタ−ニングすること
により、前記オ−ミック接合部の半導体層を露出させる
工程と、前記半導体層および前記窒化珪素膜の上に高融
点金属膜を堆積する工程と、前記高融点金属膜の上に第
１の金属膜を堆積する工程と、前記第１の金属膜と前記
高融点金属膜とを１回のリソグラフィ工程によってパタ
−ニングすることにより、前記高融点金属膜と前記半導
体層とによるオ−ミック接合部を有する第１層目の金属
積層配線を形成する工程と、前記第１層目の金属積層配
線および前記窒化珪素膜の上に絶縁膜を設ける工程と、
前記絶縁膜に前記ショットキ−接合部の上に位置するホ
−ルを設ける工程と、前記ホ−ル内の窒化珪素膜及び酸
化膜を除去する工程と、前記ホ−ル内および前記絶縁膜
の上に第２の金属膜を堆積する工程と、前記第２の金属
膜をパタ−ニングすることにより、前記第２の金属膜と
前記半導体層とによるショットキ−接合部を有する第２
層目の金属配線を形成する工程と、を具備することを特
徴としている。
【００１１】
【作用】この発明は、少なくとも下層が高融点金属によ
り構成された第１層目の金属積層配線と半導体層とによ
りオ−ミック接合を形成している。即ち、前記下層の高
融点金属と半導体層とによりオ−ミック接合を形成して
いる。このため、このオ−ミック接合部において半導体
の吸い出しが起こることがなく、良好なオ−ミック接合
を形成することができる。したがって、半導体集積回路
装置を微細化しても、オ−ミック接合部の信頼性が低下
することがない。
り構成された第１層目の金属積層配線と半導体層とによ
りオ−ミック接合を形成している。即ち、前記下層の高
融点金属と半導体層とによりオ−ミック接合を形成して
いる。このため、このオ−ミック接合部において半導体
の吸い出しが起こることがなく、良好なオ−ミック接合
を形成することができる。したがって、半導体集積回路
装置を微細化しても、オ−ミック接合部の信頼性が低下
することがない。
【００１２】さらに、第１層目の金属積層配線および半
導体層の上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜にホ−ルを設
け、このホ−ル内および絶縁膜の上に第２層目の金属配
線を形成し、この第２層目の金属配線と半導体層とによ
りショットキ−接合を形成している。前記第２層目の金
属配線は高融点金属以外の金属からなるものであり、前
記第２層目の金属配線と半導体層とは良好なショットキ
−接合を形成することができる。したがって、ショット
キ−接合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化して
も、良好な両接合を形成することができる。
導体層の上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜にホ−ルを設
け、このホ−ル内および絶縁膜の上に第２層目の金属配
線を形成し、この第２層目の金属配線と半導体層とによ
りショットキ−接合を形成している。前記第２層目の金
属配線は高融点金属以外の金属からなるものであり、前
記第２層目の金属配線と半導体層とは良好なショットキ
−接合を形成することができる。したがって、ショット
キ−接合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化して
も、良好な両接合を形成することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例に
ついて説明する。図１乃至図５は、この発明の実施例に
よる半導体集積回路装置の製造方法を示す断面図であ
る。先ず、図２に示すように、Ｐ型シリコン基板２１の
表面には第１及び第２のＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂが
形成され、これらＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂ及びＰ型
シリコン基板２１の上にはＰ型エピタキシャル層２３が
形成される。この後、このＰ型エピタキシャル層２３に
は前記第１及び第２のＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂそれ
ぞれの上に位置する第１及び第２のＮウェル領域２４
ａ、２４ｂが形成される。これらＮウェル領域２４ａ、
２４ｂそれぞれの内には第１及び第２のＤｅｅｐＮ+ 層
２６ａ、２６ｂが形成される。
ついて説明する。図１乃至図５は、この発明の実施例に
よる半導体集積回路装置の製造方法を示す断面図であ
る。先ず、図２に示すように、Ｐ型シリコン基板２１の
表面には第１及び第２のＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂが
形成され、これらＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂ及びＰ型
シリコン基板２１の上にはＰ型エピタキシャル層２３が
形成される。この後、このＰ型エピタキシャル層２３に
は前記第１及び第２のＮ+ 埋込み層２２ａ、２２ｂそれ
ぞれの上に位置する第１及び第２のＮウェル領域２４
ａ、２４ｂが形成される。これらＮウェル領域２４ａ、
２４ｂそれぞれの内には第１及び第２のＤｅｅｐＮ+ 層
２６ａ、２６ｂが形成される。
【００１４】次に、前記Ｐ型エピタキシャル層２３の表
面にはＬＯＣＯＳ法により第１乃至第５のフィ−ルド酸
化膜２５ａ〜２５ｅが形成される。この後、前記第２の
Ｎウェル領域２４ｂにおいて、第４及び第５のフィ−ル
ド酸化膜２５ｄ、２５ｅの相互間にはＰ型のベ−ス領域
２７が形成される。次に、前記Ｐ型エピタキシャル層２
３の表面上にはシリコン酸化膜２８が形成され、このシ
リコン酸化膜２８及び第１乃至第５のフィ−ルド酸化膜
２５ａ〜２５ｅの上には窒化珪素膜２９が堆積される。
面にはＬＯＣＯＳ法により第１乃至第５のフィ−ルド酸
化膜２５ａ〜２５ｅが形成される。この後、前記第２の
Ｎウェル領域２４ｂにおいて、第４及び第５のフィ−ル
ド酸化膜２５ｄ、２５ｅの相互間にはＰ型のベ−ス領域
２７が形成される。次に、前記Ｐ型エピタキシャル層２
３の表面上にはシリコン酸化膜２８が形成され、このシ
リコン酸化膜２８及び第１乃至第５のフィ−ルド酸化膜
２５ａ〜２５ｅの上には窒化珪素膜２９が堆積される。
【００１５】この後、図３に示すように、前記窒化珪素
膜２９の上には第１のレジスト膜３０が設けられ、この
レジスト膜３０をマスクとして窒化珪素膜２９はパタ−
ニングされる。これにより、バイポ−ラトランジスタの
コレクタ領域３２、エミッタ領域３３及び図示せぬＮ型
ＭＯＳトランジスタのソ−ス・ドレイン領域それぞれの
上に存する窒化珪素膜２９は除去される。次に、第１の
レジスト膜３０及びフィ−ルド酸化膜２５ａ〜２５ｅを
マスクとして、Ｐ型エピタキシャル層２３には第１の不
純物３１がイオン注入される。
膜２９の上には第１のレジスト膜３０が設けられ、この
レジスト膜３０をマスクとして窒化珪素膜２９はパタ−
ニングされる。これにより、バイポ−ラトランジスタの
コレクタ領域３２、エミッタ領域３３及び図示せぬＮ型
ＭＯＳトランジスタのソ−ス・ドレイン領域それぞれの
上に存する窒化珪素膜２９は除去される。次に、第１の
レジスト膜３０及びフィ−ルド酸化膜２５ａ〜２５ｅを
マスクとして、Ｐ型エピタキシャル層２３には第１の不
純物３１がイオン注入される。
【００１６】次に、図４に示すように、前記イオン注入
により、前記第１及び第２のＤｅｅｐＮ+ 層２６ａ、２
６ｂそれぞれの内には第１及び第２のコンタクト層４
１、３２ａが形成され、前記ベ−ス領域２７の内にはエ
ミッタ領域の拡散層３３ａが形成される。この後、前記
第１のレジスト膜３０は除去される。次に、窒化珪素膜
２９及びシリコン酸化膜２８の上には第２のレジスト膜
３４が設けられ、このレジスト膜３４をマスクとして窒
化珪素膜２９はパタ−ニングされる。これにより、ショ
ットキ−接合のガ−ドリング領域３６、バイポ−ラトラ
ンジスタの外部ベ−ス領域３７及び図示せぬＰ型ＭＯＳ
トランジスタのソ−ス・ドレイン領域それぞれの上にお
ける窒化珪素膜２９は除去される。この後、前記第２の
レジスト膜３４及びフィ−ルド酸化膜２５ａ〜２５ｅを
マスクとして、Ｐ型エピタキシャル層２３には第２の不
純物３５がイオン注入される。
により、前記第１及び第２のＤｅｅｐＮ+ 層２６ａ、２
６ｂそれぞれの内には第１及び第２のコンタクト層４
１、３２ａが形成され、前記ベ−ス領域２７の内にはエ
ミッタ領域の拡散層３３ａが形成される。この後、前記
第１のレジスト膜３０は除去される。次に、窒化珪素膜
２９及びシリコン酸化膜２８の上には第２のレジスト膜
３４が設けられ、このレジスト膜３４をマスクとして窒
化珪素膜２９はパタ−ニングされる。これにより、ショ
ットキ−接合のガ−ドリング領域３６、バイポ−ラトラ
ンジスタの外部ベ−ス領域３７及び図示せぬＰ型ＭＯＳ
トランジスタのソ−ス・ドレイン領域それぞれの上にお
ける窒化珪素膜２９は除去される。この後、前記第２の
レジスト膜３４及びフィ−ルド酸化膜２５ａ〜２５ｅを
マスクとして、Ｐ型エピタキシャル層２３には第２の不
純物３５がイオン注入される。
【００１７】この後、図５に示すように、前記イオン注
入により、前記第１のＮウェル領域２４ａ内にはガ−ド
リング領域のＰ型拡散層３６ａが形成され、前記ベ−ス
領域２７内には外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７ａが形成さ
れる。次に、前記第２のレジスト膜３４は除去される。
この後、前記窒化珪素膜２９、フィ−ルド酸化膜２５ａ
〜２５ｅ及びシリコン酸化膜２８の上にはＣＶＤ (Chem
ical Vapor Deposition)法により絶縁膜３８が堆積され
る。次に、この絶縁膜３８の上には図示せぬ第３のレジ
スト膜が設けられ、このレジスト膜をマスクとして前記
絶縁膜３８及びシリコン酸化膜２８はエッチングされ
る。これにより、前記絶縁膜３８には、ガ−ドリング領
域のＰ型拡散層３６ａ、第１、第２のコンタクト層４
１、３２ａ、外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７ａ及びエミッ
タ領域の拡散層３３ａそれぞれの上に位置する第１乃至
第５のコンタクトホ−ル３８ａ〜３８ｅが設けられる。
入により、前記第１のＮウェル領域２４ａ内にはガ−ド
リング領域のＰ型拡散層３６ａが形成され、前記ベ−ス
領域２７内には外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７ａが形成さ
れる。次に、前記第２のレジスト膜３４は除去される。
この後、前記窒化珪素膜２９、フィ−ルド酸化膜２５ａ
〜２５ｅ及びシリコン酸化膜２８の上にはＣＶＤ (Chem
ical Vapor Deposition)法により絶縁膜３８が堆積され
る。次に、この絶縁膜３８の上には図示せぬ第３のレジ
スト膜が設けられ、このレジスト膜をマスクとして前記
絶縁膜３８及びシリコン酸化膜２８はエッチングされ
る。これにより、前記絶縁膜３８には、ガ−ドリング領
域のＰ型拡散層３６ａ、第１、第２のコンタクト層４
１、３２ａ、外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７ａ及びエミッ
タ領域の拡散層３３ａそれぞれの上に位置する第１乃至
第５のコンタクトホ−ル３８ａ〜３８ｅが設けられる。
【００１８】次に、前記第３のレジスト膜は除去され、
前記コンタクトホ−ル３８ａ〜３８ｅの内及び絶縁膜３
８の上にはスパッタにより高融点金属である例えばＴｉ
からなるバリアメタル層３９が堆積される。この後、こ
のバリアメタル層３９はアニ−ルされる。次に、バリア
メタル層３９の上にはスパッタによりＡｌ層４０が堆積
され、このＡｌ層４０の上には図示せぬ第４のレジスト
膜が設けられる。この第４のレジスト膜をマスクとし
て、前記Ａｌ層４０及びバリアメタル層３９はパタ−ニ
ングされる。これにより、絶縁膜３８の上および第２乃
至第５のコンタクトホ−ル３８ｂ〜３８ｅ内にはバリア
メタル層３９とＡｌ層４０との積層構造により構成され
る第１層目の配線４３が形成される。この結果、この第
１層目の配線４３は、前記第１のコンタクト層４１、第
２のコンタクト層３２ａ、外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７
ａ及びエミッタ領域の拡散層３３ａそれぞれとオ−ミッ
ク接合を形成する。
前記コンタクトホ−ル３８ａ〜３８ｅの内及び絶縁膜３
８の上にはスパッタにより高融点金属である例えばＴｉ
からなるバリアメタル層３９が堆積される。この後、こ
のバリアメタル層３９はアニ−ルされる。次に、バリア
メタル層３９の上にはスパッタによりＡｌ層４０が堆積
され、このＡｌ層４０の上には図示せぬ第４のレジスト
膜が設けられる。この第４のレジスト膜をマスクとし
て、前記Ａｌ層４０及びバリアメタル層３９はパタ−ニ
ングされる。これにより、絶縁膜３８の上および第２乃
至第５のコンタクトホ−ル３８ｂ〜３８ｅ内にはバリア
メタル層３９とＡｌ層４０との積層構造により構成され
る第１層目の配線４３が形成される。この結果、この第
１層目の配線４３は、前記第１のコンタクト層４１、第
２のコンタクト層３２ａ、外部ベ−ス領域のＰ+ 層３７
ａ及びエミッタ領域の拡散層３３ａそれぞれとオ−ミッ
ク接合を形成する。
【００１９】この後、図１に示すように、第１層目の配
線４３、絶縁膜３８の上および第１のコンタクトホ−ル
３８ａの内には層間絶縁膜４４が堆積され、この層間絶
縁膜４４の上には図示せぬ第５のレジスト膜が設けられ
る。この第５のレジスト膜をマスクとして前記層間絶縁
膜４４がエッチングされることにより、この層間絶縁膜
４４には第１及び第２のフィ−ルド酸化膜２５ａ、２５
ｂの相互間上に位置する第６のコンタクトホ−ル４４ａ
が形成される。
線４３、絶縁膜３８の上および第１のコンタクトホ−ル
３８ａの内には層間絶縁膜４４が堆積され、この層間絶
縁膜４４の上には図示せぬ第５のレジスト膜が設けられ
る。この第５のレジスト膜をマスクとして前記層間絶縁
膜４４がエッチングされることにより、この層間絶縁膜
４４には第１及び第２のフィ−ルド酸化膜２５ａ、２５
ｂの相互間上に位置する第６のコンタクトホ−ル４４ａ
が形成される。
【００２０】次に、ウエット処理により、第６のコンタ
クトホ−ル４４ａ内のショットキ−領域４５の前記窒化
珪素膜２９及びシリコン酸化膜２８は除去される。これ
により、Ｐ型エピタキシャル層２３における第１のＮウ
ェル領域２４ａの表面は露出される。この後、第６のコ
ンタクトホ−ル４４ａの内及び層間絶縁膜４４の上には
Ａｌ層４６ａが堆積され、このＡｌ層４６ａの上には図
示せぬ第６のレジスト膜が設けられる。この第６のレジ
スト膜をマスクとして、前記Ａｌ層４６ａがパタ−ニン
グされる。これにより、第６のコンタクトホ−ル４４ａ
の内及び層間絶縁膜４４の上にはＡｌからなる第２層目
の配線４６が形成される。この結果、この第２層目の配
線４６は、前記第１のＮウェル領域２４ａとショットキ
−接合を形成する。尚、ショットキ−素子は、飽和動作
を行なわせるバイポ−ラ素子に付加することで高速動作
を可能にするものである。
クトホ−ル４４ａ内のショットキ−領域４５の前記窒化
珪素膜２９及びシリコン酸化膜２８は除去される。これ
により、Ｐ型エピタキシャル層２３における第１のＮウ
ェル領域２４ａの表面は露出される。この後、第６のコ
ンタクトホ−ル４４ａの内及び層間絶縁膜４４の上には
Ａｌ層４６ａが堆積され、このＡｌ層４６ａの上には図
示せぬ第６のレジスト膜が設けられる。この第６のレジ
スト膜をマスクとして、前記Ａｌ層４６ａがパタ−ニン
グされる。これにより、第６のコンタクトホ−ル４４ａ
の内及び層間絶縁膜４４の上にはＡｌからなる第２層目
の配線４６が形成される。この結果、この第２層目の配
線４６は、前記第１のＮウェル領域２４ａとショットキ
−接合を形成する。尚、ショットキ−素子は、飽和動作
を行なわせるバイポ−ラ素子に付加することで高速動作
を可能にするものである。
【００２１】上記実施例によれば、第２乃至第５のコン
タクトホ−ル３８ｂ〜３８ｅ内に、上層がＡｌ層４０、
下層がバリアメタル層３９により構成された第１層目の
配線４３を形成し、この配線４３と第１のコンタクト層
４１、エミッタ領域の拡散層３３ａ等とによりオ−ミッ
ク接合を形成している。即ち、このオ−ミック接合部
は、Ａｌ層４０と第１のコンタクト層４１等とにより形
成するのではなく、バリアメタル層３９と第１のコンタ
クト層４１等とにより形成している。このため、前記オ
−ミック接合部においてＳｉの吸い出しが起こることが
なく、良好なオ−ミック接合部を形成することができ
る。したがって、半導体集積回路装置を微細化した場
合、これに伴い前記エミッタ領域の拡散層３３ａ、第１
のコンタクト層４１等の深さが浅くなっても、前記オ−
ミック接合部においてＳｉの吸い出しが起こることがな
いから、オ−ミック接合部の信頼性の低下を防止するこ
とができる。
タクトホ−ル３８ｂ〜３８ｅ内に、上層がＡｌ層４０、
下層がバリアメタル層３９により構成された第１層目の
配線４３を形成し、この配線４３と第１のコンタクト層
４１、エミッタ領域の拡散層３３ａ等とによりオ−ミッ
ク接合を形成している。即ち、このオ−ミック接合部
は、Ａｌ層４０と第１のコンタクト層４１等とにより形
成するのではなく、バリアメタル層３９と第１のコンタ
クト層４１等とにより形成している。このため、前記オ
−ミック接合部においてＳｉの吸い出しが起こることが
なく、良好なオ−ミック接合部を形成することができ
る。したがって、半導体集積回路装置を微細化した場
合、これに伴い前記エミッタ領域の拡散層３３ａ、第１
のコンタクト層４１等の深さが浅くなっても、前記オ−
ミック接合部においてＳｉの吸い出しが起こることがな
いから、オ−ミック接合部の信頼性の低下を防止するこ
とができる。
【００２２】さらに、前記第１層目の配線４３、絶縁膜
３８の上および第１のコンタクトホ−ル３８ａの内に層
間絶縁膜４４を堆積し、この層間絶縁膜４４に第６のコ
ンタクトホ−ル４４ａを形成し、このコンタクトホ−ル
４４ａ内に第２層目の配線４６を形成し、この配線４６
と第１のＮウェル領域２４ａとによりショットキ−接合
を形成している。前記配線４６はＡｌからなるものであ
るため、前記配線４６と第１のＮウェル領域２４ａとは
良好なショットキ−接合を形成することができる。した
がって、ショットキ−接合とオ−ミック接合とを含む上
記のような半導体集積回路装置を微細化しても、良好な
ショットキ−接合とオ−ミック接合とを形成することが
できる。この結果、ショットキ−接合とオ−ミック接合
とを含む微細化された素子の信頼性の低下を防止するこ
とができる。
３８の上および第１のコンタクトホ−ル３８ａの内に層
間絶縁膜４４を堆積し、この層間絶縁膜４４に第６のコ
ンタクトホ−ル４４ａを形成し、このコンタクトホ−ル
４４ａ内に第２層目の配線４６を形成し、この配線４６
と第１のＮウェル領域２４ａとによりショットキ−接合
を形成している。前記配線４６はＡｌからなるものであ
るため、前記配線４６と第１のＮウェル領域２４ａとは
良好なショットキ−接合を形成することができる。した
がって、ショットキ−接合とオ−ミック接合とを含む上
記のような半導体集積回路装置を微細化しても、良好な
ショットキ−接合とオ−ミック接合とを形成することが
できる。この結果、ショットキ−接合とオ−ミック接合
とを含む微細化された素子の信頼性の低下を防止するこ
とができる。
【００２３】また、第１乃至第５のコンタクトホ−ル３
８ａ〜３８ｅの内及び絶縁膜３８の上にＴｉからなるバ
リアメタル層３９を堆積し、このバリアメタル層３９の
上にＡｌ層４０を堆積した後、このＡｌ層４０及びバリ
アメタル層３９を第４のレジスト膜によりパタ−ニング
している。つまり、前記Ａｌ層４０及びバリアメタル層
３９を１回のリソグラフィ工程によりパタ−ニングして
いる。したがって、素子の微細化のために高融点金属を
バリアメタル層３９として使用するプロセスの中に、新
たなリソグラフィ工程を追加することなく、即ち素子に
バリアメタル層を使用しないプロセスのリソグラフィ工
程のみにより、ショットキ−接合とオ−ミック接合とを
含む素子を得ることができる。この結果、従来の半導体
集積回路装置の製造工程に比べ、リソグラフィ工程の数
が増加することがない。
８ａ〜３８ｅの内及び絶縁膜３８の上にＴｉからなるバ
リアメタル層３９を堆積し、このバリアメタル層３９の
上にＡｌ層４０を堆積した後、このＡｌ層４０及びバリ
アメタル層３９を第４のレジスト膜によりパタ−ニング
している。つまり、前記Ａｌ層４０及びバリアメタル層
３９を１回のリソグラフィ工程によりパタ−ニングして
いる。したがって、素子の微細化のために高融点金属を
バリアメタル層３９として使用するプロセスの中に、新
たなリソグラフィ工程を追加することなく、即ち素子に
バリアメタル層を使用しないプロセスのリソグラフィ工
程のみにより、ショットキ−接合とオ−ミック接合とを
含む素子を得ることができる。この結果、従来の半導体
集積回路装置の製造工程に比べ、リソグラフィ工程の数
が増加することがない。
【００２４】また、Ｐ型エピタキシャル層２３の中の第
１のＮウェル領域２４ａ中のショットキ−領域４５の上
に窒化珪素膜２９を形成している。このため、絶縁膜３
８の第１のコンタクトホ−ル３８ａ内にバリアメタル層
３９を堆積しても、ショットキ−接合を形成する際の接
合面となる第１のＮウェル領域２４ａの表面と前記バリ
アメタル層３９とが接触することがない。この結果、前
記第１のＮウェル領域２４ａの表面は、前記バリアメタ
ル層３９によりシリサイド化されることがない。したが
って、Ａｌ層４６ａをパタ−ニングすることにより第２
層目の配線４６を形成した際、この配線４６と前記Ｎウ
ェル領域２４ａの表面とにより良好なショットキ−接合
を形成することができる。これにより、半導体集積回路
装置の信頼性の低下を防止することができる。
１のＮウェル領域２４ａ中のショットキ−領域４５の上
に窒化珪素膜２９を形成している。このため、絶縁膜３
８の第１のコンタクトホ−ル３８ａ内にバリアメタル層
３９を堆積しても、ショットキ−接合を形成する際の接
合面となる第１のＮウェル領域２４ａの表面と前記バリ
アメタル層３９とが接触することがない。この結果、前
記第１のＮウェル領域２４ａの表面は、前記バリアメタ
ル層３９によりシリサイド化されることがない。したが
って、Ａｌ層４６ａをパタ−ニングすることにより第２
層目の配線４６を形成した際、この配線４６と前記Ｎウ
ェル領域２４ａの表面とにより良好なショットキ−接合
を形成することができる。これにより、半導体集積回路
装置の信頼性の低下を防止することができる。
【００２５】尚、上記実施例では、この発明をバイポ−
ラ集積回路に用いているが、他の集積回路に用いること
も可能であり、例えばＢｉＣＭＯＳ集積回路に用いるこ
とも可能である。
ラ集積回路に用いているが、他の集積回路に用いること
も可能であり、例えばＢｉＣＭＯＳ集積回路に用いるこ
とも可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
少なくとも下層が高融点金属により構成された第１層目
の金属積層配線と半導体層とによりオ−ミック接合を形
成し、第２層目の金属配線と半導体層とによりショット
キ−接合を形成している。したがって、ショットキ−接
合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性
の低下を防止することができる。
少なくとも下層が高融点金属により構成された第１層目
の金属積層配線と半導体層とによりオ−ミック接合を形
成し、第２層目の金属配線と半導体層とによりショット
キ−接合を形成している。したがって、ショットキ−接
合とオ−ミック接合とを含む素子を微細化しても信頼性
の低下を防止することができる。
【図１】この発明の実施例による半導体集積回路装置の
製造方法を示すものであり、図５の次の工程を示す断面
図。
製造方法を示すものであり、図５の次の工程を示す断面
図。
【図２】この発明の実施例による半導体集積回路装置の
製造方法を示す断面図。
製造方法を示す断面図。
【図３】この発明の実施例による半導体集積回路装置の
製造方法を示すものであり、図２の次の工程を示す断面
図。
製造方法を示すものであり、図２の次の工程を示す断面
図。
【図４】この発明の実施例による半導体集積回路装置の
製造方法を示すものであり、図３の次の工程を示す断面
図。
製造方法を示すものであり、図３の次の工程を示す断面
図。
【図５】この発明の実施例による半導体集積回路装置の
製造方法を示すものであり、図４の次の工程を示す断面
図。
製造方法を示すものであり、図４の次の工程を示す断面
図。
【図６】従来の半導体集積回路装置を示す断面図。
21…Ｐ型シリコン基板、22a …第１のＮ+ 埋込み層、22
b …第２のＮ+ 埋込み層、23…Ｐ型エピタキシャル層、
24a …第１のＮウェル領域、24b …第２のＮウェル領
域、25a …第１のフィ−ルド酸化膜、25b …第２のフィ
−ルド酸化膜、25c …第３のフィ−ルド酸化膜、25d …
第４のフィ−ルド酸化膜、25e …第５のフィ−ルド酸化
膜、26a …第１のＤｅｅｐＮ+ 層、26b …第２のＤｅｅ
ｐＮ+ 層、27…Ｐ型のベ−ス領域、28…シリコン酸化
膜、29…窒化珪素膜、30…第１のレジスト膜、31…第１
の不純物、32…バイポ−ラトランジスタのコレクタ領
域、32a…第２のコンタクト層、33…バイポ−ラトラン
ジスタのエミッタ領域、33a …エミッタ領域の拡散層、
34…第２のレジスト膜、35…第２の不純物、36…ショッ
トキ−接合のガ−ドリング領域、36a …ガ−ドリング領
域のＰ型拡散層、37…バイポ−ラトランジスタの外部ベ
−ス領域、37a …外部ベ−ス領域のＰ+ 層、38…絶縁
膜、38a …第１のコンタクトホ−ル、38b …第２のコン
タクトホ−ル、38c …第３のコンタクトホ−ル、38d …
第４のコンタクトホ−ル、38e …第５のコンタクトホ−
ル、39…バリアメタル層、40…Ａｌ層、41…第１のコン
タクト層、42…、43…第１層目の配線、44…層間絶縁
膜、44a …第６のコンタクトホ−ル、45…ショットキ−
領域、46…第２層目の配線、46a …Ａｌ層。
b …第２のＮ+ 埋込み層、23…Ｐ型エピタキシャル層、
24a …第１のＮウェル領域、24b …第２のＮウェル領
域、25a …第１のフィ−ルド酸化膜、25b …第２のフィ
−ルド酸化膜、25c …第３のフィ−ルド酸化膜、25d …
第４のフィ−ルド酸化膜、25e …第５のフィ−ルド酸化
膜、26a …第１のＤｅｅｐＮ+ 層、26b …第２のＤｅｅ
ｐＮ+ 層、27…Ｐ型のベ−ス領域、28…シリコン酸化
膜、29…窒化珪素膜、30…第１のレジスト膜、31…第１
の不純物、32…バイポ−ラトランジスタのコレクタ領
域、32a…第２のコンタクト層、33…バイポ−ラトラン
ジスタのエミッタ領域、33a …エミッタ領域の拡散層、
34…第２のレジスト膜、35…第２の不純物、36…ショッ
トキ−接合のガ−ドリング領域、36a …ガ−ドリング領
域のＰ型拡散層、37…バイポ−ラトランジスタの外部ベ
−ス領域、37a …外部ベ−ス領域のＰ+ 層、38…絶縁
膜、38a …第１のコンタクトホ−ル、38b …第２のコン
タクトホ−ル、38c …第３のコンタクトホ−ル、38d …
第４のコンタクトホ−ル、38e …第５のコンタクトホ−
ル、39…バリアメタル層、40…Ａｌ層、41…第１のコン
タクト層、42…、43…第１層目の配線、44…層間絶縁
膜、44a …第６のコンタクトホ−ル、45…ショットキ−
領域、46…第２層目の配線、46a …Ａｌ層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 29/872 H01L 27/04 H01L 21/822 H01L 27/06 H01L 21/8222
Claims (1)
- 【請求項１】 ショットキー接合部およびオーミック接
合部を有する半導体層の上に酸化膜を設ける工程と、 前記酸化膜の上に窒化珪素膜を堆積する工程と、 前記窒化珪素膜および前記酸化膜をパターニングするこ
とにより、前記オーミック接合部の半導体層を露出させ
る工程と、 前記半導体層および前記窒化珪素膜の上に高融点金属膜
を堆積する工程と、 前記高融点金属膜の上に第１の金属膜を堆積する工程
と、 前記第１の金属膜と前記高融点金属膜とを１回のリソグ
ラフィ工程によってパターニングすることにより、前記
高融点金属膜と前記半導体層とによるオーミック接合部
を有する第１層目の金属積層配線を形成する工程と、 前記第１層目の金属積層配線および前記窒化珪素膜の上
に絶縁膜を設ける工程と、 前記絶縁膜に前記ショットキー接合部の上に位置するホ
ールを設ける工程と、 前記ホール内の窒化珪素膜および酸化膜を除去する工程
と、 前記ホール内および前記絶縁膜の上に第２の金属膜を堆
積する工程と、 前記第２の金属膜をパターニングすることにより、前記
第２の金属膜と前記半導体層とによるショットキー接合
部を有する第２層目の金属配線を形成する工程と、 を具備することを特徴とする半導体集積回路装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01812394A JP3251758B2 (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01812394A JP3251758B2 (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226386A JPH07226386A (ja) | 1995-08-22 |
| JP3251758B2 true JP3251758B2 (ja) | 2002-01-28 |
Family
ID=11962833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01812394A Expired - Fee Related JP3251758B2 (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3251758B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6095284B2 (ja) | 2012-06-27 | 2017-03-15 | キヤノン株式会社 | ショットキーバリアダイオード及びそれを用いた装置 |
-
1994
- 1994-02-15 JP JP01812394A patent/JP3251758B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07226386A (ja) | 1995-08-22 |
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