JP3225656B2 - 液晶パネルの検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶パネルの検査方法及
び検査装置に関する。より詳しくは、測定条件の設定項
目の１つである液晶パネル温度の制御技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明の背景を明らかにする為に、先ず
図６を参照して液晶パネルの一般的な構成を簡潔に説明
する。一方の基板５１の内表面にはマトリクス状に配列
された画素が無数に形成されている。個々の画素は透明
導電膜をパタニングして得られた画素電極５２と駆動用
の薄膜トランジスタ５３とから構成されている。各薄膜
トランジスタ５３のドレイン電極は対応する画素電極５
２に接続され、ソース電極はデータ線５４に接続され、
ゲート電極は走査線５５に接続されている。一方、対向
基板５６の内表面にはＲＧＢ三原色セグメントからなる
カラーフィルタ５７及び共通電極５８が積層して形成さ
れている。個々のカラーフィルタセグメントは画素に整
合している。両基板５１，５６の間隙内には液晶層５９
が充填されている。さらに、両基板５１，５６の外表面
には各々偏光板６０，６１が貼着されている。走査線５
５を介して行毎に薄膜トランジスタ５３を導通させる
と、データ線５５から供給される画像信号が各画素電極
５２に書き込まれる。書き込まれた画像信号に応じて画
素電極５２と共通電極５８との間に電圧が印加され液晶
層５９の分子配列が変化する。この変化は一対の偏光板
６０，６１を介して透過率の変化として取り出され画像
表示が行なわれる。

【０００３】液晶パネルは主としてディスプレイとして
用いられ、例えば自動車のフロントパネルやビデオカメ
ラのビューファインダ等に組み込まれる。液晶パネルの
使用目的や使用環境等に応じて所定の定格動作温度範囲
が設定されている。液晶パネルは所定の低温領域から高
温領域に渡って正常に動作するものでなければならな
い。特に、高温状態下で薄膜トランジスタのリーク電流
が増大し輝点欠陥が生じる惧れがある。この為、通常製
造工程中及び完成品段階で、温度特性検査を行ない輝点
欠陥等を含む不良品を選別する様にしている。この温度
特性検査は、液晶パネルの温度を定格限界に設定し、駆
動電圧を印加した状態で表示画像を観察する事により行
なう。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】正確な温度特性検査を
行なう為には液晶パネルの温度を精密に制御する必要が
ある。又、検査効率を高める為に液晶パネルの温度を迅
速に設定値まで上げる必要がある。従来、液晶パネルの
加熱手段としては、検品を載置する支持台にヒータを取
り付けるというホットプレート方式が用いられていた。
しかしながら、支持台には背面照明光を透過する為の開
口が中央に設けられている為、液晶パネルの周辺部のみ
が支持台に当接する様になっている。従って、熱伝達効
率が悪く、液晶パネル周辺部と中央部で温度分布が均一
にならず正確な検査ができないという課題がある。他の
加熱方式として、従来から恒温槽を利用するチャンバー
方式も行なわれている。予め温度制御された恒温槽に検
査装置ごと液晶パネルを投入し温度特性検査を実施す
る。バッチ処理に適しているが、実際には恒温槽内部の
温度分布にばらつきがあり正確な検査が行なえない。
又、恒温槽の内部温度が目標値に達するまで所定の時間
がかかり検査のサイクルタイムが比較的長いという課題
がある。又、チャンバー方式はオペレータ対応の小型検
査装置には不向きである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した従来の技術の課
題に鑑み、本発明は精密且つ迅速な液晶パネルの温度設
定が可能な検査方法及び検査装置を提供する事を目的と
する。かかる目的を達成する為に以下の手段を講じた。
即ち、本発明にかかる検査方法は、支持台に載置された
液晶パネルに対して所定温度に保たれたエアを直接吹き
つける事によって液晶パネルの温度を制御しながら、そ
の画像特性検査を行なう事を特徴とする。又、本発明に
かかる検査装置は、液晶パネルを載置する支持台と、高
温エアを生成する高温エア作成部と、この高温エア作成
部から供給された高温エアを前記支持台に搭載された液
晶パネル近傍に導入するエア吹き出しノズルとを備えた
事を特徴とする。好ましくは、前記支持台は、載置され
た液晶パネルを周辺から加温する補助加熱手段を備えて
いる。又、支持台の下方部に液晶パネルの背面照明手段
を備えるとともに、この背面照明手段からの光が液晶パ
ネルに均一に照射される様に前記支持台に逃げ加工が施
されている。さらに、支持台を取り囲む収納部を設け密
閉構造としても良い。前記収納部は、支持台に載置され
た液晶パネルに対面する透明な窓部を有しており表示画
像の観察を可能にするとともに、収納部自体は実質的に
密閉された構造となっている。尚、本発明は、上述した
検査を利用した液晶パネルの製造方法も包含している。
即ち、一対の基板の間隙に液晶を配して液晶パネルを組
み立てる工程と、支持台に載置された該液晶パネルに対
して所定温度に保たれたエアを直接吹き付ける事によっ
て該液晶パネルの温度を制御しながら、その画像特性検
査を行なう工程とを含む液晶パネルの製造方法である。

【０００６】本発明にかかる高温エア加熱方式又は温風
加熱方式は、上述した密閉構造に限られず、開放構造の
自動供給／排出方式液晶パネル検査装置にも適用でき
る。即ち、自動供給／排出方式の液晶パネル検査装置
は、基本的な構成要素として、複数の位置決め部が割り
付けられており且つインデックス駆動されるターンテー
ブルと、インデックス駆動により到着した各位置決め部
に逐次検査対象となる液晶パネルを自動供給するローデ
ィングステージと、インデックス駆動により転送された
液晶パネルの画像特性検査を行なう測定ステージと、検
査済みの液晶パネルを自動排出するアンローディングス
テージとを備えている。前記測定ステージには、ノズル
を介して所定温度の温風を液晶パネル表面に直接吹き付
けその温度制御を行なう温風発生手段が設けられてい
る。好ましくは、前記ローディングステージにも予備加
温の為の加熱手段が追加的に設けられている。さらに
は、前記ローディングステージの前段ステージに、空の
位置決め部に温風を吹き付ける別の温風発生手段を設け
ても良い。測定ステージにはターンテーブルの下方に液
晶パネルの背面照明手段が設けられており、個々の位置
決め部には背面照明光を透過する為の開口が形成されて
いる。アンローディングステージには、検査結果に応じ
て良品液晶パネルと不良品液晶パネルを区分けして排出
する自動分別手段が設けられている。

【０００７】

【作用】本発明においては、高温エア作成部を用いて予
め設定温度に保たれた高温エアを生成している。ノズル
を介してこの高温エアを液晶パネルに直接吹きつける事
により、極めて効率的且つ精密な加熱が行なえる。又、
支持台にも補助的に加熱手段を組み込んでおり、一層効
率的な液晶パネルの温度制御が行なえる。さらに、液晶
パネルを実質的に密閉された収納部に投入した場合、導
入された高温エアは内部に滞留し、より安定した温度制
御が行なえる。

【０００８】ターンテーブルと複数のステージを備えた
液晶パネル検査装置に本発明の温風加熱方式を適用する
と、迅速且つ安定的に検査対象となる液晶パネルの温度
を制御する事ができる。この結果、タクトタイムの短縮
や検査装置機構の簡略化を図る事が可能である。

【０００９】

【実施例】以下図面を参照して本発明の好適な実施例を
詳細に説明する。図１は本発明にかかる液晶パネル検査
装置の基本的な構成を示す模式的なブロック図である。
本検査装置は基本的に高温エア作成部１と収納部２とか
ら構成されている。高温エア作成部１はエアが連続的に
流動する流路を備えている。流路の一端にはバルブ３を
介してポンプ４が接続されており、圧縮エアを供給す
る。なお、本例では熱媒体となる流動気体としてエアを
用いているが必ずしもこれに限られるものではなく、所
望により他のガス種を用いる事もできる。流路の他端に
はエア吹き出しノズル５が装着されており、収納部２の
内部に挿入されている。流路の中央部には所望の容積を
有する空室６が設けられており、その内部にセラミック
ヒータあるいは電熱ヒータ等からなるエアヒータ７が格
納されている。エアヒータ７の端子は温度コントローラ
８に接続されており制御された電力供給を受ける。又、
空室６の下流側流路内には熱電対等の温度センサ９が取
り付けられており温度コントローラ８に対して検出信号
を送出する。温度コントローラ８は温度センサ９を介し
てエアヒータ７をフィードバック制御し、エアの温度を
所定の設定値に加熱保持する。

【００１０】一方、収納部２は略気密な構造を有する容
器１０から構成されている。なお、本発明は気密構造に
限られるものではなく開放構造であっても良い。この容
器１０の内部には検査対象となる液晶パネル１１を載置
する為の支持台１２が組み込まれている。この支持台１
２は熱伝導率に優れた金属材料等からなる。その内部に
は補助的なヒータ２２が取り付けられており電源１４か
らの電力供給を受けて、液晶パネル１１を補助加熱す
る。なお、かかる補助加熱手段は設けなくとも良い。支
持台１２の下方には液晶パネル１１の背面照明手段を構
成するバックライト１３が組み込まれている。バックラ
イト１３からの照明光は支持台１２の中央部に形成され
た開口を介して直接液晶パネル１１を照射する。支持台
１２に載置された液晶パネル１１にはピンプローブ１５
が当接し、駆動回路１６を介して液晶パネル１１を駆動
する。さらに、バックライト１３の反対側には液晶パネ
ル１１と対面して透明な窓部１７が容器１０に嵌め込ま
れている。窓部１７を介して液晶パネル１１の表示画像
はビデオカメラ１８により取り込まれパーソナルコンピ
ュータ１９により画像解析が行なわれる。なお、ビデオ
カメラ１８に代えて目視で表示画像観察を行なっても良
い。前述したエア吹き出しノズル５はビデオカメラ１８
の光学経路外に配置されており、画像解析を妨げる惧れ
はない。

【００１１】引き続き図１を参照して本発明にかかる液
晶パネルの検査方法を詳細に説明する。先ず、支持台１
２の上に液晶パネル１１を載置し、ピンプローブ１５を
当接してテスト用の画像表示を行なわせる。同時に、ヒ
ータ２２を通電し液晶パネル１１の補助加熱を行なう。
さらに、バックライト１３を点灯し液晶パネル１１を背
面から照明し画像観察を可能にする。次に、バルブ３を
開きポンプ４からエアを供給する。同時に、エアヒータ
７の通電を開始し供給されたエアを加熱する。加熱され
たエアはノズル５を介して液晶パネル１１の近傍に供給
され直接加熱を行なう。この際、温風加熱された液晶パ
ネル１１は速やかに設定温度にまで達する。この状態で
ビデオカメラ１８を操作しパーソナルコンピュータ１９
で画素欠陥解析を行なう。

【００１２】図２は支持台１２の断面形状を拡大して表
わしたものである。（Ａ）に示す様に、支持台１２の中
央開口を囲む端面部２０はテーパ状に逃げ加工されてい
る。この為、バックライト１３からの照明光は支持台１
２の端面によりケラレを受ける事なく液晶パネル１１の
背面を均一に照射できる。一方、図２の（Ｂ）は比較例
として挙げられたものであり、支持台１２の中央開口を
囲む端面部２１は垂直に加工されており、照明光のケラ
レが生ずる。この為、液晶パネル１１を均一に照明する
事ができず検査ミスの原因となる。

【００１３】図３は、図１に示した基本構成の第１改良
例であり、収納部２のみを取り出して表わしている。本
改良例では、液晶パネル１１の周辺に沿って２本のエア
吹き出しノズル５及び５０が設けられており、図１に示
した構成に比べてより高速且つ均一な液晶パネル１１の
加熱が行なえる。なお、本例では２本のノズルを用いて
いるが、必ずしもこれに限られるものではなく、検査対
象となる液晶パネルのサイズに合わせて適当な本数のノ
ズルを設ける事ができる。

【００１４】図４は、図１に示した基本構成の第２改良
例を示している。基本的に同一の構造であり、対応する
部分には対応する参照番号を付して理解を容易にしてい
る。異なる点は、高温エア作成部１と収納部２とが比較
的離間配置されている事である。この為、高温エア作成
部１と収納部２は延長された導管２３により互いに接続
されている。何等の対策を施さないと、加熱されたエア
がこの導管２３を流動している間に熱を失い温度が低下
する惧れがある。この為、本例では導管２３の周囲に保
温の為の巻線ヒータ２４を装着している。この巻線ヒー
タ２４の発熱温度も前述した温度コントローラ８により
制御される。なお、本例では巻線ヒータ２４は中間の導
管２３のみに装着されているが、必ずしもこれに限られ
るものではなく、所望によりエア吹き出しノズル５に対
して巻線ヒータ２４を装着しても良い。

【００１５】図５は、図１に示した基本構成の第３改良
例を表わしている。基本的に同一の構造を有しており、
対応する部分には対応する参照番号を付して理解を容易
にしている。異なる点は、バルブ３を介してボンベ２５
が付加されている事である。このボンベ２５には冷却媒
体が貯蔵されており、バルブ３をボンベ２５側に切り換
える事により、流路を介して冷却媒体がノズル５に導か
れる。ノズル５から噴射した冷却媒体は液晶パネル１１
を所望の温度にまで急速冷却し、低温時における画像特
性検査を行なう事ができる。勿論この場合には、エアヒ
ータ７及び補助用のヒータ２２の通電は行なわない。本
改良例によれば、高温動作試験のみならず低温動作試験
をも迅速且つ安定して行なう事ができる。一般に、液晶
パネルには使用目的や使用環境に応じて所定の定格動作
温度範囲が設定されており、高温側のみならず低温側に
ついても保証する必要がある。特に、液晶材料は低温時
における応答特性が悪く残像が出易いという欠点があ
る。この為、車載用等厳しい環境条件下で使用される液
晶パネルについては低温検査を行なう事も必要である。

【００１６】図７は本発明にかかる液晶パネル検査装置
の他の実施例を示す模式的な斜視図である。この検査装
置は製造工程の最終段階で液晶パネルの画質を目視検査
するとともにパネル搬送は自動で行なう半自動機であ
る。ワークステーション１０１の上面にはインデックス
駆動されるターンテーブル１０２が搭載されている。こ
のターンテーブル１０２には複数の位置決め部が割り付
けられているとともに、その周囲にはローディングステ
ージ、測定ステージ、アンローディングステージ等が配
置している。ローディングステージには搬送ツール１０
３が取り付けられており、インデックス駆動により到着
した各位置決め部に逐次検査対象となる液晶パネルをト
レイ１０４からピックアップし自動供給する。測定ステ
ージにはターンテーブル１０２の上方にＣＣＤカメラ１
０５が配置しており、ターンテーブル１０２の下方に背
面照明手段となるバックライト１０６が配置している。
又、検査対象となる液晶パネル１０７に接触し駆動する
為のプローブ１０８も測定ステージに配置されている。
プローブ１０８により駆動されバックライト１０６によ
り照明を受けた液晶パネル１０７の画像はＣＣＤカメラ
１０５により取り込まれ、検査用モニタ１０９に拡大表
示される。オペレータはモニタされた画像の良否を判断
し判定スイッチ１１０を選択操作する。アンローディン
グステージには搬送ツール１１１が配置しており、検査
済の液晶パネルをターンテーブル１０２から自動排出す
る。この搬送ツール１１１は、判定スイッチ１１０によ
り入力された検査結果に応じて、良品液晶パネルと不良
品液晶パネルを区分けして排出する自動分別手段を構成
する。

【００１７】図８は各ステージに配設された温風発生手
段を示す模式図である。本例では、中央のターンテーブ
ル１０２に、４個の位置決め部１２１ないし１２４が９
０°の等間隔で割り付けられている。図示の状態では、
第１の位置決め部１２１は測定ステージに位置し、第２
の位置決め部１２２はアンローディングステージに位置
し、第３の位置決め部１２３は保温ステージに位置し、
第４の位置決め部１２４はローディングステージに位置
している。このターンテーブル１０２は９０°間隔で反
時計方向にインデックス駆動され、液晶パネル１０７を
順次ステージ間で転送する。各位置決め部の中央にはバ
ックライト１０６からの背面照明光を透過する為の開口
１２５が設けられている。なお図示しないが、各位置決
め部の上面には開口１２５に整合して液晶パネル１０７
をセッティング固定する為の治具が取り付けられてい
る。

【００１８】測定対象となる液晶パネル１０７の搬送経
路並びに転送経路が矢印で示されている。供給トレイ１
３１に収納された液晶パネル１０７は逐次ローディング
ステージにおいてターンテーブル１０２の位置決め部に
セッティングされる。この後ターンテーブル１０２は９
０°インデックス回転し液晶パネル１０７が測定ステー
ジに至る。画像特性の測定が終了するとターンテーブル
１０２はさらに９０°インデックス回転しアンローディ
ングステージに至る。ここで検査済の液晶パネルは検査
結果に従い、良品トレイ１３２又は不良品トレイ１３３
の何れかに分別排出される。

【００１９】測定ステージにはノズル１４１と温風発生
ボックス１４２とからなる温風発生手段がセットされて
いる。この温風発生手段はノズル１４１を介して所定温
度の温風を液晶パネル１０７表面に直接吹き付けその温
度制御を迅速且つ安定的に行なう。温風発生ボックス１
４２は、基本的に図１に示した高温エア作成部１と同様
な構成を有している。ボックス内部にはヒータが埋め込
まれており圧力調整された高圧エアが入力され、出力に
は一定温度の温風が得られる。ノズル１４１は出力部に
取り付けられているとともに、その導管部には温風の温
度が低下しない様に巻線ヒータが取り付けられている。
ノズル１４１の吹き出し口は液晶パネル１０７表面に接
近配置されている。ローディングステージにもノズル１
４３及び温風発生ボックス１４４からなる加熱手段が設
けられており、位置決め部１２４にセッティングされた
液晶パネルの予備加温を行なう。さらに、ローディング
ステージの前段に位置する保温ステージにも、ノズル１
４５及び温風発生ボックス１４６からなる別の温風発生
手段が設けられており、空の位置決め部１２３を予め保
温する。

【００２０】画像特性の検査はオペレータが目視で行な
い、液晶パネルの搬送は自動で行なう本検査装置では、
ターンテーブルを使用したインデックス方式を採用して
いる。この方式では、オペレータが検査を行なっている
間に、ローディングステージでは液晶パネルの供給を行
ない、アンローディングステージでは検査済液晶パネル
の分別排出を行なえるので、測定ステージに対し連続し
て液晶パネルを供給できタクト短縮が可能になってい
る。ターンテーブルを使用したインデックス方式では、
１回のタクトタイム毎に液晶パネルの温度を迅速に所定
温度まで上昇させる必要がある。この点につき、本発明
にかかる温風加熱方式は、従来のホットプレート方式や
チャンバー方式に比べ極めて効率的である。測定ステー
ジ周辺にはＣＣＤカメラやバックライトが配置してお
り、スペース的な余裕がないにも関わらず、温風加熱方
式では単にノズル先端を配置すれば良いので極めてコン
パクトな実装が可能になる。

【００２１】図９は、温風加熱方式を採用した場合にお
ける、測定ステージ上での液晶パネル温度と加熱時間と
の関係を示す実測データである。画像特性検査において
は、液晶パネルの測定温度規格は、例えば６０±５℃に
設定されている。例えば、ノズルから供給される温風の
設定温度を７０℃にした場合、液晶パネルの表面温度
は、加熱開始後５０秒程度で速やかに飽和温度に達す
る。グラフから明らかな様に、この飽和温度は目標温度
規格６０±５℃の範囲に十分入る。但し、液晶パネルを
常温から目標温度に上昇させる場合５０秒程度かかり、
一層のタクト時間短縮が必要な場合には若干の遅延が生
じる。

【００２２】図１０のグラフは、ローディングステージ
における予備加熱と測定ステージにおける本加熱を組み
合わせた場合の液晶パネル温度変化を示す。予備加熱時
温風設定温度を７０℃とし、測定時温風設定温度を６２
℃にすると、例えばローディングステージにおいて液晶
パネル温度は３０秒程度で６０℃に達する。この後、タ
ーンテーブルのインデックス駆動により液晶パネル温度
が若干低下するが、測定ステージにおいて再び温風加熱
が加えられ極めて迅速に目標温度に到達する。この様
に、予備加熱と本加熱を組み合わせる事により十分タク
ト時間の短縮に応じる事が可能である。

【００２３】図１１は液晶パネル１０７の温風加熱を行
なった場合における、表面温度分布の測定結果を示した
模式図である。この温度測定は熱電対を用い定常状態で
行なった。液晶パネル１０７の中央部は６１．１℃であ
り、上部が５９．０℃、下部が６０．３℃、左側が５
８．６℃、右側が５８．３℃であった。この様に、表面
温度分布のばらつきは小さく、安定的な加熱が行なえ
る。

【００２４】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、支
持台に載置された液晶パネルに対して所定温度に保たれ
たエアを直接吹きつける事によって液晶パネルの温度を
制御しながら、その画像特性検査を行なう様にしてい
る。かかる構成により、液晶パネルを駆動した状態で容
易に安定した高温状態を実現する事が可能になるという
効果がある。液晶パネルに吹き付けられるエアの温度は
コントローラにより精密に制御されているので、精度の
高い高温画像特性検査を行なう事ができるという効果が
ある。又、高温エアを液晶パネルに対して直接吹きつけ
ているので設定温度に到達するまでの時間が短縮され迅
速な検査が行なえるという効果がある。

【００２５】さらに、インデックス駆動されるターンテ
ーブルを用いた液晶パネル検査装置に本発明の温風加熱
方式を採用すると、単にノズル先端を液晶パネル近傍に
セットするだけで済み、余分なスペースを要しないので
他のメカニカル機構の障害とならず設計の自由度を大き
くとる事ができるという効果がある。従来のホットプレ
ート方式やチャンバー方式に比べて、温風加熱を採用す
る事により液晶パネルを迅速に目標の設定温度に上昇さ
せる事ができ、一層のタクトタイム短縮が可能になると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる液晶パネルの検査装置の基本構
成を示すブロック図である。

【図２】液晶パネルを載置する為の支持台の断面図であ
る。

【図３】図１に示した基本構成の第１改良例を示す部分
図である。

【図４】同じく第２改良例を示すブロック図である。

【図５】同じく第３改良例を示すブロック図である。

【図６】一般的な液晶パネルの構造を示す模式図であ
る。

【図７】本発明にかかる液晶パネル検査装置の他の実施
例を示す模式的な全体斜視図である。

【図８】図７に示した実施例における温風加熱機構を表
わした模式的な斜視図である。

【図９】液晶パネル温度と温風加熱時間との関係を示す
グラフである。

【図１０】同じく液晶パネル温度と温風加熱時間との関
係を示すグラフである。

【図１１】液晶パネル表面の温度分布を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１ 高温エア作成部 ２ 収納部 ３ バルブ ４ ポンプ ５ エア吹き出しノズル ６ 空室 ７ エアヒータ ８ 温度コントローラ ９ 温度センサ １０ 容器 １１ 液晶パネル １２ 支持台 １３ バックライト １４ 電源 １５ ピンプローブ １６ 駆動回路 １７ 透明な窓部 １８ ビデオカメラ １９ パーソナルコンピュータ ２２ ヒータ １０２ ターンテーブル １０３ 搬送ツール １０５ ＣＣＤカメラ １０６ バックライト １０７ 液晶パネル １０９ 検査用モニタ １１１ 搬送ツール １２１ 位置決め部 １２２ 位置決め部 １２３ 位置決め部 １２４ 位置決め部 １２５ 開口 １４１ ノズル １４２ 温風発生ボックス １４３ ノズル １４４ 温風発生ボックス １４５ ノズル １４６ 温風発生ボックス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 正昭 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−292736（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−146923（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/956 G01M 11/00 G02F 1/13 101

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持台に載置された液晶パネルに対して
   所定温度に保たれたエアを直接吹きつける事によって液
   晶パネルの温度を制御しながら、その画像特性検査を行
   なう事を特徴とする液晶パネルの検査方法。
2. 【請求項２】 検査対象となる液晶パネルを載置する支
   持台と、高温エアを生成する高温エア作成部と、この高
   温エア作成部から供給された高温エアを前記支持台に載
   置された液晶パネル近傍に導入するエア吹き出しノズル
   とを備えた事を特徴とする液晶パネルの画像特性検査用
   装置。
3. 【請求項３】 前記支持台が、載置された液晶パネルを
   周辺から加熱する補助加熱手段を備えた事を特徴とする
   請求項２記載の液晶パネルの画像特性検査用装置。
4. 【請求項４】 前記支持台の下方部に液晶パネルの背面
   照明手段を備えるとともに、この背面照明手段からの光
   が液晶パネルに均一に照射される様に前記支持台に逃げ
   加工が施されている事を特徴とする請求項３記載の液晶
   パネルの画像特性検査用装置。
5. 【請求項５】 前記支持台を取り囲む収納部を備えてお
   り、該収納部は支持台に載置された液晶パネルに対面す
   る透明な窓部を有する事を特徴とする請求項２、請求項
   ３又は請求項４記載の液晶パネルの画像特性検査用装
   置。
6. 【請求項６】 複数の位置決め部が割り付けられており
   且つインデックス駆動されるターンテーブルと、インデ
   ックス駆動により到着した各位置決め部に逐次検査対象
   となる液晶パネルを自動供給するローディングステージ
   と、インデックス駆動により転送された液晶パネルの画
   像特性検査を行なう測定ステージと、検査済の液晶パネ
   ルを自動排出するアンローディングステージとを備えた
   液晶パネルの検査装置であって、 前記測定ステージには、ノズルを介して所定温度の温風
   を液晶パネル表面に直接吹き付けその温度制御を行なう
   温風発生手段が設けられている事を特徴とする液晶パネ
   ルの検査装置。
7. 【請求項７】 前記ローディングステージには、予備加
   温の為の加熱手段が設けられている事を特徴とする請求
   項６記載の液晶パネルの検査装置。
8. 【請求項８】 前記ローディングステージの前段ステー
   ジに、空の位置決め部に温風を吹き付ける別の温風発生
   手段を設けた事を特徴とする請求項６記載の液晶パネル
   の検査装置。
9. 【請求項９】 前記測定ステージにはターンテーブルの
   下方に液晶パネルの背面照明手段が設けられており、個
   々の位置決め部には背面照明光を透過する為の開口が形
   成されている事を特徴とする請求項６記載の液晶パネル
   の検査装置。
10. 【請求項１０】 前記アンローディングステージは、検
    査結果に応じて良品液晶パネルと不良品液晶パネルを区
    分けして排出する自動分別手段を備えている事を特徴と
    する請求項６記載の液晶パネルの検査装置。
11. 【請求項１１】 一対の基板の間隙に液晶を配して液晶
    パネルを組み立てる工程と、支持台に載置された該液晶
    パネルに対して所定温度に保たれたエアを直接吹き付け
    る事によって該液晶パネルの温度を制御しながら、その
    画像特性検査を行なう工程とを含む液晶パネルの製造方
    法。