JP2007225522A - 基板の変形量測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化する。
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。
【選択図】図1
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板の変形量測定方法に関し、特に、基板加熱機構を備える液晶用ガラス基板の検査装置において、検査対象である液晶ガラス基板の変形量を測定する方法に関する。
液晶用ガラス基板上には液晶パネルが形成され、この液晶パネルには液晶素子やアレイが生成されている。液晶用ガラス基板の検査工程では、この液晶用ガラス基板上に形成された液晶素子やアレイを検査する際、欠陥検査の検査精度を高めるために、液晶用ガラス基板を加熱する場合がある。これは、液晶パネルを加熱することによって、欠陥部分と正常部分の検出信号の大きさの違いがより鮮明となるためである。
このような基板検査では、予熱した液晶用ガラス基板を検査チャンバ内に導入してステージ上に載置したり、ステージ上に載置した液晶用ガラス基板を検査チャンバ内に設けた加熱装置によって加熱し、この液晶用ガラス基板にプローバフレームを載せ、プローバフレームが備えるプローブピンを基板上に設けた電極と接触させることによって、このプローブピンを通して検査信号等を基板に入力している。
液晶用ガラス基板は、加熱によって熱膨張して常温状態から変形する。また、プローバフレームは、加熱された液晶用ガラス基板や、液晶用ガラス基板を加熱する加熱装置によって加熱される場合もあり、この場合にも熱膨張によって変形する。
このように、液晶用ガラス基板やプローバフレームにおいて、加熱による熱膨張で変形が生じると、液晶用ガラス基板に設けられた電極の位置と、プローバフレームに設けられたプローブの位置との間に位置ずれが生じ、良好な電気的接触状態が得にくくなるという問題がある。液晶用ガラス基板とプローバフレームとの間の電気的接触が不良となると、液晶用ガラス基板を良好に検査することは困難となる。
このような問題に対して、加熱による変形量が予め定量化されていれば、例えば、プローバフレーム内に設置した位置調整機構を用いて、プローバフレームが備えるプローブピンの位置を調整することで、加熱後においても液晶用ガラス基板とプローバフレームとの間の電気的接触を不良とすることができる。したがって、ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化することが求められている。
そこで、本発明は上記課題を解決して、ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化することを目的とする。
本発明は、液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板(以下、基板という)上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。
本発明の基板の変形量測定方法は、ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。
撮像装置が撮像する撮像画像の撮像領域内において、基板アライメントマークは撮像領域に定める基準位置にあるとは限らない。これは、基板アライメントマークの位置は、ステージの位置決め精度や、基板の加熱の熱膨張による変形等によって変動するためである。座標算出部は、撮像領域内の基板アライメントマークの位置を、撮像装置に固定した座標系上で求めることができる。
基板の変形量は、基板上に定める2点間の距離と基準距離との差分から求めることができる。ここで、基板上の座標系を定めた場合には、比較する2つの基板アライメントマークの位置について共通する基準を定めることができないため、基板の変形量を求めることはできない。これに対して、本発明は、基板アライメントマークの位置を撮像装置に固定した座標系上で求めることによって、この撮像装置の座標系を共通する基準を定めることができ、変形量算出部は、基板上に定める2点の座標からその2点間の距離を算出し、この2点間の距離と基準距離との差分から基板の変形量を求めることができる。
本発明の基板の変形量測定方法は、撮像装置が固定された座標系を基準として、基板の変形量を求める方法であるため、ステージは、基板アライメントマークが撮像装置の撮像領域内に入るように移動させることでできれば十分であり、簡易な位置決め操作で十分である。
撮像装置は、1台の撮像カメラによる構成、2台の撮像カメラによる構成、少なくとも3台のカメラによる構成等の種々の態様で構成することができる。
撮像装置を2台の撮像カメラで構成する態様では、撮像装置は予め定めた設置間隔で配置した2つの撮像カメラを備える。変形量算出手段は、2つの撮像カメラの撮像画像から2つの基板アライメントマークの座標を算出し、この算出した2つの基板アライメントマークの座標間の距離を算出する。さらに、この2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、この差分を基板の変形量として算出する。
2つの基板アライメントマーク間の距離は、撮像装置が固定された座標系の値であり、また、2つの撮像カメラの設置間隔は、撮像装置が固定された座標系で定められる基準値であるから、単にこれらの差分を求めることで基板の変形量を求めることができる。
上記した基板に変形量は、2つの基板アライメントマークが配置された方向の変形量である。2つの基板アライメントマークが配置された方向と異なる方向(例えば、直交する方向)の変形量は、次のように、ステージに移動の前後で撮像することで求めることができる。
ステージを移動させることで、基板上で所定距離離れた2つの位置を撮像する。この撮像は、少なくとも1つの撮像カメラによって行うことができる。
変形量算出手段は、撮像カメラが撮像した2つの位置における撮像画像から、2つの基板アライメントマークの座標を求め、この2つの基板アライメントマークの座標から、両位置の距離を求める。この距離を所定距離との差分を算出し、この差分を基板の変形量として算出する。ここで、所定距離は、ステージによる移動距離である。
ステージの移動前後において撮像して得られる2つの基板アライメントマーク間の距離は、撮像装置が固定された座標系の値であり、また、ステージによる移動距離は、撮像装置が固定された座標系で定められる基準値であるから、単にこれらの差分を求めることで基板の変形量を求めることができる。
撮像装置を4つの撮像カメラで構成する態様では、撮像装置は予め定めた設置間隔で配置した少なくとも3つの撮像カメラを備える。少なくとも3つの撮像カメラは、同時に少なくとも3つの基板アライメントマークを撮像する。
変形量算出手段は、撮像した少なくとも3つの撮像カメラの撮像画像から2つの撮像画像の組を少なくとも2組選択し、この各組の2つの撮像画像を用いて2方向の基板アライメントマークの座標間の距離を算出する。算出した2方向の2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、同方向の2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、この差分を基板の変形量として算出する。
少なくとも3つの撮像カメラが撮像することで、基板上の少なくとも3つの基板アライメントマークを撮像することができ、この撮像画像から各基板アライメントマークの座標を算出することができる。
この少なくとも3つの基板アライメントマークから2つの基板アライメントマークの組を選択し、この基板アライメントマーク間の距離を算出する。
撮像画像から求める基板アライメントマークの座標間の距離は、撮像装置が固定された座標系の値であり、また、基板上に設けられた基板アライメントマーク間の距離は、撮像装置が固定された座標系で定められる基準値であるから、単にこれらの差分を求めることで基板の変形量を求めることができる。
また、撮像装置を1つの撮像カメラで構成する態様では、撮像装置は少なくとも1つの撮像カメラを備える。
撮像手段は、ステージの移動によって、少なくとも3つの基板アライメントマークを撮像する。変形量算出手段は、撮像した少なくとも3つの撮像画像から2つの撮像画像の組を少なくとも2組選択し、この各組の2つの撮像画像を用いて2方向の基板アライメントマークの座標間の距離を算出し、算出した2方向の2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、同方向の2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、差分を基板の変形量として算出する。
ステージは、2方向への直線移動、あるいは3つの基板アライメントマークを撮像する位置を通過する曲線運動、例えば、円を軌跡とする円運動、円弧を軌跡とする円弧運動とすることができる。
撮像画像から求める基板アライメントマークの座標間の距離は、撮像装置が固定された座標系の値であり、また、ステージによる移動距離は、撮像装置が固定された座標系で定められる基準値であるから、単にこれらの差分を求めることで基板の変形量を求めることができる。
本発明によれば、ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の基板の変形量測定の概要を説明するための図である。図1において、液晶基板検査装置は、液晶基板検査装置が一般に備える、液晶用ガラス基板(以下、基板10という)を載置するステージ1と、このステージ1を駆動するステージ駆動部3、およびステージ駆動部3の駆動を制御する駆動制御部4を備える。ステージ1は、XY方向の移動するXYステージを備え、また、θステージを備える構成であっても良い。
検査チャンバ(図示してない)内において、基板10はステージ1上に載置される。ステージ11に載置された基板10には、プローバフレーム5が載せられて、プローブピン(図示しない)を基板10上に設けられた電極(図示しない)に電気的に接触させることによって、基板1に試験信号を入力し、基板1上に生成された液晶素子やアレイの検査を行う。なお、プローバフレーム5は、プローブピンの位置を調整する位置調整機構6を備える。
また、基板10は、基板加熱機構2によって加熱される。基板加熱機構2は、例えば、ステージ1内に設けたヒーターを加熱用電源等の加熱源7で駆動することによって、ステージ1上に載置した基板10を加熱することができる。
なお、基板10は、検査チャンバ(図示していない)内のステージ1上に載置される前の段階で予熱して加熱しておくこともできる。
本発明の基板の変形量測定を適用する液晶基板検査装置は、上記した構成の他に、基板1上に形成されている基板アライメントマーク20を撮像する撮像装置11、およびこの撮像装置11で撮像して得られた信号を信号処理した画像データを取得する画像処理部12を備える。撮像装置11は、例えば、CCDカメラ等の撮像カメラとすることができる。撮像装置11の撮像カメラは、1台による構成、2台による構成、3台あるいは4台による構成とすることができる。
また、本発明の基板の変形量測定方法を適用する液晶基板検査装置は、画像処理部12で取得した画像データを演算処理して、基板10の変形量を算出する演算部13と、この演算部13で算出した変形量を出力する出力部14を備える。出力部14は、例えば表示部14aとする他、他の装置に出力することもできる。
演算部13は、画像データから基板アライメントマークを検出する基板アライメントマーク検出部13a、検出した基板アライメントマークの座標を算出する座標算出部13b、算出した基板アライメントマークの座標から基板10の変形量を算出する変形量算出部13cを備える。なお、座標算出部13bが算出する基板アライメントマークの座標は、撮像装置11に固定された座標系を基準として算出する。
以下、本発明の基板の変形量測定方法を、2台の撮像カメラによる構成例について図2〜図4、および図5,6を用いて説明し、4台の撮像カメラによる構成例について図7,8を用いて説明し、1台の撮像カメラによる構成例について図9を用いて説明する。また、図10を用いて2台の撮像カメラによる別の構成例について説明し、図11を用いて1台の撮像カメラによる別の構成例について説明する。
なお、図2〜9に示す構成例は、ステージを直線駆動させる例であり、図10,11に示す構成例は、ステージを回転駆動させる例である。
はじめに、2台の撮像カメラによる第1の構成例について図2〜図4を用いて説明する。2台の撮像カメラA,Bは、基板検査装置に取り付けられる。この基板検査装置への取り付けは、例えば基板検査装置のベース部などの、少なくともステージが移動しても移動しない部分に取り付けられる。
ここで、基板10上には4つの基板アライメントマークm1〜m4が設けられているものとし、撮像カメラA,Bはこの4つの基板アライメントマークm1〜m4について、基板アライメントマークm1とm2とを同時に撮像し、ステージを移動した位置で基板アライメントマークm3とm4を同時に撮像する。
したがって、2台の撮像カメラA,Bの取り付け間隔(カメラ取付ピッチ)X0は、基板10上に形成された基板アライメントマークm1〜m4のうちの2つの基板アライメントマークm1とm2間の距離(あるいはm3とm4間の距離)に基づいて定められる。また、基板アライメントマークを撮像する際のステージの移動量Y0は基板アライメントマークm1とm3との距離(あるいはm2とm4間の距離)に基づいて設定される。
図2では、2台の撮像カメラA,Bの取り付け間隔は、基板アライメントマークm1とm2の間の距離(あるいは基板アライメントマークm3とm4の間の距離)に基づいて、X方向に所定の距離X0の間隔で配置されている。
なお、図2では、基板アライメントマークm1とm2の間の距離と、基板アライメントマークm3とm4の間の距離は同じ距離の場合を示しているが、異なる距離であってもよい。この基板アライメントマーク間の距離が異なる場合には、何れか一方の基板アライメントマーク間の距離に基づいて、2台の撮像カメラA,Bの取り付け間隔X0を定めることができる。
上記の位置関係から、基板10のX方向の変位は、例えば基板アライメントマークm1とm2との距離X12(あるいは基板アライメントマークm3とm4との距離X34)と、撮像カメラA,B間の距離X0との差分ΔX12(あるいは差分ΔX34)によって求めることができる。また、基板10のY方向の変位は、例えば基板アライメントマークm1とm3との距離Y13(あるいは基板アライメントマークm2とm4との距離Y24)と、ステージ移動量Y0との差分ΔY13(あるいは差分ΔY24)によって求めることができる。
そこで、図2に示す撮像カメラA,Bの配置と、基板10上に設けた基板アライメントマークm1〜m4の配置において、はじめにステージを移動して撮像カメラA,Bの位置に基板アライメントマークm1とm2を位置合わせして撮像し、次にステージをY0だけ移動して撮像カメラA,Bの位置に基板アライメントマークm3とm4を位置合わせして撮像することによって、基板アライメントマークm1〜m4の撮像カメラの座標系に対する基板アライメントマークm1〜m4の座標を取得し、取得した座標に基づいて、X方向の差分ΔX12(あるいは差分ΔX34)、Y方向の差分ΔY13(あるいは差分ΔX24)を求める。
図3のフローチャート及び図4の説明図を用いて、基板の変形量を求める手順を説明する。
はじめに、ステージ上に基板を載置する。図4(a)はこの状態を示している。この状態では、撮像カメラは基板アライメントマークを視野内に捕れていない(S1)。そこで、ステージを移動して撮像カメラA,Bの視野内に基板アライメントマークm1,m2を捕らえ(S2)、基板アライメントマークm1,m2を撮像する。図4(b)はこの状態を示している。画像処理部は、撮像信号を画像処理して撮像画像データを取得し(S3)、アライメントマーク検出部で基板アライメントマークm1,m2を検出する。
座標算出部は、検出した基板アライメントマークm1,m2の座標(x1,y1)、(x2,y2)を求め(S4)、基板アライメントマークm1,m2のX方向の距離を算出する。基板アライメントマークm1,m2のX方向の距離X12は、x1とx2の差を演算することで算出することができる(S5)。
変形量算出部は、S5の工程で算出した距離X12と撮像カメラA,Bの距離X0との差Δx12を演算して変形量ΔXを求める(S6)。
次に、ステージを、基板アライメントマークのY方向の距離に相当する所定距離Y0だけ移動し(S7)、撮像カメラA,Bの視野内に基板アライメントマークm3,m4を捕らえる。図4(c)はこの状態を示している(S8)。基板アライメントマークm3,m4を撮像する。画像処理部は、撮像信号を画像処理して撮像画像データを取得し(S9)、アライメントマーク検出部で基板アライメントマークm3,m4を検出する。
座標算出部は、検出した基板アライメントマークm3の座標(x3,y3)を求め(S10)、基板アライメントマークm1とm3のY方向の距離を算出する。基板アライメントマークm1,m3のY方向の距離Y13は、y1とy3の差を演算することで算出することができる(S11)。
変形量算出部は、S11の工程で算出した距離Y13とステージ移動量Y0との差ΔY13を演算して変形量ΔYを求める(S6)。なお、変形量ΔYは、基板アライメントマークm2とm4の座標に基づいて算出することもできる。
変形量ΔX及び変形量ΔYは、上記した手順に限らず他の手順で取得することもできる。図5,6は、変形量ΔX及び変形量ΔYの算出の他の手順の一例を示している。この手順は、撮像カメラの撮像視野内において、視野内に定めた基準位置と基板アライメントマークの位置との位置ずれを求め、この位置ずれから変形量ΔX及び変形量ΔYの算出するものである。
はじめに、ステージ上に基板を載置する。この状態では、撮像カメラは基板アライメントマークを視野内に捕れていない(S21)。そこで、ステージを移動して撮像カメラA,Bの視野内に基板アライメントマークm1,m2を捕らえ(S22)、基板アライメントマークm1,m2を撮像する。画像処理部は、撮像画像信号を画像処理して撮像画像データを取得し、アライメントマーク検出部で基板アライメントマークm1,m2を検出する(S23)。
座標算出部は、検出した基板アライメントマークm1,m2の座標(x1,y1)、(x2,y2)を求め、図6(a)において、撮像カメラAの視野の基準位置(XA,YA)と、基板アライメントマークm1の座標(x1,y1)との間において、x方向の差Δxaを求める(S24)。また、撮像カメラAの視野の基準位置(XA,YA)と、基板アライメントマークm1(あるいはm2)の座標(x1,y1)(あるいは(x2,y2))との間において、y方向の差Δy1を求める(S25)。
次に、座標算出部は、図6(b)において、撮像カメラBの視野の基準位置(XB,YB)と、基板アライメントマークm2の座標(x2,y2)との間において、x方向の差Δxbを求める。なお、上記撮像カメラA,Bの視野内の基準位置(XA,YA)、(XB,YB)のうちのX方向の位置XA及びXBは、XAとXBとの差が撮像カメラA,BのX方向の距離と同じであれば任意に定めることができる。また、撮像カメラA,Bの視野内の基準位置(XA,YA)、(XB,YB)のうちのY方向の位置YA及びYBは、基板アライメントマークm3,m4を撮像した際の視野内の基準位置(XA,YA)、(XB,YB)とのY方向の差がステージ移動量Y0と同じであれば任意に定めることができる(S26)。S25とS26の工程で求めたΔxaとΔxbからX方向の差Δxを求める(S27)。
次に、ステージを、基板アライメントマークのY方向の距離に相当する所定距離Y0だけ移動し、(S28)、撮像カメラA(B)の視野内に基板アライメントマークm3(m4)を捕らえる。図6(c)はこの状態を示している(S29)。基板アライメントマークm3(m4)を撮像する。画像処理部は、撮像信号を画像処理して撮像画像データを取得し、アライメントマーク検出部で基板アライメントマークm3(m4)を検出する(S30)。
座標算出部は、検出した基板アライメントマークm3(m4)の座標(x3,y3)((x4,y4))を求め、図6(c)において、撮像カメラAの視野の基準位置(XA,YA)と、基板アライメントマークm3(m4)の座標(x3,y3)((x4,y4))との間において、y方向の差Δy2を求める(S31)。
S25で求めたY方向の差Δy1と前記S30で求めたY方向の差Δy2とからY方向の差Δyを算出する(S32)。
次に、4台の撮像カメラによる構成例について図7,8を用いて説明する。この構成例は、基板上に基板アライメントマークが4つ設けられている場合に、この4つの基板アライメントマークを、4つ撮像カメラで同時に撮像し、この撮像画像から各座標を求め、座標から変形量を算出する態様である。
なお、ここでは、基板上に4つの基板アライメントマークが設けられ、これらの4つの基板アライメントマークを全て撮像する態様を示しているが、X方向とY方向について変形量をそれぞれ1つだけ求める場合には、少なくとも3つの基板アライメントマークの撮像で変形量を算出することができる。
はじめに、ステージ上に基板を載置する。図7(a)はこの状態を示している。この状態では、撮像カメラは基板アライメントマークを視野内に捕れていない(S41)。そこで、ステージを移動して撮像カメラA〜Dの視野内に基板アライメントマークm1,m2を捕らえ(S42)、基板アライメントマークm1,m2を撮像する。画像処理部は、撮像画像信号を画像処理して撮像画像データを取得し、アライメントマーク検出部で基板アライメントマークm1〜m4を検出する。図7(b)はこの状態を示している(S43)。座標算出部は、検出した基板アライメントマークm1〜m4の座標(x1,y1)〜(x4,y4)を求め(S34)。
基板アライメントマークの座標位置からX方向の基板アライメントマーク間の距離と、Y方向の基板アライメントマーク間の距離を求め(S45,S46)、X方向の基板アライメントマーク間の距離と撮像カメラのX方向の設置距離(取り付けピッチ)との差を算出して、X方向の変形量を求め(S47)、Y方向の基板アライメントマーク間の距離とステージの移動距離との差を算出して、Y方向の変形量を求める(S48)。
上記した基板の変形量測定では、ステージをX方向に移動させる構成例を示しているが、ステージをXY方向に移動させる構成例、ステージを回転させる構成例としてもよい。
図9は、ステージをXY方向に移動させる構成の一例である。この構成例では、1台の撮像カメラによって、基板10上に設けられた4つの基板アライメントマークm1〜m4を撮像する際に、ステージをX方向及びY方向に移動させる。
図9(a)は撮像カメラAによって基板アライメントマークm1を撮像する状態を示し、図9(b)はステージを図中の左方に移動させ、撮像カメラAによって基板アライメントマークm3を撮像する状態を示している。また、図9(c)はステージを図中の上方に移動させ、撮像カメラAによって基板アライメントマークm4を撮像する状態を示し、図9(d)はステージを図中の右方に移動させ、撮像カメラAによって基板アライメントマークm2を撮像する状態を示している。
このステージの移動によって、1台の撮像カメラで4つの基板アライメントマークm1〜m4を撮像する。なお、ステージの移動順は、上記した順番に限らない。以後の変形量の算出は、前記図7で示した処理と同様とすることができる。
また、図10は、ステージを回転移動させる構成の一例である。この構成例では、2台の撮像カメラを備え、この2台の撮像カメラは、基板10上に設けられた4つの基板アライメントマークのうちの斜め方向に位置する2つを同時に撮像する位置に配置される。
この構成例では、2台の撮像カメラによって、基板10上に設けられた4つの基板アライメントマークの2つを同時に撮像し、この位置から回転させることによって、他のつの基板アライメントマークを同時に撮像する。
図10(a)は、ステージの移動前の状態を示し、図10(b)はステージの直線移動によって、2台の撮像カメラによって基板アライメントマークm1とm4を同時に撮像する状態を示し、図10(c)はステージを90度回転させ、2台の撮像カメラによって基板アライメントマークm3とm2を撮像する状態を示している。
このステージの移動によって、2台の撮像カメラで4つの基板アライメントマークm1〜m4を撮像する。なお、ステージの回転方向は、上記した回転方向に限らない。以後の変形量の算出は、前記図7で示した処理と同様とすることができる。
また、図11は、ステージを回転移動させる構成の別の例である。この構成例では、1台の撮像カメラを備える。この構成例では、1台の撮像カメラによって、基板10上に設けられた4つの基板アライメントマークを、ステージを回転させることによって順に撮像する。
図11(a)は、ステージの移動前の状態を示し、図11(b)はステージの直線移動によって、撮像カメラによって基板アライメントマークm1を撮像する状態を示している。図11(c)〜図11(e)はステージを90度ずつ回転させることによって、基板アライメントマークm3。m4,m2を順に撮像する状態を示している。
このステージの移動によって、1台の撮像カメラで4つの基板アライメントマークm1〜m4を撮像する。なお、ステージの回転方向は、上記した回転方向に限らない。以後の変形量の算出は、前記図7で示した処理と同様とすることができる。
1…ステージ、2…加熱機構、3…ステージ駆動部、4…ステージ駆動制御部、5…プローバフレーム、6…位置調整機構、7…加熱源、10…基板、11…撮像カメラ、12…画像処理部、13…演算部、13a…アライメントマーク検出部、13b…座標算出部、13c…変形量算出部、14…出力部、14a…表示部。
Claims (6)
- ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、
撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、
座標算出部によって、前記撮像装置の撮像画像に基づいて、前記撮像装置に固定した座標系上において基板アライメントマークの座標を算出し、
変形量算出部によって、前記基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出することを特徴とする、基板の変形量測定方法。 - 前記撮像装置は予め定めた設置間隔で配置した2つの撮像カメラを備え、
前記変形量算出手段は、前記2つの撮像カメラの撮像画像から算出した2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、前記2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、当該差分を基板の変形量として算出することを特徴とする、請求項1に記載の基板の変形量測定方法。 - 少なくとも前記1つの撮像カメラは、前記ステージの移動による所定距離離れた2つの位置において撮像画像を撮像し、
前記変形量算出手段は、前記撮像カメラが撮像した前記2つの位置における撮像画像から算出した2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、前記所定距離との差分を算出し、当該差分を基板の変形量として算出することを特徴とする、請求項1又は2に記載の基板の変形量測定方法。 - 前記撮像装置は予め定めた設置間隔で配置した少なくとも3つの撮像カメラを備え、
前記少なくとも3つの撮像カメラは、同時に少なくとも3つの基板アライメントマークを撮像し、
前記変形量算出手段は、前記撮像した少なくとも3つの撮像カメラの撮像画像から2つの撮像画像の組を少なくとも2組選択し、この各組の2つの撮像画像を用いて2方向の基板アライメントマークの座標間の距離を算出し、当該算出した2方向の2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、同方向の2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、当該差分を基板の変形量として算出することを特徴とする、請求項1に記載の基板の変形量測定方法。 - 前記撮像装置は少なくとも1つの撮像カメラを備え、
前記撮像手段は、前記ステージの移動によって、少なくとも3つの基板アライメントマークを撮像し、
前記変形量算出手段は、前記撮像した少なくとも3つの撮像画像から2つの撮像画像の組を少なくとも2組選択し、この各組の2つの撮像画像を用いて2方向の基板アライメントマークの座標間の距離を算出し、当該算出した2方向の2つの基板アライメントマークの座標間の距離と、同方向の2つの撮像カメラの設置間隔との差分を算出し、当該差分を基板の変形量として算出することを特徴とする、請求項1に記載の基板の変形量測定方法。 - 前記ステージは、前記2方向への直線移動、又は、前記3つの基板アライメントマークを撮像する位置を通過する曲線運動であることを特徴とする、請求項5記載の基板の変形量測定方法。
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