JP2009162717A - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFTアレイ基板のアレイ欠陥を検査するTFTアレイ検査装置であり、TFTアレイ基板を載置して検査位置に移動するステージと、移動中のステージの画像を取得する画像取得部と、この画像取得手段で取得した画像データを用いて検査位置におけるステージの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、位置ずれ量算出部で算出したステージの位置ずれ量に基づいて、欠陥検査により得られたTFTアレイの欠陥位置を補正する欠陥位置補正部とを備える。ステージが移動している間にステージの位置ずれ量を求めることによって、処理時間を短縮する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- TFTアレイ基板のアレイ欠陥を検査するTFTアレイ検査装置において、
TFTアレイ基板を載置して検査位置に移動するステージと、
移動中の前記ステージの画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得手段で取得した画像データを用いて、検査位置におけるステージの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、
前記位置ずれ量算出部で算出したステージの位置ずれ量に基づいて、欠陥検査により得られたTFTアレイの欠陥位置を補正する欠陥位置補正部とを備えることを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記位置ずれ量算出部は、前記画像データから画像処理により前記ステージ上の特定部位を検出し、当該特定部位の位置座標と基準の位置座標との差分を算出し、当該差分に基づいて検査位置におけるステージの位置ずれ量として算出することを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記ステージは、当該ステージ上に載置する基板と重ならない位置にマークを有し、
前記画像取得部は、前記マークを含むステージの画像を取得し、
前記位置ずれ量算出部は、前記画像取得部で取得した画像中のマークを特定部位として検出し、当該マークの位置座標と基準位置座標との差分を算出することを特徴とする、請求項2に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記画像取得部は、前記ステージの移動経路上の所定位置の通過をトリガとして画像を取得することを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記画像取得部は、前記ステージを駆動する駆動信号において、所定位置を通過する駆動信号をトリガとして画像を取得することを特徴とする、請求項4に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記画像取得部は、前記ステージの位置を検出する検出信号をトリガとして画像を取得することを特徴とする、請求項4に記載のTFTアレイ検査装置。
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