JP3217378U - Maldiイオン源及び質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できるMALDIイオン源及び質量分析装置を提供する。【解決手段】MALDIイオン源1では、レーザ光源2からのレーザ光は、ミラー5で反射された後、偏光ビームスプリッタ6においてエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に向けて照射される。また、偏光ビームスプリッタ6は、それ自体が回転することにより、レーザ光のエネルギーを調整する。そのため、MALDIイオン源1において、回転可能な偏光ビームスプリッタ6を設けるのみで、レーザ光のエネルギーを調整し、そのレーザ光を試料に照射することができる。【選択図】 図2
Description
本考案は、MALDIにより試料をイオン化させるMALDIイオン源及び当該MALDIイオン源を備えた質量分析装置に関するものである。
従来より、MALDIにより試料をイオン化させるMALDIイオン源が利用されている。例えば、質量分析装置にMALDIイオン源を用いる場合には、試料に対してレーザ光が照射されて、試料がイオン化される。そして、イオン化された試料は、質量分離部で質量電荷比に応じて時間的に分離され、検出器により順次検出される(例えば、下記特許文献1参照)。
MALDIイオン源を用いた質量分析装置では、精度のよいスペクトルを作成するために、試料に対してレーザを適切な強度で照射する必要がある。そのため、MALDIイオン源を用いた質量分析装置では、レーザの強度を調整する機構が用いられている。
レーザの強度を調整する機構を設けたMALDIイオン源として、例えば、図3に示すMALDIイオン源200を用いることが考えられる。
図3に示すMALDIイオン源200は、チャンバ201と、レーザ光源202と、カメラ203とを備えている。レーザ光源202及びカメラ203のそれぞれは、チャンバ201と間隔を隔てて配置されている。
チャンバ201の周壁には、窓板204が設けられている。カメラ203は、窓板204と間隔を隔てて配置されている。カメラ203と窓板204との間には、ダイクロイックミラー205が設けられている。
レーザ光源202とダイクロイックミラー205との間には、回転濃度フィルタ206とビームエキスパンダ207とが設けられている。具体的には、回転濃度フィルタ206がダイクロイックミラー205側に設けられており、ビームエキスパンダ207がレーザ光源202側に設けられている。回転濃度フィルタ206は、レーザ光源202からダイクロイックミラー205に向かう光の光軸を中心として回転可能である。回転濃度フィルタ206は、回転位置に応じた光量で光を透過させる。ビームエキスパンダ207は、透過するレーザ光の直径を拡げるためのものである。
チャンバ201には、サンプルプレート210上に載置された試料が収容されている。
チャンバ201には、サンプルプレート210上に載置された試料が収容されている。
MALDIイオン源200では、レーザ光源202から出射されたレーザ光が、ビームエキスパンダ207を透過した後、回転濃度フィルタ206を透過する。そのレーザ光は、ダイクロイックミラー205で反射し、窓板204を通過してチャンバ201内に入り、サンプルプレート210上の試料に照射される。また、試料からの光は、窓板204を通過して、カメラ203で受光される。そして、カメラ203での撮像結果に基づいて、レーザ光の照射位置が調整される。
このとき、MALDIイオン源200では、回転濃度フィルタ206が回転することで、試料に照射されるレーザ光の光量(強度)が調整される。そのため、レーザ光が試料に対して適切な強度で照射される。
また、レーザの強度を調整する機構を設けたMALDIイオン源として、例えば、図4に示すMALDIイオン源300を用いることが考えられる。なお、図4のMALDIイオン源300では、図3のMALDIイオン源200と同一の部材については、同一の符号を付している。
図4に示すMALDIイオン源300では、レーザ光源202とダイクロイックミラー205との間には、光学素子が設けられていない。ダイクロイックミラー205と窓板204との間には、波長板301と、偏光ビームスプリッタ302が設けられている。具体的には、波長板301がダイクロイックミラー205側に設けられており、偏光ビームスプリッタ302が窓板204側に設けられている。波長板301は、ダイクロイックミラー205から窓板204に向かう光の光軸を中心として回転可能である。波長板301は、入射する光の偏光方向を変えるためのものである。波長板301は、回転位置に応じて光の偏光方向を変える。偏光ビームスプリッタ302は、入射する光の偏光方向に応じた光量で光を透過させる。
MALDIイオン源300では、レーザ光源202から出射されたレーザ光は、ダイクロイックミラー205で反射され、波長板301及び偏光ビームスプリッタ302をそれぞれ透過し、窓板204を通過してチャンバ201内に入り、サンプルプレート210上の試料に照射される。また、試料からの光は、窓板204を通過して、カメラ203で受光される。そして、カメラ203での撮像結果に基づいて、レーザ光の照射位置が調整される。
このとき、MALDIイオン源300では、波長板301が回転することで、偏光ビームスプリッタ302に入射するレーザ光の偏光方向が変えられる。そして、偏光ビームスプリッタ302において、レーザ光の偏光方向に応じたレーザ光の光量(強度)に調整され、そのレーザ光が試料に照射される。そのため、レーザ光が試料に適切な強度で照射される。
上記したような構成においては、部品点数が多くなるため、装置が大型化するといった不具合や、コストが高くなるという不具合がしょうじてしまう。具体的には、図3のMALDIイオン源200では、特に、レーザ光源202からダイクロイックミラー205までの領域で部品点数が多くなり、図4のMALDIイオン源300では、特に、ダイクロイックミラー205から窓板204までの領域で部品点数が多くなってしまう。
本考案は、上記実情に鑑みてなされたものであり、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できるMALDIイオン源及び質量分析装置を提供することを目的とする。
(1)本考案に係るMALDIイオン源は、MALDIにより試料をイオン化させるMALDIイオン源である。前記MALDIイオン源は、レーザ光源と、カメラと、光学素子と、エネルギー調整部材とを備える。前記レーザ光源は、レーザ光を出射する。前記カメラは、前記レーザ光が照射された試料からの光を受光する。前記光学素子は、試料に照射される前記レーザ光の光軸と、前記レーザ光が照射された試料から前記カメラに向かう光の光軸とを同軸上にする。前記エネルギー調整部材は、前記光学素子により光軸が前記カメラに向かう光の光軸と同軸上にされた後の前記レーザ光のエネルギーを調整する。前記エネルギー調整部材は、前記レーザ光の光軸を中心に回転することにより、前記レーザ光のエネルギーを調整する。
このような構成によれば、MALDIイオン源では、レーザ光源からのレーザ光は、光学素子を経た後、エネルギー調整部材においてエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に向けて照射される。また、エネルギー調整部材は、それ自体が回転することにより、レーザ光のエネルギーを調整する。
そのため、MALDIイオン源において、回転可能なエネルギー調整部材を設けるのみで、レーザ光のエネルギーを調整し、そのレーザ光を試料に照射することができる。
その結果、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できる。
その結果、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できる。
(2)また、前記エネルギー調整部材は、透過する光の偏光の方向に応じて透過率が異なる部材であってもよい。
このような構成によれば、エネルギー調整部材を簡易な構成にすることができる。
(3)また、前記MALDIイオン源は、チャンバをさらに備えてもよい。前記チャンバは、内部に試料が設置される。前記レーザ光源、前記カメラ、前記光学素子及び前記エネルギー調整部材は、前記チャンバの外部に設けられていてもよい。
このような構成によれば、MALDIイオン源で生じる反射光や散乱光は、チャンバで遮蔽される。
そのため、MALDIイオン源で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
そのため、MALDIイオン源で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
(4)また、前記MALDIイオン源は、ダンパ部材をさらに備えてもよい。前記ダンパ部材は、前記レーザ光の光軸を中心として前記エネルギー調整部材の周囲に設けられ、前記エネルギー調整部材で反射する光を減衰させる。前記ダンパ部材は、環状である。
このような構成によれば、レーザ光がエネルギー調整部材に入射することで生じる反射光や散乱光をダンパ部材により遮蔽できる。
そのため、エネルギー調整部材で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
そのため、エネルギー調整部材で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
(5)また、本考案に係る質量分析装置は、前記MALDIイオン源と、質量分離部と、検出部とを備える。前記質量分離部は、前記MALDIイオン源で生じたイオンを質量分離する。前記検出部は、前記質量分離部で質量分離されたイオンを検出する。
本考案によれば、MALDIイオン源では、レーザ光源からのレーザ光は、光学素子を経た後、エネルギー調整部材においてエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に向けて照射される。また、エネルギー調整部材は、それ自体が回転することにより、レーザ光のエネルギーを調整する。そのため、MALDIイオン源において、回転可能なエネルギー調整部材を設けるのみで、レーザ光のエネルギーを調整し、そのレーザ光を試料に照射することができる。その結果、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できる。
1.質量分析装置の構成
図1は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置10の構成例を示した概略図である。質量分析装置10は、例えば、マトリックス支援レーザ脱離イオン化イオントラップ飛行時間型質量分析装置(MALDI−IT−TOFMS)である。
質量分析装置10は、例えば、MALDIイオン源1、イオントラップ12及びTOFMS(飛行時間型質量分析計)13及び本体100を備えている。
図1は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置10の構成例を示した概略図である。質量分析装置10は、例えば、マトリックス支援レーザ脱離イオン化イオントラップ飛行時間型質量分析装置(MALDI−IT−TOFMS)である。
質量分析装置10は、例えば、MALDIイオン源1、イオントラップ12及びTOFMS(飛行時間型質量分析計)13及び本体100を備えている。
本体100は、中空状に形成されている。本体100内に、MALDIイオン源1、イオントラップ12及びTOFMS13などが設けられている。本体100内には、例えば、第1チャンバ101及び第2チャンバ102が形成されている。この例では、第1チャンバ101は、MALDIイオン源1を収容する空間を形成している。一方、第2チャンバ102は、イオントラップ12及びTOFMS13を収容する空間を形成している。
第1チャンバ101及び第2チャンバ102は、開口103を介して互いに連通している。すなわち、第1チャンバ101と第2チャンバ102とは、区画壁104を介して区画されており、当該区画壁104に形成された開口103を介して互いに連通している。第1チャンバ101内及び第2チャンバ102内は、図示しない真空ポンプなどにより真空状態となる。
MALDIイオン源1は、MALDIにより試料をイオン化し、得られたイオンをイオントラップ12に供給する。試料は、例えば、サンプルプレート20上に濃縮された状態で準備され、分析の際にサンプルプレート20ごとMALDIイオン源1にセットされる。
イオントラップ12は、例えば、三次元四重極型である。
イオントラップ12は、例えば、三次元四重極型である。
TOFMS13には、飛行空間131が形成されている。また、TOFMS13には、イオン検出器132が設けられている。TOFMS13が、質量分離部の一例を構成している。イオン検出器132が、検出部の一例を構成している。
質量分析装置10を使用する際には、まず、MALDIイオン源1において、MALDI(マトリックス支援レーザ脱離イオン化法)を用いて試料にレーザが照射される。これにより、試料がマトリックスとともに真空中で気化され、試料とマトリックスとの間のプロトンの授受によって試料がイオン化される。
そして、MALDIイオン源1で得られたイオンがイオントラップ12で捕捉される。イオントラップ12では、捕捉したイオンの一部を選択的にイオントラップ12内に残し、CID(衝突誘起解離)により開裂させる。このようにして開裂されたイオンは、イオントラップ12からTOFMS13に供給される。
TOFMS13では、飛行空間131を飛行したイオンがイオン検出器132により検出される。具体的には、飛行空間131に形成された電場により加速されたイオンが、当該飛行空間131を飛行する間に質量電荷比に応じて時間的に分離され(質量分離され)、イオン検出器132により順次検出される。これにより、質量電荷比とイオン検出器132における検出強度との関係がスペクトルとして測定され、質量分析が実現される。
2.MALDIイオン源の構成
図2は、本発明の一実施形態に係るMALDIイオン源1の構成例を示した概略図である。
MALDIイオン源1は、レーザ光源2と、チャンバ3と、カメラ4と、ミラー5と、偏光ビームスプリッタ6と、ダンパ部材7とを備えている。レーザ光源2及びカメラ4のそれぞれは、チャンバ3と間隔を隔てて配置されている。ミラー5、偏光ビームスプリッタ6及びダンパ部材7は、チャンバ3とカメラ4との間に配置されている。
図2は、本発明の一実施形態に係るMALDIイオン源1の構成例を示した概略図である。
MALDIイオン源1は、レーザ光源2と、チャンバ3と、カメラ4と、ミラー5と、偏光ビームスプリッタ6と、ダンパ部材7とを備えている。レーザ光源2及びカメラ4のそれぞれは、チャンバ3と間隔を隔てて配置されている。ミラー5、偏光ビームスプリッタ6及びダンパ部材7は、チャンバ3とカメラ4との間に配置されている。
チャンバ3は、箱状に形成されている。チャンバ3の周壁には、窓板8が設けられている。窓板8は、カメラ4と間隔を隔てて配置されている。チャンバ3内には、サンプルプレート20上に載置された試料が収容されている。サンプルプレート20(サンプルプレート20上に載置された試料)は、窓板8に対向している。
カメラ4は、レンズやCCDなど(図示せず)を備えている。
カメラ4は、レンズやCCDなど(図示せず)を備えている。
ミラー5は、チャンバ3とカメラ4との間に配置されており、かつ、レーザ光源2と対向している。ミラー5は、例えば、ダイクロイックミラーである。ミラー5がダイクロイックミラーである場合には、ミラー5は、特定波長の光のみを反射し、その他の波長の光を透過する。なお、ミラー5は、ハーフミラーであってもよい。ミラー5が、光学素子の一例を構成している。
偏光ビームスプリッタ6は、ミラー5と窓板8との間に配置されている。偏光ビームスプリッタ6は、透過する光の偏光の方向に応じて透過率が異なる部材である。偏光ビームスプリッタ6は、キューブ状であってもよいし、板状(ミラー状)であってもよい。偏光ビームスプリッタ6は、回転可能に構成されている。偏光ビームスプリッタ6が、エネルギー調整部材の一例を構成している。
具体的には、偏光ビームスプリッタ6は、回転可能に構成される回転部(図示せず)上に設けられている。この回転部は、ミラー5で反射されて試料へと向かうレーザ光の光軸(試料に照射されるレーザ光の光軸)を中心として回転可能であって、モータなどの駆動源(図示せず)から駆動力が付与されることにより回転する。そして、この回転部が回転することで、偏光ビームスプリッタ6が、レーザ光の光軸(試料に照射されるレーザ光の光軸)を中心として回転する。
ダンパ部材7は、環状に形成されており、偏光ビームスプリッタ6を囲んでいる(偏光ビームスプリッタ6の周囲に設けられている)。具体的には、ダンパ部材7は、試料に照射されるレーザ光の光軸を中心とするように配置されている。ダンパ部材7は、基台部71と、遮蔽部72とを備えている。基台部71は、環状に形成されている。具体的には、基台部71は、例えば、円環状である。遮蔽部72は、基台部71の内周面に形成されている。遮蔽部72は、光を減衰するように構成されている。具体的には、遮蔽部72は、例えば、基台部71の内周面に黒い塗料が塗布されることで形成される減衰層である。
3.MALDIイオン源の動作
MALDIイオン源1を用いる場合には、レーザ光源2から出射されたレーザ光のうち特定波長の光が、ミラー5で反射された後、偏光ビームスプリッタ6を通過してチャンバ3内に入る。そして、偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光は、サンプルプレート20上の試料に照射される。また、試料からの光は、窓板8、偏光ビームスプリッタ6及びミラー5を通過して、カメラ4で受光される。このように、MALDIイオン源1では、ミラー5により、試料に照射されるレーザ光の光軸と、レーザ光が照射された試料からカメラ4に向かう光の光軸が同軸上に配置される。
MALDIイオン源1を用いる場合には、レーザ光源2から出射されたレーザ光のうち特定波長の光が、ミラー5で反射された後、偏光ビームスプリッタ6を通過してチャンバ3内に入る。そして、偏光ビームスプリッタ6を透過したレーザ光は、サンプルプレート20上の試料に照射される。また、試料からの光は、窓板8、偏光ビームスプリッタ6及びミラー5を通過して、カメラ4で受光される。このように、MALDIイオン源1では、ミラー5により、試料に照射されるレーザ光の光軸と、レーザ光が照射された試料からカメラ4に向かう光の光軸が同軸上に配置される。
このとき、偏光ビームスプリッタ6が適宜回転することで、レーザ光が、偏光の方向に応じた透過率で偏光ビームスプリッタ6を通過する。具体的には、駆動源(図示せず)からの駆動力が回転部(図示せず)に付与されることで、偏光ビームスプリッタ6が所定の角度だけ回転する。これにより、偏光ビームスプリッタ6に対するレーザ光の偏光の方向が変化し、偏光ビームスプリッタ6を透過するレーザ光の透過量が変化する。すなわち、ミラー5で反射したレーザ光は、偏光ビームスプリッタ6によりエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に照射される。
また、偏光ビームスプリッタ6が回転する角度は、例えば、ユーザが所望する光量(強度)のレーザ光が偏光ビームスプリッタ6を透過するように決定される。この決定は、例えば、ユーザにより、質量分析装置10に設けられた操作部(図示せず)が操作されることで実施される。
この場合、ユーザは、スペクトルを確認しながら、スペクトルが示す強度値が所定の値となるように、操作部を操作して偏光ビームスプリッタ6を透過するレーザ光の透過量を調整することができる。なお、質量分析装置10において、偏光ビームスプリッタ6を透過するレーザ光の光量(強度)を予め設定しておき、設定した光量だけレーザ光が偏光ビームスプリッタ6を透過するように、偏光ビームスプリッタ6を自動的に回転させてもよい。
また、偏光ビームスプリッタ6にレーザ光が入射することで生じる反射光や散乱光は、ダンパ部材7により減衰する。具体的には、遮蔽部72が黒い塗料で形成される減衰層である場合には、偏光ビームスプリッタ6で生じる反射光や散乱光は、遮蔽部72により吸収されて減衰する。そのため、偏光ビームスプリッタ6で生じる反射光や散乱光がチャンバ3内の試料に照射されることが抑制される。さらに、ダンパ部材7で吸収されなかった光や、MALDIイオン源1において生じる他の反射光や散乱光は、チャンバ3の周壁で遮蔽される。
このように、MALDIイオン源1では、回転可能な偏光ビームスプリッタ6を設けるのみで、レーザ光の光量を調整できる。そして、試料に対してレーザを適切な強度で照射できる。
4.作用効果
(1)本実施形態によれば、図1に示すように、質量分析装置10は、MALDIイオン源1を備えている。図2に示すように、MALDIイオン源1では、レーザ光源2からのレーザ光は、ミラー5で反射された後、偏光ビームスプリッタ6においてエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に向けて照射される。また、偏光ビームスプリッタ6は、それ自体が回転することにより、レーザ光のエネルギーを調整する。
(1)本実施形態によれば、図1に示すように、質量分析装置10は、MALDIイオン源1を備えている。図2に示すように、MALDIイオン源1では、レーザ光源2からのレーザ光は、ミラー5で反射された後、偏光ビームスプリッタ6においてエネルギーが調整される。そして、エネルギーが調整された後のレーザ光が試料に向けて照射される。また、偏光ビームスプリッタ6は、それ自体が回転することにより、レーザ光のエネルギーを調整する。
そのため、MALDIイオン源1において、回転可能な偏光ビームスプリッタ6を設けるのみで、レーザ光のエネルギーを調整し、そのレーザ光を試料に照射することができる。
その結果、MALDIイオン源1(質量分析装置10)において、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できる。
(2)また、本実施形態によれば、エネルギー調整部材の一例である偏光ビームスプリッタ6は、透過する光の偏光の方向に応じて透過率が異なる部材である。
そのため、エネルギー調整部材を簡易な構成にすることができる。
その結果、MALDIイオン源1(質量分析装置10)において、部品点数が多くなることを抑制でき、小型化及びコスト低減を実現できる。
(2)また、本実施形態によれば、エネルギー調整部材の一例である偏光ビームスプリッタ6は、透過する光の偏光の方向に応じて透過率が異なる部材である。
そのため、エネルギー調整部材を簡易な構成にすることができる。
(3)また、本実施形態によれば、MALDIイオン源1は、チャンバ3を備えている。チャンバ3内には、サンプルプレート20(サンプルプレート20及び試料)が設置される。レーザ光源2、カメラ4、ミラー5及び偏光ビームスプリッタ6は、チャンバ3の外部に設けられている。
そのため、MALDIイオン源1で生じる反射光や散乱光は、チャンバ3の周壁で遮蔽される。
その結果、MALDIイオン源1で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
そのため、MALDIイオン源1で生じる反射光や散乱光は、チャンバ3の周壁で遮蔽される。
その結果、MALDIイオン源1で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
(4)また、本実施形態によれば、図2に示すように、MALDIイオン源1は、ダンパ部材7を備えている。ダンパ部材7は、偏光ビームスプリッタ6の周囲に設けられている。
そのため、MALDIイオン源1において、レーザ光が偏光ビームスプリッタ6に入射することで生じる反射光や散乱光をダンパ部材7により遮蔽できる。
その結果、偏光ビームスプリッタ6で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
そのため、MALDIイオン源1において、レーザ光が偏光ビームスプリッタ6に入射することで生じる反射光や散乱光をダンパ部材7により遮蔽できる。
その結果、偏光ビームスプリッタ6で生じる反射光や散乱光が試料に照射されることを抑制できる。
5.変形例
以上の実施形態では、ダンパ部材7は、光を吸収する遮蔽部72を備える部材であるとして説明した。しかし、ダンパ部材7は、光を多重反射させることで減衰させるものであってもよい。例えば、ダンパ部材7は、環状の部材であって、その周面が偏光ビームスプリッタ6の外方に向かって先細る形状であってもよい。このような構成であれば、偏光ビームスプリッタ6の内周面にあたった光があたると、その光は多重反射を繰り返して減衰することとなる。
以上の実施形態では、ダンパ部材7は、光を吸収する遮蔽部72を備える部材であるとして説明した。しかし、ダンパ部材7は、光を多重反射させることで減衰させるものであってもよい。例えば、ダンパ部材7は、環状の部材であって、その周面が偏光ビームスプリッタ6の外方に向かって先細る形状であってもよい。このような構成であれば、偏光ビームスプリッタ6の内周面にあたった光があたると、その光は多重反射を繰り返して減衰することとなる。
1 MALDIイオン源
2 レーザ光源
3 チャンバ
4 カメラ
5 ミラー
6 偏光ビームスプリッタ
7 ダンパ部材
10 質量分析装置
13 TOFMS
71 基台部
72 遮蔽部
132 イオン検出器
2 レーザ光源
3 チャンバ
4 カメラ
5 ミラー
6 偏光ビームスプリッタ
7 ダンパ部材
10 質量分析装置
13 TOFMS
71 基台部
72 遮蔽部
132 イオン検出器
Claims (5)
- MALDIにより試料をイオン化させるMALDIイオン源であって、
レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光が照射された試料からの光を受光するカメラと、
試料に照射される前記レーザ光の光軸と、前記レーザ光が照射された試料から前記カメラに向かう光の光軸とを同軸上にする光学素子と、
前記光学素子により光軸が前記カメラに向かう光の光軸と同軸上にされた後の前記レーザ光のエネルギーを調整するためのエネルギー調整部材とを備え、
前記エネルギー調整部材は、前記レーザ光の光軸を中心に回転することにより、前記レーザ光のエネルギーを調整することを特徴とするMALDIイオン源。 - 前記エネルギー調整部材は、透過する光の偏光の方向に応じて透過率が異なる部材であることを特徴とする請求項1に記載のMALDIイオン源。
- 内部に試料が設置されるチャンバをさらに備え、
前記レーザ光源、前記カメラ、前記光学素子及び前記エネルギー調整部材は、前記チャンバの外部に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のMALDIイオン源。 - 前記レーザ光の光軸を中心として前記エネルギー調整部材の周囲に設けられ、前記エネルギー調整部材で反射する光を減衰させるための環状のダンパ部材をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のMALDIイオン源。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のMALDIイオン源と、
前記MALDIイオン源で生じたイオンを質量分離する質量分離部と、
前記質量分離部で質量分離されたイオンを検出する検出部とを備えることを特徴とする質量分析装置。
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