JPH01311555A - 分光機能付質量分析装置 - Google Patents
分光機能付質量分析装置Info
- Publication number
- JPH01311555A JPH01311555A JP63139270A JP13927088A JPH01311555A JP H01311555 A JPH01311555 A JP H01311555A JP 63139270 A JP63139270 A JP 63139270A JP 13927088 A JP13927088 A JP 13927088A JP H01311555 A JPH01311555 A JP H01311555A
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- ions
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- Pending
Links
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は質量分析装置に係り、特に質量分析と同時にＳ
／Ｎ比良く分光分析を行なうのに好適な分光機能付質量
分析装置に関する。
／Ｎ比良く分光分析を行なうのに好適な分光機能付質量
分析装置に関する。
従来二次イオン質量分析装置においては、図２に示すよ
うにイオン源内の発光の観測が行なわれた例がある。図
２の例では、固体試料にしぼり込まれた一次にイオンビ
ーム１１が照射されるため、試料１２から飛び出した中
性粒子・二次イオンからの発光はスポット状となる。こ
の発光の像はレンズ４を介して受光部１０上にスポット
状の像を結ぶ。（質量分析３３（１９８５）Ｐ、Ｐ、３
０７−３１４参照） 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、電子衝撃イオン化法や化学イオン化法を用いた
質量分析装置において、イオン源内の中性粒子・イオン
からの発光の観測は行なわれていない。また、光を効率
よく分光計に導入することが発光観測においてＳ／Ｎ比
向上向上立つが、上記従来技術では、そのことを目的と
したイオン源と分光計との幾何学的関係は規定されてい
ない。
うにイオン源内の発光の観測が行なわれた例がある。図
２の例では、固体試料にしぼり込まれた一次にイオンビ
ーム１１が照射されるため、試料１２から飛び出した中
性粒子・二次イオンからの発光はスポット状となる。こ
の発光の像はレンズ４を介して受光部１０上にスポット
状の像を結ぶ。（質量分析３３（１９８５）Ｐ、Ｐ、３
０７−３１４参照） 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、電子衝撃イオン化法や化学イオン化法を用いた
質量分析装置において、イオン源内の中性粒子・イオン
からの発光の観測は行なわれていない。また、光を効率
よく分光計に導入することが発光観測においてＳ／Ｎ比
向上向上立つが、上記従来技術では、そのことを目的と
したイオン源と分光計との幾何学的関係は規定されてい
ない。
本発明の目的は電子衝撃イオン化法化学イオン化法、電
界脱離法を用いたイオン源中の中性粒子・イオンからの
発光の観測をＳ／Ｎ比良く行なうことのできる分光機能
付質量分析装置を提供することにある。
界脱離法を用いたイオン源中の中性粒子・イオンからの
発光の観測をＳ／Ｎ比良く行なうことのできる分光機能
付質量分析装置を提供することにある。
上記目的は分光機能付質量分析装置のイオン源内のイオ
ン化部を線光源とし、光学スリットをこれと平行に設置
して分光計の受光効率を大巾に上げるように構成するこ
とで達成される。
ン化部を線光源とし、光学スリットをこれと平行に設置
して分光計の受光効率を大巾に上げるように構成するこ
とで達成される。
上記規定により、イオン源内の発光中性粒子・イオンか
らの光が効果的に分光計に導入されＳ／Ｎ比の良い発光
スペクトルを得ることができる。
らの光が効果的に分光計に導入されＳ／Ｎ比の良い発光
スペクトルを得ることができる。
電子衝撃イオン化法や化学イオン化法を用いたイオン源
では、ガス状の試料に電子ビームを照射し電子衝突によ
りイオンや励起状態の中性粒子を生成する。１！１１に
本発明の一実施例を示す、イオン源１では紙面に垂直に
電子ビーム２が照射される。イオンや励起状態にある中
性粒子は、主に電子ビームが照射される空間２で生成さ
れる。励起状態にあるイオンや中性粒子は発光するため
、これらは電子ビームに沿って線光源を形成する。線光
源からの光は、イオン源側面にはめ込まれたガラス板３
を通透しレンズ４により分光計５の細長い入口スリット
６上に集光されるが、このとき線光源の中心線すなわち
電子ビームの像７の中心線が入口スリット７の中心線上
に結像される。このような構造の分光機能付質量分析装
置では、効果的に光を分光計に導入し分光できるためＳ
／Ｎ比の良い発光スペクトルを得ることができる。一方
、電子ビーム照射により生成されたイオンは電子ビーム
軸に平行なスリット状のイオン引き出し口８から引き出
され質量分析部９に導入され質量分離及びイオンの検出
により分析される。これより質量スペクトルが得られる
。本実施例にあげた分光機能付質量分析装置では、同一
試料からの鮮明な発光スペクトルと質量スペクトルを同
時に得ることができる。そのため、イオンとして質量ス
ペクトルに現われなかった中性粒子の存在・同定や質量
やスペクトルだけでは同定できないイオンの同定を発光
スペクトルを参照することにより行なうことができるほ
か、発光スペクトルだけでは観測されないイオンの観測
が質量スペクトルにより可能となる。
では、ガス状の試料に電子ビームを照射し電子衝突によ
りイオンや励起状態の中性粒子を生成する。１！１１に
本発明の一実施例を示す、イオン源１では紙面に垂直に
電子ビーム２が照射される。イオンや励起状態にある中
性粒子は、主に電子ビームが照射される空間２で生成さ
れる。励起状態にあるイオンや中性粒子は発光するため
、これらは電子ビームに沿って線光源を形成する。線光
源からの光は、イオン源側面にはめ込まれたガラス板３
を通透しレンズ４により分光計５の細長い入口スリット
６上に集光されるが、このとき線光源の中心線すなわち
電子ビームの像７の中心線が入口スリット７の中心線上
に結像される。このような構造の分光機能付質量分析装
置では、効果的に光を分光計に導入し分光できるためＳ
／Ｎ比の良い発光スペクトルを得ることができる。一方
、電子ビーム照射により生成されたイオンは電子ビーム
軸に平行なスリット状のイオン引き出し口８から引き出
され質量分析部９に導入され質量分離及びイオンの検出
により分析される。これより質量スペクトルが得られる
。本実施例にあげた分光機能付質量分析装置では、同一
試料からの鮮明な発光スペクトルと質量スペクトルを同
時に得ることができる。そのため、イオンとして質量ス
ペクトルに現われなかった中性粒子の存在・同定や質量
やスペクトルだけでは同定できないイオンの同定を発光
スペクトルを参照することにより行なうことができるほ
か、発光スペクトルだけでは観測されないイオンの観測
が質量スペクトルにより可能となる。
本発明によれば、電子衝撃イオン化法・化学イオン化法
を用いた分光機能付質量分析装置においてＳ／Ｎ比の良
い発光スペクトルを得ることができる。
を用いた分光機能付質量分析装置においてＳ／Ｎ比の良
い発光スペクトルを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の構成断面図である。
第２図は本発明に関連した従来の二次イオン質量分析装
置の構成概念図である。 １・・・イオン源、２・・・電子ビーム、３・・・ガラ
ス板。 ４・・・レンズ、５・・・分光計、６・・・入口スリッ
ト、７・・・電子ビームの像、８・・・イオン引き出し
口、９・・・質量分析部、１０・・・受光部、１１・・
・１次イオンビエコノ 拓 １ 図 ２ 電子ビーＡ砲面） ３ 刀°ラス販 苓 １ンに ７ 釘ｗ−ｚ４轄紛 Ｓ イオン５１さ＝し口 ９ｈ倹將町
置の構成概念図である。 １・・・イオン源、２・・・電子ビーム、３・・・ガラ
ス板。 ４・・・レンズ、５・・・分光計、６・・・入口スリッ
ト、７・・・電子ビームの像、８・・・イオン引き出し
口、９・・・質量分析部、１０・・・受光部、１１・・
・１次イオンビエコノ 拓 １ 図 ２ 電子ビーＡ砲面） ３ 刀°ラス販 苓 １ンに ７ 釘ｗ−ｚ４轄紛 Ｓ イオン５１さ＝し口 ９ｈ倹將町
Claims (1)
- １、ガス状の試料に電子ビームを照射してイオンを生成
するイオン源と、上記イオンを導入し質量分離する質量
分離手段と、上記分離されたイオンを検出する検出手段
とを有する質量分析装置において、上記ガス状の試料中
に入射された電子ビーム周辺の発光領域からの光を分光
分析する分光計と、上記発光領域からの光を線状の像と
して分光計の入口スリットに一致させて結像する光学系
を有することを特徴とする分光機能付質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63139270A JPH01311555A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 分光機能付質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63139270A JPH01311555A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 分光機能付質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01311555A true JPH01311555A (ja) | 1989-12-15 |
Family
ID=15241373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63139270A Pending JPH01311555A (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 分光機能付質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01311555A (ja) |
-
1988
- 1988-06-08 JP JP63139270A patent/JPH01311555A/ja active Pending
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