JPH09318541A - Ｉｃｐ分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ分析装置Info
- Publication number
- JPH09318541A JPH09318541A JP13791696A JP13791696A JPH09318541A JP H09318541 A JPH09318541 A JP H09318541A JP 13791696 A JP13791696 A JP 13791696A JP 13791696 A JP13791696 A JP 13791696A JP H09318541 A JPH09318541 A JP H09318541A
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- JP
- Japan
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- ions
- light
- ion
- vacuum chamber
- separated
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きなスペースを占めることなく、質量分析
の測定値の補正を容易に行えるようにする。 【解決手段】 プラズマトーチ１で発生するイオンおよ
び光をインターフェイス部２を通じて導入する真空室３
の内部に、導入した光の光軸から分離されるイオンを取
り込む質量分析部４と、分光部５とを設けて、同一の試
料についてイオン質量分析と分光測定とが行えるように
した。
の測定値の補正を容易に行えるようにする。 【解決手段】 プラズマトーチ１で発生するイオンおよ
び光をインターフェイス部２を通じて導入する真空室３
の内部に、導入した光の光軸から分離されるイオンを取
り込む質量分析部４と、分光部５とを設けて、同一の試
料についてイオン質量分析と分光測定とが行えるように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波誘導結合プ
ラズマ（ＩＣＰ）をイオン源および光源とする分析装置
に関する。
ラズマ（ＩＣＰ）をイオン源および光源とする分析装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣＰを利用する分析装置としては、Ｉ
ＣＰ質量分析装置や、ＩＣＰ発光分光分析装置がある。
ＣＰ質量分析装置や、ＩＣＰ発光分光分析装置がある。
【０００３】ＩＣＰ質量分析装置では、まず、プラズマ
トーチの誘導コイルに高周波電流を流して試料をプラズ
マ化し、これにより生成されたイオンをインターフェイ
ス部を通じて真空室に導入する。この真空室では、イオ
ンを静電レンズ等により収束するとともに、四重極ロッ
ドのような手段で質量分離して、特定のイオンをエレク
トロマルチプライヤのようなイオン検出器で検出する。
トーチの誘導コイルに高周波電流を流して試料をプラズ
マ化し、これにより生成されたイオンをインターフェイ
ス部を通じて真空室に導入する。この真空室では、イオ
ンを静電レンズ等により収束するとともに、四重極ロッ
ドのような手段で質量分離して、特定のイオンをエレク
トロマルチプライヤのようなイオン検出器で検出する。
【０００４】また、ＩＣＰ発光分光分析装置では、ＩＣ
Ｐを光源とし、その放射光を真空室内の回折格子に導い
て分光し、フォトマルチプライヤのような光検出器で特
定のスペクトルを検出する。
Ｐを光源とし、その放射光を真空室内の回折格子に導い
て分光し、フォトマルチプライヤのような光検出器で特
定のスペクトルを検出する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＩＣＰ発光分光分析装
置のような発光分光分析装置では、同時に複数のスペク
トルを検出することができるので、これから分析する未
知の試料に、既に精密測定された標準試料を混合して測
定するという内部標準法により、種々の誤差を取り除く
ことができるのであるが、従来のＩＣＰ質量分析装置で
は、同時的に２つの質量を検出することができないの
で、前記のような内部標準法を実施できず、そのため、
測定値の補正が容易ではない。
置のような発光分光分析装置では、同時に複数のスペク
トルを検出することができるので、これから分析する未
知の試料に、既に精密測定された標準試料を混合して測
定するという内部標準法により、種々の誤差を取り除く
ことができるのであるが、従来のＩＣＰ質量分析装置で
は、同時的に２つの質量を検出することができないの
で、前記のような内部標準法を実施できず、そのため、
測定値の補正が容易ではない。
【０００６】これに対しては、ＩＣＰ質量分析装置のイ
オン源であるＩＣＰを光源と見て、その放射光を利用す
るものが考えられている。
オン源であるＩＣＰを光源と見て、その放射光を利用す
るものが考えられている。
【０００７】その装置では、質量分析部を内蔵する真空
室のほかに、分光部用の真空室が別に設けられており、
プラズマトーチで生成されるイオンはインターフェイス
部を通じて、質量分析部がある真空室に導入されるが、
プラズマトーチで発生する光は、インターフェイス部の
コーンの近くに配置された光ケーブルを通じて、分光部
がある別の真空室に導かれ、そこで分光され測光され
る。
室のほかに、分光部用の真空室が別に設けられており、
プラズマトーチで生成されるイオンはインターフェイス
部を通じて、質量分析部がある真空室に導入されるが、
プラズマトーチで発生する光は、インターフェイス部の
コーンの近くに配置された光ケーブルを通じて、分光部
がある別の真空室に導かれ、そこで分光され測光され
る。
【０００８】このような分光部を有する装置では、同一
の試料について質量分析と同時に分光も行え、光の測定
値を用いてイオン測定値を補正することができ、例え
ば、試料の導入量の変動により測定値にゆらぎがあるよ
うな場合、そのゆらぎを是正することが可能となる。
の試料について質量分析と同時に分光も行え、光の測定
値を用いてイオン測定値を補正することができ、例え
ば、試料の導入量の変動により測定値にゆらぎがあるよ
うな場合、そのゆらぎを是正することが可能となる。
【０００９】しかしながら、上記のような構成の装置で
は、イオンおよび放射光の取り込み手段、取り込み方向
が互いに異なるので、構造が複雑となるほか、２つの真
空室、真空容器が必要となるので、全体として大きなス
ペースを占める、という問題がある。
は、イオンおよび放射光の取り込み手段、取り込み方向
が互いに異なるので、構造が複雑となるほか、２つの真
空室、真空容器が必要となるので、全体として大きなス
ペースを占める、という問題がある。
【００１０】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、大きなスペースを占めることなく、
同一の試料についてイオン質量分析と放射光の分光とが
行えるようにし、質量分析の誤差を容易に取り除けるよ
うにすることを課題とする。
れたものであって、大きなスペースを占めることなく、
同一の試料についてイオン質量分析と放射光の分光とが
行えるようにし、質量分析の誤差を容易に取り除けるよ
うにすることを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、プラズマトーチと、このプラズマトーチ
で生成されるイオンおよび光をインターフェイス部を通
じて導入する真空室とを備え、この真空室内には、導入
光の光軸から分離されるイオンを取り込む質量分析部
と、導入光の進行側で該光を取り込む分光部とが設けて
ＩＣＰ分析装置を構成した。
成するために、プラズマトーチと、このプラズマトーチ
で生成されるイオンおよび光をインターフェイス部を通
じて導入する真空室とを備え、この真空室内には、導入
光の光軸から分離されるイオンを取り込む質量分析部
と、導入光の進行側で該光を取り込む分光部とが設けて
ＩＣＰ分析装置を構成した。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図示の一実
施の形態に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施
の形態に係るＩＣＰ質量分析装置の概略構成図である。
施の形態に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施
の形態に係るＩＣＰ質量分析装置の概略構成図である。
【００１３】同図において、符号１はプラズマトーチ、
２はインターフェイス部、３は真空室である。プラズマ
トーチ１は、本発明ではイオン源と光源とを兼ねるもの
であって、そこで生成されるイオンおよび光は、インタ
ーフェイス部２を通じて同一の導入軸に沿って真空室３
内に導入されるようになっている。
２はインターフェイス部、３は真空室である。プラズマ
トーチ１は、本発明ではイオン源と光源とを兼ねるもの
であって、そこで生成されるイオンおよび光は、インタ
ーフェイス部２を通じて同一の導入軸に沿って真空室３
内に導入されるようになっている。
【００１４】この真空室３内には、質量分析部４と分光
部５とが設けられている。質量分析部４は、真空室３の
入口側にあって、主として直進する光の光軸からイオン
を分離するための静電レンズのようなイオンレンズ６
と、イオンレンズ６の下流側でイオンの質量分離を行う
四重極ロッド７と、エレクトロマルチプライヤのような
イオン検出器８等を備えている。このうち、四重極ロッ
ド７とイオン検出器８とは、真空室３内に区画された小
室９に収容されている。
部５とが設けられている。質量分析部４は、真空室３の
入口側にあって、主として直進する光の光軸からイオン
を分離するための静電レンズのようなイオンレンズ６
と、イオンレンズ６の下流側でイオンの質量分離を行う
四重極ロッド７と、エレクトロマルチプライヤのような
イオン検出器８等を備えている。このうち、四重極ロッ
ド７とイオン検出器８とは、真空室３内に区画された小
室９に収容されている。
【００１５】分光部５は、前記のイオンレンズ６を透過
した光の光軸に沿ってに設けられていて、入口スリット
１０と、回折格子１１と、出口スリット１２と、フォト
マルチプライヤのような光検出器１３等を備えている。
した光の光軸に沿ってに設けられていて、入口スリット
１０と、回折格子１１と、出口スリット１２と、フォト
マルチプライヤのような光検出器１３等を備えている。
【００１６】上記の構成において、プラズマトーチ１の
誘導コイルに高周波電流を流すことで、試料がプラズマ
化され、これにより発生したイオンおよび光は、インタ
ーフェイス部２を通じて、真空室３内に導入される。
誘導コイルに高周波電流を流すことで、試料がプラズマ
化され、これにより発生したイオンおよび光は、インタ
ーフェイス部２を通じて、真空室３内に導入される。
【００１７】ＩＣＰのイオンおよび光は、ほぼ同一の導
入軸に沿って真空室３に入射する。そして、その入口付
近でイオンレンズ６に入ることで、光はそのまま直進す
るが、イオンは導入軸が曲げられて光の導入軸（光軸）
から分離する。このようにして光から分離したイオンは
小室９に入射し、その小室９内で、四重極ロッド７によ
り質量分離され、特定の質量のイオンがイオン検出器８
で検出される。
入軸に沿って真空室３に入射する。そして、その入口付
近でイオンレンズ６に入ることで、光はそのまま直進す
るが、イオンは導入軸が曲げられて光の導入軸（光軸）
から分離する。このようにして光から分離したイオンは
小室９に入射し、その小室９内で、四重極ロッド７によ
り質量分離され、特定の質量のイオンがイオン検出器８
で検出される。
【００１８】一方、イオンレンズ６を透過して直進した
光は、回折格子１１により分光され、特定のスペクトル
が光検出器１３で検出される。
光は、回折格子１１により分光され、特定のスペクトル
が光検出器１３で検出される。
【００１９】このように、ＩＣＰのイオンおよび光が同
時的に測定にかかるのであって、同一の試料のＩＣＰか
らイオン測定値と光の測定値とが得られ、光の測定値に
より、イオン測定値のゆらぎのような誤差を取り除くこ
とが可能になる。
時的に測定にかかるのであって、同一の試料のＩＣＰか
らイオン測定値と光の測定値とが得られ、光の測定値に
より、イオン測定値のゆらぎのような誤差を取り除くこ
とが可能になる。
【００２０】なお、分光部５に含まれる光学系の精度を
高め、充分な感度が得られるようにすれば、本発明の装
置はＩＣＰ発光分光分析装置としても使用することが可
能になる。
高め、充分な感度が得られるようにすれば、本発明の装
置はＩＣＰ発光分光分析装置としても使用することが可
能になる。
【００２１】
【発明の効果】本発明による分析装置は、ＩＣＰをイオ
ン源および光源として、質量分析とともに分光測定も行
えるようにしたもので、同一の試料についてイオン測定
値と光の測定値とが得られるので、光の測定値によりイ
オン測定値を補正し、誤差を取り除くことが容易にでき
る。
ン源および光源として、質量分析とともに分光測定も行
えるようにしたもので、同一の試料についてイオン測定
値と光の測定値とが得られるので、光の測定値によりイ
オン測定値を補正し、誤差を取り除くことが容易にでき
る。
【００２２】その場合、ＩＣＰのイオンおよび光が導入
される真空室内に質量分析部と分光部とを設けるから、
１つの真空室、真空容器で済み、大きなスペースを必要
とせず、また、イオンおよび光の取り込み部分の構造も
複雑化しない。
される真空室内に質量分析部と分光部とを設けるから、
１つの真空室、真空容器で済み、大きなスペースを必要
とせず、また、イオンおよび光の取り込み部分の構造も
複雑化しない。
【図１】本発明の一実施の形態に係るＩＣＰ質量分析装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
１ プラズマトーチ、 ２ インターフェイス部、 ３
真空室、４ 質量分析部、 ５ 分光部
真空室、４ 質量分析部、 ５ 分光部
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマトーチと、このプラズマトーチ
で生成されるイオンおよび光をインターフェイス部を通
じて導入する真空室とを備え、この真空室内には、導入
光の光軸から分離されるイオンを取り込む質量分析部
と、導入光の進行側で該光を取り込む分光部とが設けら
れていることを特徴とするＩＣＰ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13791696A JPH09318541A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13791696A JPH09318541A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318541A true JPH09318541A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15209688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13791696A Pending JPH09318541A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09318541A (ja) |
-
1996
- 1996-05-31 JP JP13791696A patent/JPH09318541A/ja active Pending
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