JP3216033B2 - 検査結果出力装置および検査結果出力方法、ならびにこの検査結果出力装置を用いた基板検査システムおよびこの検査結果出力方法を用いた基板検査方法 - Google Patents
検査結果出力装置および検査結果出力方法、ならびにこの検査結果出力装置を用いた基板検査システムおよびこの検査結果出力方法を用いた基板検査方法Info
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Description
る部位(ハンダ部位もこの中に含まれ、以下、単に部品
実装部位と称する)を検査する工程において、基板上の
部品実装部位の検査結果に基づいて、不良部位識別マー
クによって不良部位の位置を示した部品実装部位のレイ
アウト図を有する検査結果出力データを作成して出力す
る検査結果出力装置および検査結果出力方法、ならびに
この検査結果出力装置を用いた基板検査システムおよび
この検査結果出力方法を用いた基板検査方法に関する。
下、単に部品実装工程と称する)を示すものである。
て、基板上のハンダ部位、すなわち銅箔のランド部分
に、クリームハンダ印刷装置によってクリームハンダの
印刷塗布を行う。
ダ部位におけるクリームハンダの印刷状態を基板検査装
置あるいは基板検査システムによって検査し、検査に合
格した基板は、部品マウント工程Cに送られる。
ンダが印刷塗布された基板上に、マウンタによって部品
をマウントする。
て、部品をマウントされた基板をリフロー炉に入れて加
熱することによって、クリームハンダを熔融させ、部品
を基板にハンダ付けする。
ーハンダ付け処理によって部品がハンダ付けされた基板
上の各部品実装部位の状態を基板検査装置あるいは基板
検査システムによって検査する。
制御処理部等によって構成されている。
ーザ光源、X線光源等を有し、光源からの光を被検査基
板の部品実装部位に照射する。光源のON/OFFは、
制御処理部によって制御される。
電子増倍管等を有し、反射光像のカラー画像信号、レー
ザ光照射によってハンダ部位に形成された光切断線の画
像信号、あるいはX線照射による光電子画像信号等、基
板からの反射光を受光して得た受光データを制御処理部
に送る。
を制御し、受光部より入力された受光データに基づいて
被検査部位の検査を行い、この検査結果に基づいて、基
板の良否、不良基板の不良箇所等を示す検査結果データ
ファイルを作成し、この検査結果データファイルの内容
を出力する。
作について説明する。
照射し、受光部によって反射光を受光して、反射光像の
カラー画像信号等の受光データを得、この受光データを
制御処理部に送る。
た受光データに基づいて、被検査部位の検査を行い、こ
の検査結果に基づいて、検査結果データファイルを作成
し、この検査結果データファイルの内容を出力する。
ン設置された上記の基板検査装置と、オフライン設置さ
れ、オペレータからの要求に応じて、基板検査装置にお
いて作成された前記検査結果データファイルの内容を出
力する端末装置によって構成される。
テムは、予めプログラムされた検査結果出力方法に従っ
て、部品実装部位の検査結果から検査結果データファイ
ルを作成し、この検査結果データファイルの内容を出力
する。
位のレイアウト図上に、不良部位を識別表示する等の方
法があり、例えば、特開平2−76080号公報、特開
平5−332948号公報に記載の方法が挙げられる。
結果出力方法は、実装基板上の部品実装部位が、部品形
状に応じた形状のマークによって示され、不良部位のマ
ークを良部位のマークと異なる色で彩色する(例えば不
良部位のマークを赤色、良部位マークを白色に彩色す
る)ことによって、不良部位の位置を示したレイアウト
図を表示する。
ウト図とは別の領域に順次文字表示していくとともに、
この不良部位の前記レイアウト図上のマークをさらに異
なる色で彩色する(例えば黄色で彩色する)、あるいは
各不良部位の不良内容を前記レイアウト図とは別の領域
に一括表示する方法である。
る検査結果出力方法は、不良部位のマークを良部位のマ
ークと異なる色で彩色したレイアウト図を表示するとと
もに、この不良部位周辺の拡大図を合わせて表示する方
法である。
ら、不良部位の修正作業を行う。
の検査結果出力方法においては、レイアウト図からは、
不良部位の不良内容がどのようなものであるか、すなわ
ちハンダ量の不足であるのか、部品欠落であるのか等を
知ることができず、拡大図がレイアウト図のどの位置を
拡大したものであるかが判りにくく、また不良内容を順
次表示していく方式では、注目する不良部位の不良内容
の文字表示がすぐに見られず、不良内容を一括表示させ
る方式では、表示された不良内容がレイアウト図上のど
の不良部位のものなのかが判りにくいため、不良部位の
基板上の位置および不良内容の確認に手間取り、修正作
業に時間がかかることがあった。
における不良発生は突発的なものなのか、継続的に発生
しているものなのかを知ることができないため、基板上
の特定箇所で継続的に不良が発生していた等の部品実装
工程内の品質動向を把握できず、上流工程へのフィード
バックが遅れ、同工程内における基板の部品実装部位の
品質管理を効率的に行えないという問題点があった。
るものであり、基板の不良部位の修正作業、および基板
の部品実装部位の品質管理を効率的に行うことができる
検査結果出力装置および検査結果出力方法、ならびにこ
の検査結果出力装置を用いた基板検査システムおよびこ
の検査結果出力方法を用いた基板検査方法を提供するこ
とを目的とするものである。
に本発明の請求項1および請求項6の検査結果出力装
置、ならびに請求項11の基板検査システムは、適時選
択された色彩でしかも不良内容に応じて異なる形状を有
し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マーク形状
と同じ形状を有する不良部位識別マークによって不良部
位を示す部品実装部位のレイアウト図を作成するレイア
ウト図作成手段を備えたものである。
査結果出力装置、ならびに請求項13の基板検査システ
ムは、適時選択された色彩でしかも不良内容に応じて異
なる形状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識
別マーク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークに
よって不良部位の位置を示し、指定された領域の拡大図
を表示するとともに、この拡大図に示された領域の位置
を表示したレイアウト図を作成するレイアウト図作成手
段を備えたものであり、請求項4および請求項9の検査
結果出力装置、ならびに請求項14の基板検査システム
は、不良部位識別マークによって不良部位の位置を示
し、指定された不良部位の不良内容を文字表示するとと
もに、この文字表示と指定された不良部位に対応する不
良部位識別マークを引き出し線によって関連付けた部品
実装部位のレイアウト図を作成するレイアウト図作成手
段を備えたものである。
の検査結果出力装置、ならびに請求項15の基板検査シ
ステムは、不良部位識別マークによって不良部位の位置
を示し、各部品実装部位における不良発生履歴を表示し
た部品実装部位のレイアウト図を作成するレイアウト図
作成手段を備えたものである。
法および請求項21の基板検査方法は、不良内容に応じ
て異なる形状を有する不良部位識別マークによって不良
部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を作成
し、このレイアウト図を出力する方法である。
法および請求項23の基板検査方法は、適時選択された
色彩でしかも不良内容に応じて異なる形状を有し且つそ
の形状の輪郭部が部品実装部位識別マーク形状と同じ形
状を有する不良部位識別マークによって不良部位の位置
を示した部品実装部位のレイアウト図を作成し、このレ
イアウト図上に、指定された領域の拡大図を表示すると
ともに、この拡大図に示された領域の位置を表示し、こ
の拡大図に示された領域の位置を表示したレイアウト図
を出力する方法であり、請求項19の検査結果出力方法
および請求項24の基板検査方法は、不良部位識別マー
クによって不良部位の位置を示した部品実装部位のレイ
アウト図を作成し、このレイアウト図上に指示された不
良部位の不良内容を文字表示するとともに、この文字表
示と指示された不良部位に対応する不良部位識別マーク
を引き出し線によって関連付け、この不良内容と不良部
位識別マークを引き出し線によって関連付けたレイアウ
ト図を出力する方法である。
方法および請求項25の基板検査方法は、不良部位識別
マークによって不良部位の位置を示した部品実装部位の
レイアウト図を作成し、このレイアウト図上に、各部品
実装部位における不良発生履歴を表示し、この不良発生
履歴を表示したレイアウト図を出力する方法である。
結果出力装置、請求項11の基板検査システム、請求項
16の検査結果出力方法、ならびに請求項21の基板検
査方法によれば、レイアウト図作成手段によって、適時
選択された色彩でしかも不良内容に応じて異なる形状を
有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マーク形
状と同じ形状を有する不良部位識別マークによって不良
部位を示す部品実装部位のレイアウト図を作成し、この
レイアウト図を出力することによって、レイアウト図か
ら不良部位の位置およびその不良内容を迅速かつ正確に
確認することができるので、不良部位の修正作業を効率
的に行うことができる。
果出力装置、請求項13の基板検査システム、請求項1
8の検査結果出力方法、ならびに請求項23の基板検査
方法によれば、レイアウト図作成手段によって、適時選
択された色彩でしかも不良内容に応じて異なる形状を有
し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マーク形状
と同じ形状を有する不良部位識別マークによって不良部
位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を作成
し、このレイアウト図上に、指定された領域の拡大図を
表示するとともに、この拡大図に示された領域の位置を
表示し、この拡大図に示された領域の位置を表示したレ
イアウト図を出力することによって、拡大図がレイアウ
ト図のどの位置を拡大したものであるかを迅速に確認で
きるので、不良部位の修正作業を効率的に行うことがで
きる。
査結果出力装置、請求項14の基板検査システム、請求
項19の検査結果出力方法、ならびに請求項24の基板
検査方法によれば、レイアウト図作成手段によって、不
良部位識別マークによって不良部位の位置を示した部品
実装部位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図上
に指示された不良部位の不良内容を文字表示するととも
に、この文字表示と指示された不良部位に対応する不良
部位識別マークを引き出し線によって関連付け、この不
良内容と不良部位識別マークを引き出し線によって関連
付けたレイアウト図を出力することによって、各不良部
位の不良内容を迅速かつ正確に確認することができるの
で、不良部位の修正作業を効率的に行うことができる。
の検査結果出力装置、請求項15の基板検査システム、
請求項20の検査結果出力方法、ならびに請求項25の
基板検査方法によれば、不良部位識別マークによって不
良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を作
成し、このレイアウト図上に、各部品実装部位における
不良発生履歴を表示し、この不良発生履歴を表示したレ
イアウト図を出力することによって、部品実装部位の品
質動向を把握することができるので、部品実装部位の品
質管理を効率的に行うことができる。
例を示す概略構成図である。
光部1、撮像部2、X軸テーブル部3、Y軸テーブル部
4、制御処理部5によって構成される。
像処理部7、記憶部8、入力部9、出力部10、レイア
ウト図作成部11、検査結果出力ファイル作成部12、
および制御部13によって構成される。
源の計三個のリング状蛍光燈光源を有し、これら三色光
を被検査基板14の被検査部位に異なる仰角から照射す
る。これら三色光源は、三色光が被検査部位において混
色されると完全な白色光が得られる対波長発光エネルギ
ー分布を有しており、ON/OFFおよび光度は、撮像
コントローラ6を介して制御部13によって制御され
る。
源22、青色光源23を有する投光部1の構成図であ
る。同図において、上記のリング状光源21、22、2
3はその中心が撮像部2の撮像中心軸24と一致するよ
うに同心円上に設置され、かつリング半径r1 、r2 、
r3 を違え、基板面25からの高さh1 、h2 、h3 を
違えることによって、基板面25と撮像中心軸24が交
わる点Aからの仰角が、異なる角度θ1 、θ2 、θ3 と
なるように設置されている。ここでθ1 >θ2 >θ3 で
ある。
光部1と一体化されており、撮像コントローラ6からの
命令に従って、被検査基板15の部品実装部位を順次撮
像し、得られたカラー画像信号を画像処理部7に送る。
部2が取り付けられており、被検査基板15の部品実装
部位を順次撮像するために、撮像コントローラ6からの
命令に従って、投光部1および撮像部2をX方向に移動
させる。
を有しており、この基板ステージ上に被検査基板15が
セットされ、部品実装部位を順次撮像するために、撮像
コントローラ6からの命令に従って、被検査基板15を
Y方向に移動させる。
2、X軸テーブル部3、およびY軸テーブル部4と、制
御部13とを接続するインターフェイス等を有し、制御
部13からの命令に従って、投光部1、撮像部2、X軸
テーブル部3、およびY軸テーブル部4の動作を制御す
る。
従って、撮像部2によって得られたアナログカラー画像
信号をディジタルカラー画像データにA/D変換し、こ
のカラー画像データに対して二値化処理等の画像処理を
施す。
画像処理部7、レイアウト図作成部11、検査結果出力
ファイル作成部12、および制御部13の作業エリアと
して使われるとともに、制御部13からの命令に従っ
て、画像処理部7、レイアウト図作成部11、検査結果
出力ファイル作成部12、および制御部13から入力さ
れた各種データを記憶する。
イメージスキャナ等を有しており、オペレータはこの入
力部9を操作することによって、各種のデータや命令を
入力する。
およびプリンタを有し、制御部13より入力される、各
種のメッセージ、被検査部位のカラー画像、検査結果出
力ファイルの内容等を表示、あるいはプリントアウトす
る。
らの命令に従って、被検査基板の各部品実装部位の良
否、および不良部位の不良内容を示した検査結果データ
に基づいて、不良内容に応じて形状の異なる不良部位識
別マークによって不良部位を示した、被検査基板の部品
実装部位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を
検査結果出力ファイル作成部12に送る。
アウト図作成部11より入力されたレイアウト図、およ
び前記検査結果データに基づいて、被検査基板ごとに検
査結果出力ファイルを作成する。この検査結果出力ファ
イルは被検査基板の基板番号によって検索可能な画像デ
ータ形式のファイルであり、前記レイアウト図、不良内
容の文字表示画面等によって構成される。
し、撮像コントローラ6、画像処理部7、記憶部8、出
力部10、レイアウト図作成部11、および検査結果フ
ァイル作成部12の動作を制御し、オペレータによって
入力部9から入力される各種のデータや命令に従って、
図3に示す手順で、被検査基板の検査を行い、検査結果
ファイル作成部12によって作成された検査結果出力フ
ァイルの内容を表示部10に出力することによって、検
査結果をユーザーに知らせる。
ャートである。
査を実行することを入力した後、被検査基板の基板番号
を入力し、ST2で、被検査基板をY軸テーブル部4の
基板ステージにセットし、セットが完了したことを入力
する。
ラ6を介してX軸テーブル部3およびY軸テーブル部4
を動作させ、基板の被検査部位すなわち部品実装部位を
撮像部2の撮像位置に移動させ、投光部1によって三色
光を部品実装部位に照射し、この部品実装部位からの反
射光像を撮像部2によって撮像し、得られたアナログカ
ラー画像信号を画像処理部7に送る。
ダ面、あるい検査工程Eにおける実装部品等は乱反射面
を有しており、投光部2による三色光は混色されると完
全な白色光が得られる対波長発光エネルギー分布を有し
ているので、この三色光をクリームハンダ面あるい実装
部品等に照射すると、白色光を照射したときの反射光像
と同じ反射光像が得られる。
面は鏡面反射特性を有し、また三次元曲面形状を有する
ので、基板面に対して傾斜を有する各曲面要素は、斜め
方向より入射した有色光を、入射角に応じた方向に反射
させ、この反射方向が撮像部の撮像中心軸の方向(基板
に対して垂直方向)と一致する曲面要素は、反射光像に
おいて、対応する有色光源色に彩色されるので、投光部
2による三色光を被検査部位のハンダ面を照射すると、
反射光像において、ハンダ面の、平坦部に近い傾斜を有
する曲面要素は赤色に彩色され、傾斜が急な曲面要素は
青色に彩色され、これらの中間の傾斜を有する曲面要素
は緑色に彩色される。
像すれば、クリームハンダ面、銅箔のランド部分、基板
のレジスト部、および実装部品等の乱反射特性を有する
部分がそれぞれの有する色に彩色され、ハンダ面等の鏡
面を有する部分がその三次元形状に応じて赤色、緑色、
および青色に分離彩色されたカラー画像が得られる。
装部位のカラー画像の一例を示すものである。
および32はハンダ面、33は実装部品、34は実装部
品33のリード端子(電極)、35は基板のレジスト
部、36は銅箔のランド部であり、ハンダ31、32、
およびリード端子34は鏡面を有し、実装部品33およ
びレジスト部35は乱反射面を有している。
ハンダ面31の彩色部分を示し、37は赤色に彩色され
たほぼ平坦な部分、38は緑色に彩色された部分、39
は青色に彩色された傾斜が急な部分である。また40は
部品色に彩色された部分、41はレジスト色に彩色され
た部分である。尚実装部品および基板レジスト部におい
ては、ハンダ面32の彩色は省略してある。
画像信号は、画像処理部7によってディジタルカラー画
像データにA/D変換される。
て、このカラー画像データに基づいて、基板の全ての部
品実装部位について良否判定を行い、不良部位について
は、予め設定してある不良項目から該当する項目を選ん
で不良内容とすることによって、各部品実装部位の良
否、および不良部位の不良内容を示す検査結果データを
得、この検査結果データをレイアウト図作成部11およ
び検査結果ファイル作成部12に送る。
ムハンダ量に関する検査をする場合は、ハンダ部位のカ
ラー画像データからクリームハンダ色に彩色された領域
を抽出し、抽出した領域のデータを「1」とする二値化
データを作成し、この二値化データからクリームハンダ
面の面積を算出し、算出した面積の値を予め設定してあ
る許容値と比較し、許容値外であれば不良と判定する。
さらに算出した面積の値が許容値未満であれば、不良内
容は「クリームハンダ不足」となり、許容値を越える場
合は「クリームハンダ過多」となる。
に関する検査するのであれば、部品実装部位のカラー画
像データにおいて、実装部分が位置する部分の色に着目
し、この部分が部品色でなく、基板のレジスト色に彩色
されていれば、「部品欠落」と判定し、ハンダ部位に関
する検査をするのであれば、ハンダ面の赤、緑、青に彩
色された部分を抽出し、この抽出データに基づいてハン
ダ量、ハンダ形状等の良否判定を行う。
Eにおける設定不良項目の一例を示すものである。
アウト図作成部11を動作させ、前記検査結果データに
基づいて、不良内容に応じて形状の異なる不良部位識別
マークによって不良部位を示した、被検査基板の部品実
装部位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を検
査結果ファイル作成部12に送る。
成部12を動作させ、レイアウト図作成部11より入力
されたレイアウト図、および前記検査結果に基づいて、
検査結果ファイルを作成する。この検査結果ファイルは
被検査基板の基板番号によっって検索可能な、画像デー
タ形式のファイルであり、前記レイアウト図、不良内容
の文字表示画面等によって構成される。
成部12によって作成された検査結果ファイルを記憶部
8に保存するとともに、検査結果ファイルの内容を出力
部10のディスプレイあるいはプリンタによって出力す
ることにより、被検査基板の検査結果をユーザーに知ら
せる。またその後ユーザーから検査結果の出力要求があ
った時は、記憶部8から要求された基板番号の検査結果
ファイルを読み出し、その内容を出力部10によって出
力する。
装部位のレイアウト図の一例を示すものである。
じて形状の異なる不良部位識別マークであり、51は部
品位置ずれ、52はハンダブリッジ、53は部品欠落を
それぞれ示す不良部位識別マークである。
一例を示すものである。記憶部8には各種の不良部位識
別マークが保管されており、ユーザーは不良項目を設定
する際に、各不良項目を示す不良部位識別マークを記憶
部8より選んで設定する。またユーザーは入力部9のイ
メージスキャナを用いて、不良部位識別マークとして使
いたいマークを入力することにより、所望の不良部位識
別マークを記憶部8に保管することができる。
レイアウト図の作成に先立って作成される、実装部位識
別マークデータ、および不良識別マークデータの構成に
ついて説明する。実装部位識別マークは、レイアウト図
において部品実装部位を示すマークである。
一例を示す説明図である。同図において、実装部位識別
マークデータは、部品情報111、マーク形状情報11
2、形状表示色情報113によって構成される。部品情
報111は、そのマークのレイアウト図における右上座
標、左下座標、およびその部品の種類を示すデータから
なる。またマーク形状情報112および形状表示色情報
112は、予めユーザーによって設定されるものであ
り、部品の種類ごとに設定できる。
おけるマーク形状情報および形状表示色情報の設定画面
の一例である。同図において、121はカラーパターン
である。
ドあるいはマウスを操作することによって、図9に示す
設定画面においてマーク形状および形状表示色を設定す
る。
は、実線表示によって設定されたマーク形状を示してい
る。また形状表示色設定画面123においては、カラー
パターンを枠囲いすることによって設定された形状表示
色を示している。
「□」が設定され、形状表示色情報113として青色が
設定されているものとすると、部品情報111の座標点
をその右上頂点および左下頂点とし、青色の輪郭を有す
る「□」が、実装部位識別マークとしてレイアウト図上
に表示される。
別マークのデータ構成の一例を示す説明図である。この
不良部位識別マークデータと図8に示す実装部位識別マ
ークデータによって、レイアウト図作成部11におい
て、上記のレイアウト図が作成される。
タは、部品情報131、不良マーク形状情報132、不
良表示色情報133、および不良形状表示色情報134
によって構成される。
ト図における右上座標、左下座標、その部品の種類、お
よび不良内容を示すデータを有する。
部品の種類によって決まる不良部位識別マークの形状デ
ータである。図6および図7に示す不良部位識別マーク
の輪郭部の形状は、図9の実装部位識別マークのマーク
形状設定手順と同様にして、部品の種類ごとに予めユー
ザーによって設定されているものである。図7には、不
良部位識別マークの輪郭部の形状を「□」に設定したと
きの、各不良内容に対応した不良部位識別マークが示し
てある。通常この不良部位識別マークの輪郭部の形状
は、実装部位識別マークのマーク形状と同じ形状に設定
される。
状表示色情報134は予めユーザーによって部品の種類
ごとあるいは不良内容ごとに設定され、不良表示色情報
133は図6および図7に示す実装部位識別マークの斜
線部の表示色データであり、不良形状表示色情報134
は斜線部以外の部分の表示色データである。
別マークにおいて、不良表示色情報133が赤色に、不
良形状表示色情報134が黄色の設定されているとすれ
ば、その不良部位識別マークは、斜線部が赤色に、輪郭
部など斜線部以外の部分が黄色にそれぞれ彩色される。
は、撮像コントローラ6を介してY軸テーブル部4を動
作させて被検査基板を搬出位置に移動し、オペレータは
この基板をY軸テーブル部4の基板ステージから取り外
す。
す。
ング状のカラー蛍光燈光源によって構成されているが、
リング状のネオン燈光源、X線光源、あるいは扇状の平
面光をハンダ部位に対して斜め方向から照射するレーザ
光源等によって構成される場合もある。
部位の真上に位置する撮像部2によって平面レーザ光に
よってハンダ部位に形成される光切断線を撮像し、この
光切断線の形状に基づいて、クリームハンダ面の高さ、
あるいはハンダのフィレット角度等の三次元形状に関す
る検査データを算出する。またX線光源を用いる場合
は、ハンダ部位から放出される光電子を受光するため
に、撮像部2に替えて光電子増倍管等の受光手段が用い
られる。
の第一実施例によれば、レイアウト図作成部11によっ
て、被検査基板の検査結果データに基づいて、不良内容
に応じて形状の異なる不良部位識別マークによって不良
部位を示した部品実装部位のレイアウト図を作成し、こ
のレイアウト図を検査結果ファイル作成部12を介して
出力部10によって出力することによって、レイアウト
図から不良部位の位置およびその不良内容を迅速かつ正
確に確認することができるので、不良部位の修正作業を
効率的に行うことができる。
例について説明する。
結果出力装置の第一実施例と同様である。また以下の説
明において、本発明の検査結果出力装置の第一実施例の
説明と重複する部分に付いては省略する。
は、制御部より入力された、被検査基板の各部品実装部
位の良否、および不良部位の不良内容を示した検査結果
データに基づいて、不良部位識別マークによって不良部
位を示した、被検査基板の部品実装部位のレイアウト
図、およびこのレイアウト図を領域分割し、各領域を拡
大表示した拡大図を作成し、このレイアウト図および各
領域の拡大図を検査結果出力ファイル作成部に送る。
アウト図作成部より入力されたレイアウト図、拡大図、
および制御部より入力された前記検査結果データに基づ
いて、被検査基板ごとに検査結果出力ファイルを作成す
る。
アウト図作成部によって、被検査基板の検査結果データ
に基づいて、不良部位識別マークによって不良部位を示
した部品実装部位のレイアウト図、およびこのレイアウ
ト図を領域分割し、各領域を拡大表示した拡大図を作成
し、検査結果出力ファイル作成部によって、このレイア
ウト図および拡大図、ならびに前記検査結果データに基
づいて、被検査基板ごとに検査結果出力ファイルを作成
し、この検査結果出力ファイルの内容を出力部に出力す
ることによって、被検査基板の検査結果をユーザーに知
らせる。
ものである。
クによって不良部位を示した部品実装部位のレイアウト
図、62は、レイアウト図の拡大したい領域を入力部の
マウスでクリックすることによって表示される拡大図、
63は入力部のキーボードあるいはマウスを操作するこ
とによって起動する、各種コマンドのコマンドメニュ
ー、64は基板番号、不良部位の不良内容、および制御
部からの各種メッセージ等を文字表示する領域である。
おいて、65および66は不良部位の位置を示す不良部
位識別マークであり、67は拡大図に拡大された領域を
示す図形である。
示されず、不良部位識別マークを、マウスでクリックす
ることによって、クリックした不良部位識別マーク周辺
の拡大図および67のような図形が表示されるのであ
る。
マウスでクリックすることによって、拡大図62、およ
びこの拡大図62に拡大された領域を示す図形67を表
示させたものであり、この状態で不良部位識別マーク6
6周辺をクリックすれば、不良部位識別マーク66周辺
の拡大図が表示されるとともに、この拡大図に表示され
た、レイアウト図61上の領域に図形67が表示され
る。
ークのデータ構成を示す説明図である。この不良部位識
別マークデータと図8に示す実装部位識別マークデータ
によって、レイアウト図作成部11において、上記のレ
イアウト図および拡大図が作成される。
タは、部品情報131、マーク形状情報112、形状表
示色情報113、不良表示色情報141、および拡大表
示情報142によって構成される。
ものであり、マーク形状情報112および形状表示色情
報113は図8において説明したものである。
よって部品の種類ごとあるいは不良内容ごとに設定され
るものであり、不良部位識別マークの内部の表示色を示
すデータである。
65、あるいは66において、形状表示色情報113が
青色に設定され、不良表示色情報141が赤色に設定さ
れているものとすれば、その不良部位識別マークは輪郭
部が青色に彩色され、内部が赤色に彩色されたものとな
る。
部品右上座標のXおよびY座標に規定値を足し込み、こ
れをXおよびY座標の値とした表示ウィンド右上座標、
および部品左下座標のXおよびY座標から規定値を差し
引き、これをXおよびY座標の値とした表示ウィンド左
下座標を有するデータであり、この表示ウィンド右上座
標および表示ウィンド左下座標は、拡大領域の右上座標
および左下座標を示すものである。尚、拡大表示情報1
42は、本実施例の実装部位識別マークデータにも付加
されている。
の第二実施例によれば、レイアウト図作成部によって、
被検査基板の検査結果データに基づいて、不良部位識別
マークによって不良部位を示した部品実装部位のレイア
ウト図、およびマウスによって指定されたこのレイアウ
ト図の領域の拡大図を作成するとともに、拡大図に示さ
れた領域の位置をレイアウト図上に表示し、このレイア
ウト図および拡大図を出力することによって、拡大図が
レイアウト図のどの領域を拡大したものであるかを迅速
かつ正確に確認することができ、また高密度実装基板等
の部品実装密度の高い基板における不良部位の位置を迅
速かつ正確に確認することができるので、不良部位の修
正作業を効率的に行うことができる。
例について説明する。
結果出力装置の第一実施例と同様である。また以下の説
明において、本発明の検査結果出力装置の第一実施例の
説明と重複する部分に付いては省略する。
は、制御部より入力された、被検査基板の各部品実装部
位の良否、および不良部位の不良内容を示した検査結果
データに基づいて、各不良部位の不良内容の文字表示ウ
ィンドウ、および不良部位識別マークによって不良部位
を示した、被検査基板の部品実装部位のレイアウト図を
作成し、このレイアウト図および文字表示ウィンドウを
検査結果出力ファイル作成部に送る。
アウト図作成部より入力されたレイアウト図および文字
表示ウィンドウ、ならびに制御部より入力された前記検
査結果データに基づいて、被検査基板ごとに検査結果出
力ファイルを作成する。
アウト図作成部によって、被検査基板の検査結果データ
に基づいて、各不良部位の不良内容の文字表示ウィンド
ウ、および不良部位識別マークによって不良部位を示し
た部品実装部位のレイアウト図を作成し、検査結果出力
ファイル作成部によって、このレイアウト図および文字
表示ウィンドウ、ならびに前記検査結果データに基づい
て、被検査基板ごとに検査結果出力ファイルを作成し、
この検査結果出力ファイルの内容を出力部に出力するこ
とによって、被検査基板の検査結果をユーザーに知らせ
る。
ものである。
クによって不良部位を示した部品実装部位のレイアウト
図、72、73、74は不良部位の位置を示す不良部位
識別マーク、75および76は、入力部のマウスで不良
部位識別マークをクリックすることによって表示され
る、不良部位の不良内容の文字表示ウィンドウである。
各不良部位識別マークと、各不良内容の文字表示ウィン
ドウは引き出し線によってそれぞれ対応付けられる。
尚、不良内容の文字表示ウィンドウ75、76における
不良履歴とは、その不良部位において、過去の検査にお
いて、その不良部位で不良が発生した回数を示すもので
ある。すなわち不良部位識別マーク75に対応する部品
実装部位においては、過去に不良は発生していないが、
不良部位識別マーク76に対応する部品実装部位におい
ては不良履歴は「3」なので過去に三回の不良発生があ
る、言い換えれば過去に三枚の基板で不良が発生してい
ることを示すものである。 また77は入力部のキーボ
ードあるいはマウスを操作することによって起動する、
各種コマンドのコマンドメニューである。
76のような不良内容の文字表示ウィンドウは表示され
てなく、不良内容を知りたい不良部位識別マ−クを、入
力部9のマウスでクリックすると、クリックされた不良
部位識別マークの不良内容が表示される。
ックすることによって不良内容の文字表示ウィンドウ7
5が表示されて、不良部位識別マーク72と不良内容の
文字表示ウィンドウ75が引き出し線によって対応付け
られ、また不良部位識別マーク73をクリックすること
によって不良内容の文字表示ウィンドウ75が表示され
て、不良部位識別マーク73と不良内容の文字表示ウィ
ンドウ76が引き出し線によって対応付けられたもので
あり、この状態で不良部位識別マーク74をクリックす
れば、不良部位識別マーク74に対応する不良部位の不
良内容が表示されて、不良部位識別マーク74と表示さ
れた不良内容が引き出し線によって対応付けられる。
ークのデータ構成を示す説明図である。この不良部位識
別マークデータと図8に示す実装部位識別マークデータ
によって、レイアウト図作成部11において、上記のレ
イアウト図および不良内容の文字表示ウィンドウが作成
される。
タは、マーク形状情報112、形状表示色情報113、
不良表示色情報141、部品情報151、および不良内
容表示情報152によって構成される。
報113は、図8において説明したものであり、不良表
示色情報141は図12において説明したものである。
ト図における右上座標、左下座標、その部品の種類、不
良内容、名称、および不良履歴を示すデータからなる。
不良内容の文字表示ウィンドウの右上座標および左下座
標を示す、表示ウィンドウ右上座標および表示ウィンド
ウ左下座標からなる。この表示ウィンドウ右上座標およ
び表示ウィンドウ左下座標は、この不良部位識別マーク
のレイアウト図上の座標と画面上の位置に応じて、不良
内容を文字表示できる領域を適当に選んで決められる。
の第三実施例によれば、レイアウト図作成部によって、
被検査基板の検査結果データに基づいて、マウスによっ
て指定された不良部位の不良内容の文字表示データ、お
よび不良部位識別マークによって不良部位を示した部品
実装部位のレイアウト図を作成し、不良部位識別マーク
によって不良部位を示した部品実装部位のレイアウト図
を作成するとともに、レイアウト図上の指定された不良
部位と文字表示データとを引き出し線によって対応付
け、このレイアウト図、文字表示データ、および引き出
し線を出力することによって、指定した不良部位の不良
内容を迅速かつ正確に確認することができるので、不良
部位の修正作業を効率的に行うことができる。
例について説明する。
結果出力装置の第一実施例と同様である。また以下の説
明において、本発明の検査結果出力装置の第一実施例の
説明と重複する部分に付いては省略する。
は、制御部より入力された、被検査基板の各部品実装部
位の良否、および不良部位の不良内容を示した検査結果
データに基づいて、不良部位識別マークによって不良部
位を示し、さらに各部品実装部位における不良発生履歴
を示した、被検査基板の部品実装部位のレイアウト図を
作成し、このレイアウト図を検査結果出力ファイル作成
部に送る。
アウト図作成部より入力されたレイアウト図、および制
御部より入力された前記検査結果データに基づいて、被
検査基板ごとに検査結果出力ファイルを作成する。
アウト図作成部によって、被検査基板の検査結果データ
に基づいて、不良部位識別マークによって不良部位を示
し、さらに各部品実装部位における不良発生履歴を示し
た部品実装部位のレイアウト図を作成し、検査結果出力
ファイル作成部によって、このレイアウト図および前記
検査結果データに基づいて、被検査基板ごとに検査結果
出力ファイルを作成し、この検査結果出力ファイルの内
容を出力部に出力することによって、被検査基板の検査
結果をユーザーに知らせる。
実装部位のレイアウト図の一例を示すものである。
部位の位置を示す不良部位識別マーク、84は良好と判
定された部品実装部位である。また「*」は各部品実装
部位における不良発生履歴、すなわち過去の不良発生回
数を示すものである。図15に示した被検査基板の直前
に検査されたN枚の被検査基板における不良発生回数が
「*」の数によって示されている。この「N」は検査を
開始する前に設定するものであり、これを設定しない場
合は直前に検査された全ての被検査基板における不良発
生回数が「*」の数によって示される。
図15から不良部位81の部品実装部位は直前の5枚の
被検査基板全てにおいて不良と判定されており、不良部
位82の部品実装部位は直前の5枚の被検査基板のうち
1枚において不良と判定されており、また不良部位83
の部品実装部位は直前の5枚の被検査基板全てにおいて
良好と判定されていたことがわかる。従って、不良部位
81の部品実装部位においては継続的に不良が発生して
おり、不良部位82は突発的な不良発生であると判断で
きので、不良部位81の部品実装部位の製造工程に何か
不具合が生じていることが推測できる。尚、良好と判定
された部品実装部位84における2つの「*」は、直前
の5枚の被検査基板のうち2枚において不良と判定され
ていたことを示す。
の第四実施例によれば、レイアウト図作成部によって、
被検査基板の検査結果データに基づいて、不良部位識別
マークによって不良部位を示した部品実装部位のレイア
ウト図を作成するとともに、各部品実装部位における不
良発生履歴をレイアウト図上に表示し、このレイアウト
図を出力することによって、の品質動向を把握できるの
で、部品実装部位の品質管理を効率的に行うことができ
る。
第五実施例の概略構成図、およびこの第五実施例を用い
た本発明の基板検査検査システムの実施例を示すシステ
ム構成図である。
造ライン92に組み込まれた基板検査装置であり、93
は本発明の検査結果出力装置の第五実施例である。
置、およびLANケーブル94に接続されたネットワー
ク接続部を有するデータ出力部95等によって構成さ
れ、被検査基板の各部品実装部位の検査を行い、被検査
基板ごとに、被検査基板の検査結果データ、すなわち各
部品実装部位の良否判定結果、および不良部位の不良内
容を書き込んだ検査結果ファイルを作成し、この検査結
果ファイルをデータ出力部95によってフロッピーディ
スク96に書き込むか、あるいはLANケーブル94に
出力する。この検査結果ファイルは、被検査基板の基板
番号によって識別することができる。
7、記憶部98、入力部99、出力部100、レイアウ
ト図作成部101、検査結果出力ファイル作成部10
2、および制御部103によって構成される。
置、およびLANケーブル94に接続されたネットワー
ク接続部を有し、基板検査装置91より出力された検査
結果ファイルをLANケーブル94より受信するか、あ
るいはフロッピーディスク96より読み込む。尚この検
査結果ファイルの受け渡しをLANケーブル94によっ
て行うか、フロッピーディスク96によって行うかは、
ユーザーによって選択されるものである。
し、レイアウト図作成部101、検査結果出力ファイル
作成部102、および制御部103の作業エリアとして
使われるとともに、制御部103からの命令に従って、
レイアウト図作成部101、検査結果出力ファイル作成
部102、および制御部103から出力された各種デー
タを記憶する。
びイメージスキャナ等を有しており、オペレータはこの
入力部99を操作することによって、各種のデータや命
令を入力する。
イ、およびプリンタを有し、制御部103より入力され
た検査結果出力ファイルの内容等の各種データを表示、
あるいはプリントアウトする。尚入力されたデータをデ
ィスプレイに表示するか、プリンタでプリントアウトす
るかは、オペレータによって選択されるものである。
3より入力された検査結果ファイルの内容に基づいて、
不良部位識別マークによって不良部位の位置を示した、
部品実装部位のレイアウト図を作成する。
イアウト図作成部101より入力されたレイアウト図、
および制御部103より入力された検査結果ファイルに
基づいて、検査結果出力ファイルを作成する。この検査
結果出力ファイルは被検査基板の基板番号によって検索
可能な画像データ形式のファイルであり、前記レイアウ
ト図、不良内容の文字表示画面等によって構成される。
有し、オペレータによって入力部99から入力される各
種のデータや命令に従って、データ入力部97、記憶部
98、出力部100、レイアウト図作成部101、およ
び検査結果出力ファイル作成部103の動作を制御し、
検査結果出力ファイルの内容等を出力部100のディス
プレイに表示、あるいはプリンタよりプリントアウトす
る。
システムの実施例の動作について説明する。
2より搬入された被検査基板の部品実装部位に光照射を
行うことによって得られた受光データに基づいて、被検
査基板の各部品実装部位の良否を判定し、不良部位につ
いては不良内容を示す不良項目を特定する検査を行い、
被検査基板ごとに、各部品実装部位の良否判定結果、、
不良部位の不良内容、および各部品実装部位の位置座標
を書き込んだ検査結果ファイルを作成する。この検査結
果ファイルはデータ出力部95によって、フロッピーデ
ィスク96に書き込まれるか、あるいはLANケーブル
94に出力される。
ータ入力部97によって、基板検査装置91より出力さ
れた検査結果ファイルをLANケーブル94より受信す
るか、あるいはフロッピーディスク96より読み込む。
て得られた検査結果ファイルを記憶部98に記憶すると
ともに、レイアウト図作成部101および検査結果出力
ファイル作成部102に入力する。
部101を動作させ、検査結果ファイルの内容に基づい
て、不良部位識別マークによって不良部位の位置を示し
た、部品実装部位のレイアウト図を作成し、このレイア
ウト図を検査結果出力ファイル作成部102に入力し、
検査結果出力ファイル作成部102を動作させて、図6
ないし図13に示す画像データを有する検査結果出力フ
ァイルを作成し、この検査結果出力ファイルを記憶部9
8に保存する。
ドを操作して検査結果の出力命令を入力した時に、制御
部103は、要求のあった基板番号の検査結果出力ファ
イルを記憶部98より読み出し、その内容を出力部10
0より出力する。
の第五実施例、およびこの第五実施例を用いた本発明の
基板検査検査システムの実施例によれば、検査結果出力
装置を部品実装工程の製造ライン92に組み込まず、オ
フラインとして基板検査システムを構成し、検査結果出
力装置のレイアウト図作成部101によって、基板検査
装置より入力される各基板の検査結果ファイルに基づい
て、不良部位識別マークによって不良部位を示した部品
実装部位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を
出力することによって、製造ライン92を止めることな
く、必要な時に、被検査基板の不良部位を迅速かつ正確
に確認することができ、また部品実装部位の品質動向を
適確に把握できるので、不良部位の修正作業および部品
実装部位の品質管理を効率的に行うことができる。
に、被検査基板の検査結果データに基づいて、不良部位
識別マークによって不良部位を示した部品実装部位のレ
イアウト図を作成し、このレイアウト図を出力すること
によって、被検査基板の不良部位を迅速かつ正確に確認
することができ、また部品実装部位の品質動向を適確に
把握できるので、不良部位の修正作業および部品実装部
位の品質管理を効率的に行うことができるという効果を
有する。
概略構成図である。
る投光部の構成図である。
手順を示すフローチャートである。
るハンダ面およびその周辺のカラー画像の一例を示す説
明図である。
結果出力画面におけるレイアウト図の一例を示す説明図
である。
る不良部位識別マークの一例を示す説明図である。
説明図である。
明図である。
ける不良部位識別マークのデータ構成の一例を示す説明
図である。
ける検査結果出力画面の一例を示す説明図である。
ける不良部位識別マークのデータ構成の一例を示す説明
図である。
ける検査結果出力画面の一例を示す説明図である。
ける不良部位識別マークのデータ構成の一例を示す説明
図である。
査結果出力画面におけるレイアウト図の一例を示す説明
図である。
略構成図、および本発明の基板検査検査システムの実施
例を示すシステム構成図である。
Claims (25)
- 【請求項1】 基板に光を照射し、この反射光を受光し
て得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部位
の検査を行い、この検査結果に基づいて不良部位識別マ
ークによって不良部位の位置を示した部品実装部位のレ
イアウト図を作成し、このレイアウト図を出力する検査
結果出力装置であって、適時選択された色彩でしかも 不良内容に応じて異なる形
状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マー
ク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークによって
不良部位を示した前記レイアウト図を作成するレイアウ
ト図作成手段を具備することを特徴とする検査結果出力
装置。 - 【請求項2】 前記不良部位識別マークの形状を適宜変
更できることを特徴とする請求請1記載の検査結果出力
装置。 - 【請求項3】 前記レイアウト図の指定された領域の拡
大図を表示するとともに、この拡大図に示された領域の
位置を表示した前記レイアウト図を作成するレイアウト
図作成手段を具備することを特徴とする請求項1または
2記載の検査結果出力装置。 - 【請求項4】 基板に光を照射し、この反射光を受光し
て得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部位
の検査を行い、この検査結果に基づいて不良部位識別マ
ークによって不良部位の位置を示した部品実装部位のレ
イアウト図を作成し、このレイアウト図を出力する検査
結果出力装置であって、 指定された不良部位の不良内容を文字表示するととも
に、この文字表示と指定された不良部位に対応する不良
部位識別マークを引き出し線によって関連付けた前記レ
イアウト図を作成するレイアウト図作成手段を具備する
ことを特徴とする検査結果出力装置。 - 【請求項5】 基板に光を照射し、この反射光を受光し
て得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部位
の検査を行い、この検査結果に基づいて不良部位識別マ
ークによって不良部位の位置を示した部品実装部位のレ
イアウト図を作成し、このレイアウト図を出力する検査
結果出力装置であって、 各部品実装部位における不良発生履歴を表示した前記レ
イアウト図を作成するレイアウト図作成手段を具備する
ことを特徴とする検査結果出力装置。 - 【請求項6】 基板検査装置による基板の部品実装部位
の検査結果に基づいて、不良部位識別マークによって不
良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を作
成し、このレイアウト図を出力する検査結果出力装置で
あって、適時選択された色彩でしかも 不良内容に応じて異なる形
状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マー
ク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークによって
不良部位を示した前記レイアウト図を作成するレイアウ
ト図作成手段を具備することを特徴とする検査結果出力
装置。 - 【請求項7】 前記不良部位識別マークの形状を適宜変
更できることを特徴とする請求請6記載の検査結果出力
装置。 - 【請求項8】 前記レイアウト図の指定された領域の拡
大図を表示するとともに、この拡大図に示された領域の
位置を表示した前記レイアウト図を作成するレイアウト
図作成手段を具備することを特徴とする請求項6または
7記載の検査結果出力装置。 - 【請求項9】 基板検査装置による基板の部品実装部位
の検査結果に基づいて、不良部位識別マークによって不
良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を作
成し、このレイアウト図を出力する検査結果出力装置で
あって、 指定された不良部位の不良内容を文字表示するととも
に、この文字表示と指定された不良部位に対応する不良
部位識別マークを引き出し線によって関連付けた前記レ
イアウト図を作成するレイアウト図作成手段を具備する
ことを特徴とする検査結果出力装置。 - 【請求項10】 基板検査装置による基板の部品実装部
位の検査結果に基づいて、不良部位識別マークによって
不良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を
作成し、このレイアウト図を出力する検査結果出力装置
であって、 各部品実装部位における不良発生履歴を表示した前記レ
イアウト図を作成するレイアウト図作成手段を具備する
ことを特徴とする検査結果出力装置。 - 【請求項11】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行う基板検査装置と、 この基板検査装置による検査結果に基づいて、不良部位
識別マークによって不良部位の位置を示した部品実装部
位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を出力す
る検査結果出力装置であって、適時選択された色彩でしかも 不良内容に応じて異なる形
状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識別マー
ク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークによって
不良部位を示した前記レイアウト図を作成するレイアウ
ト図作成手段を具備することを特徴とする検査結果出力
装置によって構成される基板検査システム。 - 【請求項12】 前記不良部位識別マークの形状を適宜
変更できることを特徴とする請求請11記載の基板検査
システム。 - 【請求項13】 前記レイアウト図の指定された領域の
拡大図を表示するとともに、この拡大図に示された領域
の位置を表示した前記レイアウト図を作成するレイアウ
ト図作成手段を具備することを特徴とする請求項11ま
たは12に記載の検査結果出力装置によって構成される
基板検査システム。 - 【請求項14】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行う基板検査装置と、 この基板検査装置による検査結果に基づいて、不良部位
識別マークによって不良部位の位置を示した部品実装部
位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を出力す
る検査結果出力装置であって、指定された不良部位の不
良内容を文字表示するとともに、この文字表示と指定さ
れた不良部位に対応する不良部位識別マークを引き出し
線によって関連付けた前記レイアウト図を作成するレイ
アウト図作成手段を具備することを特徴とする検査結果
出力装置によって構成される基板検査システム。 - 【請求項15】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行う基板検査装置と、 この基板検査装置による検査結果に基づいて、不良部位
識別マークによって不良部位の位置を示した部品実装部
位のレイアウト図を作成し、このレイアウト図を出力す
る検査結果出力装置であって、各部品実装部位における
不良発生履歴を表示した前記レイアウト図を作成するレ
イアウト図作成手段を具備することを特徴とする検査結
果出力装置によって構成される基板検査システム。 - 【請求項16】 基板の部品実装部位の検査結果に基づ
いて、適時選択された 色彩でしかも不良内容に応じて異
なる形状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識
別マーク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークに
よって不良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウ
ト図を作成し、 このレイアウト図を出力することを特徴とする検査結果
出力方法。 - 【請求項17】 前記不良部位識別マークの形状を適宜
変更できることを特徴とする請求請16記載の検査結果
出力方法。 - 【請求項18】 基板の部品実装部位の検査結果に基づ
いて、適時選択された色彩でしかも不良内容に応じて異
なる形状を有し且つその形状の輪郭部が部品実装部位識
別マーク形状と同じ形状を有する不良部位識別マークに
よって不良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウ
ト図を作成し、 このレイアウト図上に、指定された領域の拡大図を表示
するとともに、この拡大図に示された領域の位置を表示
し、 この拡大図に示された領域の位置を表示したレイアウト
図を出力することを特徴とする検査結果出力方法。 - 【請求項19】 基板の部品実装部位の検査結果に基づ
いて、不良部位識別マークによって不良部位の位置を示
した部品実装部位のレイアウト図を作成し、 このレイアウト図上に指示された不良部位の不良内容を
文字表示するとともに、この文字表示と指示された不良
部位に対応する不良部位識別マークを引き出し線によっ
て関連付け、 この不良内容と不良部位識別マークを引き出し線によっ
て関連付けたレイアウト図を出力することを特徴とする
検査結果出力方法。 - 【請求項20】 基板の部品実装部位の検査結果に基づ
いて、不良部位識別マークによって不良部位の位置を示
した部品実装部位のレイアウト図を作成し、 このレイアウト図上に、各部品実装部位における不良発
生履歴を表示し、 この不良発生履歴を表示したレイアウト図を出力するこ
とを特徴とする検査結果出力方法。 - 【請求項21】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行い、 この検査結果に基づいて、適時選択された色彩でしかも
不良内容に応じて異なる形状を有し且つその形状の輪郭
部が部品実装部位識別マーク形状と同じ形状を有する不
良部位識別マークによって不良部位の位置を示した部品
実装部位のレイアウト図を作成し、 このレイアウト図
を出力することを特徴とする基板検査方法。 - 【請求項22】 前記不良部位識別マークの形状を適宜
変更できることを特徴とする請求請21記載の基板検査
方法。 - 【請求項23】 前記レイアウト図上に、指定された領
域の拡大図を表示するとともに、この拡大図に示された
領域の位置を表示し、 この拡大図に示された領域の位置を表示したレイアウト
図を出力することを特徴とする請求項21または請求項
22記載の基板検査方法。 - 【請求項24】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行い、 この検査結果に基づいて、不良部位識別マークによって
不良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を
作成し、 このレイアウト図上に指示された不良部位の不良内容を
文字表示するとともに、この文字表示と指示された不良
部位に対応する不良部位識別マークを引き出し線によっ
て関連付け、 この不良内容と不良部位識別マークを引き出し線によっ
て関連付けたレイアウト図を出力することを特徴とする
基板検査方法。 - 【請求項25】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データに基づいて基板上の部品実装部
位の検査を行い、 この検査結果に基づいて、不良部位識別マークによって
不良部位の位置を示した部品実装部位のレイアウト図を
作成し、 このレイアウト図上に、各部品実装部位における不良発
生履歴を表示し、 この不良発生履歴を表示したレイアウト図を出力するこ
とを特徴とする基板検査方法。
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