JP3212498B2 - 自己走査型発光装置およびその静電破壊防止用保護回路 - Google Patents

自己走査型発光装置およびその静電破壊防止用保護回路

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JP3212498B2
JP3212498B2 JP25740295A JP25740295A JP3212498B2 JP 3212498 B2 JP3212498 B2 JP 3212498B2 JP 25740295 A JP25740295 A JP 25740295A JP 25740295 A JP25740295 A JP 25740295A JP 3212498 B2 JP3212498 B2 JP 3212498B2
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light
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emitting thyristor
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誠治 大野
俊介 大塚
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電破壊防止用保
護回路、特に、自己走査型発光装置に用いる静電破壊防
止用保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】本出願人は、プリンタ用光源の発光装置
として、PNPN構造の発光サイリスタ素子のアレイを
用いた自己走査型発光装置、また、発光素子アレイを駆
動するシフトレジスタにPNPN構造の発光サイリスタ
のスイッチ素子アレイを用いた自己走査型発光装置を既
に数多く出願している。例えば、特開平2−26366
8号公報「発光装置」、特開平2−212170号公報
「発光素子アレイおよびその駆動方法」、特開平3−5
5885号公報「発光・受光モジュール」、特開平3−
200364号公報「光信号の読み取り方法及びこれに
使用するスイッチ素子アレイ」、特開平4−23367
号公報「発光装置」、特開平4−296579号公報
「発光素子アレイの駆動方法」などがある。
【0003】代表的な自己走査型発光装置の構造を以下
に示す。
【0004】図1は、抵抗ネットワークで各発光サイリ
スタ素子のゲート電極間を結ぶことにより、発光サイリ
スタ素子に転送機能をもたせたものである。
【0005】図2は、発光サイリスタ素子のゲート電極
間の電気的接続方法として、ダイオードを用いたもので
ある。
【0006】図3は、転送機能をシフトレジスタで実現
したものであり、シフトレジスタは、図2の構造をスイ
ッチ素子アレイとして用い、そのゲートを対応する発光
サイリスタ素子アレイのゲートに接続したものである。
【0007】一例として、図3の自己走査型発光装置の
動作を説明する。まず転送用クロックパルスφ1 の電圧
がハイレベルで、スイッチ素子T(0)がオン状態であ
るとする。このとき、ゲート電極G0 の電位は電源電圧
GKの5Vからほぼ零Vにまで低下する。この電位降下
の影響はダイオードD0 によってゲート電極G1 に伝え
られ、その電位を約1V(ダイオードD0 の順方向立上
り電圧(拡散電位に等しい))に設定する。しかし、ダ
イオードD-1は逆バイアス状態であるためゲート電極G
-1への電位の接続は行われず、ゲート電極G-1の電位は
5Vのままとなる。サイリスタのオン電位は、ゲート電
極電位+PN接合の拡散電位(約1V)で近似されるか
ら、次の転送用クロックパルスφ2 のハイレベル電圧は
約2V(スイッチ素子T(1)をオンさせるために必要
な電圧)以上でありかつ約4V(スイッチ素子T(3)
をオンさせるために必要な電圧)以下に設定しておけば
スイッチ素子T(1)のみがオンし、これ以外のスイッ
チ素子はオフのままにすることができる。従って2本の
転送用クロックパルスでオン状態が転送されることにな
る。
【0008】スタートパルスφS は、このような転送動
作を開示させるためのパルスであり、スタートパルスφ
S をローレベル(約0V)にすると同時に対応する転送
用クロックパルスをハイレベル(約2〜約4V)とし、
初段のスイッチ素子Tをオンさせる。その後すぐ、スタ
ートパルスφS はハイレベルに戻される。
【0009】いま、スイッチ素子T(0)がオン状態に
あるとすると、ゲート電極G0 の電位は、電源電圧VGK
より低下し、ほぼ零ボルトとなる。したがって、書き込
み信号Sinの電圧が、PN接合の拡散電位(約1ボル
ト)以上であれば、発光素子L(0)を発光状態とする
ことができる。
【0010】これに対し、ゲート電極G-1は約5ボルト
であり、ゲート電極G1 は約1ボルトとなる。したがっ
て、発光素子L(−1)の書き込み電圧は約6ボルト、
発光素子L(1)の書き込み電圧は約2ボルトとなる。
これから、発光素子L(0)のみに書き込める書き込み
信号Sinの電圧は、1〜2ボルトの範囲となる。発光素
子L(0)がオン、すなわち発光状態に入る。発光強度
は書き込み信号Sinに流す電流量で決められ、任意の強
度にて画像書き込みが可能となる。また、発光状態を次
の発光素子に転送するためには、書き込み信号Sinライ
ンの電圧を一度零ボルトまでおとし、発光している発光
素子をいったんオフにしておく必要がある。
【0011】以上のようなPNPN構造のサイリスタ素
子を用いた自己走査型発光装置の信頼性の向上の1つと
して、例えば静電放電により発生した過電圧による静電
破壊から防止する必要がある。回路を静電破壊より防止
するには、入力端子と入力回路間に保護回路を挿入し、
保護回路で過電圧を吸収するのが一般的である。
【0012】静電破壊防止用の保護回路には、図4に示
すように保護素子として2個のダイオード(PN接合)
10,12を用いたものがある。第1のダイオード10
は正の過電圧に対する保護素子として働き、第2のダイ
オード12は負の過電圧に対する保護素子として働く。
【0013】正の過電圧が到来すると、第1のダイオー
ド10がオンして、正の過電圧を電源VGKに逃がし、逆
に負の過電圧が到来すると、第2のダイオード12がオ
ンして負の過電圧をアース(GND)に逃がしている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本出願人が既に提案し
ているPNPN構造のサイリスタ素子を用いた自己走査
型発光装置では、純粋なPN接合のみは存在しない。し
たがって、図4のようなPN接合を保護素子として用い
ている保護回路を実現するには、サイリスタ素子の一部
のPN接合を用いることになる。
【0015】図5に、図1の自己走査型発光装置のデバ
イス構造の断面図を示す。接地されたN形半導体基板1
上に、N形半導体層24,P形半導体層23,N形半導
体層22,P形半導体層21の各層が形成され、ホトリ
ソグラフィおよびエッチングにより、各単体発光サイリ
スタL(−1)〜L(+1)に分離されている(分離溝
50)。アノード電極40はP形半導体層21とオーミ
ック接触し、ゲート電極41はN形半導体層22とオー
ミック接触している。
【0016】図5のデバイス構造からわかるように、保
護素子として利用できるPN接合は、アノード電極40
が接続されたP形半導体層21と、ゲート電極41が接
続されたN形半導体層22とで構成されるPN接合であ
る。
【0017】このPN接合を保護素子として用いる場
合、このPN接合につながるNPN構造が、保護動作上
不具合を生じないか、という問題が生じる。また、別の
問題として、サイリスタは一旦オンすると、電流をしゃ
断しない限りオフしないので、このサイリスタの特性が
保護素子としてのPN接合の動作に影響を与えるのでは
ないかということである。
【0018】本発明の目的は、上記のような問題を考慮
した、自己走査型発光装置に使用できる静電破壊防止用
の保護回路を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明は、発光動作のた
めのしきい電圧またはしきい電流を制御するゲート電極
を有するPNPN構造の発光サイリスタを複数個配列
し、各発光サイリスタの前記ゲート電極をその近傍に位
置する少なくとも1つの発光サイリスタのゲート電極
に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素
子を介して接続するとともに、各発光サイリスタのゲー
ト電極に電源ラインを負荷抵抗を介して接続し、かつ各
発光サイリスタのアノード電極にクロックパルスライン
を接続し、かつ初段の発光サイリスタのゲート電極にス
タートパルスラインを接続して形成した自己走査型発光
装置に用いられる静電破壊防止用保護回路において、
記静電破壊防止用保護回路は、前記自己走査型発光装置
に含まれるPNPN構造の第1および第2の発光サイリ
スタのPN接合を用いて作製され、入力端子に一端が接
続された電流制限抵抗を備え、前記電流制限抵抗の他端
前記第1の発光サイリスタのアノード電極が接続さ
れ、前記第1の発光サイリスタのゲート電極が保護抵抗
を経て前記電源ラインに接続され、前記第1の発光サイ
リスタのカソード電極が接地され、前記電流制限抵抗の
他端に前記第2の発光サイリスタのゲート電極が接続さ
れ、前記第2の発光サイリスタのアノード電極およびカ
ソード電極が接地されていることを特徴とする。
【0020】また本発明は、転送動作のためのしきい電
圧またはしきい電流を制御するゲート電極を有する転送
用のPNPN構造の発光サイリスタを複数個配列し、各
発光サイリスタの前記ゲート電極をその近傍に位置する
少なくとも1つの発光サイリスタのゲート電極に、接続
用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介し
て接続するとともに、各発光サイリスタのゲート電極
電源ラインを負荷抵抗を介して接続し、かつ各発光サイ
リスタのアノード電極にクロックパルスラインを接続
し、かつ初段の発光サイリスタのゲート電極にスタート
パルスラインを接続して形成した転送用の発光サイリス
タ・アレイと、発光動作のためのしきい電圧またはしき
い電流を制御するゲート電極を有する発光用のPNPN
構造の発光サイリスタを複数個配列した発光用の発光サ
イリスタ・アレイとからなり、前記発光用の発光サイリ
スタの各ゲート電極を対応する前記転送用の発光サイリ
スタのゲート電極と電気的手段にて接続し、各発光用の
発光サイリスタのアノード電極に発光のための電流を印
加するラインを設けた自己走査型発光装置に用いられる
静電破壊防止用保護回路において、 前記静電破壊防止用
保護回路は、前記自己走査型発光装置に含まれるPNP
N構造の第1および第2の発光サイリスタのPN接合を
用いて作製され、入力端子に一端が接続された電流制限
抵抗を備え、前記電流制限抵抗の他端に前記第1の発光
サイリスタのアノード電極が接続され、前記第1の発光
サイリスタのゲート電極が保護抵抗を経て前記電源ライ
ンに接続され、前記第1の発光サイリスタのカソード電
が接地され、前記電流制限抵抗の他端に前記第2の発
光サイリスタのゲート電極が接続され、前記第2の発光
サイリスタのアノード電極およびカソード電極が接地さ
れていることを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
【実施例1】図6は、本発明の静電破壊防止用保護回路
の一実施例の回路図である。入力端子60と入力回路
(図示せず)との間に設けられ、2個のPNPN構造の
サイリスタ62,64と、電流制限用抵抗66,68と
から構成される。
【0022】サイリスタ62のアノード電極621は、
入力端子側の抵抗66の一端に接続され、ゲート電極6
22はサイリスタ自身の保護抵抗624を経て正の電源
電圧(VGK)に接続されている。一方、サイリスタ64
のアノード電極641は接地され、ゲート電極642は
入力端子側の抵抗66の一端に接続されている。サイリ
スタ62,64のカソード電極625,644は共に接
地されている。
【0023】以上の構成の保護回路は、基本的には図4
で示した保護回路と同じであり、アノード電極およびゲ
ート電極が接続されたPN接合(図中、サイリスタ62
のPN接合623、サイリスタ64のPN接合643)
を保護素子として利用するものである。この場合、前述
したように、ゲート電極とカソード電極との間のNPN
構造が、保護素子としてのPN接合に動作上影響を与え
ないかという問題がある。この問題については、この出
願の発明者らの考察によれば、動作上影響の無いことが
わかっている。すなわち、サイリスタのNPN構造の素
子特性からすると耐圧は十分とれており、NPN構造は
常にオフ状態にあり、保護素子のオン,オフ動作には何
ら影響を与えない。
【0024】また、前述したように、サイリスタは、一
旦ターンオンすると電流は流れ続けるので、このことが
保護素子の動作に影響するのではないかという問題に対
しては、以下のように対処している。
【0025】まず、サイリスタ64においては、アノー
ド電極641の接続されたP形領域とカソード電極64
4の接続されたN形領域とはアースを介して短絡状態に
ある。PN接合643が到来した過電圧よりオンして
も、電流がオフした後は、すぐにリセットされてもはや
電流は流れないので、問題はない。
【0026】一方、サイリスタ62については、到来し
た過電圧によりオン状態になり電流が流れ続けると、保
護回路として機能しなくなる。そこで、この発明では、
次のような工夫を行っている。すなわち、アノード電極
621からゲート電極622を介して電源VGKに到る抵
抗を小さくする。この抵抗には、アノード電極621か
らPN接合623を経てゲート電極622に到る抵抗
と、保護用抵抗624(約1kΩ)の抵抗とが含まれ
る。アノード電極621から電源VGKに到る抵抗を、サ
イリスタの駆動能力より小さくしておけば、サイリスタ
は自らオフする。保護用抵抗624の値は、小さくでき
ないので、アノード電極621とゲート電極622との
間の抵抗を小さくする。このためには、図7に示すよう
にアノード電極とゲート電極とを、アノード電極を中心
に、その周りにゲート電極をリング状に形成する。この
ような構造にすることによって、アノード電極からゲー
ト電極への電界集中を避けて、アノード電極とゲート電
極との間の抵抗を下げるようにする。
【0027】このようなリング構造の電極にすることに
よって、アノード電極621から電源VGKに到るまでの
抵抗が小さくなる。過電圧の到来によりNPN構造はタ
ーンオンしたとき、ゲート電極622が接続されている
N形領域は、瞬間的に0ボルトにおちるが、電源VGK
の抵抗が小さいので前記N形領域はVGKにすぐ戻る結
果、NPN構造はオフ状態に戻る。
【0028】次に、本実施例の動作を説明する。入力端
子60に正の過電圧が到来すると、サイリスタ62のP
N接合がオンし、過電圧は電源VGKに逃がす。また、負
の過電圧が到来すると、サイリスタ64のPN接合がオ
ンし、過電圧をアースに逃がす。
【0029】以上のようなサイリスタのPN接合を用い
た静電破壊防止用保護回路は、サイリスタ素子を用いて
いるが故に、前述したような問題が懸念されたが、正常
に動作し、入力回路を静電破壊から防止することができ
る。
【0030】なお、以上の実施例では、電源電圧VGK
正の場合を説明したが、電源電圧VGKが負の場合には、
サイリスタの極性を変えて接続すればよいことは、明ら
かである。
【0031】
【実施例2】図8は、正の過電圧に対してのみ働く保護
素子を示す図である。(a)は断面図、(b)は上面図
である。この保護素子は、接地されたN形半導体基板1
上に、N形半導体層24,P形半導体層23,N形半導
体層22,P形半導体層21の各層が形成されている。
【0032】最上層21は、図8(b)に示すように、
抵抗をつけるために細くくびれた中央部半導体層21a
と、両側の側部半導体層21b,21cとからなる。側
部半導体層21b上にアノード電極40が、側部半導体
層21cと下側の半導体層22とにまたがるように、ゲ
ート電極41を設ける。ゲート電極41は、保護用抵抗
51を経て正の電源VGKに接続される。
【0033】アノード電極40に正の過電圧が到来する
と、アノード電極40から内部抵抗を構成する中央部半
導体層21aを通ってゲート電極41に向かって、瞬間
的に電流I1 が流れる。その結果、内部抵抗により電位
差が生じ、アノード電極40の下側のPN接合がオン状
態となって電流I2 が流れ、正の過電圧を吸収する。
【0034】
【実施例3】実施例1の静電破壊防止用保護回路を自己
走査型発光装置に設けた具体例を図9に示す。図1,図
2,図3の自己走査型発光装置において、クロックパル
ス端子φ1 ,φ2 ,φ3 、電源端子VGK,書き込み信号
inの各端子については、多くの素子がつながっている
ので、静電破壊防止用保護回路を設けなくてもよいが、
スタートパルス端子φS は静電破壊に対し一番弱いの
で、スタートパルス端子φS の内側に保護回路を設ける
必要がある。
【0035】図9は、図3の自己走査型発光装置のスタ
ートパルス端子の内側に、静電破壊防止用保護回路70
を設けた例を示している。
【0036】
【実施例4】図3の自己走査型発光装置にエンド端子φ
E を設けた場合の回路に、静電破壊防止用保護回路を設
けた例を図10に示す。エンド端子φE を設ける理由
は、例えば、128ビット1チップの発光装置を複数個
実装基板上に配列して、プリンタ用の光源を形成する場
合に、実装基板上に実装された後の各チップの動作を試
験するためである。
【0037】このようなエンド端子φE は、スタートパ
ルス端子φS と同様に、静電破壊に対しては弱いので、
エンド端子φE の内側に、静電破壊防止用保護回路を設
ける必要がある。図10に、図3の発光装置(128ビ
ット1チップ)のエンド端子φE の内側に保護回路72
を設けた例を示す。
【0038】
【実施例5】以下の実施例では、本発明の静電破壊防止
用保護回路を設けることのできる自己走査型発光装置の
例を説明する。
【0039】本実施例の発光装置は、相互作用の媒介と
して電位を利用するものである。図11に本実施例の発
光装置の等価回路図を示す。発光素子として、本発明に
よる発光サイリスタL(−2)〜L(+2)を用い、発
光サイリスタL(−2)〜L(+2)には、各々ゲート
電極G-2〜G+2が設けられている。各々のゲート電極に
は、負荷抵抗RL を介して電源電圧VGKが印加される。
また、各々のゲート電極G-2〜G+2は、相互作用を作る
ために抵抗RI を介して電気的に接続されている。ま
た、各単体発光サイリスタのアノード電極に、3本の転
送クロックライン(φ1 ,φ2 ,φ3 )が、それぞれ3
素子おきに(繰り返されるように)接続される。
【0040】動作を説明すると、まず転送クロックφ3
がハイレベルとなり、発光サイリスタL(0)がオンし
ているとする。このとき3端子サイリスタの特性から、
ゲート電極G0 は零ボルト近くまで引き下げられる。電
源電圧VGKを仮に5ボルトとすると、負荷抵抗RL 、相
互作用抵抗RI のネットワークから各発光サイリスタの
ゲート電圧が決まる。そして、発光サイリスタL(0)
に近い素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にL
(0)から離れるにしたがいゲート電圧は上昇してい
く。これは次のように表せる。
【0041】 VG0<VG1=VG-1 <VG2=VG-2 (1) これらの電圧の差は、負荷抵抗RL ,相互作用抵抗RI
の値を適当に選択することにより設定することができ
る。
【0042】3端子サイリスタのアノード側のターンオ
ン電圧VONは、ゲート電圧より拡散電位Vdif だけ高い
電圧となることが知られている。
【0043】VON≒VG +Vdif (2) したがって、アノードにかける電圧をこのターンオン電
圧VONより高く設定すれば、その発光サイリスタはオン
することになる。
【0044】さてこの発光サイリスタL(0)がオンし
ている状態で、次の転送クロックパルスφ1 にハイレベ
ル電圧VH を印加する。このクロックパルスφ1 は発光
サイリスタL(+1)とL(―2)に同時に加わるが、
ハイレベル電圧VH の値を次の範囲に設定すると、発光
サイリスタL(+1)のみをオンさせることができる。
【0045】 VG-2 +Vdif >VH >VG+1 +Vdif (3) これで発光サイリスタL(0),L(+1)が同時にオ
ンしていることになる。そしてクロックパルスφ3 のハ
イレベル電圧を切ると、発光サイリスタL(0)がオフ
となりオン状態の転送ができたことになる。
【0046】このように、本実施例では抵抗ネットワー
クで各発光サイリスタのゲート電極間を結ぶことによ
り、発光サイリスタに転送機能をもたせることが可能と
なる。
【0047】上に述べたような原理から、転送クロック
φ1 ,φ2 ,φ3 のハイレベル電圧を順番に互いに少し
ずつ重なるように設定すれば、発光サイリスタのオン状
態は順次転送されていく。すなわち、発光点が順次転送
され、自己走査型発光装置を実現することができる。
【0048】次に、本実施例の自己走査型発光装置を集
積化して作製する場合の構成について説明する。
【0049】本実施例の発光装置の構成概略図を図12
に示す。接地されたN形GaAs基板1上にN形半導体
層24,P形半導体層23,N形半導体層22,P形半
導体層21の各層を形成する。そしてホトリソグラフィ
およびエッチング等により、各単体発光サイリスタL
(−1)〜L(+1)に分離する。分離溝を50で示
す。アノード電極40はP形半導体層21とオーミック
接触を有し、ゲート電極41はN形半導体層22とオー
ミック接触を有する。
【0050】絶縁層30は素子と配線との短絡を防ぎ、
同時に特性劣化を防ぐための保護膜でもある。N形Ga
As基板1は、このサイリスタのカソードである。各単
体発光サイリスタのアノード電極40に3本の転送クロ
ックライン(φ1 ,φ2 ,φ3 )がそれぞれ3素子おき
に接続される。またゲート電極41には、負荷抵抗
L ,相互作用抵抗RI による抵抗ネットワークが接続
される。
【0051】
【実施例6】本実施例は、本発明者らが特開平2−92
650号公報にて開示した自己走査型発光装置であっ
て、本発明を適用できる例の1つである。
【0052】本実施例では、さらに抵抗接続の例につい
て述べる。本実施例の発光装置の等価回路図を図13に
示す。
【0053】これは発光しきい電圧,電流が外部から制
御できる発光サイリスタとして、発光サイリスタを用い
た場合を表している。発光サイリスタL(−2)〜L
(+2)は一列に並べられた構成となっている。各発光
サイリスタはトランジス夕Tr1 ,Tr2 の組合せとし
て表わされる。トランジスタTr1 はPNPトランジス
タであり、トランジスタTr2 はNPNトランジスタで
ある。発光サイリスタ間の相互接続用抵抗RI はNPN
トランジスTr2 のベース間に接続される。各単体発光
サイリスタのアノード電極に、3本の転送クロックライ
ン(φ1 ,φ2 ,φ3 )が順次繰り返して1本ずつ接続
される。クロックラインには、クロックラインの電流制
限用抵抗Re が設けられる。
【0054】動作を説明する。まず転送クロックφ3
ハイレベルとなり、発光サイリスタL(0)がオンして
いるとする。この時、NPNトランジスタTr2 (0)
のベースは、発光サイリスタL(0)のオン電流を流せ
る電位に設定されている。この電位が相互接続接抗RI
を通じて、隣接する発光サイリスタL(−1),L
(1)のNPNトランジスタTr2 (−1),Tr
2 (1)のベースに伝達され、これらのベース電流が流
れる。ただし転送クロックラインφ1 ,φ2 がローレベ
ルである限り、発光サイリスタL(−1),L(1)は
オフ状態のままである。
【0055】さて、この相互接続抵抗RI が小さけれ
ば、NPNトランジス夕Tr2 (−1),Tr2 (1)
は、発光サイリスタL(0)のオン電流と同じ電流を流
す能力を持っている。しかし相互接続抵抗RI が大きけ
れば、NPNトランジスタTr2 (−1),Tr
2 (1)のベース電流が相互接続抵抗RI により制限さ
れ、NPNトランジスタTr2 (−1),Tr2 (1)
の電流駆動能力は低下する。NPNトランジスタTr2
(−1),Tr2 (1)よりさらに遠方に位置するNP
NトランジスタTr2 (−2),Tr2 (2)のベース
電流はさらに小さくなり、これらの電流駆動能力はもっ
と低下することになる。
【0056】このNPNトランジスタTr2 のベース電
流量、すなわち電流駆動能力が大きくなると、発光サイ
リスタのターンオン電圧が低下することが知られてい
る。図14にその様子を示す。横軸がアノード電圧(P
NPトランジスタTr1 のエミッタ電圧)であり、縦軸
がアノード電流である。ここで、ターンオン電圧VS
外部から全く影響のない場合のターンオン電圧であり、
ターンオン電圧VS (1)は発光サイリスタL(1)
の、ターンオン電圧VS (−2)は発光サイリスタL
(−2)のターンオン電圧を表わす。オン状態を維持す
るために必要な最小電圧はホールド電圧Vh と呼ばれ
る。オンしている発光サイリスタL(0)に最も近い発
光サイリスタL(−1),L(1)は上に述べた理由で
ターンオン電圧が低下し、ターンオン電圧VS (1)に
なる。次に近い発光サイリスタL(−2),L(2)は
ベース電流の影響が小さくターンオン電圧VS (−2)
となる。
【0057】さて、図13において、クロックパルスφ
3 の次のクロックパルスφ1 は発光サイリスタL
(1),L(−2)に印加される。これらのターンオン
電圧は上に述べた理由からそれぞれターンオン電圧VS
(1),VS (−2)の値となっているため、クロック
パルスのハイレベル電圧をターンオン電圧VS (1),
S(−2)の間に設定しておくと発光サイリスタL
(1)のみをオンさせることができる。これから各クロ
ックパルスφ1 ,φ2 ,φ3 をそのハイレベルが互いに
重なりあうように設定しておくと、オン状態発光サイリ
スタが順次転送されていくことになる。これから自己走
査可能な発光装置を実現することができる。
【0058】以上より、本実施例では発光サイリスタ間
を接続する抵抗が1つで済むことから、簡単な構造で発
光装置が構成できることがわかる。
【0059】次に、本実施例の発光装置を集積化して作
製する場合の構成について説明する。本実施例の要点は
電気的結合を行なうための相互接続用抵抗を、発光サイ
リスタの一部を利用して設けることにより、発光サイリ
スタと同じ工程で、抵抗素子まで形成することのできる
構造にある。
【0060】本実施例の発光装置の構造断面概念図を図
15に示す。接地されたN形GsAs基板1上にN形半
導体層24,P形半導体層23,N形半導体層22,P
形半導体層21の各層を形成する。そしてホトリノソグ
ラフィおよびエッチング等により各単体発光サイリスタ
L(−2)〜L(2)に分離する(分離溝50)。
【0061】N形GaAs基板1は、このサイリスタの
カソードとして働き接地される。各単体発光サイリスタ
のアノードとなるP形半導体層21には、転送クロック
ラインφ1 ,φ2 ,φ3 がそれぞれ2素子おきに接続さ
れる。この構成における特徴は、サイリスタを構成する
P形半導体層23が各素子を通して接続されていること
である。このP形半導体層23の内部抵抗が図13に示
した相互接続抵抗RIとなる。
【0062】以上より、本実施例の発光装置では、ゲー
ト電極を設ける必要がなく、かつ発光サイリスタ間を相
互接続する抵抗が1つで済み、さらには相互接続抵抗R
I を発光サイリスタを構成する半導体層にて形成でき
る。これより簡単な構造の自己走査型発光装置が実現で
きる。
【0063】
【実施例7】本実施例は、本発明者らが特開平2−14
584号公報にて開示した自己走査型発光装置であっ
て、本発明を適用できる例の1つである。
【0064】本実施例では、電気的接続の方法としてダ
イオードを用いた例について述べる。本実施例の自己走
査型発光装置の原理を説明するための等価回路図を図1
6に示す。これは発光しきい電圧,電流が外部から制御
できる発光サイリスタとして、3端子の発光サイリスタ
を用いた場合を表している。発光サイリスタL(−2)
〜L(+2)は、一列に並べられた構成となっている。
-2〜G+2は、発光サイリスタL(−2)〜L(+2)
のそれぞれのゲート電極を表す。RL はゲート電極の負
荷抵抗を表し、D-2〜D+2は電気的相互作用を行うダイ
オードを表す。またVGKは電源電圧を表す。各単体発光
サイリスタのアノード電極に、2本の転送クロックライ
ン(φ1 ,φ2 )がそれぞれ1素子おきに接続される。
【0065】動作を説明する。まず転送クロックφ2
ハイレベルとなり、発光サイリスタL(0)がオンして
いるとする。このとき3端子サイリスタの特性からゲー
ト電極G0 は零ボルト近くまで引き下げられる。電源電
圧VGKを仮に5ボルトとすると、抵抗RL ,ダイオード
-2〜D+2のネットワークから各発光サイリスタのゲー
ト電圧が決まる。そして発光サイリスタL(0)に近い
素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にL(0)から
離れるにしたがいゲート電圧は上昇していく。
【0066】しかしながら、ダイオード特性の一方向
性,非対称性から、電圧を下げる効果は、L(0)の右
方向にしか働かない。すなわちゲート電極G1 はG0
対し、ダイオードの順方向立ち上がり電圧Vdif だけ高
い電圧に設定され、ゲート電極G2 はG1 に対し、さら
にダイオードの順方向立ち上がり電圧Vdif だけ高い電
圧に設定される。一方、L(0)の左側のゲート電極G
-1はダイオードD-1が逆バイアスになっているため電流
が流れず、したがって電源電圧VGKと同電位となる。
【0067】次の転送クロックパルスφ1 は、最近接の
発光サイリスタL(1),L(−1)、そしてL(3)
およびL(−3)等に印加されるが、これらのなかで、
最もターンオン電圧の最も低い素子はL(1)であり、
L(1)のターンオン電圧は約G1 のゲート電圧+V
dif であるが、これはVdif の約2倍である。次にター
ン電圧の低い素子はT(3)であり、Vdif の約4倍で
ある。L(−1)とL(−3)のターンオン電圧は、約
GK+Vdif となる。
【0068】以上から、転送クロックパルスのハイレベ
ル電圧をVdif の約2倍からVdifの約4倍の間に設定
しておけば、発光サイリスタL(1)のみをオンさせる
ことができ、転送動作を行うことができる。
【0069】次に、本実施例の自己走査型発光装置を集
積化して作製する場合の構成について説明する。
【0070】本実施例の発光素子アレイの構造概念図を
図17に示す。接地されたN形GaAs基板1上に、N
形半導体層24,P形半導体層23,N形半導体層2
2,P形半導体層21の各層を形成する。そしてホトリ
ソグラフィおよびエッチング等により、各単体発光サイ
リスタL(−2)〜L(+1)に分離する。分離溝を5
0で示す。アノード電極40はP形半導体層21とオー
ミック接触しており、ゲート電極41はN形半導体層2
2とオーミック接触している。絶縁層30は素子と配線
との短絡を防ぎ、同時に特性劣化を防ぐための保護膜と
して作用する。ここで、絶縁層30には、発光サイリス
タの発光波長の光が通らないような材質を用いている。
【0071】N形GaAs基板1はカソードとして働
く。各単体発光サイリスタのアノード電極40に、2本
の転送クロックライン(φ1 ,φ2 )が、それぞれ1素
子おきに接続される。
【0072】転送クロックφ1 ,φ2 のハイレベル電圧
を交互に互いに少しずつ重なるように設定すれば、発光
サイリスタのオン状態は順次転送されていく。すなわ
ち、発光点が順次転送され、ダイオードによる電位結合
を用いた集積化された自己走査型発光素子アレイを実現
することができる。
【0073】
【実施例8】本実施例は、本発明者らが特開平2−92
651号公報にて開示した自己走査型発光装置であっ
て、本発明を適用できる例の1つである。
【0074】本実施例の発光装置の原理を説明するため
の等価回路図を図18に示す。これは発光しきい電圧,
電流が外部から制御できる発光サイリスタとして、3端
子の発光サイリスタを用いた場合を表している。各発光
サイリスタは、トランジス夕Tr1 ,Tr2 の組合せと
して表わされる。トランジスタTr1 はPNPトランジ
スタであり、トランジスタTr2 はNPNトランジスタ
である。また、トランジスタTr3 が設けられ、トラン
ジスタTr3 のベースは、NPNトランジスTr2 のベ
ースに接続され、NPNトランジスTr2 と組合わさっ
てカレントミラー回路を構成している。発光サイリスタ
L(−1)〜L(1)は一列に並べられ、かつ発光サイ
リスタ間がカレントミラー回路によって接続された構成
となっている。
【0075】発光サイリスタL(−1)〜L(+1)
は、それぞれのゲート電極G-1〜G+1を有し、これらゲ
ート電極は、負荷抵抗RL を有する。ゲート電極には、
負荷抵抗RL を経て電源電圧VGKが印加される。各単体
発光サイリスタのアノード電極(Tr1 のエミッタ)
に、2本の転送クロックライン(φ1 ,φ2 )がそれぞ
れ1素子おきに接続される。クロックラインには、クロ
ックラインの電流制限用抵抗Re が設けられる。
【0076】動作を説明する。まず、転送クロックφ2
がハイレベルとなり、発光サイリスタL(0)がオンし
ているとする。このとき、3端子サイリスタの特性から
ゲート電極G0 は零ボルト近くまで引き下げられる。電
源電圧VGKを5ボルトとすると、ゲート電極G0 に負荷
抵抗RL で制限された電流が流れ込む。またエミッタ
(アノード)には、抵抗Re で制限された電流が流れ込
む。
【0077】さて、トランジス夕Tr2 とTr3 は、カ
レントミラー回路になっているため、トランジスタTr
3 にはTr2 に比例した電流駆動能力が備わっている。
この電流駆動能力からトランジスタTr3 のコレクタに
接続される負荷抵抗RL を介して電流を引き込み、隣の
発光サイリスタL(1)のゲート電極G1 の電位を引き
下げる。トランジスタTr3 の駆動能力を適当に調整す
ることにより、ゲート電極G1 の電位をほぼ零まで下げ
ることができる。
【0078】発光サイリスタL(1)のオン電圧は、ゲ
ート電極G1 の電位より拡散電位Vdif だけ高い電圧と
なるため、転送クロックパルスφ1 の電圧が、拡散電位
dif 以上であればオン状態を発光サイリスタL(1)
に伝達することができる。
【0079】さて、このように発光サイリスタL(1)
のターンオン電圧は下がることになるが、反対側に位置
する発光サイリスタL(−1)のターンオン電圧は変化
しない。これはゲートG0 がほぼ零まで下がったとして
も、発光サイリスタL(−1)のオン電圧を決めるゲー
ト電極G-1の電圧に影響を与えないからである。したが
って、転送クロックφ1 ,φ2 のハイレベル電圧を交互
に互いに少しずつ重なるように設定すれば、発光サイリ
スタのオン状態は順次転送されていく。すなわち、発光
点が順次転送され、光結合による集積化された自己走査
型発光装置を実現することができる。
【0080】以上のことから、このカレントミラー回路
を用いた発光素子アレイは、VdifからVGK+Vdif
での転送クロックパルス電圧によって動作し、動作電圧
幅としてVGKという広い幅で動作させることができる。
【0081】次に、本実施例の自己走査型発光装置を集
積化して作製する場合の構成について説明する。
【0082】本実施例の発光装置の構造概念図を図19
に示す。接地されたN形GaAs基板1上に、N形半導
体層24,P形半導体層23,N形半導体層22,P形
半導体層21の各層が形成される。そして、ホトリソグ
ラフィおよびエッチング等により、各単体発光サイリス
タL(−1)〜L(+1)に分離される。分離溝を50
で示す。アノード電極40はP形半導体層21とオーミ
ック接触しており、ゲート電極41はN形半導体層22
とオーミック接触している。絶縁層30は素子と配線と
の短絡を防ぎ、同時に特性劣化を防ぐための保護膜とし
て作用する。
【0083】図中、破線で囲った部分がトランジスタT
3 であり、ゲート電極41に接続される。トランジス
タTr3 は、コレクタ22,ベース23,エミッタ24
を有する。トランジスタTr1 は、コレクタ23,ベー
ス22,エミッタ21を有する。トランジスタTr
2 は、コレクタ22,ベース23,エミッタ24を有す
る。
【0084】トランジスタTr2 のベースは、トランジ
スタTr3 のベースと電気的に接続されている。またこ
れらのトランジスタのコレクタは分離されている。ゲー
ト電極41は負荷抵抗RL を介して電源VGKに接続さ
れ、基板1は接地されている。また基板1は、トランジ
スタTr2 ,Tr3 のエミッタとなっている。
【0085】
【実施例9】本実施例は、本発明者らが特開平2−26
3668号公報にて開示した自己走査型発光装置であっ
て、本発明を適用できる例の1つである。
【0086】本実施例の発光装置の原理を説明するため
の等価回路図を図20に示す。
【0087】この発光装置は、スイッチ素子T(−1)
〜T(2)、書き込み用発光素子L(−1)〜L(2)
からなる。スイッチ素子部分の構成は、ダイオード接続
を用いた例を示している。スイッチ素子のゲート電極G
-1〜G1 は、書き込み用発光素子のゲートにも接続され
る。書き込み用発光素子のアノードには、書き込み信号
inが加えられている。
【0088】以下に、この自己走査型発光装置の動作を
説明する。スイッチ素子回路の簡略化した構成断面図を
図21に示す。いま、スイッチ素子T(0)がオン状態
にあるとすると、ゲート電極G0 の電圧は、VGK(ここ
では5ボルトと想定する)より低下し、ほぼ零ボルトと
なる。したがって、書き込み信号Sinの電圧が、PN接
合の拡散電位(約1ボルト)以上であれば、発光素子L
(0)を発光状態とすることができる。
【0089】これに対し、ゲート電極G-1は約5ボルト
であり、ゲート電極G1 は約1ボルトとなる。したがっ
て、発光素子L(−1)の書き込み電圧は約6ボルト、
発光素子L(1)の書き込み電圧は約2ボルトとなる。
これから、発光素子L(0)のみに書き込める書き込み
信号Sinの電圧は、約1〜2ボルトの範囲となる。発光
素子L(0)がオン、すなわち発光状態に入ると、書き
込み信号Sinラインの電圧は約1ボルトに固定されてし
まうので、他の発光素子が選択されてしまう、というエ
ラーは防ぐことができる。
【0090】発光強度は書き込み信号Sinに流す電流量
で決められ、任意の強度にて画像書き込みが可能とな
る。また、発光状態を次の素子に転送するためには、書
き込み信号Sinラインの電圧を一度零ボルトまでおと
し、発光している素子をいったんオフにしておく必要が
ある。
【0091】
【実施例10】本実施例は、複数の発光素子を同時に発
光できるようにした自己走査型発光装置である。この発
光装置の等価回路図を、図22に示す。
【0092】図20の回路と異なるのは、発光素子を3
つずつのブロックとし、1ブロック内の発光素子は1つ
のスイッチ素子によって制御し、かつ1ブロック内の発
光素子にそれぞれ別々の書き込み信号ラインSin1,S
in2,Sin3を接続して、発光素子の発光を制御した点
である。図中、発光素子L1 (−1),L2 (−1),
3 (−1)、発光素子L1 (0),L2 (0),L3
(0)、発光素子L1(−1),L2 (−1),L
3 (−1)等が、ブロック化された発光素子を示してい
る。
【0093】動作は図20の回路と同じで、1素子ずつ
inによって発光が書き込まれていたものが、同時に複
数書き込まれ発光し、それがブロックごとに転送するよ
うになったものである。
【0094】いま、LEDプリンタ等の一般的に知られ
る光プリンタ用の光源として、この発光装置を用いるこ
とを考えると、A4の短辺(約21cm)相当のプリン
トを16ドット/mmの解像度で印字するためには約3
400ビットの発光素子が必要になる。
【0095】実施例9にて説明してきた発光装置では、
発光しているポイントは常に一つで、この発光の強度を
変化させて画像を書き込むことになる。これを用いて光
プリンタを形成すると、通常使用されている光プリンタ
用LEDアレイ(これは画像を書き込むポイントに位置
するLEDが、同時に発光するよう駆動ICによって制
御されている)に比べ、画像書き込み時に3400倍の
輝度が必要となり、発光効率が同じならば3400倍の
電流を流す必要がある。ただし発光時間は、逆に通常の
LEDアレイに比べ1/3400となる。
【0096】しかし発光素子は、一般的に電流が増える
と加速度的に寿命が短くなる傾向があり、いくらデュー
ティが1/3400とはいえ従来のLEDプリンタに比
べ、寿命が短くなってしまうという問題点を持ってい
た。
【0097】しかしながら本実施例によると、ビット総
数が同じ条件で比較すると、この例では1ブロックに3
素子が入っているため、実施例17の発光装置に比べて
1素子の発光時間は3倍となる。したがって、オン状態
の発光素子に流す電流は1/3でよく、実施例17に比
べ長寿命化することが可能である。
【0098】本実施例では、1ブロックに3素子が含ま
れる場合を例示したが、この素子数が大きいほうが書き
込み電流が小さくて済み、さらに長寿命化をはかること
ができる。
【0099】
【実施例11】以下に、デューティをさらに向上するこ
とができる自己走査型発光装置の例を、図23,図2
4,図25を用いて説明する。図23は本実施例の自己
走査型発光装置のブロック構成図である。
【0100】本実施例の発光装置は、シフトレジスタ2
00,書き込みスイッチアレイ201,リセットスイッ
チアレイ202,発光素子アレイ203から構成され
る。各々のアレイはN個の素子からなっており、その番
号を(1)〜(N)とする。
【0101】シフトレジスタ200は、電源V1 、複数
の転送パルスφ、およびスタートパルスφS により駆動
され、オン状態が転送(自己走査)される。転送方向
は、ここでは左から右、すなわち(1)から(N)とし
てある。
【0102】書き込みスイッチアレイ201は、画像信
号VINを発光素子アレイ203に書き込むスイッチであ
り、シフトレジスタ200に同期する。つまり、時刻t
にオン状態であるシフトレジスタ200に対応する発光
素子アレイ203のビットに、画像信号VIN(t)を書
き込む働きを有する。
【0103】この画像信号VINの書き込みは、本実施例
では各ビットとも同じ番号内で行われるようにされてい
る。一度書き込まれた発光情報は、発光素子アレイ20
3に保持される。
【0104】一方、シフトレジスタ200は、同時にリ
セットスイッチアレイ202もアドレスするよう構成さ
れている。ただし、番号(1)のシフトレジスタ出力は
番号(2)のリセットスイッチに、番号(2)のシフト
レジスタ出力は番号(3)のリセットスイッチになど、
1ビット転送方向へ進んだ素子に接続されている。
【0105】このリセットスイッチがアドレスされる
と、発光素子はリセットされる。すなわち、シフトレジ
スタがオンすると、このシフトレジスタより1ビット転
送方向へ進んだ発光素子は、発光状態,非発光状態に関
わらず、一旦非発光状態(オフ状態)に戻される。
【0106】このような構成になっていれば、画像信号
の時間変化が発光素子の位置変化として書き込まれ、発
光素子に画像情報が書き込まれて発光による画像パター
ンが構成される。そして次の画像信号を書き込む際、リ
セットスイッチにより書き込まれた画像情報は消去さ
れ、そのすぐ後に新たな画像情報が書き込まれる。この
ため、発光素子はほぼ常時点灯に近い状態となり、デュ
ーティはほぼ1となる。
【0107】ここではシフトレジスタ200を1つのみ
設け、この出力を画像信号書き込み、およびリセットの
両方に用いるよう構成したが、シフトレジスタを2つ設
け、それぞれ画像信号書き込み用およびリセット用とし
て用いてもよい。
【0108】図24に、図22の回路をP,Nイメージ
で書き直した図を示す。シフトレジスタ200は、サイ
リスタTS (1)〜TS (4)により構成される。各サ
イリスタはトランジスタTr1 ,Tr2 で構成され、そ
のゲートが負荷抵抗RL ,結合用抵抗RI を介して隣接
するサイリスタおよび電源V1 に接続される。このシフ
トレジスタの出力はゲートから取り出され、出力電圧V
O (1)〜VO (3)と表示されている。(1)〜
(3)は各ビットの番号である。図中、転送クロックラ
インの電流を制限する抵抗は、抵抗Re で表している。
【0109】書き込みスイッチとして、PNPトランジ
スタTr3 (1)〜Tr3 (3)を用い、リセットスイ
ッチとして、NPNトランジスタTr4 (1)〜Tr4
(3)を用いている。抵抗Re は、発光素子に流れる電
流を制限する抵抗である。また発光素子として、トラン
ジスタTr5 ,Tr6 の組合せで表示される発光サイリ
スタを用いている。この発光サイリスタの特性として、
一度オンしてしまうと電源を落とすまでオンし続けると
いう特徴を持ち、これを発光のメモリ機能として利用す
る。
【0110】この回路の動作を、図25に示すパルスタ
イミング図を用いて説明する。図24においてT1 〜T
5 は時刻を表す。転送クロックはφ1 〜φ3 であり、φ
1 はT1 〜T2 およびT4 〜T5 の間、φ2 はT2 〜T
3 の間、φ3 はT3 〜T4 の間がハイレベルとなってい
る。シフトレジスタ出力VO (1)〜VO (3)はそれ
ぞれφ1 〜φ3 に同期して取り出され、出力はローレベ
ルとして与えられる。画像信号VINは時刻T2 〜T3
ハイレベルとなり、ビット番号(2)の発光素子に書き
込む。
【0111】今、時刻T1 〜T2 の間を考える。このと
きシフトレジスタの出力として、出力VO (1)がロー
レベルとして取り出される。この出力VO (1)は、書
き込みスイッチであるトランジスタTr3 (1)のベー
スに接続され、トランジスタTr3 (1)を書き込み可
能状態にする。しかしここで、画像信号VINはローレベ
ルであるから、発光素子への書き込みは行われない。
【0112】一方、出力VO (1)は同時にリセットス
イッチであるトランジスタTr4 (2)のベースにも印
加される。この出力VO (1)は零ボルト程度まで下が
るため、トランジスタTr4 (2)のエミッタ電圧もほ
ぼ零ボルトとなり、発光素子をオフ状態にしてしまう。
したがって、ビット番号(2)の発光素子は、リセット
されたことになる。
【0113】次に時刻T2 〜T3 の間を考える。シフト
レジスタ出力はVO (2)であり、これがTr3 (2)
のベースに印加される。ここで、画像信号VINはハイレ
ベルであるからトランジスタTr3 (2)に電流が流
れ、発光メモリに流れ込む。この電流はトランジスタT
6 (2)のベース電流となり、これがビット番号
(2)の発光素子をオンさせる。この発光は次のリセッ
ト信号まで維持される。この時、ビット番号(3)の発
光素子は、VO (2)によりリセットされる。
【0114】発光素子に流れる電流は抵抗Re によって
制限され、デューティが大きくなったため少ない電流で
よく、高信頼度の発光装置を得ることができる。
【0115】図26には、本実施例の発光装置を集積化
して作製する場合を示す。シフトレジスタの各ビットは
PNPNの4層構成で表され、発光素子も同様にPNP
N構成で表される。シフトレジスタのPNPNの各ビッ
トをTS (1)〜TS (4)と表し、発光素子の各ビッ
トをTL (1)〜TL (4)と表す。この構成は、半導
体基板1上に作製される。
【0116】特に、図26は、ビット番号(2)につい
てその断面図を示したものである。半絶縁性GaAs基
板1上に、N形GaAs層24,P形GaAs層23,
N形GaAs層22,P形GaAs層21を順次積層し
た構造となっている。各半導体層は絶縁膜30により分
離され、それぞれ機能を有する素子に分割され、金属電
極43により電気的に接続される。抵抗RL ,RI はN
形GaAs層22で形成される抵抗素子であり、その端
は電源V1 に接続される。
【0117】シフトレジスタTS (2)は、半導体層2
1,22,23,24の4層から構成される。
【0118】書き込みスイッチTr3 (2)は、半導体
層21,22,23から構成され、不要な半導体層24
を半導体層23に接続し、半導体層24の効果を殺して
いる。
【0119】発光素子TL (2)は、半導体層21,2
2,23,24の4層から構成され、書き込みスイッチ
Tr3 (2)の半導体層23,24が、シフトレジスタ
L(2)の半導体層23と接続される。これが発光素
子の書き込み電極となる。抵抗Re も抵抗RL ,RI
同じくN形GaAs層22で形成される。
【0120】リセットスイッチTr4 (2)は、半導体
層22,23,24から構成され、不要な半導体層21
は半導体層22と接続されている。半導体層23は書き
込みスイッチTr3 (1)のベース21と接続される。
図26に示した構造を用いると、上述の機能を完全に果
たすことが可能となる。
【0121】この自己走査型発光装置は、光プリンタの
書き込みヘッド,ディスプレイ等への応用が考えられ、
これらの機器の低価格化,高性能化に大きな寄与をする
ことができる。
【0122】
【実施例12】本実施例は、特開平4−23367号公
報に示された自己走査型発光装置であって、本発明を
用できる1つの例である。
【0123】実施例の発光装置を図27に示す。図27
においては、スイッチ素子アレイと発光素子アレイと
が、上下に分けて記載されている。
【0124】まず、シフトレジスタ機能を有するスイッ
チ素子アレイについて説明する。T(−2)〜T(2)
は、スイッチ素子(PNPN構造を有するサイリスタ)
である。φ1 ,φ2 は、スイッチ素子アレイを駆動する
転送クロックである。そして、CL1 は転送クロックφ
1 を供給されるクロックラインであり、CL2 は転送ク
ロックφ2 を供給されるクロックラインである。
【0125】各スイッチ素子T(−2)〜T(2)のゲ
ート電極G-1〜G2 の間は、それぞれ結合用ダイオード
-2〜D1 によって、接続されている。このようなダイ
オード結合方式を採用しているために、スイッチ素子ア
レイは2相の転送クロックφ1 ,φ2 にて情報の転送動
作を行うことができる。
【0126】また、RA1,RA2 は、それぞれ各スイッ
チ素子T(−2)〜T(2)のアノードとクロックライ
ンCL1 ,CL2 のいずれか一方とを接続するアノード
負荷抵抗である。このアノード負荷抵抗RA1,RA2
は、各スイッチ素子T(−2)〜T(2)のオン状態で
の電流量を制限するものである。各スイッチ素子T(−
2)〜T(2)のカソードはそれぞれ接地されている。
【0127】さらに、RL1,RL2は、それぞれ各スイッ
チ素子T(−2)〜T(2)のゲートG-2〜G2 と電源
電圧VGKの直流電源とを接続するゲートの負荷抵抗であ
る。このゲート負荷抵抗RL1,RL2は、電源電圧VGK
直流電源から各ゲートG-2〜G2 に流れる電流量を制限
するものである。そして、各ゲートG-2,G0 ,G
2は、それぞれダイオードD-2′,D0 ′,D2 ′のカ
ソードに接続されている。
【0128】次に、発光素子アレイについて説明する。
φR は発光素子(発光サイリスタ)L(−2),L
(0),L(2)への情報の書き込み許可/禁止を制御
し、かつ書き込まれた状態をリセットするクロックであ
る。そして、CLR はクロックφR を供給する電流供給
ラインである。
【0129】またRA3は、各発光素子L(−2),L
(0),L(2)のアノードと電流供給ラインCLR
を接続するアノード負荷抵抗である。このアノード負荷
抵抗RA3は、各発光素子L(−2),L(0),L
(2)のオン状態での電流量を制限するものである。そ
して、各発光素子L(−2),L(0),L(2)のカ
ソードは、それぞれ接地されている。
【0130】さらにRL3は、各発光素子L(−2),L
(0),L(2)のゲートG-2′,G0 ′,G2 ′と電
源電圧VGKとを接続するゲート負荷抵抗である。このゲ
ート負荷抵抗RL3は、電源電圧VGKの直流電源から、各
ゲートG-2′,G0 ′,G2′に流れる電流量を制限す
るものである。そして、各ゲートG-2′,G0 ′,
2 ′は、それぞれダイオードD-2′,D0 ′,D2
のアノードに接続されている。
【0131】すなわち、図27においては、スイッチ素
子T(−2),T(0),T(2)のゲートが、それぞ
れダイオードD-2′,D0 ′,D2 ′を介して、発光素
子L(−2),L(0),L(2)のゲートG-2′,G
0 ′,G2 ′に個々に接続されている。
【0132】次に、スイッチ素子アレイの部分の動作を
説明する。今、スタートパルスφSとして、ハイレベル
またはローレベルの電圧がスイッチ素子T(−3)のア
ノード(図示せず)に供給されたとする。この場合に、
ハイレベルの電圧が、電源電圧VGKに拡散電位Vdif
加えた電圧以上に高ければ、スイッチ素子T(−3)は
オン状態になる。そして、次に供給されるスタートパル
スφS のローレベルの電圧が、スイッチ素子T(−3)
のオン状態維持電圧より低ければ、T(−3)はオフ状
態となる。
【0133】オン状態では、スイッチ素子T(−3)の
ゲート電位はほぼ零ボルトとなり、オフ状態ではゲート
電圧は電源電圧VGKと同じ電圧になる。スイッチ素子T
(−3)のゲート電位が零ボルトになれば、結合用ダイ
オードD-3(図示せず)によって、スイッチ素子T(−
2)のゲート電位が低下する。そして、スイッチ素子T
(−2)のターンオン電圧も低下する。したがって、転
送クロックφ2 によって、スイッチ素子T(−2)をオ
ン状態に設定することができる。
【0134】このオン状態はφ1 ,φ2 によって順次、
図27の右方向へ転送されていく。つまり、スタートパ
ルスφS のハイレベルの電圧によって、スイッチ素子ア
レイにオン状態が書き込まれ、それが順次右方向へ転送
されていくことになる。
【0135】ただし、全てのビットがオン状態にある場
合に、このオン状態を転送することは、このスイッチ素
子アレイの動作原理上から不可能であって、1ビットお
きにオンとオフを繰り返して転送することになる。すな
わち、スタートパルスφS の波形も、転送パルスφ1
φ2 に同期して、ハイレベルとローレベルとを交互に送
る必要がある。
【0136】今、偶数ビットのみのオン状態とオフ状態
に有効な情報があるものとして、オン状態を1、オフ状
態を0とすると、スタートパルスφS によって1または
0が書き込まれ、転送クロックφ1 ,φ2 によって、そ
の1,0が転送されて行くことになる。このようにし
て、1または0という信号(情報)がスイッチ素子アレ
イに書き込まれる。
【0137】次に、発光素子L(−2)(L(0),L
(2))の動作について説明する。仮に、L(−2)が
0であるとすると、クロックφR の電圧が零ボルトであ
れば、発光素子L(−2)はオン状態とはならない。す
なわち、発光素子L(−2)は書き込み禁止の状態に設
定される。クロックφR の電圧が、発光素子L(−2)
のオン状態維持電圧からVGK+Vdif の間の電圧に設定
されたとすると、発光素子L(−2)は書き込み許可の
状態に設定される。そして、ゲートG-2′の電位が変化
させられることによって、発光素子L(−2)はオン状
態に設定可能となる。
【0138】さて、スイッチ素子アレイから発光素子ア
レイへの情報の書き込みについて説明する。スイッチ素
子アレイは、前述したように1または0信号が書き込ま
れる。最後のビットまで書き込まれた段階で、転送クロ
ックφ1 ,φ2 をそれぞれローレベル,ハイレベルの状
態に維持される。これによって、情報の転送動作が終了
し、スイッチ素子アレイに書き込まれた情報は保持され
る(特に、偶数ビットにおいて保持されている)。
【0139】スイッチ素子アレイの偶数ビットにおい
て、オン状態のスイッチ素子Tのゲート電位はほぼ零ボ
ルトであり、オフ状態のスイッチ素子Tのゲート電位
は、Vdif の約2倍以上である。なお、オフ状態のスイ
ッチ素子Tのゲート電位については、転送方向に対して
逆方向に位置する最も隣接する偶数ビットがオン状態の
場合にVdif の約2倍であり、それ以外はVdif の約2
倍の電圧よりも大きくなる。なお、ここでVdif はPN
接合の拡散電位である。
【0140】スイッチ素子T(−2),T(0),T
(2)のそれぞれのゲート電圧は、ダイオードD-2′,
0 ′,D2 ′によって対応する発光素子L(−2),
L(0),L(2)のゲートG-2′,G0 ′,G2 ′に
伝達される。したがって、発光素子L(−2),L
(0),L(2)のゲート電圧は、オン状態の場合でV
difとなり、オフ状態の場合でVdif の3倍以上とな
る。そしてオン状態の場合で、発光素子のターンオン電
圧はVdif の2倍となり、オフ状態でVdif の4倍とな
る。
【0141】一方、クロックφR については、いったん
零ボルトに設定して全体の発光をなくし(すなわち、リ
セット)、その後にハイレベル電位VHRまで上昇させ
る。この電圧φHRとして 2Vdif <VHR<4Vdif の範囲に設定されていると、オン状態のスイッチ素子T
に対応する発光素子Lがオン状態となり、オフ状態のス
イッチ素子Tの対応する発光素子Lはオフ状態のままに
なる。
【0142】したがって、スイッチ素子アレイに書き込
まれた1,0の情報が、そのまま発光素子アレイに書き
込まれることになる。
【0143】この後、電圧VHRは発光素子のオン状態維
持電圧以上であってVdif の2倍の電圧未満の値に再設
定される。このことにより、発光素子Lは、スイッチ素
子Tのゲート電位に影響されなくなり、書き込まれた情
報を保持し続ける。そして、発光素子アレイが情報の保
持状態にある間に、前述と同様にして、スイッチ素子ア
レイには次の情報が書き込まれる。
【0144】やがて、クロックφR がローレベル電圧に
設定されて、各発光素子Lがリセットされる。リセット
後、再び情報が発光素子アレイに書き込まれる。以上の
ようにして、一連の動作が繰り返し行われる。
【0145】次に図27に示す自己走査型発光装置を、
光プリンタ用の書き込み光源に適用した場合について述
べる。
【0146】例えば、発光装置が2048ビットの発光
素子Lを有するものとすると、スイッチ素子Tはその倍
の4096ビットを必要とする。光プリンタにおける書
き込み光源の電流量は約5mAであるから、全てのビッ
トの発光素子Lが発光状態であるとすると、約10Aと
いう電流が流れる。
【0147】一方、スイッチ素子Tからの情報転送のた
めの電流は、ゲート負荷抵抗RL3=30kΩの場合に
0.5mAであることが実験的にわかっているので、全
てのビットの発光素子が発光状態であれば、1A程度で
ある。なお、この情報転送のための電流量は、光プリン
ティングに必要な10Aに比べ1割程度であり、実用上
問題のない値である。
【0148】また、スイッチ素子Tからの情報が、発光
素子Lに移動させられた段階でクロックφ1 ,φ2 の電
圧を一旦零ボルトに低下させることにより、スイッチ素
子アレイ全体がオフ状態となりリセットが行われる。こ
の方法を用いた場合には、スイッチ素子Tがオン状態に
なる時間が考慮されると、等価的に電流値が下がること
となる。つまり、前述の1Aに比べて等価的に0.5A
程度まで下がったことになる。
【0149】発光素子Lの2048ビットに対して、ス
タートパルスφS が供給されるデータ入力端(図示せ
ず)が1つだけでは、情報の転送速度はかなり高速であ
ることが必要である。この点については、データ入力端
を複数設けることによって、情報の転送速度を低下させ
ることができる。例えば、通常64ビットまたは128
ビットを一単位として発光素子Lのチップが形成され、
このチップごとに情報が入力されてもよい。
【0150】128ビットごとにデータ入力を並列に行
った場合、2048ビットに対して20個のデータ入力
端を有することになる。このため、情報の転送速度は1
/20でよいことになる。したがって、発光装置は余裕
のある動作を行うことができる。
【0151】なお、発光素子Lの出力光の光量のばらつ
きを防ぐために、アノード負荷抵抗RA3をレーザ等によ
り微調整することが可能である。このことによって、出
力光のばらつきのない発光装置を得ることができる。
【0152】また、図27では、スイッチ素子アレイに
おける偶数ビットの右側に接続される結合用ダイオード
-2,D0 の特性と、奇数ビットの右側に接続される結
合用ダイオードD-1,D1 の特性とが異なっている。し
たがって、偶数ビットと奇数ビットとで動作電流等を分
けて最適化することが重要である。このために、RL2
L1,RA1<RA2に設定するほうが望ましく、この場合
には発光装置はより安定で高速な動作を行い得る。
【0153】さらに、図27では、ダイオード結合方式
と呼ばれる構成を採用しているが、結合方式はこれに限
られず、スイッチ素子の発光機能および受光機能を利用
する光結合方式や、抵抗結合方式であってもよい。
【0154】図28は、図27に示した等価回路を同一
半導体基板上に作製した場合の一例を示す断面図であ
る。図28において、71はN形半導体基板であり、8
1はP形半導体層、82はN形半導体層、83はP形半
導体層である。なお、図27と同一の要素には同一の符
号が付されている。
【0155】この図28に示す実施例で重要な点は、図
27に示したスイッチ素子T、結合用ダイオードD-2
1 ,D-2′〜D2 ′、発光素子L等が半導体層81,
82,83、半導体基板71の組合せで形成でき、した
がって、製造工程を複雑化することなく、図27の回路
構成が集積化されて形成されることである。
【0156】例えばスイッチ素子T(−2)において、
最上層のP形半導体層81がアノードになり、N形半導
体層82がゲートG-2になり、N形半導体基板71がカ
ソードとなっている。そして、N形半導体層82の上に
形成されたP形半導体層81の2つの島が、結合用ダイ
オードD-2,D-2′になっている。これらのダイオード
-2,D-2′は、スイッチ素子S(−2)と同様の構造
を有しており、S(−2)と全く同じ製造工程で形成さ
れる。
【0157】また、発光素子L(−2)についても、ス
イッチ素子T(−2)と全く同じ構造を有し、やはり同
じ工程で形成される。なお、抵抗部分RA1〜RA3、RL1
〜RL3は、薄膜抵抗によって形成することができ、また
半導体層81,82,83を利用して形成することもで
きる。
【0158】上述した発光装置では、自己走査型の発光
装置を転送用アレイとして使用し、ほぼ同一構造の別の
発光素子アレイに発光機能を分離したので、バイアス光
の原因となるオン状態の転送を行うスイッチ素子の上部
に光遮蔽層を設けることができ、画像情報の書き込みに
対するバイアス光の影響を除去することができる。この
ため、光プリンタ等への発光装置の応用を行う際には、
光プリンタ等の品位を向上させることができる。
【0159】また、画像情報を書き込むための信号は、
スタートパルスの一部としてスイッチ素子に直接入力で
きる。このため、駆動回路が簡略化できる。さらに、発
光素子に書き込まれた情報は、走査信号によってリセッ
トされるまで維持されるので、発光のデューティサイク
ルがほぼ1に設定される。したがって、発光素子に流れ
る電流(ピーク値)を少なくすることができるので、発
光装置の長寿命化を実現できる。
【0160】
【発明の効果】本発明によれば、静電破壊防止用保護回
路を、サイリスタ・アレイのPNPN構造を利用して作
製できるので、保護回路の作製が容易となる。また、本
発明の静電破壊防止用保護回路を備えた自己走査型発光
装置は、過電圧の到来による静電破壊を防止できるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の自己走査型発光装置の等価回路図であ
る。
【図2】従来の自己走査型発光装置の等価回路図であ
る。
【図3】従来の自己走査型発光装置の等価回路図であ
る。
【図4】静電破壊防止用保護回路の一例を示す回路図で
ある。
【図5】図1の発光装置のデバイス構造の断面図であ
る。
【図6】本発明の実施例1の静電破壊防止用保護回路の
回路図である。
【図7】実施例1のアノード電極とゲート電極の構造を
示す図である。
【図8】本発明の実施例2の静電破壊防止用保護回路の
構造を示す断面図および平面図である。
【図9】本発明の実施例3の発光装置の回路図である。
【図10】本発明の実施例4の発光装置の回路図であ
る。
【図11】本発明の実施例5の発光装置の回路図であ
る。
【図12】実施例5の発光装置の断面図である。
【図13】本発明の実施例6の発光装置の回路図であ
る。
【図14】図13の発光サイリスタの特性図である。
【図15】図13の発光装置の構造断面概念図である。
【図16】本発明の実施例7の発光装置の回路図であ
る。
【図17】実施例7の発光装置の断面図である。
【図18】本発明の実施例8の発光装置の回路図であ
る。
【図19】実施例8の発光装置の断面図である。
【図20】本発明の実施例9の発光装置の回路図であ
る。
【図21】図20の発光装置のスイッチ素子回路の構成
断面図である。
【図22】本発明の実施例10の発光装置の回路図であ
る。
【図23】本発明の実施例11の発光装置のブロック図
である。
【図24】実施例11の発光装置の等価回路のPNイメ
ージ図である。
【図25】実施例11の発光装置の駆動方法を示すパル
スタイミング図である。
【図26】実施例11の発光装置の断面図である。
【図27】本発明の実施例12の発光装置の回路図であ
る。
【図28】実施例12の発光装置の断面図である。
【符号の説明】
T 転送サイリスタ L 発光サイリスタ D 結合用ダイオード φ 転送用クロックパルス RL ゲート負荷抵抗 Re カソード負荷抵抗 RI 相互作用を作るために抵抗 Tr トランジスタ 1 第1導電形基板 22,24 第1導電形半導体層 21,23 第2導電形半導体層 30 絶縁膜 40 アノード電極 41 ゲート電極 42 カソード電極 50 分離溝 62,64 サイリスタ 66,68 電流制限用抵抗 621,641 アノード電極 622,642 ゲート電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−263668(JP,A) 特開 平6−342880(JP,A) 実開 平6−34246(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/45 B41J 2/455 G09G 3/14 H01L 27/04 H01L 29/74 H01L 33/00

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】発光動作のためのしきい電圧またはしきい
    電流を制御するゲート電極を有するPNPN構造の発光
    サイリスタを複数個配列し、各発光サイリスタの前記ゲ
    ート電極をその近傍に位置する少なくとも1つの発光サ
    イリスタのゲート電極に、接続用抵抗または電気的に一
    方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各
    発光サイリスタのゲート電極に電源ラインを負荷抵抗を
    介して接続し、かつ各発光サイリスタのアノード電極に
    クロックパルスラインを接続し、かつ初段の発光サイリ
    スタのゲート電極にスタートパルスラインを接続して形
    成した自己走査型発光装置に用いられる静電破壊防止用
    保護回路において、 前記静電破壊防止用保護回路は、前記自己走査型発光装
    置に含まれるPNPN構造の第1および第2の発光サイ
    リスタのPN接合を用いて作製され、 入力端子に一端が接続された電流制限抵抗を備え、 前記電流制限抵抗の他端に前記第1の発光サイリスタの
    アノード電極が接続され、前記第1の発光サイリスタの
    ゲート電極が保護抵抗を経て前記電源ラインに接続さ
    れ、前記第1の発光サイリスタのカソード電極が接地さ
    れ、 前記電流制限抵抗の他端に前記第2の発光サイリスタの
    ゲート電極が接続され、前記第2の発光サイリスタのア
    ノード電極およびカソード電極が接地されている、 ことを特徴とする静電破壊防止用保護回路。
  2. 【請求項2】発光動作のためのしきい電圧またはしきい
    電流を制御するゲート電極を有するPNPN構造の発光
    サイリスタを複数個配列し、各発光サイリスタの前記ゲ
    ート電極をその近傍に位置する少なくとも1つの発光サ
    イリスタのゲート電極に、接続用抵抗または電気的に一
    方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各
    発光サイリスタのゲート電極に電源ラインを負荷抵抗を
    介して接続し、かつ各発光サイリスタのカソード電極に
    クロックパルスラインを接続し、かつ初段の発光サイリ
    スタのゲート電極にスタートパルスラインを接続して形
    成した自己走査型発光装置に用いられる静電破壊防止用
    保護回路において、 前記静電破壊防止用保護回路は、前記自己走査型発光装
    置に含まれるPNPN構造の第1および第2の発光サイ
    リスタのPN接合を用いて作製され、 入力端子に一端が接続された電流制限抵抗を備え、 前記電流制限抵抗の他端に前記第1の発光サイリスタの
    カソード電極が接続され、前記第1の発光サイリスタの
    ゲート電極が保護抵抗を経て前記電源ラインに接続さ
    れ、前記第1の発光サイリスタのアノード電極が接地さ
    れ、 前記電流制限抵抗の他端に前記第2の発光サイリスタの
    ゲート電極が接続され、前記第2の発光サイリスタのカ
    ソード電極およびアノード電極が接地されている、 ことを特徴とする静電破壊防止用保護回路。
  3. 【請求項3】転送動作のためのしきい電圧またはしきい
    電流を制御するゲート電極を有する転送用のPNPN構
    造の発光サイリスタを複数個配列し、各発光サイリスタ
    の前記ゲート電極をその近傍に位置する少なくとも1つ
    の発光サイリスタのゲート電極に、接続用抵抗または電
    気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとと
    もに、各発光サイリスタのゲート電極に電源ラインを負
    荷抵抗を介して接続し、かつ各発光サイリスタのアノー
    ド電極にクロックパルスラインを接続し、かつ初段の発
    光サイリスタのゲート電極にスタートパルスラインを接
    続して形成した転送用の発光サイリスタ・アレイと、 発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流を制御す
    るゲート電極を有する発光用のPNPN構造の発光サイ
    リスタを複数個配列した発光用の発光サイリスタ・アレ
    イとからなり、 前記発光用の発光サイリスタの各ゲート電極を対応する
    前記転送用の発光サイリスタのゲート電極と電気的手段
    にて接続し、各発光用の発光サイリスタのアノード電極
    に発光のための電流を印加するラインを設けた自己走査
    型発光装置に用いられる静電破壊防止用保護回路におい
    て、 前記静電破壊防止用保護回路は、前記自己走査型発光装
    置に含まれるPNPN構造の第1および第2の発光サイ
    リスタのPN接合を用いて作製され、 入力端子に一端が接続された電流制限抵抗を備え、 前記電流制限抵抗の他端に前記第1の発光サイリスタの
    アノード電極が接続され、前記第1の発光サイリスタの
    ゲート電極が保護抵抗を経て前記電源ラインに接続さ
    れ、前記第1の発光サイリスタのカソード電極が接地さ
    れ、 前記電流制限抵抗の他端に前記第2の発光サイリスタの
    ゲート電極が接続され、前記第2の発光サイリスタのア
    ノード電極およびカソード電極が接地されている、 ことを特徴とする静電破壊防止用保護回路。
  4. 【請求項4】転送動作のためのしきい電圧またはしきい
    電流を制御するゲート電極を有する転送用のPNPN構
    造の発光サイリスタを複数個配列し、各発光サイリスタ
    の前記ゲート電極をその近傍に位置する少なくとも1つ
    の発光サイリスタのゲート電極に、接続用抵抗または電
    気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとと
    もに、各発光サイリスタのゲート電極に電源ラインを負
    荷抵抗を介して接続し、かつ各発光サイリスタのカソー
    ド電極にクロックパルスラインを接続し、かつ初段の発
    光サイリスタのゲート電極にスタートパルスラインを接
    続して形成した転送用の発光サイリスタ・アレイと、 発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流を制御す
    るゲート電極を有する発光用のPNPN構造の発光サイ
    リスタを複数個配列した発光用の発光サイリスタ・アレ
    イとからなり、 前記発光用の発光サイリスタの各ゲート電極を対応する
    前記転送用の発光サイリスタのゲート電極と電気的手段
    にて接続し、各発光用の発光サイリスタのカソード電極
    に発光のための電流を印加するラインを設けた自己走査
    型発光装置に用いられる静電破壊防止用保護回路におい
    て、 前記静電破壊防止用保護回路は、前記自己走査型発光装
    置に含まれるPNPN構造の第1および第2の発光サイ
    リスタのPN接合を用いて作製され、 入力端子に一端が接続された電流制限抵抗を備え、 前記電流制限抵抗の他端に前記第1の発光サイリスタの
    カソード電極が接続され、前記第1の発光サイリスタの
    ゲート電極が保護抵抗を経て前記電源ラインに接続さ
    れ、前記第1の発光サイリスタのアノード電極が接地さ
    れ、 前記電流制限抵抗の他端に前記第2の発光サイリスタの
    ゲート電極が接続され、前記第2の発光サイリスタのカ
    ソード電極およびアノード電極が接地されている、 ことを特徴とする静電破壊防止用保護回路。
  5. 【請求項5】請求項1または3記載の静電破壊防止用保
    護回路において、 前記第1および第2の発光サイリスタのアノード電極と
    ゲート電極とは、アノード電極の周りをゲート電極がリ
    ング状に取り囲む同心円状の構造を有する静電破壊防止
    用保護回路。
  6. 【請求項6】請求項2または4記載の静電破壊防止用保
    護回路において、 前記第1および第2の発光サイリスタのカソード電極と
    ゲート電極とは、カソード電極の周りをゲート電極がリ
    ング状に取り囲む同心円状の構造を有する静電破壊防止
    用保護回路。
  7. 【請求項7】前記入力端子が、前記スタートパルスライ
    ンに接続された、請求項1〜6のいずれかに記載の静電
    破壊防止用保護回路を備える自己走査型発光装置。
  8. 【請求項8】前記入力端子が、前記最終段の発光用の発
    光サイリスタより引き出されるエンド端子に接続され
    た、請求項1,3または5記載の静電破壊防止用保護回
    路を備える自己走査型発光装置。
  9. 【請求項9】前記入力端子が、前記最終段の転送用の発
    光サイリスタより引き出されるエンド端子に接続された
    請求項2,4または6記載の静電破壊防止用保護回路を
    備える自己走査型発光装置。
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