JP2001353902A - 自己走査型2次元発光素子アレイ - Google Patents

自己走査型2次元発光素子アレイ

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JP2001353902A
JP2001353902A JP2000180953A JP2000180953A JP2001353902A JP 2001353902 A JP2001353902 A JP 2001353902A JP 2000180953 A JP2000180953 A JP 2000180953A JP 2000180953 A JP2000180953 A JP 2000180953A JP 2001353902 A JP2001353902 A JP 2001353902A
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Shunsuke Otsuka
俊介 大塚
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボンディングパッドの数を減らすことで、高
度なワイヤボンディング技術を不要とし、および、ボン
ディングパッドの専有面積を減らすことで、チップ面積
の縮小すなわちコストダウンを図った自己走査型2次元
発光素子アレイを提供する。 【解決手段】 発光部の発光信号ラインφI jとφI
(j+1)との2本ずつを、発光開始点側で接続して、
1本のラインφI j・(j+1)にする。そして、発光
素子は、n行×l列(lは1以上の整数)に2次元配列
される。発光素子L(j,k)のアノード電極は第n行
の発光信号ラインφI jに接続され、奇数行の発光素子
(j,2k−1)のゲート電極は、第(2i−1)列の
ゲート信号G 2i-1ラインに接続され、偶数行の発光素子
(j,2k)のゲート電極は、第2i列のゲート信号G
2iラインに接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自己走査型2次元
発光素子アレイ、特に、ボンディングパッドの数を減ら
し、かつ、発光点のピッチを小さくした自己走査型2次
元発光素子アレイに関する。
【0002】
【従来の技術】多数個の発光素子を同一基板上に集積し
た発光素子アレイは、光プリンタ等の書き込み光源,マ
イクロディスプレイ,フィルム印字用光源,光コンピュ
ータ用マトリックス光源として有望である。最も実用化
が進んでいる分野として、その駆動用ICと組み合わせ
て光プリンタ等の書き込み光源が挙げられる。発光素子
の一例として、発光ダイオード(LED)が挙げられ
る。この場合、1次元に配列したLEDアレイが使用さ
れるが、外部駆動用ICから画像信号に対応した信号を
アレイ内の各々のLEDへ供給するため、LEDアレイ
チップ内にLEDと同一数のボンディングパッドを形成
する必要がある。解像度600dpiの場合、LEDの
配列ピッチは42.3μmであり、ボンディングパッド
(BP)のア配列方向の一辺の長さを80μmとすると
BPの配列ピッチは80μm以上となり、LED配列方
向と平行方向に最低2列のBP配列が必要になる。この
ため、LEDアレイチップの面積が必然的に大きくな
り、コスト低減化に限界が見えていた。また、A3対応
の600dpiプリントヘッドを作製する場合、1次元
配列した発光点の数は7000個以上になるが、これと
同一数のワイヤボンディング(WB)が外部駆動ICと
接続するために必要となり、WB工程への負荷がきわめ
て高くなる。また、印刷画像の品質を高めるためには、
より解像度の高い発光素子アレイが必要となるが、BP
数の増加すなわちチップ面積の増大によるLEDアレイ
のコストアップや、WB数の増大による更なるWB工程
への負荷増など、コスト面あるいは技術面から見て商品
化可能なプリントヘッドの作製は容易ではない。
【0003】以上のようなLEDアレイに関する問題を
解決するため、本発明の出願人は発光素子アレイの構成
要素としてpnpn構造を持つ3端子発光サイリスタを
採用することにより発光点の自己走査ができるという発
明を開示し(特開平1−238962号公報、特開平2
−14584号公報、特開平2−92650号公報、特
開平2−92651号公報)、光プリンタ用光源として
実装上簡便となること、発光素子チップ面積を小さくで
きること、発光素子ピッチを細かくできること、コンパ
クトな発光装置を作製できること等を示した。
【0004】さらに、転送素子(発光サイリスタ)アレ
イを転送部として、発光素子(発光サイリスタ)アレイ
と分離した構造の自己走査型発光装置を提案している
(特開平2−263668号公報)。
【0005】図1に、この転送素子アレイと発光素子ア
レイとを分離した構造の1次元自己走査型発光素子アレ
イの等価回路図を示す。この発光装置は、転送素子T
(1),T(2),T(3)…、書き込み用発光素子L
(1),L(2),L(3)…からなる。転送素子部分
の構成は、ダイオード接続を用いている。VGKは電源
(通常5V)であり、負荷抵抗RL を経て各転送素子の
ゲート電極G1 ,G2 ,G 3 …に接続されている。ま
た、転送素子のゲート電極G1 ,G2 ,G3 …は、書き
込み用発光素子のゲート電極にも接続される。転送素子
T(1)のゲート電極にはスタートパルスφs が加えら
れ、転送素子のアノード電極には、交互に転送用クロッ
クパルスφ1,φ2が加えられ、書き込み用発光素子の
アノード電極には書き込み信号φI が加えられている。
【0006】動作を簡単に説明する。まず転送用クロッ
クパルスφ1の電圧がハイ(H)レベルで、転送素子T
(2)がオン状態であるとする。このとき、ゲート電極
2の電位はVGKの5Vからほぼ零Vにまで低下する。
この電位降下の影響はダイオードD2 によってゲート電
極G3 に伝えられ、その電位を約1Vに(ダイオードD
2 の順方向立ち上がり電圧(拡散電位に等しい))に設
定する。しかし、ダイオードD1 は逆バイアス状態であ
るため、ゲート電極G1 への電位の接続は行われず、ゲ
ート電極G1 の電位は5Vのままとなる。発光サイリス
タのオン電位は、ゲート電極電位+pn接合の拡散電位
(約1V)で近似されるから、次の転送用クロックパル
スφ2のHレベル電圧を、約2V(転送素子T(3)を
オンさせるために必要な電圧)以上であり、かつ約4V
(転送素子T(5)をオンさせるために必要な電圧)以
下に設定しておけば、転送素子T(3)のみがオンし、
これ以外の転送素子はオフのままにすることができる。
したがって、2本の転送用クロックパルスでオン状態が
転送されることになる。
【0007】スタートパルスφs は、このような転送動
作を開始させるためのパルスであり、スタートパルスφ
s をLレベル(約0V)にすると同時に転送用クロック
パルスφ2をHレベル(約2〜4V)とし、転送素子T
(1)をオンさせる。その後すぐ、スタートパルスφs
はHレベルに戻される。
【0008】いま、転送素子T(2)がオン状態にある
とすると、ゲート電極G2 の電位は、VGKより低下し、
ほぼ0Vとなる。したがって、書き込み信号φI の電圧
が、pn接合の拡散電位(約1V)以上であれば、発光
素子L(2)を発光状態とすることができる。
【0009】これに対し、ゲート電極G1 は約5Vであ
り、ゲート電極G3 は約1Vとなる。したがって、発光
素子L(1)の書き込み電圧は6V、発光素子L(3)
の書き込み電圧は2Vとなる。これから、発光素子L
(2)のみに書き込める書き込み信号φI の電圧は、1
〜2Vの範囲となる。発光素子L(2)がオン、すなわ
ち発光状態に入ると、発光強度は書き込み信号φI に流
す電流量で決められ、任意の強度にて画像書き込みが可
能となる。また、発光状態を次の発光素子に転送するた
めには、書き込み信号φI ラインの電圧を一度0Vまで
落とし、発光している発光素子を一旦オフにしておく必
要がある。
【0010】以上の等価回路では、発光サイリスタは、
カソードを接地しているが、極性を変えることによっ
て、アノードを接地するような構成にできることは、当
業者には明らかであろう。
【0011】このような1次元の自己走査型発光素子ア
レイを、2次元に展開して、2次元発光素子アレイを作
製することができる。例えば、図2に示したように、発
光素子をn行×m列(n,mは1以上の整数)に2次元
配列し、各j行の発光素子のアノード電極に書き込み信
号(発光信号)φI j(j=1,2,…,n)を加える
ことによって、発光点の2次元展開が可能となる。図2
には、発光点の転送方向を点線矢印で示してある。すな
わち、各行ごとに、図2上、左から右へ直線状に転送さ
れる。
【0012】このように発光素子を2次元配列すること
で、光プリンタ等の書き込み光源のみならず、マイクロ
ディスプレイ,フィルム印字用光源,光コンピュータ用
マトリックス光源として用途が格段に広がる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】発光点を2次元展開す
る際に、行ごとに発光信号φI jラインを加えると、追
加したライン分のボンディングパッドが必要となる。例
えば、16行×128列の発光点を作製する場合、発光
信号ラインはφI 1〜φI 16の16本必要であり、信
号用のボンディングパッド数は16個となる。発光点を
50μmピッチで形成するとし、図3に示すように奇数
番の発光信号用ボンディングパッド1,3,5を…発光
開始点側、偶数番の発光信号用ボンディングパッド2,
4…を発光終点側のように両側配置した場合、φI jラ
インとφI (j+2)ラインとの間隔は100μmとな
り、ボンディングパッドを100μmピッチで配列する
必要がある。すなわち、一辺が100μm以下の正方形
状のボンディングパッドに、100μm間隔でワイヤボ
ンディングする高度な技術が必要であった。また、発光
点の配列ピッチを更に小さくしようとすると、ワイヤボ
ンディング技術の限界から、片側に配列のボンディング
パッドを千鳥配列の2列にする必要がある。この場合、
チップ面積が大きくなるため、直接的にチップコストの
上昇につながる。
【0014】本発明の目的は、ボンディングパッドの数
を減らすことで、高度なワイヤボンディング技術を不要
とすること、および、ボンディングパッドの専有面積を
減らすことで、チップ面積の縮小すなわちコストダウン
を図ることにある。
【0015】本発明の他の目的は、発光点の面積を極力
大きくしつつ(光出力を大きくするため)、発光点のピ
ッチを小さくすることが可能な、最適なパターニングレ
イアウトを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の自己走査型2次
元発光素子アレイは、しきい電圧もしくはしきい電流が
外部から電気的に制御可能な3端子転送素子m個(m
は、1以上の整数)が、1次元的に配列され、これら転
送素子のオン状態を自己走査で転送する転送部と、発光
のためのしきい電圧もしくはしきい電流が外部から電気
的に制御可能な3端子発光素子が、n行×l列(n,l
は、それぞれ1以上の整数)に2次元的に配列された発
光部と、前記各転送素子の制御電極に接続され、列方向
のm本の制御信号ラインと、前記各行の発光素子の制御
電極を除いた残りの2端子の一方が接続される、行方向
のn本の発光信号ラインとを備えている。
【0017】第1の態様では、各列の発光素子におい
て、奇数行の発光素子の制御電極は、第(2i−1)列
の制御信号ラインに接続され、偶数行の発光素子の制御
電極は、第2i列の制御信号ラインに接続され、第j行
の発光信号ラインと第(j+1)行の発光信号ラインと
の2本の発光信号ラインは、発光開始点側および/また
は発光終了点側で接続されている。
【0018】第2の態様では、奇数列の発光素子におい
て、奇数行の発光素子の制御電極は、第(2i−1)列
の制御信号ラインに接続され、偶数行の発光素子の制御
電極は、第2i列の制御信号ラインに接続され、偶数列
の発光素子において、奇数行の発光素子の制御電極は、
第2i列の制御信号ラインに接続され、偶数行の発光素
子の制御電極は、第(2i−1)列の制御信号ラインに
接続され、第j行の発光信号ラインと第(j+1)行の
発光信号ラインとの2本の発光信号ラインは、発光開始
点側および/または発光終了点側で接続されている。
【0019】接続された2本の発光信号ラインは、ボン
ディングパッドに接続される。ボンディングパッドは、
発光部の発光点開始側または発光点終了側に設けること
ができる。あるいは、ボンディングパッドを、発光点開
始側および発光点終了側に分けて設けてもよい。
【0020】
【発明の実施の形態】図4は、本発明の自己走査型2次
元発光素子アレイの第1の実施例の等価回路を示す。こ
の2次元発光素子アレイの転送部の構成は、図3の転送
部と同じである。2次元配列の発光部の構成において、
ゲート信号G1 ,G2 ,G3 ,…,G m ラインおよび発
光信号φI 1,φI 2,φI 3,…,φI nラインの構
成は、図3に同じである。
【0021】本実施例では、発光部の発光信号ラインφ
I jとφI (j+1)(ただし、j=1,2,…,n)
との2本ずつを、発光開始点側で接続して、1本のライ
ンφ I j・(j+1)にする。すなわち、図4の例で
は、φI 1ラインとφI 2ラインとを接続してφI 12
ラインとし、φI 3ラインとφI 4ラインとを接続して
φI 34ラインとしている。そして、発光素子は、図示
のように、n行×l列(lは1以上の整数)に2次元配
列される。すなわち、図3の従来の発光部での発光素子
の2次元配列に比べて、列の数は1/2になっている。
【0022】今、図4の発光部の発光素子の2次元配列
において、第j行,第k列の発素子をL(j,k)で表
した場合、発光素子L(j,k)のアノード電極は第n
行の発光信号ラインφI jに接続され、奇数行の発光素
子(j,2k−1)のゲート電極は、第(2i−1)列
のゲート信号G2i-1ラインに接続され、偶数行の発光素
子(j,2k)のゲート電極は、第2i列のゲート信号
2iラインに接続される。
【0023】図5に、図4の回路に相当する発光素子ア
レイの実際の回路のパターニングレイアウトを示す。発
光素子アレイは、次のようにして作製される。n型基板
上に第1のn型半導体層を、第1のp型半導体層を、第
2のn型半導体層を、第2のp型半導体層を積層し、第
2のp型半導体層上にアノード電極を、第2のn型半導
体層上にゲート電極を形成する。全体に絶縁膜が被覆さ
れ、各ゲート電極は、絶縁膜に開けられたコンタクトホ
ールを介して、絶縁膜上の発光信号ラインに接続され
る。図5において、発光信号φI 1,φI 2,φI 3…
ラインは行方向に配列され、ゲート電極G1 ,G2 ,G
3 …は列方向に配列されている。これらゲート電極は、
図4で示したゲート信号G1 ,G2 ,G3 …ラインを構
成している。
【0024】前述したように発光素子アレイは、n型基
板上にnpnp構造を積層することにより形成される
が、発光素子間は溝により分離される。図5において、
1列の発光素子列を見た場合、発光素子は両側のゲート
電極に交互に接続する必要があるので、分離溝12は図
示のようにレイアウトされる。
【0025】以上のような構成とすることで、図4の等
価回路図に点線矢印で示すように、2行の発光素子の発
光点はジグザグに転送されることになるが、ボンディン
グパッドの数を従来の1/2に減らすことが可能とな
る。
【0026】図6は、他の実施例を示す等価回路図であ
る。ゲート信号ラインおよび発光信号ラインの配列は、
図4の等価回路と同じである。発光素子L(j,k)の
ゲート電極のゲート信号線への接続が異なる。すなわ
ち、奇数列の発光素子列において、奇数行の発光素子
(2j−1,2k−1)のゲート電極は、第(2i−
1)列のゲート信号線G2i-1ラインに接続され、偶数行
の発光素子(2j,2k−1)のゲート電極は、第2i
列のゲート信号G2iラインに接続される。また、偶数列
の発光素子列において、奇数行の発光素子(2j−1,
2k)のゲート電極は、第2i列のゲート信号線G2i
インに接続され、偶数行の発光素子(2j,2k)のゲ
ート電極は、第(2i−1)列のゲート信号G2i-1ライ
ンに接続される。
【0027】図7に図4の回路に相当する発光素子アレ
イの実際の回路のパターニングレイアウトを示す。図5
と異なる点は、分離溝12のパターンのみである。この
ようなレイアウトによれば、1列の発光素子列を見た場
合、発光素子は両側のゲート電極に交互に接続できる。
【0028】以上のような構成とすることで、図6の等
価回路図に点線矢印で示すように、2行の発光素子の発
光点はジグザグに転送され、この場合も、ボンディング
パッドの数を従来の1/2に減らすことが可能となる。
【0029】以上の2つの例から明らかなように、本発
明によれば、ボンディングパッドの数を減らすことで、
高度やワイヤボンディング技術を不要とすることができ
た。また、ボンディングパッドの専有面積を減らすこと
で、チップ面積の縮小すなわちコストダウンをはかれ
た。
【0030】以上のような分離溝のレイアウトを採用す
ることで、発光点の面積を極力大きくしつつ(光出力を
大きくするため)、発光点のピッチを小さくすることが
可能な、最適なパターニングレイアウトを提供すること
ができた。
【0031】図8は、16行×128(n=16,l=
128)列の発光素子アレイ部全体のパターニングレイ
アウトを示す図である。発光素子アレイ部のレイアウト
は、図5に示したレイアウトと同じである。このパター
ンでは、2本の発光信号ラインは、発光開始点側および
発光終了点側の両方で接続されている。また、発光部領
域は20μm角で、発光部が両側に隣接するゲート電極
に1つおきに交互に接続されるように分割するレイアウ
トを採用することで、繰り返しピッチを行および列方向
ともに50μmまで縮小することができた。
【0032】図8のレイアウトでは、発光信号用のボン
ディングパッド21,22,23…は、120μm角サ
イズで150μmピッチで形成することができたため、
ごく一般的なワイヤボンダーで配線接続ができた。ま
た、ボンディングパッド数は、転送部のφ1,φ2,V
GA用を含めて11個である。図2に示した従来方式では
19個となるので、ボンディングパッドの専有面積を減
らすことができた。
【0033】以上の例では、発光部をアノードとして説
明してきたが、pnpnを反転させてカソードを発光部
として利用することも可能である。
【0034】
【発明の効果】本発明によれば、ボンディングパッドの
数を減らすことで,高度なワイヤーボンディング技術を
不要とすることができた。また、ボンディングパッドの
専有面積を減らすことで、チップ面積の縮小すなわちコ
ストダウンをはかれた。
【0035】さらに本発明によれば、発光点の面積を極
力大きくしつつ(光出力を大きくするため)、発光点の
ピッチを小さくすることが可能な、最適なパターニング
レイアウトを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】転送素子アレイと発光素子アレイとを分離した
構造の1次元自己走査型発光素子アレイの等価回路図で
ある。
【図2】従来の自己走査型2次元発光素子アレイの等価
回路図である。
【図3】図2の自己走査型2次元発光素子アレイにおけ
るボンディングパッドの配置を示す図である。
【図4】本発明の2次元発光素子アレイの第1の実施例
の等価回路図である。
【図5】図4の回路に相当する発光素子アレイの実際の
回路のパターニングレイアウトを示す図である。
【図6】本発明の2次元発光素子アレイの第2の実施例
の等価回路図である。
【図7】図6の回路に相当する発光素子アレイの実際の
回路のパターニングレイアウトを示す図である。
【図8】16行×128列の発光素子アレイ部全体のパ
ターニングレイアウトを示す図である。
【符号の説明】
1,2,3,4,5,21,22,23 ボンディング
パッド

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】しきい電圧もしくはしきい電流が外部から
    電気的に制御可能な3端子転送素子m個(mは、1以上
    の整数)が、1次元的に配列され、これら転送素子のオ
    ン状態を自己走査で転送する転送部と、 発光のためのしきい電圧もしくはしきい電流が外部から
    電気的に制御可能な3端子発光素子が、n行×l列
    (n,lは、それぞれ1以上の整数)に2次元的に配列
    された発光部と、 前記各転送素子の制御電極に接続され、列方向のm本の
    制御信号ラインと、 前記各行の発光素子の制御電極を除いた残りの2端子の
    一方が接続される、行方向のn本の発光信号ラインとを
    備え、 各列の発光素子において、奇数行の発光素子の制御電極
    は、第(2i−1)(i=1,2,…,m)列の制御信
    号ラインに接続され、偶数行の発光素子の制御電極は、
    第2i列の制御信号ラインに接続され、 第j行(j=1,2,…,n)の発光信号ラインと第
    (j+1)行の発光信号ラインとの2本の発光信号ライ
    ンは、発光開始点側および/または発光終了点側で接続
    される、ことを特徴とする自己走査型2次元発光素子ア
    レイ。
  2. 【請求項2】しきい電圧もしくはしきい電流が外部から
    電気的に制御可能な3端子転送素子m個(mは、1以上
    の整数)が、1次元的に配列され、これら転送素子のオ
    ン状態を自己走査で転送する転送部と、 発光のためのしきい電圧もしくはしきい電流が外部から
    電気的に制御可能な3端子発光素子が、n行×l列
    (n,lは、それぞれ1以上の整数)に2次元的に配列
    された発光部と、 前記各転送素子の制御電極に接続され、列方向のm本の
    制御信号ラインと、 前記各行の発光素子の制御電極を除いた残りの2端子の
    一方が接続される、行方向のn本の発光信号ラインとを
    備え、 奇数列の発光素子において、奇数行の発光素子の制御電
    極は、第(2i−1)(i=1,2,…,m)列の制御
    信号ラインに接続され、偶数行の発光素子の制御電極
    は、第2i列の制御信号ラインに接続され、 偶数列の発光素子において、奇数行の発光素子の制御電
    極は、第2i列の制御信号ラインに接続され、偶数行の
    発光素子の制御電極は、第(2i−1)列の制御信号ラ
    インに接続され、 第j行(j=1,2,…,n)の発光信号ラインと第
    (j+1)行の発光信号ラインとの2本の発光信号ライ
    ンは、発光開始点側および/または発光終了点側で接続
    される、ことを特徴とする自己走査型2次元発光素子ア
    レイ。
  3. 【請求項3】前記接続された2本の発光信号ラインに接
    続されるボンディングパッドは、前記発光部の行方向の
    片側または両方に設けられることを特徴とする請求項1
    または2記載の自己走査型2次元発光素子アレイ。
  4. 【請求項4】前記転送部において、 隣接する転送素子のしきい電圧もしくはしきい電流を制
    御する制御電極を、電圧もしくは電流の一方向性をもつ
    電気的手段にて互いに接続し、 電源電圧ラインを、前記転送素子の各制御電極に、各負
    荷抵抗器を介して接続し、 前記各転送素子の残りの2端子のうちの一方に、外部か
    らd相(dは2以上の整数)のクロックパルスライン
    を、それぞれd素子毎に順繰りに接続し、 ある相のクロックパルスにより、ある転送素子がオンし
    ているとき、その転送素子近傍の転送素子のしきい電圧
    もしくはしきい電流を、前記電気的手段を介して変化さ
    せ、 他の相のクロックパルスにより、前記ある転送素子に隣
    接する転送素子をオンさせる、ことを特徴とする請求項
    3記載の自己走査型2次元発光素子アレイ。
  5. 【請求項5】前記3端子転送素子および3端子発光素子
    は、3端子発光サイリスタであることを特徴とする請求
    項4記載の自己走査型2次元発光素子アレイ。
  6. 【請求項6】前記一方向をもつ電気的手段は、ダイオー
    ドであることを特徴とする請求項5記載の自己走査型2
    次元発光素子アレイ。
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