JP3211815U - 露光機用の発光装置、およびそれを備える露光機 - Google Patents

Abstract

【課題】「多灯式」の露光機に使用される場合であっても不具合が生じる可能性が低い発光装置を提供する。【解決手段】発光装置１００を、放電ランプ１１０と、リフレクタ１５０と、絶縁ベース１７０とで構成する。また、放電ランプ１１０を発光管部１１２と一対のシール部１１４とで構成する。そして、シール部挿設孔１５６と外部とを互いに連通する一対の通気口１７８を絶縁ベース１７０に形成する。さらに、シール部挿設孔１５６に挿設されるのとは反対の他方のシール部１１４の長さＬを２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下とし、かつ、発光管部１１２の径Ｄ１と、他方のシール部１１４の径Ｄ２との比を１．６３以上２．４以下とする。【選択図】図５

Description

本考案は、半導体素子や液晶基板の製造に使用される露光機に用いられる発光装置に関する。

半導体素子や液晶基板を製造する際に使用される露光機の照明には一般的に紫外線光が用いられている。露光機にはこのような紫外線光を発する発光装置が取り付けられており、露光に必要な光量を放射できる発光装置をひとつだけ設ける「一灯式」の露光機が存在する。しかし、「一灯式」だと発光装置のメンテナンス等の際に露光機全体を停止しなければならないなど露光機の連続運用の点で問題が生じることから、複数の発光装置を設ける「多灯式」の露光機が提案されている（例えば、特許文献１）。

特開２００９−５８９２４号公報

発光装置は発光量の多い放電ランプと椀状の反射面を有するリフレクタと組み合わせて構成されているが、発光中の放電ランプは非常に高温になることから、適切に冷却を行うことが求められる。

しかし、放電ランプの発光管はリフレクタにおける椀状の反射面内に収容されるが、椀状の反射面内は熱がこもりやすいという問題があり、加えて、「多灯式」の露光機の場合、複数の発光装置が互いに隣り合わせに配置されることから、放電ランプは、自身が発する熱だけでなく、隣り合う位置にある発光装置の放電ランプからの熱も受けることになる。このため、発光装置の放電ランプが熱によって破損するおそれがあった。

加えて、放電ランプにおける発光管部の温度は上記のように高すぎると破損等のおそれがあり、逆に、発光管部の温度が低くなり過ぎても発光管部の内壁面が黒化するという問題がある。

本考案は、このような従来技術の問題に鑑みて開発されたものである。それゆえに本考案の主たる課題は、「多灯式」の露光機に使用される場合であっても、発光管部の温度が高くなり過ぎないことから熱による破損の可能性が低く、かつ、発光管部の温度が低くなり過ぎないことから内壁面の黒化が生じる可能性が低い放電ランプを有する発光装置を提供することにある。

本考案の一局面によれば、
球状の発光管部、および、前記発光管部から延出する一対のシール部を有する放電ランプと、
前記放電ランプにおける一方の前記シール部が挿設されるシール部挿設孔が底部に形成された椀状の反射面を有しており、前記シール部を挿設した状態で前記放電ランプの前記発光管部を前記反射面内に収容するリフレクタと、
前記リフレクタの前記シール部挿設孔を外側から覆うように取り付けられた絶縁ベースとを備える発光装置であって、
前記絶縁ベースは、挿設された前記シール部挿設孔の端部近傍に対応する位置に、前記シール部挿設孔と外部とを互いに連通する一対の通気口を有しており、
前記シール部挿設孔に挿設されるのとは反対の他方の前記シール部の長さが２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下であり、かつ、前記発光管部の径と、他方の前記シール部の径との比が１．６３以上２．４以下であることを特徴とする発光装置が提供される。

好適には、他方の前記シール部の長さは３０ｍｍ以上４０ｍｍ以下である。

好適には、前記一対の通気口は、露光機に前記発光装置を取り付けたときに、前記放電ランプを中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。

好適には、前記絶縁ベースの内側空間において、前記絶縁ベースと前記放電ランプにおける一方の前記シール部とは、無機接着剤によって互いに固定されており、また、前記無機接着剤の中に埋め込まれた抵抗体をさらに備えており、前記抵抗体は給電されることによって発熱するようになっている。

好適には、前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端部は四角形状に形成されており、前記四角形状は、同形状の３つの角部と、これらとは異なる形状を有する１つの異形角部とで構成されている。

好適には、前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端にはフランジ部が形成されており、前記フランジ部の端面を規定する仮想平面は、前記反射面の中心軸と直交しない角度に設定されている。

本考案の他の局面によれば、
複数の上記発光装置と、インテグレータと、凹面鏡と、照射面とを備える露光機が提供される。

本考案によれば、リフレクタのシール部挿設孔に挿設されるのとは異なる他方のシール部の長さ、および、当該他方のシールの径と発光管部の径との比を上記のように規定することにより、放電ランプの発光管部を適切な温度に維持することができる。これにより、発光管部の温度が高くなり過ぎないことから熱による破損の可能性が低く、かつ、発光管部の温度が低くなり過ぎないことから発光管部の内壁面が黒化する可能性が低い放電ランプを含む、露光機用の発光装置を提供することができた。

本考案が適用された露光機１０の一例を示す図である。 本考案が適用された発光装置１００の一例を示す図である。 本考案が適用された放電ランプ１１０の一例を示す図である。 本考案が適用された発光装置１００におけるリフレクタ１５０の開口１５４側の端部形状を示す図である。 発光装置１００における冷却空気の流れを示す図である。 発光装置１００における冷却空気の流れを示す図である。 放電ランプ１１０の中心軸ＬＣＬとリフレクタ１５０の反射面１５２の中心軸ＲＣＬとのズレを示す図である。 発光装置台２００の一例を示す図である。 発光装置台２００による発光装置１００の位置合わせについて説明する側面図である。 発光装置台２００による発光装置１００の位置合わせについて説明する平面図である。

図１は、本考案が適用された一の実施例にかかる露光機１０を示す。露光機１０は、大略、複数の発光装置１００と、インテグレータ１２と、凹面鏡１４と、照射面１６とで構成されている。

発光装置１００は、露光対象物Ｘの露光に適した波長を含む光を放射する。発光装置１００の詳細については、露光機１０の構成を説明した後で説明する。

インテグレータ１２は、複数の発光装置１００からの光を受け入れる入射面１８、および、受け入れた光の均一性を高めたうえで当該光を出射する出射面２０を有している。入射面１８および出射面２０には、それぞれ、複数のフライアイレンズ２１が形成されている。

凹面鏡１４は、その内側に反射凹面２２を有している。この凹面鏡１４は、インテグレータ１２から出射された光を反射凹面２２で反射させて平行光にする。

照射面１６は、凹面鏡１４からの平行光を受ける光であり、当該平行光に対して略直交する向きに配置されている。この照射面１６には、露光対象物Ｘが載置される。露光対象物Ｘの表面には、例えば感光剤が塗布されている。凹面鏡１４からの平行光が露光対象物Ｘにおける所望の領域を照射することにより、露光対象物Ｘの表面に所望の回路パターン等が形成される。

次に、発光装置１００について説明する。発光装置１００は、図２に示すように、大略、放電ランプ１１０と、リフレクタ１５０と、絶縁ベース１７０と、必要に応じて設けられる抵抗体１９０とで構成されている。

放電ランプ１１０は、図３に示すように、発光管部１１２と、当該発光管部１１２から延出する一対のシール部１１４とを有している。発光管部１１２および一対のシール部１１４は、石英ガラスで一体的に形成されている。さらに、発光管部１１２内にはシール部１１４によって密閉された内部空間１１６が形成されている。

放電ランプ１１０の各シール部１１４内には、埋設されたモリブデン製の箔１１８と、一端が箔１１８の一方端部に接続されているとともに他端が内部空間１１６内に配置されたタングステン製の一対の電極１２０と、一端が箔１１８の他方端部に接続されているとともに他端がシール部１１４から外部へ延出する一対のリード棒１２２とがそれぞれ設けられている。また、内部空間１１６には、所定量の水銀１２４およびハロゲン（例えば臭素）が封入されている。

放電ランプ１１０に設けられた一対のリード棒１２２に所定の高電圧を印加すると、発光管部１１２の内部空間１１６に設けられた一対の電極１２０間で開始したグロー放電がアーク放電に移行し、このアークによって蒸発および励起された水銀１２４によって光（主に紫外線）が放射される。

本実施例にかかる放電ランプ１１０では、後述するように、一方のシール部１１４がリフレクタ１５０のシール部挿設孔１５６に挿設されているが、この一方のシール部１１４とは反対の他方のシール部１１４の長さＬは２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下であり、かつ、発光管部１１２の径Ｄ１と、他方のシール部１１４の径Ｄ２との比が１．６３以上２．４以下となるように設定されている。また、高出力（例えば３００Ｗ以上）の放電ランプ１１０の場合は、他方のシール部１１４の長さＬを３４ｍｍ以上４０ｍｍ以下に設定するのがより好適である。なお、放電ランプ１１０は、交流点灯用でも直流点灯用でもよいが、直流点灯用の場合、カソード電極よりも大きい形状のアノード電極をリフレクタ１５０の開口１５４に配置する方が光を不所望に遮らないという点で好ましい。また、カソード電極側のシール部１１４よりもアノード電極側のシール部１１４の方が高温になりやすいことから、冷却されやすいようにアノード電極側のシール部１１４をカソード電極側のシール部１１４よりも長く形成するのが好ましい。

図２に戻って、リフレクタ１５０は、椀状の反射面１５２をその内側表面に有している。この反射面１５２は、リフレクタ１５０の内側に発光管部１１２が位置するように配置された放電ランプ１１０からの光の一部を反射させる。本実施例では、この反射面１５２は回転放物面で規定されている。また、放電ランプ１１０における発光点（概略、内部空間１１６における一対の電極１２０間に形成されたアークの中央位置）は当該回転放物面の焦点に一致している。これにより、放電ランプ１１０の発光点から放射され、反射面１５２で反射した後、リフレクタ１５０の開口１５４から出た光は、ほぼ平行光となる。もちろん、反射面１５２の形状はこれに限定されるものではなく、回転楕円面やその他の回転面、あるいは回転面以外の形状であってもよい。

また、リフレクタ１５０における開口１５４とは反対側からは、底頸部１５５が突設されている。さらに、リフレクタ１５０の反射面１５２には、放電ランプ１１０にける一方のシール部１１４が挿設されるシール部挿設孔１５６が形成されている。このシール部挿設孔１５６は、反射面１５２の底から底頸部１５５の先端にかけて形成されている。

さらに、リフレクタ１５０における反射面１５２の開口１５４側の端にはフランジ部１６２が形成されており、フランジ部１６２の端面を規定する仮想平面Ｐは、反射面１５２の中心軸ＣＬと直交しない角度θに設定されている。

図４に示すように、リフレクタ１５０における反射面１５２の開口１５４側の端に形成されたフランジ部１６２は四角形状に形成されており、この四角形状は、同形状の３つの角部１５８と、これらとは異なる形状を有する１つの異形角部１６０（本実施例では、大きなアール形状）とで構成されている。

図１に示すように、放電ランプ１１０にリフレクタ１５０を組み合わせることにより、放電ランプ１１０から放射された光は、反射面１５２の中心軸ＣＬに沿って進む光を中心として所定の角度（開き角）をもった範囲でリフレクタ１５０の前方に進むようになる。

図２に戻り、絶縁ベース１７０は、セラミック等の電気的絶縁体で形成されており、リフレクタ１５０の底頸部１５５およびシール部挿設孔１５６に挿設された放電ランプ１１０における一方のシール部１１４が挿入されるリフレクタ挿入穴１７２が形成されている。底頸部１５５およびシール部１１４がリフレクタ挿入穴１７２に挿入されることにより、絶縁ベース１７０がシール部挿設孔１５６を外側から覆うことになる。

また、絶縁ベース１７０には、上述したリフレクタ挿入穴１７２に連通する内側空間１７４が形成されており、さらに当該内側空間１７４と外側とを互いに連通して電源ケーブルＡが挿通される電源ケーブル挿通穴１７６が形成されている。

さらに、図２の状態から中心軸ＣＬを中心として９０°回転させた平面で切断した状態を示す図５に示すように、絶縁ベース１７０には、リフレクタ挿入穴１７２にリフレクタ１５０の底頸部１５５を挿入した状態において、シール部挿設孔１５６と外部とを互いに連通する一対の通気口１７８が当該シール部挿設孔１５６の端部近傍に形成されている。さらに、一対の通気口１７８は、発光装置１００を露光機１０に取り付けたときに、放電ランプ１１０を中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。

再び図２に戻り、絶縁ベース１７０および放電ランプ１１０（さらに、抵抗体１９０）は、無機接着剤Ｃによって互いに固定されている。具体的に説明すると、絶縁ベース１７０のリフレクタ挿入穴１７２にリフレクタ１５０の底頸部１５５の端部、および、放電ランプ１１０の一方のシール部１１４を挿入し、さらに、絶縁ベース１７０の内側空間１７４に抵抗体１９０や電源ケーブルＡを配置した状態で、当該内側空間１７４に無機接着剤Ｃが充填されている。

抵抗体１９０は、上述のように絶縁ベース１７０や放電ランプ１１０における一方のシール部１１４を互いに固定する無機接着剤Ｃの中に埋め込まれている。この抵抗体１９０にも電源ケーブルＡが接続されているので、放電ランプ１１０への給電とともに抵抗体１９０にも給電されることにより、当該抵抗体１９０が発熱するようになっている。

（発光装置１００の特徴）
（１）
本実施例の発光装置１００では、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さＬを２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下にしており、かつ、発光管部１１２の径Ｄ１と他方のシール部１１４の径Ｄ２との比を１．６３以上２．４以下にしている。これにより、点灯中の放電ランプ１１０における発光管部１１２の温度を適切に維持することができる。

点灯中の放電ランプ１１０における発光管部１１２の温度を適切に維持できる理由について詳述する。本実施例の絶縁ベース１７０には一対の通気口１７８が設けられており、当該通気口１７８はリフレクタ１５０のシール部挿設孔１５６と外部とを互いに連通するようになっている。これにより、点灯中の放電ランプ１１０近傍には、図５に示すような空気の流れＦ１が生じ、この空気によって放電ランプ１１０（特に発光管部１１２）が冷却される。

発光管部１１２を冷却する空気の流れＦ１に着目すると、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さが比較的短い場合、また、発光管部１１２の径と他方のシール部１１４の径との比が比較的大きい場合は、図５に示すように、発光管部１１２を冷却する空気の流れＦ１が発光管部１１２の表面近くを流れる傾向にある。このため、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さが比較的短い場合、また、発光管部１１２の径と他方のシール部１１４の径との比が比較的大きい場合は、点灯中の発光管部１１２の温度が低くなる傾向にある。

逆に、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さＬが比較的長い場合、また、発光管部１１２の径Ｄ１と他方のシール部１１４の径Ｄ２との比が比較的小さい場合は、図６に示すように、発光管部１１２を冷却する空気の流れＦ２が発光管部１１２の表面から遠くなる傾向にある。このため、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さが比較的長い場合、また、発光管部１１２の径と他方のシール部１１４の径との比が比較的小さい場合は、点灯中の発光管部１１２の温度が高くなる傾向にある。

表１に示すように、放電ランプ１１０における他方のシール部１１４の長さＬを２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下とし、かつ、発光管部１１２の径Ｄ１と他方のシール部１１４の径Ｄ２との比を１．６３以上２．４以下とすることにより、点灯中の発光管部１１２の上側温度（トップ温度）を９３０℃以下に維持するとともに、発光管部１１２の下側温度（ボトム温度）を６２０℃以上に維持することができる。発光管部１１２の温度を９３０℃以下に維持することにより、発光管部１１２における石英ガラスの失透の進行を遅らせることができる。また、発光管部１１２の温度を６２０℃以上に維持することにより、発光管部１１２の内壁面に黒化が生じる可能性を低くすることができる。これにより、１つの放電ランプ１１０を長期間使用できるようになる。

なお、高出力（例えば３００Ｗ以上）の放電ランプ１１０の場合は、他方のシール部１１４の長さＬを３０ｍｍ以上４０ｍｍ以下に設定するのがより好適である。他方のシール部１１４の長さＬを３０ｍｍ以上にすることによって点灯中の発光管部１１２のボトム温度を６５０℃以上に維持することができ、発光管部１１２の内壁面に黒化が生じる可能性をより低くできるからである。

（２）
また、本実施例の発光装置１００では、図５に示すように、放電ランプ１１０における絶縁ベース１７０に形成された一対の通気口１７８が発光装置１００を露光機１０に取り付けたときに、放電ランプ１１０を中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。これにより、放電ランプ１１０における発光管部１１２の表面で最も高温になる発光管部１１２の上側表面の近傍を流れる空気の量が多くなるので、発光管部１１２を効率的に冷却することができる。

（３）
図２に示すように、放電ランプ１１０は、絶縁ベース１７０の内側空間１７４において無機接着剤Ｃの中に埋め込まれた抵抗体１９０をさらに備えている。これについて詳しく説明する。

例えば定格１５０Ｗ程度の比較的低出力の放電ランプ１１０であれば、絶縁ベース１７０と放電ランプ１１０におけるシール部１１４とを互いに固定することができれば、無機接着剤Ｃに限定されずどのような接着剤でも使用することができる。しかし、例えば定格３００Ｗ程度の比較的高出力の放電ランプ１１０になると、放電ランプ１１０における一方のシール部１１４の温度が低出力のものよりも高くなることから、熱伝導率の高い無機接着剤Ｃを絶縁ベース１７０の内側空間１７４に充填して絶縁ベース１７０全体としての放熱効率を高める必要がある。

しかし、一般に、無機接着剤Ｃには、空気中の水分を吸収すると無機接着剤Ｃ自身の電気的な抵抗値が低下するという性質がある。このため、空気中の湿度が高い環境で放電ランプ１１０を使用していると、最悪の場合、無機接着剤Ｃの電気的抵抗値が数百ｋΩまで低下し、放電ランプ１１０に印加される高電圧がリークしてしまい当該放電ランプ１１０が点灯しないおそれがある。

この点、本実施例の放電ランプ１１０では、上述のように、無機接着剤Ｃ中に抵抗体１９０が埋め込まれており、放電ランプ１１０への給電と同時に当該抵抗体１９０に対しても給電されるようになっている。これにより、給電された抵抗体１９０が発熱し、この熱によって無機接着剤Ｃ自身の温度を上げることができるので、無機接着剤Ｃが吸収した水分を蒸発させて当該無機接着剤Ｃの電気的抵抗値が不所望に低下するのを回避できる。

なお、抵抗体１９０としては、給電されることによって発熱するものであれば特に限定されることはなく、例えば、抵抗器やハロゲンランプを抵抗体１９０として使用することができる。

なお、抵抗体１９０への給電は、放電ランプ１１０の消灯中に行ってもよいし、放電ランプ１１０の点灯前から給電しておき放電ランプ１１０が点灯した後で給電を停止してもよい。また、放電ランプ１１０の点灯中に抵抗体１９０への給電を開始し、放電ランプ１１０が消灯するよりも先に抵抗体１９０への給電を停止してもよい。さらに放電ランプ１１０の点灯中に抵抗体１９０への給電を開始し、放電ランプ１１０が消灯した後で抵抗体１９０への給電を停止してもよい。もちろん、放電ランプ１１０の点灯および消灯と同時に抵抗体１９０への給電を開始および停止してもよい。

（４）
上述のように、本実施例にかかる放電ランプ１１０のリフレクタ１５０における開口１５４側の端部に形成されたフランジ部１６２は四角形状に形成されており（図４参照）、この四角形状は、同形状の３つの角部１５８と、これらとは異なる形状を有する１つの異形角部１６０とで構成されている。

図７に示すように、放電ランプ１１０を点灯したとき、一対の電極１２０間に発生するアーク放電によるアークＡＲＣは、発光管部１１２の内部空間１１６にある水銀蒸気が対流することにより、鉛直上方に弓なりに持ち上がった形状となる。つまり、放電ランプ１１０における発光点（一対の電極１２０間に形成されたアークＡＲＣの中央位置）は、このアークの持ち上がりに応じて、正確にいえば発光管部１１２の内部空間１１６の幾何学的中心ＬＣＬよりもやや鉛直上側になる。

このため、放電ランプ１１０の発光点の位置をリフレクタ１５０の反射面１５２の形状を規定する回転放物面等の焦点に一致させようとすると、発光管部１１２の内部空間１１６の中心軸ＬＣＬと、リフレクタ１５０の反射面１５２の中心軸ＲＣＬとを予めずらしておく必要がある。このように放電ランプ１１０の中心軸ＬＣＬとリフレクタ１５０の中心軸ＲＣＬとを予めずらしているため、発光装置１００を露光機１０にセットする際には、当該発光装置１００の上下方向を間違えることなく取り付ける必要がある。万一、発光装置１００の上下方向を取り付け間違えた場合、放電ランプ１１０における発光点は反射面１５２の焦点から離間した位置に生じることになり、当該発光装置１００から放射された光は予め設計された光路から外れた迷光となるものが多くなる。

本実施例に係る発光装置１００の場合、リフレクタ１５０における反射面１５２の開口１５４側の端部は四角形状に形成されており、この四角形状は、同形状の３つの角部１５８と、これらとは異なる形状を有する１つの異形角部１６０とで構成されている。これにより、発光装置１００を露光機１０に取り付ける際に、リフレクタ１５０の開口１５４側の端部における異形角部１６０が常に所定の向き（例えば、リフレクタ１５０の開口１５４側から見て、右上や左下に異形角部１６０が位置する向き）となるように取り付けることにより、上述のような発光装置１００の上下方向を取り付け間違えるといった問題を回避することができる。

（５）
複数の発光装置１００を露光機１０に取り付ける際にも、発光装置１００における放電ランプ１１０の発光点の位置合わせが問題となる。図８に示すように、複数の発光装置１００を露光機１０において正しい位置に設置するための発光装置台２００が使用される。この発光装置台２００には、発光装置１００を取り付けるための取付孔２０２が複数形成されており、当該取付孔２０２の底部には発光装置１００のリフレクタ１５０におけるフランジ部１６２の端面を当接させて位置決めする位置決め段２０４が形成されている。この位置決め段２０４により、発光装置台２００に対する発光装置１００の「取付孔２０２の深さ方向」の取り付け位置を正確に決めることができる。

しかし、発光装置台２００の各取付孔２０２は、発光装置１００の取り付けが容易となるようにその幅方向（図中Ｙ方向）が発光装置１００よりもやや大きく形成されている。このため、発光装置台２００に対する発光装置１００の図中Ｙ方向の取り付け位置については、正確に位置決めするのが困難である。

この点、図９（ａ）に示すように、本実施例に係る発光装置１００であれば、上述のようにリフレクタ１５０におけるフランジ部１６２の端面は、仮想平面Ｐによって規定されている。そして、この仮想平面Ｐは、反射面１５２の中心軸ＣＬと直交しない角度θに設定されている。これにより、発光装置台２００の位置決め段２０４を構成するリフレクタ１５０のフランジ部１６２と当接する面も中心軸ＣＬに対して仮想平面Ｐと同じ角度θとなる平面Ｕで規定することにより、図９（ｂ）に示すようにフランジ部１６２の端面を位置決め段２０４に当接した後、さらに発光装置１００の底部を位置決め段２０４に向けてさらに押すと発光装置１００は位置決め段２０４に沿って所定の方向に移動していき、図９（ｃ）に示すようにフランジ部１６２の角が取付孔２０２の内隅に当接する位置で規定される。

図９（ｂ）の状態から図９（ｃ）に至る状態を平面視で説明すると、図１０（ａ）に示すようにリフレクタ１５０のフランジ部１６２が位置決め段２０４に当接するように置いた状態から、図１０（ｂ）に示すようにフランジ部１６２の２辺が取付孔２０２を構成する２つの壁に当接するように、つまり、フランジ部１６２の角が取付孔２０２の内隅に嵌まる位置まで移動させる。

フランジ部１６２の角が取付孔２０２の内隅に当接しているときの位置に予め設定しておくことにより、発光装置台２００に対する発光装置１００の図中Ｙ方向位置を正確に決めることができる。なお、考案の内容が理解しやすいように、図９（ａ）から（ｃ）における中心軸ＣＬに対するフランジ部１６２の角度θは図２に示す角度θよりも大きくなるように描いており、実際の角度θは図２に示す程度である。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本考案の範囲は、上記した説明ではなく、実用新案登録請求の範囲によって示され、実用新案登録請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０…露光機、１２…インテグレータ、１４…凹面鏡、１６…照射面、１８…（インテグレータの）入射面、２０…（インテグレータの）出射面、２１…フライアイレンズ、２２…（凹面鏡の）反射凹面
１００…発光装置
１１０…放電ランプ、１１２…発光管部、１１４…シール部、１１６…内部空間、１１８…箔、１２０…電極、１２２…リード棒、１２４…水銀
１５０…リフレクタ、１５２…反射面、１５４…開口、１５５…底頸部、１５６…シール部挿設孔、１５８…角部、１６０…異形角部、１６２…フランジ部
１７０…絶縁ベース、１７２…リフレクタ挿入穴、１７４…内側空間、１７６…電源ケーブル挿通穴、１７８…通気口
１９０…抵抗体
２００…発光装置台、２０２…取付孔
Ａ…電源ケーブル、Ｃ…無機接着剤

Claims (7)

1. 球状の発光管部、および、前記発光管部から延出する一対のシール部を有する放電ランプと、
   前記放電ランプにおける一方の前記シール部が挿設されるシール部挿設孔が底部に形成された椀状の反射面を有しており、前記シール部を挿設した状態で前記放電ランプの前記発光管部を前記反射面内に収容するリフレクタと、
   前記リフレクタの前記シール部挿設孔を外側から覆うように取り付けられた絶縁ベースとを備える発光装置であって、
   前記絶縁ベースは、挿設された前記シール部挿設孔の端部近傍に対応する位置に、前記シール部挿設孔と外部とを互いに連通する一対の通気口を有しており、
   前記シール部挿設孔に挿設されるのとは反対の他方の前記シール部の長さが２６ｍｍ以上４０ｍｍ以下であり、かつ、前記発光管部の径と、他方の前記シール部の径との比が１．６３以上２．４以下であることを特徴とする発光装置。
2. 他方の前記シール部の長さが３０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
3. 前記一対の通気口は、露光機に前記発光装置を取り付けたときに、前記放電ランプを中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の発光装置。
4. 前記絶縁ベースの内側空間において、前記絶縁ベースと前記放電ランプにおける一方の前記シール部とは、無機接着剤によって互いに固定されており、また、前記無機接着剤の中に埋め込まれた抵抗体をさらに備えており、前記抵抗体は給電されることによって発熱するようになっていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の発光装置。
5. 前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端部は四角形状に形成されており、前記四角形状は、同形状の３つの角部と、これらとは異なる形状を有する１つの異形角部とで構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の発光装置。
6. 前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端にはフランジ部が形成されており、前記フランジ部の端面を規定する仮想平面は、前記反射面の中心軸と直交しない角度に設定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の発光装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の複数の発光装置と、インテグレータと、凹面鏡と、照射面とを備える露光機。