JP3211815U - 露光機用の発光装置、およびそれを備える露光機 - Google Patents
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Abstract
【課題】「多灯式」の露光機に使用される場合であっても不具合が生じる可能性が低い発光装置を提供する。【解決手段】発光装置100を、放電ランプ110と、リフレクタ150と、絶縁ベース170とで構成する。また、放電ランプ110を発光管部112と一対のシール部114とで構成する。そして、シール部挿設孔156と外部とを互いに連通する一対の通気口178を絶縁ベース170に形成する。さらに、シール部挿設孔156に挿設されるのとは反対の他方のシール部114の長さLを26mm以上40mm以下とし、かつ、発光管部112の径D1と、他方のシール部114の径D2との比を1.63以上2.4以下とする。【選択図】図5
Description
本考案は、半導体素子や液晶基板の製造に使用される露光機に用いられる発光装置に関する。
半導体素子や液晶基板を製造する際に使用される露光機の照明には一般的に紫外線光が用いられている。露光機にはこのような紫外線光を発する発光装置が取り付けられており、露光に必要な光量を放射できる発光装置をひとつだけ設ける「一灯式」の露光機が存在する。しかし、「一灯式」だと発光装置のメンテナンス等の際に露光機全体を停止しなければならないなど露光機の連続運用の点で問題が生じることから、複数の発光装置を設ける「多灯式」の露光機が提案されている(例えば、特許文献1)。
発光装置は発光量の多い放電ランプと椀状の反射面を有するリフレクタと組み合わせて構成されているが、発光中の放電ランプは非常に高温になることから、適切に冷却を行うことが求められる。
しかし、放電ランプの発光管はリフレクタにおける椀状の反射面内に収容されるが、椀状の反射面内は熱がこもりやすいという問題があり、加えて、「多灯式」の露光機の場合、複数の発光装置が互いに隣り合わせに配置されることから、放電ランプは、自身が発する熱だけでなく、隣り合う位置にある発光装置の放電ランプからの熱も受けることになる。このため、発光装置の放電ランプが熱によって破損するおそれがあった。
加えて、放電ランプにおける発光管部の温度は上記のように高すぎると破損等のおそれがあり、逆に、発光管部の温度が低くなり過ぎても発光管部の内壁面が黒化するという問題がある。
本考案は、このような従来技術の問題に鑑みて開発されたものである。それゆえに本考案の主たる課題は、「多灯式」の露光機に使用される場合であっても、発光管部の温度が高くなり過ぎないことから熱による破損の可能性が低く、かつ、発光管部の温度が低くなり過ぎないことから内壁面の黒化が生じる可能性が低い放電ランプを有する発光装置を提供することにある。
本考案の一局面によれば、
球状の発光管部、および、前記発光管部から延出する一対のシール部を有する放電ランプと、
前記放電ランプにおける一方の前記シール部が挿設されるシール部挿設孔が底部に形成された椀状の反射面を有しており、前記シール部を挿設した状態で前記放電ランプの前記発光管部を前記反射面内に収容するリフレクタと、
前記リフレクタの前記シール部挿設孔を外側から覆うように取り付けられた絶縁ベースとを備える発光装置であって、
前記絶縁ベースは、挿設された前記シール部挿設孔の端部近傍に対応する位置に、前記シール部挿設孔と外部とを互いに連通する一対の通気口を有しており、
前記シール部挿設孔に挿設されるのとは反対の他方の前記シール部の長さが26mm以上40mm以下であり、かつ、前記発光管部の径と、他方の前記シール部の径との比が1.63以上2.4以下であることを特徴とする発光装置が提供される。
球状の発光管部、および、前記発光管部から延出する一対のシール部を有する放電ランプと、
前記放電ランプにおける一方の前記シール部が挿設されるシール部挿設孔が底部に形成された椀状の反射面を有しており、前記シール部を挿設した状態で前記放電ランプの前記発光管部を前記反射面内に収容するリフレクタと、
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前記絶縁ベースは、挿設された前記シール部挿設孔の端部近傍に対応する位置に、前記シール部挿設孔と外部とを互いに連通する一対の通気口を有しており、
前記シール部挿設孔に挿設されるのとは反対の他方の前記シール部の長さが26mm以上40mm以下であり、かつ、前記発光管部の径と、他方の前記シール部の径との比が1.63以上2.4以下であることを特徴とする発光装置が提供される。
好適には、他方の前記シール部の長さは30mm以上40mm以下である。
好適には、前記一対の通気口は、露光機に前記発光装置を取り付けたときに、前記放電ランプを中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。
好適には、前記絶縁ベースの内側空間において、前記絶縁ベースと前記放電ランプにおける一方の前記シール部とは、無機接着剤によって互いに固定されており、また、前記無機接着剤の中に埋め込まれた抵抗体をさらに備えており、前記抵抗体は給電されることによって発熱するようになっている。
好適には、前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端部は四角形状に形成されており、前記四角形状は、同形状の3つの角部と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部とで構成されている。
好適には、前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端にはフランジ部が形成されており、前記フランジ部の端面を規定する仮想平面は、前記反射面の中心軸と直交しない角度に設定されている。
本考案の他の局面によれば、
複数の上記発光装置と、インテグレータと、凹面鏡と、照射面とを備える露光機が提供される。
複数の上記発光装置と、インテグレータと、凹面鏡と、照射面とを備える露光機が提供される。
本考案によれば、リフレクタのシール部挿設孔に挿設されるのとは異なる他方のシール部の長さ、および、当該他方のシールの径と発光管部の径との比を上記のように規定することにより、放電ランプの発光管部を適切な温度に維持することができる。これにより、発光管部の温度が高くなり過ぎないことから熱による破損の可能性が低く、かつ、発光管部の温度が低くなり過ぎないことから発光管部の内壁面が黒化する可能性が低い放電ランプを含む、露光機用の発光装置を提供することができた。
図1は、本考案が適用された一の実施例にかかる露光機10を示す。露光機10は、大略、複数の発光装置100と、インテグレータ12と、凹面鏡14と、照射面16とで構成されている。
発光装置100は、露光対象物Xの露光に適した波長を含む光を放射する。発光装置100の詳細については、露光機10の構成を説明した後で説明する。
インテグレータ12は、複数の発光装置100からの光を受け入れる入射面18、および、受け入れた光の均一性を高めたうえで当該光を出射する出射面20を有している。入射面18および出射面20には、それぞれ、複数のフライアイレンズ21が形成されている。
凹面鏡14は、その内側に反射凹面22を有している。この凹面鏡14は、インテグレータ12から出射された光を反射凹面22で反射させて平行光にする。
照射面16は、凹面鏡14からの平行光を受ける光であり、当該平行光に対して略直交する向きに配置されている。この照射面16には、露光対象物Xが載置される。露光対象物Xの表面には、例えば感光剤が塗布されている。凹面鏡14からの平行光が露光対象物Xにおける所望の領域を照射することにより、露光対象物Xの表面に所望の回路パターン等が形成される。
次に、発光装置100について説明する。発光装置100は、図2に示すように、大略、放電ランプ110と、リフレクタ150と、絶縁ベース170と、必要に応じて設けられる抵抗体190とで構成されている。
放電ランプ110は、図3に示すように、発光管部112と、当該発光管部112から延出する一対のシール部114とを有している。発光管部112および一対のシール部114は、石英ガラスで一体的に形成されている。さらに、発光管部112内にはシール部114によって密閉された内部空間116が形成されている。
放電ランプ110の各シール部114内には、埋設されたモリブデン製の箔118と、一端が箔118の一方端部に接続されているとともに他端が内部空間116内に配置されたタングステン製の一対の電極120と、一端が箔118の他方端部に接続されているとともに他端がシール部114から外部へ延出する一対のリード棒122とがそれぞれ設けられている。また、内部空間116には、所定量の水銀124およびハロゲン(例えば臭素)が封入されている。
放電ランプ110に設けられた一対のリード棒122に所定の高電圧を印加すると、発光管部112の内部空間116に設けられた一対の電極120間で開始したグロー放電がアーク放電に移行し、このアークによって蒸発および励起された水銀124によって光(主に紫外線)が放射される。
本実施例にかかる放電ランプ110では、後述するように、一方のシール部114がリフレクタ150のシール部挿設孔156に挿設されているが、この一方のシール部114とは反対の他方のシール部114の長さLは26mm以上40mm以下であり、かつ、発光管部112の径D1と、他方のシール部114の径D2との比が1.63以上2.4以下となるように設定されている。また、高出力(例えば300W以上)の放電ランプ110の場合は、他方のシール部114の長さLを34mm以上40mm以下に設定するのがより好適である。なお、放電ランプ110は、交流点灯用でも直流点灯用でもよいが、直流点灯用の場合、カソード電極よりも大きい形状のアノード電極をリフレクタ150の開口154に配置する方が光を不所望に遮らないという点で好ましい。また、カソード電極側のシール部114よりもアノード電極側のシール部114の方が高温になりやすいことから、冷却されやすいようにアノード電極側のシール部114をカソード電極側のシール部114よりも長く形成するのが好ましい。
図2に戻って、リフレクタ150は、椀状の反射面152をその内側表面に有している。この反射面152は、リフレクタ150の内側に発光管部112が位置するように配置された放電ランプ110からの光の一部を反射させる。本実施例では、この反射面152は回転放物面で規定されている。また、放電ランプ110における発光点(概略、内部空間116における一対の電極120間に形成されたアークの中央位置)は当該回転放物面の焦点に一致している。これにより、放電ランプ110の発光点から放射され、反射面152で反射した後、リフレクタ150の開口154から出た光は、ほぼ平行光となる。もちろん、反射面152の形状はこれに限定されるものではなく、回転楕円面やその他の回転面、あるいは回転面以外の形状であってもよい。
また、リフレクタ150における開口154とは反対側からは、底頸部155が突設されている。さらに、リフレクタ150の反射面152には、放電ランプ110にける一方のシール部114が挿設されるシール部挿設孔156が形成されている。このシール部挿設孔156は、反射面152の底から底頸部155の先端にかけて形成されている。
さらに、リフレクタ150における反射面152の開口154側の端にはフランジ部162が形成されており、フランジ部162の端面を規定する仮想平面Pは、反射面152の中心軸CLと直交しない角度θに設定されている。
図4に示すように、リフレクタ150における反射面152の開口154側の端に形成されたフランジ部162は四角形状に形成されており、この四角形状は、同形状の3つの角部158と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部160(本実施例では、大きなアール形状)とで構成されている。
図1に示すように、放電ランプ110にリフレクタ150を組み合わせることにより、放電ランプ110から放射された光は、反射面152の中心軸CLに沿って進む光を中心として所定の角度(開き角)をもった範囲でリフレクタ150の前方に進むようになる。
図2に戻り、絶縁ベース170は、セラミック等の電気的絶縁体で形成されており、リフレクタ150の底頸部155およびシール部挿設孔156に挿設された放電ランプ110における一方のシール部114が挿入されるリフレクタ挿入穴172が形成されている。底頸部155およびシール部114がリフレクタ挿入穴172に挿入されることにより、絶縁ベース170がシール部挿設孔156を外側から覆うことになる。
また、絶縁ベース170には、上述したリフレクタ挿入穴172に連通する内側空間174が形成されており、さらに当該内側空間174と外側とを互いに連通して電源ケーブルAが挿通される電源ケーブル挿通穴176が形成されている。
さらに、図2の状態から中心軸CLを中心として90°回転させた平面で切断した状態を示す図5に示すように、絶縁ベース170には、リフレクタ挿入穴172にリフレクタ150の底頸部155を挿入した状態において、シール部挿設孔156と外部とを互いに連通する一対の通気口178が当該シール部挿設孔156の端部近傍に形成されている。さらに、一対の通気口178は、発光装置100を露光機10に取り付けたときに、放電ランプ110を中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。
再び図2に戻り、絶縁ベース170および放電ランプ110(さらに、抵抗体190)は、無機接着剤Cによって互いに固定されている。具体的に説明すると、絶縁ベース170のリフレクタ挿入穴172にリフレクタ150の底頸部155の端部、および、放電ランプ110の一方のシール部114を挿入し、さらに、絶縁ベース170の内側空間174に抵抗体190や電源ケーブルAを配置した状態で、当該内側空間174に無機接着剤Cが充填されている。
抵抗体190は、上述のように絶縁ベース170や放電ランプ110における一方のシール部114を互いに固定する無機接着剤Cの中に埋め込まれている。この抵抗体190にも電源ケーブルAが接続されているので、放電ランプ110への給電とともに抵抗体190にも給電されることにより、当該抵抗体190が発熱するようになっている。
(発光装置100の特徴)
(1)
本実施例の発光装置100では、放電ランプ110における他方のシール部114の長さLを26mm以上40mm以下にしており、かつ、発光管部112の径D1と他方のシール部114の径D2との比を1.63以上2.4以下にしている。これにより、点灯中の放電ランプ110における発光管部112の温度を適切に維持することができる。
(1)
本実施例の発光装置100では、放電ランプ110における他方のシール部114の長さLを26mm以上40mm以下にしており、かつ、発光管部112の径D1と他方のシール部114の径D2との比を1.63以上2.4以下にしている。これにより、点灯中の放電ランプ110における発光管部112の温度を適切に維持することができる。
点灯中の放電ランプ110における発光管部112の温度を適切に維持できる理由について詳述する。本実施例の絶縁ベース170には一対の通気口178が設けられており、当該通気口178はリフレクタ150のシール部挿設孔156と外部とを互いに連通するようになっている。これにより、点灯中の放電ランプ110近傍には、図5に示すような空気の流れF1が生じ、この空気によって放電ランプ110(特に発光管部112)が冷却される。
発光管部112を冷却する空気の流れF1に着目すると、放電ランプ110における他方のシール部114の長さが比較的短い場合、また、発光管部112の径と他方のシール部114の径との比が比較的大きい場合は、図5に示すように、発光管部112を冷却する空気の流れF1が発光管部112の表面近くを流れる傾向にある。このため、放電ランプ110における他方のシール部114の長さが比較的短い場合、また、発光管部112の径と他方のシール部114の径との比が比較的大きい場合は、点灯中の発光管部112の温度が低くなる傾向にある。
逆に、放電ランプ110における他方のシール部114の長さLが比較的長い場合、また、発光管部112の径D1と他方のシール部114の径D2との比が比較的小さい場合は、図6に示すように、発光管部112を冷却する空気の流れF2が発光管部112の表面から遠くなる傾向にある。このため、放電ランプ110における他方のシール部114の長さが比較的長い場合、また、発光管部112の径と他方のシール部114の径との比が比較的小さい場合は、点灯中の発光管部112の温度が高くなる傾向にある。
表1に示すように、放電ランプ110における他方のシール部114の長さLを26mm以上40mm以下とし、かつ、発光管部112の径D1と他方のシール部114の径D2との比を1.63以上2.4以下とすることにより、点灯中の発光管部112の上側温度(トップ温度)を930℃以下に維持するとともに、発光管部112の下側温度(ボトム温度)を620℃以上に維持することができる。発光管部112の温度を930℃以下に維持することにより、発光管部112における石英ガラスの失透の進行を遅らせることができる。また、発光管部112の温度を620℃以上に維持することにより、発光管部112の内壁面に黒化が生じる可能性を低くすることができる。これにより、1つの放電ランプ110を長期間使用できるようになる。
なお、高出力(例えば300W以上)の放電ランプ110の場合は、他方のシール部114の長さLを30mm以上40mm以下に設定するのがより好適である。他方のシール部114の長さLを30mm以上にすることによって点灯中の発光管部112のボトム温度を650℃以上に維持することができ、発光管部112の内壁面に黒化が生じる可能性をより低くできるからである。
(2)
また、本実施例の発光装置100では、図5に示すように、放電ランプ110における絶縁ベース170に形成された一対の通気口178が発光装置100を露光機10に取り付けたときに、放電ランプ110を中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。これにより、放電ランプ110における発光管部112の表面で最も高温になる発光管部112の上側表面の近傍を流れる空気の量が多くなるので、発光管部112を効率的に冷却することができる。
また、本実施例の発光装置100では、図5に示すように、放電ランプ110における絶縁ベース170に形成された一対の通気口178が発光装置100を露光機10に取り付けたときに、放電ランプ110を中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられている。これにより、放電ランプ110における発光管部112の表面で最も高温になる発光管部112の上側表面の近傍を流れる空気の量が多くなるので、発光管部112を効率的に冷却することができる。
(3)
図2に示すように、放電ランプ110は、絶縁ベース170の内側空間174において無機接着剤Cの中に埋め込まれた抵抗体190をさらに備えている。これについて詳しく説明する。
図2に示すように、放電ランプ110は、絶縁ベース170の内側空間174において無機接着剤Cの中に埋め込まれた抵抗体190をさらに備えている。これについて詳しく説明する。
例えば定格150W程度の比較的低出力の放電ランプ110であれば、絶縁ベース170と放電ランプ110におけるシール部114とを互いに固定することができれば、無機接着剤Cに限定されずどのような接着剤でも使用することができる。しかし、例えば定格300W程度の比較的高出力の放電ランプ110になると、放電ランプ110における一方のシール部114の温度が低出力のものよりも高くなることから、熱伝導率の高い無機接着剤Cを絶縁ベース170の内側空間174に充填して絶縁ベース170全体としての放熱効率を高める必要がある。
しかし、一般に、無機接着剤Cには、空気中の水分を吸収すると無機接着剤C自身の電気的な抵抗値が低下するという性質がある。このため、空気中の湿度が高い環境で放電ランプ110を使用していると、最悪の場合、無機接着剤Cの電気的抵抗値が数百kΩまで低下し、放電ランプ110に印加される高電圧がリークしてしまい当該放電ランプ110が点灯しないおそれがある。
この点、本実施例の放電ランプ110では、上述のように、無機接着剤C中に抵抗体190が埋め込まれており、放電ランプ110への給電と同時に当該抵抗体190に対しても給電されるようになっている。これにより、給電された抵抗体190が発熱し、この熱によって無機接着剤C自身の温度を上げることができるので、無機接着剤Cが吸収した水分を蒸発させて当該無機接着剤Cの電気的抵抗値が不所望に低下するのを回避できる。
なお、抵抗体190としては、給電されることによって発熱するものであれば特に限定されることはなく、例えば、抵抗器やハロゲンランプを抵抗体190として使用することができる。
なお、抵抗体190への給電は、放電ランプ110の消灯中に行ってもよいし、放電ランプ110の点灯前から給電しておき放電ランプ110が点灯した後で給電を停止してもよい。また、放電ランプ110の点灯中に抵抗体190への給電を開始し、放電ランプ110が消灯するよりも先に抵抗体190への給電を停止してもよい。さらに放電ランプ110の点灯中に抵抗体190への給電を開始し、放電ランプ110が消灯した後で抵抗体190への給電を停止してもよい。もちろん、放電ランプ110の点灯および消灯と同時に抵抗体190への給電を開始および停止してもよい。
(4)
上述のように、本実施例にかかる放電ランプ110のリフレクタ150における開口154側の端部に形成されたフランジ部162は四角形状に形成されており(図4参照)、この四角形状は、同形状の3つの角部158と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部160とで構成されている。
上述のように、本実施例にかかる放電ランプ110のリフレクタ150における開口154側の端部に形成されたフランジ部162は四角形状に形成されており(図4参照)、この四角形状は、同形状の3つの角部158と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部160とで構成されている。
図7に示すように、放電ランプ110を点灯したとき、一対の電極120間に発生するアーク放電によるアークARCは、発光管部112の内部空間116にある水銀蒸気が対流することにより、鉛直上方に弓なりに持ち上がった形状となる。つまり、放電ランプ110における発光点(一対の電極120間に形成されたアークARCの中央位置)は、このアークの持ち上がりに応じて、正確にいえば発光管部112の内部空間116の幾何学的中心LCLよりもやや鉛直上側になる。
このため、放電ランプ110の発光点の位置をリフレクタ150の反射面152の形状を規定する回転放物面等の焦点に一致させようとすると、発光管部112の内部空間116の中心軸LCLと、リフレクタ150の反射面152の中心軸RCLとを予めずらしておく必要がある。このように放電ランプ110の中心軸LCLとリフレクタ150の中心軸RCLとを予めずらしているため、発光装置100を露光機10にセットする際には、当該発光装置100の上下方向を間違えることなく取り付ける必要がある。万一、発光装置100の上下方向を取り付け間違えた場合、放電ランプ110における発光点は反射面152の焦点から離間した位置に生じることになり、当該発光装置100から放射された光は予め設計された光路から外れた迷光となるものが多くなる。
本実施例に係る発光装置100の場合、リフレクタ150における反射面152の開口154側の端部は四角形状に形成されており、この四角形状は、同形状の3つの角部158と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部160とで構成されている。これにより、発光装置100を露光機10に取り付ける際に、リフレクタ150の開口154側の端部における異形角部160が常に所定の向き(例えば、リフレクタ150の開口154側から見て、右上や左下に異形角部160が位置する向き)となるように取り付けることにより、上述のような発光装置100の上下方向を取り付け間違えるといった問題を回避することができる。
(5)
複数の発光装置100を露光機10に取り付ける際にも、発光装置100における放電ランプ110の発光点の位置合わせが問題となる。図8に示すように、複数の発光装置100を露光機10において正しい位置に設置するための発光装置台200が使用される。この発光装置台200には、発光装置100を取り付けるための取付孔202が複数形成されており、当該取付孔202の底部には発光装置100のリフレクタ150におけるフランジ部162の端面を当接させて位置決めする位置決め段204が形成されている。この位置決め段204により、発光装置台200に対する発光装置100の「取付孔202の深さ方向」の取り付け位置を正確に決めることができる。
複数の発光装置100を露光機10に取り付ける際にも、発光装置100における放電ランプ110の発光点の位置合わせが問題となる。図8に示すように、複数の発光装置100を露光機10において正しい位置に設置するための発光装置台200が使用される。この発光装置台200には、発光装置100を取り付けるための取付孔202が複数形成されており、当該取付孔202の底部には発光装置100のリフレクタ150におけるフランジ部162の端面を当接させて位置決めする位置決め段204が形成されている。この位置決め段204により、発光装置台200に対する発光装置100の「取付孔202の深さ方向」の取り付け位置を正確に決めることができる。
しかし、発光装置台200の各取付孔202は、発光装置100の取り付けが容易となるようにその幅方向(図中Y方向)が発光装置100よりもやや大きく形成されている。このため、発光装置台200に対する発光装置100の図中Y方向の取り付け位置については、正確に位置決めするのが困難である。
この点、図9(a)に示すように、本実施例に係る発光装置100であれば、上述のようにリフレクタ150におけるフランジ部162の端面は、仮想平面Pによって規定されている。そして、この仮想平面Pは、反射面152の中心軸CLと直交しない角度θに設定されている。これにより、発光装置台200の位置決め段204を構成するリフレクタ150のフランジ部162と当接する面も中心軸CLに対して仮想平面Pと同じ角度θとなる平面Uで規定することにより、図9(b)に示すようにフランジ部162の端面を位置決め段204に当接した後、さらに発光装置100の底部を位置決め段204に向けてさらに押すと発光装置100は位置決め段204に沿って所定の方向に移動していき、図9(c)に示すようにフランジ部162の角が取付孔202の内隅に当接する位置で規定される。
図9(b)の状態から図9(c)に至る状態を平面視で説明すると、図10(a)に示すようにリフレクタ150のフランジ部162が位置決め段204に当接するように置いた状態から、図10(b)に示すようにフランジ部162の2辺が取付孔202を構成する2つの壁に当接するように、つまり、フランジ部162の角が取付孔202の内隅に嵌まる位置まで移動させる。
フランジ部162の角が取付孔202の内隅に当接しているときの位置に予め設定しておくことにより、発光装置台200に対する発光装置100の図中Y方向位置を正確に決めることができる。なお、考案の内容が理解しやすいように、図9(a)から(c)における中心軸CLに対するフランジ部162の角度θは図2に示す角度θよりも大きくなるように描いており、実際の角度θは図2に示す程度である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本考案の範囲は、上記した説明ではなく、実用新案登録請求の範囲によって示され、実用新案登録請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10…露光機、12…インテグレータ、14…凹面鏡、16…照射面、18…(インテグレータの)入射面、20…(インテグレータの)出射面、21…フライアイレンズ、22…(凹面鏡の)反射凹面
100…発光装置
110…放電ランプ、112…発光管部、114…シール部、116…内部空間、118…箔、120…電極、122…リード棒、124…水銀
150…リフレクタ、152…反射面、154…開口、155…底頸部、156…シール部挿設孔、158…角部、160…異形角部、162…フランジ部
170…絶縁ベース、172…リフレクタ挿入穴、174…内側空間、176…電源ケーブル挿通穴、178…通気口
190…抵抗体
200…発光装置台、202…取付孔
A…電源ケーブル、C…無機接着剤
100…発光装置
110…放電ランプ、112…発光管部、114…シール部、116…内部空間、118…箔、120…電極、122…リード棒、124…水銀
150…リフレクタ、152…反射面、154…開口、155…底頸部、156…シール部挿設孔、158…角部、160…異形角部、162…フランジ部
170…絶縁ベース、172…リフレクタ挿入穴、174…内側空間、176…電源ケーブル挿通穴、178…通気口
190…抵抗体
200…発光装置台、202…取付孔
A…電源ケーブル、C…無機接着剤
Claims (7)
- 球状の発光管部、および、前記発光管部から延出する一対のシール部を有する放電ランプと、
前記放電ランプにおける一方の前記シール部が挿設されるシール部挿設孔が底部に形成された椀状の反射面を有しており、前記シール部を挿設した状態で前記放電ランプの前記発光管部を前記反射面内に収容するリフレクタと、
前記リフレクタの前記シール部挿設孔を外側から覆うように取り付けられた絶縁ベースとを備える発光装置であって、
前記絶縁ベースは、挿設された前記シール部挿設孔の端部近傍に対応する位置に、前記シール部挿設孔と外部とを互いに連通する一対の通気口を有しており、
前記シール部挿設孔に挿設されるのとは反対の他方の前記シール部の長さが26mm以上40mm以下であり、かつ、前記発光管部の径と、他方の前記シール部の径との比が1.63以上2.4以下であることを特徴とする発光装置。 - 他方の前記シール部の長さが30mm以上40mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記一対の通気口は、露光機に前記発光装置を取り付けたときに、前記放電ランプを中心としてそれぞれ鉛直方向上側および下側となる位置に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。
- 前記絶縁ベースの内側空間において、前記絶縁ベースと前記放電ランプにおける一方の前記シール部とは、無機接着剤によって互いに固定されており、また、前記無機接着剤の中に埋め込まれた抵抗体をさらに備えており、前記抵抗体は給電されることによって発熱するようになっていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端部は四角形状に形成されており、前記四角形状は、同形状の3つの角部と、これらとは異なる形状を有する1つの異形角部とで構成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記リフレクタにおける前記反射面の開口側端にはフランジ部が形成されており、前記フランジ部の端面を規定する仮想平面は、前記反射面の中心軸と直交しない角度に設定されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の発光装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の複数の発光装置と、インテグレータと、凹面鏡と、照射面とを備える露光機。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017002361U JP3211815U (ja) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 露光機用の発光装置、およびそれを備える露光機 |
CN201720830707.4U CN206877038U (zh) | 2017-05-26 | 2017-07-10 | 曝光机用的发光装置、及具备其的曝光机 |
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JP2017002361U JP3211815U (ja) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 露光機用の発光装置、およびそれを備える露光機 |
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ID=59498678
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JP (1) | JP3211815U (ja) |
CN (1) | CN206877038U (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111033385A (zh) * | 2017-08-23 | 2020-04-17 | 凤凰电机公司 | 光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 |
-
2017
- 2017-05-26 JP JP2017002361U patent/JP3211815U/ja active Active
- 2017-07-10 CN CN201720830707.4U patent/CN206877038U/zh active Active
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CN111033385A (zh) * | 2017-08-23 | 2020-04-17 | 凤凰电机公司 | 光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 |
CN111033385B (zh) * | 2017-08-23 | 2022-09-13 | 凤凰电机公司 | 光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 |
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CN206877038U (zh) | 2018-01-12 |
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