TW201945858A - 含有放電燈之光源裝置、照射裝置、及放電燈之判定方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種照射裝置，其係即便是不在放電燈之發光管的内部空間封入啟動性促進物質也能夠得到良好的啟動性，並且能夠區分該放電燈是否為純正品。照射裝置50係由成為光源之放電燈110、以及在放電燈110啟動時，對於放電燈110照射用以檢測出放電燈110是否為純正品的紫外光之紫外線光源200所構成。

Description

含有放電燈之光源裝置、照射裝置、及放電燈之判定方法
本發明係關於一種含有用以發出在例如印刷配線基板等之曝光中使用的光之放電燈的光源裝置、照射裝置、及該放電燈是否為純正品之判定方法。
向來，為了將零附件裝設於電子機器上，因而使用以銅等之金屬在樹脂或玻璃環氧樹脂材製的基板上形成配線圖案之印刷配線基板。在此等之印刷配線基板上形成配線圖案係可使用一種光蝕刻技術。光蝕刻係藉由在全面形成有成為配線之金屬層的基板上，全面塗布感光性藥劑之光阻劑，通過與配線圖案相同的光罩對它照射來自曝光裝置之照射光來進行的。
在光阻劑中具有一種經由照射光而致使光阻劑的溶解性降低之負型光阻劑、以及相反地經由照射光而致使光阻劑之溶解性增大的正型光阻劑。當利用化學處理來去除經由照射光而致使溶解性相對地增大的光阻劑部分，藉由蝕刻來除去露出的金屬層時，使得只有光阻劑殘存的部分之下方的金屬層殘留來，除去光阻劑而在基板上形成配線圖案。即使是照射光照射於正型、負型之任一類的光阻劑之情況下，為了確保遍及照射面的全面皆均一之曝光量，因而使用多於每1個燈的發光量之放電燈來做為光源。
放電燈係構成為：在發光管之氣密的内部空間中相互分離相對向地配置之一對電極彼此之間發生電弧放電，藉以激發該内部空間所封入的水銀而發出紫外光。
為了開始讓放電燈點亮，雖然應在一對電極彼此之間開始輝光放電，然後轉移為電弧放電，然而為了開始引發輝光放電，則有必要在真空環境下物理性分離的電極之間發生絶緣破壞。為了讓該絶緣破壞發生，雖然有必要在電極間施加高頻之大電壓；然而施加此種的大電壓之電源裝置是非常昂貴高價的；又，所發生的高頻也是會有誘發周圍機械之誤動作的可能性而受到指摘。因此，為了至少開始引發低電壓或低頻的放電，亦即，為了提高放電燈之啟動性而提出了各種的技術方案。
例如，在專利文獻1中記載了一種藉由在發光管之内部空間封入氪85等之啟動性促進物質來提高啟動性之技術。
＜先行技術文獻＞
＜專利文獻＞
＜專利文獻1＞ 特開2009－181927號公報
＜發明所欲解決之課題＞
然而，在發光管之内部空間中封入有氪85的情況下，雖然放電燈之啟動性會變良好，但是，在該放電燈被發棄之際將會有影響環境之虞。
除此之外，在已開發出一種施加有對於提高不封入氪85的放電燈之啟動性的方案之照射裝置的情況下，因為不封入氪85之純正品的放電燈紛亂雜踏，以致會有不是封入氪85的純正品之放電燈被安裝於照射裝置的可能性，因而，要求一種能夠排除在照射裝置中安裝此類的非純正品之放電燈之技術方案。
本發明係有鑑於前述之課題而完者，其目的係在於提供一種光源裝置、照射裝置、及判定該放電燈是否為純正品之判定方法，其係即使在放電燈之發光管的内部空間不封入啟動性促進物質也能夠得到良好的啟動性，而且能夠區分該放電燈是否為純正品。
＜用以解決課題之手段＞
根據本發明之一方面可以提供一種光源裝置，特徵在於其係
成為光源之放電燈；
用以檢測出前述放電燈是否為純正品之白熱燈；以及
可安裝前述放電燈及前述白熱燈之反射容器的光源裝置；其中
前述放電燈は、外部設置有接受來自紫外線光源之紫外線的照射而點亮燈。
根據本發明之一方面可以提供一種照射裝置，其係具備：
成為光源之放電燈；
在啟動前述放電燈時，對於前述放電燈照射用以檢測出前述放電燈是否為純正品的紫外光之紫外線光源。
較佳者為前述照射裝置係具備有複數個前述放電燈；前述紫外線光源係對於複數個前述放電燈照射前述紫外光。
較佳者為前述紫外線光源係安裝於前述放電燈的附近；一個前述紫外線光源係對於一個前述放電燈照射前述紫外光。
較佳者為前述紫外線光源係LED。
較佳者為前述紫外線光源係具有LED、以及與前述LED呈直列串連的白熱燈。
較佳者為前述照射裝置更進一步具備：
放電燈用電源，其係用以將點燈用電力供給至前述放電燈；
紫外線光源用電源，其係用以將點燈用電力供給至前述紫外線光源；
放電燈用開關，其係用以開關(ON・OFF)來自前述放電燈用電源之前述電力；
紫外線光源用開關，其係用以開關(ON・OFF)來自前述紫外線光源用電源之前述電力；
控制部，其係具有開關(ON・OFF)前述放電燈用開關及前述紫外線光源用開關的功能，第1次係在前述紫外線光源用開關為關閉(OFF)的狀態下，開啟(ON)前述放電燈用開關；第2次係在前述紫外線光源用開關為開啟(ON)的狀態下，開啟(ON)前述放電燈用開關；
判定部，其係在第1次及第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時前述放電燈均為亮燈的情況下，判定前述放電燈為非純正品；而在前述放電燈只有第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時為亮燈之情況下，判定前述放電燈為純正品。
根據本發明之其他的方面可以提供一種放電燈之判定方法，其係具備：
第1次係在用以開關(ON・OFF)由紫外線光源用電源所供給的紫外線光源之點燈用電力的紫外線光源用開關為關閉(OFF)的狀態下，則開啟(ON)用以開關(ON・OFF)由放電燈用電源所供給之放電燈的點燈用電力之放電燈用開關；
第2次係在前述紫外線光源用開關為開啟(ON)的狀態下，開啟(ON)前述放電燈用開關；
第1次及第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時前述放電燈皆為亮燈的情況下，判定前述放電燈為非純正品；在前述放電燈只有第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時為亮燈之情況下，判定前述放電燈為純正品。
＜發明之效果＞
根據本發明，可以提供一種光源裝置、照射裝置、及該放電燈是否為純正品之判定方法，其係即便在放電燈之發光管的内部空間不封入啟動性促進物質也能夠得到良好的啟動性；而且能夠區分該放電燈是否為純正品。
（實施例1）
在實施例1中係說明將本發明所適用的照射裝置50使用於印刷配線基板等之進行曝光的曝光機10的情況做為一例子。無庸侈言，照射裝置50不只是曝光機10，還可以使用於其他的照明用途。又，自放電燈110所放射的光之波長也是可按照照明用途來加以選擇的。
（曝光機10之構成）
圖1係顯示本發明所適用的實施例1有關的曝光機10。曝光機10大致是由照射裝置50、集成器(integrator)12、凹面鏡14、及照射面16所構成。
照射裝置50係放射含有適用於曝光對象物X之曝光的波長之光。對於照射裝置50之詳細內容，茲在說明曝光機10之構成以後再説明之。
集成器12係具有：接受自照射裝置50而來的光之入射面18、及提高所接受的光之均一性並射出該光之出射面20。在入射面18及出射面20分別形成有複數個飛眼鏡頭(fly eye lens)21。
凹面鏡14係在其内側具有反射凹面22。該凹面鏡14係以反射凹面22將由集成器12所射出的光反射成平行光。
照射面16接受自凹面鏡14而來的平行光之光，配置成約略與該平行光垂直的方向。在該照射面16上係載置有曝光對象物X。在曝光對象物X之表面上塗布有例如感光劑。經由讓自凹面鏡14而來的平行光照射曝光對象物X之所期望的區域，藉以在曝光對象物X之表面上形成所期望的電路圖案等。
（照射裝置50之構成）
圖2係顯示本發明所適用的實施例1有關的照射裝置50之圖。又，圖3係照射裝置50的平面圖。照射裝置50係具備有：複數個光源裝置100、紫外線光源200、框架52、放電燈用開關53、放電燈用電源54、紫外線光源用開關55、紫外線光源用電源56、以及判定裝置57。
光源裝置100係放射含有適用於曝光對象物X的曝光之波長的光。光源裝置100係如圖4所示，大致為由放電燈110、反射150、絶緣基底170所構成。另外，有時候也將反射150和絶緣基底170整合記載為反射容器151。
在本實施例的情況下，紫外線光源200係放射紫外光的LED，被組合於各光源裝置100中。因此，本實施例之紫外線光源200的説明係與光源裝置100的説明合併進行。另外，紫外線光源200並未限定於LED，只要是能夠放射紫外光皆可，也可以使用高壓水銀燈或金屬鹵化物燈等。尤其，如後述之變形例1所示，在對於複數個放電燈110照射紫外光之情況下，較佳者為選擇多於每1個發光量的燈。
如圖5所示，放電燈110係具有發光管部112、由該發光管部112延伸的一對封止部114。發光管部112及一對封止部114係由石英玻璃形成為一體。另外，在發光管部112内係形成有以封止部114密閉的内部空間116。
在放電燈110的各封止部114内係分別設置有：埋設的鉬製的箔118、一端為連接於箔118的一側端部並且其他端配置在内部空間116内之鎢製的一對電極120、以及一端為連接於箔118之其他側端部並且其他端為由封止部114向外部延伸之一對引線棒122。又，在内部空間116係封入有預定量的水銀124及鹵素（例如，溴）。
當在設置於放電燈110之一對引線棒122施加預定的高電壓時，在設置於發光管部112的内部空間116之一對電極120間開始的輝光放電轉移成電弧放電，經由因該電弧而被蒸發及激發的水銀124而放射光（主要是紫外線）。
返回到圖4，在本實施例有關之光源裝置100中，一側的封止部114為插設於反射150的封止部插設孔156。另外，放電燈110可以是交流點燈用，也可以是直流點燈用。
反射150係在其内側表面具有椀狀的反射面152。該反射面152係用來反射：由被配置成發光管部112為位於反射150的内側之放電燈110而來的光之一部分。在本實施例中，該反射面152係由旋轉置物面所規定。又，放電燈110之發光點（大略於内部空間116的一對電極120間所形成之電弧的中央位置）係與該旋轉置物面的焦點一致。因此，由放電燈110的發光點所放射、經反射面152反射以後再從反射150的開口154射出之光係幾乎成為平行光。無庸侈言，反射面152的形狀不是限定於此而已，可以是旋轉橢圓面或其他的旋轉面，或者也可以是旋轉面以外的形狀。又，不必要一定是使發光點與焦點一致，也可以是按照需要而使發光點與焦點些微偏離。
又，設置有自反射150之開口154的相對側突出的底頸部155。另外，在反射150的反射面152係形成有：可供在放電燈110中之一側的封止部114插設之封止部插設孔156。該封止部插設孔156係形成為自反射面152的底部起架掛於底頸部155的前端。
如圖1所示，經由放電燈110與反射150之組合而使自放電燈110所放射之光構成為：以沿著反射面152的中心軸CL前進的光為中心，在預定的角度（開角）的範圍內於反射150的前方行進。
回到圖4；絶緣基底170係以陶瓷等之電氣的絶緣體所形成；並形成有：反射150的底頸部155、及可供插設在封止部插設孔156的放電燈110之一側的封止部114所插入之反射插入穴172。經由把底頸部155及封止部114插入反射插入穴172，而形成為絶緣基底170為從外側覆蓋封止部插設孔156。
又，在絶緣基底170形成有：與如上述之反射插入穴172連通的内側空間174；另外，還進一步形成有：與該内側空間174及外側相互連通而可供電源電纜A插通之電源電纜插通穴176。
另外，絶緣基底170及放電燈110係經由以具有電氣絶緣性及高熱傳導性之無機黏著劑C而相互固定。具體説明時，在絶緣基底170的反射插入穴172中插入反射150的底頸部155的端部、及放電燈110之一側的封止部114，並進一步地在紫外線光源200及電源電纜A為配置於絶緣基底170的内側空間174之狀態下，將無機黏著劑C充填在該内側空間174。另外，紫外線光源200係被安裝於放電燈110的附近，更進一步而言，自該紫外線光源200而來的紫外光較合適者為設置於：向著在放電燈110之反射插入穴172所插入側的封止部114之端面放射的位置。
回到圖3；框架52係一種形成有可裝設複數個光源裝置100之複數個凹所58的約略長方體狀構件。
回到圖2；放電燈用電源54係用來供給安裝於框架52之各光源裝置100的放電燈110所需要的電力（直流或交流）。又，紫外線光源用電源56係將直流的電流供給至被組入於各光源裝置100之紫外線光源200的電源；紫外線光源用開關55係用來開關(ON・OFF)供給至紫外線光源200之直流的定電流。紫外線光源用電源56所供給的直流係形成為於構成紫外線光源200之LED的順方向流動。
判定裝置57係用以判定各光源裝置100（放電燈110）是否為純正品的裝置，如圖6所示，大略具有控制部60、及判定部66。
控制部60係具有：操作放電燈用開關53及紫外線光源用開關55，開關(ON・OFF)自放電燈用電源54被供給至放電燈110之電流，並且開關(ON・OFF)自紫外線光源用電源56被供給至紫外線光源200之電流的功能。
控制部60基本上是進行2個動作。亦即，控制部60，第1次係在紫外線光源用開關55為關閉(OFF)的狀態下開啟(ON)放電燈用開關53，第2次係在紫外線光源用開關55為開啟(ON)的狀態下開啟(ON)前述放電燈用開關53。
判定部66係在上述控制部60之第1次動作的結果、及第2次動作的結果、以及在放電燈用開關53為開啟(ON)時放電燈110為亮燈之情況下，判定放電燈110為非純正品；而只有在第2次中放電燈用開關53為開啟(ON)時（即，紫外線光源用開關55為開啟(ON)之狀態時）放電燈110為亮燈的情況下，判定放電燈110為純正品。
另外，判定部66之對於放電燈110是否亮燈的判斷，可以是將例如自放電燈用電源54供給於放電燈110的電壓為由高電壓（點燈［絶緣破壞］前）變化成比較低的電壓（點燈［絶緣破壞］後）之情況判斷為「放電燈110已亮燈」；或者也可以是在接受來自放電燈110的光之位置設置光感測器，而將該光感測器接受到來自放電燈110的光之情況判斷為「放電燈110已亮燈」。無庸侈言，也可以是以其他的手法來判斷「放電燈110已亮燈」。
（照射裝置50之純正品的判定動作）
當照射裝置50的電源開關（未圖示）投入時，判定裝置57之控制部60開始動作，在關閉(OFF)對於安裝在框架52之任1個光源裝置100之紫外線光源200供給電力之紫外線光源用開關55的狀態下，開啟(ON)對該光源裝置100之放電燈110供給電力之放電燈用開關53，並測試該放電燈110的點燈（第1次）。然後，控制部60暫時關閉(OFF)放電燈用開關53。其次，開啟(ON)紫外線光源用開關55並且再度開啟(ON)放電燈用開關53（第2次）。另外，判定裝置57動作的時間點並未限定於此等而已。
判定部66係以第1次及第2次的動作而分別判斷放電燈110是否亮燈；基於該判斷結果，如上述地判定該放電燈110是否為純正品。
1個目的光源裝置100之純正品判定完成以後，控制部60開始向進行其他的光源裝置100之放電燈110的電流的供給。然後，與如上述之1個目的光源裝置100的情況同樣地進行純正品之判定直到對於全部的光源裝置100之判定完成為止；或者是反復進行同樣的判定直到預定的範圍的光源裝置100之檢査完畢為止。
（照射裝置50的特徴）
根據本實施例，即便不在放電燈110之發光管部112的内部空間116封入氪85等的啟動性促進物質，照射來自紫外線光源200的紫外光也能夠改善該放電燈110的啟動性。
又，藉由判定裝置57，能夠判定放電燈110是否為純正品。藉此，就能夠避免持續錯誤使用具有因長期間使用發生破裂危險性之非純正品的放電燈110的情況。
（變形例1）
在上述的實施例1中，分別安裝在複數個放電燈110的每一個之紫外線光源（LED）200也可以是如圖7所示，按照能夠向被安裝框架52的複數個光源裝置100之放電燈110照射紫外光之方式來配置1個紫外線光源200。在此種的情況下，來自紫外線光源200的紫外光就成為能夠通過光源裝置100之各反射150的開口154而直接照射放電燈110的發光管部112。藉此，能夠與實施例1的情況同樣地改善放電燈110的啟動性。另外，配置之紫外線光源200的數量也可以是複數個。
又，即使是在該變形例1的情況，判定放電燈110是否為純正品之方法亦是與實施例1相同。第1次的動作是在關閉(OFF)給電於紫外線光源200之紫外線光源用開關55的狀態下，將給電於判定對象之放電燈110的放電燈用開關53予以開啟(ON)來確認該放電燈110是否為亮燈。再者，第2次的動作是在紫外線光源用開關55為開啟(ON)的狀態下，開啟(ON)放電燈用開關53來確認該放電燈110是否為亮燈。
然後，第1次動作的結果及第2次動作的結果、以及在開啟(ON)放電燈用開關53時放電燈110為亮燈的情況下，判定放電燈110為非純正品；只有在第2次中開啟(ON)放電燈用開關53時（即，在紫外線光源用開關55為開啟(ON)之狀態時）放電燈110為亮燈之情況下，判定放電燈110為純正品。
（變形例2）
上述的實施例之光源裝置100的紫外線光源200，雖然是只以LED構成；然而，也可以是如圖8所示，以LED202、與該LED202直列串連的白熱燈204來構成紫外線光源200，並被設置於光源裝置100（比較正確者為與實施例1同樣是在絶緣基底170的内側空間174）。另外，為了保護電路等，也可以是相對於LED202或白熱燈204而直列地安裝有保險絲。
在此情況下，當光源裝置100之純正品判定，可以是組合與最初説明的實施例1同樣使用紫外線光源200之執行方法、及使用白熱燈204之執行方法。還可以是同時實施該兩者的執行方法，也能夠是實施任何一者。
在該變形例2之中，使用白熱燈204之純正品判定係在以控制部60自紫外線光源用電源56對於白熱燈204持續地供給定電流的狀態下，藉由間隔預定的時間（例如，10秒）2次測定紫外線光源200的兩端電壓來進行的。
在開始對於紫外線光源200供給定電流之後，以判定裝置57的測定部（未圖示。以下，相同。）測定該紫外線光源200的兩端電壓（第1次）。其次，在經過預定的時間（例如，10秒）以後，測定部再度測定紫外線光源200的兩端電壓（第2次）。所測定到的2次之兩端電壓値係被傳送至判定裝置57的判定部66。另外，流動至紫外線光源200之定電流係屬於LED202之順方向電流的直流。
收到2次的兩端電壓値之判定部66係用以確認2次之兩端電壓値的差是否在預定的電壓範圍内；在兩端電壓値的差為在預定的電壓範圍内之情況下，判定部66判定檢査對象的放電燈110為純正品。相反地，在兩端電壓値的差不是在預定的電壓範圍内之情況下，判定部66判定檢査對象的放電燈110為非純正品。
一般而言，白熱燈204因包含在其內之燈絲的特性上當電流通電後短暫（10數秒）之間會有電阻値增加的傾向。因此，第2次測定到之紫外線光源200的兩端電壓値（例如，8.5 V）係比第1次所測定到之相同兩端電壓的値（例如，2.0 V）還要大。因此，上述2次的測定之兩端電壓値的差為在預定的電壓範圍内（例如，6至7 V之間）之情況下，可以判定該放電燈110是具備有白熱燈204之純正品。
相對於此，在放電燈110為非純正品之情況下，因為紫外線光源200不具備白熱燈204，所以紫外線光源200的兩端電壓値之第1次的測定値、與第2次的測定値之差是幾乎為零。從而，在兩端電壓値的差為不在預定的電壓範圍内之情況下，判定部66係將檢査對象的放電燈110判定為非純正品。
（變形例3）
如上述之變形例1，在配置有向著安裝於框架52的複數個光源裝置100之放電燈110照射紫外光之紫外線光源200的情況下，如圖9所示，不是LED202，也可以只將白熱燈204設置於光源裝置100。另外，白熱燈204也可以是配置在絶緣基底170内的任意處，也可以是藉由配置在絶緣基底170的外面、或反射150的外面等而安裝於反射容器151。又，為了保護電路等，也可以相對於白熱燈204而直列地安裝有保險絲。
在此種情況下，光源裝置100的純正品判定係能夠將與變形例1同樣地使用紫外線光源200之執行方法、與使用白熱燈204之執行方法加以組合。兩者的執行方法可以是同時實施，也可以是依序地實施，亦能夠實施任何一者。
以下，說明使用白熱燈204的純正品判定。使用白熱燈204之純正品判定係在從紫外線光源用電源56或別的電源（未圖示）對於白熱燈204持續供給定電流（可以是交流，也可以是直流）之狀態下，經由控制部60間隔預定的時間（例如，10秒）2次測定連接於白熱燈204之一對電源電纜A的兩端電壓來進行的。
在開始對於白熱燈204供給定電流以後，再以判定裝置57的測定部（未圖示；以下，相同。）測定該白熱燈204的兩端電壓（第1次）。其次，在經過預定的時間（例如，10秒）以後，測定部再度測定白熱燈204的兩端電壓（第2次）。所測定的2次之兩端電壓値係被專送到判定裝置57的判定部66。
收到2次之兩端電壓値之判定部66係用以確認2次之兩端電壓値的差是否在預定的電壓範圍内；在兩端電壓値的差為落於預定的電壓範圍内之情況下，判定部66係判定檢査對象的放電燈110為純正品。相反地，兩端電壓値的差不是落於預定的電壓範圍内之情況下，判定部66係判定檢査對象的放電燈110為非純正品。
在放電燈110具備白熱燈204之純正品的情況下，白熱燈204的兩端電壓値，與第1次的測定値比較之下，第2次的測定値方面是比較大的。其理由，因為是與在變形例2説明者相同，所以援用之而省略。因此，在上述2次的測定之兩端電壓値的差為落於預定的電壓範圍内（例如，6至7 V之間）之情況下，能夠判定該放電燈110為具備白熱燈204之純正品。
相對於此，在放電燈110為非純正品之情況下，因為不具備白熱燈204，所以電源電纜A的兩端電壓値之第1次的測定値、第2次的測定値之差幾乎為零。從而，在兩端電壓値的差不是落於預定的電壓範圍内之情況下，判定部66係判定檢査對象的放電燈110為非純正品。
此次所開示的實施的形態之全部的觀點皆為例示，因而應解釋為非限制性的例子。本發明的範圍不只是上述所説明者而已，並且意圖包括申請專利範圍所揭示者、與申請專利範圍均等的意義及範圍内之全部的變更。
10‧‧‧曝光機
12‧‧‧集成器
14‧‧‧凹面鏡
16‧‧‧照射面
18‧‧‧入射面
20‧‧‧出射面
21‧‧‧飛眼鏡頭
22‧‧‧反射凹面
50‧‧‧照射裝置
52‧‧‧框架
53‧‧‧放電燈用開關
54‧‧‧放電燈用電源
55‧‧‧紫外線光源用開關
56‧‧‧紫外線光源用電源
57‧‧‧判定裝置
58‧‧‧凹所
60‧‧‧控制部
66‧‧‧判定部
100‧‧‧光源裝置
110‧‧‧放電燈
112‧‧‧發光管部
114‧‧‧封止部
116‧‧‧内部空間
118‧‧‧箔
120‧‧‧電極
122‧‧‧引線棒
124‧‧‧水銀
150‧‧‧反射
151‧‧‧反射容器
152‧‧‧反射面
154‧‧‧開口
155‧‧‧底頸部
156‧‧‧封止部插設孔
170‧‧‧絶緣基底
172‧‧‧反射插入穴
174‧‧‧内側空間
176‧‧‧電源電纜插通穴
200‧‧‧紫外線光源
202‧‧‧LED
204‧‧‧白熱燈
圖1係顯示本發明所適用的曝光機10之一例子的圖。
圖2係顯示本發明所適用的照射裝置50之一例子的圖。
圖3係顯示本發明所適用的照射裝置50之一例子的平面圖。
圖4係顯示本發明所適用的光源裝置100之一例子的剖面圖。
圖5係顯示放電燈110之一例子的剖面圖。
圖6係顯示本發明所適用的判定裝置57之一例子的圖。
圖7係顯示變形例1有關的照射裝置50之一例子的圖。
圖8係顯示變形例2有關的光源裝置100之一例子的剖面圖。
圖9係顯示變形例3有關的光源裝置100之一例子的剖面圖。

Claims (8)

  1. 一種光源裝置，特徵在於該光源裝置係具備： 成為光源之放電燈； 用以檢測出前述放電燈是否為純正品之白熱燈；以及 可安裝前述放電燈及前述白熱燈之反射(reflector)容器；其中 前述放電燈係接受來自設置於外部之紫外線光源所照射之紫外線而點亮燈。
  2. 一種照射裝置，其特徵在於具備： 成為光源之放電燈； 在前述放電燈啟動時，對於前述放電燈照射用以檢測出前述放電燈是否為純正品的紫外光之紫外線光源。
  3. 如請求項2所記載之照射裝置，其係具備有複數個前述放電燈；前述紫外線光源係對於複數個前述放電燈照射前述紫外光。
  4. 如請求項2所記載之照射裝置，其中前述紫外線光源係安裝於前述放電燈的附近，一個前述紫外線光源係對於一個前述放電燈照射前述紫外光。
  5. 請求項2所記載之照射裝置，其中前述紫外線光源為LED。
  6. 如請求項2所記載之照射裝置，其中前述紫外線光源係具有LED、及與前述LED直列串連的白熱燈。
  7. 如請求項2所記載之照射裝置，其係進一步具備： 放電燈用電源，其用以將點燈用電力供給至前述放電燈； 紫外線光源用電源，其用以將點燈用電力供給至前述紫外線光源； 放電燈用開關，其為用以開關(ON・OFF)來自前述放電燈用電源的前述電力； 紫外線光源用開關，其為用以開關(ON・OFF)來自前述紫外線光源用電源的前述電力； 控制部，其係具有用以開關(ON・OFF)前述放電燈用開關及前述紫外線光源用開關之功能；第1次為在關閉(OFF)前述紫外線光源用開關的狀態下開啟(ON)前述放電燈用開關；第2次為在開啟(ON)前述紫外線光源用開關的狀態下開啟(ON)前述放電燈用開關； 判定部，其係在前述放電燈於第1次及第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時均為亮燈之情況下，判定前述放電燈為非純正品；在前述放電燈只有第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時為亮燈之情況下，判定前述放電燈為純正品。
  8. 一種放電燈之判定方法， 第1次為在將用以開關(ON・OFF)由紫外線光源用電源所供給的紫外線光源之點燈用電力的紫外線光源用開關關閉(OFF)的狀態下，將用以開關(ON・OFF)由放電燈用電源所供給的放電燈之點燈用電力的放電燈用開關予以開啟(ON)； 第2次為在前述紫外線光源用開關為開啟(ON)的狀態下，將前述放電燈用開關予以開啟(ON)； 在前述放電燈於第1次及第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時均為亮燈之情況下，判定前述放電燈為非純正品；在前述放電燈只有第2次開啟(ON)前述放電燈用開關時為亮燈之情況下，判定前述放電燈為純正品。
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