JP3205324B1 - 容量型圧力測定セル - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 耐圧縮性及び耐引張性にすぐれ、高真空密で
長期安定性を有する圧力又は差圧測定セルを提供するこ
と。 【解決手段】 基体とダイヤフラムとが設けられ、基体
がコンカーブなセントラル面に第１の電極を備え、コン
カーブなセントラル面が平らなリング面として構成され
た領域を有するコンベックスな面に移行しており、内面
に第２の電極を備えたダイヤフラム（５）が基体のリン
グ面が支持され、該ダイヤフラムが基体のリング面と周
面との間に楔ゾーンを形成してアクティブ硬ろうを用い
て基体に接合されて測定室が形成され、ダイヤフラムの
第２の電極が楔ゾーンを介して接触させられているこ
と。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は容量型圧力又は差圧
測定セル及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常は、このような圧力測定セルはセラ
ミック製の基体とセラミック製のダイヤスラムとを有
し、ダイヤフラムは基体を覆っており、ダイヤフラムと
基体の、ダイヤフラムに向いた面との間に測定室が形成
されるように基体に対して間隔が与えられている。基体
とダイヤフラムとの互いに向き合った面は電極を備え、
これらの電極は一緒になってコンデンサを形成し、該コ
ンデンサによっては、ダイヤフラムに作用しかつダイヤ
フラムを変形するプロセス媒体の圧力に相当する電気的
な信号が得られる。圧力過負荷に際して基体はダイヤフ
ラムの運動の制限器として働く。

【０００３】２つの圧力の間の差（差圧）を測定するた
めには、通常はそれぞれの圧力のために１つの測定室が
使用される。この場合、測定室は互いに空間的にかつ機
械的に結合され、それぞれ測定容量を備えている。この
ような形式で、１つの測定室に作用する圧力と他の測定
室に作用する圧力との差に相当する電気的な信号を生ぜ
しめることができる。

【０００４】セラミック製の圧力測定セルにおける特別
な問題は、接合部がガス及び液密でかつ耐引張及び耐圧
縮負荷が大きくなるように、ダイヤフラムをその縁部の
範囲で基体の上に固定しかつ接合する必要のあることで
ある。さらに接合部は長期安定的でかつ弛緩効果を伴わ
ないものにしたい。

【０００５】ＵＳ−Ａ５０５００３４号明細書によれ
ば、容量型の圧力測定セルであって、 −セラミック製の基体を有し、 −−該基体が周面を有しており、 −−該基体が第１の表面にセントラル面を有しており、 −−−該セントラル面が第１の電極を備えており、 −−−該セントラル面が、第２の表面に対し第１の電極
の電気的な貫通接触部を有しており、 −セラミック製のダイヤフラムが設けられており、 −−該ダイヤフラムが高真空密の測定室を得るために、
アクティブ硬ろうから成るプレンパラレルリングを用い
て基体に接合されており、 −−−該ダイヤフラムの基体に向いた平らな内面に第２
の電極が取付けられている形式のものが公知である。

【０００６】アクティブ硬ろう接合は高い安定性に対す
る前述の要求を充たしはするが、特定な場合には、ダイ
ヤフラムの圧力過負荷に際して、ダイヤフラムが十分な
形式で基体に支持されないことが証明されている。基体
とダイヤフラムとの間のスペーサとして役立つアクティ
ブ硬ろうリングの角ばった構造に基づき、特にダイヤフ
ラムの縁部範囲にて、ダイヤフラムを破壊する引張負荷
が発生する。

【０００７】ＵＳ−Ａ４８２９８２６号明細書によれ
ば、容量型の差圧測定セルであって、 −基体が設けられており、 −−該基体が、縁面を有しており、 −−該基体が第１の表面におけるコンカーブな第１のセ
ントラル面を有しており、 −−−該セントラル面が第１の電極を備えており、 −−−該セントラル面が第１の電極の電気的な接触部を
有しており、 −−−該セントラル面が縁面に向かってコンベックスな
第１の面の移行しており、 −−−−該第１の面が縁面と交差する第１の頂線を有
し、 −−−−該第１の面が第１の頂線の範囲で第１の平らな
リング面として構成されており、 −−さらに基体が第１の表面に向き合った第２の表面に
コンカーブな第２のセントラル面を有しており、 −−−該第２のセントラル面が、第２の電極を備えてお
り、 −−−該第２のセントラル面が第２の電極の第２の電気
的な接触部を有しており、 −−−該第２のセントラル面が縁面に向かって第２のコ
ンベックスな面に移行しており、 −−−−該第２のコンベックスな面が縁面と交差する第
２の頂線を有しており、 −−−−該第２のコンベックスな面が第２の頂線の範囲
で第２の平らなリング面として構成されており、 −−前記基体が第１のセントラル面と第２のセントラル
面との間の接続通路を備えており、 −第１のセラミック製のダイヤフラムが設けられてお
り、 −−該第１のダイヤフラムが基体の第１のリング面に支
持されかつそこに固定されており、 −−該第１のダイヤフラムが基体に向いた平らな内面に
第３の電極を備えており、 −第２のセラミック製のダイヤフラムが設けられてお
り、 −−該第２のダイヤフラムが、基本に向いた平らな内面
に第４の電極を備えている形式のものが公知である。

【０００８】先に記載した差圧測定セルにおいては、ダ
イヤフラムと基体との唯一の結合に役立つリング面は基
体の周面まで達している。結合形式はここでは詳細には
説明されていない。

【０００９】リング面を用いた結合だけでは、特にこの
リング面に軸平行な大きな力が作用すると不十分であ
る。さらにこの結合だけではこの結合が高真空密でかつ
長期的に安定であることは達成されない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の課
題は、基体とダイヤフラムとの結合が、過負荷の場合に
も耐圧縮性及び／又は耐引張り性を有しかつ高真空密で
長期的に安定的である容量型圧力測定セルもしくは差圧
測定セルを提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
には、本願の第１の発明では、圧力測定セルにおいて、 −セラミック製の基体が設けられており、 −−該基体が周面を有しており、 −−該基体が第１の表面にコンカーブなセントラル面を
有し、 −−−該セントラル面が第１の電極を備えており、 −−−該セントラル面が第１の電極を第２の表面に対し
電気的に貫通接触させる貫通接触部を有しており、 −−−該セントラル面が周面に向かってかつ該周面に達
するまで、頂線を有するコンベックスな面に移行してお
り、 −−−−該コンベックスな面が頂線の範囲で平らなリン
グ面として構成されており、 −セラミック製のダイヤフラムが設けられており、 −−該ダイヤフラムが基体のリング面の上に支持されて
おり、 −−該ダイヤフラムが前記リング面の上にかつ周面とリ
ング面との間に環状の楔ゾーンを形成して、アクティブ
硬ろうを用いて、高真空密な測定室を得るために基体と
接合されており、 −−該ダイヤフラムの、基本に向いた平らな内面に第２
の電極が取付られており、 −−−該第２の電極が楔ゾーンを介して接触させられて
いることが特徴となっている。

【００１２】前記課題を解決するためには本願の第２の
発明では、容量形差圧測定セルにおいて、 −セラミック製の基体を有しており、 −−該基体が、周面を有しており、 −−該基体が第１の表面におけるコンカーブな第１のセ
ントラル面とを有し、 −−−該セントラル面が第１の電極を備えており、 −−−該セントラル面が第１の電極を周面に対し貫通接
触させる第１の貫通接触部を有しており、 −−−該セントラル面が周面に向かってかつこの周面ま
で、第１の頂線を有するコンベックスな第１の面へ移行
しており、 −−−−該第１の面が第１の頂線の範囲で第１の平らな
リング面として構成されており、 −−基体が第１の表面に向き合った第２の表面にコンカ
ーブな第２のセントラル面を有しており、 −−−該第２のセントラル面が第２の電極を備えてお
り、 −−−該第２のセントラル面が周面に対して第２の電極
を貫通接触させる第２の電気的な貫通接触部を有しお
り、 −−−該第２のセントラル面が周面に向かってかつ該周
面まで、第２の頂線を有する第２のコンベックスな面へ
移行しており、 −−−−該第２のコンベックスな面が第２の頂線の範囲
で第２の平らなリング面として構成されており、 −−第１のセラミック製の基体が第１のセントラル面と
第２のセントラル面との間の接続通路を備えており、 −第１のセラミック製のダイヤフラムが設けられてお
り、 −−該第１のダイヤフラムが基体の第１のリング面に載
っており、 −−該第１のダイヤフラムが前記第１のリング面の上で
かつ周面と前記第１のリング面との間に第１の環状の楔
ゾーンを形成して、アクティブ硬ろうを介して、第１の
高真空密の測定室を形成するために前記基体に接合され
ており、 −−前記基体に向いた第１のダイヤフラムの平な内面の
上に第３の電極が取付けられており、 −−−第３の電極が第１の楔形ゾーンを介して接触させ
られており、 −セラミック製の第２のダイヤフラムが設けられてお
り、 −−該第２のダイヤフラムが基体の第２のリング面に載
っており、 −−前記第２のダイヤフラムが第２のリング面の上でか
つ周面と第２のリング面との間に第２の環状の楔ゾーン
を形成して、アクティブ硬ろうを用いて、第２の高真空
密な測定室を形成するために前記基体に接合されてお
り、 −−前記基体に向いた第２のダイヤフラムの平らな内面
に第４の電極が取付けられており、 −−−該第４の電極が第２の楔ゾーンを介して接触させ
られていることが特徴となっている。

【００１３】前記課題を解決する本願の第３の発明では
容量型の差圧測定セルにおいて、 −第１のセラミック製の基体が設けられており、 −−前記第１のセラミック製の基体が第１の周面を有
し、 −−前記第１の基体が第１の表面にコンカーブな第１の
セントラル面を有し、 −−−該セントラル面が第１の電極を有し、 −−−該セントラル面が前記第１の表面に向き合った第
２の表面に向かって前記第１の電極を貫通接触させる第
１の電気的な貫通接触部を有し、 −−−該セントラル面が前記第１の周面に向かってかつ
該周面まで、第１の頂線を有するコンベックスな第１の
面に移行しており、 −−−−コンベックスな前記第１の面が前記第１の頂線
の範囲にて第１の平らなリング面として構成されてお
り、 −セラミック製の第２の基体が設けられており、 −−該第２の基体が第２の周面を有し、 −−該第２の基体が第１の表面にコンカーブな第２のセ
ントラル面を有し、 −−−該第２のセントラル面が第２の電極を備えてお
り、 −−−該第２のセントラル面が前記第１の表面に向き合
った第２の表面に向かって前記第２の電極を貫通接触さ
せる第２の電気的な貫通接触部を有し、 −−−該第２のセントラル面が前記第２の周面に向かっ
てかつ該周面まで、第２の頂線を有するコンベックスな
第２の面に移行しており、 −−−−該コンベックスな第２の面が前記第２の頂線の
領域にて第２の平らなリング面として構成されており、 −セラミック製のダイヤフラムが設けられており、 −−該ダイヤフラムが前記第１の基体の前記第１のリン
グ面に第１の表面で載っており、 −−該ダイヤフラムが前記第１の基体の前記第１のリン
グ面の上にかつ前記第１の基体の前記第１の周面と前記
第１のリング面との間に第１の環状の楔ゾーンを形成し
て、アクティブ硬ろうを用いて前記第１の基体に、第１
の高真空密な測定室を得るために接合されており、 −−該ダイヤフラムが前記第２の基体の前記第２のリン
グ面に第２の表面で載っており、 −−該ダイヤフラムが前記第２のリング面の上でかつ前
記第２の基体の第２の周面と前記第２のリング面との間
に第２の環状の楔ゾーンを形成して、アクティブ硬ろう
を用いて前記第２の基体に、第２の高真空密な測定室を
得るために接合されており、 −−該ダイヤフラムの第１の表面の上に第３の電極が取
付けられており、 −−−該第３の電極が前記第１の楔ゾーンを介して接触
させられており、 −−該ダイヤフラムの第２の表面の上に第４の電極が取
付けられており、 −−−該第４の電極が前記第２の楔ゾーンを介して接触
させられていることが特徴となっている。

【００１４】前記課題を解決するためには本願の第４の
発明は、容量型の圧力測定セルを製造するための方法に
おいて以下のステップ、すなわち、 −セラミック製の基体の表面にコンカーブなセントラル
面を設け、 −−該セントラル面が前記基体の周面に向かってかつ該
周面まで、頂線を有するコンベックスな面に移行してお
り、 −−−該コンベックスな面が前記頂線の範囲で平らなリ
ング面として構成されており、 −前記セントラル面の上に第１の電極を取付けかつ前記
基体の前記第１の表面に向き合った第２の表面に対して
貫通接触させ、 −前記基体の前記第１の表面と合同であるセラミック製
のダイヤフラムの平らな表面に、該ダイヤフラムをあと
で前記基体の前記リング面に載せると該リング面まで達
するような寸法が与えられた第２の電極を設け、 −前記リング面と前記周面との間にある前記コンベック
スな面の部分に、前記ダイヤフラムと前記基体とを硬ろ
う付けするのに十分な量のアクティブ硬ろうを施し、 −前記第２の電極を備えた前記ダイヤフラムの表面を前
記基体の前記リング面に載せ、 −前記基体と前記ダイヤフラムとを、真空又は保護ガス
雰囲気のもとで、前記アクティブ硬ろうが溶融するまで
加熱し、そのあとで自然冷却させることを特徴としてい
る。

【００１５】前記課題を解決する本願の第５の発明で
は、容量型の差圧測定セルを製造する方法において、 −セラミック製の基体の第１の表面にコンカーブな第１
のセントラル面を設け、 −−該第１のセントラル面が周面に向かってかつ該周面
まで、第１の頂線を有する第１の面に移行しており、 −−−該第１の面が前記第１の頂線の範囲にて第１の平
らなリング面として構成されており、 −前記第１のセントラル面の上に第１の電極を取付けか
つ前記基体の周面に向かって貫通接触させ、 −前記基体の前記第１の表面に向き合った第２の表面に
コンカーブな第２のセントラル面を設け、 −−該第２のセントラル面が前記基体の周面に向かって
かつ該周面まで、第２の頂線を有するコンベックスな第
２の面に移行しており、 −−−該第２の面が前記第２の頂線の範囲にて平らな第
２のリング面として構成されており、 −前記第２のセントラル面の上に第２の電極を取付けか
つ前記基体の周面に対し貫通接触させ、 −前記基体の前記第１の表面と合同であるセラミック製
の第１のダイヤフラムの一方の平らな表面の上に第３の
電極を設け、 −−前記第１のダイヤフラムが前記基体の前記第１のリ
ング面にあとで載せられると、前記第３の電極が前記基
体の前記第１のリング面にまで達する寸法が前記第３の
電極に与えられており、 −前記基体の前記第２の表面と合同である第２のセラミ
ック製のダイヤフラムの平らな内面に第４の電極を設
け、 −−前記第２のダイヤフラムを前記基体の第２のリング
面にあとで載せた場合に前記第４の電極が前記第２のリ
ング面まで達する寸法が前記第４の電極に与えられてお
り、 −前記基体のコンベックスな前記第１の面の、前記リン
グ面と前記周面との間に位置する部分と、前記基体のコ
ンベックスな第２の面の、前記第２のリング面と前記周
面との間に位置する部分とに、前記第１もしくは第２の
ダイヤフラムを前記基体に硬ろう付けするために十分な
量のアクティブ硬ろうを施し、 −前記第１のダイヤフラムの、前記第３の電極を備えた
前記表面を、前記基体の前記第１のリング面に載せ、 −前記第２のダイヤフラムの、前記第４の電極を備えた
表面を、前記基体の前記第２のリング面に載せ、 −前記基体と前記ダイヤフラムとを真空又は保護ガス雰
囲気のもとで、前記アクティブ硬ろうが溶融するまで加
熱しかつ自然冷却することを特徴としている。

【００１６】本発明の前記課題を解決するために第６の
発明では、容量型の差圧測定セルを製造する方法におい
て、 −セラミック製の第１の基体の一方の第１の表面にコン
カーブな第１のセントラル面を設け、 −−該第１のセントラル面が前記第１の基体の第１の周
面に向かってかつ該周面まで、第１の頂線を有するコン
ベックスな第１の面に移行しており、 −−−該コンベックスな第１の面が第１の頂線の範囲で
第１の平らなリング面として構成されており、 −前記第１のセントラル面の上に第１の電極が取付けら
れ、前記第１の基体の前記第１の表面に向き合った第２
の表面に向かって貫通接触させられており、 −セラミック製の第２の基体の一方の第１の表面にコン
カーブな第２のセントラル面を設け、 −−該第２のセントラル面が前記第２の基体の第２の周
面に向かってかつ該周面にまで、第２の頂線を有するコ
ンベックスな第２の面に移行しており、 −−−該コンベックスな第２の面が前記第２の頂線の範
囲で第２の平らなリング面として構成されており、 −前記第２のセントラル面の上に第２の電極を取付け、
前記第２の基体の前記第１の表面に向き合った第２の表
面に対して貫通接触させ、 −前記第１の基体の第１の表面と合同であるセラミック
製のダイヤフラムの平らな第１の表面に第３の電極を設
け、 −−前記ダイヤフラムをあとで前記第１の基体の第１の
リング面の上に載せた場合に前記ダイヤフラムが前記第
１のリング面に達するような寸法が前記第３の電極に与
えられており、 −前記ダイヤフラムの前記第１の表面に向き合った平ら
な第２の表面に第４の電極を設け −−前記ダイヤフラムをあとで前記第２の基体の前記第
１のリング面に載せた場合に前記第４の電極が前記第１
のリング面まで達するような寸法が前記第４の電極に与
えられており、 −前記第１の基体のコンベックスな前記第１の面の、前
記第１のリング面と前記第１の周面との間に位置する部
分の上と、前記第２の基体のコンベックスな前記第２の
面の、前記第１のリング面と前記第２の周面との間に位
置する部分の上とに、前記ダイヤフラムを前記第１もし
くは第２の基体に硬ろう付けするのに十分な量のアクテ
ィブ硬ろうを施し、 −前記ダイヤフラムの、前記第３の電極を備えた第１の
表面を前記第１の基体の前記第１のリング面に載せ、 −前記ダイヤフラムの前記第４の電極を備えた第２の表
面を前記第２の基体の第２のリング面に載せ、 −前記基体と前記ダイヤフラムとを真空又は保護ガス雰
囲気のもとで、前記アクティブ硬ろうが溶融するまで加
熱しかつ自然冷却することを特徴としている。

【００１７】本願の第１から第３までの発明のそれぞれ
有利な構成では、単数又は複数の基体とダイヤフラムは
酸化アルミニュウムセラミックから成り、アクティブ硬
ろうはＺｒ／Ｆｅ／Ｔｉ／Ｂｅ合金又はＺｒ／Ｎｉ／Ｔ
ｉ合金から成っている。

【００１８】本願による第１から第３の発明の有利な実
施例には少なくとも単数又は複数のダイヤフラムの電極
が少なくとも各縁範囲にて、ろうストップ被覆層で覆わ
れている。

【００１９】本願の第４から第５の発明の有利な構成に
よれば、少なくとも単数もしくは複数のダイヤフラムの
電極は各縁部範囲にてろうストップ被覆層で覆われてい
る。

【００２０】本発明はダイヤフラムと基体との接合個所
にて、従来のようにはアクティブ硬ろう量によってダイ
ヤフラムと基体とが隔てられず、ダイヤフラムと基体と
を互いに相上下して接する個所の外で、長期安定化と高
真空密性とが保証されるアクティブ硬ろう量でろう付け
するという根本思想に基づいている。

【００２１】本発明の利点は測定室の容積が従来のよう
には、アクティブ硬ろうリングの厚さとこれに起因する
ろう付け後の製作誤差に関係しなくなることである。

【００２２】本発明の別の利点はアクティブ硬ろうから
成る高価な成形部分が必要ではなくなることである。す
なわちこのような成形部分は費用のかかるいわゆる溶融
紡糸（Ｍｅｌｔ−Ｓｍｎｎｉｇ）法で製造されなければ
ならない。

【００２３】本発明は特に有利な形式で、ディスペンサ
を用いてアクティブ硬ろうペーストを自動的に施すのに
適している。ダイヤフラムと基体との特別な形状付与と
配置は、アクティブ硬ろうペーストに通常含まれている
溶剤が残留することなく接合ゾーンから逃げることを保
証する。

【００２４】さらに本発明は、単数又は複数のダイヤフ
ラムの接合範囲において単数もしくは複数の基体に特別
な形状を付与することで単数もしくは複数の測定室にア
クティブ硬ろうが侵入しないことが保証されるという利
点を有する。

【００２５】次に図示の実施例に基づき本発明を説明す
る。すべての図において同一の部分には同じ関連符号が
付けられている。図面を見やすくするためにはすでに述
べた関連符号は後の図では省略した。

【００２６】

【実施例】図１の（ａ）には容量型の圧力測定セルのセ
ラミック製の基体１が斜視図で示されている。この基体
１は周面１１と第１の表面１２におけるコンカーブなセ
ントラル面１２１とを有している。セントラル面１２１
は第１の電極１２２を備えている。セントラル面１２１
は周面１１に向かってかつ該周面１１まで、頂線１２５
を有するコンベックスな面１２４に移行している。この
面１２４は頂線１２５の範囲にて、平らなリング面１２
６として構成されている（図２を参照）。

【００２７】図１の（ｂ）においてはセラミック式のダ
イヤフラム５が斜視図で示されている。該ダイヤフラム
５が、図１の（ａ）に示された基体１にあとで固定され
る場合に、該基体１に向けられることになる平らな内面
５１には電極５２が取付けられている。該電極５２は圧
力測定セルの第２の電極である。

【００２８】図２には本発明の第１実施例の圧力測定セ
ルの垂直断面図である。図１の（ｂ）に示されたセラミ
ック式のダイヤフラム５は基体のリング面１２６に載っ
ており、リング面１２６と周面１１との間を延びるコン
ベックスな面１２４の部分と協働して、環状の楔ゾーン
９１を形成している。楔ゾーン９１におけるアクティブ
硬ろう１０によって、ダイヤフラム５と基体１とが、高
真空密な測定室Ｍが生じるように接合される。ダイヤフ
ラム５の電極５２は楔ゾーン９１を介して接触させられ
ている。第１の電極１２２の電気的な貫通接触部１２３
は基体１の第２の表面１３に向かって延びている。第１
の電極１２２は第２の電極５２と共に測定コンデンサを
形成する。この測定コンデンサで、ダイヤフラム５に作
用する圧力に相当する信号を得ることができる。図２か
らは、セントラル面１２１が周面１１に向かってかつ該
周面までどのようにコンベックスな面１２４に移行して
いるかが明らかである。頂線１２５の範囲では図２にお
いて破線１２５１と１２５２とで示されている範囲が平
らなリング面１２６として構成されている。

【００２９】中心線ＣＬは圧力測定セルが有利には回転
対称的であることを表している。

【００３０】図３の（ａ）は図２の圧力測定セルの詳細
を、ダイヤフラム５が基体１に接合される前の状態で拡
大して示している。この場合にはセントラル面１２１が
周面１１に向かってかつ該周面１１に達するまで、どの
ようにコンベックスな面１２４に移行しているかが特に
よく判る。破線１２６１と１２６２とにより示された頂
線１２５の範囲（図２をも参照）ではコンベックスな面
１２４は平らなリング面１２６として構成されている。

【００３１】ダイヤフラム５の電極５２はダイヤフラム
５の内面５１の、基体１が接触することになる範囲まで
達している。これに対し電極１２２は基体１のコンカー
ブなセントラル面１２１にだけ存在し、コンベックスな
面１２４までは達していない。

【００３２】ダイヤフラム５が基体１に載せられる前
に、基体１のコンベックスな面１２４の、周面１１とリ
ング面１２６との間を延びる部分に、アクティブ硬ろう
１０が施される。有利にはこのためにはアクティブ硬ろ
うペーストが使用される。この硬ろうペーストは適当な
ディスペンサを用いて、ダイヤフラム５を基体１に接合
するのに十分な量で施される。しかしながらアクティブ
硬ろう１０を基体１の上に施す他の方法も考えられる。

【００３３】ダイヤフラム５と基体１とを接合したあと
で、硬化したアクティブろう１０は図３の（ｂ）が示す
ように、ダイヤフラム５と基体１との間に形成された楔
ゾーン９１を充たすことになる。ダイヤフラム５を接合
するためにダイヤフラム５が平らなリング面１２６に固
定的に支持されるにも拘らず、基体とダイヤフラムとに
使用されているセラミック材料に基づき、基体とダイヤ
フラムとの間には粒子大の大きさ等級の直径を有するミ
クロコープ的に小さい孔が形成される。アクティブ硬ろ
う１０は、その濡らし特性に基づき、ダイヤフラム５と
基体１のリング面１２６との間の前記孔内で楔ゾーン９
１からリング面１２６の内縁までもしくは電極５２まで
移動する。電極５２はアクティブ硬ろう１０で濡らされ
るので楔ゾーン９１と電極５２との間には電気的な接続
が生じる。

【００３４】図４には本発明の第２実施例による容量型
の差圧測定セルが垂直断面図で示されている。この差圧
測定セルは周面２１と第１の表面２２における第１のコ
ンカーブなセントラル面２２１を有している。このセン
トラル面２２１は第１の電極２２２を備えている。この
セントラル面２２１は周面２１に向かう第１の電気的な
貫通接触部２２３を有している。

【００３５】周面２１に向かってかつ該周面２１まで、
セントラル面２２１はコンベックスな第１の面２２４に
移行している。この面２２４は第１の頂線２２５を有
し、頂線２２５の範囲で第１の平らなリング面２２６と
して構成されている。さらに基体２は表面２２に向き合
った第２の表面２３にコンカーブな第２のセントラル面
２３１を有している。このセントラル面２３１は第２の
電極２３２を備えている。この電極は２３２は周面２１
に向かって第２の電気的な貫通接触部２３３を有してい
る。

【００３６】周面２１に向かってかつ該周面２１まで、
第２のセントラル面２３１は第２のコンベックスな面２
３４に移行している。この面２３４は第２の頂線２３５
を有しかつ頂線２３５の範囲で第２の平らなリング面２
３６として構成されている。第１と第２のセントラル面
２２１，２３１は接続通路２３９を介して互いに接続さ
れている。

【００３７】第１のセラミック製のダイヤフラム６は基
体２のリング面２２６の上に位置し、コンベックスな面
２２４の、リング面２２６と周面２１との間を延びる部
分と協働して、第１の環状の楔ゾーン９２を形成する。
楔ゾーン９２におけるアクティブ硬ろう１０によって、
ダイヤフラム９は、高真空密な第１の測定室Ｍ１が生じ
るように基体２に接合される。

【００３８】ダイヤフラム６の、基体２に向いた第１の
内面６１の上には第３の電極６２が取付けられている。
この電極６２は第１の楔ゾーン９２を介して接触させら
れかつ基体２の電極２２２と共に第１のコンデンサを形
成する。

【００３９】第２のセラミック製のダイヤフラム７は基
体２のリング面２３６に支持され、コンベックスな面２
３４の、リング面２３６と周面２１との間を延びる部分
と一緒になって第２の環状の楔ゾーン９３を形成する。
楔ゾーン９３におけるアクティブ硬ろう１０によって、
ダイヤフラム１０は第２の高真空密な測定室Ｍ２が生じ
るように基体２に接合される。ダイヤフラム７の、基体
に向いた平らな内面７１には第４の電極７２が取付けら
れている。この電極７２は第２の楔ゾーン９３を介して
接触させられ、電極２３２と共に第２の測定コンデンサ
を形成する。

【００４０】図５には本発明による第３実施例の容量型
の差圧測定セルが垂直断面図で示されている。この差圧
測定セルは第１の周面３１と、第１の表面３２における
第１のコンカーブなセントラル面３２１とを有する第１
のセラミック製の基体３を有している。このセントラル
面３２１は第１の電極３２２を備え、表面３２に向き合
った第２の表面３２３に対する第１の電気的な貫通接触
３２３を有している。セントラル面３２１は周面３１に
向かってかつ該周面３１に達するまで、コンベックスな
第１の面３２４に移行している。この第１の面３２４は
第１の頂線３２５を有し、頂線３２５の範囲にて、第１
の平らなリング面３２６として構成されている。

【００４１】さらに差圧測定セルは第２のセラミック製
の基体４を有し、該基体４は第２の周面４１と第１の表
面４２における第２のコンカーブなセントラル面４２１
を有している。このセントラル面４２１は第２の電極４
２２を備え、表面４２に向き合った第２の表面４３への
第２の電気的な貫通接触４２３を有している。周面４１
に向かってかつ該周面４１に達するまで、セントラル面
４２１は第２の頂線４２５を有するコンベックスな第２
の面４２４に移行している。第２の頂線４２５の範囲に
て、コンベックスな面４２４は第２の平らなリング面４
２６として構成されている。

【００４２】セラミック製のダイヤフラム８は第１の基
体３のリング面３２６に第１の平らな内面８１で支持さ
れ、コンベックスな面３２４の、リング面３２６と周面
３１との間を延びる部分と協働して第１の環状の楔ゾー
ン９５を形成する。楔ゾーン９５のアクティブ硬ろう１
０によってダイヤフラムは第１の高真空密な測定室Ｍ′
が生じるように基体３に接合される。

【００４３】ダイヤフラム８は第２の基体４のリング面
４２６の上に、第２の平らな内面８５で支持され、コン
ベックスな面４２６の、リング面４２６と周面４１との
間を延びる部分と共に、第２の環状の楔ゾーン９６を形
成する。楔ゾーン９６におけるアクティブ硬ろう１０に
よってダイヤフラム８は第２の高真空密な測定室Ｍ２′
が生じるように基体４に接合される。

【００４４】ダイヤフラム８の内面８１には第３の電極
８２が取付けられ、この電極８２は楔ゾーン９５を介し
て接触させられており、ダイヤフラム８の内面８５の上
には第４の電極８６が取付けられ、この電極８６は楔ゾ
ーン９６を介して接触させられている。基体３の上の第
１の電極３２２と第３の電極８２は第１の測定コンデン
サを形成し、基体４の上の第２の電極４２２と第４の電
極８６は第２の測定コンデンサを形成する。

【００４５】図１から５までに示されかつ先に述べたす
べての基体１，２，３，４とダイヤフラム５，６，７，
８は有利には酸化アルミニウム−セラミック、特に９６
％の酸化アルミニウム−セラミックから成っている。い
ずれの場合にもＺｒ／Ｆｅ／Ｔｉ／Ｂｅ合金（ＥＰ−Ａ
８３５７１６号を参照）又はＺｒ／Ｎｉ／Ｔｉ合金（Ｕ
Ｓ−Ａ５３３４３４４号明細書）から成るアクティブ硬
ろう１０が特に有利であることが証明された。何故なら
ばこのようなアクティブ硬ろうはすぐれた濡れ特性と高
い強度と、ダイヤフラム５と基体１とのセラミック材料
に相当する熱的な膨張係数とを有しているからである。
電極の材料としてはタンタルが用いられる（ＵＳ−Ａ５
０５００３４号明細書）。

【００４６】アクティブ硬ろうペーストが圧力測定室
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ２′の範囲に侵入することを確実に
阻止するためには、ダイヤフラム５，８もしくはダイヤ
フラム６，７に取付けられた電極５２，６２，７２もし
くは電極８２，８６の各縁範囲に硬ろうストップ被覆層
を設けることが有利であることが証明された。電極５
２，６２，７２，８２，８６のためにタンタルが使用さ
れていると、このような硬ろうストップ被覆は特に簡単
な形式で酸化タンタル層により実現することができる。

【００４７】貫通接触部は例えばＵＳ−Ａ５１５４６９
７号又はＵＳ−Ａ５０５００３５号明細書に記述したよ
うに製造することができる。

【００４８】図２による圧力測定セルは以下のごとく製
造される。セラミック製の基体１の第１の表面１２には
コンカーブなセントラル面１２１が周面１２に向かって
かつ該周面１２までコンベックスな面１２４に移行する
ように形成される。コンベックスな面１２４は頂線１２
５の範囲にて扁平化され、平らなリング面１２６が形成
されている。これは基体１を適当に研削することで達成
される。

【００４９】セントラル面１２１の上には電極１２２が
取付けられかつ基体１の第２の表面１３に向かって通常
の形式で貫通接触させられている。

【００５０】セラミック製のダイヤフラム５の平らな内
面５１には第２の電極５２が設けられている。この第２
の電極５２には、基体１のリング面１２６にダイヤフラ
ム５があとで載せられた場合に該リング面まで達しない
ような寸法が与えられている。

【００５１】コンベックスな面１２４の、リング面１２
６と周面１１との間に位置している部分の上には、十分
な量のアクティブ硬ろう１０が施されている。このため
には有利にはアクティブ硬ろうペーストが使用される。
このアクティブ硬ろうペーストは適当なディスペンサを
用いて所望の形式で基体１に施される。

【００５２】そのあとで第２の電極５２を備えたダイヤ
フラム５の内面５１が基体１のリング面１２６の上に載
せられ、基体１とダイヤフラム５とが真空又は保護ガス
雰囲気のもとでアクティブ硬ろう１０が溶融するまで加
熱される。凝固したあとで図２に示された、先きにすで
に述べた圧力測定セルが得られる。

【００５３】図４に示された差圧セルは以下のように製
作される。セラミック製の基体２の第１の表面２２には
コンカーブなセントラル面２２１が設けられる。このセ
ントラル面２２１は周面２１に向かってかつ該周面２１
まで、頂線２２５を有するコンベックスな面２２４へ移
行している。頂線２２５の範囲ではコンベックスな面２
２４は平らなリング面２２６に成形されている。

【００５４】セントラル面２２1の上には電極２２２が
取付けられかつ基体２の周面２１に向かって貫通接触さ
せられている。

【００５５】さらに基体２の第２の表面にコンカーブな
セントラル面２３１が設けられる。該セントラル面２３
１は基体２の周面２１に向かってかつ該周面２１まで、
頂線２３５を有するコンベックスな面２３４に移行して
いる。このコンベックスな面２３４もその頂線２３５の
領域で扁平化されかつ平らなリング面２３６に成形され
ている。セントラル面２３１の上には電極２３２が取付
けられかつ基体２の周面２１に向かって貫通接触させら
れている。

【００５６】ダイヤフラム６の平らな内面６１には電極
６２が設けられている。この電極６２には、ダイヤフラ
ム６をリング面２２６のあとで載せた場合に該リング面
まで達しかつ該リング面の上には達しない寸法が与えら
れている。ダイヤフラム７自体の平らな内面７１には電
極７２が設けられている。この電極７２にはあとでダイ
ヤフラム７がリング面２３６に載せられた場合にこのリ
ング面２３６まで達する寸法が与えられている。

【００５７】次いで、基体２のコンベックスな面２２４
もしくは２３４の、リング面２２６もしくは２３６と周
面２１との間の部分に、ダイヤフラム６もしくは７を基
体２に硬ろう付けするのに十分な量のアクティブ硬ろう
１０が施される。このためにも有利には、適当な形式で
ディスペンサにより施されるアクティブ硬ろうペースト
が用いられる。

【００５８】次いで内面６１に電極６２を備えたダイヤ
フラム６が基体２のリング面２２６に載せられかつ内面
７１に電極７２を備えたダイヤフラム７がリング面２３
６に載せられる。

【００５９】次いで基体２とダイヤフラム６，７が、真
空又は保護ガス雰囲気のもとで、アクティブ硬ろう１０
が溶融するまで加熱されかつそのあとで自然冷却され
る。

【００６０】図５に示された差圧測定セルは以下のよう
にして製造される。セラミック製の基体３の表面３２
に、基体３の周面３１に向かってかつ該周面３１に達す
るまでコンベックスな面３２４へ移行するコンカーブな
セントラル面３２１が設けられる。コンベックスな面３
２４はその頂線３２５の範囲で平らなリング面３２６と
して構成されている。セントラル面３２１の上は電極３
２２が取付けられ、基体３の表面３３に対し貫通接触さ
せられる。

【００６１】基体４の表面４２にはコンカーブなセント
ラル面４２１が設けられる。このセントラル面４２１は
周面４１に向かってかつ該周面４１に達するコンベック
スな面４２４に移行している。頂線４２５の領域ではコ
ンベックスな面４２４は平らなリング面４２６として構
成されている。セントラル面４２１の上には、電極４２
２が取付けられかつ基体４の表面４３に向かって貫通接
触させられている。

【００６２】セラミック製のダイヤフラムの平らな内面
８１には電極８２が設けられる。この電極８２には、第
１の基体のリング面３２６にダイヤフラム８をあとで載
せた場合に、電極８２がリング面３２６まで達するよう
な寸法が与えられている。ダイヤフラム８の他の平らな
内面８５には電極８６が設けられる。この電極８６に
は、あとでダイヤフラム８を基体４のリング面４２６に
載せた場合に、このリング面４２６に達するような寸法
が与えられている。

【００６３】基体３のコンベックスな面３２４の、リン
グ面３２６と周面３１との間の部分と、基体４のコンベ
ックスな面４２４の、リング面４２６と周面４１との間
の部分とには、ダイヤフラム８を基体３もしくは４に硬
ろう付けするために十分である量のアクティブ硬ろう１
０が施される。この場合にも、適当なディスペンサを用
いて施されるアクティブ硬ろうが使用される。

【００６４】次いでダイヤフラム８の、電極８２を備え
た内面８１が基体３のリング面３２６に載せられかつダ
イヤフラム８の、電極８６を備えた内面８５が基体４の
リング面４２６に載せられる。

【００６５】そのあとで基体３，４とダイヤフラム８は
真空又は保護ガス雰囲気のもとで、アクティブ硬ろう１
０が溶融するまで加熱されかつ自然冷却される。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の第１実施例の圧力測定セルの
基体を略示的に示した斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の
圧力測定セルのダイヤフラムを略示的に示した斜視図で
ある。

【図２】図２は本発明の第１実施例の略示的な垂直断面
図である。

【図３】（ａ）は図２の圧力測定セルの、ダイヤフラム
を接合する前の詳細Ｅを示した拡大図であり、（ｂ）は
（ａ）の詳細Ｅをダイヤフラムを接合したあとの状態で
示した図。

【図４】本発明の第２実施例の略示的な垂直断面図。

【図５】本発明の第３実施例の垂直断面図。

【符号の説明】

１ 基体、 ２ 基体、 ３ 基体、 ４ 基体、 ５
ダイヤフラム、 ６７ ダイヤフラム、 ８ ダイヤ
フラム、 １０ アクティブ硬ろう、 ５２電極、 ６
３ 電極、 ７２ 電極、 ８２，８５ 電極、 １２
１ セントラル面、 １２４ コンベックスな面、 １
２５ 頂線、 １２６ リング面、２２１ セントラル
面、 ２２２ 電極、 ２２４ コンベックスな面、
２２６ リング面、 ２３１ コンカーブなセントラル
面、 ２３２ 電極、 ２３４ コンベックスな面、
２３６ リング面、 ２３９ 接続通路、 ３２１セン
トラル面、 ３２２ 電極、 ３２４ コンベックスな
面、 ３２６ リング面、 ４２１ セントラル面、
４２２ 電極、 ４２３ コンベックスな面、 ４２６
リング面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 594204055 Ｃｏｌｍａｒｅｒ Ｓｔｒａｓｓｅ６, Ｄ−79576Ｗｅｉｌ ａｍ Ｒｈｅｉｎ, Ｇｅｒｍａｎｙ (72)発明者 アンドレアス ロスベルク ドイツ連邦共和国 バート ゼッキンゲ ン アルベルト−ゲルスバッハ−アレー ５ (72)発明者 フランク ヘグナー ドイツ連邦共和国 レルラッハ クリシ ョナシュトラーセ 41 (72)発明者 トーマス ヴェルテン ドイツ連邦共和国 ヴェール クロイツ マットシュトラーセ ３デー (56)参考文献 特開 昭62−167426（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−125937（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−300930（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−113338（ＪＰ，Ａ) 特表 平６−507487（ＪＰ，Ａ) 特表 平１−503084（ＪＰ，Ａ) 米国特許4186749（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01L 9/12 G01L 13/06

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】−セラミック製の基体（１）が設けられて
   おり、 −−該基体（１）が周面（１１）を有しており、 −−該基体（１）が第１の表面（１２）におけるコンカ
   ーブなセントラル面（１２１）を有しており、 −−−該セントラル面（１２１）が第１の電極（１２
   ２）を備えており、 −−−該セントラル面（１２１）が第２の表面（１３）
   へ第１の電極（１２２）を貫通接触させる貫通接触部
   （１２３）を有し、 −−−該セントラル面（１２１）が前記周面（１１）に
   向かってかつ該周面（１１）まで、頂線（１２５）を有
   するコンベックスな面（１２４）に移行しており、 −−−−該面（１２４）が前記頂線（１２５）の範囲で
   平らなリング面（１２６）として構成されており、 −セラミック製のダイヤフラム（５）が設けられてお
   り、 −−該ダイヤフラム（５）が前記基体（１）のリング面
   （１２６）に支持されており、 −−該ダイヤフラム（５）が前記リング面（１２６）の
   上でかつ周面（１１）とリング面（１２６）との間に環
   状の楔ゾーン（９１）を形成して、アクティブ硬ろう
   （１０）を用いて、高真空な測定室（Ｍ）を得るために
   基体（１）に接合されており、 −−該ダイヤフラム（５）が、基体（１）に向いた平ら
   な内面（５１）に第２の電極（５２）を備えており、 −−−該第２の電極（５２）が、楔ゾーン（９１）を介
   して接触させられていることを特徴とする、容量型圧力
   測定セル。
2. 【請求項２】−セラミック製の基体（２）が設けられ、 −−該基体（２）が周面（２１）を有しており、 −−該基体（２）が第１の表面（２２）にコンカーブな
   第１のセントラル面（２２１）を有しており、 −−−該セントラル面（２２１）が第１の電極（２２
   ２）を備えており、 −−−該セントラル面（２２１）が前記周面（２１）へ
   第１の電極（２２２）を貫通接触させる第１の電気的な
   貫通接触部（２２３）を有しており、 −−−該セントラル面（２２１）が周面（２１）に向か
   ってかつ該周面（２１）まで、第１の頂線（２２５）を
   有する第１のコンペックスな面（２２４）に移行してお
   り、 −−−−該第１のコンベックスな面（２２４）が第１の
   頂線（２２５）の範囲で第１の平らなリング面（２２
   ６）として構成されており、 −−前記基体（２）が第１の表面（２２）に向き合った
   第２の表面にコンカーブな第２のセントラル面（２３
   １）を有しており、 −−−該セントラル面（２３１）が、第２の電極（２３
   ２）を備えており、 −−−該セントラル面（２３１）が周面（２１）へ第２
   の電極（２３２）を貫通接触させる第２の電気的な貫通
   接触部（２３３９）を有しており、 −−−該セントラル面（２３１）が周面（２１）に向か
   ってかつ該周面（２１）まで、第２の頂線（２３５）を
   有するコンベックスな第２の面（２３４）へ移行してお
   り、 −−−−該第２の面（２３４）が、第２の頂線（２３
   ５）の範囲にて第２の平らなリング面（２３６）として
   構成されており、 −−前記基体（２）が第１と第２のセントラル面（２２
   １，２３１）の間の接続通路（２３９）を備えており、 −第１のセラミック製のダイヤフラム（６）が設けられ
   ており、 −−該ダイヤフラム（６）が基体（２）の第１のリング
   面に支持されており、 −−該ダイヤフラム（６）が第１のリング面（２２６）
   の上でかつ周面（２１）と第１のリング面（２２６）と
   の間に第１の環状の楔ゾーン（９２）を形成してアクテ
   ィブ硬ろう（１０）を用いて基体（２）に、第１の高真
   空密な測定室（Ｍ１）を得るために接合されており、 −−該第１のダイヤフラム（６）が基体（２）に向いた
   平らな内面（６１）に第３の電極（６２）を備えてお
   り、 −−−該電極が、第１の楔ゾーン（９２）を介して接触
   させられており、 −第２のセラミック製のダイヤフラム（７）が設けられ
   ており、 −−該ダイヤフラム（７）が、基体（２）の第２のリン
   グ面（２３６）に支持されており、 −−該ダイヤフラム（７）が第２のリング面（２３６）
   の上で周面（２１）と第２のリング面（２３６）との間
   に第２の環状の楔ゾーン（９３）を形成して、アクティ
   ブ硬ろう（１０）で基体（２）に、第２の高真空密な測
   定室（Ｍ２）を得るために接合されており、 −−第２のダイヤフラム（７）が基体（２）に向いた第
   ２の内面（７１）に第４の電極（７２）を備えており、 −−−該電極（７２）が、第２の楔ゾーン（９３）を介
   して接触させられていることを特徴とする、容量型差圧
   測定セル。
3. 【請求項３】−第１のセラミック製の基体（３）を有
   し、 −−該基体（３）が、第１の周面（３１）を有してお
   り、 −−該基体（３）が第１の表面（３２）にコンカーブな
   第１のセントラル面（３２１）を有しており、 −−−該セントラル面（３２１）が、第１の電極（３２
   ２）を備えており、 −−−該セントラル面（３２１）が第１の表面（３２）
   に向き合った第２の表面（３３）に第１の電極（３２
   ２）を貫通接触させる第１の電気的な貫通接触部（３２
   ２）を有しており、 −−−該セントラル面（３２１）が第１の周面（３１）
   に向かってかつ該周面（３１）まで、第１の頂線（３２
   ５）を有するコンベックスな第１の面（３２４）へ移行
   しており、 −−−−該面（２４）が第１の頂線（３２５）の範囲に
   て第１の平らなリング面（３２６）として構成されてお
   り、 −第２のセラミック製の基体（４）が設けられており、 −−該基体（４）が第２の周面（４１）を有しており、 −−該基体（４）が第１の表面（４２）にコンカーブな
   第２のセントラル面（４２１）を有しており、 −−−該セントラル面（４２１）が、第２の電極（４２
   ２）を備えており、 −−−該セントラル面（４２１）が第１の表面（４２）
   に向き合った第２の表面（４３）へ第２の電極（４２
   ２）を貫通接触させる第２の電気的な貫通接触部を備
   え、 −−−該セントラル面（４２１）が第２の周面（４１）
   に向かってかつ該周面（４１）まで、第２の頂線（４２
   ５）を有する第２のコンベックスな面（４２４）へ移行
   しており、 −−−−該面（４２４）が第２の頂線（４２５）の範囲
   にて第２の平らなリング面（４２６）として構成されて
   おり、 −セラミック製のダイヤフラム（８）が、設けられてお
   り、 −−該ダイヤフラム（８）が第１の基体（３）の第１の
   リング面（３２６）に第１の内面（８１）で支持されて
   おり、 −−該ダイヤフラム（８）が第１のリング面（３２６）
   の上でかつ第１の基体（３）の第１の周面（３１）と第
   １のリング面（３２６）との間に第１の環状の楔ゾーン
   （９５）を形成して、アクティブ硬ろう（１０）を用い
   て、第１の基体（３）に、第１の高真空密な測定室
   （Ｍ′）を得るために接合されており、 −−該ダイヤフラム（８）が第２の基体（４）の第２の
   リング面（４２６）に第２の内面（８５）で支持されて
   おり、 −−該ダイヤフラム（８）が第２のリング面（４２６）
   の上でかつ第２の基体（４）の第２の周面（４１）と第
   ２のリング面（４２６）との間に第２の環状の楔ゾーン
   （９６）を形成してアクティブ硬ろう（１０）を用い
   て、第２の基体（４）に、第２の高真空密な測定室（Ｍ
   ２′）を得るために接合されており、 −−該ダイヤフラム（８）の第１の内面（８１）の上に
   第３の電極（８２）が取付けられており、 −−−該電極（８２）が、第１の楔ゾーン（９５）を介
   して接触されており、 −−該ダイヤフラム（８）が第２の内面（８５）に第４
   の電極（８６）を備えており、 −−−該電極（８６）が、第２の楔ゾーン（９６）を介
   して接触されていることを特徴とする、容量型の差圧測
   定セル。
4. 【請求項４】 基体（１，２）もしくは基体（３，４）
   及びダイヤフラム（５；８）もしくはダイヤフラム
   （６，７）がアルミニウム酸化セラミックから成りかつ
   アクティブ硬ろう（１０）がＺｒ／Ｆｅ／Ｔｉ／Ｂｅ−
   合金又はＺｒ／Ｎｉ／Ｔｉ−合金から成っている、請求
   項１から３までのいずれか１項記載の圧力測定セルもし
   くは差圧測定セル。
5. 【請求項５】 少なくともダイヤフラム（５；８）もし
   くはダイヤフラム（６，７）の電極（５２；８２，８
   ６）が少なくともそれぞれの縁範囲でろうストップ被覆
   で覆われている、請求項１から３までのいずれか１項記
   載の圧力測定セルもしくは差圧測定セル。
6. 【請求項６】 容量型の圧力測定セルを製作する方法で
   あって、 −セラミック製の基体（１）の第１の表面にコンカーブ
   なセントラル面（１２１）を設け、 −−該セントラル面（１２１）を、基体（１）の周面
   （１２）に向かってかつ該周面（１２）まで、頂線（１
   ２５）を有するコンベックスな面（１２４）へ移行さ
   せ、 −−該面（１２４）を頂線（１２５）の範囲にて平らな
   リング面（１２６）として構成し、 −セントラル面（１２１）の上に第１の電極（１２２）
   を取付け、基体（１）の第１の表面（１３）に向き合っ
   た第２の表面（１２）に向かって貫通接触させ、 −基体（１）の第１の表面（１２）と合同であるセラミ
   ック製のダイヤフラム（５）の平らな内面（５１）に、
   第２の電極（５２）を設け、ダイヤフラム（５）を基体
   （１）のリング面（１２６）に載せたあとで前記電極
   （５２）が前記ダイヤフラム（５）まで達するような寸
   法を前記電極に与え、 −コンベックスな面（１２４）の、リング面（１２６）
   と周面（１１）との間にある部分に、ダイヤフラム
   （５）と基体（１）とを硬ろう付けするために足りる量
   のアクティブ硬ろう（１０）を施し、 −第２の電極（５２）を備えたダイヤフラム（５）の内
   面（５１）を基体（１）のリング面（１２６）の上に載
   せ、 −基体（１）とダイヤフラム（５）を真空又は保護ガス
   雰囲気下でアクティブ硬ろう（１０）が溶融するまで加
   熱しかつその後で自然冷却することを特徴とする、容量
   型圧力測定セルを製造する方法。
7. 【請求項７】 容量型差圧測定セルを製造する方法であ
   って、 −セラミック製の基体（２）の第１の表面（２２）にコ
   ンカーブな第１のセントラル面（２２１）を設け、 −−該セントラル面（２２１）を、周面（２１）に向か
   ってかつ該周面（２１）まで、第１の頂線（２２５）を
   有するコンベックスな第１の面（２２４）に移行させ、 −−−前記面（２２４）を、第１の頂線（２２５）の範
   囲にて、第１の平らなリング面（２２６）として構成
   し、 −第１のセントラル面（２２１）の上に第１の電極（２
   ２２）を取付け、基体（２）の周面（２１）に向かって
   貫通接触させ、 −さらに基体（２）の第１の表面（２２）に向き合った
   第２の表面（２３）に、コンカーブな第２のセントラル
   面（２３１）を設け、 −−該セントラル面（２３１）を、基体（２）の周面
   （２１）に向かってかつ該周面（２１）まで第２の頂線
   （２３５）を有する第２のコンベックスな面（２３４）
   に移行させ、 −−−該面（２３４）を第２の頂線（２３５）の範囲で
   第２の平らなリング面（２３６）として構成し、 −第２のセントラル面（２３１）の上に第２の電極（２
   ３２）を取付け、基体（２）の周面（２１）に対して貫
   通接触させ、 −基体（２）の第１の表面（２２）と合同な第１のセラ
   ミック製のダイヤフラム（６）の平らな内面（６１）に
   第３の電極（６２）を設け、 −−該電極（６２）の寸法が、あとで第１のダイヤフラ
   ム（６）を基体（２）の第１のリング面（２２６）の上
   に載せた場合に該電極（６２）がリング面（２３６）ま
   で達するように設定されており、 −基体（２）の第１のコンベックスな面の、第１のリン
   グ面（２２６）と周面（２１）との間に位置している部
   分の上と基体（２）の第２のコンベックスな面（２３
   ４）の、第２のリング面（２３６）と周面（２１）との
   間に位置している部分の上とに、それぞれ１つの、第１
   もしくは第２のダイヤフラム（６もしくは７）を基体
   （２）に硬ろう付けするのに足りる量のアクティブ硬ろ
   う（１０）を施し、 −第１のダイヤフラム（６）の、第３の電極（６２）を
   備えた内面を基体（２）の第１のリング面（２２６）の
   上に載せ、 −第２のダイヤフラム（７）の、第４の電極（７２）を
   備えた内面（７１）を基体（２）の第２のリング面（２
   ３６）に載せ、 −基体（２）とダイヤフラム（６，７）とを真空又は保
   護ガス雰囲気下でアクティブ硬ろう（１０）が溶融する
   まで加熱し、そのあとで自然冷却することを特徴とす
   る、容量型差圧測定セルを製造する方法。
8. 【請求項８】 容量型差圧測定セルを製造する方法であ
   って、 −セラミック製の第１の基体（３）の第１の表面（３
   ２）にコンカーブな第１のセントラル面（３２１）を設
   け、 −−該セントラル面（３２１）を、第１の基体（３）の
   第１の周面（３１）に向かってかつ該周面（３１）ま
   で、第１の頂線（３２５）を有する、コンベックスな第
   １の面（３２４）に移行させ、該第１の面（３２４）を
   第１の頂線（３２５）の範囲で第１の平らなリング面と
   して構成し、 −第１のセントラル面（３２１）の上に第１の電極（３
   ２２）を取付け、第１の基体（３）の第１の表面（３
   １）に向き合った第２の表面（３３）に向かって貫通接
   触させ、 −第２のセラミック製の基体（４）の第１の表面（４
   ２）に、コンカーブな第２のセントラル面（４２１）を
   設け、 −−該セントラル面（４２１）を、第２の基体（４）の
   第２の周面（４１）に向かってかつ該周面（４１）ま
   で、第２の頂線（４２５）を有する第２のコンベックス
   な面（４４２４）に移行させ、 −−−該面（４４２４）を、第２の頂線（４２５）の範
   囲で第２の平らなリング面（４２６）として構成し、 −第２のセントラル面（４２１）の上に第２の電極（４
   ２２）を取付けかつ第２の基体（４）の第１の表面（４
   ２）に向き合った第２の表面（４３）に対し貫通接触さ
   せ、 −第１の基体（３）の第１の表面（３２）と合同であ
   る、セラミック製のダイヤフラム（８）の平らな第１の
   内面（８１）に第３の電極（８２）を設け、 −−該電極（８２）の寸法を、あとからダイヤフラム
   （８）を第１の基体（３）の第１のリング面（３２６）
   に載せたあとで該リング面（３２６）に達するように設
   定し、 −ダイヤフラム（８）の第１の内面（８１）に向き合っ
   た平らな第２の内面（８５）に第４の電極（８６）を設
   け、 −−該電極（８６）の寸法を、あとから第２の基体
   （４）の第２のリング面（４２６）にダイヤフラム
   （８）を載せたあとで該電極（８６）が該リング面（４
   ２６）まで達するように設定し、 −第１の基体（３）のコンベックスな第１の面（３２
   ４）の、第１のリング面（３２６）と第１の周面（３
   １）との間にある部分の上と、第２の基体（４）の第２
   のコンベックスな第２の面（４２４）の、第２のリング
   面（４２６）と第２の周面（４１）との間にある部分の
   上とに、それぞれダイヤフラム（８）を第１もしくは第
   ２の基体（３もしくは４）に硬ろう接するために足りる
   量のアクティブ硬ろう（１０）を施し、 −ダイヤフラム（８）の、第３の電極（８２）を備えた
   第１の内面（８１）を第１の基体（３）の第１のリング
   面（３２６）に載せ、 −ダイヤフラム（８）の、第４の電極（８６）を備えた
   第２の内面を第２の基体（４）の第２のリング面（４２
   ６）の上に載せ、 −基体（３，４）とダイヤフラム（８）とを真空又は保
   護ガス雰囲気下でアクティブ硬ろう（１０）が溶融する
   まで加熱し、そのあとで自然冷却する、容量型差圧測定
   セルを製造する方法。
9. 【請求項９】 少なくともダイヤフラム（５；８）もし
   くはダイヤフラム（６，７）の電極（５２；８２，８
   ６）を、少なくとも各縁部領域にて、ろうストップ被覆
   で覆う、請求項６から８までのいずれか１項記載の方
   法。